KR100774026B1 - 전자빔장치, 표시장치, 텔레비전장치 및 스페이서 - Google Patents
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Abstract
저항막으로 피복된 스페이서를 이용하여 스페이서의 대전을 방지할 때 인접하는 전자방출소자로부터 방출되는 전자빔의 불규칙한 어긋남을 방지한다.
스페이서(3)를 제 1기판의 복수의 전자방출소자(8)에 접속된 행방향배선(5)에 따라서 배치하고, 스페이서(3)의 표면에 형성된 저항막(14)을 제 2기판(2)상의 메탈백 등의 도전성부재(11)와 제 1기판상의 행방향배선(5)에 접촉시켜서 전기적으로 접속하고, 한편, 저항막(14)과 행방향배선(5), 또는 저항막(14)과 도전성부재(11) 사이의 접촉면의 형상은, 스페이서(3)의 중심선에 대해서 거의 대칭이 되도록 오목형상 또는 볼록형상을 갖는다.
Description
도 1은 제 1실시예에 있어서 스페이서에 직교방향의 부분단면도.
도 2는 도 1에 있어서 스페이서의 저항막과 배선 사이의 접촉상태와 전계 및 전자빔궤도를 설명하는 도.
도 3은 도 1의 스페이서의 일부 사시도.
도 4는 도 1의 스페이서의 일부 사시도.
도 5는 본 발명의 화상형성장치의 제 1실시예의 표시패널의 일부를 절단한 사시도.
도 6은 도 2의 제 2실시예에 있어서 스페이서에 직교방향의 부분단면도.
도 7a는 도 6의 저항막과 스페이서의 배선 사이의 접촉상태와 전계 및 전자빔궤도를 설명하는 도.
도 7b는 제 2실시예의 스페이서의 변형을 도시하는 개략도.
도 7c는 제 2-1실시예에 있어서 스페이서에 직교방향의 부분단면도.
도 7d는 제 2-2실시예에 있어서 스페이서에 직교방향의 부분단면도.
도 7e는 제 2-2실시예에 있어서 스페이서에 직교방향의 부분단면도.
도 7f는 제 2-3실시예에 있어서 스페이서에 직교방향의 부분단면도.
도 8a 및 8b는 제 2실시예에 있어서 스페이서의 변형을 도시하는 개략도.
도 9는 제 3실시예에 있어서 스페이서에 직교방향의 부분단면도.
도 10은 전자빔의 스페이서로부터의 거리와 접촉위치 사이의 관계를 도시하는 그래프.
도 11은 종래의 스페이서에 있어서 직교방향의 부분단면도.
도 12는 도 11에 있어서 스페이서의 저항막과 배선 사이의 접촉상태, 전계 및 전자빔궤도를 설명하는 도.
도 13은 본 발명의 텔레비전장치를 설명하는 블록도.
<도면의 부호에 대한 간단한 설명>
1 : 배면플레이트 2 : 정면플레이트
3 : 리브형상스페이서 4 : 측벽
5 : 행방향배선 6 : 열방향배선
8 : 전자방출소자 10 : 형광막
11 : 메탈백 13 : 기체
14 : 저항막
<발명의 배경>
<발명의 분야>
본 발명은 전자빔장치, 화상표시장치, 텔레비전장치 및 이들 장치를 구비하는 기밀용기에 이용되는 스페이서에 관한 것이며, 특히, 복수의 전자방출소자 및 복수의 저항막으로 피복된 스페이서를 가지는 전자빔장치에 바라직하게 이용되는 것이다.
<관련된 배경기술>
일반적으로, 서로 간격을 두고 대향하는 전자원측의 제 1기판과 표시면측의 제 2기판에 의해 구성된 화상형성장치의 경우에 있어서, 필요한 내대기압성을 유지하기 위하여, 절연재료에 의해 구성된 스페이서는 제 1 기판과 제 2기판 사이에서 유지된다. 그러나, 스페이서가 대전해서, 스페이서 부근의 전자궤도에 영향을 미치며 발광위치가 어긋나는 문제점이 발생한다. 스페이서 부근의 화소의 발광휘도저하 또는 색번짐 등의 화상열화의 원인이 된다.
종래에는, 스페이서의 대전을 방지하기 위하여 저항막에 의해 피복된 스페이서를 이용하는 것이 알려져 있다.
구체적으로는, 다음과 같은 스페이서, 즉, 제 1기판의 배선과 제 2기판의 전극 사이에서 유지되어 배선과 전극에 직접 압접되는 저항막에 의하여 피복된 리브(rib)형상의 스페이서와; 스페이서전극이 스페이서의 상하에 배치되어 있고 스페이서전극을 개재하여 배선과 전극에 접촉하는 저항막에 의하여 피복된 스페이서가 공지되어 있다(특허문헌 1 참조).
[특허문헌 1] 일본국 특개평 H 08-180821호 공보
그러나, 본 발명자 등이 특허문헌 1에 개시된 화상형성장치에 대하여 검토한 결과, 스페이서의 단면이 저항막에 의해 피복되는 스페이서인 경우에, 저항막을 제 1기판의 배선과 제 2기판의 전극에 직접 압접할 때에, 스페이서의 대전이 충분히 해소되지 않거나, 스페이서의 표면의 전위분포가 의도하지 않은 분포상태를 표시하는 경우가 있다는 것을 새로이 발견하였다.
상기 현상은, 표시장치의 제조공정에 따라서 생기는 경우가 많기 때문에, 원인을 특정하는 것은 곤란하다. 그러나, 제 1기판의 배선 또는 제 2기판의 전극에 변형이 생기는 경우, 또는 이물질이 그 위에 존재하는 경우, 배선 또는 전극의 표면이 거칠거나 또는 버(burr)가 있는 등 때문에 스페이서의 저항막 및 배선 또는 전극 사이의 접촉위치는 장소에 따라서 변동된다. 따라서 전위분포는 불규칙하다는 것을 발견하였다. 특히, 저렴한 제조방법에 의하여 제조된 배선의 경우에는, 표면형상이 부분적으로 상이할 수 있으며, 상기의 전기접속의 불량이 발생하기 쉽다.
상기 경우에 있어서, 스페이서의 대전은 충분히 해결될 수 없으며, 또한, 불규칙한 변화가 스페이서의 표면의 전위분포에서 생기며, 전자빔궤도가 설계대로 되지 않는 문제점이 발생한다. 또한, 전자빔이 제 1기판으로부터 제 2기판의 방향으로 가속되기 때문에, 제 2기판측에 비하여 제 1기판측에서의 편향력에 기인하여 궤도의 변화가 현저하게 나타난다.
