JP2002097036A - 短波長紫外線用石英ガラス、それを使用した放電灯、その収納容器および紫外線照射装置 - Google Patents
短波長紫外線用石英ガラス、それを使用した放電灯、その収納容器および紫外線照射装置Info
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- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 短波長域の紫外線透過率の経時劣化を改善し
た石英ガラスを提供すること。紫外線強度維持率を大幅
に改善した、低コストで省エネルギー型の放電灯及び照
射装置を提供すること。 【解決手段】 ２００ｎｍ以下の波長域の紫外線に晒さ
れて使用される石英ガラスにおいて、天然の水晶もしく
は珪砂を出発原料とし、ナトリウム、カリウム、チタニ
ウムおよび鉄の４種からなる元素の総含有量が２．５ｐ
ｐｍ以下であって、１０ｐｐｍ以上のＯＨ基を含むよう
に構成する。この石英ガラスを紫外線放電灯（Ｌ）の発
光管バルブ（１１）の素材として用いる。また、この石
英ガラスを紫外線放電灯を収納する紫外線透過性の外管
の素材（保護管）として用いる。
た石英ガラスを提供すること。紫外線強度維持率を大幅
に改善した、低コストで省エネルギー型の放電灯及び照
射装置を提供すること。 【解決手段】 ２００ｎｍ以下の波長域の紫外線に晒さ
れて使用される石英ガラスにおいて、天然の水晶もしく
は珪砂を出発原料とし、ナトリウム、カリウム、チタニ
ウムおよび鉄の４種からなる元素の総含有量が２．５ｐ
ｐｍ以下であって、１０ｐｐｍ以上のＯＨ基を含むよう
に構成する。この石英ガラスを紫外線放電灯（Ｌ）の発
光管バルブ（１１）の素材として用いる。また、この石
英ガラスを紫外線放電灯を収納する紫外線透過性の外管
の素材（保護管）として用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、２００ｎｍ以下の
波長域の紫外線エネルギーを放射して有機物の分解処理
等を行う装置等に使用される石英ガラスの改良に関し、
更に該石英ガラスを使用した放電灯および紫外線照射装
置に関する。
波長域の紫外線エネルギーを放射して有機物の分解処理
等を行う装置等に使用される石英ガラスの改良に関し、
更に該石英ガラスを使用した放電灯および紫外線照射装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】短波長域の紫外線は強いエネルギーを有
することから、有害物や有機物の分解など多岐にわたっ
て利用されている。図４は、従来知られた閉鎖型の液体
処理用紫外線照射装置の一例を示す。放電灯３０を外管
（保護管）２０内に収納したものが、ステンレス製のシ
リンダー１内に収容され、被処理液体が該シリンダー１
内に導入されて放電灯３０から発光した紫外線が照射さ
れる。放電灯３０としては、例えば１８５ｎｍの波長域
の紫外線を効率よく放射する低圧水銀蒸気放電灯が使用
される。放電灯３０の発光管バルブ１０は紫外線透過性
に優れた石英ガラスからできている。放電灯３０は紫外
線透過性の外管（保護管）２０の内部に収納され、該放
電灯３０が被処理液体から液密に隔離される。かかる外
管２０も紫外線透過性に優れた石英ガラスでできてい
る。シリンダー１の両端はフランジ１ａ，１ｂで閉じら
れており、入水口１ｃから取り入れられた被処理液体
が、シリンダー１内を通過する過程で紫外線照射され、
出水口１ｄから排出される。被処理液体は、入水口１ｃ
から出水口１ｄに向かってシリンダー１内を流れること
になるが、被処理液体がショートパスしないように、途
中に複数枚（図では５枚）の緩流板１ｅ〜１ｉを配置し
た構造になっている。なお、便宜上、図５には放電灯３
０を１灯だけ搭載した装置を図解したが、実用的には多
灯式の大容量装置が使用される場合が多い。放電灯３０
から発せられた紫外線は、外管２０を透過し、被処理液
体に照射される。照射された紫外線は、例えば水中に存
在する有機物を次式のように無害なＣＯ、ＣＯ2、Ｈ2Ｏ
に分解する作用を果たすことになる。 Ｈ2Ｏ ＋ ｈν（１８５ｎｍ）→ Ｈ ＋ ＯＨラジ
カル ＣnＨmＯk ＋ ＯＨラジカル → ＣＯ、ＣＯ2、Ｈ2
Ｏ （ｎ，ｍ，ｋ， は １，２，３，……）
することから、有害物や有機物の分解など多岐にわたっ
て利用されている。図４は、従来知られた閉鎖型の液体
処理用紫外線照射装置の一例を示す。放電灯３０を外管
（保護管）２０内に収納したものが、ステンレス製のシ
リンダー１内に収容され、被処理液体が該シリンダー１
内に導入されて放電灯３０から発光した紫外線が照射さ
れる。放電灯３０としては、例えば１８５ｎｍの波長域
の紫外線を効率よく放射する低圧水銀蒸気放電灯が使用
される。放電灯３０の発光管バルブ１０は紫外線透過性
に優れた石英ガラスからできている。放電灯３０は紫外
線透過性の外管（保護管）２０の内部に収納され、該放
電灯３０が被処理液体から液密に隔離される。かかる外
管２０も紫外線透過性に優れた石英ガラスでできてい
る。シリンダー１の両端はフランジ１ａ，１ｂで閉じら
れており、入水口１ｃから取り入れられた被処理液体
が、シリンダー１内を通過する過程で紫外線照射され、
出水口１ｄから排出される。被処理液体は、入水口１ｃ
から出水口１ｄに向かってシリンダー１内を流れること
になるが、被処理液体がショートパスしないように、途
中に複数枚（図では５枚）の緩流板１ｅ〜１ｉを配置し
た構造になっている。なお、便宜上、図５には放電灯３
０を１灯だけ搭載した装置を図解したが、実用的には多
灯式の大容量装置が使用される場合が多い。放電灯３０
から発せられた紫外線は、外管２０を透過し、被処理液
体に照射される。照射された紫外線は、例えば水中に存
在する有機物を次式のように無害なＣＯ、ＣＯ2、Ｈ2Ｏ
に分解する作用を果たすことになる。 Ｈ2Ｏ ＋ ｈν（１８５ｎｍ）→ Ｈ ＋ ＯＨラジ
カル ＣnＨmＯk ＋ ＯＨラジカル → ＣＯ、ＣＯ2、Ｈ2
Ｏ （ｎ，ｍ，ｋ， は １，２，３，……）
【０００３】図５は、放電灯３０の一構成例を示すもの
である。石英ガラス製の発光管バルブ１０の両端はガラ
