CN1909177A - 集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阴极玻璃面板、阳极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上有控制栅极、碳纳米管阴极以及集成条纹型阴极阵列结构；增大了碳纳米管的场致发射面积，同时采用玻璃作为栅极和阴极之间的绝缘隔离结构，进一步增强了二者之间的绝缘性能，提高了整体器件的集成度，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平面显示技术领域、电子科学与技术领域、真空科学与技术领域、集成电路科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及到带有集成条纹型阴极阵列结构的、碳纳米管阴极的场致发射平板显示器件的器件制作及其制作工艺。

背景技术

显示器件是一种十分重要的人机交流界面，在信息技术的高速发展过程中占据了不可或缺的地位。其中，平板显示器近年来以其高清晰度、高图像质量、完全平板化以及宽视角等优点，已经成为了显示技术领域发展的方向。碳纳米管具有小的尖端曲率半径，高的纵横比率以及良好的物理化学特性，高的机械强度，已经引起了众多科研人员的高度关注。当在碳纳米管顶端施加适当电压的时候，碳纳米管会发射出大量的电子，形成独特的场致发射现象。而利用碳纳米管作为阴极材料的平板显示器是一种新型的平面器件，它将CRT的高图像质量、液晶显示器的超薄型以及等离子体显示器的大面积性等优点集于一身，其应用越来越广泛，未来具有更大的发展空间。

在三极结构的碳纳米管阴极场致发射平板显示器件当中，控制栅极结构是比较关键的元件之一，它对碳纳米管阴极的电子发射起着十分必要的控制作用。一方面栅极和碳纳米管阴极之间的绝缘层的厚度要薄，这样才能尽可能的缩短控制栅极和阴极之间的距离，以便于更有效的降低平板器件的栅极工作电压；另一方面栅极和碳纳米管阴极之间的绝缘层要具有足够的绝缘强度，用于抵抗碳纳米管顶端的强大电场强度。更为重要的是，要考虑这种绝缘结构的制作材料和制作工艺可行性。一则，由于栅极结构要完全处于真空当中，因此绝缘层制作材料要适应于真空环境的要求，不能够释放出大量的气体；二则，该绝缘层材料要能够承受一定的温度，以便于为最后的玻璃烧结封装提供便利条件。三则，该绝缘层还要能够具有大面积制作的可行性。同时还要满足低成本等技术指标要求，这些都是值得思考和研究的现实问题。

在碳纳米管阴极发射电子的过程中，位于碳纳米管阴极边缘位置发射的电子最多，其表面形成的电场强度也最大，而在碳纳米管阴极的中央位置发射的电子则相对要少一些，或者根本就不发射电子，这也就是独特的边缘位置发射大量电子现象。那么如何充分利用这种独特现象，来更好的为制作新型显示器件服务呢？这是研究人员值得思考的一个现实问题。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保整体器件良好图像质量的前提下，还要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的带有集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器件及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的：一种集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板、阳极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上有控制栅极、碳纳米管阴极以及集成条纹型阴极阵列结构。

所述的集成条纹型阴极阵列结构的衬底材料为玻璃，也就是显示器件的阴极玻璃面板；对阴极玻璃面板进行刻蚀，形成条纹结构；条纹结构是可重复排列的；在纵向方向上条纹结构的突起部分和凹陷部分的宽度是不相同的，突起部分要比凹陷部分窄；在横向结构上同一条纹结构的宽度也是不一致的，宽部分形成一个椭圆形状，窄部分位于两个椭圆形状中间，使得两个椭圆形状相互连通；相邻条纹之间是平行且相互交错排列的；条纹结构的凹陷部分的底部存在一个栅极导电层；栅极导电层的上面存在一个栅极覆盖层；栅极覆盖层的厚度是不均匀的，位于条纹结构中窄部分的栅极覆盖层的厚度要厚，位于条纹结构中宽部分的栅极覆盖层的厚度要薄；条纹结构的突起部分的上面存在一个阴极导电层；阴极导电层是越过条纹结构窄部分的栅极绝缘层的上面而连接到一起的；阴极导电层的上面存在碳纳米管；碳纳米管位于阴极导电层上，但并不是全部不满阴极导电层的，而是环绕在椭圆型条纹结构的周围，其余的区域则没有碳纳米管。

所述的集成条纹型阴极阵列结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上，且栅极结构和阴极结构是集成到一起的，栅极位于碳纳米管的下方，控制着碳纳米管的电子发射，栅极导电层为锡铟氧化物膜层或为金属金、银、钼、锡、铝、铬，栅极覆盖层为二氧化硅层、聚酰亚胺层或绝缘浆料层，阴极导电层为金属金、银、锡、铬、钼，阴极导电层的走向和栅极导电层的走向是相互垂直的。

