JP2016008612A - 真空チャンバへの注気のための方法及び装置 - Google Patents

Abstract

【課題】比較的大きな真空チャンバの体積においてもできるだけ容易に、既に遮断されているもののまだ回転している真空チャンバに接続された真空ポンプのロータの妨害なしに真空チャンバへの迅速な注気を可能とする、方法及び装置を提供すること。【解決手段】真空ポンプ１２、特にターボ分子ポンプに接続された真空チャンバ１４への注気のための方法であって、真空チャンバ１４への注気と同時に１つのロータ及び１つのステータを含む真空ポンプ（１２）も注気される前記方法において、注気がポンプロータのそれぞれの遮断直後になされ、真空ポンプ１２における圧力があらかじめ設定可能な限界値に到達するとすぐに、注気率がそれぞれの注気過程中に高められる。【選択図】図１

Description

本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプに接続された真空チャンバへの注気のための方法であって、真空チャンバへの注気と同時に１つのロータ及び１つのステータを含む真空ポンプも注気される前記方法に関するものである。さらに、本発明は、特に方法の実行のために適した、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプに接続された真空チャンバへの注気のための装置に関するものでもある。

例えばターボ分子ポンプのような真空ポンプは、真空の生成のために排気鐘とも呼ばれる真空チャンバにおいて使用され得る。遮断後には真空ポンプがしばしば割り当てられた注気バルブを介して換気される。したがって、前段真空側からの炭化水素の逆拡散をポンプによって回避するために、例えばターボ分子ポンプは、遮断後に換気されるべきである。

真空ポンプに割り当てられた注気バルブは、これまで、非常に小さな断面を有していた。なぜなら、真空ポンプが使用箇所において注気のために閉止フランジとされるよう、すなわち閉止され、これに合わせて追加の体積を有さないことが前提となっていたためである。したがって、遮断された真空ポンプにおける圧力は、まだ回転しているポンプロータにおいて大きく上昇しない。なぜなら、さもなければ、過大な力、すなわち気体負荷がロータに作用するためである。

しかしながら、使用箇所における真空チャンバは、ますます当該の真空ポンプに接続されたままである。したがって、それぞれの真空チャンバへの注気のために、しばしば当該の真空ポンプに割り当てられた注気バルブが使用され、この注気バルブは、通常、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの駆動電子機器（Ａｎｔｒｉｅｂｓｅｌｅｋｔｒｏｎｉｋ）を介して制御される。注気過程中には真空ポンプは遮断されており、すなわちポンプロータは非通電となっているものの、ポンプロータはしばしば少なくとも一時的に更に回転し、そして、注気によるかなり高い圧力によって迅速に制動される。各真空ポンプに割り当てられた注気バルブの注気率、すなわち換気のための気体を供給し得る流速は、これまで各真空ポンプあるいはターボ分子ポンプの構造寸法に適合されていた。これにより、注気率及び対応して真空ポンプにおける圧力上昇速度がまずは所定の値を上回らないような状況が考慮されている。なぜなら、さもなければ、まだ回転しているポンプロータに過大な力が作用するためである。真空チャンバが特に質量分析装置においてますます増大した後に、それぞれの注気過程、例えば３００ｍｂａｒ〜約１０００ｍｂａｒの範囲の負圧からの注気過程が非常に長くつづく。

特許文献１には割り当てられた注気バルブを有する回転真空ポンプが開示されており、ポンプへの注気のための注気バルブは、ポンプロータの回転周波数の検出された差異又は変動に依存して作動される。注気バルブの制御のための当該のコストは、これに応じて高いものである。

欧州特許第１７３９３０８号明細書

本発明の課題は、比較的大きな真空チャンバの体積においてもできるだけ容易に、既に遮断されているもののまだ回転している真空チャンバに接続された真空ポンプのロータの妨害なしに真空チャンバへの迅速な注気を可能とする、冒頭に記載した種類の方法及び装置を提供することにある。

上記課題は、本発明により、請求項１の特徴を有する方法及び請求項１１の特徴を有する装置によって解決される。本発明による方法の好ましい形態及び本発明による装置の好ましい実施形態は、従属請求項に記載されている。

本発明による方法は、注気がポンプロータのそれぞれの遮断直後になされ、真空ポンプにおける圧力があらかじめ設定可能な限界値に到達するとすぐに、注気率がそれぞれの注気過程中に高められることによって特徴付けられている。

