CN100555546C - 斜面平栅型结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种斜面平栅型结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及斜面平栅型结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，能够进一步增强栅极的控制功能，降低工作电压，同时提高碳纳米管阴极的电子发射效率和电子发射数量，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

斜面平栅型结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种斜面平栅型结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

显示器和显示技术已经越来越成为人类生活中不可缺少的一部分，显示器件总体上是朝向完全平板化、全彩色化、低功耗以及实时显示等方向发展。平板场致发射显示器是一种真空微电子型平板显示器件，具有视角宽、功耗低、响应速度快、分辨率高等特点，是一种新兴的平板显示设备。碳纳米管具有独特的几何外形，能够在外加电场强度的作用下发射出大量的电子，是一种相当优秀的冷阴极发射材料，在真空显示技术方面具有极大的应用潜力。利用碳纳米管作为冷阴极材料而制作的场致发射平板显示器已经成为了国际平板显示领域的热门研究话题，代表着下一代显示器件的发展方向。

为了降低总体器件成本，以便于和常规的集成驱动电路相联系，制作三极结构的场致发射显示器件已经成为了一种必然的选择。然而在三极结构的平板器件中，进一步降低栅极结构的工作电压业已成为了一个必须解决的难题，这也符合低压平板显示器件质量体系的基本要求。目前，在大多数的显示器件当中，都采用了栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的控制模式，这种结构形式的制作工艺比较简单，但是栅极电流比较大，栅极电压居高不下是其不利之处。要想降低栅极结构的工作电压，一则可以进一步的缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构二者之间的距离，二则也可以对碳纳米管阴极的表面形状加以改变，间接降低栅极工作电压。此外，为了进一步提高器件的显示亮度，还需要尽可能多的碳纳米管阴极来参与电子发射。这些问题都需要研究人员来加以解决，并在实际器件制作过程中加以利用。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的斜面平栅型结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及斜面平栅型结构。

所述的斜面平栅型结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的银浆层形成本底层；本底层的底部和阴极引线层相互连通；本底层为圆柱体型形状，上下表面均为平面，下表面和阴极引线层相互接触；圆柱体型本底层上表面的下部侧面的印刷的银浆层形成上部附加本底层；上部附加本底层为直角三角形形状，一个直角边位于本底层的侧面上，另一个直角边垂直于本底层的侧面，斜边位于垂直态直角边的下面；上部附加本底层环绕在本底层的侧面周围，呈现一种三角环形形状；在圆柱体型本底层侧面的上部附加本底层的下部的印刷的银浆层形成下部附加本底层；下部附加本底层也呈现直角三角型形状，一个直角边位于本底层的侧面上，另一个直角边垂直于本底层的侧面，斜边位于垂直态直角边的上面，和上部附加本底层是对称排列的；下部附加本底层也环绕在本底层的侧面周围，呈现一种三角环形形状；上部附加本底层和下部附加本底层中间相互分开，暴露出呈现圆环状的本底层侧面；上部附加本底层要比下部附加本底层形状小；本底层表面上的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要覆盖除了上部附加本底层和下部附加本底层及二者中间部分以外的所有本底层表面；位于上部附加本底层和下部附加本底层的表面以及二者中间部分的本底层表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；绝缘层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的绝缘层部分；间隔层的高度与上部附加本底层的高度相同；间隔层的上表面大部分为平面，和栅极引线层相互接触，但在靠近本底层附近存在一个斜面凹陷孔；间隔层中斜面凹陷孔位于本底层的周围，从间隔层的上表面开始，逐渐向间隔层内部凹陷，直至到达下部附加本底层的下表面处位置为止，形成一个斜坡面；间隔层中斜面凹陷孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层位于斜面凹陷孔的内侧壁上，环绕在本底层的周围；间隔层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要全部覆盖住栅极引线层，但不能覆盖住调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

所述的斜面平栅型结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、锡、铬、铅；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；调控栅极层可以为金属金、银、铝、钼、铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、钼、铬、铝。

一种斜面平栅型结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)阴极引线层的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)本底层的制作：在阴极引线层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成本底层；

5)下部附加本底层的制作：在本底层的侧面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成下部附加本底层；

6)上部附加本底层的制作：在本底层的侧面上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成上部附加本底层；

7)阴极覆盖层的制作：在本底层除了上部附加本底层和下部附加本底层及二者中间部分外的所有表面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺形成阴极覆盖层；

8)阴极导电层的制作：在上部附加本底层和下部附加本底层的表面以及二者之间的本底层的侧面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

9)间隔层的制作：在绝缘层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

10)调控栅极层的制作：在斜面凹陷孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

11)栅极引线层的制作：在间隔层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

12)栅极覆盖层的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

13)斜面平栅型结构的表面清洁处理：对斜面平栅型结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)阳极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制出阳极玻璃面板；

