CN100561649C - 倒丁字型侧栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种倒丁字型侧栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上有栅极引线层、碳纳米管以及倒丁字型侧栅控阴极结构；能够进一步增强栅极的控制功能和控制效率，提高器件的显示图像质量；具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

倒丁字型侧栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种倒丁字型侧栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

场致发射平板显示器件是一种新型平板显示设备，适用于各种场所的屏幕显示器材，如指挥中心、家用电视机、会议室、演播室等的壁挂彩色电视机，大型户外和室内广告牌，车站、机场、码头的交通信息和股市信息等。碳纳米管阴极的场致发射显示器是利用碳纳米管的场致发射原理而研制的、结合了阴极射线管显示器的高图像质量特点的平面显示器件，具有高亮度、高分辨率、功耗低、视角宽、适用温区广特点，已经成为了国际平板显示领域的热门话题。

目前，在大多数的碳纳米管阴极场致发射显示器件当中，都采用了栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的结构模式，其优点很多，但也有难以克服的不利之处，如控制栅极电压居高不下，从而难以和常规的集成驱动电路相结合；栅极电流过于偏大，从而导致整体器件的显示亮度有所降低；碳纳米管阴极的制作难度很大，不能确保器件图像的显示均匀性；等等。虽然可以通过减小栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，使得能够在较低的栅极工作电压下就能够在碳纳米管阴极顶端形成足够大的电场强度，达到进一步降低栅极工作电压的目的，但是这同时也要受到绝缘材料的绝缘程度、制作工艺以及材料属性等因素的制约，否则很容易造成器件的电学击穿。因此，在实际器件的制作过程中，究竟采用何种控制栅极结构模式，采用何种制作材料，如何进一步降低栅极工作电压，等等问题，都需要认真地思考和研究。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的倒丁字型侧栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及倒丁字型侧栅控阴极结构。

所述的倒丁字型侧栅控阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极升高层；阴极升高层要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；阴极升高层中存在小圆孔，用作阴极延长线层的通道；阴极升高层中小圆孔内的印刷的银浆层形成阴极延长线层；阴极延长线层和阴极引线层是相互连通的；阴极升高层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住阴极升高层的上表面；栅极增高层中存在圆型孔，即圆型孔在栅极增高层的上表面形成一个中空的圆形面，圆型孔的内侧壁是一种垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，圆型孔的底部要暴露出阴极延长线层孔；栅极增高层圆型孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极一层；调控栅极一层要布满栅极增高层圆型孔内侧壁的表面；调控栅极一层上面的印刷的绝缘浆料层形成附加栅极增高层；附加栅极增高层依附于调控栅极一层的表面上，呈现圆环型形状环绕在圆型孔的内侧周围；附加栅极增高层的下表面和阴极升高层相互接触，附加栅极增高层的上表面为一个倾斜面，从附加栅极增高层与调控栅极一层的交界处开始，逐渐向下倾斜，直至到达附加栅极增高层的内侧壁表面位置为止；附加栅极增高层上倾斜面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层和调控栅极一层是相互连通的；栅极增高层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极一层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极增高层圆型孔的底部表面上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆盘面型形状，依附于圆型孔底部表面上，其下表面和阴极延长线层相互连通；阴极过渡层上面的印刷的银浆层形成提升层；提升层呈现圆柱体型形状，矗立于阴极过渡层的中心位置，周围暴露出环状的阴极过渡层；提升层的高度与附加栅极增高层的最高度相同；提升层表面上和阴极过渡层表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层布满提升层的表面以及阴极过渡层的剩余上表面；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的倒丁字型侧栅控阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡、铅、铟；阴极延长线层为金属金、银、铝、钼、铬、锡、铜、铟；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向相互垂直；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极一层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；调控栅极二层为金属金、银、铝、钼、铬、锡。

一种倒丁字型侧栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层的制作：在阻滞层上面制出金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)阴极升高层的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极升高层；

5)阴极延长线层的制作：在阴极升高层小圆孔内印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极延长线层；

6)栅极增高层的制作：在阴极升高层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；

7)调控栅极一层的制作：在栅极增高层圆型孔内侧壁上制出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极一层；

8)附加栅极增高层的制作：在调控栅极一层的表面上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极增高层；

9)调控栅极二层的制作：在附加栅极增高层的上倾斜面上制出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极二层；

10)栅极引线层的制作：在栅极增高层上面制金属层，刻蚀成栅极引线层；

11)栅极覆盖层的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

12)阴极过渡层的制作：在栅极增高层圆型孔的底部表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

13)提升层的制作：在阴极过渡层上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺形成提升层；

14)阴极导电层的制作：在提升层的表面上以及阴极过渡层的表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

15)倒丁字型侧栅控阴极结构的表面清洁处理：对倒丁字型侧栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