一种集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)条纹结构的制作：对阴极玻璃面板进行刻蚀，形成条纹结构；

3)栅极导电层的制作：在阴极玻璃面板上条纹结构中的底部蒸镀一层锡铟氧化物膜层或金属，刻蚀后形成栅极导电层；

4)栅极覆盖层的制作：在栅极导电层的上面制备出一个二氧化硅层、聚酰亚胺层或绝缘浆料层，刻蚀后形成栅极覆盖层；

5)阴极导电层的制作：在阴极玻璃面板上蒸镀一层金属，刻蚀后形成阴极导电层；

6)阴极玻璃面板的表面清洁处理：对阴极玻璃面板的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

7)碳纳米管的制作：将碳纳米管制备在阴极导电层上；

8)阳极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

9)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

10)绝缘层的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

11)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

12)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和玻璃围框[12]装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

13)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤2具体为对阴极玻璃面板进行刻蚀，形成条纹结构；条纹结构是重复排列的；在纵向方向上条纹结构的突起部分和凹陷部分的宽度是不相同的，突起部分要比凹陷部分窄；在横向结构上同一条纹结构的宽度也是不一致的，宽部分形成一个椭圆形状，窄部分位于两个椭圆形状中间，使得两个椭圆形状相互连通；相邻条纹结构之间是平行且相互交错排列的。

所述步骤4具体为在栅极导电层的上面制备出一个二氧化硅层、聚酰亚胺层或绝缘浆料层，刻蚀后形成栅极覆盖层；栅极覆盖层的厚度是不均匀的，位于条纹结构中窄部分的栅极覆盖层的厚度要厚，位于条纹结构中宽部分的栅极覆盖层的厚度要薄；但是栅极覆盖层要完全覆盖住栅极导电层。

所述步骤5具体为在阴极玻璃面板上蒸镀一层金属，刻蚀后形成阴极导电层；阴极导电层位于条纹结构的突起部分的上面；阴极导电层的走向和栅极导电层的走向是相互垂直的；阴极导电层是越过条纹结构窄部分的栅极绝缘层的上面而连接到一起的；相邻阴极导电层是相互平行排列的。

所述步骤7具体为将碳纳米管制备在阴极导电层上；碳纳米管位于阴极导电层上，但并不是全部不满阴极导电层的，而是环绕在椭圆型条纹结构的周围，其余的区域则没有碳纳米管。

所述步骤10具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

所述步骤11具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

所述步骤13具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行高温烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在本发明中的集成条纹型阴极阵列结构中的栅极结构位于碳纳米管阴极在下方，对碳纳米管阴极的电子发射起着有力的控制作用。当在栅极上施加适当电压以后，碳纳米管顶端就会形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子；由于碳纳米管阴极所发射的电子不经过栅极结构而直接到达阳极，这也就减少了栅极结构截获电子的几率，有利于进一步减少栅极电流，增强整体器件的显示亮度；

其次，在本发明中的集成条纹型阴极阵列结构中，碳纳米管阴极位于阴极导电层的上面，而且是呈现一种椭圆型形状分布于栅极结构的周围，这样就在进一步降低栅极电压的同时，还能够有效地增大碳纳米管阴极的发射面积，进一步提高阴极的发射电流密度；同时，还有效的利用了边缘位置发射大量电子现象；

第三，在本发明中的集成条纹型阴极阵列结构中，栅极结构和碳纳米管阴极之间是依靠玻璃进行相互隔离开来的。由于玻璃具有非常良好的绝缘性能，不会导致栅极和碳纳米管阴极二者之间短路现象的发生，极大地提高了整体器件的制作成功率；

此外，在本发明中的集成条纹型阴极阵列结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了集成条纹型阴极阵列结构的纵向结构示意图；

图2给出了集成条纹型阴极阵列结构的横向结构示意图；

图3给出了带有集成条纹型阴极阵列结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于这些实施例。

所述的一种带有集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板[1]、阳极玻璃面板[7]和四周玻璃围框[12]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[8]以及制备在阳极导电层上的荧光粉层[10]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[11]以及消气剂[13]附属元件。在阴极玻璃面板上有控制栅极[3]、碳纳米管阴极[6]以及集成条纹型阴极阵列结构。所述的集成条纹型阴极阵列结构包括阴极玻璃面板[1]、条纹结构[2]、栅极导电层[3]、栅极覆盖层[4]、阴极导电层[5]和碳纳米管阴极[6]部分。