スステム２ａ，２ｂで気密に閉塞されている。２１ａ，
２１ｂは一対のフィラメントで、放電をスムースに行わ
せる目的で酸化バリウム（ＢａＯ）系のエミッターが塗
布されている。フィラメント２１ａ，２１ｂはそれぞ
れ、ガラスステム２ａ，２ｂ上に保持され、インナーリ
ード２２ａ〜２２ｄ、モリブデン箔２４ａ〜２４ｄ、ア
ウターリード２５ａ〜２５ｄを介して、口金部３ａ，３
ｂの端子３１ａ〜３１ｄに電気的に通じている。また、
バルブ内には適量の水銀とアルゴンガスが封入されてい
る。かかる放電灯３０を所定の電源（図示せず）に接続
して電力を投じるとフィラメント２１ａ，２１ｂ間で放
電し、放電熱で水銀が蒸発すると共に水銀原子が励起さ
れて紫外線を発することになる。
である。石英ガラス製の発光管バルブ１０の両端はガラ
スステム２ａ，２ｂで気密に閉塞されている。２１ａ，
２１ｂは一対のフィラメントで、放電をスムースに行わ
せる目的で酸化バリウム（ＢａＯ）系のエミッターが塗
布されている。フィラメント２１ａ，２１ｂはそれぞ
れ、ガラスステム２ａ，２ｂ上に保持され、インナーリ
ード２２ａ〜２２ｄ、モリブデン箔２４ａ〜２４ｄ、ア
ウターリード２５ａ〜２５ｄを介して、口金部３ａ，３
ｂの端子３１ａ〜３１ｄに電気的に通じている。また、
バルブ内には適量の水銀とアルゴンガスが封入されてい
る。かかる放電灯３０を所定の電源（図示せず）に接続
して電力を投じるとフィラメント２１ａ，２１ｂ間で放
電し、放電熱で水銀が蒸発すると共に水銀原子が励起さ
れて紫外線を発することになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年は処理
能力を高める目的から紫外線光源の高密度化が図られて
いる。高密度化とは、放電灯の電力を高め、紫外線の総
量を増大させるものである。ところが、本発明者はこの
高密度化に伴って、放電灯の点灯時間が進むにつれて処
理能力が大幅に低下するという新たな問題が生じること
を見いだした。具体的には、例えばＴＯＣ（有機物）濃
度１０ｐｐｂの原水を１ｐｐｂ以下に分解するのに必要
な放電灯の消費電力で表現すると、処理能力が初期には
０．３ｋＷｈ／トンであったのに対して、約１年後には
０．７ｋＷｈ／トンと２倍以上の電力量を要してしま
い、処理能力が半減することに気付いた。従来はこのよ
うな問題に気付かれることはなく、漫然と放置されてい
た。よって、かかる問題を適切に改善する必要がある。
能力を高める目的から紫外線光源の高密度化が図られて
いる。高密度化とは、放電灯の電力を高め、紫外線の総
量を増大させるものである。ところが、本発明者はこの
高密度化に伴って、放電灯の点灯時間が進むにつれて処
理能力が大幅に低下するという新たな問題が生じること
を見いだした。具体的には、例えばＴＯＣ（有機物）濃
度１０ｐｐｂの原水を１ｐｐｂ以下に分解するのに必要
な放電灯の消費電力で表現すると、処理能力が初期には
０．３ｋＷｈ／トンであったのに対して、約１年後には
０．７ｋＷｈ／トンと２倍以上の電力量を要してしま
い、処理能力が半減することに気付いた。従来はこのよ
うな問題に気付かれることはなく、漫然と放置されてい
た。よって、かかる問題を適切に改善する必要がある。
【０００５】本発明者は、かかる問題を解決するため
に、様々な観点からその原因との究明とその解決策の案
出を試み、このたび、紫外線を透過させる石英ガラスの
紫外線透過性の経時劣化に原因があることをつきとめ
た。そして、かかる石英ガラスの紫外線透過性の経時劣
化を改善する明確な方策を案出するに至った。よって、
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、短波長域の
紫外線透過率の経時劣化を改善した石英ガラスを提供す
ると共に、かかる石英ガラスを使用することで紫外線強
度維持率を大幅に改善した高密度放電灯を提供し、更に
はかかる石英ガラスあるいは放電灯を使用することで省
エネルギー型の紫外線照射装置を提供しようとするもの
である。
に、様々な観点からその原因との究明とその解決策の案
出を試み、このたび、紫外線を透過させる石英ガラスの
紫外線透過性の経時劣化に原因があることをつきとめ
た。そして、かかる石英ガラスの紫外線透過性の経時劣
化を改善する明確な方策を案出するに至った。よって、
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、短波長域の
紫外線透過率の経時劣化を改善した石英ガラスを提供す
ると共に、かかる石英ガラスを使用することで紫外線強
度維持率を大幅に改善した高密度放電灯を提供し、更に
はかかる石英ガラスあるいは放電灯を使用することで省
エネルギー型の紫外線照射装置を提供しようとするもの
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の問題
について、実験と解析を繰り返した結果、放電灯自身が
放射する短波長紫外線によって放電灯の管体を成す石英
ガラスが変質し、透過率を低下させ、紫外線強度維持率
が経時的に低下することが原因であるとの結論を得た。
つまり、従来知られた低密度光源では、紫外線の絶対量
が少ないために著しい変質が生じなかったのに対して、
放電灯の高密度化によってかかる変質が顕著な経時劣化
現象となって現れたものと理解される。そして、本発明
者は、紫外線強度維持率を大幅に改善し得る石英ガラス
組成の存在を見出した。すなわち、本発明者が発見した
事実は主に以下の三点である。一点目は、石英ガラスの
本質を成す主成分の二酸化珪素（ＳｉＯ2）の中に、ナ
トリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、チタニウム（Ｔ
ｉ）および鉄（Ｆｅ）の不純物が多く存在すると短波長
紫外線を吸収し、石英ガラスの透過率低下をきたすこ
と。石英ガラスの経時的透過率低下がこれらの不純物に
起因することは、数多くのガラスサンプルを短波長紫外
線透過率の観点で調査分析し、統計的手法を用いて特定
した。二点目は、初期においては若干の透過率低下であ
っても放電灯の使用中に石英ガラスを経時的に変質さ
せ、次第に大幅な透過率低下につながること。三点目
