JPS63104113A - 流体流量制御方法 - Google Patents
流体流量制御方法Info
- Publication number
- JPS63104113A JPS63104113A JP24948986A JP24948986A JPS63104113A JP S63104113 A JPS63104113 A JP S63104113A JP 24948986 A JP24948986 A JP 24948986A JP 24948986 A JP24948986 A JP 24948986A JP S63104113 A JPS63104113 A JP S63104113A
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- control
- value
- pressure
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- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
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- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
起動時における流量の制御を予め定めた流量に相当する
制御弁の開度となるように制御し、これにより流量が略
設定値に達したときにフィードバック制御を組み合わせ
た。また、加圧流体源の圧力に応じてフィードフォワー
ド制御による補正を行って所要の流量を得るようにした
。
制御弁の開度となるように制御し、これにより流量が略
設定値に達したときにフィードバック制御を組み合わせ
た。また、加圧流体源の圧力に応じてフィードフォワー
ド制御による補正を行って所要の流量を得るようにした
。
風胴設備、排ガス処理設備などの流体利用設備あるいは
流体処理設備における空気などの加圧流体の流量の制御
方法に関する。
流体処理設備における空気などの加圧流体の流量の制御
方法に関する。
従来のこの種設備における流量制御方法としては、フィ
ードバック制御を基本として、起動時における立ち上が
りの遅れを短くするために制御系のループゲインの選択
、積分時間の切換えあるいは微分動作の追加などの処置
を行っていた。
ードバック制御を基本として、起動時における立ち上が
りの遅れを短くするために制御系のループゲインの選択
、積分時間の切換えあるいは微分動作の追加などの処置
を行っていた。
また、加圧流体源の圧力変化によるフィードバック制御
系のループゲインの変化に対しては、この加圧流体源の
圧力に応じて上記制御系に含まれる増幅器などの利得を
制御することにより上記ループゲインを一定に保つよう
にしていた。
系のループゲインの変化に対しては、この加圧流体源の
圧力に応じて上記制御系に含まれる増幅器などの利得を
制御することにより上記ループゲインを一定に保つよう
にしていた。
上記のような従来技術においては、制御弁がフィードバ
ックループに含まれるために高価な油圧サーボ式の制御
弁を用いることが必要であり、また起動時の立ち上がり
の遅れを解消することができなかった。
ックループに含まれるために高価な油圧サーボ式の制御
弁を用いることが必要であり、また起動時の立ち上がり
の遅れを解消することができなかった。
本発明の原理を示す第1図に図示したように、加圧流体
源Tから制御弁Vcを経て流路りに供給される加圧流体
の流量を制御するために、起動信号を検出する手段Sと
流路の上記加圧流体の流量に基づく値を検出する例えば
流量針あるいは圧力計などの流量検出手段Fとを設け、
上記起動信号を検出したときには予め定めた流量に相当
する開度となるように上記制御弁の開度を制御し、この
流量が略設定値に達したときに上記流量に基づく値によ
るフィードバック制御を組み合わせた。なお図にはこの
本発明による方法を実行するための制御装置Cを示した
。
源Tから制御弁Vcを経て流路りに供給される加圧流体
の流量を制御するために、起動信号を検出する手段Sと
流路の上記加圧流体の流量に基づく値を検出する例えば
流量針あるいは圧力計などの流量検出手段Fとを設け、
上記起動信号を検出したときには予め定めた流量に相当
する開度となるように上記制御弁の開度を制御し、この
流量が略設定値に達したときに上記流量に基づく値によ
るフィードバック制御を組み合わせた。なお図にはこの
本発明による方法を実行するための制御装置Cを示した
。
また、加圧流体源の圧力を検出する圧力計などの圧力検
出手段Pを更に設け、この検出手段により検出された圧
力値に基づいてフィードフォワード制御量の補正を行っ
た。
出手段Pを更に設け、この検出手段により検出された圧
力値に基づいてフィードフォワード制御量の補正を行っ
た。
なお、この第1図にはこの種装置において通常設けられ
る遮断弁Vsを、本発明とは匝接関係がないことを示す
ために、点線により図示した。
る遮断弁Vsを、本発明とは匝接関係がないことを示す
ために、点線により図示した。
装置の起動時からの流量制御を要求される流量制御系に
おいては、起動時にフィードバック制御を行っても制御
弁の開度を所定流量を確保する開度に保つことは極めて
困難である。
おいては、起動時にフィードバック制御を行っても制御
弁の開度を所定流量を確保する開度に保つことは極めて
困難である。
本発明においては起動時には上記所定流量を得るために
予め算定された弁開度が得られるように制御弁を制御し
、これによって所定流量に近い流量になった時点から、
流量計または圧力計などの流量検出手段Fにより求めた
上記制御弁Vcの出口における流量に基づく値によるフ
ィードバック制御を組み合わせることによって流量を連
