CN101080123A - 八字型斜栅控结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 title description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 70
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 42
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 41
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims abstract description 35
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims abstract description 35
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 36
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 34
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 34
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 33
- 239000011133 lead Substances 0.000 claims description 24
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 22
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 21
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 11
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 9
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 9
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 6
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 claims description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 3
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 3
- MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N indium;tin;hydrate Chemical compound O.[In].[Sn] MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011135 tin Substances 0.000 claims description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims 14
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 claims 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims 1
- 238000012858 packaging process Methods 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 22
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 22
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 9
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 8
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 8
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 6
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 6
- 238000012536 packaging technology Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
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Abstract
本发明涉及一种八字型斜栅控结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上有栅极引线层、碳纳米管以及八字型斜栅控结构；能够增强栅极结构的控制效率，提高碳纳米管阴极的电子发射效率和电子发射数量，有利于提高器件的图像质量；具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。
Description
技术领域
本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种八字型斜栅控结构的平板显示器及其制作工艺。
背景技术
最近几年平板显示技术有了极大的发展，在高清晰度电视、计算机显示器、汽车终端显示设备以及军事用头盔目视镜等应用目标的推动下，显示技术正在朝向高分辨率、低工作电压、平板化、大型化方向发展。场致发射显示器是将真空微电子技术应用于显示设备方面而制作的发光器件，具有视角宽、响应速度快，分辨率高以及光效率高等优点。利用碳纳米管阴极而制作的场致发射显示器则更是一种新型的平板显示设备，是充分利用碳纳米管冷阴极的场致发射原理而构造出来的，业已成为了目前国际平板显示领域的热门话题。
在三极结构的场致发射显示器件当中，目前大多数显示器都采用了栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的结构模式，其制作工艺简单，栅极控制作用显著，但是栅极电流比较大，栅极电压居高不下，这是其不利之处。但无论是哪一种控制模式，实质上都是利用栅极结构的工作电压来在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子。而进一步降低栅极结构的工作电压就成为了器件制作人员努力的方向，也符合低压平板器件的质量体系要求。无论是直接减小栅极结构和阴极结构之间的距离，还是对碳纳米管阴极的形状加以改进，或是更改栅极结构的控制模式，都是降低栅极工作电压的具体手段。那么，在实际器件的制作过程中，究竟采用何种控制模式，究竟如何进一步降低栅极的工作电压，等等，就成为了急需解决的现实问题。
此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。
发明内容
本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的八字型斜栅控结构的平板显示器及其制作工艺。
本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及八字型斜栅控结构。