이하, 제 1기판측의 스페이서의 표면의 전위분포에 기인한 전자빔의 편향에 대하여 도 11 및 도 12를 참조하면서 더욱 구체적으로 설명한다.
도 11은, 저항막(14)으로 피복된 리브형상의 스페이서(3)를, 제 1기판의 배선(5)에 따라 삽입한 경우 직교방향으로부터 본 때의 부분단면도이다. 도 12는, 도 11에 도시된 저항막(14)과 배선(5) 사이의 확대접촉부를 도시하며, 스페이서와 배선 사이의 접촉위치가, 배선(5)의 표면이 거칠기 때문에 중심으로부터 어긋나는 때의 전위분포와 전자궤도를 도시하는 개략도이다.
도 12에 도시한 바와 같이, 저항막(14)과 배선(5) 사이의 접촉위치의 관계는 스페이서(3)의 중심에 대하여 비대칭이다. 스페이서(3)의 중심과 접촉단 사이의 거리를 (L1)과 (L2)로 하면, (L1)측의 전위는, (L2)와 (L1) 사이의 저항에 의한 전압강하만큼 일어난다(등전위선 (20)). 따라서, (L1)측의 전자방출소자(8)로부터 방출하는 전자빔의 궤도는 (L2)측의 전자방출소자로부터 방출된 전자궤도와 다른 거동을 나타낸다. 그 결과, 전자빔의 도달위치가 어긋나기 때문에 (L1)측과 (L2)측의 화상이 다르다(왜곡된다).(전자빔궤도 (18)).
그러나, 특허문헌 (1)에 개시된 화상형성장치의 경우에 있어서, 스페이서전극은 저항막으로 피복된 스페이서의 상하에 설치하고, 저항막은 스페이서의 전극을 개재하여 제 1기판의 배선과 제 2기판의 전극에 접속하며, 스페이서전극이 스페이서의 측에서 노출하기 때문에, 전계분포는 노출부 부근에서 발생한다. 전계분포는 스페이서의 길이방향으로 거의 균일하지만, 스페이서전극이 노출하지 않는 경우에 비하여 강하게 생긴다. 그러므로, 스페이서를 설치할 때 생기는 정렬의 어긋남 때문에 인접하는 전자방출소자로부터 방출된 전자빔의 도달위치가 매우 쉽게 불규칙하고, 또한, 이것은 방출의 원인이 되며, 화질은 크게 악화시키기 쉽다는 것을 알았다. 이것을 방지하기 위하여, 스페이서의 측에 노출하지 않도록 스페이서전극을 설치하거나 스페이서를 정확하게 설치할 필요성이 있다. 어쨌든, 이것은 비용 증가 의 원인이 된다.
<발명의 요약>
본 발명의 전자빔장치는 복수의 전자방출소자와, 복수의 전자방출소자의 일부의 소자 사이에서 유지되어 위치하고 저전위로 규정된 제 1도체를 가지는 제 1기판과, 제 1기판에 대향하여 배치되고 제 1도체의 전위보다 높은 전위로 규정된 제 2도체를 가지는 제 2기판과, 제 1도체를 따라서 제 1기판과 제 2기판 사이에 배치되고 제 1도체와 제 2도체에 전기적으로 접속된 저항막으로 피복된 스페이서를 구비하는 전자빔장치에 있어서,
제 1도체 및/또는 제 2도체에 접속된 측의, 스페이서의 저항막으로 피복된 면은, 제 1기판 및/또는 제 2기판의 법선과 평행인 스페이서의 중심선에 대하여 대략 대칭(또는 대칭에 가까움)으로 되는 오목부 또는 볼록부를 가진다. 그리고, 중심선은, 스페이서를 샌드위치하여 배치된 발광소자를 포함하고 법선방향에 평행인 평면을 따라서 스페이서의 횡단면내에 있다.
본 발명의 스페이서의 구조체는, 서로 상이한 전위로 규정된 제 1도체와 제 2도체에 접촉하여 배치되고 기재가 저항막으로 피복되는 스페이서의 구조체에 있어서,
제 1도체 및/또는 제 2도체에 접속된 측의, 스페이서의 저항막으로 피복된 면은 직사각형상이며, 면의 길이방향에 수직인 동시에 면의 단변을 구분하는 스페이서의 중심선에 대하여 거의 대칭인 오목부 또는 볼록부를 상기 면에 형성한다.
본 발명에 의하면, 스페이서와 제 1기판의 제 1도체 또는 제 2기판의 제 2도체 사이의 접촉상태를 제어함으로써 스페이서의 중심으로부터의 접촉위치의 차이에 따른 전압강하에 의한 전위의 변동을 억제하여, 전자빔장치에서 소망하는 전자빔궤도를 얻을 수 있다.
또한, 스페이서의 저항막과, 제 1 및 제 2도체 사이의 접촉면에 제 1도체와 제 2도체를 제조하는 방법에 의존하는 변동(표면거칠기(부분적인 돌기를 포함)) 이상의 오목볼록을 적극적으로 형성함으로써, 접촉상태를 적극적으로 제어할 수 있다. 이것을 적용함으로써, 스페이서 부근의 소망하는 전자빔궤도를 얻으며, 전자빔장치를 화상표시장치로 이용하는 경우, 스페이서에 의한 왜곡이 없는 바람직한 화상표시를 제공할 수 있다.
<바람직한 실시예에 대한 설명>
이하에서, 먼저, 본발명의 작용에 대하여 설명한다.
본 발명의 경우에 있어서, 저항막으로 피복된 스페이서를 이용함으로써 스페이서의 대전을 방지할 때, 스페이서가 접촉하는 제 1도체 또는 제 2도체의 표면이 약간 거친 경우라도, 스페이서의 저항막과 제 1기판의 제 1도체 사이의 접촉부와, 스페이서의 저항막과 제 2기판의 제 2도체 사이의 접촉부 중 적어도 어느 한쪽에 오목부 또는 볼록부를 형성하고, 접촉부를 적극적으로 제어함으로써, 스페이서 표면의 불규칙적인 전위분포의 발생을 제어하고, 인접하는 전자방출소자로부터 방출된 전자빔의 불규칙한 어긋남을 방지한다.
