CN100580863C - 悬空尖型阴极下栅结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种悬空尖型阴极下栅结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板以及四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及悬空尖型阴极下栅结构，具有成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的优点。

Description

悬空尖型阴极下栅结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及一种碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种悬空尖型阴极下栅结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

碳纳米管具有小的尖端曲率半径，高的纵横比率，以及极高的机械强度，能够在外加电场强度的作用下发射出大量的电子，是一种性能优秀的冷阴极材料。而利用碳纳米管作为阴极材料制作的场致发射平板显示器则是一种新型的平板显示设备，无论是从显示器的大小、响应时间、显示亮度等等方面，场致发射显示器都具有相当大的优势。这种显示器能够实现完全平板化，厚度小，解析度佳，占用极少的空间，视角宽，工作温区大，不受磁场影响，也不存在发射线，代表着未来显示器的发展趋势。

目前，在大多数的三极结构碳纳米管阴极的场致发射平板显示器件当中，都采用了栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的控制模式。这种结构形式的栅极控制作用比较显著，但是所形成的栅极电流过大，栅极电压居高不下，这些都是其需要克服之处。当在栅极结构上施加适当电压以后，就会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子；所发射的电子在阳极高电压的作用下，加速向阳极运动，轰击荧光粉层而发出可见光。由于器件结构、碳纳米管阴极浆料、阴极的制作工艺等等各种因素综合的结果，使得碳纳米管的电子发射所需要的栅极电压有些过高，不能符合低压平板器件的质量体系要求，还需要进一步的改进。由于从碳纳米管阴极所发射的电子需要经过栅极结构，受到栅极正电压的影响，部分电子要被栅极结构所截留，也就形成了栅极的工作电流，这不利于进一步增加阳极工作电流，也就无法进一步增强器件的显示亮度，因此减小栅极电流也是要解决的问题。那么，在实际器件的制作过程中，对于上述问题，都是值得认真思考和急需解决的。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的悬空尖型阴极下栅结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的：包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板以及四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及悬空尖型阴极下栅结构；

所述的悬空尖型阴极下栅结构的衬底材料为钠钙玻璃或硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层中存在斜面孔，斜面孔中暴露出底部的栅极引线层；间隔层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住空余的阻滞层部分；间隔层中斜面孔在间隔层上表面的截面形成一个中空的圆形孔，斜面孔的内侧壁是倾斜的，即从间隔层的上表面开始，依次逐渐向下倾斜，直至到达间隔层的下表面位置为止，上表面处截面圆形孔的直径最大，下表面处截面圆形孔的直径要比上表面截面圆形孔的直径小；斜面孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层依附于斜面孔内侧壁的全部表面上，和底部的栅极引线层是相互连通的；间隔层斜面孔上面的印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层的上表面为平面，与间隔层的上表面相平齐；附加间隔层要覆盖住全部的栅极引线层以及调控栅极层部分；间隔层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极升高层；阴极升高层呈现箭头型形状，底部为平面，和间隔层紧密接触，顶部为箭头型，向两侧分别形成斜坡面，且斜坡面的倾斜方向与斜面孔内侧壁的倾斜方向是相一致的；阴极升高层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层依附在箭头型阴极升高层的斜坡面上，但其前端要沿着斜坡面的方向向前延伸，呈现悬空状态；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极升高层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要覆盖住阴极升高层上表面除了阴极过渡层和阴极导电层以外的所有表面；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

所述的悬空尖型阴极下栅结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬之一；调控栅极层为金属金、银、铝、钼、铬之一；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡、铅之一；阴极过渡层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡、铅；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍之一。

一种上述的悬空尖型阴极下栅结构的平板显示器的制作工艺，其工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)栅极引线层的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)间隔层的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

5)调控栅极层的制作：在斜面孔内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

6)附加间隔层的制作：在间隔层的斜面孔中印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；

7)阴极升高层的制作：在间隔层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极升高层；

8)阴极引线层的制作：在阴极升高层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

9)阴极过渡层的制作：在阴极引线层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

10)阴极导电层的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

11)阴极覆盖层的制作：在阴极升高层的表面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

12)悬空尖型阴极下栅结构的表面清洁处理：对悬空尖型阴极下栅结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