は、ＯＨ基の存在によって上述した石英ガラスの変質を
緩和させ得ること。石英ガラスの変質及び変質緩和のメ
カニズムについて考察した結果を述べると次のようにな
る。変質は、石英ガラスの「Ｓｉ−Ｏ」の結合が紫外線
エネルギーによって分解しフリーの珪素（Ｓｉ）が生成
されるために生ずる現象であって透過率低下を伴う。こ
こで、「Ｓｉ−Ｏ」の解離エネルギーは１４５ｋＣａｌ
／ｍｏｌであることから、２００ｎｍの紫外線エネルギ
ーに相当する。よって、石英ガラスが２００ｎｍ以下の
波長の紫外線に晒されたとき透過率低下の原因となる
「Ｓｉ−Ｏ」の解離が生じることになる。そして、変質
緩和とは、フリーの珪素（Ｓｉ）がＯＨ基と再結合して
「Ｓｉ−ＯＨ」になることで、フリーのＳｉの存在を抑
制する効能を持つと考えられる。
について、実験と解析を繰り返した結果、放電灯自身が
放射する短波長紫外線によって放電灯の管体を成す石英
ガラスが変質し、透過率を低下させ、紫外線強度維持率
が経時的に低下することが原因であるとの結論を得た。
つまり、従来知られた低密度光源では、紫外線の絶対量
が少ないために著しい変質が生じなかったのに対して、
放電灯の高密度化によってかかる変質が顕著な経時劣化
現象となって現れたものと理解される。そして、本発明
者は、紫外線強度維持率を大幅に改善し得る石英ガラス
組成の存在を見出した。すなわち、本発明者が発見した
事実は主に以下の三点である。一点目は、石英ガラスの
本質を成す主成分の二酸化珪素（ＳｉＯ2）の中に、ナ
トリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、チタニウム（Ｔ
ｉ）および鉄（Ｆｅ）の不純物が多く存在すると短波長
紫外線を吸収し、石英ガラスの透過率低下をきたすこ
と。石英ガラスの経時的透過率低下がこれらの不純物に
起因することは、数多くのガラスサンプルを短波長紫外
線透過率の観点で調査分析し、統計的手法を用いて特定
した。二点目は、初期においては若干の透過率低下であ
っても放電灯の使用中に石英ガラスを経時的に変質さ
せ、次第に大幅な透過率低下につながること。三点目
は、ＯＨ基の存在によって上述した石英ガラスの変質を
緩和させ得ること。石英ガラスの変質及び変質緩和のメ
カニズムについて考察した結果を述べると次のようにな
る。変質は、石英ガラスの「Ｓｉ−Ｏ」の結合が紫外線
エネルギーによって分解しフリーの珪素（Ｓｉ）が生成
されるために生ずる現象であって透過率低下を伴う。こ
こで、「Ｓｉ−Ｏ」の解離エネルギーは１４５ｋＣａｌ
／ｍｏｌであることから、２００ｎｍの紫外線エネルギ
ーに相当する。よって、石英ガラスが２００ｎｍ以下の
波長の紫外線に晒されたとき透過率低下の原因となる
「Ｓｉ−Ｏ」の解離が生じることになる。そして、変質
緩和とは、フリーの珪素（Ｓｉ）がＯＨ基と再結合して
「Ｓｉ−ＯＨ」になることで、フリーのＳｉの存在を抑
制する効能を持つと考えられる。
【０００７】かくして、以上を考慮して、本発明に係る
短波長紫外線用石英ガラスは、２００ｎｍ以下の波長域
の紫外線に晒されて使用される石英ガラスにおいて、天
然の水晶もしくは珪砂を出発原料とし、ナトリウム（Ｎ
ａ）、カリウム（Ｋ）、チタニウム（Ｔｉ）および鉄
（Ｆｅ）の４種からなる元素の総含有量が２．５ｐｐｍ
以下であって、１０ｐｐｍ以上のＯＨ基を含むことを特
徴とするものである。
短波長紫外線用石英ガラスは、２００ｎｍ以下の波長域
の紫外線に晒されて使用される石英ガラスにおいて、天
然の水晶もしくは珪砂を出発原料とし、ナトリウム（Ｎ
ａ）、カリウム（Ｋ）、チタニウム（Ｔｉ）および鉄
（Ｆｅ）の４種からなる元素の総含有量が２．５ｐｐｍ
以下であって、１０ｐｐｍ以上のＯＨ基を含むことを特
徴とするものである。
【０００８】天然の水晶もしくは珪砂を出発原料とする
石英ガラスにあっては、各種の物質が不純物として含ま
れている。上記のように、これらの不純物の中でも、ナ
トリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、チタニウム（Ｔ
ｉ）および鉄（Ｆｅ）の４種の元素が多く存在すると、
石英ガラスの透過率低下をきたす原因となる。その一方
で、ＯＨ基の存在が石英ガラスの変質を緩和させ得る。
すなわち、石英ガラスの主成分である二酸化珪素（Ｓｉ
Ｏ2）の「Ｓｉ−Ｏ」の結合が紫外線エネルギーによっ
て分解されて透過率低下の原因となるフリーのＳｉが生
成されるのを、ＯＨ基がフリーのＳｉと再結合して「Ｓ
ｉ−ＯＨ」になることで抑制することができる。発明者
による実験・研究の結果、これらの４種の元素の総含有
量が２．５ｐｐｍ以下であって、１０ｐｐｍ以上のＯＨ
基を含むようにすると、短波長域紫外線による石英ガラ
スの経時劣化をかなり改善できることが判明した。よっ
て、石英ガラスの材質をそのように選定若しくは設定す
ることにより、短波長域紫外線による経時劣化をかなり
改善した（すなわち、良好な紫外線透過率を長期間維持
することのできる）石英ガラスを提供することができ
る。
石英ガラスにあっては、各種の物質が不純物として含ま
れている。上記のように、これらの不純物の中でも、ナ
トリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、チタニウム（Ｔ
ｉ）および鉄（Ｆｅ）の４種の元素が多く存在すると、
石英ガラスの透過率低下をきたす原因となる。その一方
で、ＯＨ基の存在が石英ガラスの変質を緩和させ得る。
すなわち、石英ガラスの主成分である二酸化珪素（Ｓｉ
Ｏ2）の「Ｓｉ−Ｏ」の結合が紫外線エネルギーによっ
て分解されて透過率低下の原因となるフリーのＳｉが生
成されるのを、ＯＨ基がフリーのＳｉと再結合して「Ｓ
ｉ−ＯＨ」になることで抑制することができる。発明者
による実験・研究の結果、これらの４種の元素の総含有
量が２．５ｐｐｍ以下であって、１０ｐｐｍ以上のＯＨ
基を含むようにすると、短波長域紫外線による石英ガラ
スの経時劣化をかなり改善できることが判明した。よっ
て、石英ガラスの材質をそのように選定若しくは設定す
ることにより、短波長域紫外線による経時劣化をかなり
改善した（すなわち、良好な紫外線透過率を長期間維持