16)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

17)阳极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

18)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

19)绝缘浆料层的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

20)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

21)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

22)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤19具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤20具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤22具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的倒丁字型侧栅控阴极结构中，将栅极结构制作在了碳纳米管阴极结构的旁侧。当在栅极结构上施加适当电压以后，就会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子，从而体现了栅极结构的控制功能。由于调控栅极二层的末端可以尽可能的接近于碳纳米管阴极，缩短了二者之间的距离，从而可以极大地降低栅极结构的工作电压。调控栅极一层和调控栅极二层共同构成控制栅极结构，来负责控制碳纳米管阴极的电子发射，分别从顶部和侧面来对碳纳米管阴极施加电压，这样就同时结合了侧栅结构和高栅结构的优点，有助于进一步增强栅极的控制效率和控制功能。

其次，在所述的倒丁字型侧栅控阴极结构中，将碳纳米管制作在了阴极导电层的上面，而阴极导电层则分布于提升层的上表面以及阴极过渡层的上表面，这样，增加了碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都参与电子发射，有助于提高器件的显示亮度；充分利用了碳纳米管阴极的边缘位置发射大量电子的特有现象，提高了碳纳米管阴极的电子发射效率。将栅极结构和阴极结构高度集成到一起，有助于促进整体器件的高度集成化发展；

此外，在所述的倒丁字型侧栅控阴极结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了倒丁字型侧栅控阴极结构的纵向结构示意图；

图2给出了倒丁字型侧栅控阴极结构的横向结构示意图；

图3给出了倒丁字型侧栅控阴极结构发射结构的平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但并不局限于这些实施例。

所述的一种带有倒丁字型侧栅控阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[14]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[19]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[15]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[17]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[20]以及消气剂[22]附属元件；在阴极玻璃面板上有栅极引线层[10]、碳纳米管[15]以及倒丁字型侧栅控阴极结构。

所述的倒丁字型侧栅控阴极结构包括阴极玻璃面板[1]、阻滞层[2]、阴极引线层[3]、阴极升高层[4]、阴极延长线层[5]、栅极增高层[6]、调控栅极一层[7]、附加栅极增高层[8]、调控栅极二层[9]、栅极引线层[10]、栅极覆盖层[11]、阴极过渡层[12]、提升层[13]、阴极导电层[14]和碳纳米管[15]部分。

所述的倒丁字型侧栅控阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极升高层；阴极升高层要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；阴极升高层中存在小圆孔，用作阴极延长线层的通道；阴极升高层中小圆孔内的印刷的银浆层形成阴极延长线层；阴极延长线层和阴极引线层是相互连通的；阴极升高层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住阴极升高层的上表面；栅极增高层中存在圆型孔，即圆型孔在栅极增高层的上表面形成一个中空的圆形面，圆型孔的内侧壁是一种垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，圆型孔的底部要暴露出阴极延长线层孔；栅极增高层圆型孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极一层；调控栅极一层要布满栅极增高层圆型孔内侧壁的表面；调控栅极一层上面的印刷的绝缘浆料层形成附加栅极增高层；附加栅极增高层依附于调控栅极一层的表面上，呈现圆环型形状环绕在圆型孔的内侧周围；附加栅极增高层的下表面和阴极升高层相互接触，附加栅极增高层的上表面为一个倾斜面，从附加栅极增高层与调控栅极一层的交界处开始，逐渐向下倾斜，直至到达附加栅极增高层的内侧壁表面位置为止；附加栅极增高层上倾斜面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层和调控栅极一层是相互连通的；栅极增高层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极一层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极增高层圆型孔的底部表面上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆盘面型形状，依附于圆型孔底部表面上，其下表面和阴极延长线层相互连通；阴极过渡层上面的印刷的银浆层形成提升层；提升层呈现圆柱体型形状，矗立于阴极过渡层的中心位置，周围暴露出环状的阴极过渡层；提升层的高度与附加栅极增高层的最高度相同；提升层表面上和阴极过渡层表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层布满提升层的表面以及阴极过渡层的剩余上表面；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的倒丁字型侧栅控阴极结构安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡、铅、铟；阴极延长线层为金属金、银、铝、钼、铬、锡、铜、铟；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极一层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；调控栅极二层为金属金、银、铝、钼、铬、锡。

一种倒丁字型侧栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)阴极升高层[4]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极升高层；

5)阴极延长线层[5]的制作：在阴极升高层小圆孔内印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极延长线层；

6)栅极增高层[6]的制作：在阴极升高层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；

7)调控栅极一层[7]的制作：在栅极增高层圆型孔的内侧壁上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极一层；

8)附加栅极增高层[8]的制作：在调控栅极一层的表面上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极增高层；