続して円滑に制御し得るようにした。
予め算定された弁開度が得られるように制御弁を制御し
、これによって所定流量に近い流量になった時点から、
流量計または圧力計などの流量検出手段Fにより求めた
上記制御弁Vcの出口における流量に基づく値によるフ
ィードバック制御を組み合わせることによって流量を連
続して円滑に制御し得るようにした。
また、流体の供給源である加圧流体源Tの圧力が低下す
ると、制御弁の開度が一定であってもこの制御弁を通過
する流体の流量が減少するので、これを防ぐために加圧
流体源Tでの流体の圧力を検出する圧力計などの圧力検
出手段Pにより検出された圧力値を用いて制御弁Vcの
開度補正を行うようにすることができる。
ると、制御弁の開度が一定であってもこの制御弁を通過
する流体の流量が減少するので、これを防ぐために加圧
流体源Tでの流体の圧力を検出する圧力計などの圧力検
出手段Pにより検出された圧力値を用いて制御弁Vcの
開度補正を行うようにすることができる。
第2図は、第1図に符号Cを付して示した本発明による
方法を実施する制御装置の実施例を機能的に示すもので
、フリップフロップ回路1は第1図の起動信号検出手段
Sに相当する。
方法を実施する制御装置の実施例を機能的に示すもので
、フリップフロップ回路1は第1図の起動信号検出手段
Sに相当する。
装置を起動する起動スイッチ2が投入されるとその出力
により上記フリップフロップ回路1がセットされ、その
セット出力Qによりリレー3が励磁されてその接点31
.32が制御弁(第1図VC)を閉路状態に保つための
接点からこの制御弁を制御するための接点に切換えられ
る。
により上記フリップフロップ回路1がセットされ、その
セット出力Qによりリレー3が励磁されてその接点31
.32が制御弁(第1図VC)を閉路状態に保つための
接点からこの制御弁を制御するための接点に切換えられ
る。
この状態で遮断弁開路スイッチ4が投入されると、この
投入後の時間を計時するためのタイマ5が起動されると
同時に遮断弁(第1図Vs)が開放される。このとき制
御弁の開度は、上記タイマ5の計時値に応じて予め定め
られた弁開度を指示するフィードフォワード弁開度指令
値■と、予め設定した制御弁出口圧力設定値S■を加圧
流体源の温度により流体の密度が変化することを補正し
た初期弁開度■とを加算器6により加算し、この値を加
算器7により加圧流体源の流体圧力P2を圧力ゲイン補
正を行った値P2′に基づく弁開度補正■による弁開度
補正値と加算した後、加算器8および上記リレー3の接
点31を経て弁補正処理■により制御弁の特性の補正を
行ってから印加される制御量により制御されるものであ
り、そのフィードフォワード弁開度指令値■は図中に示
したようにタイマ5の計時値tに応じて弁開度を指令し
、また初期弁開度■は予め設定された制御弁出口圧力設
定値S■に応じて弁開度を指令するものである。
投入後の時間を計時するためのタイマ5が起動されると
同時に遮断弁(第1図Vs)が開放される。このとき制
御弁の開度は、上記タイマ5の計時値に応じて予め定め
られた弁開度を指示するフィードフォワード弁開度指令
値■と、予め設定した制御弁出口圧力設定値S■を加圧
流体源の温度により流体の密度が変化することを補正し
た初期弁開度■とを加算器6により加算し、この値を加
算器7により加圧流体源の流体圧力P2を圧力ゲイン補
正を行った値P2′に基づく弁開度補正■による弁開度
補正値と加算した後、加算器8および上記リレー3の接
点31を経て弁補正処理■により制御弁の特性の補正を
行ってから印加される制御量により制御されるものであ
り、そのフィードフォワード弁開度指令値■は図中に示
したようにタイマ5の計時値tに応じて弁開度を指令し
、また初期弁開度■は予め設定された制御弁出口圧力設
定値S■に応じて弁開度を指令するものである。
タイマ5が予め定めた起動期間to、例えば10秒、を
超える時間を計時し、しかも制御弁出口圧力P■が上昇
して制御弁出口圧力設定値S■に近い予め定めた値S■
−ΔPに近づくと、アンド回路9はPIDM御器10を
付勢してフィードバック制御を開始する。
超える時間を計時し、しかも制御弁出口圧力P■が上昇
して制御弁出口圧力設定値S■に近い予め定めた値S■
−ΔPに近づくと、アンド回路9はPIDM御器10を
付勢してフィードバック制御を開始する。
このフィードバック制御は、加圧流体源圧力P2に圧力
ゲイン補正を行った値P2′により制御弁出口圧力設定
値S■に加圧流体源の温度補正を圧力設定値温度補正■
で行った値S■′と制御弁出口圧力PVとを入力とする
PID制御器10の出力を前言己加算器8により加算器
7側からの制御信号に加算してリレー3の接点31およ
び弁補正手段■を介して制御弁に印加することにより、
第1図の制御弁Vc−流路り一流量検出手段F−制御装
置C−制御弁Vcというループにより行われる。
ゲイン補正を行った値P2′により制御弁出口圧力設定
値S■に加圧流体源の温度補正を圧力設定値温度補正■
で行った値S■′と制御弁出口圧力PVとを入力とする
PID制御器10の出力を前言己加算器8により加算器
7側からの制御信号に加算してリレー3の接点31およ
び弁補正手段■を介して制御弁に印加することにより、
第1図の制御弁Vc−流路り一流量検出手段F−制御装
置C−制御弁Vcというループにより行われる。
このPID制御器10のPID利得は、PIDID利得
関数発生器上り、前記圧力ゲイン補正出力P2′とP■
D比例利得Kpの債が一定になるように制御される。
関数発生器上り、前記圧力ゲイン補正出力P2′とP■
D比例利得Kpの債が一定になるように制御される。
本発明によれば、起動時にはフィードフォワード制御を
主体としているので起動時の流量を確保することができ
