CN101071742A - 分岔状侧底栅控型结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种分岔状侧底栅控型结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上有栅极引线层、碳纳米管以及分岔状侧底栅控型结构；能够进一步增大阳极工作电流，降低栅极结构的工作电压，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

分岔状侧底栅控型结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种分岔状侧底栅控型结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

碳纳米管场致发射显示器是结合了传统阴极射线管显示器的高图像质量特点的、利用碳纳米管阴极场致电子发射原理而研制的新型平面显示技术。这种显示器具有自主发光的特型，不需要背光源，而且在较低的工作电压下就能够产生与阴极射线管显示器相近的高亮度，其工作温度范围比较广，具有较佳的耐环境性能，因此早就引起了众多科研人员的高度关注。碳纳米管是一种呈现小管状的石墨层结构物质，具有小的尖端曲率半径，能够在外加电场强度作用下发射电子，是一种性能相当优秀的场致发射冷阴极材料。

在目前的三极结构场致发射平板显示器件当中，尽管器件结构各不相同，其栅极结构的控制模式也多种多样，但实质上栅极结构的基本功能没有发生变化，即通过减小栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，使得较小的栅极电压就能够在碳纳米管阴极顶端形成足够大的电场强度，进行电子发射，从而降低了器件的工作电压。但是在目前的显示器件当中，大多数的显示器件都采用了栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的控制模式，其制作工艺较简单，栅极的控制功能较显著，但是随之附带的就是栅极电压居高不下，栅极电流过于偏大等不利之处，还需要进一步的改进。碳纳米管阴极对整体器件的影响也不容忽视，更多的碳纳米管阴极进行电子发射则有利于提高器件的显示亮度，而碳纳米管阴极形状的变化，会对阴极顶端的电场强度的形成具有决定性的影响作用，从这一方面也可以进行间接的降低栅极结构的工作电压。因此，在实际器件的设计和制作过程中，如何将各种影响因素综合到一起，究竟采用何种控制结构模式，进行高质量的器件制作，都需要认真地思考和加以解决。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用前提下，还需降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的分岔状侧底栅控型结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上有栅极引线层、碳纳米管以及分岔状侧底栅控型结构。

所述的分岔状侧底栅控型结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上面的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层的上下表面均为平面，其下表面要覆盖住栅极引线层以及空余的绝缘层部分；栅极增高层中存在圆型孔，即圆型孔在栅极增高层上表面所形成的截面为一个中空的圆盘面，圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面；栅极增高层中圆型孔的底部暴露栅极引线层；栅极增高层中圆型孔的内侧壁上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极一层；调控栅极一层呈现圆筒面状依附于圆型孔的内侧壁上，并且和底部栅极引线层相互连通；栅极增高层圆型孔中印刷的绝缘浆料层形成附加栅极增高层；附加栅极增高层的底部完全覆盖栅极引线层，下部分填充满栅极增高层的圆型孔，上部分呈现三角圆锥型形状，位于栅极增高层圆型孔的中央位置；附加栅极增高层上面三角圆锥型形状侧面上刻蚀后的金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层和调控栅极一层相互连通；栅极增高层上面印刷绝缘浆料层形成隔离一层；调控栅极一层和调控栅极二层上面印刷的绝缘浆料层形成隔离二层；隔离一层和隔离二层的上表面是平齐的，是连接在一起的，且均为平面；隔离二层上表面上存在方形孔，即方形孔纵向截面为方形，环绕在调控栅极一层的内部，呈现一个圆环型形状，方形孔的内侧壁也垂直于阴极玻璃面板；方形孔的底部上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层上面的印刷的银浆层形成阴极增高层；阴极增高层位于阴极过渡层的中央位置，呈现圆环型形状环绕在阴极过渡层的上方，其圆环中心位置与阴极过渡层的圆环中心位置相重合，将阴极过渡层划分为内外两个圆环部分；阴极过渡层表面上的以及阴极增高层表面上刻蚀后的金属层形成阴极导电层；隔离一层上面刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和阴极过渡层、阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的分岔状侧底栅控型结构安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极一层为金属金、银、铝、钼、铬、铜；调控栅极二层为金属金、银、铝、钼、铬；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍。

一种分岔状侧底栅控型结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层的制作：在绝缘层上制出一个金属层，刻蚀形成栅极引线层；

4)栅极增高层的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；

5)调控栅极一层的制作：在栅极增高层圆型孔的内侧壁上面制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极一层；

6)附加栅极增高层的制作：在栅极增高层圆型孔中印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极增高层；

7)调控栅极二层的制作：在附加栅极增高层上面三角圆锥型形状侧面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极二层；

8)隔离一层的制作：在栅极增高层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离一层；

9)隔离二层的制作：在调控栅极一层和调控栅极二层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离二层；

10)阴极过渡层的制作：在方形孔的底部上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

11)阴极增高层的制作：在阴极过渡层的上面印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极增高层；

12)阴极导电层的制作：在阴极过渡层表面上以及阴极增高层表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