することのできる）石英ガラスを提供することができ
る。
【０００９】なお、２００ｎｍよりも長い波長域の紫外
線に対しては、上記のように石英ガラスにおける「Ｓｉ
−Ｏ」の解離が起こりにくいので、本発明の対象外とし
た。また、上記４種の元素の総含有量の境界値を「２．
５ｐｐｍ以下」と設定した理由は、実験を重ねた結果の
経験に基づき設定した。例えば、「４．０ｐｐｍ」の総
含有量のものでは明らかに良くなく、「３．０６ｐｐ
ｍ」の総含有量のものでもあまり良くない。一方、
「１．５６ｐｐｍ」の総含有量のものは良好であり、ま
た、「１．２０ｐｐｍ」の総含有量のものも良好である
ことが確認できた。よって、これらの経験的データのほ
ぼ中間をとって、「２．５ｐｐｍ以下」の総含有量に境
界設定をすれば、良好な結果を得ることができることが
確認された。また、ＯＨ基の含有量の境界値を「１０ｐ
ｐｍ以上」と設定した理由は、フリーのＳｉを捕捉する
だけの量が存在していればよいことから、最低ラインを
そのように設定した。
線に対しては、上記のように石英ガラスにおける「Ｓｉ
−Ｏ」の解離が起こりにくいので、本発明の対象外とし
た。また、上記４種の元素の総含有量の境界値を「２．
５ｐｐｍ以下」と設定した理由は、実験を重ねた結果の
経験に基づき設定した。例えば、「４．０ｐｐｍ」の総
含有量のものでは明らかに良くなく、「３．０６ｐｐ
ｍ」の総含有量のものでもあまり良くない。一方、
「１．５６ｐｐｍ」の総含有量のものは良好であり、ま
た、「１．２０ｐｐｍ」の総含有量のものも良好である
ことが確認できた。よって、これらの経験的データのほ
ぼ中間をとって、「２．５ｐｐｍ以下」の総含有量に境
界設定をすれば、良好な結果を得ることができることが
確認された。また、ＯＨ基の含有量の境界値を「１０ｐ
ｐｍ以上」と設定した理由は、フリーのＳｉを捕捉する
だけの量が存在していればよいことから、最低ラインを
そのように設定した。
【００１０】本発明に係る放電灯は、上記のように構成
した石英ガラスを素材とした容器の中に、２００ｎｍ以
下の波長域の紫外線を発光する物質を封入して構成した
ことを特徴とする放電灯である。この構造によって、紫
外線強度維持率を大幅に改善した放電灯を提供すること
が可能となる。
した石英ガラスを素材とした容器の中に、２００ｎｍ以
下の波長域の紫外線を発光する物質を封入して構成した
ことを特徴とする放電灯である。この構造によって、紫
外線強度維持率を大幅に改善した放電灯を提供すること
が可能となる。
【００１１】本発明に係る紫外線照射装置は、上記のよ
うに構成した放電灯を搭載したことを特徴とするもので
ある。これにより、長期間にわたって高い紫外線透過率
を維持することのできる紫外線照射装置を提供すること
ができ、ランニングコストの安い、省エネルギー型の紫
外線照射装置を提供することが可能となる。
うに構成した放電灯を搭載したことを特徴とするもので
ある。これにより、長期間にわたって高い紫外線透過率
を維持することのできる紫外線照射装置を提供すること
ができ、ランニングコストの安い、省エネルギー型の紫
外線照射装置を提供することが可能となる。
【００１２】本発明に係る石英ガラスは、上記のように
紫外線放電灯の容器（バルブ）そのものに限らず、該放
電灯を保護するための容器つまり外管若しくは保護管の
素材としても利用するこができる。この場合も、上述と
同様の作用効果が期待できる。また、本発明に係る石英
ガラスを、紫外線放電灯の容器（バルブ）そのものに使
用すると同時に、該放電灯を保護するための容器つまり
外管若しくは保護管の素材としても利用するようにして
よく、そうすると、より一層ランニングコストの安い、
省エネルギー型の紫外線照射装置を提供できる。
紫外線放電灯の容器（バルブ）そのものに限らず、該放
電灯を保護するための容器つまり外管若しくは保護管の
素材としても利用するこができる。この場合も、上述と
同様の作用効果が期待できる。また、本発明に係る石英
ガラスを、紫外線放電灯の容器（バルブ）そのものに使
用すると同時に、該放電灯を保護するための容器つまり
外管若しくは保護管の素材としても利用するようにして
よく、そうすると、より一層ランニングコストの安い、
省エネルギー型の紫外線照射装置を提供できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１に本発明の一実施例に係る放
電灯Ｌの一例を示す。図１に示す放電灯Ｌが、図５に示
した従来の放電灯３０と異なる点は、本発明の一実施例
に係る放電灯Ｌの発光管バルブ１１の材質が、従来の放
電灯３０の発光管バルブ１０の材質と異なっている点の
みである。他の構成は、従来同様のものを用いてよいの
で、それらについての詳細説明は省略する。放電灯Ｌの
発光管バルブ１１の材質を構成する石英ガラスは、天然
の水晶もしくは珪砂を出発原料とするものであって、ナ
トリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、チタニウム（Ｔ
ｉ）および鉄（Ｆｅ）の４種類からなる元素の総含有量
が２．５ｐｐｍ以下であって、１０ｐｐｍ以上のＯＨ基
を含むものからなっている。例えば、発光管バルブ１１
の内径は２２ｍｍ、肉圧は１ｍｍで、その両端には１５
０ｃｍの間隔で酸化バリウム系のエミッターを塗布した
一対のフィラメント２１ａ，２１ｂが配置してあり、ま
た、管内には約２０ｍｇの水銀と１３０Ｐａのアルゴン
ガスを封入してある。また、放電灯Ｌは、２００ｎｍ以
下の波長域の紫外線を発光するように構成される。この
ように、放電灯Ｌの発光管バルブ１１の材質を構成する
石英ガラスにおいて、ナトリウム（Ｎａ）、カリウム
（Ｋ）、チタニウム（Ｔｉ）および鉄（Ｆｅ）の４種類
からなる元素の総含有量が２．５ｐｐｍ以下であって、
１０ｐｐｍ以上のＯＨ基を含むようにしたことにより、
該放電灯Ｌによって発光される短波長域紫外線による発
光管バルブ１１の石英ガラスの経時劣化をかなり改善で
きる。
電灯Ｌの一例を示す。図１に示す放電灯Ｌが、図５に示
した従来の放電灯３０と異なる点は、本発明の一実施例
に係る放電灯Ｌの発光管バルブ１１の材質が、従来の放
電灯３０の発光管バルブ１０の材質と異なっている点の
