CN100527338C - 多同轴柱面侧栅控型结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种多同轴柱面侧栅控型结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上有栅极引线层、碳纳米管以及多同轴柱面侧栅控型结构；能够进一步降低栅极结构的工作电压，有助于提高整体器件的显示图像质量。具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

多同轴柱面侧栅控型结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种多同轴柱面侧栅控型结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

碳纳米管场致发射显示器是一种主动发光型的全固化的新型平板显示器，这种显示器的工作原理和传统的阴极射线管显示器几乎完全相同，都是利用电子束轰击荧光粉层而发出可见光，它保留了阴极射线管显示器的高亮度、高显示图像质量以及响应速度快、视角大等优点，也常被称为平板阴极射线管显示器。但这种显示器采用碳纳米管作为阴极材料，无需外来的热能，仅仅依靠外界电压就能够发射电子，因此无延迟时间，响应速度更快；同时这种显示器还具有超薄型、完全平板化、工作温区宽等特点，引起了众多科研人员高度关注。

栅极结构是三极结构碳纳米管场致发射平板显示器中的关键控制元件之一，它能够直接将外界电压转换为碳纳米管阴极表面顶端的强大电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子。而在目前的大多数场致发射显示器中，或者是迫使碳纳米管发射大量电子所需要的栅极工作电压居高不下，或者是栅极电流过于偏大，或者是在较低栅极电压下阳极电流过小，也就是说没有足够的碳纳米管阴极发射出足够量的电子，等等，而这些因素又同时是相互影响、相互制约的，没有一个比较完好的解决方案，许多科研单位都是在牺牲了某一技术指标之后来提升了另外一个技术指标。那么，在实际器件的制作过程中，究竟采用何种结构形式，应用何种结构材料，如何降低栅极的工作电压，如何增强显示器件的显示亮度，都是值得考虑的问题。在三极结构的平板场致发射显示器件中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用前提下，还需尽可能降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的带有一种多同轴柱面侧栅控型结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及多同轴柱面侧栅控型结构。

所述的多同轴柱面侧栅控型结构的衬底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上面的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极升高层小圆孔中印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极延长线层和栅极引线层是相互连通的；栅极升高层上面的印刷的绝缘浆料层形成提升一层；提升一层呈现圆台面型形状，底面为圆盘面型形状，其直径最大，坐落于栅极升高层的上表面上，提升一层的上表面也为圆盘面型形状，但其直径要小于提升一层下表面的直径，使得提升一层的侧面形成倾斜面；提升一层的中心存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；提升一层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层，与栅极升高层中的栅极延长线层相互连通；提升一层上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极一层；调控栅极一层布满提升一层的上表面；调控栅极一层和栅极延长线层相互连通；调控栅极一层上面的印刷的绝缘浆料层形成提升二层；提升二层也是呈现圆台面型形状，其下底面的直径与提升一层的上顶面直径相同，其侧面的倾斜角度与提升一层的侧面倾斜角度是一致的；提升二层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；提升二层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层，与提升一层中的栅极延长线层相互连通；提升二层上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层与栅极延长线层相互连通；调控栅极二层上面的印刷的绝缘浆料层形成提升三层；提升三层也是呈现圆台面型形状，其下底面的直径与提升二层的上顶面直径相同，其侧面的倾斜角度与提升二层的侧面倾斜角度是一致的；提升三层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；提升三层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层，与提升二层中的栅极延长线层是相互连通的；提升三层上表面的刻蚀后的金属层形成调控栅极三层；调控栅极三层布满提升三层的上表面，且与栅极延长线层是相互连通的；调控栅极三层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；提升一层、提升二层、提升三层侧面的印刷的绝缘浆料层形成隔离层；隔离层要完全覆盖住提升一层、提升二层和提升三层的侧面；隔离层的外侧面也是一个倾斜面，其倾斜角度与提升一层的倾斜角度是相同的；隔离层的外侧面上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满隔离层的外侧面；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；栅极升高层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层、阴极过渡层以及阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的多同轴柱面侧栅控型结构安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极一层、调控栅极二层和调控栅极三层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铬、铜、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、铅、锡、铟；阴极导电层为金属铁、钴、镍。

一种多同轴柱面侧栅控型结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层[3]的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)栅极升高层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；