所述的集成条纹型阴极阵列结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是显示器件的阴极玻璃面板[1]；对阴极玻璃面板进行刻蚀，形成条纹结构[2]；条纹结构是可重复排列的；在纵向方向上条纹结构的突起部分和凹陷部分的宽度是不相同的，突起部分要比凹陷部分窄；在横向结构上同一条纹结构的宽度也是不一致的，宽部分形成一个椭圆形状，窄部分位于两个椭圆形状中间，使得两个椭圆形状相互连通；相邻条纹之间是平行且相互交错排列的；条纹结构的凹陷部分的底部存在一个栅极导电层[3]；栅极导电层的上面存在一个栅极覆盖层[4]；栅极覆盖层[4]的厚度是不均匀的，位于条纹结构中窄部分的栅极覆盖层的厚度要厚，位于条纹结构中宽部分的栅极覆盖层的厚度要薄；条纹结构的突起部分的上面存在一个阴极导电层[5]；阴极导电层是越过条纹结构窄部分的栅极绝缘层的上面而连接到一起的；阴极导电层的上面存在碳纳米管[6]；碳纳米管位于阴极导电层上，但并不是全部不满阴极导电层的，而是环绕在椭圆型条纹结构的周围，其余的区域则没有碳纳米管。

所述的集成条纹型阴极阵列结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上，且栅极结构和阴极结构是集成到一起的，栅极位于碳纳米管的下方，控制着碳纳米管的电子发射。栅极导电层可以为锡铟氧化物膜层，也可以为金属金、银、钼、锡、铝、铬。栅极覆盖层可以为二氧化硅层，聚酰亚胺层，绝缘浆料层。阴极导电层可以为金属金、银、锡、铬、钼。阴极导电层的走向和栅极导电层的走向是相互垂直的。

一种带有集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)条纹结构[2]的制作：对阴极玻璃面板进行刻蚀，形成条纹结构；

3)栅极导电层[3]的制作：在阴极玻璃面板上条纹结构中的底部蒸镀一层金属铬，刻蚀后形成栅极导电层；

4)栅极覆盖层[4]的制作：在栅极导电层的上面制备出一个聚酰亚胺层，刻蚀后形成栅极覆盖层；

5)阴极导电层[5]的制作：在阴极玻璃面板上蒸镀一层金属钼，刻蚀后形成阴极导电层；

6)阴极玻璃面板的表面清洁处理：对阴极玻璃面板的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

7)碳纳米管[6]的制作：将碳纳米管制备在阴极导电层上；

8)阳极玻璃面板[7]的制作：对整体钠钙平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

9)阳极导电层[8]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

10)绝缘层[9]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

11)荧光粉层[10]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

12)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[11]和玻璃围框[12]装配到一起，并将消气剂[13]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

13)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤2具体为对阴极玻璃面板进行刻蚀，形成条纹结构；条纹结构是可重复排列的；在纵向方向上条纹结构的突起部分和凹陷部分的宽度是不相同的，突起部分要比凹陷部分窄；在横向结构上同一条纹结构的宽度也是不一致的，宽部分形成一个椭圆形状，窄部分位于两个椭圆形状中间，使得两个椭圆形状相互连通；相邻条纹结构之间是平行且相互交错排列的。

所述步骤4具体为在栅极导电层的上面制备出一个聚酰亚胺层，刻蚀后形成栅极覆盖层；栅极覆盖层的厚度是不均匀的，位于条纹结构中窄部分的栅极覆盖层的厚度要厚，位于条纹结构中宽部分的栅极覆盖层的厚度要薄；但是栅极覆盖层要完全覆盖住栅极导电层。

所述步骤5具体为在阴极玻璃面板上蒸镀一层金属钼，刻蚀后形成阴极导电层；阴极导电层位于条纹结构的突起部分的上面；阴极导电层的走向和栅极导电层的走向是相互垂直的；阴极导电层是越过条纹结构窄部分的栅极绝缘层的上面而连接到一起的；相邻阴极导电层是相互平行排列的。

所述步骤7具体为将碳纳米管制备在阴极导电层上；碳纳米管位于阴极导电层上，但并不是全部不满阴极导电层的，而是环绕在椭圆型条纹结构的周围，其余的区域则没有碳纳米管。

所述步骤10具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤11具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤13具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行高温烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (10)

1、一种集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板[1]、阳极玻璃面板[7]和四周玻璃围框[12]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[8]以及制备在阳极导电层上的荧光粉层[10]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[11]以及消气剂附属元件[13]，其特征在于：在阴极玻璃面板上有控制栅极[3]、碳纳米管阴极[6]以及集成条纹型阴极阵列结构。

