CN100561653C - 具有托盘型底栅控结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种托盘型底栅控结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及托盘型底栅控结构；能够进一步提高碳纳米管阴极的电子发射数量和电子发射效率，提高整体器件的显示亮度，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

具有托盘型底栅控结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及具有一种托盘型底栅控结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

场致发射平板显示器是一种新型的平面显示器件，也是真空微电子技术的一个具体应用，它由于具备优异的显示特性，因此得到了众多科研人员的高度关注。这种显示器是一种平面薄形的真空器件，主要是利用碳纳米管阴极的场致发射原理而研究制作的。由于每一个图像的像素都对应的成千上万个微型发射源，因此即使有个别发射源失效，也不会影响图像的均匀性和稳定性，提高了器件的制作成功率。利用碳纳米管作为阴极材料而制作的场致发射平板显示器具有高亮度、高分辨率、高显示图像质量、高度集成化、功耗小、全彩色、高响应速度等诸多优点，已经成为了国际平板显示领域的热门话题。

目前，在大多数的碳纳米管阴极场致发射显示器件当中，都采用了栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的结构模式，其制作工艺简单，栅极的控制作用比较显著，且制作成功率比较高，但是其控制电压往往居高不下，很难和常规的集成驱动电路相联系在一起，且栅极结构所截获的电子很多，形成的栅极电流偏大，这些都是其不利之处。尽可能的缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，是降低栅极工作电压的最直接最简捷的方法，但是同时也要受到绝缘材料的绝缘等级、制作工艺以及材质等各种因素的制约。当然，碳纳米管阴极的宏观形状也会对所形成的电场强度产生一定的影响，很显然，碳纳米管的形状曲率越小，就越容易形成更为强大的电场强度，当然所需要的控制电压就会有所降低，这也就是间接的降低了栅极的工作电压。那么，在实际器件的制作过程中，究竟采用何种形式的栅极控制结构，究竟采用何种制作材料，如何更为有效的降低栅极工作电压和减小栅极工作电流，等等，这些都是值得认真考虑的现实问题。此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的具有托盘型底栅控结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的：一种具有托盘型底栅控结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；所述的托盘型底栅控结构的衬底材料为阴极玻璃面板，阴极玻璃面板为钠钙玻璃或硼硅玻璃；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔一层；间隔一层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住栅极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔一层中存在圆型孔，底部暴露出栅极引线层；间隔一层中圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面；间隔一层中圆型孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成栅极延长线层；栅极延长线层依附于间隔一层圆形孔的内侧壁上，形成一个圆环面结构；栅极延长线层和栅极引线层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔二层；间隔二层要填充满间隔一层中的圆型孔，间隔二层的下表面要覆盖住暴露的栅极引线层，其上表面为平面，和间隔一层的上表面相平齐；间隔一层和间隔二层的上表面上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层呈现圆环面型形状，依附于间隔一层和间隔二层的上表面上面，其下表面和栅极延长线层相互连通；调控栅极层和栅极延长线层相互连接点位于圆环形调控栅极层的底部中部位置，是内半径和外半径中间的位置；调控栅极层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔三层；间隔三层的上下表面均为平面，下表面要完全覆盖住调控栅极层、间隔一层和间隔二层的空余上表面；间隔三层中存在圆环半球型凹陷孔，从间隔三层的上表面开始向间隔三层内部凹陷，其半球型形状的中心位置在垂直方向上与圆环型调控栅极层的面中部位置是相同的，半球型形状的中心位置在垂直方向上同调控栅极层与栅极延长线层的连接位置是位于同一个垂直面上的，半球型形状呈现圆环状环绕在调控栅极层的上方，其内外直径均与圆环型调控栅极层的相同；间隔三层中圆环半球型凹陷孔的内侧壁上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满圆环半球型凹陷孔的内侧壁；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；间隔三层上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层、阴极过渡层和阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的托盘型底栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬之一；栅极延长线层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡之一；调控栅极层可以为金属金、银、铝、钼、铬之一；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟之一；阴极过渡层可以为金属金、银、铝、钼、铬、铅、锡之一；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍之一。

一种上述具有托盘型底栅控结构的平板显示器的制作工艺，制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)栅极引线层的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)间隔一层的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔一层；

5)栅极延长线层的制作：在间隔一层中圆型孔内侧壁上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极延长线层；

6)间隔二层的制作：在栅极引线层上面圆型孔中印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔二层；

7)调控栅极层的制作：在间隔一层和间隔二层的上表面上面制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

8)间隔三层的制作：在调控栅极层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔三层；

9)阴极过渡层的制作：在间隔三层中圆环半球型凹陷孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

10)阴极导电层的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

11)阴极引线层的制作：在间隔三层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

12)阴极覆盖层的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

13)托盘型底栅控结构的表面清洁处理：对托盘型底栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)阳极玻璃面板的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

16)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

17)绝缘浆料层的制作：在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层；

18)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

19)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装到一起，将消气剂附属元件放入到空腔中，用低熔点玻璃粉固定，

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的托盘型底栅控结构中，栅极结构呈现托盘状位于碳纳米管阴极结构下方。当在栅极结构上施加适当电压以后，会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，使碳纳米管发射出大量的电子，从而体现了栅极结构的强有力控制作用；由于栅极结构位于碳纳米管阴极结构的下方，且被间隔三层所覆盖，因此从碳纳米管阴极发射的电子在阳极高电压的作用下加速向阳极运动，轰击荧光粉层而发出可见光，所发射的电子束不会受到栅极结构的截留，这就减小了栅极电流，增大了阳极的工作电流，有助于增强器件的显示亮度。

