CN100527345C - 双侧凹陷阴栅控结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种圆环叉角型下栅控阴结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上有栅极引线层、碳纳米管以及圆环叉角型下栅控阴结构；能够降低栅极的工作电压，提高碳纳米管阴极的电子发射效率，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

圆环叉角型下栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种圆环叉角型下栅控阴结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

碳纳米管具有优良的场致发射性能，具有高度的物理化学稳定性，非常适合于作为新型平板显示器件的冷阴极材料。碳纳米管场致发射显示器是一种主动发光的平板显示技术，具有全固体化、耐冲击、高清晰度、高分辨率、响应速度快、工作温区范围广等特点，可以用来制作点阵式显示器、数码管等各种显示装置，特别适用于仪器仪表用显示装置和家电显示装置，将在计算机显示器和壁挂电视领域占有很大的市场份额，业已成为了新一代国际平板显示技术的发展方向。

为了降低总体器件成本，以便于和常规的集成驱动电路相联系，制作三极结构的碳纳米管场致发射显示器已经成为了一种必然的选择。但是，由于栅极结构的加入，使得整体器件的制作变得更加的复杂起来。出于进一步降低栅极工作电压的需要，就要尽可能缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，但同时还要防止二者之间的电学击穿现象的出现，因此，无论是对绝缘材料的绝缘等级上，还是对绝缘材料的材料属性和制作工艺方面，都对绝缘材料提出了更高更严格的要求。再有，真空的绝缘性能是优于绝缘材料的，在器件制作的时候可以充分的加以利用。栅极结构和阴极结构之间的电容效应也是值得关注的一个问题，很显然，如果器件的电容效应很大的话，那么器件的工作频率也是很难得到提高的。因此，在实际器件的制作过程中，对于这些问题都需要进行仔细的思考，从而进行高质量的显示器件制作。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的圆环叉角型下栅控阴结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上有栅极引线层、碳纳米管以及圆环叉角型下栅控阴结构。

所述的圆环叉角型下栅控阴结构的衬底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成提升层；提升层的上下表面均为平面，下表面覆盖栅极引线层以及空余的绝缘层部分；提升层中存在圆型孔，圆型孔内侧壁垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，圆型孔的底部暴露出栅极引线层；提升层中圆型孔的内侧壁上刻蚀后的金属层形成调控栅极一层；调控栅极一层呈现圆环型形状依附于提升层圆型孔的内侧壁上；调控栅极一层的高度与提升层的高度相同；提升层中圆型孔的底部刻蚀后的金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层呈现由两个长条形的栅极条构成的叉角型形状，栅极条的末端和调控栅极一层是连接在一起的；调控栅极一层、调控栅极二层和栅极引线层是相互连通；调控栅极二层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极基底层；阴极基底层呈现凹陷的圆台型形状，即阴极基底层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住调控栅极二层；阴极基底层的上下表面同时为圆面，上表面的圆面直径要小于下表面的圆面直径；阴极基底层的侧面呈现向内凹陷的斜向半圆型形状，从阴极基底层的上表面开始，直至到达阴极基底层的下表面结束；阴极基底层位于提升层的圆型孔当中，周围被调控栅极一层所包围着，但阴极基底层的上表面高度要高于调控栅极一层的高度；阴极基底层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满阴极基底层的上表面；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；提升层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的上下表面均为平面，下表面和提升层的上表面相互接触；间隔层的上表面高度要高于阴极基底层上表面的高度；间隔层中存在异型孔，异型孔中要完全暴露出阴极过渡层和阴极导电层；间隔层中异型孔的中间存在一个突出的环形平面，和阴极基底层的上表面是相连接且是相平齐的，从而将间隔层中异型孔的内侧壁分为上下两部分；间隔层中异型孔的上部分内侧壁是一个略向上凸起的弧形面，从间隔层的上表面开始，直至到达中间突出的环形平面结束；间隔层中异型孔的下部分内侧壁是一个略向内凹陷的弧形面，从突出的环形平面开始，直至到达间隔层的下表面位置为止；间隔层下表面的边缘部分与提升层中圆型孔的边缘部分相重合；间隔层上表面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层越过间隔层异型孔内侧壁与阴极过渡层是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要覆盖住阴极引线层部分，包括异型孔内侧壁上的阴极引线层部分在内；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的圆环叉角型下栅控阴结构固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极一层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；调控栅极二层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极过渡层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍。

一种圆环叉角型下栅控阴结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层的制作：在绝缘层上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)提升层的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成提升层；

5)调控栅极一层的制作：在提升层圆型孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极一层；

6)调控栅极二层的制作：在提升层圆型孔的底部制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极二层；

7)阴极基底层的制作：在调控栅极二层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底层；

8)阴极过渡层的制作：在阴极基底层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

9)阴极导电层的制作：在阴极过渡层上面制出金属层，刻蚀成阴极导电层；

10)间隔层的制作：在提升层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

11)阴极引线层的制作：在间隔层上表面上制备出金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

12)阴极覆盖层的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

13)圆环叉角型下栅控阴结构的表面清洁处理：对圆环叉角型下栅控阴结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)阳极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