이하에서, 상기 작용에 대하여, 본 발명이 적용되는 도 1의 실시예를 이용하여 설명한다. 스페이서(3)는 배면플레이트(1)와 정면플레이트(2) 사이에서 유지되고, 스페이서(3)의 표면을 피복하는 저항막(14)은 배면플레이트측의 제 1도체인 배선(본 실시예에서는 행방향배선(5))과 정면플레이트(2)측의 제 2도체(도전성부재)인 메탈백(11)에 의하여 압접되고 전기적으로 접속된다. 저항막(14)과 행방향배선(5) 사이의 전기적 접속은 도 2에 도시된 바와 같이 행한다. 이러한 경우에 있어서, 스페이서(3)의 표면에 있어서 배면플레이트(1)에 근접한 등전위선(20)을 굵은 선에 의해 개략적으로 도시한다. 도 1 및 도 2는, 스페이서(3)를 유지하는 전자방출소자(8)를 가지며 배면플레이트(1)의 법선에 평행인 평면에 의해 스페이서(3)를 절단하는 때, 후술하는 도 5에 도시된 표시패널(표시장치)를 도시하는 단면도이다(스페이서(3)의 단면도는 스페이서(3)를 샌드위치하고 배면플레이트(1)의 법선에 평행인 전자방출소자(8) 사이의 연장선을 포함하는 평면을 따른다.). 도 2에 도시한 바와 같이, 스페이서(3)의 저항막(14)으로 피복되고 행방향배선(5)에 접속된 면은, 스페이서(3)를 유지하는 전자방출소자(8)를 구비하고 배면플레이트(1)의 법선에 평행인 평면에 의해 스페이서(3)를 절단하는 때, 횡단면에 있어서 배면플레이트(1)의 법선방향에 평행인 스페이서(3)의 중심선(도 2에 2점 쇄선)에 거의 대칭인 오목부가 형성되어 있다. 상기 구성을 이용함으로써, 중심선으로부터 접촉단까지의 거리를 (L1) 및 (L2)라고 하면, (L1)은 (L2)와 동일하다. 스페이서(3)의 저항막으로 피복되고 행방향배선(5)에 접속된 면(배면플레이트에 대향하는 스페이서의 면)이 거의 직사각형상인 경우, 면의 길이방향에 수직이고 면의 단변을 구분하는 스페이서 (3)의 중심선에 거의 대칭인 오목부가 면에 형성된다.
행방향배선(5)이 거의 0V의 전위를 가지며 행방향배선(5)의 접촉부는 전자방출소자(8) 보다 위쪽(면프레이트(2) 측)에 있기 때문에, 전자방출소자(8) 보다 위쪽에 있는 등전위선(20)은 전자방출소자(8)의 전자방출부 근처에서 하부쪽으로 볼록한 곡선으로 된다.
스페이서(3)에 접근하는 전자빔의 성분은, 저항막(14)과 행방향배선(5) 사이의 접촉상태에 의해 결정된다. 스페이서의 폭을 (W)라고 하고 그 스페이서폭의 중심으로부터 접촉단까지의 거리를 (L)이라고 하면, 스페이서(3)에 접근하는 성분은 (L)의 함수이며 도 10은 그 상태를 도시한다. 도 10에서 도시하는 바와 같이, 스페이서폭의 중심으로부터 접촉단까지의 거리가 증가함에 따라서, 전자빔은 스페이서(3)로부터 더욱 멀어진다. 이것은, 저항막의 각각의 점의 전위가 크리핑(creeping)거리 사이의 비율에 의하여 결정된다. 예를 들면, 도 12에 도시한 바와 같이, 중심으로부터 접촉단까지의 거리를 (L1) 및 (L2)라고 하는 경우, (L1)은 (L2)보다 작아진다. 그러므로, (L1)측의 전자빔은 스페이서(3)를 근접하는 궤도를 가지며, (L2)측의 전자빔은 스페이서(3)로부터 멀어지는 궤도를 가진다.
이런 경우에 있어서, 이하에서, 스페이서(3)의 저항막과 행방향배선(5) 사이의 접촉상태와, 스페이서(3)의 오목형상에 대하여 설명한다. 도 12에서, 행방향배선(5)의 표면이 나타나며 그 높이는 장소에 따라 다르다. 그러므로, 저항막(14)과 행방향배선(5) 사이의 접촉위치는 일정하지 않으며 스페이서(3)의 중심으로부터 접촉단까지의 거리는 변동되고 비대칭으로 된다. 또한, 접촉위치는 스페이서(3)의 조 립정확도에 의해 영향받는다. 그러므로, 스페이서(3)에 형성되는 오목형상은 행방향배선(5)의 표면상태에 의하여 영향받지 않는 깊이를 갖는 것이 바람직하다. 예를 들면, 오목형상의 깊이는, 행방향배선(5)의 평균표면거칠기보다 큰 것이 바람직하다.
또한, 스페이서(3)에 오목형상을 형성하는 경우, 스페이서(3)의 저항막(14)과 행방향배선(5) 사이의 접촉면적은 감소하고 압력을 증가한다. 그러므로, 저항막(14)과 행방향배선(5) 사이의 전기적접속이 바람직하게 되며 전위는 안정된다. 따라서, 전자빔의 변동을 제어하고, 불안정한 전위로 인한 방전을 억제하는 효과가 있다.
이하에서, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참조하면서 설명한다.
도 5는 제 1실시예에 있어서 본 발명의 화상표시장치의 표시패널의 일부를 절단한 사시도이다.
도 5에 도시한 바와 같이, 이러한 실시예의 표시패널은, 제 1기판인 배면플레이트(1)와 제 2기판인 정면플레이트(2)는 그들 사이에서 간격을 두고 서로 대향시키고, 리브형상의 스페이서(3)를 그들 사이에 삽입하고, 스페이서(3)의 주위는 측벽(4)에 의해 밀봉하여, 내부를 진공분위기로 하는 패널이다.
행방향배선(5), 열방향배선(6), 배선간절연층(도시되지 않음) 및 전자방출소자(8)는 배면플레이트(1)에 형성된다.
