CN1652288A - 电子束装置、图象显示装置、电视装置和隔离片 - Google Patents

电子束装置、图象显示装置、电视装置和隔离片 Download PDF

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Abstract

本发明的目的是在使用电阻膜覆盖的隔离片以图防止隔离片带电时，防止相邻接电子发射元件所发射的电子束的不规则偏移。其解决的方法是：沿着与第一基板1的多个电子发射元件8相连接的行方向布线5上配置隔离片3，设置在隔离片3的表面上的电阻膜14分别与第二基板2的金属背衬等的导电构件11和第一基板1上的行方向布线5电连接，而电阻膜14和行方向布线5、或者电阻膜14与导电构件11的接触面的形状具有大致对称于隔离片3中心线的凹或凸形状。

Description

电子束装置、图象显示装置、 电视装置和隔离片
技术领域
本发明涉及用作例如显示面板等的电子束装置、图象显示装置、电视装置和容纳这些装置的气密容器所用的隔离片，特别适合用于具有多个电子发射元件和被电阻膜覆盖的隔离片的电子束装置。
背景技术
一般说来，在将电子源侧的第一基板和显示面侧的第二基板之间空开间隔地相对配置的图象形成装置里，为得到必要的耐大气压性能，在第一基板和第二基板之间夹入有用绝缘材料构成的隔离片。然而，这就产生了该隔离片带电、使隔离片附近的电子轨道受到影响、造成发光位置偏移的问题。这成为例如隔离片附近象素的发光亮度降低和色渗等图象劣化的原因。
已知现今为防止上述隔离片的带电，使用以电阻膜覆盖的隔离片。
具体来说，已知有：将用电阻膜覆盖的肋状隔离片沿着第一基板的布线夹入，使得电阻膜直接压接在该布线和第二基板的电极上；或者在被该电阻膜覆盖的隔离片的上下设置隔离片电极，电阻膜以通过该隔离片电极而与布线和电极接触的方式夹入(例如参照专利文献1：特开平8-180821号公报)。
然而，在本发明人员研究专利文献1所记载的图象形成装置时，发现存在着这样情况：在隔离片端面被电阻膜覆盖的情况下，在把该电阻膜直接压接在第一基板的布线和第二基板的电极上时，隔离片的带电没被完全消除，且显示隔离片的表面电位分布不是所希望的分布状态。
产生上述现象的原因大多与显示装置的制造工序有关。尽管不能一概而论，但是例如，在第一基板的布线、第二基板的电极上产生变形等的情况下或者它们上面存有异物的情况下，布线与电极的表面或变得粗糙或生成毛刺等，隔离片的电阻膜与布线或电极的接触位置按地点的不同而参差不一，由于这些造成电位分布的混乱。尤其是用廉价制造方法制成的布线，往往表面形状局部相异，容易造成上述的电接触不良。
上述情况不仅没有完全解决隔离片带电问题，电极表面的电位分布还产生了不规则变化，产生了电子束轨道不能按设计那样的情况。另外，因为电子束从第一基板向第二基板加速，所以，就明显地表现出电子束轨道变化主要是由于第一基板一侧的偏向力，而非第二基板一侧的偏向力。
关于在第一基板侧的隔离片表面的电位分布所造成的电子束的偏向，再用图11、图12具体地说明。
图11是沿着第一基板的布线5夹入由电阻膜14覆盖的肋状隔离片3时、从与隔离片3垂直的方向所见到的剖面部分图。图12是图11的电阻膜14与布线5的接触部分的放大图，是表示因布线5表面变得粗糙、隔离片与布线5的接触位置偏离隔离片中心时的电位分布和电子轨道的示意图。