方法のこのような形態により、比較的大きな真空チャンバの体積においても比較的容易に、既に遮断されているもののまだ回転している真空チャンバに接続された真空ポンプのロータの妨害あるいは損傷のおそれなしに真空チャンバへ迅速に注気される。このとき、本発明は、真空ポンプにおける所定の圧力から少なくとも本質的に、不都合で気体負荷によって生じる力が空転した、すなわちまだ回転している遮断されたポンプロータにもはや作用しないという事情を活用するものであり、その結果、この圧力限界値に到達した後、先の注気率に比して残りの注気過程についての注気率を高めることが可能であり、これにより、注気過程全体が加速される。

ポンプロータの遮断直後の注気とは、注気過程が開始される場合に、ポンプロータがまだ回転するものと理解すべきである。特に、遮断過程と注気過程の間にある程度の、特に各具体的な条件に依存する時間が経過することが可能であるという可能性がないわけではない。

本発明による方法の好ましい実際の形態によれば、真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定可能な限界値が、まだ回転している遮断されたポンプロータへもはや少なくとも本質的に力が作用しないよう選択され、すなわち、過大な気体負荷によるポンプロータの妨害又は損傷が回避される。

これまで通例の真空ポンプ、特にターボ分子ポンプにおいては、約３００ｍｂａｒの圧力から本質的に不都合な力は回転する遮断されたポンプロータにはもはや作用しないことが明らかである。したがって、真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定可能な限界値として、１００〜４００ｍｂａｒ、特に２５０〜３００ｍｂａｒの圧力値が選択される。

まだ回転しているポンプロータの妨害あるいは損傷のおそれを最小に低減するために、真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定可能な限界値への到達までのそれぞれの注気過程中の注気率が、真空ポンプにおけるあらかじめ設定可能な圧力上昇速度を上回らないように選択される。

このとき、まだ回転しているポンプロータの妨害あるいは損傷のおそれは、ある圧力上昇速度において、約１５ｍｂａｒまで実際に不可能であり得る。真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定可能な圧力上昇速度として、１〜５０ｍｂａｒ／秒、特に１０〜２０ｍｂａｒ／秒の圧力上昇速度が選択される。

本発明による方法の合目的な有利な形態によれば、真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定可能な限界値に到達するまでの注気が開放された第１の流体断面を介してなされ、真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定可能な限界値に到達した後の注気が、第１の流体断面よりも大きな、開放された第２の流体断面を介してなされる。

このとき、第１の流体断面から比較的大きな前記第２の流体断面への切換が、開放された第１の注気バルブに加えて、第２の注気バルブが開放されることでなされる。ここで、第１の注気バルブが真空ポンプに割り当てられる一方、第２の注気バルブが真空ポンプ又は真空チャンバに割り当てられることができれば有利である。これにより、真空ポンプに通常いずれにせよ少なくとも１つの、真空チャンバへの注気にも対応して使用可能な注気バルブが割り当てられているという事情が考慮される。

本発明による方法の別の有利な形態によれば、注気が、真空ポンプ又は真空チャンバに割り当てられた注気バルブを介してなされ、該注気バルブが真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定可能な限界値への到達まで、注気バルブのパルス化された開放のために第１のデューティーファクタによってクロックされ、真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定可能な限界値への到達後に第１のデューティーファクタに比して大きな第２のデューティーファクタによってクロックされるか、又は完全に開放される。したがって、一種のパルス幅変調によってクロックされる注気バルブで十分である。より大きなデューティーファクタとは、この関係において、より大きなデューティーファクタにおいて注気バルブの開通時間又は開放時間がより小さなデューティーファクタにおけるよりも大きいことを意味する。

さらに、本発明による方法において、注気が、真空ポンプ又は真空チャンバに割り当てられた注気バルブを介してなされ、該注気バルブが、２つの異なる大きさの注気気体流を可能とするとともに、真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定可能な限界値が得られるあらかじめ設定可能な時間後に、より小さな注気気体流からより大きな注気気体流へ切り換えられるような形態も考えられる。このとき、このような注気バルブの制御は、必ずしも真空ポンプに割り当てられた、例えば真空ポンプに統合された、又は真空ポンプに固結された制御装置によってなされなくともよい。例えば、直接注気バルブにおける２つの流路を含む調整手段による作動も考えられる。

