CN101075525B - 环抱型阴极栅控结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及到一种环抱型阴极栅控结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及环抱型阴极栅控结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，能够进一步提高碳纳米管阴极的电子发射效率和发射电子数量，降低栅极结构的工作电压，有助于提高整体器件的显示图象质量，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

环抱型阴极栅控结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及到一种环抱型阴极栅控结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

随着真空微电子学的发展，场致发射显示器已经从理论研究进入到了实际应用阶段。未来的场致发射平板显示器将向高亮度、高分辨率、全彩色、大尺寸方向发展。碳纳米管具有小的尖端曲率半径，高的纵横比率，在外加电压的作用下能够发射出大量的电子，呈现冷场致发射现象。而利用碳纳米管作为阴极材料而制作的场致发射显示器则是一种新型的平面器件，它的工作原理几乎和传统的CRT相同，但具有完全平板化、重量轻、视角宽、体积小、工作温区大等诸多优点，已经成为了国际平板领域的热门话题。

在三极结构的场致发射平板显示器件中，当在栅极结构上施加适当电压以后，就会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管阴极发射出大量的电子。而进一步降低栅极结构的工作电压，以便于能够和常规的集成驱动电路相联系，这符合低压平板器件的要求。因此，一方面就要求尽可能的缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，从而降低栅极结构的工作电压，另一方面也要求对碳纳米管阴极的表面形状加以进一步的改进，使其能够在较低的工作电压下碳纳米管阴极表面顶端的电场强度进一步增强，能够发射出大量的电子，从而间接的来降低栅极结构的工作电压。这样，在实际器件的制作过程中，究竟采用何种控制结构形式，如何进一步的增强栅极结构的控制功能，如何进一步增强碳纳米管阴极表面顶端的电场强度，等等，这些都是值得思考的问题。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的环抱型阴极栅控结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及环抱型阴极栅控结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件。

所述的环抱型阴极栅控结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆面型形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层呈现环抱月型形状，即中心位置为一个圆型面，其圆心与阴极过渡层的圆心相重合，周围存在两个月牙型形状，凹面向内，凸面向外，呈对称状环绕在圆型面的周围；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；栅极增高层中存在斜面孔，斜面孔的内侧壁是倾斜的，即在栅极增高层的上表面处斜面孔的横向结构呈现圆型面，也就是说斜面孔的上顶面是圆型面形状，从栅极增高层的上顶面开始，斜面孔的内侧壁逐渐向栅极增高层的内部呈现直线状倾斜，直至到达栅极增高层的下表面为止；栅极增高层斜面孔中要暴露出底部的阴极过渡层和阴极导电层；栅极增高层上表面斜面孔上的刻蚀后的金属层形成可调栅极层；可调栅极层要覆盖在栅极增高层上表面斜面孔的周围，形成一个圆环型形状，同时可调栅极层还要覆盖住斜面孔内侧壁靠近栅极上表面的部分，即可调栅极层从栅极增高层的上表面开始，沿着斜面孔内侧壁的方向向斜面孔内部延伸，形成一个内侧斜面圆环型形状，两个圆环型形状是相互连通的；栅极增高层上面的环绕在斜面孔的周围印刷的绝缘浆料形成栅极附加层；栅极附加层截面呈现等腰三角型形状，环绕在斜面孔的周围；栅极增高层上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层要覆盖栅极附加层的整个上表面，并和可调栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要完全覆盖住栅极引线层，包括栅极附加层上面的栅极引线层在内；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的环抱型阴极栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极过渡层可以为金属金、银、钼、铬、铝、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；可调栅极层可以为金属金、银、铝、钼、铬；栅极引线层和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。

一种带有环抱型阴极栅控结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)阴极过渡层的制作：在阴极引线层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成阴极过渡层；

5)阴极导电层的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

6)栅极增高层的制作：在阻滞层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；栅极增高层中存在斜面孔；

7)可调栅极层的制作：在栅极增高层上表面斜面孔附近制备出一个金属铬层，刻蚀后形成可调栅极层；

8)栅极附加层的制作：在栅极增高层上表面斜面孔周围印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极附加层；

9)栅极引线层的制作：在栅极增高层上表面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

10)栅极覆盖层的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

11)环抱型阴极栅控结构的表面清洁处理：对环抱型阴极栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)阳极玻璃面板的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

14)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

15)绝缘浆料层的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

16)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

17)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

18)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤15具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤16具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤18具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行高温烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的环抱型阴极栅控结构中，将碳纳米管阴极制备在环抱月型阴极导电层的上面。这样，可以充分利用碳纳米管阴极电子场致发射中边缘位置能够发射大量电子的现象，有助于进一步提高碳纳米管阴极的电子发射效率。能够进一步增加碳纳米管阴极的有效电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都能够发射出大量的电子，有助于提高整体器件的显示亮度。