16)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

17)绝缘浆料层的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

18)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

19)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的斜面平栅型结构中，分别制作了调控栅极层和栅极引线层部分，栅极引线层用于将外部电压传递到器件内部，而调控栅极层则是用于控制碳纳米管阴极的电子发射。当在栅极结构上施加适当电压以后，就会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子。由于调控栅极层位于碳纳米管阴极的旁侧，且调控栅极层呈现斜面状，二者大体高度相同，这样从碳纳米管阴极所发射的电子在阳极高电压的作用下加速向阳极运动，被栅极结构截留的几率很小，极大地减小了栅极电流，增大阳极电流，有助于进一步提高器件的显示亮度。

其次，在所述的斜面平栅型结构中，将碳纳米管阴极制备在了阴极导电层的上面，而阴极导电层而位于本底层侧面，且位于上下部附加本底层的中间。充分利用了碳纳米管阴极中边缘位置能够发射大量电子的特有现象，提高了碳纳米管阴极的电子发射效率。增大了碳纳米管阴极的电子发射面积，有助于提高发射电子的阴极数量。调控栅极层的末端能够尽可能的接近于碳纳米管阴极，这也有助于进一步降低栅极结构的工作电压。此外，在所述的斜面平栅型结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了斜面平栅型结构的纵向结构示意图；

图2给出了斜面平栅型结构的横向结构示意图；

图3给出了带有斜面平栅型结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明。

所述的斜面平栅型结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[14]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[19]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[15]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[17]；在阴极玻璃面板上有阴极导电层[8]、碳纳米管[13]以及斜面平栅型结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂[20]附属元件。

所述的斜面平栅型结构包括阴极玻璃面板[1]、绝缘层[2]、阴极引线层[3]、本底层[4]、下部附加本底层[5]、上部附加本底层[6]、阴极覆盖层[7]、阴极导电层[8]、间隔层[9]、调控栅极层[10]、栅极引线层[11]、栅极覆盖层[12]和碳纳米管[13]部分。

所述的斜面平栅型结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的银浆层形成本底层；本底层的底部和阴极引线层相互连通；本底层为圆柱体型形状，上下表面均为平面，下表面和阴极引线层相互接触；圆柱体型本底层上表面的下部侧面的印刷的银浆层形成上部附加本底层；上部附加本底层为直角三角形形状，一个直角边位于本底层的侧面上，另一个直角边垂直于本底层的侧面，斜边位于垂直态直角边的下面；上部附加本底层环绕在本底层的侧面周围，呈现一种三角环形形状；在圆柱体型本底层侧面的上部附加本底层的下部的印刷的银浆层形成下部附加本底层；下部附加本底层也呈现直角三角型形状，一个直角边位于本底层的侧面上，另一个直角边垂直于本底层的侧面，斜边位于垂直态直角边的上面，和上部附加本底层是对称排列的；下部附加本底层也环绕在本底层的侧面周围，呈现一种三角环形形状；上部附加本底层和下部附加本底层中间相互分开，暴露出呈现圆环状的本底层侧面；上部附加本底层要比下部附加本底层形状小；本底层表面上的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要覆盖除了上部附加本底层和下部附加本底层及二者中间部分以外的所有本底层表面；位于上部附加本底层和下部附加本底层的表面以及二者中间部分的本底层表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；绝缘层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的绝缘层部分；间隔层的高度与上部附加本底层的高度相同；间隔层的上表面大部分为平面，和栅极引线层相互接触，但在靠近本底层附近存在一个斜面凹陷孔；间隔层中斜面凹陷孔位于本底层的周围，从间隔层的上表面开始，逐渐向间隔层内部凹陷，直至到达下部附加本底层的下表面处位置为止，形成一个斜坡面；间隔层中斜面凹陷孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层位于斜面凹陷孔的内侧壁上，环绕在本底层的周围；间隔层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要全部覆盖住栅极引线层，但不能覆盖住调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

所述的斜面平栅型结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、锡、铬、铅；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；调控栅极层可以为金属金、银、铝、钼、铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、钼、铬、铝。

一种带有斜面平栅型结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)阴极引线层[3]的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)本底层[4]的制作：在阴极引线层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成本底层；

5)下部附加本底层[5]的制作：在本底层的侧面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成下部附加本底层；

6)上部附加本底层[6]的制作：在本底层的侧面上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成上部附加本底层；

7)阴极覆盖层[7]的制作：在本底层除了上部附加本底层和下部附加本底层及二者中间部分以外的所有表面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

8)阴极导电层[8]的制作：在上部附加本底层和下部附加本底层的表面以及二者之间的本底层的侧面上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