みである。他の構成は、従来同様のものを用いてよいの
で、それらについての詳細説明は省略する。放電灯Ｌの
発光管バルブ１１の材質を構成する石英ガラスは、天然
の水晶もしくは珪砂を出発原料とするものであって、ナ
トリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、チタニウム（Ｔ
ｉ）および鉄（Ｆｅ）の４種類からなる元素の総含有量
が２．５ｐｐｍ以下であって、１０ｐｐｍ以上のＯＨ基
を含むものからなっている。例えば、発光管バルブ１１
の内径は２２ｍｍ、肉圧は１ｍｍで、その両端には１５
０ｃｍの間隔で酸化バリウム系のエミッターを塗布した
一対のフィラメント２１ａ，２１ｂが配置してあり、ま
た、管内には約２０ｍｇの水銀と１３０Ｐａのアルゴン
ガスを封入してある。また、放電灯Ｌは、２００ｎｍ以
下の波長域の紫外線を発光するように構成される。この
ように、放電灯Ｌの発光管バルブ１１の材質を構成する
石英ガラスにおいて、ナトリウム（Ｎａ）、カリウム
（Ｋ）、チタニウム（Ｔｉ）および鉄（Ｆｅ）の４種類
からなる元素の総含有量が２．５ｐｐｍ以下であって、
１０ｐｐｍ以上のＯＨ基を含むようにしたことにより、
該放電灯Ｌによって発光される短波長域紫外線による発
光管バルブ１１の石英ガラスの経時劣化をかなり改善で
きる。
【００１４】図２は、石英ガラスの組成として、ナトリ
ウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、チタニウム（Ｔｉ）、
鉄（Ｆｅ）の総含有量およびＯＨ基の含有量をパラメー
タとして製作した各種の放電灯を長期間にわたって点灯
実験することに得られた紫外線強度維持率曲線である。
放電灯の形状・寸法はいずれも同じで、横軸は点灯時
間、たて軸は本発明による放電灯の強度の初期値を１０
０％とした時の１８５ｎｍ波長の紫外線強度である。各
曲線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに対応する各放電灯における石英ガ
ラスの組成条件は下記表の通りである。
ウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、チタニウム（Ｔｉ）、
鉄（Ｆｅ）の総含有量およびＯＨ基の含有量をパラメー
タとして製作した各種の放電灯を長期間にわたって点灯
実験することに得られた紫外線強度維持率曲線である。
放電灯の形状・寸法はいずれも同じで、横軸は点灯時
間、たて軸は本発明による放電灯の強度の初期値を１０
０％とした時の１８５ｎｍ波長の紫外線強度である。各
曲線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに対応する各放電灯における石英ガ
ラスの組成条件は下記表の通りである。
【００１５】
【００１６】曲線Ａが、本発明で定義するナトリウム
（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、チタニウム（Ｔｉ）および
鉄（Ｆｅ）の４種類からなる元素の総含有量が２．５ｐ
ｐｍ以下であって、１０ｐｐｍ以上のＯＨ基を含む、と
いう条件を満たすものであり、曲線Ｂ，Ｃ，Ｄはこの条
件を満たさないものである。図２において、曲線Ａが一
番良い結果を示していることから明らかなように、石英
ガラス中の不純物であるナトリウム（Ｎａ）、カリウム
（Ｋ）、チタニウム（Ｔｉ）、鉄（Ｆｅ）の４種の元素
の総含有量およびＯＨ基の含有量を本発明に従って設定
することで、経時的な紫外線強度維持率を大きく向上さ
せることができる。なお、図２の実験に際しては、大気
中での紫外線に対する反応によりオゾンが発生し、その
発生したオゾンが放電灯と紫外線強度計の間に介在する
と測定値がばらつくので、紫外線強度計を放電灯外面に
直付けして測定した。
（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、チタニウム（Ｔｉ）および
鉄（Ｆｅ）の４種類からなる元素の総含有量が２．５ｐ
ｐｍ以下であって、１０ｐｐｍ以上のＯＨ基を含む、と
いう条件を満たすものであり、曲線Ｂ，Ｃ，Ｄはこの条
件を満たさないものである。図２において、曲線Ａが一
番良い結果を示していることから明らかなように、石英
ガラス中の不純物であるナトリウム（Ｎａ）、カリウム
（Ｋ）、チタニウム（Ｔｉ）、鉄（Ｆｅ）の４種の元素
の総含有量およびＯＨ基の含有量を本発明に従って設定
することで、経時的な紫外線強度維持率を大きく向上さ
せることができる。なお、図２の実験に際しては、大気
中での紫外線に対する反応によりオゾンが発生し、その
発生したオゾンが放電灯と紫外線強度計の間に介在する
と測定値がばらつくので、紫外線強度計を放電灯外面に
直付けして測定した。
【００１７】本発明が適用される紫外線殺菌・消毒の技
術分野にあっては、放電灯の入力密度の大小にかかわら
ず、一般に１年間使用後の紫外線維持率を７０％とみな
して装置を設計するので、その観点に立つと、図２の曲
線Ａの結果をもたらす組成の石英ガラスが有効であり、
曲線Ｂ，Ｃ，Ｄの結果をもたらす組成の石英ガラスは明
らかに有効ではないことがわかる。このように、石英ガ
ラスの不純物であるナトリウム（Ｎａ）、カリウム
（Ｋ）、チタニウム（Ｔｉ）、鉄（Ｆｅ）の４種の元素
の総含有量が「２．５ｐｐｍ以下」であれば、１年間使
用後の紫外線維持率を７０％以上に確保することができ
る。なお、ＯＨ基の含有量に関して注釈するならば、１
０ｐｐｍ未満はＳｉ−ＯＨの再結合効果に対して不十分
である。
術分野にあっては、放電灯の入力密度の大小にかかわら
ず、一般に１年間使用後の紫外線維持率を７０％とみな
して装置を設計するので、その観点に立つと、図２の曲
線Ａの結果をもたらす組成の石英ガラスが有効であり、
曲線Ｂ，Ｃ，Ｄの結果をもたらす組成の石英ガラスは明
らかに有効ではないことがわかる。このように、石英ガ
ラスの不純物であるナトリウム（Ｎａ）、カリウム
（Ｋ）、チタニウム（Ｔｉ）、鉄（Ｆｅ）の４種の元素
の総含有量が「２．５ｐｐｍ以下」であれば、１年間使
用後の紫外線維持率を７０％以上に確保することができ
る。なお、ＯＨ基の含有量に関して注釈するならば、１