如图12所示，电阻膜14与布线5的接触位置的关系相对于隔离片3的中心成非对称，取隔离片3中心至接触端的距离为L1、L2，L1端的电位只括起因L2-L1的电阻引起的电压降部分的电位(等电位线20)。由于这点，L1一侧的电子发射元件8发射的电子束轨道，呈现与L2一侧的电子发射元件发射的电子的轨道相异的特性，此结果造成图象在L1侧和L2侧由于电子束的到达位置偏移而不同(偏斜)(电子束轨道18)。
另一方面，专利文献1所记载的图象形成装置是在电阻膜覆盖隔离片的上下设立隔离片电极，通过该隔离片电极，让电阻膜与第一基板的布线和第二基板的电极相相连，就此图象形成装置而言，由于隔离片电极露出隔离片的侧面，在此露出部分附近产生电场分布。已经知道该电场分布在隔离片长边方向几乎是均匀的，显示比隔离片电极不露出的情况下来得强，所以，由于设置隔离片时的对准偏差，不仅邻接的电子发射元件所发射的电子束的到达位置很容易变得混乱，而且也成为放电的原因，图象的品质容易大幅度降低。为防止发生上述情况，使隔离片电极不从隔离片的侧面露出，那就必须高精度地设置隔离片，这些都成为成本上升的原因。
发明内容
本发明提供了一种电子束装置，包括：具有多个电子发射元件以及夹持在上述多个电子发射元件中的一部分元件里、且设定为低电位的第一导体的第一基板，与该第一基板相对配置、具有电位设定为高于上述第一导体的第二导体的第二基板，以及沿着上述第一导体配置在上述第一基板与该第二基板之间、由与上述第一导体和上述第二导体电连接的电阻膜覆盖的隔离片，其特征在于：上述隔离片在与上述第一导体和/或第二导体连接一侧被上述电阻膜覆盖的表面上具有凹部或凸部，所述凹或或凸部相对于在以包含夹着上述隔离片的元件且与上述第一基板和/或第二基板的法线平行的平面横切上述隔离片的剖面内、与上述法线方向平行的隔离片的中心线大致对称(对称或者近似对称)。
本发明还提供了一种隔离片结构，该隔离片与被设定为不同电位的第一导体和第二导体相接触、其基材由电阻膜覆盖；其中，连接在上述第一导体和/或第二导体一侧的、上述隔离片的由上述电阻膜所覆盖的表面为矩形形状，且在该表面内形成凹部或凸部，所述凹部或凸部相对于划分与该表面的长边方向垂直的短边的上述隔离片的中心线大致对称。
根据本发明，通过控制隔离片与第一基板的第一导体和第二基板的第二导体的接触状态，可以抑制基于离隔离片的中心的接触位置的不同而存在的电压下降所引起的电位波动，可以在电子束装置中得到所希望的电子束轨道。
另外，通过在隔离片的电阻膜与第一导体和第二导体的接触面上形成大于依赖于第一导体和第二导体的制作方法的波动(表面粗糙度(包括部分突起等))的有积极意义的凹凸，可以积极地控制接触状态。通过适当利用上述方式，能在隔离片附近得到所希望的电子束轨道，对于使用电子束装置作为图象显示装置的情况，可以提供没有因隔离片而变形的良好的图象显示。
附图说明
图1是与第1实施例的隔离片垂直方向的剖面图。
图2是图1的隔离片的电阻膜与布线相接触的情况，以及电场和电子束轨迹的说明图。
图3是图1的隔离片的部分斜视图。
图4是图1的隔离片的部分斜视图。
图5是本发明的图象形成装置的第1实施例的显示面板被切开一部分的斜视图。
图6是与第2实施例的隔离片垂直方向上的剖面图。
图7A是图6隔离片的电阻膜与布线相接触的情况、电场和电子束轨迹的说明图。
图7B是显示第2实施例中的隔离片另一形状的说明图。
图7C是与第2-1实施例的隔离片垂直方向的剖面图。
图7D是与第2-2实施例的隔离片垂直方向的剖面图。
图7E是与第2-3实施例的隔离片垂直方向的剖面图。
图7F是与第2-4实施例的隔离片垂直方向的剖面图。