9)间隔层[9]的制作：在绝缘层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

10)调控栅极层[10]的制作：在斜面凹陷孔的内侧壁上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极层；

11)栅极引线层[11]的制作：在间隔层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

12)栅极覆盖层[12]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

13)斜面平栅型结构的表面清洁处理：对斜面平栅型结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管[13]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

16)阳极玻璃面板[14]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

17)阳极导电层[15]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

18)绝缘浆料层[16]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

19)荧光粉层[17]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

20)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[19]装配到一起，并将消气剂[20]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

21)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤18具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤21具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (6)

1、一种斜面平栅型结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板(14)、阴极玻璃面板(1)和四周玻璃围框(19)所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层(15)以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层(17)；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构(18)以及消气剂附属元件(20)，其特征在于：

在阴极玻璃面板上有阴极导电层(8)、碳纳米管(13)以及斜面平栅型结构；

所述的斜面平栅型结构的衬底材料为钠钙玻璃或硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面印刷的银浆层形成本底层；本底层的底部和阴极引线层相互连通；本底层为圆柱体型形状，上下表面均为平面，下表面和阴极引线层相互接触；圆柱体型本底层上表面下部侧面的印刷的银浆层形成上部附加本底层；上部附加本底层为直角三角形形状，一个直角边位于本底层的侧面上，另一个直角边垂直于本底层的侧面，斜边位于垂直态直角边的下面；上部附加本底层环绕在本底层的侧面周围，呈现一种三角环形形状；在圆柱体型本底层侧面的上部附加本底层的下部的印刷的银浆层形成下部附加本底层；下部附加本底层也呈现直角三角型形状，一个直角边位于本底层的侧面上，另一个直角边垂直于本底层的侧面，斜边位于垂直态直角边的上面，和上部附加本底层是对称排列的；下部附加本底层也环绕在本底层侧面周围，呈现一种三角环形形状；上部附加本底层和下部附加本底层中间相互分开，暴露出呈现圆环状的本底层侧面；上部附加本底层要比下部附加本底层形状小；本底层表面上的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要覆盖除了上部附加本底层和下部附加本底层及二者中间部分以外的所有本底层表面；位于上部附加本底层和下部附加本底层的表面以及二者中间部分的本底层表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；绝缘层上面印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的绝缘层部分；间隔层的高度与上部附加本底层的高度相同；间隔层的上表面大部分为平面，和栅极引线层相互接触，在靠近本底层附近存在一个斜面凹陷孔；间隔层中斜面凹陷孔位于本底层周围，从间隔层的上表面开始，逐渐向间隔层内部凹陷，直至到达下部附加本底层的下表面处位置为止，形成一个斜坡面；间隔层中斜面凹陷孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层位于斜面凹陷孔的内侧壁上，环绕在本底层周围；间隔层上面刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层相互连通；栅极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层全部覆盖住栅极引线层，但不覆盖住调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

2、根据权利要求1所述的斜面平栅型结构的平板显示器，其特征在于：所述的斜面平栅型结构固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、锡、铬、铅；阴极导电层为金属铁、钴、镍；调控栅极层为金属金、银、铝、钼、铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向相互垂直；栅极引线层为金属金、银、钼、铬、铝。

3、一种如权利要求1所述的斜面平栅型结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板(1)的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层(2)的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)阴极引线层(3)的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)本底层(4)的制作：在阴极引线层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成本底层；

5)下部附加本底层(5)的制作：在本底层的侧面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成下部附加本底层；

6)上部附加本底层(6)的制作：在本底层的侧面上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成上部附加本底层；

7)阴极覆盖层(7)的制作：在本底层除了上部附加本底层和下部附加本底层及二者中间部分以外的所有表面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

8)阴极导电层(8)的制作：在上部附加本底层和下部附加本底层的表面以及二者之间本底层的侧面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

9)间隔层(9)的制作：在绝缘层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

10)调控栅极层(10)的制作：在斜面凹陷孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

11)栅极引线层(11)的制作：在间隔层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

12)栅极覆盖层(12)的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

13)斜面平栅型结构的表面清洁处理：对斜面平栅型结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管(13)的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)阳极玻璃面板(14)的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

16)阳极导电层(15)的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

17)绝缘浆料层(16)的制作：在阳极导电层非显示区印刷绝缘浆料层；

18)荧光粉层(17)的制作：在阳极导电层上面显示区域印刷荧光粉层；

19)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构(18)和四周玻璃围框(19)装配到一起，并将消气剂附属元件(20)放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

4、根据权利要求3所述的斜面平栅型结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

5、根据权利要求3所述的斜面平栅型结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

6、根据权利要求3所述的斜面平栅型结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂附属元件(20)进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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