０ｐｐｍ未満はＳｉ−ＯＨの再結合効果に対して不十分
である。
【００１８】上記実施例では本発明に係る石英ガラスを
使用した例として、水銀を発光物質とした水銀蒸気放電
灯について述べたが、水銀蒸気放電灯のみならず、２０
０ｎｍ以下の波長域に発光する放電灯であれば、例えば
クセノン（Ｘｅ）、塩素（Ｃｌ）、臭素（Ｂｒ）、フッ
素（Ｆ）等、エキシマ発光を放射し得る物質を封入した
放電灯等についても、本発明を適用することで、同様の
作用効果を得ることができる。また、上記実施例ではフ
ィラメントを備えた放電灯を用いて説明したが、有電
極、無電極等の構造に関係なく、いずれの点灯方式から
なる放電灯に対しても本発明を適用することができ、同
様の作用効果を得ることができる。
使用した例として、水銀を発光物質とした水銀蒸気放電
灯について述べたが、水銀蒸気放電灯のみならず、２０
０ｎｍ以下の波長域に発光する放電灯であれば、例えば
クセノン（Ｘｅ）、塩素（Ｃｌ）、臭素（Ｂｒ）、フッ
素（Ｆ）等、エキシマ発光を放射し得る物質を封入した
放電灯等についても、本発明を適用することで、同様の
作用効果を得ることができる。また、上記実施例ではフ
ィラメントを備えた放電灯を用いて説明したが、有電
極、無電極等の構造に関係なく、いずれの点灯方式から
なる放電灯に対しても本発明を適用することができ、同
様の作用効果を得ることができる。
【００１９】また、本発明に係る素材からなる石英ガラ
スは、放電灯それ自体の発光管バルブに限らず、２００
ｎｍ以下の波長域の紫外線に晒されて使用される如何な
る部分・部品・装置においても使用することができる。
例えば、図４に示されたような外管（保護管）２０にお
ける紫外線透過性ガラス壁の材質として本発明に係る石
英ガラスを使用することができる。このような放電灯収
納用の外管（保護管）つまり容器の形状は、円筒形に限
らず、どのような形状であってもよい。
スは、放電灯それ自体の発光管バルブに限らず、２００
ｎｍ以下の波長域の紫外線に晒されて使用される如何な
る部分・部品・装置においても使用することができる。
例えば、図４に示されたような外管（保護管）２０にお
ける紫外線透過性ガラス壁の材質として本発明に係る石
英ガラスを使用することができる。このような放電灯収
納用の外管（保護管）つまり容器の形状は、円筒形に限
らず、どのような形状であってもよい。
【００２０】図１に示した本発明の実施例に係る放電灯
Ｌ（発光管バルブ１１の内径が２２ｍｍ、肉厚が１ｍ
ｍ、フィラメント間隔が１５０ｃｍで、約２０ｍｇの水
銀と１３０Ｐａのアルゴンガスを封入したもの）を本発
明に係る素材からなる石英ガラス製の外管内に収納して
なる紫外線照射装置（以下、本発明装置という）と、従
来技術による放電灯を従来技術による石英ガラス製外管
内に収納してなる紫外線照射装置（以下、従来装置とい
う）との経時的処理能力を対比した実験結果を図３に示
す。図３は、本発明装置と従来装置につき、ＴＯＣ濃度
１０ｐｐｂの原水を１ｐｐｂ以下にできる処理能力を単
位電力量当たりの処理流量で比較した図であり、たて軸
が該処理流量（トン／ｋＷＨ）を示し、横軸が時間を示
す。ここで、本発明装置と従来装置とでは、放電灯およ
び外管に使用する石英ガラスの材質が異なる点以外は全
く同一の構成・寸法の装置を使用した。この図より、従
来装置は、１年間の使用目安となる８５００時間後には
約４０％に能力低下するのに対して、本発明装置は８０
％近い能力を維持していることが分かる。つまり、両者
の処理能力は、初期には僅かな差ではあるものの、使用
時間が進むにつれて著しい差が生じることが明らかであ
る。ここで、かかる紫外線照射装置は、殺菌・消毒等の
目的で各種プラントや工場などで長期にわたって使用さ
れるものであるため、一般に装置の規模は１年後の能力
を考慮して設計している。よって、従来装置では、１年
後の大きな能力低下を考慮に入れてそれに耐えうるよう
放電灯数を増しておくなど初期設備投資が嵩むのに対し
て、本発明装置では、そのような能力低下がないので、
初期設備投資を圧縮することができる。従って、本発明
によれば、単に省エネルギーであるのみならず、設備投
資の削減に役立つので有利である。なお、本発明に係る
紫外線照射装置が対象とする被処理物体は、液体に限ら
ず、固体あるいは気体であってもよい。
Ｌ（発光管バルブ１１の内径が２２ｍｍ、肉厚が１ｍ
ｍ、フィラメント間隔が１５０ｃｍで、約２０ｍｇの水
銀と１３０Ｐａのアルゴンガスを封入したもの）を本発
明に係る素材からなる石英ガラス製の外管内に収納して
なる紫外線照射装置（以下、本発明装置という）と、従
来技術による放電灯を従来技術による石英ガラス製外管
内に収納してなる紫外線照射装置（以下、従来装置とい
う）との経時的処理能力を対比した実験結果を図３に示
す。図３は、本発明装置と従来装置につき、ＴＯＣ濃度
１０ｐｐｂの原水を１ｐｐｂ以下にできる処理能力を単
位電力量当たりの処理流量で比較した図であり、たて軸
が該処理流量（トン／ｋＷＨ）を示し、横軸が時間を示
す。ここで、本発明装置と従来装置とでは、放電灯およ
び外管に使用する石英ガラスの材質が異なる点以外は全
く同一の構成・寸法の装置を使用した。この図より、従
来装置は、１年間の使用目安となる８５００時間後には
約４０％に能力低下するのに対して、本発明装置は８０
％近い能力を維持していることが分かる。つまり、両者
の処理能力は、初期には僅かな差ではあるものの、使用
時間が進むにつれて著しい差が生じることが明らかであ
る。ここで、かかる紫外線照射装置は、殺菌・消毒等の
目的で各種プラントや工場などで長期にわたって使用さ
れるものであるため、一般に装置の規模は１年後の能力
を考慮して設計している。よって、従来装置では、１年
後の大きな能力低下を考慮に入れてそれに耐えうるよう
放電灯数を増しておくなど初期設備投資が嵩むのに対し
て、本発明装置では、そのような能力低下がないので、
初期設備投資を圧縮することができる。従って、本発明
によれば、単に省エネルギーであるのみならず、設備投
資の削減に役立つので有利である。なお、本発明に係る
紫外線照射装置が対象とする被処理物体は、液体に限ら
ず、固体あるいは気体であってもよい。