图8A及8B是显示第2实施例的隔离片的另一形状例子的说明图。
图9是与第3实施例的隔离片垂直方向的剖面图。
图10是表示电子束离开隔离片的距离和接触位置的关系的曲线图。
图11是现有的隔离片的垂直方向的剖面图。
图12是图11的隔离片的电阻膜与布线相接触的情况、电场和电子束轨迹的说明图。
图13是说明本发明的电视装置的方框图。
具体实施方式
首先就本发明的作用来进行说明。
本发明通过在使用电阻膜覆盖的隔离片试图防止隔离片带电时，把隔离片的电阻膜与第一基板的第一导体接触部、隔离片的电阻膜与第二基板的第二导体接触部至少一方形成凹或凸的形状来积极地控制接触位置即使与隔离片接触的第一导体或第二导体的表面多少被破坏，也抑制隔离片表面发生不规则的电位分布，防止相邻的电子发射元件所发射的电子束的不规则的偏移。
这里，利用适用于本发明的图1所示实施例来具体地说明上述作用。
隔离片3夹入在后平板1和前平板2之间，覆盖隔离片3表面的电阻膜14被压接在成为后平板1一侧的第一导体的布线(在本实施例中为行方向布线5)和成为前平板2一侧的第二导体(导电构件)的金属背衬11上，分别作电连接。电阻膜14与行方向布线5的电连接如图2所示那样进行。此时在隔离片3表面的后平板1附近的等位线20以粗线示意地表示。还有，图1、2，都是与后面图5所记载的显示面板(显示装置)有关的、以包含夹着隔离片3的电子发射元件8且与后平板1的法线平行的平面内横切隔离片3得到的截面图(即，用包含连结夹着隔离片3的电子发射元件8的连线、且与后平板1的法线平行的平面横切隔离片3的剖面图)。如图2所示，在与行方向布线5连接、被隔离片3的电阻膜14覆盖的面上，在以包含夹着隔离片3的电子发射元件8、且与后平板1的法线平行的平面横切隔离片3得到的截面上，设置了相对于与该法线方向平行的隔离片3的中心线(图中的点划线)大致成对称状的凹部。通过形成这样的结构，设到接触端的距离分别为L1、L2时，则L1＝L2。在与行方向布线5连接、被隔离片3的电阻膜覆盖的面(与后平板对着的隔离片的面)略成矩形的情况下，能够在这个面内，相对于垂直该面长边方向、划分该面的短边的隔离片3的中心线形成大致对称状的凹部。
由于行方向布线5大致是0伏、电阻膜14与行方向布线5的接触部分比电子发射元件8要高(前平板2一侧)，所以，电子发射元件8上方的等位线20在电子发射元件8电子发射部位附近成向下凸的曲线。
电子束在接近隔离片3处的成分由电阻膜14与行方向布线5的接触状态来决定。当隔离片3的宽度取为W，从其中心到接触端的距离取为L时，接近隔离片3的成分是L的函数，其表现示于图10。如图10所示，从隔离片的宽度中心到接触端的距离L越大，电子束就越远离隔离片。这是电阻膜14的各点电位是由沿面距离的比所决定的缘故。例如如图12所示，设到接触端的各个距离为L1、L2时，由于L1＜L2，所以，轨道变成为：L1一侧的电子束接近隔离片3，L2一侧的电子束就远离隔离片3。
下面说明隔离片3的电阻膜14和行方向布线5的接触状态和隔离片3的凹形状。在图12中，按照行方向布线5的表面成粗糙的地点，高度上有不同。因此，电阻膜14与行方向布线5接触位置变得不是确定，从隔离片3的中心到接触端的距离波动，变得不对称。还有，接触位置也受隔离片3的组装精度左右。故而希望在隔离片3内生成的凹形状的深度，要排除接触位置受行方向布线5的表面状态影响。例如，希望凹形状的深度要比行方向布线5的平均表面粗糙度大。