도시된 전자방출소자(8)는, 한쌍의 소자전극 사이에 전자방출부를 가지는 도전성박막이 접속된 표면도전형전자방출소자이다. 이러한 실시예는, N × M개 표면 도전형전자방출소자가 배치되고 각각 등간격으로 형성된 M개의 행방향배선(5)과 N개의 열방향배선(6)에 의해 매트릭스배선된 멀티전자빔원을 가진다. 또한, 이러한 실시예의 경우에 있어서, 행방향배선(5)은 배선간절연층을 개재하여 열방향배선(6)에 위치하고, 주사신호는 행방향배선(5)에 인가되고, 변조신호(화상신호)는 열방향배선(6)에 인가된다.
행방향배선(5)과 열방향전극(6)은, 각각 스크린인쇄방법에 의하여 은페이스트를 도포함으로써 형성될 수 있다. 또한, 포토리소그라피 방법에 의하여 형성할 수 있다.
상기 은페이스트 이외에 행방향배선(5)과 열방향전극(6)의 구성재료인 각종의 도전성재료를 이용할 수 있다.
화상형성부재인 형광막(10)을 정면플레이트(2)의 하부쪽(배면플레이트(1)에 대향하는 면)에 형성한다. 이러한 실시예의 표시패널이 컬러표시패널이기 때문에, 적, 녹 및 청의 3원색의 3가지 타입의 형광체가 형광막(10)에 개별적으로 도포된다. 형광체는, 예를 들면, 스트라이프배열로, 개별적으로 도포된다. 흑색의 도전체(흑색 스트라이프)는 3원색의 형광체의 스트라이프 사이에 설치된다. 또한, 3원색의 형광체를 개별적으로 도포하는 방법은 상기 스트라이프배열을 이용할 수 있을 뿐만 아니라 델타배열 및 다른 배열을 이용할 수 있다.
정면플레이트(2)에 설치된 도전성부재인 메탈백(가속전극)(11)은 형광막(10)의 표면에 설치된다. 메탈백(11)을 사용하여 전자방출소자(8)로부터 방출된 전자를 가속시켜 끌어올린다. 고전압은 고전압단자(Hv)로부터 메탈백(11)에 인가되고 행방 향배선(5)에 비하여 고전위로 규정된다. 본 실시예와 같이 표면도전형전자방출소자를 이용하는 본 실시예의 표시패널의 경우에 있어서, 통상적으로, 행방향배선(5)과 메탈백(11) 사이에는 약 5 내지 20kV의 전위차가 형성된다.
리브형상의 스페이서(3)를 행방향배선(5)과 평행하게 행방향배선(5)에 설치한다. 이러한 스페이서(3)를 행방향배선(5)에 설치한다.
통상적으로, 복수의 스페이서(3)는, 표시패널에 대하여 내대기압성을 제공하기 위하여 설치되고, 전자방출소자(3)와 그 전자방출소자를 구동하는 행방향배선(5)과 열방향배선(6)이 형성된 전자원기판(9)을 가지는 배면플레이트(1)와, 형광막(10)과 메탈백(11)이 형성된 정면플레이트(2) 사이에서 유지되며, 스페이서(3)의 상측 및 하측은 메탈백(11)과 행방향배선(5)에 의하여 각각 압접된다. 측벽(4)은 배면플레이트(1)와 정면플레이트(2)의 가장자리에 의하여 유지되고, 배면플레이트(1)와 측벽(4) 사이의 접합부 및 정면플레이트(2)와 측벽(4) 사이의 접합부는 각각 프릿유리 등에 의해 밀봉된다.
또한, 이하에서, 스페이서(3)에 대하여 설명한다. 스페이서(3)는 배면플레이트(1)측의 행방향배선(5)과 열방향배선(6) 및 정면플레이트측(2)의 메탈백(11) 사이에 인가된 고전압에 견딜 수 있는 절연특성을 가지며, 스페이서(3)의 표면의 대전을 방지하는 도전성을 가진다. 도 1에 도시한 바와 같이, 스페이서(3)는 절연성재료에 의해 형성된 기체(13)와 기체(기재)(13)의 표면을 피복하는 저항막(14)에 의해 구성된다.
기체(13)의 구성재료로서, 예를 들면, 석영유리, Na 등의 불순물함유량을 감 소시킨 유리, 소다라임그라스 및 알루미나 등의 세라믹이 이용된다. 이러한 기체(13)의 구성재료의 열팽창계수는, 전자원기판(9), 배면플레이트(1), 정면플레이트(2) 등의 구성재료와 동일 또는 근접한 것을 이용하는 것이 바람직하다.
저항막(14)의 저항값에 의해 고전위측인 메탈백(11)에 인가될 가속전압(Va)를 분할함으로써 얻은 전류를, 스페이서(3)의 표면을 피복하는 저항막(14)에 공급함으로써, 스페이서(3)의 표면의 대전이 방지된다. 그러므로, 저항막(14)의 저항값은, 대전 및 소비전력에 따라서 바람직한 범위내에 설정된다. 저항막의 시트저항은, 대전방지의 관점에서 볼때, 14 내지 1014Ω/□이하가 바람직하며, 1012Ω/□이하가 더욱 바람직하며 1011Ω/□이하가 가장 바람직하다. 저항막(14)의 시트저항의 하한은, 스페이서(3)의 형상과 스페이서(3) 사이에 인가되는 전압에 의해 영향받는다. 전력소비를 억제하기 위하여, 시트저항은 105Ω/□이상으로 설정되는 것이 바람직하고, 107Ω/□이상인 것이 더욱 바람직하다.
저항막(14)을 구성하는 재료의 표면에너지, 기체(13)와의 밀착성 또는 기체(13)의 온도에 따라서 다르지만, 일반적으로, 10nm이하의 박막은, 저항이 불안정하고 재현성이 열악한 섬형상으로 형성된다. 그러나, 막두께가 1㎛이상인 경우 막응력이 증가하고 막제거의 위험성이 높아지고, 또한 막형성시간이 길어지기 때문에 생산성이 악화된다. 그러므로, 기체(13)에 형성된 저항막의 막두께는 10nm 및 1㎛ 사이의 범위인 것이 바람직하며 막두께가 50 및 500nm 사이의 범위인 것이 더욱 바 람직하다. 시트저항은 ρ/t(ρ: 비저항, t : 막두께)이고, 저항막(14)의 비저항(ρ)은 0.1 및 108Ωcm 범위인 것이 바람직하다. 또한, 시트저항과 막두께의 보다 바람직한 범위를 실현하기 위하여, 비저항ρ는 102 및 108Ωcm 사이의 범위에 설정되는 것이 바람직하다.
