KR100795275B1

KR100795275B1 - 자외선 조사장치 및 그 운용방법

Info

Publication number: KR100795275B1
Application number: KR1020047007011A
Authority: KR
Inventors: 나카노고지
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼포토사이언스
Priority date: 2001-11-07
Filing date: 2002-11-06
Publication date: 2008-01-15
Also published as: KR20050043778A; CN1578754A; JP4516251B2; TW570816B; WO2003040041A1; CN1261364C; JP2003144912A

Abstract

합성석영유리제의 발광관(11)을 가지고, 240㎚ 이하의 영역의 자외선을 방사하는 방전등(30)과, 이 방전등으로부터 방사되는 자외선을, 연속하여 흐르는 피처리 액체에 대하여 조사하는 처리장치(1)를 구비한다. 또한, 이 처리장치(1)에 있어서 방전등(30)을 다수 등 설치하고, 설치된 다수 등 중 소정 수를 소등하고 나머지를 점등하여, 이 소등 및 점등하는 방전등의 조합을 시간적 경과에 따라서 변경하도록 운용한다. 이렇게 하여 240㎚ 이하의 영역의 자외선을 방사하는 방전등의 자외선 출력의 유지율을 높임으로써 장기간에 걸친 연속 운전을 가능하게 하여, 이에 의해서 유지비의 절약화, 자원 절감을 도모한다.

Description

자외선 조사장치 및 그 운용방법{ULTRAVIOLET RAY IRRADIATION DEVICE AND OPERATION METHOD THEREOF}

본 발명은 240㎚ 이하의 단파장역의 자외선 에너지를, 연속하여 흐르는 피처리 액체에 조사하는 자외선 조사장치 및 그 운용방법에 관한 것으로, 피처리 액체 중에 존재하는 유기물 등의 분해처리 분야에서 이용되는 것이다.

단파장역의 자외선은 강한 에너지를 가지기 때문에, 유해물이나 유기물의 분해 등 다방면에 걸쳐 이용되고 있다. 특히, 240㎚ 이하의 파장역의 자외선은, 물(H₂O)을 해리하여 OH 라디칼(radical)을 생성하므로, 수중에 혼입하고 있는 유기물의 광반응분해에 도움이 된다. 반응식의 일례를 아래에 도시한다.

H₂O + hυ → H + OH 라디칼

Cn Hm Ok + OH 라디칼 → CO, CO₂,H₂O

(n, m, k,는 l, 2, 3,……)

상기의 반응식에서, 물을 해리함으로써 생성된 OH 라디칼은 산화력이 강하므로, 수중에 존재하는 유기물을 CO, CO₂, H₂O 등으로 분해하는 작용을 하게 된다. 즉 240㎚ 이하의 단파장자외선(식 중의 hυ)은 OH 라디칼을 생성하기 위한 에너지 이다.

240㎚ 이하의 자외선을 방사하는 자외선 광원으로서, 저압수은증기방전등이 알려져 있다. 저압수은증기방전등은 일반적으로 자외선 발광용의 발광관이 석영유리로 되어 있고, 상기 발광관 내의 양단에 한 쌍의 필라멘트를 설치하고, 해당 발광관 내에 아르곤(Ar) 등의 희가스와 적량의 수은을 봉입한 방전등이다. 이 저압수은증기방전등에서는, 한 쌍의 필라멘트에 방전전류를 공급함으로써, 185㎚라는 수은 특유의 단파장 자외선을 발광관으로부터 발하므로, 상기 단파장 자외선이 수중에 혼입하고 있는 유기물의 광반응분해에 효과적으로 작용한다.

상기 저압수은증기방전등은, 예컨대, 반도체 제조공정에서 반제품이나 완성품 등의 세정수로서 대량으로 사용되는 초순수의 제조플랜트용의 자외선 조사장치에 사용된다. 이 경우 피처리물은 액체이므로, 처리물과 미처리물을 고형물과 같이 디지털적으로 구분하는 것이 어렵고, 또한 연속적으로 흐르는 것이기 때문에, 피처리물인 피처리 액체에 대하여 자외선을 끊임없이 계속 조사해야만 하는 환경 하에 있다. 이러한 환경 하에서 사용되는 자외선 조사장치로는, 비용 절감과 동시에 생산성 향상(피처리 액체의 처리 효율의 향상) 및 환경보전의 추구가 극히 어렵고, 그 때문에 에너지 절약 ·유지비 절약 및 자원 절약에 대한 요구가 매우 높아지고 있다. 이들 요구를 달성하기 위한 효과적인 수단으로서, 방전등의 장수명화가 제시되고 있다.