5)栅极延长线层[5]的制作：在栅极升高层小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

6)提升一层[6]的制作：在栅极升高层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成提升一层；

7)栅极延长线层[5]的制作：在提升一层小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

8)调控栅极一层[7]的制作：在提升一层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极一层；

9)提升二层[8]的制作：在调控栅极一层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成提升二层；

10)栅极延长线层[5]的制作：在提升二层中小圆孔内印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

11)调控栅极二层[9]的制作：在提升二层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极二层；

12)提升三层[10]的制作：在调控栅极二层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成提升三层；

13)栅极延长线层[5]的制作：在提升三层中小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

14)调控栅极三层[11]的制作：在提升三层的上面制备出一个金属层，经烘烤、烧结工艺后形成调控栅极三层；

15)栅极覆盖层[12]的制作：在调控栅极三层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

16)隔离层[13]的制作：在提升一层、提升二层和提升三层的侧面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离层；

17)阴极过渡层[14]的制作：在隔离层外侧面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

18)阴极导电层[15]的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

19)阴极引线层[16]的制作：在栅极升高层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

20)阴极覆盖层[17]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

21)多同轴柱面侧栅控型结构的表面清洁处理：对多同轴柱面侧栅控型结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

22)碳纳米管[18]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

23)阳极玻璃面板[19]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

24)阳极导电层[20]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

25)绝缘浆料层[21]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

26)荧光粉层[22]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

27)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[23]和四周玻璃围框[24]装配到一起，并将消气剂[25]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。

28)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的多同轴柱面侧栅控型结构中，将栅极结构制作在碳纳米管阴极结构内侧。当在栅极结构上施加适当电压后，通过栅极引线层将外界电压传递到调控栅极一层、调控栅极二层和调控栅极三层上面，会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，使碳纳米管阴极发射出大量的电子，体现了栅极结构的强有力控制作用。由于栅极结构位于碳纳米管阴极结构的内侧，从碳纳米管阴极所发射的电子束不会受到栅极结构的截留，极大地减小了栅极电流。由于调控栅极一层、调控栅极二层和调控栅极三层的末端都可以尽可能的接近于碳纳米管阴极，缩减了二者之间的距离，有效地降低了栅极结构的工作电压。

其次，在所述的多同轴柱面侧栅控型结构中，将碳纳米管阴极制备在了阴极导电层的上面，而阴极导电层则是制作在了呈现圆台面的侧面上。极大地增加了碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管都参与电子发射，有助于提高器件的显示亮度。将栅极结构和阴极结构高度集成到一起，有助于促进整体器件的高度集成化发展；此外，在所述的多同轴柱面侧栅控型结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了多同轴柱面侧栅控型结构的纵向结构示意图；

图2给出了多同轴柱面侧栅控型结构的横向结构示意图；

图3给出了带有多同轴柱面侧栅控型结构的平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但并不局限于这些实施例。

所述的一种带有多同轴柱面侧栅控型结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[19]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[24]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[20]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[22]；在阴极玻璃面板上有栅极引线层[3]、碳纳米管[18]以及多同轴柱面侧栅控型结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[23]以及消气剂[25]附属元件。

所述的多同轴柱面侧栅控型结构包括阴极玻璃面板[1]、绝缘层[2]、栅极引线层[3]、栅极升高层[4]、栅极延长线层[5]、提升一层[6]、调控栅极一层[7]、提升二层[8]、调控栅极二层[9]、提升三层[10]、调控栅极三层[11]、栅极覆盖层[12]、隔离层[13]、阴极过渡层[14]、阴极导电层[15]、阴极引线层[16]、阴极覆盖层[17]和碳纳米管[18]部分。