상기와 같이, 스페이서의 표면에 형성된 저항막(14)에 전류가 흐르고 전체 표시패널은 작동중에 발열하기 때문에 스페이서(3)의 온도는 상승한다. 저항막(14)의 저항온도계수가 큰 부의 값인 경우, 온도가 상승한 때 저항값이 감소하고, 저항막(14)에 흐르는 전류가 증가하여 온도가 더욱 상승하게 된다. 또한, 전력공급의 한계를 초과할 때까지 계속적으로 전류가 증가한다. 이와 같이 전류가 폭주하는 저항온도계수의 값은 부의 값이며 절대값은 1% 이상이다. 즉, 저항막(14)의 저항온도계수는 -1% 보다 큰 값인 것이 바람직하다.
저항막(14)의 구성재료로서, 예를 들면, 금속산화물을 이용할 수 있다. 금속산화물중에서, 크롬산화물, 니켈산화물, 구리산화물을 이용하는 것이 바람직하다. 이것은, 이들 산화물의 경우에 있어서, 2차적인 전자방출효율이 비교적 작고, 전자방출소자(8)로부터 방출된 전자가 스페이서(3)에 부딪치는 경우라도 용이하게 대전되지 않는다. 이들 금속산화물 이외의 물질로서, 탄소는 2차전자효율성이 작기 때문에 바람직한 재료이다. 특히, 비정질탄소는 높은 저항을 가지기 때문에, 스페이서(3)의 적절한 표면 저항을 쉽게 얻을 수 있다.
저항막(14)의 다른 구성재료로서, 알루미늄과 천이금속의 합금의 질화물의 경우에 있어서, 천이금속의 조성을 조정함으로써, 양호한 도전체로부터 절연체까지 넓은 범위의 저항값을 제어하며, 질화물은 표시패널제조공정에 있어서 저항값의 변화가 적어 안정하게 된다. 그러므로, 질화물은 바람직한 재료이다. 천이금속원소로서, W, Ti, Cr 및 Ta를 열거할 수 있다. 또한, 게르마늄과 천이금속의 질화물은, 바람직한 전기특성을 가지고 있기 때문에 바람직하다. 텅스텐과 게르마늄의 질화물은 더욱 바람직한 저항막이다.
스퍼터링, 전자빔증착, 이온플레이팅 또는 이온어시스트증착방법 등의 박막형성기술에 의하여 상기 합금질화물막을 형성할 수 있다. 상기 금속산화막은 산소가스분위기를 이용하여 박막형상방법에 의하여 형성할 수 있다. 또한, CVD 방법 및 알콕시드도포법은 금속산화막을 형성하기 위하여 이용할 수 있다. 탄소막은, 증착법, 스퍼터링법, CVD법 또는 플라즈마 CVD법에 의하여 형성된다. 특히, 비정질탄소막은, 막형성중의 분위기에 수소가 함유되도록 하거나, 막형성가스로서 탄화수소가스를 사용함으로써 얻을 수 있다.
(제 1실시예)
도 1은 제 1실시예에 있어서 직교방향으로부터 본 부분단면도(스페이서(3)를 유지하는 전자방출소자를 포함하고 배면플레이트(1)의 법선에 평행인 평면에 의하여 스페이서(3)를 절단함)이며, 도 2는 도 1의 스페이서의 저항막과 행방향배선 사이의 접촉부의 상세도이며, 도 3은 도 1의 스페이서의 부분사시도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 스페이서(3)는 배면플레이트(1)와 정면플레이트(2) 사이에서 유지되고, 스페이서(3)의 표면을 피복하는 저항막(14)은 배면플레이 트(1)측의 배선(본 실시예의 경우에 있어서 행방향배선(5))과 정면플레이트(2)측의 도전성부재(본 실시예의 경우에 있어서 메탈백(11))를 압접하고, 그들에 전기적으로 접속된다. 저항막(14)과 행방향배선(5) 사이의 전기적 접속은 도 2에 도시한 바와 같이 행한다.
오목형상은, 스페이서(3)의 저항막(14)과 행방향배선(5) 사이의 접촉부에 형성된다. 오목형상은, 접촉위치가 행방향배선(5)의 표면상태에 의하여 영향받지 않는 깊이를 갖는 것이 바람직하다. 예를 들면, 조건으로서, 오목형상의 깊이는 행방향배선(5)의 평균표면거칠기보다 큰 것이 바람직하다. 오목형상은 반드시 선형일 필요는 없다. 도 4에 도시한 바와 같이, 배기를 위하여 배기효율성을 상승시키기 위하여 오목형상의 중간에 십자형의 홈을 1개이상 형성할 수 있다. 이와 같은 것은 볼록형상에도 적용하며 볼록형상의 중간에 컷오프를 1개이상 형성할 수 있다.
본 실시예에서 설명하는 표시패널의 경우에 있어서, 행방향배선 사이의 간격을 5 내지 920㎛, 행방향배선의 폭은 5 내지 690㎛, 전자방출소자(8)의 전자방출부로부터 행방향배선의 상측까지의 높이는 5 내지 75㎛로 하고, 행방향배선(5)의 표면거칠기를 표면거칠기계(Keyence 초심도형상의 측정현미경 VK-8510)에 의하여 측정한 결과, 산술평균거칠기는 2㎛이다. 표면거칠기를 고려함으로써, 스페이서(3)의 행방향배선(5)과의 접촉부의 오목부의 깊이와 폭을, 각각 20㎛ 및 200㎛로 설정하고, 스페이서(3)의 전체 두께를 300㎛로 설정하고, 스페이서(3)의 전체높이를 2.4mm로 설정한다.
이러한 경우에 있어서, 산술평균거칠기는 표면거칠계에 의하여 측정된 값의 산출과 동일한 원리에 의거한다. 원리의 상세에 대해서는, 일본공업규격 "JISB 0601(2001)" 규격명칭 "제품의 기하특징 (GPS)- 표면애스펙트 : 윤곽곡선방식-용어, 정의 및 표면애스펙트 파라메터"의 4. 2. 1윤곽곡선의 산술평가높이의 항목에 기재된 것을 참조한다.