그러나 상기 자외선 조사장치에서는, 연속하여 흐르는 피처리 액체에 자외선을 끊임없이 계속 조사하므로, 방전등에 의한 185㎚의 단파장 자외선의 출력이 1년 후에는 거의 반감되어 버려, 1년마다 방전등을 일제 교환하는 정기적 유지 및 사용이 끝난 방전등의 폐기처분이라는 작업이 필요하였다.

그래서 본 발명자들은, 방전등에서 185㎚의 단파장 자외선의 출력 저하라는 사상에 주목하고, 다양한 실험을 행하여 그 실험 데이터를 해석하였다. 그 결과, 방전등의 장수명화를 저해하는 요인이 발광관을 이루는 석영유리의 재질에 있음을 밝혀내었다. 상기 장치에 사용되고 있는 종래의 방전등에서는, 발광관의 재질은 천연수정을 원료로 하여 제조되는 용융석영유리로 이루어지는 석영유리이다. 이 석영유리에는 나트륨(Na), 칼륨(K), 티타늄(Ti), 철(Fe) 등, 특히 자외선을 흡수하는 원소인 불순물이 수 ppm 혼입되어 있다. 이들 불순물은 단파장역의 자외선의 흡수에 작용하고, 흡수된 자외선 에너지는 석영유리 자신을 변질시켜서, 해당 석영유리에 탁함을 발생시키고, 다시 그 탁함이 자외선 투과율을 저하시킨다. 이러한 투과율 저하와 변질의 사이클이 자외선의 방사 중에 되풀이되고, 이에 의해 185㎚의 자외선 출력이 급속히 저하하는 동시에, 그 자외선 출력의 저하가 급속하게 촉진되는 것으로 생각된다.

본 발명은 240㎚ 이하의 영역의 자외선을 방사하는 방전등의 자외선 출력의 유지율을 높임으로써, 장기간에 걸친 연속운전을 가능하게 하여, 이에 의해 유지비 절약, 자원 절약을 도모한 자외선 조사장치 및 그 운용방법을 제공하고자 하는 것이다.

본 발명에 관한 자외선 조사장치는, 합성석영유리제의 발광관을 가지고, 240 ㎚ 이하의 영역의 자외선을 방사하는 방전등과, 상기 방전등으로부터 방사되는 자외선을, 연속하여 흐르는 피처리 액체에 대해 조사하는 처리장치를 구비한 것이다. 이에 의하면, 상세한 것은 후술하겠으나, 방전등에서 합성석영유리제의 발광관을 통하여 240㎚ 이하의 영역의 자외선을 방사하므로, 상기 자외선의 자외선 투과율의 저하를 억제할 수 있고, 이에 의해서 자외선 출력의 유지율을 높일 수 있다. 이에 의해 처리장치에서 연속하여 흐르는 피처리 액체에 대하여 자외선을 장기간에 걸쳐 조사하는 연속운전이 가능해진다. 따라서 정기 유지 기간이 연장되어, 유지비 절약화를 도모할 수 있는 동시에, 사용이 끝난 방전등의 폐기기간도 연장되어 자원 절약을 도모할 수 있다.

본 발명에 관한 자외선 조사장치의 운용방법은, 상기와 같은 구성으로 이루어지는 상기 자외선 조사장치를 운용하기 위한 방법으로서, 상기 처리장치에서 상기 방전등을 다수등으로 설치하고, 설치된 다수등 중 소정의 수를 소등하고 나머지를 점등하여, 이 소등 및 점등하는 방전등의 조합을 시간적 경과에 따라서 변경하는 것이다. 이에 의하면 설치한 방전등의 총 수보다도 적은 수의 방전등을 솎아냄 점등하고, 이 솎아냄 점등의 조합을 시간적 경과에 따라서 변경하여, 돌아가며 사용함으로써, 방전등의 일제 교환기간을 연장시킬 수 있어, 교환 유지의 수고를 덜어, 장기간에 걸친 가동을 가능하게 하는 것이다.