所述的多同轴柱面侧栅控型结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上面的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极升高层小圆孔中印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极延长线层和栅极引线层是相互连通的；栅极升高层上面的印刷的绝缘浆料层形成提升一层；提升一层呈现圆台面型形状，底面为圆盘面型形状，其直径最大，坐落于栅极升高层的上表面上，提升一层的上表面也为圆盘面型形状，但其直径要小于提升一层下表面的直径，使得提升一层的侧面形成倾斜面；提升一层的中心存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；提升一层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层，与栅极升高层中的栅极延长线层是相互连通的；提升一层上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极一层；调控栅极一层布满提升一层的上表面；调控栅极一层和栅极延长线层是相互连通的；调控栅极一层上面的印刷的绝缘浆料层形成提升二层；提升二层也是呈现圆台面型形状，其下底面的直径与提升一层的上顶面直径相同，其侧面的倾斜角度与提升一层的侧面倾斜角度是一致的；提升二层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；提升二层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层，与提升一层中的栅极延长线层是相互连通的；提升二层上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层与栅极延长线层是相互连通的；调控栅极二层上面的印刷的绝缘浆料层形成提升三层；提升三层也是呈现圆台面型形状，其下底面的直径与提升二层的上顶面直径相同，其侧面的倾斜角度与提升二层的侧面倾斜角度是一致的；提升三层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；提升三层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层，与提升二层中的栅极延长线层是相互连通的；提升三层上表面的刻蚀后的金属层形成调控栅极三层；调控栅极三层布满提升三层的上表面，且与栅极延长线层是相互连通的；调控栅极三层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；提升一层、提升二层、提升三层侧面的印刷的绝缘浆料层形成隔离层；隔离层要完全覆盖住提升一层、提升二层和提升三层的侧面；隔离层的外侧面也是一个倾斜面，其倾斜角度与提升一层的倾斜角度是相同的；隔离层的外侧面上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满隔离层的外侧面；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；栅极升高层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层、阴极过渡层以及阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的多同轴柱面侧栅控型结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极一层、调控栅极二层和调控栅极三层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极过渡层可以为金属金、银、铝、钼、铬、铜、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、铅、锡、铟；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。

一种多同轴柱面侧栅控型结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层[3]的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)栅极升高层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；

5)栅极延长线层[5]的制作：在栅极升高层小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

6)提升一层[6]的制作：在栅极升高层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成提升一层；

7)栅极延长线层[5]的制作：在提升一层小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

8)调控栅极一层[7]的制作：在提升一层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极一层；

9)提升二层[8]的制作：在调控栅极一层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成提升二层；

10)栅极延长线层[5]的制作：在提升二层中小圆孔内印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

11)调控栅极二层[9]的制作：在提升二层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成调控栅极二层；

12)提升三层[10]的制作：在调控栅极二层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成提升三层；

13)栅极延长线层[5]的制作：在提升三层中小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

14)调控栅极三层[11]的制作：在提升三层的上面制备出一个金属铬层，经烘烤、烧结工艺后形成调控栅极三层；

15)栅极覆盖层[12]的制作：在调控栅极三层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

16)隔离层[13]的制作：在提升一层、提升二层和提升三层的侧面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离层；

17)阴极过渡层[14]的制作：在隔离层外侧面上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极过渡层；

18)阴极导电层[15]的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

19)阴极引线层[16]的制作：在栅极升高层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

20)阴极覆盖层[17]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

21)多同轴柱面侧栅控型结构的表面清洁处理：对多同轴柱面侧栅控型结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

22)碳纳米管[18]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

23)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

24)阳极玻璃面板[19]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

25)阳极导电层[20]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

26)绝缘浆料层[21]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

27)荧光粉层[22]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

28)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[23]和四周玻璃围框[24]装配到一起，并将消气剂[25]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

29)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤26具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤27具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤29具体为对已经装配好的器件进行封装工艺：将样品器件放入烘箱中烘烤；放入烧结炉中烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (6)

1、一种多同轴柱面侧栅控型结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板(19)、阴极玻璃面板(1)和四周玻璃围框(24)所构成的密封真空腔；设在阳极玻璃面板上的阳极导电层(20)以及制在阳极导电层上面的荧光粉层(22)；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构(23)以及消气剂附属元件(25)；其特征在于：