16)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

17)绝缘浆料层的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

18)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

19)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的圆环叉角型下栅控阴结构中，将碳纳米管阴极制作在了阴极导电层的上方。增加了碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都能够参与电子发射，极大的提高了器件的阳极工作电流，有助于提高器件的显示亮度。由于阴极基底层的旁侧为空置部分，间隔层异型孔中的下部分也为空置部分，这样就形成了栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的真空绝缘层，在能够进一步缩短二者之间距离的同时也有助于提高二者之间的绝缘性能，有利于降低器件的栅极工作电压。

其次，在所述的圆环叉角型下栅控阴结构中，将栅极结构制作在了碳纳米管阴极结构的下方。位于周围呈现圆环型形状的调控栅极一层能够对边缘部分的碳纳米管阴极进行强有力的控制，而位于中间部分的调控栅极二层则对调控栅极一层起到一种辅助作用，既能够令阴极导电层中间部分的碳纳米管阴极发射出大量的电子，同时还能够和调控栅极一层产生合场强，来进一步增强碳纳米管阴极表面顶端的电场强度。由于栅极电极以及引线层和阴极引线层的距离较远，这有利于减小栅极-阴极之间的电容效应。

此外，在所述的圆环叉角型下栅控阴结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了圆环叉角型下栅控阴结构的纵向结构示意图；

图2给出了圆环叉角型下栅控阴结构的横向结构示意图；

图3给出了圆环叉角型下栅控阴结构的调控栅极二层的俯视示意图；

图4给出了带有圆环叉角型下栅控阴结构的平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但并不局限于这些实施例。

所述的一种圆环叉角型下栅控阴结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[14]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[19]构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[15]以及制在阳极导电层上面的荧光粉层[17]；在阴极玻璃面板上有栅极引线层[3]、碳纳米管[13]以及圆环叉角型下栅控阴结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂[20]附属元件。

所述的圆环叉角型下栅控阴结构包括阴极玻璃面板[1]、绝缘层[2]、栅极引线层[3]、提升层[4]、调控栅极一层[5]、调控栅极二层[6]、阴极基底层[7]、阴极过渡层[8]、阴极导电层[9]、间隔层[10]、阴极引线层[11]、阴极覆盖层[12]和碳纳米管[13]部分。

所述的圆环叉角型下栅控阴结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成提升层；提升层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住栅极引线层以及空余的绝缘层部分；提升层中存在圆型孔，圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，圆型孔的底部要暴露出栅极引线层；提升层中圆型孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极一层；调控栅极一层呈现圆环型形状依附于提升层圆型孔的内侧壁上；调控栅极一层的高度与提升层的高度相同；提升层中圆型孔的底部的刻蚀后的金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层呈现由两个长条形的栅极条构成的叉角型形状，栅极条的末端和调控栅极一层是连接在一起的；调控栅极一层、调控栅极二层和栅极引线层都是相互连通的；调控栅极二层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极基底层；阴极基底层呈现凹陷的圆台型形状，即阴极基底层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住调控栅极二层；阴极基底层的上下表面同时为圆面，上表面的圆面直径要小于下表面的圆面直径；阴极基底层的侧面呈现向内凹陷的斜向半圆型形状，从阴极基底层的上表面开始，直至到达阴极基底层的下表面结束；阴极基底层位于提升层的圆型孔当中，周围被调控栅极一层所包围着，但阴极基底层的上表面高度要高于调控栅极一层的高度；阴极基底层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满阴极基底层的上表面；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；提升层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的上下表面均为平面，下表面和提升层的上表面相互接触；间隔层的上表面高度要高于阴极基底层上表面的高度；间隔层中存在异型孔，异型孔中要完全暴露出阴极过渡层和阴极导电层；间隔层中异型孔的中间存在一个突出的环形平面，和阴极基底层的上表面是相连接且是相平齐的，从而将间隔层中异型孔的内侧壁分为上下两部分；间隔层中异型孔的上部分内侧壁是一个略向上凸起的弧形面，从间隔层的上表面开始，直至到达中间突出的环形平面结束；间隔层中异型孔的下部分内侧壁是一个略向内凹陷的弧形面，从突出的环形平面开始，直至到达间隔层的下表面位置为止；间隔层下表面的边缘部分与提升层中圆型孔的边缘部分相重合；间隔层上表面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层越过间隔层异型孔内侧壁与阴极过渡层是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要覆盖住阴极引线层部分，包括异型孔内侧壁上的阴极引线层部分在内；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的圆环叉角型下栅控阴结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极一层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；调控栅极二层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极过渡层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。

一种圆环叉角型下栅控阴结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层[3]的制作：在绝缘层上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)提升层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成提升层；

5)调控栅极一层[5]的制作：在提升层圆型孔的内侧壁上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极一层；

6)调控栅极二层[6]的制作：在提升层圆型孔的底部制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极二层；