도 1은 본 발명에 관한 자외선 조사장치의 일 실시예를 도시하고, 폐쇄형의 액체처리용 자외선 조사장치의 측면단면약도,

도 2는 도 1에 도시하는 자외선 조사장치에 탑재되는 방전등의 일 실시예를 도시하는 측면단면약도,

도 3은 도 2에 도시하는 방전등을 탑재한 자외선 조사장치에서의 시간 경과에 따른 처리능력의 변화의 실험결과를, 종래 장치와 비교하여 예시하는 그래프이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 첨부 도면에 근거하여 설명한다.

도 1에 본 발명에 관한 자외선 조사장치의 일 실시예를 도시한다. 도 1은 폐쇄형의 액체처리용 자외선 조사장치의 일례를 도시하는 측면단면약도이다.

도 1에서, 방전등(30)을 외관(보호관)(20) 내에 수납한 것이, 처리장치인 스테인리스제의 실린더(1) 내에 수용되고, 피처리 액체가 상기 실린더(1) 내에 도입되어 해당 피처리 액체에 방전등(30)으로부터 방사한 자외선이 조사된다. 방전등(30)으로는 예컨대 185㎚의 파장역의 자외선을 방사하는 저압수은증기방전등이 사용된다. 방전등(30)은 자외선 투과성의 외관(보호관)(20)의 내부에 수납되어, 상기 방전등(30)이 피처리 액체로부터 액밀(液密)로 격리된다. 외관(20)은 자외선 투과성이 우수한 석영유리로 되어 있다. 실린더(1)의 양단은 플랜지(1a, 1b)로 닫혀 있다. 외관(20)의 양단은 실린더(1)의 플랜지(1a, 1b)에, 그랜드 너트(40a, 40b)와, 고무제의 O링(50a, 50b)을 통하여 수밀(水密)로 유지되어 있다. 실린더(1)는 입수구(1c)로부터 도입된 피처리 액체가, 실린더(1) 내를 통과하는 과정에서 자외선이 조사되고, 출수구(1d)를 향하여 실린더(1) 내를 흐르게 되지만, 피처리 액체가 쇼트패스하지 않도록 도중에 다수 매(도면에서는, 5매)의 환류판(1e∼1i)을 배치한 구조로 되어 있다. 또한 편의상 도 1에는 방전등(30)을 1등만 탑재한 장치를 도시하였으나, 실용적으로는 다등식의 대용량 장치가 사용되는 경우가 많다. 방전등(30)으로부터 방사된 자외선은, 외관(20)을 투과하여 피처리 액체에 조사된다. 조사된 자외선은 수중에 존재하는 유기물을 예컨대, CO, CO₂,H₂O 등 무해한 물질로 분해하는 작용을 하게 된다.

다음으로 상기 장치에 탑재되는 방전등에 관해서 설명한다. 도 2에 그 방전등의 일 실시예를 도시한다. 우선 이 방전등(30)의 기본적 구조에 관하여 설명하면, 방전등(30)은 발광부(10)와 기밀(氣密)시일부(2a, 2b)와, 구금부(口金部, 3a, 3b)를 포함한다. 발광부(10)는 발광관 밸브(이하, 발광관 밸브를 ‘발광관’이라고 표기한다)(11)를 구비하고, 상기 발광관(11) 내의 양단에는 한 쌍의 필라멘트(21a, 21b)가 배치되어 있다. 발광관(11)은 4염화규소를 출발원료로 하여 인공적으로 제조된 합성석영유리로 되어 있다. 필라멘트(21a, 21b)는 예컨대 산화바륨계의 이미터를 도포하여 이루어진다. 이 필라멘트(21a, 21b)는 시일부(2a, 2b)로부터 나와 있는 이너리드(22a∼22d) 에 의해 각각 유지되어 있다. 구금부(3a, 3b)는 세라믹제이고, 한 쪽의 구금부(3a)에서 한 쌍의 전기단자(31a, 31a)가 구비되어 있다. 시일부(2a, 2b)는 몰리브덴박(24a~24d)에 의해서 기밀을 유지하면서, 또한 이너리드(22a∼22d), 몰리브덴박(24a∼24d), 아우터리드(25a, 25b, 26)를 통하여, 필라멘트(21a, 21b)와 전기단자(31a, 31b)를 전기적으로 접속하는 역할을 하고 있다. 또한 도면의 예로서는, 일례로서 방전등(30)은 2단자 타 입의 방전등으로서 구성되어 있다. 즉, 한 쪽의 필라멘트(21a)의 일단이 이너리드(22b), 몰리브덴박(24b), 아우터리드(25a)를 통하여 한 쪽의 전기단자(31a)에 접속되고, 다른 쪽의 필라멘트(21b)의 일단이 이너리드(22c), 몰리브덴박(24c), 아우터리드(25b, 26)를 통하여 다른 쪽의 전기단자(31b)에 접속되어 있다.