【００２１】なお、紫外線の透過率が良好な石英ガラス
として、四塩化珪素（ＳｉＣｌ4）を出発原料として製
造される、いわゆる合成石英と称される人造の石英ガラ
スが知られており、この石英ガラスは、本発明で述べ
た、ナトリウム（Ｎａ），カリウム（Ｋ），チタニウム
（Ｔｉ），鉄（Ｆｅ）の４種類のみならず、本発明で問
題視していないアルミニウム（Ａｌ），リチウム（Ｌ
ｉ），マグネシウム（Ｍｇ），カルシウム（Ｃａ），ク
ローム（Ｃｒ），ニッケル（Ｎｉ），銅（Ｃｕ），亜鉛
（Ｚｎ），鉛（Ｐｂ）等のほとんどの不純物に対する含
有量が極めて少ないことが特徴である。しかしながら、
著しく高価であるため、本発明の分野における実用性に
は乏しい。よって、本発明の対象外である。
として、四塩化珪素（ＳｉＣｌ4）を出発原料として製
造される、いわゆる合成石英と称される人造の石英ガラ
スが知られており、この石英ガラスは、本発明で述べ
た、ナトリウム（Ｎａ），カリウム（Ｋ），チタニウム
（Ｔｉ），鉄（Ｆｅ）の４種類のみならず、本発明で問
題視していないアルミニウム（Ａｌ），リチウム（Ｌ
ｉ），マグネシウム（Ｍｇ），カルシウム（Ｃａ），ク
ローム（Ｃｒ），ニッケル（Ｎｉ），銅（Ｃｕ），亜鉛
（Ｚｎ），鉛（Ｐｂ）等のほとんどの不純物に対する含
有量が極めて少ないことが特徴である。しかしながら、
著しく高価であるため、本発明の分野における実用性に
は乏しい。よって、本発明の対象外である。
【００２２】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、２００ｎ
ｍ以下の波長域の紫外線に晒されて使用される石英ガラ
スにおいて、天然の水晶もしくは珪砂を出発原料とし、
ナトリウム、カリウム、チタニウムおよび鉄の４種から
なる元素の総含有量が２．５ｐｐｍ以下であって、１０
ｐｐｍ以上のＯＨ基を含むように構成したので、２００
ｎｍ以下の短波長域紫外線による石英ガラスの経時劣化
を改善することができ、低コスト及び省エネルギー型の
紫外線照射装置を提供することができる、という優れた
効果を奏する。
ｍ以下の波長域の紫外線に晒されて使用される石英ガラ
スにおいて、天然の水晶もしくは珪砂を出発原料とし、
ナトリウム、カリウム、チタニウムおよび鉄の４種から
なる元素の総含有量が２．５ｐｐｍ以下であって、１０
ｐｐｍ以上のＯＨ基を含むように構成したので、２００
ｎｍ以下の短波長域紫外線による石英ガラスの経時劣化
を改善することができ、低コスト及び省エネルギー型の
紫外線照射装置を提供することができる、という優れた
効果を奏する。
【図１】 本発明に係る放電灯の一実施例を示す一部断
面略図。
面略図。
【図２】 石英ガラスの組成として、ナトリウム（Ｎ
ａ）、カリウム（Ｋ）、チタニウム（Ｔｉ）、鉄（Ｆ
ｅ）の総含有量およびＯＨ基の含有量をパラメータとし
て製作した各種の放電灯を長期間にわたって点灯実験す
ることに得られた紫外線強度維持率曲線を示すグラフ。
ａ）、カリウム（Ｋ）、チタニウム（Ｔｉ）、鉄（Ｆ
ｅ）の総含有量およびＯＨ基の含有量をパラメータとし
て製作した各種の放電灯を長期間にわたって点灯実験す
ることに得られた紫外線強度維持率曲線を示すグラフ。
【図３】 本発明に従う紫外線照射装置と従来技術の紫
外線照射装置とについて、ＴＯＣ濃度１０ｐｐｂの原水
を１ｐｐｂ以下にできる処理能力を、単位電力量当たり
の処理流量で比較した実験結果を示すグラフ。
外線照射装置とについて、ＴＯＣ濃度１０ｐｐｂの原水
を１ｐｐｂ以下にできる処理能力を、単位電力量当たり
の処理流量で比較した実験結果を示すグラフ。
【図４】 従来技術による液体の紫外線照射装置の一例
を示す図。
を示す図。
【図５】 従来技術による放電灯の一例を示す一部断面
略図。
略図。
Ｌ，３０ 放電灯 １０，１１ 発光管バルブ ２０ 外管 １ ステンレス製シリンダー １ａ，１ｂ フランジ １ｃ 入水口 １ｄ 出水口 １ｅ，１ｆ，１ｇ，１ｈ，１ｉ 緩流板 ２ａ，２ｂ ガラスステム ３ａ，３ｂ 口金部 ２１ａ，２１ｂ フィラメント
フロントページの続き Ｆターム(参考） 4G062 AA03 BB02 DA08 DB01 DC01 DD01 DE01 DF01 EA01 EA10 EB01 EB02 EC01 EC02 ED01 EE01 EF01 EG01 FA01 FA10 FB01 FB02 FC01 FD01 FE01 FF01 FG01 FH01 FJ01 FK01 FL01 GA01 GA10 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH05 HH07 HH09 HH11 HH13 HH15 HH17 HH20 JJ01 JJ03 JJ05 JJ07 JJ10 KK01 KK03 KK05 KK07 KK10 MM24 NN35 5C043 AA03 AA06 CC08 CD01 DD01 EB15
Claims (5)
- 【請求項１】 ２００ｎｍ以下の波長域の紫外線に晒さ
れて使用される石英ガラスにおいて、天然の水晶もしく
は珪砂を出発原料とし、ナトリウム、カリウム、チタニ
ウムおよび鉄の４種からなる元素の総含有量が２．５ｐ
ｐｍ以下であって、１０ｐｐｍ以上のＯＨ基を含むこと
を特徴とする短波長紫外線用石英ガラス。 - 【請求項２】 請求項１に記載の石英ガラスを素材とし
た容器の中に、２００ｎｍ以下の波長域の紫外線を発光
する物質を封入して構成したことを特徴とする放電灯。 - 【請求項３】 請求項２に記載の放電灯を搭載したこと
を特徴とする紫外線照射装置。 - 【請求項４】 請求項１に記載の石英ガラスを素材とし
た容器であって、２００ｎｍ以下の波長域の紫外線を発
光する放電灯を内部に収納する目的で使用される放電灯
収納容器。 - 【請求項５】 請求項１に記載の石英ガラスを素材とし
た容器の中に、２００ｎｍ以下の波長域の紫外線を発光
する物質を封入して構成してなる放電灯と、 請求項１に記載の石英ガラスを素材とした容器であっ
て、前記放電灯を内部に収納してなるものとを具備する