真空ポンプ、特にターボ分子ポンプに接続された真空チャンバへの注気のための本発明による装置は、制御装置と、ポンプロータのそれぞれの遮断直後の真空チャンバ及び１つのロータと１つのステータを含む真空ポンプへの同時の注気のためのバルブ装置とを含んでいる。この装置は、対応して、制御装置が、真空ポンプ内の圧力があらかじめ設定可能な限界値に到達するとすぐに各注気過程中に注気率が上昇されるように構成され、またバルブ装置が制御装置を介してこのように作動可能となっていることを特徴とするものである。

ここで、好ましくは、真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定可能な限界値が、まだ回転している遮断されたポンプロータへもはや少なくとも本質的に力が作用しないよう選択されている。

本発明による装置の好ましい実用的な実施形態によれば、バルブ装置が、真空ポンプに割り当てられた少なくとも１つの注気バルブ及び／又は真空チャンバに割り当てられた少なくとも１つの注気バルブを含んでおり、この注気バルブあるいはこれら注気バルブが制御装置によって適切に作動可能である。

このとき、バルブ装置が少なくとも１つの第１及び第２の注気バルブを含んでおり、これら注気バルブが、真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定可能な限界値への到達まで第１の注気バルブが開放され、真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定された限界値への到達の際に第１の注気バルブに加えて第２の注気バルブが開放されれば有利である。ここで、第１の注気バルブが真空ポンプに割り当てられ、第２の注気バルブが真空ポンプ又は真空チャンバに割り当てられることができる。

本発明による装置の別の可能な実施形態によれば、バルブ装置が真空ポンプ又は真空チャンバに割り当てられた注気バルブを含んでおり、該注気バルブが、真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定可能な限界値への到達まで、注気バルブのパルス化された開放のために第１のデューティーファクタによってクロックされ、真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定可能な限界値への到達後に第１のデューティーファクタに比して大きな第２のデューティーファクタによってクロックされるか、又は完全に開放されるように、制御装置によって作動可能である。この場合、真空チャンバへ、及びこれに接続された真空ポンプへの注気のための注気バルブで十分である。

制御装置は好ましくは真空ポンプに割り当てられており、その結果、通常いずれにしても既に真空ポンプのために設けられた制御装置を、同時に注気過程あるいは少なくとも１つの注気バルブの制御に用いることが可能である。

本発明による装置の別の代替的な合目的な実施形態によれば、バルブ装置が真空ポンプ又は真空チャンバに割り当てられた注気バルブを含んでおり、該注気バルブが、２つの異なる大きさの注気気体流を可能とするとともに、真空ポンプにおける圧力のあらかじめ設定可能な限界値が得られるあらかじめ設定可能な時間後に、より小さな注気気体流からより大きな注気気体流へ切り換えられるように、制御装置によって作動可能である。ここで、上述のように、制御装置は、必ずしも真空ポンプに割り当てられている必要はない。例えば、注気バルブを注気バルブにおいて直接調整手段によって作動させることも考えられる。

以下に、本発明を添付の図面に基づいて詳細に説明する。

真空ポンプ、特にターボ分子ポンプに接続された真空チャンバへの注気のための本発明による装置の例示的な実施形態を示す図である。 破線によって従来の注気装置の注気過程中に生じる真空ポンプにおける圧力の時間変化を示し、実践によって本発明による注気装置の注気過程中に生じる真空ポンプにおける圧力の時間変化を示すグラフである。 破線によって従来の注気装置の注気過程中に生じる真空ポンプにおける注気率の時間変化を示し、実践によって本発明による注気装置の注気過程中に生じる真空ポンプにおける注気率の時間変化を示すグラフである。

図１には、真空ポンプ１２に接続された真空チャンバ１４への注気のための本発明による装置１０の例示的な実施形態の概略が示されている。ここで、真空ポンプ１２は、特にターボ分子ポンプであり得る。真空ポンプ１２は、ブースターポンプ（Ｖｏｒｐｕｍｐｅ）に接続可能な前段真空フランジ（Ｖｏｒｖａｋｕｕｍｆｌａｎｓｃｈ）２０を備えることができる。

装置１０は、制御装置１６と、ポンプロータの各遮断後に直接真空チャンバ１４へ、並びに１つのロータ及び１つのステータを含む真空ポンプ１２への同時の注気のためのバルブ装置１８とを含んでいる。そのため、ポンプロータは、各注気過程中に遮断され、すなわち無通電となるものの、少なくとも一時的にまだ回転する。