본 실시예에 관한 방전등(30)은, 240㎚ 이하의 영역의 자외선을 방전등으로하고, 자외선 발광용의 발광관(11)이 합성석영유리로 형성되어 있다. 본 실시예에 도시하는 방전등(30)은, 예컨대 발광관(11)의 사이즈가 외경 15mm, 두께 1mm이고, 한 쌍의 필라멘트(21a, 21b) 간의 간격(즉, 필라멘트간 거리)이 153cm이다. 발광관(11) 내에는 적량의 수은(예컨대, 20㎎ 정도의 수은)과 약 400Pa의 희가스를 봉입하여 놓는다. 이 방전등(30)에 1A의 방전전류를 흘리면 방전등 전력은 140W가 되고, 그 중 약 5%의 에너지를 185㎚의 자외선 출력으로서 외부로 도출할 수 있었다. 이 자외선 출력량은 발광관 사이즈, 필라멘트간 거리, 수은 및 희가스의 봉입량, 전기적 제 조건이 방전등(30)과 공통되는 종래 기술의 방전등에서 방사되는 자외선 출력량의 대강 1.5배의 출력량에 상당한다. 따라서, 본 실시예에 관한 방전등(30)은, 종래 기술의 방전등보다도 자외선의 방사효율이 현격하게 향상되어 있다.

또한 본 실시예에 나타내는 방전등(30)은, 관 외경 15mm, 두께 1mm, 방전전류 1A로 하였으나, 관 외경에 대한 두께의 비는 0.1∼0.04의 범위가 바람직하다. 이 범위는 자외선 흡수와 기계적 절대강도와의 상관관계에 유래하여 정해지는 범위 이다. 또한 방전전류밀도(관내의 단면적에 대한 방전전류)는 200㎃/㎠∼800㎃/㎠의 범위가 바람직하다. 이는 185㎚의 자외선의 발광효율과 경제성에 관계된다. 즉, 이 전류밀도범위를 벗어나면 방전 중에 있어서의 185㎚의 자외선으로의 변환효율이 급격히 저하하므로, 고가의 합성석영유리를 사용하는 의미가 없어지기 때문이다.

다음으로 방전등(30)에 의한 자외선 출력량이 종래 기술의 방전등의 그것보다도 높아지는 이유를 설명한다. 방전등(30)에서 발광관(11)은 4염화규소를 출발원료로 하여 인공적으로 제조된 합성석영유리로 되어 있다. 합성석영유리에서는, 단파장역의 185㎚의 자외선을 흡수하는 불순물 즉 나트륨(Na), 칼륨(K), 티타늄(Ti), 철(Fe) 등이 극히 적다. 덧붙여서 말하면, 합성석영유리에 포함되는 상기 불순물은 용융석영유리로 이루어지는 석영유리의 1/10 이하이다. 이와 같이 합성석영유리로 발광관(11)을 형성한 방전등(30)에서는, 해당 발광관(11)의 관벽에서의 자외선 흡수량이 종래 기술의 방전등에 비해 적고, 단파장역의 자외선 투과율이 우수하다는 특징이 있다. 이에 의해서 사용시작 초기의 자외선 강도(자외선 방사강도)가 높아지는 동시에, 자외선의 흡수, 석영유리 자신의 변질이라는 사이클에 의한 경시(經時)열화가 억제된다. 이에 의해 단파장역의 185㎚의 자외선 출력을 장기에 걸쳐 대폭적으로 향상시킨 수명이 긴 방전등이 된다.

따라서, 본 발명의 실시예에서 서술한 방전등(30)을 사용하여 이루어지는 자외선 조사장치에서는, 방전등(30)의 장수명화에 의하여, 1년마다 방전등(30)을 교환하는 교환 유지의 수고를 덜 수 있는 동시에, 1년마다 방전등(30)을 폐기하는 폐 기 처분이 불필요해지므로 자원 절약을 달성할 수 있는 효과가 있다.