7)阴极基底层[7]的制作：在调控栅极二层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底层；

8)阴极过渡层[8]的制作：在阴极基底层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极过渡层；

9)阴极导电层[9]的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属钴层，刻蚀后形成阴极导电层；

10)间隔层[10]的制作：在提升层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

11)阴极引线层[11]的制作：在间隔层上表面上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

12)阴极覆盖层[12]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

13)圆环叉角型下栅控阴结构的表面清洁处理：对圆环叉角型下栅控阴结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管[13]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

16)阳极玻璃面板[14]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

17)阳极导电层[15]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

18)绝缘浆料层[16]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

19)荧光粉层[17]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

20)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[19]装配到一起，并将消气剂[20]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

21)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤18具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤21具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (7)

1、一种圆环叉角型下栅控阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[14]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[19]构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[15]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[17]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂附属元件[20]；其特征在于：在阴极玻璃面板上有栅极引线层[3]、碳纳米管[13]以及圆环叉角型下栅控阴极结构。

2、根据权利要求1所述的圆环叉角型下栅控阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的圆环叉角型下栅控阴极结构的衬底材料为钠钙玻璃或硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成提升层；提升层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住栅极引线层以及空余的绝缘层部分；提升层中存在圆型孔，圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，圆型孔的底部要暴露出栅极引线层；提升层中圆型孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极一层；调控栅极一层呈现圆环型形状依附于提升层圆型孔的内侧壁上；调控栅极一层的高度与提升层的高度相同；提升层中圆型孔的底部的刻蚀后的金属层形成调控栅极二层；调控栅极二层呈现由两个长条形的栅极条构成的叉角型形状，栅极条的末端和调控栅极一层是连接在一起的；调控栅极一层、调控栅极二层和栅极引线层都是相互连通的；调控栅极二层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极基底层；阴极基底层呈现凹陷的圆台型形状，即阴极基底层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住调控栅极二层；阴极基底层的上下表面同时为圆面，上表面的圆面直径要小于下表面的圆面直径；阴极基底层的侧面呈现向内凹陷的斜向半圆型形状，从阴极基底层的上表面开始，直至到达阴极基底层的下表面结束；阴极基底层位于提升层的圆型孔当中，周围被调控栅极一层所包围着，但阴极基底层的上表面高度要高于调控栅极一层的高度；阴极基底层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满阴极基底层的上表面；阴极过渡层上面的刻蚀后金属层形成阴极导电层；提升层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层上下表面均为平面，下表面和提升层的上表面相互接触；间隔层上表面高度要高于阴极基底层上表面的高度；间隔层中存在异型孔，异型孔中要完全暴露出阴极过渡层和阴极导电层；间隔层中异型孔的中间存在一个突出的环形平面，和阴极基底层的上表面是相连接且是相平齐的，将间隔层中异型孔的内侧壁分为上下两部分；间隔层中异型孔的上部分内侧壁是一个略向上凸起的弧形面，从间隔层的上表面开始，直至到达中间突出的环形平面结束；间隔层中异型孔的下部分内侧壁是一个略向内凹陷的弧形面，从突出的环形平面开始，直至到达间隔层的下表面位置为止；间隔层下表面边缘部分与提升层中圆型孔的边缘部分相重合；间隔层上表面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层越过间隔层异型孔内侧壁与阴极过渡层是相互连通的；阴极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要覆盖住阴极引线层部分，包括异型孔内侧壁上的阴极引线层部分在内；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

3、根据权利要求2所述的圆环叉角型下栅控阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的圆环叉角型下栅控阴极结构安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬之一；调控栅极一层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡之一；调控栅极二层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡之一；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅之一；阴极过渡层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡之一；阴极导电层为金属铁、钴、镍之一。

4、一种圆环叉角型下栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃划割，制出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作；在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层[3]的制作：在绝缘层上制出金属层，刻蚀成栅极引线层；

4)提升层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成提升层；

5)调控栅极一层[5]的制作：在提升层圆型孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极一层；

6)调控栅极二层[6]的制作：在提升层圆型孔的底部制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极二层；

7)阴极基底层[7]的制作：在调控栅极二层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底层；

8)阴极过渡层[8]的制作：在阴极基底层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

9)阴极导电层[9]的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

10)间隔层[10]的制作：在提升层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

11)阴极引线层[11]的制作：在间隔层上制出金属层，刻成阴极引线层；

12)阴极覆盖层[12]的制作：在阴极引线层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；???

13)圆环叉角型下栅控阴极结构的表面清洁处理：对圆环叉角型下栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管[13]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)阳极玻璃面板[14]的制作：对平板玻璃划割，制出阳极玻璃面板；

16)阳极导电层[15]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

17)绝缘浆料层[16]的制作：在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层；

18)荧光粉层[17]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

19)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装到一起，将消气剂附属元件放入到空腔中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

5、根据权利要求4所述的圆环叉角型下栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

6、根据权利要求4所述的圆环叉角型下栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

7、根据权利要求4所述的圆环叉角型下栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：步骤20为对已装好器件进行封装工艺：将样品器件放入烘箱中烘烤；放入烧结炉中烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部消气剂附属元件进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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