또한, 메탈백(11)에 인가전압은 15kV로 설정되고, 행방향배선(5)과 열방향배선(6) 사이에 인가전압은 14V로 설정된다. 스페이서(3)는 가열 및 드로잉방법에 의하여 제조된다. 또한, 스페이서(3)의 행방향배선(5)과의 접촉부의 오목부의 접촉면의 폭이 작아짐에 따라서 접촉위치의 변동을 또한 감소시킬 수 있다. 그러나, 스페이서(3)에 부여된 압력과 스페이서(3)의 강도에 따라서 폭을 적절하게 결정하는 것이 바람직하다.
상기 설명한 바와 같이, 본 발명을 표시패널에 적용함으로써 스페이서로 인한 왜곡이 없는 바람직한 화상을 표시할 수 있다.
(제 2실시예)
본 발명의 제 2실시예의 경우에 있어서, 제 1실시예와 상이한 점에 대해서만 설명한다.
도 6은 제 2실시예에 있어서 직교방향으로부터 본 스페이서의 부분단면도이며, 도 7a는 도 6의 스페이서의 저항막과 행방향배선 사이의 접촉부의 상세도이며, 도 8a는 제 2실시예의 스페이서의 다른 형상을 도시하는 개략도이다. 본 실시예는 스페이서(3)의 저항막(14)과 행방향배선(4) 사이의 접촉부을 볼록형상으로 형성하는 점에 있어서 제 1실시예와 상이하다. 이러한 구성을 이용함으로써, 저항막(14) 이 행방향배선(5)과 접촉하는 면적을 얻을 수 있음으로써, 접촉위치의 변동을 감소시킬 수 있다.
또한, 제 2실시예의 경우에 있어서, 접촉위치는 제 1실시예의 경우와 마찬가지로, 스페이서(3)에 형성된 볼록형상은, 행방향배선(5)의 표면상태에 의하여 영향받지 않는 높이가 필요하다. 예를 들면, 조건으로서, 볼록형상의 높이는, 행방향배선(5)의 평균표면거칠기보다 큰 것이 바람직하다. 또한, 스페이서(3)의 행방향배선(5)과의 접촉부의 접촉면의 폭이 작아짐에 따라서 접촉위치의 변동이 더욱 감소할 수 있는 점도 제 1실시예의 경우와 마찬가지이다. 그러나, 스페이서(3)에 부가된 압력과 변동의 허용치 이외에, 볼록형상의 경우에 있어서 형상으로 인하여 크리핑거리가 변화하는 것도 고려하여야 할 점이다. 그러므로, 전자빔의 도달거리를 포함함으로써 볼록형상을 적절히 결정하는 것이 바람직하다.
또한, 도 7b의 구성을 이용함으로써, 전자빔의 도달거리의 제어성을 또한 개선할 수 있다. 따라서, 이와 같은 것은, 도 7a의 면적의 약 1/2 접촉면적을 각각 가지는 2개의 볼록부분을 형성함으로써, 접촉위치에 있어서 스페이서에의 객관성(objectiveness)을 개선하며 (L1) 및 (L2)를 더욱 정확하게 제어하는 방법이다.
또한, 도 8a 및 8b의 형상의 경우에도, 상기 설명한 점에 주의하여 테이퍼의 각도를 결정하는 것이 바람직하다.
본 실시예에서 설명하는 스페이서(3)의 경우에 있어서, 스페이서(3)의 총두께를 300㎛로 설정하며, 스페이서(3)의 총 높이를 2.4mm로 하고, 스페이서(3)의 행방향배선(5)과의 접촉부의 볼록부의 높이를 20㎛로 하고, 스페이서(3)의 행방향배 선(5)과의 접촉부의 볼록부의 접촉면의 폭은 100㎛로 한다. 스페이서(3)의 행방향배선(5)과의 접촉부의 볼록부의 접촉면의 폭이 감소함에 따라서 접촉위치의 변동을 저감시킬 수 있다. 그러나, 스페이서(3)에 인가된 압력과 스페이서의 강도에 따라서 폭을 적절하게 결정하는 것이 바람직하다.
상기 설명한 바와 같이, 표시패널에 본 발명을 적용함으로써, 스페이서로 인한 화상이 왜곡되지 않는 화상을 표시할 수 있다.
(제 3실시예)
제 1 및 제 2실시예와 다른 제 3실시예의 점에 대해서만 설명한다. 제 3실시예의 구성은, 도 2의 제 1실시예의 구성과 마찬가지이다.
도 7c는 제 3실시예의 경우에 있어서, 스페이서는 도 1과 동일하지만 행방향배선(5)의 형상이 상이한, 직교방향으로부터 본 부분단면도이다. 도 7c에 도시한 바와 같이, 행방향배선(5)에 돌출부를 형성함으로써, 돌출부는 위치가이드로서 작용하고 스페이서 설정이 용이하게 된다.
(제 4실시예)
이하에서, 본 발명의 제 4실시예에 있어서, 제 1, 제 2 및 제 3실시예의 것과 상이한 점에 대해서만 설명한다. 제 4실시예의 구성은 도 6의 제 2실시예의 구성과 마찬가지이다.
도 7d는 제 4실시예에 있어서, 스페이서가 도 6의 것과 동일하지만 행방향배선(5)의 형상이 상이한, 직교방향으로부터 본 스페이서의 부분단면도이다. 도 7d에 도시한 바와 같이, 행방향배선(5)에 두개의 돌출부를 형성함으로써, 위치가이드로 서 작용하고 스페이서 설정이 용이하게 된다.
본 실시예의 경우에 있어서, 스페이서의 볼록부의 높이가 배선의 돌출부보다 크기 때문에, 스페이서와 배선 사이의 접촉위치는 스페이서의 볼록부에 의하여 결정된다. 상기 설명한 제 2실시예와 마찬가지로, 스페이서의 볼록부는 스페이서를 유지하는 전자방출소자를 포함하고, 스페이서와 배선 사이의 접촉부는 스페이서의 중심에 대칭으로 되며, 배면플레이트의 법선에 평행하는 스페이서의 중심선에 대칭이다. 그러므로, 스페이서와 배선 사이의 접촉위치는 스페이서의 중심선에 대칭이다. 이에 의해, 스페이서의 표면에 대한 전위분포가 의도된 전위분포로 되기 때문에, 전자방출소자로부터 방출된 전자빔의 궤도가 흐트러지지 않는다.
또한, 도 7e는 행방향배선(5)의 다른 형상이다. 돌출부의 높이, 즉, 도 7e에 도시한 바와 같이 행방향배선상의 가이드 높이를 크게함으로써, 위치결정이 용이하게 된다.
