CN101071734B - 齿型高栅控结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种齿型高栅控结构的平板显示器及其制作工艺，包括阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及齿型高栅控结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，能够进一步增强栅极结构的控制功能，提高碳纳米管阴极的电子发射效率和电子发射数量，有助于提高整体器件的显示亮度，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

齿型高栅控结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种齿型高栅控结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

显示技术及显示器件在信息技术的发展过程中占据了越来越重要的地位，电视、电脑以及各类仪器仪表上的显示器为人类的生活和工作提供着大量的信息。而显示器件领域也正在加速推进其平板化的进程。利用碳纳米管作为阴极而制作的场致发射显示器则是一种新型的平板器件，它是利用碳纳米管阴极的场致发射原理来制作研究的，具有高亮度、高清晰度、高分辨率以及功耗低等特点，已经成为了国际平板显示领域的发展方向，被公认为是下一代平板显示器件的代表。

栅极结构是三极场致发射平板显示器件中的关键控制元件之一，它直接决定着碳纳米管阴极能否进行电子发射。目前在大多数的平板显示器件当中都采用了栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的结构形式，这种结构形式的制作工艺简单，栅极的控制作用比较显著，但所形成的栅极电流比较大，且栅极电压居高不下，这是其不利之处。在确保栅极结构良好控制作用的同时，还需要进一步降低栅极结构的工作电压，这符合低压平板器件的质量体系要求。很显然，尽可能的缩短栅极结构和碳纳米管阴极之间的距离是降低栅极工作电压的最直接办法。除此之外，还可以对碳纳米管阴极的表面形状加以改进，使其在比较低的电压下就能够产生足够强的电场强度，发射出大量的电子，这也达到了间接降低栅极工作电压的目的。此外，还需要栅极电压能够均匀的施加到碳纳米管阴极顶端，从而确保整体器件的发光均匀性。而对于这些所存在的问题，在目前的实际器件制作过程中，还没有一个很完美的解决方法。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的齿型高栅控结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及齿型高栅控结构。

所述的齿型高栅控结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极基底层；阴极基底层呈现圆面型形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极基底层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层呈现三角发射型形状，即中心为一个圆环型，圆环的中心位置与阴极基底层的中心位置相重合，圆环的外直径大，内直径小，在圆环的周围排列着八个三角形，呈现发射型分布在周围八个方向上；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料形成栅极升高层；栅极升高层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层和空域的阻滞层部分；栅极升高层的上表面为平面，和栅极引线层相互接触；栅极升高层中存在圆型孔，暴露出底部的阴极基底层和阴极导电层；栅极升高层中圆型孔在栅极升高层上表面处的截面为圆型面；栅极升高层中圆型孔的内侧壁是倾斜的，即从栅极升高层的上表面开始，逐渐向栅极升高层的内部凹陷倾斜，直至到达栅极升高层的下表面位置为止，靠近栅极升高层上表面处的圆型孔的直径大，靠近栅极升高层下表面处的圆型孔的直径小；栅极升高层中圆型孔内侧壁上印刷的绝缘浆料层形成栅极附加层；栅极附加层为三个三角形，形成齿型形状，从栅极升高层上表面开始依次向下排列分布；靠近栅极升高层上表面的三角形栅极附加层的表面与栅极升高层上表面平齐；栅极附加层的三个三角形形状的尖端都指向圆型孔的中心位置；栅极附加层中三个三角形形状的尖端高度依次缩进，即最上边的三角形尖角高度最大，最下边的三角形尖角高度最小，中间的三角形尖角高度居中；栅极附加层上面的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层要覆盖在整个栅极附加层的上表面；栅极升高层上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和栅极管制层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要完全覆盖住全部的栅极引线层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

所述的齿型高栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极基底层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；栅极管制层可以为金属金、银、铝、钼、铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。

一种带有齿型高栅控结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)阴极基底层的制作：在阴极引线层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极基底层；

5)阴极导电层的制作：在阴极基底层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

6)栅极升高层的制作：在阻滞层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；栅极升高层中存在圆型孔；

7)栅极附加层的制作：在栅极升高层中圆型孔内侧壁上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极附加层；