另外，在隔离片3上形成的凹形状时，隔离片3的电阻膜14与行方向布线5的接触面积变小、压力变大。因此，利用电阻膜14与行方向布线5的电接触良好、电位稳定，也具有抑制电子束波动、抑制因电位不稳定造成放电的效果。
以下就本发明的实施例用图作详细说明。
图5是本发明的图象形成装置的第1实施例的显示面板被切开一部分的斜视图。
如图5所示，本实施例的显示面板就是将作为第一基板的后平板1和作为第二基板的前平板2隔开间隔地相对安置，两者间夹入肋状隔离片3，同时，以侧壁4封住四周，内部形成真空气氛。
在后平板1上，形成行方向布线5、列方向布线6、布线之间的绝缘层(图上未示出)和电子发射元件8。
图示的电子发射元件8是与导电性薄膜相连接的表面传导型电子发射元件，该导电性薄膜具有位于一对元件电极之间的电子发射单元。本实施例配置有N×M个表面传导型电子发射元件，具有分别以等间隔地形成M条行方向布线5和N条列方向布线6构成的阵列布线的多电子束源。还有，在本实施例中，行方向布线5隔着配线间绝缘层位于列方向布线6之上，行方向布线5上施加扫描信号，列方向布线6上施加调制信号(图象信号)。
行方向布线5和列方向布线6的电极，可以用网印法涂敷银浆来生成。此外，也可以利用例如光刻法形成。
作为行方向布线5和列方向布线电极6的构成材料，除上述银浆外，可以合适使用各种导电材料。
在前平板2的下表面(与后平板1对着的面)上形成作为图象形成构件的荧光膜10。由于本实施例的显示面板为彩色显示，所以荧光膜10分别涂以红、绿、蓝三原色的荧光体。各种颜色的荧光体，例如按带状分涂，则各种颜色的荧光带之间设置黑色导电体(黑带)。还有，三原色荧光体的分涂方法，不仅可以是上述的带状，例如也可以用三角状配置以及其它的配置。
在荧光膜10的表面上设置了在前平板2上安置的、为导电性构件的金属背衬11(加速电极)。此金属背衬11用于加速提高电子发射元件8所发射的电子，施加来自高压端子Hv的高电压、被设定处在比行方向布线5高的电位。在采用本实施例的表面传导型电子发射元件的显示面板的情况下，通常在行方向布线5和金属背衬11间形成5～20KV的电位差。
在行方向布线5上，与行方向布线5平行地安装肋状隔离片3。该隔离片3配置在行方向布线5上。
为了使显示面板保持耐大气压性能，通常以等间隔地设置多个隔离片3，它们夹在带有电子源基板9的后平板1和设有荧光膜10和金属背衬11的前平板2之间，此电子源基板9设有电子发射元件8、驱动电子发射元件的行方向布线5和列方向布线6，隔离片3的上下表面分别与金属背衬11和行方向布线5压接。还有，在后平板1和前平板2的四周边缘夹入侧壁4，后平板1与侧壁4的接合部分和前平板2与侧壁4的接合部分分别用熔结玻璃料等进行密封。
再就隔离片3作说明。隔离片3具有能承受在后平板1一侧的行方向布线5和列方向布线6与前平板2一侧的金属背衬11之间所施加高压的绝缘性，并且具有能防止使隔离片3表面带电的导电性。如图1所示，隔离片3由用绝缘性材料构成的基体13和覆盖其表面的电阻膜14所构成。
作为隔离片3的基体13的构成材料，可举出例如石英玻璃、减少了Na等杂质含量的玻璃、钠钙玻璃、氧化铝之类的陶瓷等。这种基体13的构成材料，理想的是其热膨胀系数与电子源基板9、后平板1、前平板2等的构成材料相同或相近。
在覆盖隔离片3的表面的电阻膜14上流过电流，其大小等于施加在成为高电位一方的金属背衬11上的加速电压Va除以电阻膜14的电阻值，利用它来防止隔离片3表面的带电。因此，将电阻膜14的电阻值根据带电和功耗设定在所希望的这样范围内。从防止带电的观点来看，电阻膜14的薄片电阻优选的是小于等于1014Ω/□，更好的是小于等于1012Ω/□，最好的是小于1011Ω/□。电阻膜14的薄片电阻的下限受到隔离片3的形状和施加在隔离片3的电压所左右，为了抑制功耗，希望其下限为大于等于105Ω/□，更好的是大于等于107Ω/□。