所述的八字型斜栅控结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的银浆层形成提升一层；提升一层呈现圆柱体型形状，其下表面为平面，和阴极引线层紧密接触；提升一层的侧面为垂直于阻滞层的竖直面，提升一层的上表面为平面，但在中心位置存在一个向下凹陷的半球型形状，提升一层上表面的周围形成一个平面圆环型形状；在提升一层上顶部半球型形状的上面印刷银浆层形成提升二层；提升二层呈现一个尖顶圆锥状形状，坐落于提升一层中半球型形状的上面；提升一层的侧面上印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要完全覆盖住提升一层的整个侧面；提升一层上顶面的圆环型形状的上面以及提升二层的表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层仅仅存在于提升一层上顶面的圆环型形状的上面，以及整体提升二层的上表面上；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在斜面孔，暴露出阴极导电层、提升一层和提升二层；间隔层中斜面孔的内侧壁是一个斜坡面，与间隔层上表面交界处的截面为一个中空的圆型面，此处的直径最小，从间隔层的上表面开始，逐渐向间隔层内部凹陷，直至到达间隔层的下表面位置为止；间隔层的上表面大部分为平面，但是在环绕斜面孔周围处其上表面也形成一个倾斜面，即从斜面孔的边缘处开始，其高度逐渐降低，形成一个与斜面孔内侧壁相呼应的倾斜面，直至到达间隔层平面部分位置为止；间隔层上表面斜坡面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层大部分都位于间隔层上表面的斜坡面上，但其前端部分在沿着斜坡面平行的方向上向斜面孔延伸，呈现悬空状态；环绕在斜面孔周围的调控栅极层的截面呈现一种八字型形状；间隔层上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要完全覆盖住栅极引线层以及位于斜坡面上的调控栅极层，但不能覆盖处于悬空状态的调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。
所述的八字型斜栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极导电层为金属铁、钴、镍；调控栅极层为金属金、银、铜、铝、钼、铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向相互垂直；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬。
一种八字型斜栅控结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：
1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃划割，制作出阴极玻璃面板；
2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；
3)阴极引线层[3]的制作：在阻滞层上面制出金属层，刻蚀成阴极引线层；
4)提升一层[4]的制作：在阴极引线层的上面印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成提升一层；
5)阴极覆盖层[5]的制作：在提升一层侧面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；
6)提升二层[6]的制作：在提升一层上顶部印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成提升二层；
7)阴极导电层[7]的制作：在提升二层表面上以及提升一层的圆环型上顶面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；
8)间隔层[8]的制作：在阻滞层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；
9)调控栅极层[9]的制作：在间隔层上表面的斜坡面上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；
10)栅极引线层[10]的制作：在间隔层上表面上制出一个金属层，刻蚀形成栅极引线层；
11)栅极覆盖层[11]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；
12)八字型斜栅控结构的表面清洁处理：对八字型斜栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；
13)碳纳米管[12]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；
14)阳极玻璃面板[13]的制作：对整体平板玻璃划割，制作出阳极玻璃面板；
15)阳极导电层[14]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；
16)绝缘浆料层[15]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；
17)荧光粉层[16]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；
18)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[17]和四周玻璃围框[18]装到一起，并将消气剂[19]放入到空腔中，用低熔点玻璃粉固定；
19)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。
所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。
所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
本发明具有如下的积极效果：
首先，在所述的八字型斜栅控结构中，分别制作了调控栅极层和栅极引线层结构部分。其中栅极引线层用于将外界电压传递到器件内部，而调控栅极层则是用于控制碳纳米管阴极的电子发射。呈现八字型形状的调控栅极层能够同时控制提升一层上顶部的圆环型碳纳米管阴极和提升二层上表面上的尖椎型碳纳米管阴极，极大地提高了栅极结构的控制效率。当在栅极结构上施加适当电压以后，就会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子。
其次，在八字型斜栅控结构中，将碳纳米管阴极制备在阴极导电层的上面，而阴极导电层则分别制作在提升一层的上顶部以及提升二层的表面上。可以极大地增加碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都参与电子发射。同时更改了碳纳米管阴极的形状，充分利用了碳纳米管阴极的边缘位置能够发射出大量电子的特有现象，提高了碳纳米管阴极的电子发射效率。
此外，在所述的八字型斜栅控结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。
附图说明
图1给出了八字型斜栅控结构的纵向结构示意图；
图2给出了八字型斜栅控结构的横向结构示意图；
图3给出了带有八字型斜栅控结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但并不局限于这些实施例。
所述的一种带有八字型斜栅控结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[13]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[18]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[14]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[16]；在阴极玻璃面板上有栅极引线层[10]、碳纳米管[12]以及八字型斜栅控结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[17]以及消气剂[19]附属元件。
所述的八字型斜栅控结构包括阴极玻璃面板[1]、阻滞层[2]、阴极引线层[3]、提升一层[4]、阴极覆盖层[5]、提升二层[6]、阴极导电层[7]、间隔层[8]、调控栅极层[9]、栅极引线层[10]、栅极覆盖层[11]和碳纳米管[12]部分。