其次，在所述的环抱型阴极栅控结构中，分别制作了可调栅极层和栅极引线层结构。可调栅极层能够将外界电压顺利的施加给碳纳米管阴极表面顶端，形成强大的电场强度，迫使碳纳米管阴极发射出大量的电子；沿着斜面孔内侧壁延伸的可调栅极层有助于进一步降低栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，有效地降低栅极结构的工作电压。位于栅极增高层斜面孔周围的栅极附加层上面的栅极引线层则是能够对所经过的电子束起到加速和聚焦的功能。

此外，在所述的环抱型阴极栅控结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了环抱型阴极栅控结构的纵向结构示意图；

图2给出了环抱型阴极栅控结构的横向结构示意图；

图3给出了带有环抱型阴极栅控结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于这些实施例。

所述的一种带有环抱型阴极栅控结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[13]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[16]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[13]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[15]；在阴极玻璃面板上有阴极导电层[5]、碳纳米管[11]以及环抱型阴极栅控结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂[17]附属元件。

所述的环抱型阴极栅控结构包括阴极玻璃面板[1]、阻滞层[2]、阴极引线层[3]、阴极过渡层[4]、阴极导电层[5]、栅极增高层[6]、可调栅极层[7]、栅极附加层[8]、栅极引线层[9]、栅极覆盖层[10]和碳纳米管[11]部分。

所述的环抱型阴极栅控结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆面型形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层呈现环抱月型形状，即中心位置为一个圆型面，其圆心与阴极过渡层的圆心相重合，周围存在两个月牙型形状，凹面向内，凸面向外，呈对称状环绕在圆型面的周围；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；栅极增高层中存在斜面孔，斜面孔的内侧壁是倾斜的，即在栅极增高层的上表面处斜面孔的横向结构呈现圆型面，也就是说斜面孔的上顶面是圆型面形状，从栅极增高层的上顶面开始，斜面孔的内侧壁逐渐向栅极增高层的内部呈现直线状倾斜，直至到达栅极增高层的下表面为止；栅极增高层斜面孔中要暴露出底部的阴极过渡层和阴极导电层；栅极增高层上表面斜面孔上的刻蚀后的金属层形成可调栅极层；可调栅极层要覆盖在栅极增高层上表面斜面孔的周围，形成一个圆环型形状，同时可调栅极层还要覆盖住斜面孔内侧壁靠近栅极上表面的部分，即可调栅极层从栅极增高层的上表面开始，沿着斜面孔内侧壁的方向向斜面孔内部延伸，形成一个内侧斜面圆环型形状，两个圆环型形状是相互连通的；栅极增高层上面的环绕在斜面孔的周围印刷的绝缘浆料形成栅极附加层；栅极附加层截面呈现等腰三角型形状，环绕在斜面孔的周围；栅极增高层上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层要覆盖栅极附加层的整个上表面，并和可调栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要完全覆盖住栅极引线层，包括栅极附加层上面的栅极引线层在内；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的环抱型阴极栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极过渡层可以为金属金、银、钼、铬、铝、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；可调栅极层可以为金属金、银、铝、钼、铬；栅极引线层和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。

一种带有环抱型阴极栅控结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)阴极过渡层[4]的制作：在阴极引线层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成阴极过渡层；

5)阴极导电层[5]的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

6)栅极增高层[6]的制作：在阻滞层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；栅极增高层中存在斜面孔；

7)可调栅极层[7]的制作：在栅极增高层上表面斜面孔附近制备出一个金属铬层，刻蚀后形成可调栅极层；

8)栅极附加层[8]的制作：在栅极增高层上表面斜面孔周围印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极附加层；

9)栅极引线层[9]的制作：在栅极增高层上表面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

10)栅极覆盖层[10]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

11)环抱型阴极栅控结构的表面清洁处理：对环抱型阴极栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管[11]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

14)阳极玻璃面板[12]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

15)阳极导电层[13]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

16)绝缘浆料层[14]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

17)荧光粉层[15]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

18)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[16]装配到一起，并将消气剂[17]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

19)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行高温烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (6)