8)栅极管制层的制作：在栅极附加层上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制层；

9)栅极引线层的制作：在栅极升高层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

10)栅极覆盖层的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

11)齿型高栅控结构的表面清洁处理：对齿型高栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)阳极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

14)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

15)绝缘浆料层的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

16)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

17)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

18)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤15具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤16具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤18具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的齿型高栅控结构中，制作了齿型栅极控制结构。当在栅极上施加适当电压以后，就会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管阴极发射出大量的电子。栅极引线层是将外界电压传递到栅极管制层上面，同时起到像素点矩阵寻址的功能，而栅极管制层则是来控制碳纳米管阴极的电子发射。三角尖型形状环绕在圆型孔的周围，构成了尖环型，有利于均匀的将栅极电压施加到碳纳米管阴极顶端，同时也使得栅极电压更集中的施加到碳纳米管阴极顶端；三个高度依次降低的三角型形状，能够确保进一步增强碳纳米管阴极表面顶端的电场强度，迫使其发射出更多的电子，同时其高度依次降低，也能够降低栅极结构对碳纳米管阴极电子束截留的几率。

其次，在所述的齿型高栅控结构中，将碳纳米管阴极制备在呈现三角发射型形状的阴极导电层上面。这样，可以充分利用碳纳米管阴极电子发射中边缘位置能够发射大量电子的现象，进一步提高碳纳米管阴极的电子发射效率，增加了碳纳米管阴极的电子发射面积和电子发射数量，有助于提高整体器件的显示亮度。将栅极结构和阴极结构高度集成到一起，有助于促进整体器件的高度集成化发展；

此外，在所述的齿型高栅控结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了齿型高栅控结构的纵向结构示意图；

图2给出了齿型高栅控结构的横向结构示意图；

图3给出了齿型高栅控结构中阴极导电层的俯视示意图；

图4给出了带有齿型高栅控结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于这些实施例。

所述的一种带有齿型高栅控结构的平板显示器，包括阳极玻璃面板[12]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[16]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[13]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[15]；在阴极玻璃面板上有阴极导电层[5]、碳纳米管[11]以及齿型高栅控结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂[17]附属元件。

所述的齿型高栅控结构包括阴极玻璃面板[1]、阻滞层[2]、阴极引线层[3]、阴极基底层[4]、阴极导电层[5]、栅极升高层[6]、栅极附加层[7]、栅极管制层[8]、栅极引线层[9]、栅极覆盖层[10]和碳纳米管[11]部分。

所述的齿型高栅控结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极基底层；阴极基底层呈现圆面型形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极基底层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层呈现三角发射型形状，即中心为一个圆环型，圆环的中心位置与阴极基底层的中心位置相重合，圆环的外直径大，内直径小，在圆环的周围排列着八个三角形，呈现发射型分布在周围八个方向上；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料形成栅极升高层；栅极升高层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层和空域的阻滞层部分；栅极升高层的上表面为平面，和栅极引线层相互接触；栅极升高层中存在圆型孔，暴露出底部的阴极基底层和阴极导电层；栅极升高层中圆型孔在栅极升高层上表面处的截面为圆型面；栅极升高层中圆型孔的内侧壁是倾斜的，即从栅极升高层的上表面开始，逐渐向栅极升高层的内部凹陷倾斜，直至到达栅极升高层的下表面位置为止，靠近栅极升高层上表面处的圆型孔的直径大，靠近栅极升高层下表面处的圆型孔的直径小；栅极升高层中圆型孔内侧壁上印刷的绝缘浆料层形成栅极附加层；栅极附加层为三个三角形，形成齿型形状，从栅极升高层上表面开始依次向下排列分布；靠近栅极升高层上表面的三角形栅极附加层的表面与栅极升高层上表面平齐；栅极附加层的三个三角形形状的尖端都指向圆型孔的中心位置；栅极附加层中三个三角形形状的尖端高度依次缩进，即最上边的三角形尖角高度最大，最下边的三角形尖角高度最小，中间的三角形尖角高度居中；栅极附加层上面的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层要覆盖在整个栅极附加层的上表面；栅极升高层上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和栅极管制层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要完全覆盖住全部的栅极引线层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

所述的齿型高栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极基底层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；栅极管制层可以为金属金、银、铝、钼、铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。

一种带有齿型高栅控结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)阴极基底层[4]的制作：在阴极引线层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成阴极基底层；