도 3은, 본 발명의 실시예에서 서술한 방전등을 탑재한 자외선 조사장치(A)와 종래 기술의 방전등을 탑재한 자외선 조사장치(B)의 성능에 관해서 비교실험을 행한 실측 데이터를 도시하는 도면이다. 이 실험에서 방전등의 탑재 수는 각각 20등이고, 피처리수는 TOC(Total Organic Carbon:전유기체탄소)원을 20ppb의 메틸알콜에 포함한다. 실험에 있어서는, 장치 A 및 B에 관하여, 입수구와 출수구의 TOC 농도를 TOC 미터로 측정하여, 그 차에 처리유량을 곱한 수치를 총 T0C 분해량으로 하고, 그것을 방전등의 소비전력으로 다시 나누어, 단위전력당 분해량을 성능의 지표로 하고 있다. 즉, TOC 분해성능은 하기의 식으로 나타내어진다.

TOC 분해성능(㎎/kWH)

= (입수구 TOC 농도 - 출수구 T0C 농도) ×처리유량/소비전력

도면에서는 장치 A 및 B의 사용 월수를 장치 사용 월수로서 가로축에 도시하고, 이 장치 사용 월수에 따라서 얻어지는 장치 (A) 및 (B)의 TOC 분해성능을 TOC 분해성능비로서 세로축에 도시한다.

도면으로부터 명백히 알 수 있는 바와 같이, 종래 기술의 장치(B)에서는 방전등을 사용하기 시작한 초기의 성능분해값을 100%로 하면, 1년 후에는 성능분해값이 50% 가까이 까지 저하하였다. 일점쇄선으로 표시되는 분해성능값 50%는 장치 B의 허용한계능력이며, 1년 후에는 방전등의 일제교환을 필요로 한다. 이에 비해 본 발명에 의한 장치(A)에서는, 우선 방전등을 쓰기 시작한 초기의 성능분해값이 148%이고, 1년 경과 후에 성능분해값이 109%, 2년 경과 후에도 86%의 성능분해값을 유지하였다. 본 발명에 의한 장치(A)의 성능분해값은, 방전등의 사용시작 초기로부터 2년이 경과할 때까지 점근적으로 감소하는 경향을 나타내므로, 이 감소경향이 경시적으로 계속된다고 가정하면, 파선으로 도시하는 바와 같이 아마도 3년 경과 후에도 50% 이상의 성능분해값을 충분히 유지할 것으로 추정할 수 있다. 그 결과, 방전등의 정기 유지 기간을 3배 이상으로 연장할 수 있다. 이는 폐기물 즉 사용이 끝난 방전등을 1/3 이하로 저감할 수 있음을 의미하고 있다. 또한, 약 2년은 장치 A의 허용한계능력인 성능분해값 50%에 비하여 충분히 여유가 있으므로, 나중에 설명하는 바와 같이 방전등의 솎아냄 점등이나 조광 점등을 행하는 것도 가능해져, 에너지 절약으로도 이어진다는, 뛰어난 효과를 기대할 수 있다.

즉, 상기 실시예에 관한 방전등(30)을 사용한 자외선 조사장치의 운용방법에 대하여 설명하면, 상기 방전등(30)을 설치하여 소정의 피처리 액체에 대하여 유기물 분해 등의 처리를 하는 처리장치에서, 상기 방전등(30)을 다수 등 설치한다. 그리고, 설치된 다수 등 중, 소정 수를 소등하고 나머지를 점등하는 이른바 "솎아냄 점등"을 행하고, 또한 이 소등 및 점등하는 방전등의 조합(즉 "솎아냄 점등"의 조합)을 시간적 경과에 따라서 적절히 변경하도록 한다. 이에 의해, 설치한 방전등의 총 수보다도 적은 수의 방전등을 솎아냄 점등 사용하고, 이 솎아냄 점등의 조합을 시간적 경과에 따라서 변경하여, 돌아가며 사용함으로써, 방전등의 일제교환기간을 연장시킬 수 있어, 교환 유지의 수고를 덜고, 장기간에 걸친 가동을 가능하게 할 수 있다. 이러한 운용방법의 운용예로는, 예컨대 방사효율이 떨어졌던 종래 형의 방전등을 n개 설치하여 모든 수를 점등하고 있던 자외선 조사장치에 있어서, 본 실시예에 관한 방사효율이 좋은 방전등을 이용하면 n개보다도 적은 수인 m개의 방전등을 점등하는 것만으로 필요 충분한 처리효과를 올릴 수 있음을 감안하여, 본 실시예에 관한 방사효율이 좋은 방전등을 동시에 점등 필요한 m개보다 많은 n개(종래대로) 설치하여 자외선 조사장치를 구성하고, 이를 상기한 바와 같이 솎아냄 운전한다는 운용예가 있을 수 있다. 또한, 다른 운용방법으로서, 방전등의 자외선 광도를 가감하는 조광점등을 적절히 행하여도 된다.