根据构成电阻膜14材料的表面能和与基体13的密封性以及基体13的温度而不一样，一般10nm以下的薄膜成岛状，因电阻不稳定而缺乏再现性。另一方面，膜厚大于等于1μm时，膜应力变大膜剥落的危险性升高，且由于成膜时间变长而生产性变差。因此，形成在基体13上的电阻膜14的厚度希望在10nm～1μm的范围内。更好的膜厚是50～500nm。薄片电阻乃是ρ/t(ρ：电阻率，t：膜厚)，根据薄片电阻与膜厚的较佳范围，电阻膜14的电阻希望为0.1～108Ωcm。为了实现更好的薄片电阻与膜厚的范围，电阻率ρ取102～106Ωcm为佳。
如上所述，由于隔离片3表面上形成的电阻膜14中流过电流以及整个显示面板在运行中发热，所以隔离片3的温度上升。当电阻膜14的电阻温度系数是大的负数值时，温度上升时电阻值减小，流经电阻膜14的电流增加，当然应该带来温度上升。而且，电流继续增加直到超越电源的界限。产生这样的电流暴升的电阻温度系数值，从经验上来说是负值且其绝对值大于等于1％。也就是说，电阻膜14的电阻温度系数理想的是大于等于-1％的值。
作为电阻膜14的构成材料，例如可以用金属氧化物。金属氧化物之中，理想是铬氧化物、镍氧化物和铜氧化物。其理由在于此类氧化物的二次电子发射效率比较小，从电子发射元件8发射的电子即便命中隔离片3也难以带电。在此类金属氧化物之外，碳的二次电子发射效率低，是一种好材料。尤其非晶态碳是高电阻，所以容易得到合适的隔离片3的表面电阻。
作为电阻膜14的其它的构成材料，铝和过渡金属的合金的氮化物是很适合的材料，因为通过调整过渡金属的组成，可以从良导电体到绝缘体的宽广范围内控制电阻值，同时在显示面板的制作工序中电阻值变化小、稳定。作为过渡金属元素可以举出W、Ti、Cr、Ta等。还有，希望锗和过渡金属的氮化物的电气特性良好。其中，钨和锗的氮化物是更好的电阻膜。
上述的合金氮化物膜可以利用氮气气氛，采取溅射、电子束蒸发、离子电镀和离子辅助蒸发等的薄膜形成方法来生成。前述的金属氧化物膜可以采取利用氧气气氛的薄膜形成方法来生成。此外，也能用CVD法和烃氧基金属涂敷法来生成金属氧化物膜。碳膜采用蒸发法、溅射法、CVD法和等离子CVD法制作，尤其是非晶态碳膜，可以在成膜时的气氛中含有氢，或通过使用碳化氢气体作为成膜气体得到。
第1实施例
图1是从垂直方向所见的第1实施例的隔离片的剖面图。图2是图1的隔离片的电阻膜与行方向布线相接触部位的详细图。图3是图1的隔离片的部分斜视图。
如图1所示，隔离片3夹入在后平板1和前平板2之间，覆盖着隔离片3表面的电阻膜14压接着后平板1一侧的布线(本实施例中是行方向布线5)和前平板2一侧的导电构件(本实施例中是金属背衬11)，分别与之电连接。电阻膜14与行方向布线5的电连接如图2所示那样。
在隔离片3上，在电阻膜14与行方向布线5的接触部位形成凹形状。希望把凹形状的深度做到使接触位置不受行方向布线5的表面状态的影响。例如，作为条件是希望凹形状的深度比行方向布线5的平均表面粗糙度大。再者，凹形状也可以不一定必须是线状，如图4所示，为提高实施真空排气情况下下的排气效率等，可在中途设置一个或两个以上的十字形状的沟。对于凸形状下也一样，可在中途设置一个或两个以上的切入口。