制御装置１６は、真空ポンプ１２内の圧力があらかじめ設定可能な限界値ｐ_Ｇ（図２も参照）に到達するとすぐに各注気過程中に注気率、すなわち供給される注気気体（Ｆｌｕｔｇａｓ）の流速が上昇されるように構成され、またバルブ装置１８は制御装置１６を介してこのように作動可能となっている。

このとき、真空ポンプ１２における圧力のあらかじめ設定された限界値ｐ_Ｇは、もはやこれ以上の力がまだ回転している遮断されたポンプロータに作用しないように選択されている。したがって、このポンプロータは、過剰に大きな気体の負荷によって損傷しない。真空ポンプ１２における圧力のあらかじめ設定可能な限界値ｐ_Ｇとして、例えば３００ｍｂａｒの範囲の圧力値が選択され得る。

バルブ装置１８は、特に、真空ポンプ１２に割り当てられた少なくとも１つの注気バルブ１８_１及び／又は真空チャンバ１４に割り当てられた少なくとも１つの注気バルブ１８_２を含むことができ、この注気バルブあるいはこれら注気バルブは、制御装置１６によって適切に作動可能である。

このとき、バルブ装置１８は、例えば少なくとも１つの第１及び第２の注気バルブ１８_１，１８_２を含むことができ、これら注気バルブ１８_１，１８_２は、制御装置１６によって、真空ポンプ１２における圧力のあらかじめ設定された限界値ｐ_Ｇに到達するまで第１の注気バルブ１８_１又は１８_２が開放され、及び真空ポンプ１２における圧力のこの限界値ｐＧに到達したときに、第２の注気バルブ１８_２あるいは１８_１が開放されるように、制御可能であり得る。ここで、第１の注気バルブ１８_１は特に真空ポンプ１２に割り当てられ、第２の注気バルブ１８_２は真空ポンプ１２又は真空チャンパ１４に割り当てられることができる。

これに代えて、バルブ装置１８は、例えば真空ポンプ１２又は真空チャンバ１４に割り当てられた注気バルブ１８_１あるいは１８_２を含むことができ、この注気バルブは、真空ポンプ１２における圧力のあらかじめ設定可能な限界値ｐ_Ｇへの到達までパルス化された注気バルブ１８_１あるいは１８_２の開放のために第１のデューティーファクタによってクロックされ（ｇｅｔａｋｔｅｔ）、真空ポンプ１２における圧力のあらかじめ設定されたこの限界値ｐ_Ｇへの到達後、第１のデューティーファクタよりも大きな第２のデューティーファクタによってクロックされるか、又は完全に開放されるように、制御装置１６によって作動可能である。したがって、当該の注気バルブ１８_１あるいは１８_２は、一種のパルス幅変調に基づいて作動され得る。

このような場合、制御装置１６は、真空ポンプ１２に割り当てられることができる。

他の代替的な例示的な実施形態によれば、バルブ装置１８も、真空ポンプ１２又は真空チャンバ１４に割り当てられた注気バルブ１８_１あるいは１８_２を含むことができ、この注気バルブは、２つの異なる大きさの注気気体流を可能とするものであるとともに、あらかじめ設定可能な時間の後、小さな注気気体流からより大きな注気気体流へ切り換えられるように制御装置１６によって作動可能であり、この時間の後、真空ポンプ１２における圧力のあらかじめ設定可能な限界値ｐ_Ｇに到達される。この場合、制御装置１６は、必ずしも真空ポンプ１２に割り当てられる必要はない。注気バルブの作動は、例えば、２つの流路を含む複数の調整手段を介して直接注気バルブにおいてなされ得る。

図２には単に概略的なグラフが示されており、このグラフにおいては、破線によって従来技術による従来の注気装置の注気過程中の真空ポンプ１２における圧力ｐの時間変化が示されており、実線によって本発明による注気装置１０の注気過程中の真空ポンプ１２における圧力ｐの時間変化が示されている。このとき、圧力は、ｐ＝Ｑ・ｔ／Ｖという関係から求められ、ここで、「ｐ」は真空ポンプ１２における圧力であり、「Ｑ」は注気気体負荷であり、「ｔ」は実際の時間であり、「Ｖ」は真空チャンバ１４及び真空ポンプ１２の総体積である。

図２によるグラフに基づき分かるように、従来の注気装置については、総注気過程中に真空ポンプ１２内での少なくとも本質的に一定の圧力上昇速度が生じる（破線参照）。これに対して、本発明による装置１０により、真空ポンプ１２内でのこの圧力上昇速度は、真空ポンプ１２における圧力の限界値ｐ_Ｇに達する際に大きく上昇し（実線参照）、その結果、注気過程全体が大きく加速される。