13)阴极引线层的制作：在隔离一层上制出金属层，刻蚀形成阴极引线层；

14)阴极覆盖层的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

15)分岔状侧底栅控型结构的表面清洁处理：对分岔状侧底栅控型结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

16)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

17)阳极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

18)阳极导电层[17]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

19)绝缘浆料层[18]的制作：在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层；

20)荧光粉层[19]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

21)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

22)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤19具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤20具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤22具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的分岔状侧底栅控型结构中，将碳纳米管阴极制作在了呈现倒T型阴极导电层的表面上。这样充分利用了碳纳米管阴极中的边缘位置能够发射大量电子的特有现象，提高了碳纳米管阴极的电子发射效率；增大了碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都能够发射出大量的电子，有助于提高整体器件的显示亮度；由于碳纳米管阴极和调控栅极层之间可以尽可能的接近，也就缩短了二者之间的距离，可以降低栅极结构的工作电压。

其次，在所述分岔状侧底栅控型结构中，将栅极结构制在碳纳米管阴极结构的侧面和下方。可以充分结合底栅和侧栅结构各自优点，进行高质量的器件制作；由于栅极结构位于碳纳米管阴极的旁侧和下端，因此从碳纳米管阴极所发射的电子不会受到栅极结构的截留，极大地减小了栅极电流。当在调控栅极层上施加适当电压以后，就会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量电子，从而也会体现出栅极结构的强大控制功能。

此外，在分岔状侧底栅控型结构中，并没采用特殊的结构制作材料，也没采用特殊的器件制作工艺，这就降低了整体平板显示器件制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了分岔状侧底栅控型结构的纵向结构示意图；

图2给出了分岔状侧底栅控型结构的横向结构示意图；

图3给出了分岔状侧底栅控型结构发射结构的平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但并不局限于这些实施例。

所述的分岔状侧底栅控型结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[16]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[21]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[17]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[19]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[20]及消气剂附属元件[22]；在阴极玻璃面板上有栅极引线层[3]、碳纳米管[15]以及分岔状侧底栅控型结构。

所述的分岔状侧底栅控型结构包括阴极玻璃面板[1]、绝缘层[2]、栅极引线层[3]、栅极增高层[4]、调控栅极一层[5]、附加栅极增高层[6]、调控栅极二层[7]、隔离一层[8]、隔离二层[9]、阴极过渡层[10]、阴极增高层[11]、阴极导电层[12]、阴极引线层[13]、阴极覆盖层[14]和碳纳米管[15]部分。

所述的分岔状侧底栅控型结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上面的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层的上下表面均为平面，其下表面要覆盖住栅极引线层以及空余的绝缘层部分；栅极增高层中存在圆型孔，即圆型孔在栅极增高层上表面所形成的截面为一个中空的圆盘面，圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面；栅极增高层中圆型孔的底部要暴露出栅极引线层；栅极增高层中圆型孔的内侧壁上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极一层；调控栅极一层呈现圆筒面状依附于圆型孔的内侧壁上，并且和底部的栅极引线层是相互连通的；栅极增高层圆型孔中印刷的绝缘浆料层形成附加栅极增高层；附加栅极增高层的底部要完全覆盖住栅极引线层，下部分要填充满栅极增高层的圆型孔，上部分呈现三角圆锥型形状，位于栅极增高层圆型孔的中央位置；附加栅极增高层上面三角圆锥型形状侧面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层和调控栅极一层是相互连通的；栅极增高层上面的印刷的绝缘浆料层形成隔离一层；调控栅极一层和调控栅极二层上面的印刷的绝缘浆料层形成隔离二层；隔离一层和隔离二层的上表面是平齐的，是连接在一起的，且均为平面；隔离二层上表面上存在方形孔，即方形孔的纵向截面为方形，环绕在调控栅极一层的内部，呈现一个圆环型形状，方形孔的内侧壁也是垂直于阴极玻璃面板的；方形孔的底部上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层上面的印刷的银浆层形成阴极增高层；阴极增高层位于阴极过渡层的中央位置，呈现圆环型形状环绕在阴极过渡层的上方，其圆环中心位置与阴极过渡层的圆环中心位置相重合，将阴极过渡层划分为内外两个圆环部分；阴极过渡层表面上的以及阴极增高层表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；隔离一层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和阴极过渡层、阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的分岔状侧底栅控型结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极一层可以为金属金、银、铝、钼、铬、铜；调控栅极二层可以为金属金、银、铝、钼、铬；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；阴极过渡层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。

一种分岔状侧底栅控型结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层[3]的制作：在绝缘层上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)栅极增高层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；

5)调控栅极一层[5]的制作：在栅极增高层圆型孔的内侧壁上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极一层；

6)附加栅极增高层[6]的制作：在栅极增高层圆型孔中印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极增高层；

7)调控栅极二层[7]的制作：在附加栅极增高层上面三角圆锥型形状侧面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极二层；

8)隔离一层[8]的制作：在栅极增高层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离一层；

9)隔离二层[9]的制作：在调控栅极一层和调控栅极二层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离二层；