关于本实施例说明过的显示面板，其行方向布线5之间的间隔取为920μm，行方向布线5的宽度取为690μm，从电子发射元件8的电子发射单元到行方向布线5上表面的高度取为75μm，行方向布线5的表面粗糙度用表面粗度计(Keyence超深度形状测定显微镜VK-8510)测定到的算术平均粗糙度是2μm。考虑到其表面粗糙度，将与隔离片3的行方向布线5相接触部位的凹状的深度取为20μm、宽度取为200μm，隔离片3的总厚度取为300μm、隔离片3的总高度取为2.4mm。
这里所谓的算术平均粗糙度，是基于与用表面粗度计计算测定值相同的原理，有关其细节，请参照日本工业标准：
标准编号：JISB0601(2001)，标准名称：“制成品的几何特性方法说明(GPS)--表面性状：轮廓曲线方式—用语，定义及表面性状参数”中的4.2.1项“轮廓曲线的算术平均高度”里所记载的(Ra)。
又，对金属背衬11施加的电压取为15KV，、行方向布线5和列行方向布线6之间施加的电压取为14V。再者，隔离片3采用加热延伸法制成。还有，与隔离片3的行方向布线5接触的部位的凹部的接触面的宽度越狭窄，接触位置的波动可以越小，理想的是根据隔离片3上的悬挂压力和隔离片3的强度来适宜地决定。
如上所述，通过把本发明用于显示面板，可以显示没有隔离片所致的图象畸变的良好图象。
第2实施例
关于本发明的第2实施例，仅就与第1实施例不同之点作说明。
图6是从垂直方向所见的第2实施例的隔离片剖面图。图7A是图6的隔离片的电阻膜与行方向布线接触部位的详细图。图8A及8B是显示第2实施例中的隔离片的其它形状例子的示意图。本实施例与第1实施例不同之点是：隔离片3的电阻膜14与行方向布线5的接触部分形成为凸的形状。通过这样制成的结构，可以缩窄电阻膜14与行方向布线5可能接触的面积，与此相随，也可以使接触位置的波动小。
在第2实施例中，也和第1实施例一样要把形成在隔离片3上的凸形状的高度做成接触位置不受行方向布线5的表面状态影响。例如，作为条件，希望凸形状的高度也比行方向布线5的平均表面粗糙度大。还有，隔离片3与行方向布线5的接触部位的接触面宽度越狭窄，接触位置的波动可以越小，这点也和第1实施例相同。必须考虑之点是，除隔离片3上所加的压力和波动容许值以外，在凸形状的情况下，由于根据沿面距离形状变化，最好也包含电子束到达位置，来作合适的决定。
另外，采用图7B的结构，进一步提高对电子束到达位置的控制性能。也就是说，通过把接触面积设置成图7A的一半左右的两个凸部，提高接触位置的隔离片的对象性能，是更准确地控制L1、L2的方法。还有，在图8A及8B所示形状的情况下，也希望注意上述各点来决定锥体角度。
在以上本实施例所说明的隔离片3中，隔离片3的总厚度取为300μm，隔离片3的总高度取为2.4mm，隔离片3与行方向布线5的接触部位的凸状高度取为20μm，隔离片3与行方向布线5的接触部位的凸状的接触面的宽度取为100μm。另外，隔离片3与行方向布线5的接触部位的凸状的接触面宽度越窄，接触位置的波动可以越小，理想的是根据隔离片3上所加的压力和隔离片3的强度来作适当的决定。
如上所述，通过把本发明用于显示面板，可以显示没有隔离片所致的图象畸变的良好图象。
第3实施例
关于本发明的第3实施例，仅就与第1、第2实施例不同之点作说明。
第3实施例与第1实施例的图1的结构类似。
图7C是从垂直方向所见的第3实施例的隔离片的剖面图。隔离片与图1相同，不同的是行方向布线5的形状。根据图示那样在行方向布线5上设置的突起，用作定位导轨的功能，使隔离片的设置变得容易。