13)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

14)阳极玻璃面板的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

15)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

16)绝缘浆料层的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

17)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

18)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的悬空尖型阴极下栅结构中，将栅极结构制作了碳纳米管阴极结构的斜下方。当在栅极引线层上施加适当电压以后，就会通过与栅极引线层相互连通的调控栅极层将外界电压转换成碳纳米管阴极表面顶端的强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子。所发射的电子在阳极高电压的作用下加速向阳极运动，轰击荧光粉层而发出可见光。由于栅极结构位于碳纳米管阴极的斜下方，故所发射的电子束不会受到栅极结构的截留，这样就极大地减小了栅极电流，增大了阳极的工作电流，有利于提高器件的显示亮度。

其次，在所述的悬空尖型阴极下栅结构中，将碳纳米管制备在了呈现悬空状态的阴极过渡层上面的阴极导电层的上面，并且斜向的阴极导电层和调控栅极层是相向对应的。这样，就可以极大地缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，从而进一步降低栅极结构的工作电压。提高了碳纳米管阴极的电子发射效率，有利于进一步提高器件的显示图像质量。将栅极结构和阴极结构高度集成到一起，有助于促进整体器件的高度集成化发展；

此外，在所述的悬空尖型阴极下栅结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了悬空尖型阴极下栅结构的纵向结构示意图；

图2给出了悬空尖型阴极下栅结构的横向结构示意图；

图3给出了带有悬空尖型阴极下栅结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于这些实施例。

所述的一种带有悬空尖型阴极下栅结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[13]、阴极玻璃面板[1]以及四周玻璃围框[18]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[14]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[16]；在阴极玻璃面板上有栅极引线层[3]、碳纳米管[12]以及悬空尖型阴极下栅结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[17]以及消气剂[19]附属元件。

所述的悬空尖型阴极下栅结构包括阴极玻璃面板[1]、阻滞层[2]、栅极引线层[3]、间隔层[4]、调控栅极层[5]、附加间隔层[6]、阴极升高层[7]、阴极引线层[8]、阴极过渡层[9]、阴极导电层[10]、阴极覆盖层[11]和碳纳米管[12]部分。

所述的悬空尖型阴极下栅结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层中存在斜面孔，斜面孔中暴露出底部的栅极引线层；间隔层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住空余的阻滞层部分；间隔层中斜面孔在间隔层上表面的截面形成一个中空的圆形孔，斜面孔的内侧壁是倾斜的，即从间隔层的上表面开始，依次逐渐向下倾斜，直至到达间隔层的下表面位置为止，上表面处截面圆形孔的直径最大，下表面处截面圆形孔的直径要比上表面截面圆形孔的直径小；斜面孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层依附于斜面孔内侧壁的全部表面上，和底部的栅极引线层是相互连通的；间隔层斜面孔上面的印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层的上表面为平面，与间隔层的上表面相平齐；附加间隔层要覆盖住全部的栅极引线层以及调控栅极层部分；间隔层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极升高层；阴极升高层呈现箭头型形状，底部为平面，和间隔层紧密接触，顶部为箭头型，向两侧分别形成斜坡面，且斜坡面的倾斜方向与斜面孔内侧壁的倾斜方向是相一致的；阴极升高层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层依附在箭头型阴极升高层的斜坡面上，但其前端要沿着斜坡面的方向向前延伸，呈现悬空状态；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极升高层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要覆盖住阴极升高层上表面除了阴极过渡层和阴极导电层以外的所有表面；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

所述的悬空尖型阴极下栅结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极层可以为金属金、银、铝、钼、铬；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡、铅；阴极过渡层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡、铅；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。

一种悬空尖型阴极下栅结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)栅极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)间隔层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