所述的八字型斜栅控结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的银浆层形成提升一层；提升一层呈现圆柱体型形状，其下表面为平面，和阴极引线层紧密接触；提升一层的侧面为垂直于阻滞层的竖直面，提升一层的上表面为平面，但在中心位置存在一个向下凹陷的半球型形状，提升一层上表面的周围形成一个平面圆环型形状；在提升一层上顶部半球型形状的上面印刷银浆层形成提升二层；提升二层呈现一个尖顶圆锥状形状，坐落于提升一层中半球型形状的上面；提升一层的侧面上印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要完全覆盖住提升一层的整个侧面；提升一层上顶面的圆环型形状的上面以及提升二层的表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层仅仅存在于提升一层上顶面的圆环型形状的上面，以及整体提升二层的上表面上；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在斜面孔，暴露出阴极导电层、提升一层和提升二层；间隔层中斜面孔的内侧壁是一个斜坡面，与间隔层上表面交界处的截面为一个中空的圆型面，此处的直径最小，从间隔层的上表面开始，逐渐向间隔层内部凹陷，直至到达间隔层的下表面位置为止；间隔层的上表面大部分为平面，但是在环绕斜面孔周围处其上表面也形成一个倾斜面，即从斜面孔的边缘处开始，其高度逐渐降低，形成一个与斜面孔内侧壁相呼应的倾斜面，直至到达间隔层平面部分位置为止；间隔层上表面斜坡面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层大部分都位于间隔层上表面的斜坡面上，但其前端部分在沿着斜坡面平行的方向上向斜面孔延伸，呈现悬空状态；环绕在斜面孔周围的调控栅极层的截面呈现一种八字型形状；间隔层上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要完全覆盖住栅极引线层以及位于斜坡面上的调控栅极层，但不能覆盖处于悬空状态的调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。
所述的八字型斜栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极导电层为金属铁、钴、镍；调控栅极层为金属金、银、铜、铝、钼、铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向相互垂直；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬。
一种八字型斜栅控结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：
1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃划割，制作出阴极玻璃面板；
2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；
3)阴极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；
4)提升一层[4]的制作：在阴极引线层的上面印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成提升一层；
5)阴极覆盖层[5]的制作：在提升一层的侧面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；
6)提升二层[6]的制作：在提升一层上顶部印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成提升二层；
7)阴极导电层[7]的制作：在提升二层的表面上以及提升一层的圆环型上顶面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；
8)间隔层[8]的制作：在阻滞层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；
9)调控栅极层[9]的制作：在间隔层上表面的斜坡面上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；
10)栅极引线层[10]的制作：在间隔层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；
11)栅极覆盖层[11]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；
12)八字型斜栅控结构的表面清洁处理：对八字型斜栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；
13)碳纳米管[12]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；
14)阳极玻璃面板[13]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；
15)阳极导电层[14]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；
16)绝缘浆料层[15]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；
17)荧光粉层[16]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；
18)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[17]和四周玻璃围框[18]装到一起，将消气剂[19]放入到空腔中，用低熔点玻璃粉固定；
19)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。
所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。
所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
Claims (7)
1、一种八字型斜栅控结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[13]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[18]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[14]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[16]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[17]以及消气剂附属元件[19]；其特征在于：在阴极玻璃面板上有栅极引线层[10]、碳纳米管[12]以及八字型斜栅控结构。
2、根据权利要求1所述的八字型斜栅控结构的平板显示器，其特征在于：所述的八字型斜栅控结构的衬底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面印刷的银浆层形成提升一层；提升一层呈现圆柱体型形状，其下表面为平面，和阴极引线层紧密接触；提升一层侧面为垂直于阻滞层的竖直面，提升一层上表面为平面，但在中心位置存在一个向下凹陷的半球型形状，提升一层上表面的周围形成一个平面圆环型形状；在提升一层上顶部半球型形状的上面印刷银浆层形成提升二层；提升二层呈现一个尖顶圆锥状形状，坐落于提升一层中半球型形状的上面；提升一层的侧面上印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要完全覆盖住提升一层的整个侧面；提升一层上顶面的圆环型形状的上面以及提升二层的表面上刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层仅仅存在于提升一层上顶面的圆环型形状的上面，以及整体提升二层的上表面上；阻滞层上面印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层下表面为平面，覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在斜面孔，暴露出阴极导电层、提升一层和提升二层；间隔层中斜面孔的内侧壁是一个斜坡面，与间隔层上表面交界处的截面为一个中空的圆型面，此处直径最小，从间隔层的上表面开始，逐渐向间隔层内部凹陷，直至到达间隔层的下表面位置为止；间隔层的上表面大部分为平面，但是在环绕斜面孔周围处其上表面也形成一个倾斜面，即从斜面孔的边缘处开始，其高度逐渐降低，形成一个与斜面孔内侧壁相呼应的倾斜面，直至到达间隔层平面部分位置为止；间隔层上表面斜坡面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层大部分都位于间隔层上表面的斜坡面上，但其前端部分在沿着斜坡面平行的方向上向斜面孔延伸，呈现悬空状态；环绕在斜面孔周围的调控栅极层的截面呈现一种八字型形状；间隔层上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要完全覆盖住栅极引线层以及位于斜坡面上的调控栅极层，但不能覆盖处于悬空状态的调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。