第4实施例
关于本发明的第4实施例，仅就与第1、第2和第3实施例不同之点作说明。
第4实施例与第2实施例的图6的结构类似。
图7D是从垂直方向所见的第4实施例的隔离片的剖面图。隔离片与图6的相同，不同的是行方向布线5的形状。根据图示那样在行方向布线5上设置两个突起，用作定位导轨的功能，使隔离片的设置变得容易。
在此例中，由于隔离片的凸部高度比布线的突起大，所以隔离片和布线的对接位置就取决于隔离片的凸部。而且，与前述的第2实施例一样，隔离片的凸部处在以包含夹着隔离片的电子发射元件且与后平板的法线平行的平面横切隔离片的断面内，对于与后平板的法线方向平行的隔离片的中心线而言，隔离片和布线的接触位置以隔离片的中心线为对称。根据这点，由于把隔离片表面的电位分布作为对象，因此不存在从电子发射元件发射的电子束轨道变乱的问题。
还有，图7E是行方向布线5的形状的另一例子。如图所示，设置在行方向布线5上的突起的高度(即导轨的高度)变高，因此，位置决定变得更容易。
在图7E的结构里，布线的突起高度比隔离片的凸部高，所以隔离片和布线的接触位置取决于布线的突起。而且，与前述的第2实施例一样，隔离片的凸部处在以包含夹持隔离片的电子发射元件且与后平板的法线平行的平面横切的隔离片的断面内，对于与后平板的法线方向平行的隔离片的中心线而言，隔离片和布线的接触位置以隔离片的中心线为对称。根据这点，由于隔离片的表面电位分布成为对象，所以不存在从电子发射元件发射的电子束轨道变乱的现象。
第5实施例
关于本发明的第5实施例，仅就与第1、第2、第3和第4实施例不同之点作说明。
第5实施例与第3实施例的图7B的结构类似。
图7F是从垂直方向所见的第3实施例的隔离片的剖面图，隔离片与图7B相同，不同的是行方向布线5的形状。根据图示那样在行方向布线5上设置突起，用作定位导轨的功能，隔离片设置变得容易。
第6实施例
关于本发明的第6实施例，仅就与第1、第2、第3、第4和第5实施例的不同之点作说明。
图9是从垂直方向所见的第3实施例的隔离片的剖面图。本实施例是把第1实施例所示隔离片3的接触适用于在后平板1一侧和前平板2一侧控制的例子。
前平板2一侧的接触控制也可以使用在第1、2实施例中所叙述过的、在后平板1一侧的接触控制的考虑。
此外，在以上的实施例中，是使隔离片3的电阻膜14在后平板1一侧与行方向布线5接触，在使列方向布线6于表面露出的情况下，也可以使电阻膜与列行方向布线6接触。
在本实施例中，作为电子发射元件，除上述表面传导型电子发射元件之外，已经知道的有例如采用电场发射型(FE型)元件、金属/绝缘层/金属型(MIM型)发射元件和使用碳纳米管的电子发射元件等，用这类电子发射元件的任何一种都可以。
还有，本发明基于从隔离片中心的接触位置不同来抑制电压下降所引起的电位波动。根据这种想法，本发明不局限于图象形成装置，而是能适用于不带图象形成构件的装置，在电子束装置里也包括不带图象形成构件的装置。
此外，上面所述的本发明的显示装置能够应用到电视机。以下，就应用本发明的图象显示装置的电视机作说明。
图13是与本发明相关的电视装置的方框图。接收电路C20，由调谐器和译码器等构成，接收卫星播送和地面波等电视信号以及通过网络的数据广播等，把经解码的图象数据输出到1/F单元(接口单元)。1/F单元C30把图象数据变换成显示装置的显示格式，把图象数据输出到显示装置。显示装置C10由显示面板、驱动电路和控制电路组成，前面所述的图5的图象显示装置是能适用的。控制电路C13，既对输入的图象信号进行适合于显示面板的修正处理等图象处理，又向驱动电路输出图象数据和各种控制信号。作为修正处理，例如有抑制隔离片附近的象素和偏离隔离片象素的亮度波动处理，在控制电路C13中希望有亮度修正电路为好。驱动电路C12，基于输入的图象数据输出驱动信号到显示面板C11，显示出电视视频图象。