5)调控栅极层[5]的制作：在斜面孔内侧壁上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极层；

6)附加间隔层[6]的制作：在间隔层的斜面孔中印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；

7)阴极升高层[7]的制作：在间隔层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极升高层；

8)阴极引线层[8]的制作：在阴极升高层的上表面上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

9)阴极过渡层[9]的制作：在阴极引线层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成阴极过渡层；

10)阴极导电层[10]的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

11)阴极覆盖层[11]的制作：在阴极升高层的表面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

12)悬空尖型阴极下栅结构的表面清洁处理：对悬空尖型阴极下栅结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

13)碳纳米管[12]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

14)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

15)阳极玻璃面板[13]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

16)阳极导电层[14]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

17)绝缘浆料层[15]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

18)荧光粉层[16]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

19)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[17]和四周玻璃围框[18]装配到一起，并将消气剂[19]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (6)

1、一种悬空尖型阴极下栅结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板(13)、阴极玻璃面板(1)以及四周玻璃围框(18)所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层(14)以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层(16)；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构(17)以及消气剂(19)附属元件；其特征在于：

在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层(3)、碳纳米管(12)以及悬空尖型阴极下栅结构；

所述的悬空尖型阴极下栅结构的衬底材料为钠钙玻璃或硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层中存在斜面孔，斜面孔中暴露出底部的栅极引线层；间隔层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住空余的阻滞层部分；间隔层中斜面孔在间隔层上表面的截面形成一个中空的圆形孔，斜面孔的内侧壁是倾斜的，即从间隔层的上表面开始，依次逐渐向下倾斜，直至到达间隔层的下表面位置为止，上表面处截面圆形孔的直径最大，下表面处截面圆形孔的直径要比上表面截面圆形孔的直径小；斜面孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层依附于斜面孔内侧壁的全部表面上，和底部的栅极引线层是相互连通的；间隔层斜面孔上面的印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层的上表面为平面，与间隔层的上表面相平齐；附加间隔层要覆盖住全部的栅极引线层以及调控栅极层部分；间隔层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极升高层；阴极升高层呈现箭头型形状，底部为平面，和间隔层紧密接触，顶部为箭头型，向两侧分别形成斜坡面，且斜坡面的倾斜方向与斜面孔内侧壁的倾斜方向是相一致的；阴极升高层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层依附在箭头型阴极升高层的斜坡面上，但其前端要沿着斜坡面的方向向前延伸，呈现悬空状态；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极升高层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要覆盖住阴极升高层上表面除了阴极过渡层和阴极导电层以外的所有表面；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

2、根据权利要求1所述的悬空尖型阴极下栅结构的平板显示器，其特征在于：所述的悬空尖型阴极下栅结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬之一；调控栅极层为金属金、银、铝、钼、铬之一；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡、铅之一；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铬、锡、铅之一；阴极导电层为金属铁、钴、镍之一。

3、一种如权利要求1所述的悬空尖型阴极下栅结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板(1)的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层(2)的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)栅极引线层(3)的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)间隔层(4)的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

5)调控栅极层(5)的制作：在斜面孔内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

6)附加间隔层(6)的制作：在间隔层的斜面孔中印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；

7)阴极升高层(7)的制作：在间隔层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极升高层；

8)阴极引线层(8)的制作：在阴极升高层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

9)阴极过渡层(9)的制作：在阴极引线层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

10)阴极导电层(10)的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

11)阴极覆盖层(11)的制作：在阴极升高层的表面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

12)悬空尖型阴极下栅结构的表面清洁处理：对悬空尖型阴极下栅结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

13)碳纳米管(12)的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

14)阳极玻璃面板(13)的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

15)阳极导电层(14)的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

16)绝缘浆料层(15)的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

17)荧光粉层(16)的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

18)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构(17)和四周玻璃围框(18)装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

19)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

4、根据权利要求3所述的悬空尖型阴极下栅结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

5、根据权利要求3所述的悬空尖型阴极下栅结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

6、根据权利要求3所述的悬空尖型阴极下栅结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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