紫外線照射装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000287260A JP2002097036A (ja) | 2000-09-21 | 2000-09-21 | 短波長紫外線用石英ガラス、それを使用した放電灯、その収納容器および紫外線照射装置 |
| PCT/JP2001/008197 WO2002024587A1 (fr) | 2000-09-21 | 2001-09-20 | Verre de silice pour rayons ultraviolets a courte longueur d'ondes, lampe a decharge comprenant ce verre, receptacle pour cette lampe et dispositif a rayonnement ultraviolet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000287260A JP2002097036A (ja) | 2000-09-21 | 2000-09-21 | 短波長紫外線用石英ガラス、それを使用した放電灯、その収納容器および紫外線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002097036A true JP2002097036A (ja) | 2002-04-02 |
Family
ID=18771035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000287260A Pending JP2002097036A (ja) | 2000-09-21 | 2000-09-21 | 短波長紫外線用石英ガラス、それを使用した放電灯、その収納容器および紫外線照射装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002097036A (ja) |
| WO (1) | WO2002024587A1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| WO2004090935A2 (en) * | 2003-04-10 | 2004-10-21 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Lamp assembly |
| CN100391858C (zh) * | 2002-11-27 | 2008-06-04 | 株式会社日本光电科技 | 紫外线液体处理装置和处理方法 |
| JP2014039890A (ja) * | 2012-08-21 | 2014-03-06 | Iwasaki Electric Co Ltd | 紫外線水処理装置 |
Families Citing this family (2)
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|---|---|---|---|---|
| DE102004018887B4 (de) * | 2004-04-15 | 2009-04-16 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren für die Herstellung eines Bauteils aus Quarzglas zum Einsatz mit einer UV-Strahlenquelle und Verfahren für die Eignungsdiagnose eines derartigen Quarzglas-Bauteils |
| CN116239300A (zh) * | 2022-12-14 | 2023-06-09 | 南京华生皓光电科技有限公司 | 一种用于液晶配向工艺的uva紫外荧光灯用玻管及应用 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH066495B2 (ja) * | 1985-08-01 | 1994-01-26 | 信越石英株式会社 | 高純度石英ガラスの製造方法 |
| JP2511393B2 (ja) * | 1992-09-15 | 1996-06-26 | パテント−トロイハント−ゲゼルシヤフト フユア エレクトリツシエ グリユーランペン ミツト ベシユレンクテル ハフツング | メタルハライドランプ |
| JP2931735B2 (ja) * | 1993-04-26 | 1999-08-09 | 信越石英株式会社 | 耐失透性放電灯用シリカガラス |
| JP3630533B2 (ja) * | 1997-08-07 | 2005-03-16 | 信越石英株式会社 | 高出力真空紫外線用合成シリカガラス大型板材およびその製造方法 |
| JP2000086259A (ja) * | 1998-09-07 | 2000-03-28 | Tosoh Corp | 真空紫外線用光学材料 |
-
2000
- 2000-09-21 JP JP2000287260A patent/JP2002097036A/ja active Pending
-
2001
- 2001-09-20 WO PCT/JP2001/008197 patent/WO2002024587A1/ja active Search and Examination
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| WO2004090935A3 (en) * | 2003-04-10 | 2006-06-29 | Koninkl Philips Electronics Nv | Lamp assembly |
| JP2014039890A (ja) * | 2012-08-21 | 2014-03-06 | Iwasaki Electric Co Ltd | 紫外線水処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2002024587A1 (fr) | 2002-03-28 |
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