2、根据权利要求1所述的集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器，其特征在于：所述的集成条纹型阴极阵列结构的衬底材料为玻璃，也就是显示器件的阴极玻璃面板[1]；对阴极玻璃面板进行刻蚀，形成条纹结构[2]；条纹结构是可重复排列的；在纵向方向上条纹结构的突起部分和凹陷部分的宽度是不相同的，突起部分要比凹陷部分窄；在横向结构上同一条纹结构的宽度也是不一致的，宽部分形成一个椭圆形状，窄部分位于两个椭圆形状中间，使得两个椭圆形状相互连通；相邻条纹之间是平行且相互交错排列的；条纹结构的凹陷部分的底部存在一个栅极导电层[3]；栅极导电层的上面存在一个栅极覆盖层[4]；栅极覆盖层[4]的厚度是不均匀的，位于条纹结构中窄部分的栅极覆盖层的厚度要厚，位于条纹结构中宽部分的栅极覆盖层的厚度要薄；条纹结构的突起部分的上面存在一个阴极导电层[5]；阴极导电层是越过条纹结构窄部分的栅极绝缘层的上面而连接到一起的；阴极导电层的上面存在碳纳米管[6]；碳纳米管位于阴极导电层上，但并不是全部不满阴极导电层的，而是环绕在椭圆型条纹结构的周围，其余的区域则没有碳纳米管。

3、根据权利要求2所述的集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器，其特征在于：所述的集成条纹型阴极阵列结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上，且栅极结构和阴极结构是集成到一起的，栅极位于碳纳米管的下方，控制着碳纳米管的电子发射，栅极导电层为锡铟氧化物膜层或为金属金、银、钼、锡、铝、铬，栅极覆盖层为二氧化硅层、聚酰亚胺层或绝缘浆料层，阴极导电层为金属金、银、锡、铬、钼，阴极导电层的走向和栅极导电层的走向是相互垂直的。

4、一种集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)条纹结构[2]的制作：对阴极玻璃面板进行刻蚀，形成条纹结构；

3)栅极导电层[3]的制作：在阴极玻璃面板上条纹结构中的底部蒸镀一层锡铟氧化物膜层或金属，刻蚀后形成栅极导电层；

4)栅极覆盖层[4]的制作：在栅极导电层的上面制备出一个二氧化硅层、聚酰亚胺层或绝缘浆料层，刻蚀后形成栅极覆盖层；

5)阴极导电层[5]的制作：在阴极玻璃面板上蒸镀一层金属，刻蚀后形成阴极导电层；

6)阴极玻璃面板的表面清洁处理：对阴极玻璃面板的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

7)碳纳米管[6]的制作：将碳纳米管制备在阴极导电层上；

8)阳极玻璃面板[7]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

9)阳极导电层[8]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

10)绝缘层[9]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

11)荧光粉层[10]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

12)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[11]和玻璃围框[12]装配到一起，并将消气剂[13]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

13)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

5、根据权利要求4所述的集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤2具体为对阴极玻璃面板进行刻蚀，形成条纹结构；条纹结构是重复排列的；在纵向方向上条纹结构的突起部分和凹陷部分的宽度是不相同的，突起部分要比凹陷部分窄；在横向结构上同一条纹结构的宽度也是不一致的，宽部分形成一个椭圆形状，窄部分位于两个椭圆形状中间，使得两个椭圆形状相互连通；相邻条纹结构之间是平行且相互交错排列的。

6、根据权利要求4所述的集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤4具体为在栅极导电层的上面制备出一个二氧化硅层、聚酰亚胺层或绝缘浆料层，刻蚀后形成栅极覆盖层；栅极覆盖层的厚度是不均匀的，位于条纹结构中窄部分的栅极覆盖层的厚度要厚，位于条纹结构中宽部分的栅极覆盖层的厚度要薄；但是栅极覆盖层要完全覆盖住栅极导电层。

7、根据权利要求4所述的集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤5具体为在阴极玻璃面板上蒸镀一层金属，刻蚀后形成阴极导电层；阴极导电层位于条纹结构的突起部分的上面；阴极导电层的走向和栅极导电层的走向是相互垂直的；阴极导电层是越过条纹结构窄部分的栅极绝缘层的上面而连接到一起的；相邻阴极导电层是相互平行排列的。

8、根据权利要求4所述的集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤7具体为将碳纳米管制备在阴极导电层上；碳纳米管位于阴极导电层上，但并不是全部不满阴极导电层的，而是环绕在椭圆型条纹结构的周围，其余的区域则没有碳纳米管。

9、根据权利要求4所述的集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤10具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

10、根据权利要求4所述的集成条纹型阴极阵列结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤11具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

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