5)阴极导电层[5]的制作：在阴极基底层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

6)栅极升高层[6]的制作：在阻滞层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；栅极升高层中存在圆型孔；

7)栅极附加层[7]的制作：在栅极升高层中圆型孔内侧壁上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极附加层；

8)栅极管制层[8]的制作：在栅极附加层上面制备出一个金属钼，刻蚀后形成栅极管制层；

9)栅极引线层[9]的制作：在栅极升高层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

10)栅极覆盖层[10]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

11)齿型高栅控结构的表面清洁处理：对齿型高栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管[11]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

14)阳极玻璃面板[12]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

15)阳极导电层[13]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

16)绝缘浆料层[14]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

17)荧光粉层[15]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

18)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[16]装配到一起，并将消气剂[17]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

19)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (6)

1.一种齿型高栅控结构的平板显示器，包括阳极玻璃面板[12]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[16]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[13]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[15]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂附属元件[17]，其特征在于：

在阴极玻璃面板上有阴极导电层[5]、碳纳米管[11]以及齿型高栅控结构；

所述的齿型高栅控结构的衬底材料为钠钙玻璃或硼硅玻璃，形成为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极基底层；阴极基底层呈现圆面型形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极基底层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层呈现三角发射型形状，即中心为一个圆环型，圆环的中心位置与阴极基底层的中心位置相重合，圆环的外直径大，内直径小，在圆环的周围排列着八个三角形，呈现发射型分布在周围八个方向上；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料形成栅极升高层；栅极升高层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层和空域的阻滞层部分；栅极升高层的上表面为平面，和栅极引线层相互接触；栅极升高层中存在圆型孔，暴露出底部的阴极基底层和阴极导电层；栅极升高层中圆型孔在栅极升高层上表面处的截面为圆型面；栅极升高层中圆型孔的内侧壁是倾斜的，即从栅极升高层的上表面开始，逐渐向栅极升高层的内部凹陷倾斜，直至到达栅极升高层的下表面位置为止，靠近栅极升高层上表面处的圆型孔的直径大，靠近栅极升高层下表面处的圆型孔的直径小；栅极升高层中圆型孔内侧壁上印刷的绝缘浆料层形成栅极附加层；栅极附加层为三个三角形，形成齿型形状，从栅极升高层上表面开始依次向下排列分布；靠近栅极升高层上表面的三角形栅极附加层的表面与栅极升高层上表面平齐；栅极附加层的三个三角形形状的尖端都指向圆型孔的中心位置；栅极附加层中三个三角形形状的尖端高度依次缩进，即最上边的三角形尖角高度最大，最下边的三角形尖角高度最小，中间的三角形尖角高度居中；栅极附加层上面的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层要覆盖在整个栅极附加层的上表面；栅极升高层上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和栅极管制层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要完全覆盖住全部的栅极引线层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

2.根据权利要求1所述的齿型高栅控结构的平板显示器，其特征在于：所述的齿型高栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡或铅；阴极基底层为金属金、银、铝、钼、铬或锡；阴极导电层为金属铁、钴或镍；栅极管制层为金属金、银、铝、钼或铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层为金属金、银、铝、钼或铬。

3.一种齿型高栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)阴极基底层[4]的制作：在阴极引线层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极基底层；

5)阴极导电层[5]的制作：在阴极基底层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

6)栅极升高层[6]的制作：在阻滞层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；栅极升高层中存在圆型孔；

7)栅极附加层[7]的制作：在栅极升高层中圆型孔内侧壁上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极附加层；

8)栅极管制层[8]的制作：在栅极附加层上面制备出金属层，刻蚀后形成栅极管制层；

9)栅极引线层[9]的制作：在栅极升高层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

10)栅极覆盖层[10]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

11)齿型高栅控结构的表面清洁处理：对齿型高栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管[11]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)阳极玻璃面板[12]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

14)阳极导电层[13]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

15)绝缘浆料层[14]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

16)荧光粉层[15]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

17)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[16]装配到一起，并将消气剂[17]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

18)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

4.根据权利要求3所述的齿型高栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤15具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

5.根据权利要求3所述的齿型高栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤16具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

6.根据权利要求3所述的齿型高栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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