在阴极玻璃面板上有栅极引线层(3)、碳纳米管(18)以及多同轴柱面侧栅控型结构；

所述的多同轴柱面侧栅控型结构的衬底材料为钠钙玻璃或硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上面印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面刻蚀的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极升高层小圆孔中印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极延长线层和栅极引线层相互连通；栅极升高层上面的印刷的绝缘浆料层形成提升一层；提升一层呈现圆台面型形状，底面为圆盘面型形状，坐落于栅极升高层上表面上，提升一层的上表面为圆盘面型形状，其直径小于提升一层下表面直径，提升一层的侧面形成倾斜面；提升一层中心存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；提升一层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层，与栅极升高层中的栅极延长线层相互连通；提升一层上面刻蚀后金属层形成调控栅极一层；调控栅极一层布满提升一层的上表面；调控栅极一层和栅极延长线层相互连通；调控栅极一层上面印刷的绝缘浆料层形成提升二层；提升二层也是呈现圆台面型形状，其下底面直径与提升一层上顶面直径相同，其侧面倾斜角度与提升一层侧面倾斜角度一致；提升二层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；提升二层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层，与提升一层中的栅极延长线层相互连通；提升二层上面刻蚀后金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层与栅极延长线层相互连通；调控栅极二层上面印刷的绝缘浆料层形成提升三层；提升三层呈现圆台面型形状，其下底面直径与提升二层的上顶面直径相同，其侧面倾斜角度与提升二层侧面倾斜角度一致；提升三层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；提升三层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层，与提升二层中的栅极延长线层是相互连通的；提升三层上表面刻蚀后的金属层形成调控栅极三层；调控栅极三层布满提升三层的上表面，且与栅极延长线层相互连通；调控栅极三层上面印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；提升一层、提升二层、提升三层侧面印刷的绝缘浆料层形成隔离层；隔离层覆盖住提升一层、提升二层和提升三层的侧面；隔离层外侧面是倾斜面，其倾斜角度与提升一层的倾斜角度相同；隔离层外侧面上刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满隔离层的外侧面；阴极过渡层上面刻蚀后的金属层形成阴极导电层；栅极升高层上面刻蚀后金属层形成阴极引线层；阴极引线层、阴极过渡层以及阴极导电层相互连通；阴极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

2、根据权利要求1所述的多同轴柱面侧栅控型结构的平板显示器，其特征在于：所述的多同轴柱面侧栅控型结构安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金、银、铝、钼、铬之一；调控栅极一层、调控栅极二层和调控栅极三层为金、银、铜、铝、钼、铬、锡之一；阴极过渡层为金、银、铝、钼、铬、铜、锡之一；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层为金、银、铜、铝、钼、铬、铅、锡、铟之一；阴极导电层为铁、钴、镍之一。

3、一种多同轴柱面侧栅控型结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板(1)的制作：对整体平板玻璃划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层(2)的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层(3)的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)栅极升高层(4)的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；

5)栅极延长线层(5)的制作：在栅极升高层小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

6)提升一层(6)的制作：在栅极升高层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成提升一层；

7)栅极延长线层(5)的制作：在提升一层小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

8)调控栅极一层(7)的制作：在提升一层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极一层；

9)提升二层(8)的制作：在调控栅极一层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成提升二层；

10)栅极延长线层(5)的制作：在提升二层中小圆孔内印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

11)调控栅极二层(9)的制作：在提升二层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极二层；

12)提升三层(10)的制作：在调控栅极二层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成提升三层；

13)栅极延长线层(5)的制作：在提升三层中小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

14)调控栅极三层(11)的制作：在提升三层的上面制备出一个金属层，经烘烤、烧结工艺后形成调控栅极三层；

15)栅极覆盖层(12)的制作：在调控栅极三层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

16)隔离层(13)的制作：在提升一层、提升二层和提升三层的侧面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离层；

17)阴极过渡层(14)的制作：在隔离层外侧面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

18)阴极导电层(15)的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

19)阴极引线层(16)的制作：在栅极升高层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

20)阴极覆盖层(17)的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

21)多同轴柱面侧栅控型结构的表面清洁处理：对多同轴柱面侧栅控型结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

22)碳纳米管(18)的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

23)阳极玻璃面板(19)的制作：对整体平板玻璃划割，制出阳极玻璃面板；

24)阳极导电层(20)的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

25)绝缘浆料层(21)的制作：在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层；

26)荧光粉层(22)的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

27)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构(23)和四周玻璃围框(24)装到一起，将消气剂附属元件(25)放入到空腔中，用低熔点玻璃粉固定；

28)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

4、根据权利要求3所述的多同轴柱面侧栅控型结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤25具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

5、根据权利要求3所述的多同轴柱面侧栅控型结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤26具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

6、根据权利要求3所述的多同轴柱面侧栅控型结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤28具体为对已经装配好的器件进行封装工艺：将样品器件放入烘箱中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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