図３には概略的なグラフが示されており、このグラフにおいては、破線によって従来技術による従来の注気装置の注気過程中の注気率の時間変化が示されており、実線によって本発明による注気装置１０の注気過程中の注気率の時間変化が示されている。このグラフから分かるように、従来の注気装置については、総注気過程中に真空ポンプ１２内での少なくとも本質的に一定の注気率の時間変化が生じる（破線参照）。一方、本発明による装置１０により、注気率は、真空チャンバにおける圧力の限界値ｐ_Ｇに達する際に跳躍的に上昇し（再度図２参照）、これにより、上述のように、注気過程全体が本質的に加速される。

１０ 装置
１２ 真空ポンプ
１４ 真空チャンバ
１６ 制御装置
１８ バルブ装置
１８_１ 注気バルブ
１８_２ 注気バルブ
２０ 前段真空フランジ
ｐ_Ｇ 真空ポンプにおける圧力の限界値

Claims (18)

1. 真空ポンプ（１２）、特にターボ分子ポンプに接続された真空チャンバ（１４）への注気のための方法であって、前記真空チャンバ（１４）への注気と同時に１つのロータ及び１つのステータを含む前記真空ポンプ（１２）も注気される前記方法において、
   注気が前記ポンプロータのそれぞれの遮断直後になされ、前記真空ポンプにおける圧力があらかじめ設定可能な限界値（ｐ_Ｇ）に到達するとすぐに、注気率がそれぞれの注気過程中に高められることを特徴とする方法。
2. 前記真空ポンプ（１２）における圧力のあらかじめ設定可能な前記限界値（ｐ_Ｇ）が、まだ回転している遮断された前記ポンプロータへもはや少なくとも本質的に力が作用しないよう選択されることを特徴とする請求項１記載の方法。
3. 前記真空ポンプ（１２）における圧力のあらかじめ設定可能な前記限界値（ｐ_Ｇ）として、１００〜４００ｍｂａｒ、特に２５０〜３００ｍｂａｒの圧力値が選択されることを特徴とする請求項１又は２記載の方法。
4. 前記真空ポンプ（１２）における圧力のあらかじめ設定可能な前記限界値（ｐ_Ｇ）への到達までのそれぞれの注気過程中の注気率が、前記真空ポンプ（１２）におけるあらかじめ設定可能な圧力上昇速度以下に選択されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
5. 前記真空ポンプ（１２）におけるあらかじめ設定可能な前記圧力上昇速度として、１〜５０ｍｂａｒ／秒、特に１０〜２０ｍｂａｒ／秒の圧力上昇速度が選択されることを特徴とする請求項４記載の方法。
6. 前記真空ポンプ（１２）における圧力のあらかじめ設定可能な前記限界値（ｐ_Ｇ）に到達するまでの注気が開放された第１の流体断面を介してなされ、前記真空ポンプ（１２）における圧力のあらかじめ設定可能な前記限界値（ｐ_Ｇ）に到達した後の注気が、前記第１の流体断面よりも大きな、開放された第２の流体断面を介してなされることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
7. 前記第１の流体断面から比較的大きな前記第２の流体断面への切換が、開放された第１の注気バルブ（１８_１）に加えて、第２の注気バルブ（１８_２）が開放されることでなされることを特徴とする請求項６記載の方法。
8. 前記第１の注気バルブ（１８_１）が前記真空ポンプ（１２）に割り当てられ、前記第２の注気バルブ（１８_２）が前記真空ポンプ（１２）又は前記真空チャンバ（１４）に割り当てられることを特徴とする請求項７記載の方法。
9. 注気が、前記真空ポンプ（１２）又は前記真空チャンバ（１４）に割り当てられた注気バルブ（１８_１あるいは１８_２）を介してなされ、該注気バルブが前記真空ポンプ（１２）における圧力のあらかじめ設定可能な前記限界値（ｐ_Ｇ）への到達まで、前記注気バルブ（１８_１あるいは１８_２）のパルス化された開放のために第１のデューティーファクタによってクロックされ、前記真空ポンプ（１２）における圧力のあらかじめ設定可能な前記限界値（ｐ_Ｇ）への到達後に前記第１のデューティーファクタに比して大きな第２のデューティーファクタによってクロックされるか、又は完全に開放されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