이상 서술한 바와 같이 본 발명은, 자외선 조사장치에 탑재되는 방전등의 자외선 출력의 유지율을 장기에 걸쳐 확보하는 것을 목적으로 하여, 발광관을 이루는 석영유리를 합성석영유리로 구성하여 이루어지는 방전등을 사용한 발명이다. 따라서 그와 같은 본 발명의 특징을 충족하는 것이라면, 방전등의 구조 그 자체는 도 2에 도시한 타입의 것에 한정되지 않고, 어떠한 구조의 것이어도 된다. 예컨대, 실시예에서는 금속수은을 봉입한 방전등에 관하여 서술하였으나, 수은과 다른 금속의 아말감을 봉입한 방전등이더라도 동일한 효과가 있다. 또한, 필라멘트를 상시 가열하는 연속 히팅 타입의 방전등이나 필라멘트와 애노드를 병설한 타입의 방전등, 또는 양측에 충전 핀을 낸 양구금(兩口金) 타입이더라도, 저압수은증기방전등이라면 동일한 작용 ·효과를 발휘하는 것이다. 물론 저압수은증기방전등에 한하지 않고, 크세논가스(Xe2)나 크립톤가스와 염소가스(Kr+Cl)의 엑시머 발광을 이용한 방전등이어도 된다. 또한, 방전등의 단자 구성도, 도 2와 같은 2단자(31a, 31b)로 이루어지는 것에 한정되지 않고, 4단자 구성 등이어도 된다.

또한, 본 실시형태에서는, 피처리 액체가 연속적으로 흐르는 실린더(1) 내에 방전등(30)을 설치하는 개수로 설치 타입에 적용되는 폐쇄형의 액체처리용 자외선 조사장치를 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니라, 피처리 액체가 연속적으로 흐르는 개수로 중에 방전등(30)을 설치하는 개수로 설치 타입의 액체처리용 자외선 조사장치라도 된다.

이상과 같이 본 발명에 관한 자외선 조사장치에 의하면, 연속하여 흐르는 피처리 액체에 대하여 자외선을 장기간에 걸쳐 조사하는 연속운전이 가능해지므로, 유지 절약 효율화 및 자원 절약을 도모할 수 있다는 뛰어난 효과가 있다.

본 발명에 관한 자외선 조사장치의 운용방법에 의하면, 방전등의 일제교환기간을 연장시킬 수 있으므로, 교환 유지의 수고를 덜어, 장기간에 걸친 가동이 가능해진다는 뛰어난 효과가 있다.

Claims

사염화규소를 출발원료로 하여 인공적으로 생성된 합성석영유리관으로 제조된 발광관을 가지고, 185㎚의 자외선을 방사하는 저압수은증기 방전등과,

상기 방전등으로부터 방사되는 185nm의 자외선을, 연속하여 흐르는 피처리 액체에 대하여 끊임없이 계속 조사하는 처리장치를 구비하고

상기 합성석영유리관의 관외경에 대한 두께의 비는 0.1-0.04의 범위이고, 상기 저압수은 증기방전등을 관내의 단면적 당 200mA/㎠ - 800mA/㎠ 범위의 방전전류에서 동작시키는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치.
사염화규소를 출발원료로 하여 인공적으로 생성된 합성석영유리관으로 제조된 발광관을 갖고, 185㎚의 자외선을 방사하는 저압수은증기 방전등과, 상기 방전등으로부터 방사되는 185nm의 자외선을, 연속하여 흐르는 피처리 액체에 대하여 끊임없이 계속 조사하는 처리장치를 구비하고 상기 합성석영유리관의 관외경에 대한 두께의 비는 0.1-0.04의 범위이고, 상기 저압수은 증기방전등을 관내의 단면적 당 200mA/㎠ - 800mA/㎠ 의 범위의 방전전류에서 동작시키는 것을 특징으로 하는 하는 자외선 조사장치의 운용방법으로서,

상기 185nm의 자외선을 방사하는 저압수은증기 방전등을 복수등 설치하고, 설치된 복수등 중 소정의 수를 소등하고 나머지를 점등하여, 이 소등 및 점등하는 방전등의 조합을 시간적 경과에 따라서 변경하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치의 운용방법.