9)调控栅极二层[9]的制作：在附加栅极增高层的上倾斜面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极二层；

10)栅极引线层[10]的制作：在栅极增高层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

11)栅极覆盖层[11]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

12)阴极过渡层[12]的制作：在栅极增高层圆型孔的底部表面上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极过渡层；

13)提升层[13]的制作：在阴极过渡层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成提升层；

14)阴极导电层[14]的制作：在提升层的表面上以及阴极过渡层的表面上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

15)倒丁字型侧栅控阴极结构的表面清洁处理：对倒丁字型侧栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

16)碳纳米管[15]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

17)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

18)阳极玻璃面板[16]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

19)阳极导电层[17]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

20)绝缘浆料层[18]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

21)荧光粉层[19]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

22)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[20]和四周玻璃围框[21]装配到一起，并将消气剂[22]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

23)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤20具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤21具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤23具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (6)

1、一种倒丁字型侧栅控阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[14]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[19]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[15]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[17]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[20]以及消气剂附属元件[22]；其特征在于：

所述倒丁字型侧栅控阴极结构以阴极玻璃面板为衬底材料，该衬底材料为钠钙玻璃或硼硅玻璃；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成阴极升高层；阴极升高层要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；阴极升高层中存在小圆孔，用作阴极延长线层的通道；阴极升高层中小圆孔内印刷的银浆层形成阴极延长线层；阴极延长线层和阴极引线层是相互连通的；阴极升高层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住阴极升高层的上表面；栅极增高层中存在圆型孔，即圆型孔在栅极增高层的上表面形成一个中空的圆形面，圆型孔的内侧壁是一种垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，圆型孔的底部要暴露出阴极延长线层孔；栅极增高层圆型孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极一层；调控栅极一层要布满栅极增高层圆型孔内侧壁的表面；调控栅极一层上面印刷的绝缘浆料层形成附加栅极增高层；附加栅极增高层依附于调控栅极一层的表面上，呈现圆环型形状环绕在圆型孔的内侧周围；附加栅极增高层的下表面和阴极升高层相互接触，附加栅极增高层的上表面为一个倾斜面，从附加栅极增高层与调控栅极一层的交界处开始，逐渐向下倾斜，直至到达附加栅极增高层的内侧壁表面位置为止；附加栅极增高层上倾斜面上刻蚀后的金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层和调控栅极一层是相互连通的；栅极增高层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极一层相互连通；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极增高层圆型孔的底部表面上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆盘面型形状，依附于圆型孔底部表面上，其下表面和阴极延长线层相互连通；阴极过渡层上面的印刷的银浆层形成提升层；提升层呈现圆柱体型形状，矗立于阴极过渡层的中心位置，周围暴露出环状的阴极过渡层；提升层的高度与附加栅极增高层的最高度相同；提升层表面上和阴极过渡层表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层布满提升层的表面以及阴极过渡层的剩余上表面；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

2、根据权利要求1所述的倒丁字型侧栅控阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的阴极引线层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡、铅、铟；阴极延长线层为金属金、银、铝、钼、铬、锡、铜、铟；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向相互垂直；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极一层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；调控栅极二层为金属金、银、铝、钼、铬、锡。

3、一种如权利要求1所述的倒丁字型侧栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)阴极升高层[4]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极升高层；

5)阴极延长线层[5]的制作：在阴极升高层小圆孔内印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极延长线层；

6)栅极增高层[6]的制作：在阴极升高层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；

7)调控栅极一层[7]的制作：在栅极增高层圆型孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极一层；

8)附加栅极增高层[8]的制作：在调控栅极一层的表面上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极增高层；

9)调控栅极二层[9]的制作：在附加栅极增高层的上倾斜面上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极二层；

10)栅极引线层[10]的制作：在栅极增高层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

11)栅极覆盖层[11]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

12)阴极过渡层[12]的制作：在栅极增高层圆型孔的底部表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

13)提升层[13]的制作：在阴极过渡层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成提升层；

14)阴极导电层[14]的制作：在提升层的表面上以及阴极过渡层的表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

15)倒丁字型侧栅控阴极结构的表面清洁处理：对倒丁字型侧栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

16)碳纳米管[15]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

17)阳极玻璃面板[16]的制作：对整体平板玻璃划割，制出阳极玻璃面板；

18)阳极导电层[17]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

19)绝缘浆料层[18]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

20)荧光粉层[19]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

21)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[20]和四周玻璃围框[21]装配到一起，并将消气剂附属元件[22]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

22)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

4、根据权利要求3所述的倒丁字型侧栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤19具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

5、根据权利要求3所述的倒丁字型侧栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤20具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

6、根据权利要求3所述的倒丁字型侧栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤22具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱中进行烘烤；放入烧结炉中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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