3、根据权利要求2所述的八字型斜栅控结构的平板显示器，其特征在于：所述的八字型斜栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极导电层为金属铁、钴、镍；调控栅极层为金属金、银、铜、铝、钼、铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向相互垂直；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬。
4、一种八字型斜栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：
1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；
2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；
3)阴极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；
4)提升一层[4]的制作：在阴极引线层的上面印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成提升一层；
5)阴极覆盖层[5]的制作：在提升一层的侧面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；
6)提升二层[6]的制作：在提升一层上顶部印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成提升二层；
7)阴极导电层[7]的制作：在提升二层的表面上以及提升一层的圆环型上顶面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；
8)间隔层[8]的制作：在阻滞层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；
9)调控栅极层[9]的制作：在间隔层上表面的斜坡面上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；
10)栅极引线层[10]的制作：在间隔层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；
11)栅极覆盖层[11]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；
12)八字型斜栅控结构的表面清洁处理：对八字型斜栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；
13)碳纳米管[12]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；
14)阳极玻璃面板[13]的制作：对整体平板玻璃划割，制出阳极玻璃面板；
15)阳极导电层[14]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；
16)绝缘浆料层[15]的制作：在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层；
17)荧光粉层[16]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；
18)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[17]和四周玻璃围框[18]装到一起，将消气剂[19]放到空腔中，用低熔点玻璃粉固定；
19)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
5、根据权利要求4所述的八字型斜栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。
6、根据权利要求4所述的八字型斜栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。
7、根据权利要求4所述的八字型斜栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNB2007100546383A CN100527327C (zh) | 2007-06-20 | 2007-06-20 | 八字型斜栅控结构的平板显示器及其制作工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNB2007100546383A CN100527327C (zh) | 2007-06-20 | 2007-06-20 | 八字型斜栅控结构的平板显示器及其制作工艺 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101080123A true CN101080123A (zh) | 2007-11-28 |
| CN100527327C CN100527327C (zh) | 2009-08-12 |
Family
ID=38907279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNB2007100546383A Expired - Fee Related CN100527327C (zh) | 2007-06-20 | 2007-06-20 | 八字型斜栅控结构的平板显示器及其制作工艺 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN100527327C (zh) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101777478B (zh) * | 2009-12-22 | 2012-03-14 | 中原工学院 | 同八字型斜高栅阴控结构的平板显示器及其制作工艺 |
| CN106024558A (zh) * | 2016-07-07 | 2016-10-12 | 金陵科技学院 | 环形凸翘边多棱柱体层叠阴极平曲弧门控结构的发光显示器 |
| CN106128921A (zh) * | 2016-07-07 | 2016-11-16 | 金陵科技学院 | 斜弓弧门控凹陷顶椭圆锥阴极结构的发光显示器 |
| CN106783462A (zh) * | 2017-01-03 | 2017-05-31 | 金陵科技学院 | 前后弧非等同银门控交错斑点环互连边阴极结构的发光显示器 |
| CN106803474A (zh) * | 2017-01-03 | 2017-06-06 | 金陵科技学院 | 圆弧辅全曲银门控三连续洼面棱边阴极结构的发光显示器 |
| CN106847645A (zh) * | 2017-01-03 | 2017-06-13 | 金陵科技学院 | 多角直弧结合银门控异斜曲面分段大边阴极结构的发光显示器 |
| CN106847654A (zh) * | 2017-01-03 | 2017-06-13 | 金陵科技学院 | 曲面圆缩口独门控去角旋转山环沿阴极结构的发光显示器 |
| CN106847647A (zh) * | 2017-01-03 | 2017-06-13 | 金陵科技学院 | 同倾斜度四凹面银门控高低双上凸弧面阴极结构的发光显示器 |
-
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