作为接收电路的1/F单元，既可以放入与作为调谐顶级机箱(STB)的显示装置不一个机箱里，也可以放在与显示装置同一个机箱里。

Claims (9)

1.一种电子束装置，包括：
具有多个电子发射元件以及夹持在上述多个电子发射元件中的一部分元件里、且设定为低电位的第一导体的第一基板，
与该第一基板相对配置、具有电位设定为高于上述第一导体的第二导体的第二基板，以及
沿着上述第一导体配置在上述第一基板与该第二基板之间、由与上述第一导体和上述第二导体电连接的电阻膜覆盖的隔离片，
其特征在于：
上述隔离片在与上述第一导体和/或第二导体连接一侧被上述电阻膜覆盖的表面上具有凹部或凸部，所述凹或或凸部相对于在以包含夹着上述隔离片的元件且与上述第一基板和/或第二基板的法线平行的平面横切上述隔离片的剖面内、与上述法线方向平行的隔离片的中心线大致对称。
2.如权利要求1所述的电子束装置，其特征在于：
上述凹部或凸部的高度大于上述第一导体和/或上述第二导体的表面粗糙度。
3.如权利要求1所述的电子束装置，其特征在于：上述第一导体与上述多个电子发射元件中的至少一部分电连接。
4.如权利要求1所述的电子束装置，其特征在于：
上述多个电子发射元件按二维形式配置排列，上述第一导体为与配置排列在一个方向上的多个电子发射元件连接的布线；上述第二导体为加速上述多个电子发射元件所发射的电子的加速电极。
5.如权利要求1所述的电子束装置，其特征在于：上述第二基板具有根据电子的照射而形成图象的图象形成构件。
6.一种隔离片结构，该隔离片与被设定为不同电位的第一导体和第二导体相接触、其基材由电阻膜覆盖；
其中，连接在上述第一导体和/或第二导体一侧的、上述隔离片的由上述电阻膜所覆盖的表面为矩形形状，且在该表面内形成凹部或凸部，所述凹部或凸部相对于划分与该表面的长边方向垂直的短边的上述隔离片的中心线大致对称。
7.一种图象显示装置，包括：
具有多个电子发射元件以及夹持在上述多个电子发射元件中的一部分元件里、且设定为低电位的第一导体的第一基板，
与该第一基板相对配置、具有电位设定为高于上述第一导体高的第二导体，以及通过上述电子发射元件所发射的电子束的照射形成图象的图象形成构件的第二基板，以及
沿着上述第一导体配置在上述第一基板与该第二基板之间、由与上述第一导体和上述第二导体电连接的电阻膜覆盖的隔离片，
其特征在于：
在与上述第一导体和/或第二导体连接一侧的、被上述隔离片的上述电阻膜覆盖的表面上备有凹部或凸部，所述凹部或凸部相对于在以含有夹着上述隔离片的元件且与上述第一基板和/或第二基板的法线平行的平面横切上述隔离片的剖面内、与上述法线方向平行的隔离片的中心线大致对称。
8.一种电视装置，具有如权利要求7所记载的图象显示装置、电视信号接收电路，以及与该图象显示装置和该电视信号接收电路连接的接口电路单元。
9.如权利要求8所述的的电视装置，其特征在于：
上述图象显示装置具有抑制耐大气支持体所致的亮度波动的电路单元，该电路单元修正来自上述接口电路单元的图象信号。
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