도 7e의 구성의 경우에 있어서, 배선의 돌출부의 높이는 스페이서의 볼록부의 높이보다 크기 때문에, 스페이서와 배선 사이의 접촉부는 배선의 돌출부에 의하여 결정된다. 또한, 이러한 구성의 경우에 있어서, 스페이서의 볼록부는 스페이서를 유지하는 전자방출소자를 포함하며, 배면플레이트의 법선에 평행한 평면상의 스페이서를 절단할 때, 횡단면의 배면플레이트의 법선방향과 평행인 스페이서의 중심선에 대칭이다. 그러므로, 스페이서와 배선 사이의 접촉위치는 스페이서의 중심선에 대칭으로 된다. 이에 의해, 스페이서의 전위분포가 의도된 전위분포로 되기 때문에, 전자방출소자로부터 방출된 전자의 궤도가 흐트러지지 않는다.
(제 5실시예)
본 발명의 제 5실시예에 있어서, 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4실시예와 상이한 점에 대해서만 설명한다.
제 5실시예의 구성은 도 7b에 도시된 제 3실시예의 구성과 마찬가지이다.
도 7f는, 제 3실시예에 있어서, 스페이서는 도7b와 동일하지만, 행방향배선(5)의 형상이 상이한, 직교방향으로부터 본 스페이서의 부분단면도이다. 도7f에 도시한 바와 같이, 행방향배선(5)에 돌출부를 형성함으로써, 위치가이드로서 기능하며 스페이서 설정이 용이하게 된다.
(제 6실시예)
이하에서, 본 발명의 제 6실시예에 있어서, 제 1, 2, 3, 4 및 5실시예의 것과 상이한 점에 대해서만 설명한다.
도 9는 제 6실시예에 있어서 직교방향으로부터 본 스페이서의 부분단면도이다. 본 실시예는, 제 1실시예에 도시된 스페이서(3)의 접촉제어를, 배면플레이트(1)측과 정면플레이트(2)측에 적용하는 예이다.
또한, 정면플레이트(2)측의 접촉제어의 경우에 있어서, 제 1 및 제 2실시예에서 설명하는 배면플레이트(1)측의 접촉제어의 사상을 적용할 수 있다.
또한, 상기 실시예의 경우에 있어서, 스페이서(3)의 저항막(14)은 배면플레이트(1)측의 행방향배선(5)과 접촉한다. 그러나, 열방향배선(6)이 표면으로 노출하는 경우, 저항막(14)이 열방향배선(6)과 접촉하게 할 수도 있다.
본 실시예의 경우에 있어서, 전자방출소자로서, 다음과 같은 것, 즉 전계방 출형(FE형)소자, 금속/절연층/금속형(MIM형) 전자방출소자 및 탄소나노튜브를 이용하는 전자빔방출소자가 공지되어 있다. 이와 같은 전자빔소자의 어느 하나를 이용할 수 있다.
또한, 본 발명은 스페이서의 중심으로부터 접촉위치에 따른 전압강하로 인한 전위의 변동을 억제한다. 이러한 사상에 의하여, 본 발명은, 화상형성장치에 한정되지 않고, 화상형성부재를 구비하지 않은 장치에 적용할 수 있으며, 화상형성부재를 구비하지 않은 장치도 전자장치에 포함된다.
상기 설명한 본 발명의 표시장치를 TV세트에 적용할 수 있다. 이하에서, 본 발명의 화상표시장치가 적용되는 TV세트에 대하여 설명한다.
도 13은 본 발명의 텔레비전장치의 블록도이다. 수신회로(C20)는 튜너 및 데코더에 의하여 구성되고, 위성방송의 텔레비전신호 또는 지상파 또는 네트워크를 통한 데이터방송을 수신하고 디코드된 화상데이터를 I/F유닛(인터페이스)에 출력한다. I/F유닛(C30)은 화상데이터를 표시장치의 표시포맷으로 변환하고 표시화상을 표시장치로 출력한다. 표시장치(C10)는 표시패널, 구동회로 및 제어회로에 의해 구성되고, 도 5의 화상표시장치를 이용할 수 있다. 제어회로(C13)는 표시패널에 적합한 보정처리 등의 화상처리를 입력화상데이터에 적용하고 화상데이터와 다양한 제어신호를 구동회로에 출력한다. 보정처리는 스페이서 부근의 화소와 스페이서로부터 분리된 화소의 변동을 억제하는 처리를 포함하며, 제어회로(C13)는 휘도보정회로를 가지는 것이 바람직하다. 구동회로(C12)는 입력화상데이터에 따라서 표시패널(C11)에 구동신호를 출력하고 텔레비전화상을 표시패널(C11)에 표시한다.
수신회로와 I/F부는 표시장치로부터 분리된 셋톱(STB)인 하우징내에 격납되거나 표시장치와 동일한 하우징내에 격납될 수 있다.
본 발명에 의하면, 스페이서와 제 1기판의 제 1도체 또는 제 2기판의 제 2도체 사이의 접촉상태를 제어함으로써 스페이서의 중심으로부터의 접촉위치의 차이에 따른 전압강하에 의한, 전위의 변동을 억제하여, 전자빔장치에서 소망하는 전자빔궤도를 얻을 수 있다.
또한, 스페이서의 저항막과 제 1 및 제 2도체 사이의 접촉면에 제 1도체와 제 2도체를 제조하는 방법에 의존하는 변동(표면거칠기(부분적인 돌기를 포함)) 이상의 오목볼록을 적극적으로 형성함으로써, 접촉상태를 적극적으로 제어할 수 있다. 이것을 적용함으로써, 스페이서 부근의 소망하는 전자빔궤도를 얻으며, 전자빔장치를 화상표시장치로 이용하는 경우, 스페이서에 의한 왜곡이 없는 바람직한 화상표시를 제공할 수 있다.