、また定常状態に近くなったときにフィードバック制御
を組み合わせることにより、流量に変動を生じないとい
う格別の効果を達成することができる。
主体としているので起動時の流量を確保することができ
、また定常状態に近くなったときにフィードバック制御
を組み合わせることにより、流量に変動を生じないとい
う格別の効果を達成することができる。
また加圧流体源の圧力の変動を検出して操作量を補正す
るように構成した場合には、−属正確な流量制御を行う
ことができる。
るように構成した場合には、−属正確な流量制御を行う
ことができる。
第1図は本発明が適用される流量制御装置を説明する図
、第2図は本発明を適用した制御装置の実施例を機能的
に説明するための図である。 Tは加圧流体源、Vcは制御弁、Dは流路、Fは流量検
出手段、Cは制御装置、Sは起動信号検8手段、Pは加
圧流体源の圧力検出手段である。 特許出願人 川崎重工業株式会社 同 中肉 康雄 九坏ジ浦 第1図
、第2図は本発明を適用した制御装置の実施例を機能的
に説明するための図である。 Tは加圧流体源、Vcは制御弁、Dは流路、Fは流量検
出手段、Cは制御装置、Sは起動信号検8手段、Pは加
圧流体源の圧力検出手段である。 特許出願人 川崎重工業株式会社 同 中肉 康雄 九坏ジ浦 第1図
Claims (2)
- (1)加圧流体源(T)から制御弁(Vc)を経て流路
(D)に供給される加圧流体の流量を制御するために、
起動信号を検出する手段(S)と流路の上記加圧流体の
流量に基づく値を検出する手段(F)とを設け、上記起
動信号を検出したときには予め定めた流量に相当する開
度となるように上記制御弁の開度を制御し、この流量が
略設定値に達したときに上記流量に基づく値によるフィ
ードバック制御を組み合わせたことを特徴とする流体流
量制御方法。 - (2)加圧流体源の圧力を検出する手段(P)を更に備
え、この検出手段により検出された圧力に基づいてフィ
ードフォワード制御量の補正を行うことを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の流体流量制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24948986A JPS63104113A (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 | 流体流量制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24948986A JPS63104113A (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 | 流体流量制御方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63104113A true JPS63104113A (ja) | 1988-05-09 |
Family
ID=17193732
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24948986A Pending JPS63104113A (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 | 流体流量制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63104113A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0257770A (ja) * | 1988-08-19 | 1990-02-27 | Mitsubishi Electric Corp | 電動式膨張弁の制御装置 |
JPH06318116A (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-15 | Nec Corp | ガス流量制御装置 |
WO2011135826A1 (en) * | 2010-04-27 | 2011-11-03 | Hitachi Metals, Ltd. | Method and system of on-tool and on-site mfc optimization providing consistent response |
-
1986
- 1986-10-22 JP JP24948986A patent/JPS63104113A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0257770A (ja) * | 1988-08-19 | 1990-02-27 | Mitsubishi Electric Corp | 電動式膨張弁の制御装置 |
JPH06318116A (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-15 | Nec Corp | ガス流量制御装置 |
WO2011135826A1 (en) * | 2010-04-27 | 2011-11-03 | Hitachi Metals, Ltd. | Method and system of on-tool and on-site mfc optimization providing consistent response |
JP2013525870A (ja) * | 2010-04-27 | 2013-06-20 | 日立金属株式会社 | 一貫した応答を実現する、オンツールおよびオンサイトmfc最適化方法およびシステム |
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