10)阴极过渡层[10]的制作：在方形孔的底部上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极过渡层；

11)阴极增高层[11]的制作：在阴极过渡层的上面印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极增高层；

12)阴极导电层[12]的制作：在阴极过渡层表面上以及阴极增高层表面上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

13)阴极引线层[13]的制作：在隔离一层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

14)阴极覆盖层[14]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

15)分岔状侧底栅控型结构的表面清洁处理：对分岔状侧底栅控型结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

16)碳纳米管[15]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

17)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

18)阳极玻璃面板[16]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

19)阳极导电层[17]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

20)绝缘浆料层[18]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

21)荧光粉层[19]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

22)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[20]和四周玻璃围框[21]装配到一起，并将消气剂[22]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

23)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤20具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤21具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤23具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (7)

1、一种分岔状侧底栅控型结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[16]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[21]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[17]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[19]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[20]以及消气剂附属元件[22]；其特征在于：在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层[3]、碳纳米管[15]以及分岔状侧底栅控型结构。

2、根据权利要求1所述的分岔状侧底栅控型结构的平板显示器，其特征在于：所述的分岔状侧底栅控型结构的衬底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上面印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层上下表面均为平面，其下表面覆盖住栅极引线层以及空余的绝缘层部分；栅极增高层中存在圆型孔，即圆型孔在栅极增高层上表面所形成的截面为中空的圆盘面，圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面；栅极增高层中圆型孔的底部要暴露出栅极引线层；栅极增高层中圆型孔的内侧壁上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极一层；调控栅极一层呈现圆筒面状依附于圆型孔的内侧壁上，并且和底部的栅极引线层是相互连通的；栅极增高层圆型孔中印刷的绝缘浆料层形成附加栅极增高层；附加栅极增高层的底部要完全覆盖住栅极引线层，下部分要填充满栅极增高层的圆型孔，上部分呈现三角圆锥型形状，位于栅极增高层圆型孔的中央位置；附加栅极增高层上面三角圆锥型形状侧面上刻蚀后的金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层和调控栅极一层相互连通；栅极增高层上面的印刷的绝缘浆料层形成隔离一层；调控栅极一层和调控栅极二层上面的印刷的绝缘浆料层形成隔离二层；隔离一层和隔离二层的上表面是平齐的，连接在一起的，且均为平面；隔离二层上表面上存在方形孔，即方形孔的纵向截面为方形，环绕在调控栅极一层的内部，呈现一个圆环型形状，方形孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板；方形孔底部上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层上面的印刷的银浆层形成阴极增高层；阴极增高层位于阴极过渡层的中央位置，呈现圆环型形状环绕在阴极过渡层的上方，其圆环中心位置与阴极过渡层的圆环中心位置相重合，将阴极过渡层划分为内外两个圆环部分；阴极过渡层表面上的以及阴极增高层表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；隔离一层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和阴极过渡层、阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

3、根据权利要求2所述的分岔状侧底栅控型结构的平板显示器，其特征在于：所述的分岔状侧底栅控型结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极一层为金属金、银、铝、钼、铬、铜；调控栅极二层为金属金、银、铝、钼、铬；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍。

4、一种分岔状侧底栅控型结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃划割，制出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层[3]的制作：在绝缘层上制出金属层，刻蚀成栅极引线层；

4)栅极增高层[4]的制作：在栅极引线层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；

5)调控栅极一层[5]的制作：在栅极增高层圆型孔的内侧壁上面制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极一层；

6)附加栅极增高层[6]的制作：在栅极增高层圆型孔中印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极增高层；

7)调控栅极二层[7]的制作：在附加栅极增高层上面三角圆锥型形状侧面上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极二层；

8)隔离一层[8]的制作：在栅极增高层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离一层；

9)隔离二层[9]的制作：在调控栅极一层和调控栅极二层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离二层；

10)阴极过渡层[10]的制作：在方形孔的底部上面制备出金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

11)阴极增高层[11]的制作：在阴极过渡层的上面印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极增高层；

12)阴极导电层[12]的制作：在阴极过渡层表面上以及阴极增高层表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

13)阴极引线层[13]的制作：在隔离一层的上面制出金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

14)阴极覆盖层[14]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

15)分岔状侧底栅控型结构的表面清洁处理：对分岔状侧底栅控型结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

16)碳纳米管[15]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

17)阳极玻璃面板[16]的制作：对整体平板玻璃划割，制出阳极玻璃面板；

18)阳极导电层[17]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

19)绝缘浆料层[18]的制作：在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层；

20)荧光粉层[19]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

21)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[20]和四周玻璃围框[21]装到一起，将消气剂[22]放入空腔中，用低熔点玻璃粉固定；

22)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

5、根据权利要求4所述的分岔状侧底栅控型结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤19具体为在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层，经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

6、根据权利要求4所述的分岔状侧底栅控型结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤20具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

7、根据权利要求4所述的分岔状侧底栅控型结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤22具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱中进行烘烤；放入烧结炉中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Images