10. 注気が、前記真空ポンプ（１２）又は前記真空チャンバ（１４）に割り当てられた注気バルブ（１８_１あるいは１８_２）を介してなされ、該注気バルブが、２つの異なる大きさの注気気体流を可能とするとともに、前記真空ポンプ（１２）における圧力のあらかじめ設定可能な前記限界値（ｐ_Ｇ）が得られるあらかじめ設定可能な時間後に、より小さな注気気体流からより大きな注気気体流へ切り換えられることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
11. 特に請求項１〜１０のいずれか１項に記載の方法の実行のための、真空ポンプ（１２）、特にターボ分子ポンプに接続された真空チャンバ（１４）への注気のための装置（１０）であって、制御装置（１６）と、前記ポンプロータのそれぞれの遮断直後の前記真空チャンバ（１４）及び１つのロータと１つのステータを含む前記真空ポンプ（１２）への同時の注気のためのバルブ装置（１８）とを有し、前記真空ポンプ（１２）内の圧力があらかじめ設定可能な限界値（ｐ_Ｇ）に到達するとすぐに各注気過程中に注気率が上昇されるように、前記制御装置（１６）が構成され、かつ、前記バルブ装置（１８）が前記制御装置（１６）を介して作動可能となっていることを特徴とする装置。
12. 前記真空ポンプ（１２）における圧力のあらかじめ設定可能な前記限界値（ｐ_Ｇ）が、まだ回転している遮断された前記ポンプロータへもはや少なくとも本質的に力が作用しないよう選択されていることを特徴とする請求項１１記載の装置。
13. 前記バルブ装置（１８）が、前記真空ポンプ（１２）に割り当てられた少なくとも１つの注気バルブ（１８_１）及び／又は前記真空チャンバ（１４）に割り当てられた少なくとも１つの注気バルブ（１８_２）を含んでおり、このあるいはこれら注気バルブが前記制御装置（１６）によって適切に作動可能であることを特徴とする請求項１１又は１２記載の装置。
14. 前記バルブ装置（１８）が少なくとも１つの第１及び第２の注気バルブ（１８_１，１８_２）を含んでおり、これら注気バルブ（１８_１，１８_２）が、前記真空ポンプ（１２）における圧力のあらかじめ設定可能な前記限界値（ｐ_Ｇ）への到達まで前記第１の注気バルブ（１８_１）が開放され、前記真空ポンプ（１２）における圧力のあらかじめ設定された前記限界値（ｐ_Ｇ）への到達の際に前記第１の注気バルブ（１８_１又は１８_２）に加えて前記第２の注気バルブ（１８_１あるいは１８_２）が開放されることを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の装置。
15. 前記第１の注気バルブ（１８_１）が前記真空ポンプ（１２）に割り当てられ、前記第２の注気バルブ（１８_２）が前記真空ポンプ（１２）又は前記真空チャンバ（１４）に割り当てられていることを特徴とする請求項１４記載の装置。
16. 前記バルブ装置（１８）が前記真空ポンプ（１２）又は前記真空チャンバ（１４）に割り当てられた注気バルブ（１８_１あるいは１８_２）を含んでおり、該注気バルブが、前記真空ポンプ（１２）における圧力のあらかじめ設定可能な前記限界値（ｐ_Ｇ）への到達まで、前記注気バルブ（１８_１あるいは１８_２）のパルス化された開放のために第１のデューティーファクタによってクロックされ、前記真空ポンプ（１２）における圧力のあらかじめ設定可能な前記限界値（ｐ_Ｇ）への到達後に前記第１のデューティーファクタに比して大きな第２のデューティーファクタによってクロックされるか、又は完全に開放されるように、前記制御装置（１６）によって作動可能であることを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の装置。
17. 前記バルブ装置（１８）が前記真空ポンプ（１２）又は前記真空チャンバ（１４）に割り当てられた注気バルブ（１８_１あるいは１８_２）を含んでおり、該注気バルブが、２つの異なる大きさの注気気体流を可能とするとともに、前記真空ポンプ（１２）における圧力のあらかじめ設定可能な前記限界値（ｐ_Ｇ）が得られるあらかじめ設定可能な時間後に、より小さな注気気体流からより大きな注気気体流へ切り換えられるように、前記制御装置（１６）によって作動可能であることを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の装置。
18. 前記制御装置（１６）が前記真空ポンプ（１２）に割り当てられていることを特徴とする請求項１１〜１７のいずれか１項に記載の装置。

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