1.一种具有环抱型阴极栅控结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板(13)、阴极玻璃面板(1)和四周玻璃围框(16)所构成的密封真空腔、位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构(18)以及消气剂附属元件(17)，其特征在于：在阳极玻璃面板上有阳极导电层(13)以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层(15)；在阴极玻璃面板上有阴极导电层(5)、碳纳米管(11)以及环抱型阴极栅控结构，所述的环抱型阴极栅控结构的衬底材料为钠钙玻璃或硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层呈现圆面形形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层呈现环抱月型形状，即中心位置为一个圆形面，其圆心与阴极过渡层的圆心相重合，周围存在两个月牙型形状，凹面向内，凸面向外，呈对称状环绕在圆形面的周围；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；栅极增高层中存在斜面孔，斜面孔的内侧壁是倾斜的，在栅极增高层的上表面处斜面孔的横向结构呈现圆形面，斜面孔的上顶面是圆形面形状，从栅极增高层的上顶面开始，斜面孔的内侧壁逐渐向栅极增高层的内部呈现直线状倾斜，直至到达栅极增高层的下表面为止；栅极增高层斜面孔中要暴露出底部的阴极过渡层和阴极导电层；栅极增高层上表面斜面孔上的刻蚀后的金属层形成可调栅极层；可调栅极层要覆盖在栅极增高层上表面斜面孔的周围，形成一个圆环形形状，同时可调栅极层还要覆盖住斜面孔内侧壁靠近栅极上表面的部分，即可调栅极层从栅极增高层的上表面开始，沿着斜面孔内侧壁的方向向斜面孔内部延伸，形成一个内侧斜面圆环形形状，两个圆环形形状是相互连通的；栅极增高层上面的环绕在斜面孔的周围印刷的绝缘浆料形成栅极附加层；栅极附加层截面呈现等腰三角形形状，环绕在斜面孔的周围；栅极增高层上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层要覆盖栅极附加层的整个上表面，并和可调栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要完全覆盖住栅极引线层，包括栅极附加层上面的栅极引线层在内；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

2.根据权利要求1所述的具有环抱型阴极栅控结构的平板显示器，其特征在于：所述的环抱型阴极栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡或铅；阴极过渡层为金属金、银、钼、铬、铝或锡；阴极导电层为金属铁、钴或镍；可调栅极层为金属金、银、铝、钼或铬；栅极引线层和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层为金属金、银、铝、钼或铬。

3.一种具有环抱型阴极栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板(1)的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层(2)的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层(3)的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)阴极过渡层(4)的制作：在阴极引线层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层，阴极过渡层呈现圆面形形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；

5)阴极导电层(5)的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层，阴极导电层呈现环抱月型形状，即中心位置为一个圆形面，其圆心与阴极过渡层的圆心相重合，周围存在两个月牙型形状，凹面向内，凸面向外，呈对称状环绕在圆形面的周围；

6)栅极增高层(6)的制作：在阻滞层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；栅极增高层中存在斜面孔，栅极增高层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；栅极增高层中存在斜面孔，斜面孔的内侧壁是倾斜的，即在栅极增高层的上表面处斜面孔的横向结构呈现圆形面，也就是说斜面孔的上顶面是圆形面形状，从栅极增高层的上顶面开始，斜面孔的内侧壁逐渐向栅极增高层的内部呈现直线状倾斜，直至到达栅极增高层的下表面为止；栅极增高层斜面孔中要暴露出底部的阴极过渡层和阴极导电层；

7)可调栅极层(7)的制作：在栅极增高层上表面斜面孔附近制备出一个金属层，刻蚀后形成可调栅极层，可调栅极层要覆盖在栅极增高层上表面斜面孔的周围，形成一个圆环形形状，同时可调栅极层还要覆盖住斜面孔内侧壁靠近栅极上表面的部分，即可调栅极层从栅极增高层的上表面开始，沿着斜面孔内侧壁的方向向斜面孔内部延伸，形成一个内侧斜面圆环形形状，两个圆环形形状是相互连通的；

8)栅极附加层(8)的制作：在栅极增高层上表面斜面孔周围印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极附加层，栅极附加层截面呈现等腰三角形形状，环绕在斜面孔的周围；

9)栅极引线层(9)的制作：在栅极增高层上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层，栅极引线层要覆盖栅极附加层的整个上表面，并和可调栅极层是相互连通的；

10)栅极覆盖层(10)的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层，栅极覆盖层要完全覆盖住栅极引线层，包括栅极附加层上面的栅极引线层在内；

11)环抱型阴极栅控结构的表面清洁处理：对环抱型阴极栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管(11)的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)阳极玻璃面板(12)的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

14)阳极导电层(13)的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

15)绝缘浆料层(14)的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

16)荧光粉层(15)的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

17)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构(18)和四周玻璃围框(16)装配到一起，并将消气剂(17)放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

18)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

4.根据权利要求3所述的具有环抱型阴极栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤15具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

5.根据权利要求3所述的具有环抱型阴极栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤16具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

6.根据权利要求3所述的具有环抱型阴极栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行高温烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Images