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- 복수의 전자방출소자와, 이 전자방출소자의 일부의 소자에 의하여 유지되고 저전위로 규정된 제 1도체를 가지는 제 1기판과;제 1기판에 대향하여 배치되고, 제 1도체 보다 높은 전위로 규정되는 제 2도체와, 전자방출소자로부터 방출된 전자빔의 조사에 의하여 화상을 형성하는 화상형성부재를 가지는 제 2기판과;제 1기판과 제 2기판 사이의 제 1도체를 따라서 배치되고, 제 1도체와 제 2도체에 접촉하는 저항막으로 피복된 스페이서를 구비하는 화상표시장치로서,제 1도체에 접촉하는 측에 있어서의 스페이서의 저항막으로 피복된 면은, 제 1기판의 법선에 평행한 스페이서의 중심선에 대하여 거의 대칭인 2개의 볼록부를 가지며, 중심선은, 법선과 평행이며 스페이서를 샌드위치하는 전자방출소자를 가지는 평면을 따라서 스페이서의 단면내에 있는 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
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- 제 7항에 있어서,상기 2개의 볼록부의 높이는 상기 제 1도체의 표면거칠기보다 큰 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
- 제 10항에 있어서,상기 2개의 볼록부의 높이는 상기 제 2도체의 표면거칠기보다 큰 것을 특징으로 하는 화상표시장치.
- 제 7항 또는 제 10항에 기재된 화상표시장치와, 텔레비전신호수신회로와, 화상표시장치와 텔레비전신호수신회로를 접속하는 인터페이스부를 구비하는 것을 특징으로 하는 텔레비전장치.
- 제 13항에 있어서,상기 화상표시장치는 스페이서로 인한 휘도의 변동을 제한하는 회로부를 가지며, 회로부는 인터페이스부로부터의 화상신호를 보정하는 것을 특징으로 하는 텔레비전장치.
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Families Citing this family (11)
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|---|---|---|---|---|
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| JP2006120622A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-05-11 | Canon Inc | 発光スクリーン構造及び画像形成装置 |
| JP2007026851A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Hitachi Displays Ltd | 画像表示装置 |
| KR20070044579A (ko) * | 2005-10-25 | 2007-04-30 | 삼성에스디아이 주식회사 | 스페이서 및 이를 구비한 전자 방출 표시 디바이스 |
| KR20070046666A (ko) * | 2005-10-31 | 2007-05-03 | 삼성에스디아이 주식회사 | 스페이서 및 이를 구비한 전자 방출 표시 디바이스 |
| JP2007232887A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Canon Inc | 画像表示装置 |
| US7972461B2 (en) * | 2007-06-27 | 2011-07-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Hermetically sealed container and manufacturing method of image forming apparatus using the same |
| CN101689090A (zh) * | 2007-06-28 | 2010-03-31 | 京瓷株式会社 | 触摸面板及解摸面板型显示装置 |
| JP5590830B2 (ja) * | 2008-08-11 | 2014-09-17 | キヤノン株式会社 | 発光体基板及びこれを用いた画像表示装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01186761A (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-26 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 燃料電池発電装置 |
| JP2000251708A (ja) * | 1999-02-25 | 2000-09-14 | Canon Inc | 電子線装置用スペーサの製造方法、電子線装置用スペーサ、及び該スペーサを備えた電子線装置 |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3305166B2 (ja) * | 1994-06-27 | 2002-07-22 | キヤノン株式会社 | 電子線装置 |
| JP3320240B2 (ja) * | 1995-03-14 | 2002-09-03 | キヤノン株式会社 | 電子線発生装置及び電子放出素子 |
| GB9712583D0 (en) * | 1997-06-16 | 1997-08-20 | Unilever Plc | Production of detergent granulates |
| JP3073491B2 (ja) * | 1998-06-24 | 2000-08-07 | キヤノン株式会社 | 電子線装置とこれを用いた画像形成装置及び電子線装置で用いる部材の製造方法 |
| KR100472888B1 (ko) * | 1999-01-19 | 2005-03-08 | 캐논 가부시끼가이샤 | 화상 형성 장치의 제조 방법 |
| JP2000285829A (ja) | 1999-01-20 | 2000-10-13 | Canon Inc | 画像形成装置 |
| DE60045761D1 (de) * | 1999-01-28 | 2011-05-05 | Canon Kk | Elektronenstrahlgerät |
| JP3507393B2 (ja) * | 1999-02-25 | 2004-03-15 | キヤノン株式会社 | スペーサの製造方法および電子源装置の製造方法 |
| JP3747154B2 (ja) * | 1999-12-28 | 2006-02-22 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置 |
| JP4481411B2 (ja) | 2000-02-10 | 2010-06-16 | キヤノン株式会社 | 電子線装置 |
| JP3667301B2 (ja) * | 2001-06-15 | 2005-07-06 | キヤノン株式会社 | 真空容器および該真空容器を用いた画像形成装置の製造方法 |
| JP2003229056A (ja) | 2002-01-31 | 2003-08-15 | Canon Inc | 構造支持体の製造方法、構造支持体およびそれを備える電子線装置 |
| JP2003229057A (ja) | 2002-01-31 | 2003-08-15 | Canon Inc | 構造支持体の製造方法、構造支持体およびそれを備える電子線装置 |
| JP2003323855A (ja) * | 2002-03-01 | 2003-11-14 | Canon Inc | 画像形成装置 |
| JP2003317651A (ja) | 2002-04-23 | 2003-11-07 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 電子線励起ディスプレイ用ガラススペーサ |
| WO2003092036A1 (fr) | 2002-04-23 | 2003-11-06 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Ecran a excitation par faisceau electronique, espaceur de verre utilise avec ledit ecran |
| JP2004146153A (ja) * | 2002-10-23 | 2004-05-20 | Canon Inc | 電子線装置 |
| US7138758B2 (en) * | 2003-05-15 | 2006-11-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus having a high-resistance coated spacer in electrical contact with wirings components at predetermined intervals |
| EP1484782A3 (en) * | 2003-06-06 | 2009-04-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Electron beam apparatus, and method for manufacturing a spacer used for the same |
| US7378788B2 (en) * | 2004-06-30 | 2008-05-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display apparatus |
| JP2006093036A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Toshiba Corp | 画像表示装置 |
-
2005
- 2005-01-10 US US11/030,890 patent/US7459841B2/en not_active Expired - Fee Related
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- 2005-01-21 CN CNB2005100046519A patent/CN100347806C/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01186761A (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-26 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 燃料電池発電装置 |
| JP2000251708A (ja) * | 1999-02-25 | 2000-09-14 | Canon Inc | 電子線装置用スペーサの製造方法、電子線装置用スペーサ、及び該スペーサを備えた電子線装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
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Payment date: 20110923 Year of fee payment: 5 |
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| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120924 Year of fee payment: 6 |
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| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |