CN100527341C - 漏斗型栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种漏斗型栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及漏斗型栅控阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，能够进一步增强栅极结构的控制功能，提高碳纳米管阴极的电子发射效率，降低栅极的工作电压，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

漏斗型栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种漏斗型栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

显示技术和显示器件在信息技术的发展过程中占据了十分重要的地位，显示器件为人们的日常生活和工作提供者大量的信息。显示器集电子、通信和信息处理技术于一体，是电子工业的又一次重大发展机会。利用碳纳米管作为阴极材料而制作的场致发射平板显示器则是一种新兴的平板显示设备，具有高图像质量、高分辨率、高亮度以及功耗低等特点，已经成为了国际平板显示领域的热门话题。而碳纳米管具有的独特几何外形，小的尖端曲率半径，能够在外加电场强度的作用下发射出大量电子，则是场致发射平板显示器的原理基础。

栅极结构是三极场致发射平板显示器中的关键控制元件之一，它直接决定着碳纳米管阴极能否进行电子发射。而进一步降低栅极结构的工作电压就成为了研究制作人员的努力方向之一，也符合低压平板器件的质量体系要求。其中，缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离是最直接的方法，但这同时还受到绝缘材料的绝缘等级，绝缘材料制作可行性等等因素的制约。而改变碳纳米管阴极的表面形状曲率，使得碳纳米管阴极能够在较低的工作电压下就能够发射出大量的电子，这也是间接降低栅极结构工作电压的又一条途径。同时，如果让更多的碳纳米管阴极都能够发射出大量电子，这对于提高整体器件的显示亮度也是有利的。而对于诸如这些问题，目前还没有一个比较完美的解决方案。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的漏斗型栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及漏斗型栅控阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件。

所述的漏斗型栅控阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的绝缘层部分；间隔层中存在倒置圆台斜面孔，即倒置圆台斜面孔在间隔层的上表面形成一个中空的圆型面，此处的直径最大，然后从间隔层的上表面开始，其倒置圆台斜面孔的内侧壁逐渐倾斜，其直径逐渐变小，直至到达间隔层的下表面位置为止，其内侧壁形成一个斜坡面；间隔层中倒置圆台斜面孔的底部暴露出阴极引线层；间隔层中倒置圆台斜面孔的下部分内侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极延长线层；阴极延长线层依附于倒置圆台斜面孔的内侧壁上，和阴极引线层是相互连通的；间隔层倒置圆台斜面孔的底部的印刷的绝缘浆料层形成阴极基底层；阴极基底层呈现倒置漏斗型形状，即阴极基底层的底部坐落于间隔层下表面与绝缘层的交界处，下半部分为中空的圆筒体型，在上半部分其圆筒体要斜向外扩展，形成一个圆锥型倾斜面，整体阴极基底层类似于一个倒置的漏斗型形状，其圆锥型倾斜面的最高处高度与倒置圆台斜面孔内侧壁上阴极延长线层最高处的高度是相同的；阴极基底层表面上的、阴极延长线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极基底层表面上的阴极导电层和阴极延长线层表面上的阴极导电层是相互连通在一起的；间隔层中倒置圆台斜面孔上部分的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层位于间隔层上表面与倒置圆台斜面孔交界处的倒置圆台斜面孔的内侧壁上，即从间隔层上表面开始沿着导致圆台斜面孔内侧壁向下延伸一部分，然后弯曲成垂直于间隔层上表面的竖直面；间隔层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和栅极管制层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部栅极引线层以及栅极管制层的上表面；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

所述的漏斗型栅控阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极延长线层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；栅极管制层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。

一种带有漏斗型栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结后形成绝缘层；

3)阴极引线层[3]的制作：在绝缘层上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)间隔层[4]的制作：在阴极引线层上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

5)阴极延长线层[5]的制作：在倒置圆台斜面孔的内侧壁上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极延长线层；

6)阴极基底层[6]的制作：在倒置圆台斜面孔的内部印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底层；

7)阴极导电层[7]的制作：在阴极基底层表面上和阴极延长线层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

8)栅极管制层[8]的制作：在间隔层倒置圆台斜面孔的上部分制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极管制层；

9)栅极引线层[9]的制作：在间隔层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

10)栅极覆盖层[10]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

11)漏斗型栅控阴极结构的表面清洁处理：对漏斗型栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管[11]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

14)阳极玻璃面板[12]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

15)阳极导电层[13]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

16)绝缘浆料层[14]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

17)荧光粉层[15]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

18)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[16]和四周玻璃围框[17]装配到一起，并将消气剂[18]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

19)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的漏斗型栅控阴极结构中，将碳纳米管阴极制备在了阴极导电层的上面，而阴极导电层却制作在了呈现倒置漏斗型阴极基底层的表面上以及阴极延长线层的表面上。这样，由阴极基底层的上表面碳纳米管阴极就形成了一个内侧的圆环斜面型阴极层，而由阴极延长线层的上表面碳纳米管阴极就形成了外侧的圆环斜面型阴极层，两个圆环斜面型阴极层共同受到栅极管制层的控制。这样，一方面极大的增加了碳纳米管阴极的电子发射面积和发射数量，使得更多的碳纳米管都参与电子发射；另一方面也充分利用了碳纳米管阴极中的边缘位置能够发射更多电子的现象，改进了碳纳米管阴极的形状，提高了碳纳米管阴极的电子发射效率，有助于提高整体器件的显示亮度。

其次，在所述的漏斗型栅控阴极结构中，制作了折线型控制栅极结构。其中栅极引线层能够将外界电压传递到器件内部，而栅极管制层是呈现弯曲折线型的，同时起到多方面的功能。栅极管制层的底部能够尽量接近于碳纳米管阴极的顶端，尽可能的缩减二者之间的距离，从而降低栅极结构的工作电压；竖直面型的栅极管制层还同时能够起到对所经过的电子束进行聚焦的功能。此外，用同一个栅极结构就能够同时控制两个斜面圆环状的碳纳米管阴极，提高了栅极结构的控制效率和控制作用。

此外，在所述的漏斗型栅控阴极结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了漏斗型栅控阴极结构的纵向结构示意图；

图2给出了漏斗型栅控阴极结构的横向结构示意图；

图3给出了带有漏斗型栅控阴极结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于这些实施例。

所述的一种带有漏斗型栅控阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[12]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[17]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[13]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[15]；在阴极玻璃面板上有阴极导电层[7]、碳纳米管[11]以及漏斗型栅控阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[16]以及消气剂[18]附属元件。

所述的漏斗型栅控阴极结构包括阴极玻璃面板[1]、绝缘层[2]、阴极引线层[3]、间隔层[4]、阴极延长线层[5]、阴极基底层[6]、阴极导电层[7]、栅极管制层[8]、栅极引线层[9]、栅极覆盖层[10]和碳纳米管[11]部分。

所述的漏斗型栅控阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的绝缘层部分；间隔层中存在倒置圆台斜面孔，即倒置圆台斜面孔在间隔层的上表面形成一个中空的圆型面，此处的直径最大，然后从间隔层的上表面开始，其倒置圆台斜面孔的内侧壁逐渐倾斜，其直径逐渐变小，直至到达间隔层的下表面位置为止，其内侧壁形成一个斜坡面；间隔层中倒置圆台斜面孔的底部暴露出阴极引线层；间隔层中倒置圆台斜面孔的下部分内侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极延长线层；阴极延长线层依附于倒置圆台斜面孔的内侧壁上，和阴极引线层是相互连通的；间隔层倒置圆台斜面孔的底部的印刷的绝缘浆料层形成阴极基底层；阴极基底层呈现倒置漏斗型形状，即阴极基底层的底部坐落于间隔层下表面与绝缘层的交界处，下半部分为中空的圆筒体型，在上半部分其圆筒体要斜向外扩展，形成一个圆锥型倾斜面，整体阴极基底层类似于一个倒置的漏斗型形状，其圆锥型倾斜面的最高处高度与倒置圆台斜面孔内侧壁上阴极延长线层最高处的高度是相同的；阴极基底层表面上的、阴极延长线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极基底层表面上的阴极导电层和阴极延长线层表面上的阴极导电层是相互连通在一起的；间隔层中倒置圆台斜面孔上部分的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层位于间隔层上表面与倒置圆台斜面孔交界处的倒置圆台斜面孔的内侧壁上，即从间隔层上表面开始沿着导致圆台斜面孔内侧壁向下延伸一部分，然后弯曲成垂直于间隔层上表面的竖直面；间隔层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和栅极管制层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部栅极引线层以及栅极管制层的上表面；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

所述的漏斗型栅控阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极延长线层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；栅极管制层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。

一种带有漏斗型栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结后形成绝缘层；

3)阴极引线层[3]的制作：在绝缘层上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)间隔层[4]的制作：在阴极引线层上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

5)阴极延长线层[5]的制作：在倒置圆台斜面孔的内侧壁上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极延长线层；

6)阴极基底层[6]的制作：在倒置圆台斜面孔的内部印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底层；

7)阴极导电层[7]的制作：在阴极基底层表面上和阴极延长线层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

8)栅极管制层[8]的制作：在间隔层倒置圆台斜面孔的上部分制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极管制层；

9)栅极引线层[9]的制作：在间隔层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

10)栅极覆盖层[10]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

11)漏斗型栅控阴极结构的表面清洁处理：对漏斗型栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管[11]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

14)阳极玻璃面板[12]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

15)阳极导电层[13]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

16)绝缘浆料层[14]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

17)荧光粉层[15]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

18)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[16]和四周玻璃围框[17]装配到一起，并将消气剂[18]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

19)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (6)

1、一种漏斗型栅控阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[12]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[17]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[13]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[15]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[16]以及消气剂附属元件[18]，其特征在于：

在阴极玻璃面板上有阴极导电层[7]、碳纳米管[11]以及漏斗型栅控阴极结构；

所述的漏斗型栅控阴极结构的衬底材料为钠钙玻璃或硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的绝缘层部分；间隔层中存在倒置圆台斜面孔，即倒置圆台斜面孔在间隔层的上表面形成一个中空的圆型面，此处的直径最大，然后从间隔层的上表面开始，其倒置圆台斜面孔的内侧壁逐渐倾斜，其直径逐渐变小，直至到达间隔层的下表面位置为止，其内侧壁形成一个斜坡面；间隔层中倒置圆台斜面孔的底部暴露出阴极引线层；间隔层中倒置圆台斜面孔的下部分内侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极延长线层；阴极延长线层依附于倒置圆台斜面孔的内侧壁上，和阴极引线层是相互连通的；间隔层倒置圆台斜面孔的底部的印刷的绝缘浆料层形成阴极基底层；阴极基底层呈现倒置漏斗型形状，即阴极基底层的底部坐落于间隔层下表面与绝缘层的交界处，下半部分为中空的圆筒体型，在上半部分其圆筒体要斜向外扩展，形成一个圆锥型倾斜面，整体阴极基底层类似于一个倒置的漏斗型形状，其圆锥型倾斜面的最高处高度与倒置圆台斜面孔内侧壁上阴极延长线层最高处的高度是相同的；阴极基底层表面上的、阴极延长线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极基底层表面上的阴极导电层和阴极延长线层表面上的阴极导电层是相互连通在一起的；间隔层中倒置圆台斜面孔上部分的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层位于间隔层上表面与倒置圆台斜面孔交界处的倒置圆台斜面孔的内侧壁上，即从间隔层上表面开始沿着导致圆台斜面孔内侧壁向下延伸一部分，然后弯曲成垂直于间隔层上表面的竖直面；间隔层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和栅极管制层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部栅极引线层以及栅极管制层的上表面；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

2、根据权利要求1所述的漏斗型栅控阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的漏斗型栅控阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅之一；阴极延长线层为金属金、银、铝、钼、铬、锡之一；阴极导电层为金属铁、钴、镍之一；栅极管制层为金属金、银、铝、钼、铬、锡之一；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬之一。

3、一种如权利要求1所述的漏斗型栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结后形成绝缘层；

3)阴极引线层[3]的制作：在绝缘层上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)间隔层[4]的制作：在阴极引线层上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

5)阴极延长线层[5]的制作：在倒置圆台斜面孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极延长线层；

6)阴极基底层[6]的制作：在倒置圆台斜面孔的内部印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底层；

7)阴极导电层[7]的制作：在阴极基底层表面上和阴极延长线层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

8)栅极管制层[8]的制作：在间隔层倒置圆台斜面孔的上部分制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制层；

9)栅极引线层[9]的制作：在间隔层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

10)栅极覆盖层[10]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

11)漏斗型栅控阴极结构的表面清洁处理：对漏斗型栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管[11]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)阳极玻璃面板[12]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

14)阳极导电层[13]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

15)绝缘浆料层[14]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层：

16)荧光粉层[15]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

17)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[16]和四周玻璃围框[17]装配到一起，并将消气剂附属元件[18]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

18)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

4、根据权利要求3所述的漏斗型栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤15具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

5、根据权利要求3所述的漏斗型栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤16具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

6、根据权利要求3所述的漏斗型栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂附属元件[18]进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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