其次，在所述的托盘型底栅控结构中，将碳纳米管阴极制备在呈现圆环半球型阴极导电层的上面。可以极大地增加碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都参与电子发射，有助于提高阳极的工作电流；充分利用了碳纳米管阴极的边缘位置发射大量电子的现象，提高了碳纳米管阴极的电子发射效率；由于碳纳米管阴极的底部可以尽可能的接近于圆环状栅极，可以进一步的降低栅极结构的工作电压。

此外，在所述的托盘型底栅控结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了托盘型底栅控结构的纵向结构示意图；

图2给出了托盘型底栅控结构的横向结构示意图；

图3给出了具有托盘型底栅控结构的平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，本发明并不局限这些实施例。

所述的一种带有托盘型底栅控结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[14]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[19]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[15]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[17]；在阴极玻璃面板上有栅极引线层[3]、碳纳米管[13]以及托盘型底栅控结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂[20]附属元件。

所述的托盘型底栅控结构包括阴极玻璃面板[1]、阻滞层[2]、栅极引线层[3]、间隔一层[4]、栅极延长线层[5]、间隔二层[6]、调控栅极层[7]、间隔三层[8]、阴极过渡层[9]、阴极导电层[10]、阴极引线层[11]、阴极覆盖层[12]和碳纳米管[13]部分。

所述的托盘型底栅控结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔一层；间隔一层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住栅极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔一层中存在圆型孔，底部暴露出栅极引线层；间隔一层中圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面；间隔一层中圆型孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成栅极延长线层；栅极延长线层依附于间隔一层圆形孔的内侧壁上，形成一个圆环面结构；栅极延长线层和栅极引线层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔二层；间隔二层要填充满间隔一层中的圆型孔，间隔二层的下表面要覆盖住暴露的栅极引线层，其上表面为平面，和间隔一层的上表面相平齐；间隔一层和间隔二层的上表面上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层呈现圆环面型形状，依附于间隔一层和间隔二层的上表面上面，其下表面和栅极延长线层相互连通；调控栅极层和栅极延长线层相互连接点位于圆环形调控栅极层的底部中部位置，即介于内半径和外半径中间的位置；调控栅极层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔三层；间隔三层的上下表面均为平面，下表面要完全覆盖住调控栅极层、间隔一层和间隔二层的空余上表面；间隔三层中存在圆环半球型凹陷孔，即圆环半球型凹陷孔的纵向截面为半球型形状，从间隔三层的上表面开始向间隔三层内部凹陷，其半球型形状的中心位置在垂直方向上与圆环型调控栅极层的面中部位置是相同的，也就是说半球型形状的中心位置在垂直方向上同调控栅极层与栅极延长线层的连接位置是位于同一个垂直面上的，半球型形状呈现圆环状环绕在调控栅极层的上方，其内外直径均与圆环型调控栅极层的相同；间隔三层中圆环半球型凹陷孔的内侧壁上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满圆环半球型凹陷孔的内侧壁；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；间隔三层上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层、阴极过渡层和阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的托盘型底栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬；栅极延长线层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；调控栅极层可以为金属金、银、铝、钼、铬；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；阴极过渡层可以为金属金、银、铝、钼、铬、铅、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。

一种带有托盘型底栅控结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)栅极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)间隔一层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔一层；

5)栅极延长线层[5]的制作：在间隔一层中圆型孔内侧壁上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极延长线层；

6)间隔二层[6]的制作：在栅极引线层上面圆型孔中印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔二层；

7)调控栅极层[7]的制作：在间隔一层和间隔二层的上表面上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极层；

8)间隔三层[8]的制作：在调控栅极层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔三层；

9)阴极过渡层[9]的制作：在间隔三层中圆环半球型凹陷孔的内侧壁上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极过渡层；

10)阴极导电层[10]的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

11)阴极引线层[11]的制作：在间隔三层的上表面上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

12)阴极覆盖层[12]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

13)托盘型底栅控结构的表面清洁处理：对托盘型底栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管[13]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

16)阳极玻璃面板[14]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

17)阳极导电层[15]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

18)绝缘浆料层[16]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

19)荧光粉层[17]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

20)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[19]装配到一起，并将消气剂[20]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

21)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤18具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤21具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (6)

1、一种具有托盘型底栅控结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[14]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[19]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[15]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[17]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂附属元件[20]；其特征在于：所述的托盘型底栅控结构的衬底材料为阴极玻璃面板，阴极玻璃面板为钠钙玻璃或硼硅玻璃；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔一层；间隔一层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住栅极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔一层中存在圆型孔，底部暴露出栅极引线层；间隔一层中圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面；间隔一层中圆型孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成栅极延长线层；栅极延长线层依附于间隔一层圆形孔的内侧壁上，形成一个圆环面结构；栅极延长线层和栅极引线层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔二层；间隔二层要填充满间隔一层中的圆型孔，间隔二层的下表面要覆盖住暴露的栅极引线层，其上表面为平面，和间隔一层的上表面相平齐；间隔一层和间隔二层的上表面上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层呈现圆环面型形状，依附于间隔一层和间隔二层的上表面上面，其下表面和栅极延长线层相互连通；调控栅极层和栅极延长线层相互连接点位于圆环形调控栅极层的底部中部位置，是内半径和外半径中间的位置；调控栅极层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔三层；间隔三层的上下表面均为平面，下表面要完全覆盖住调控栅极层、间隔一层和间隔二层的空余上表面；间隔三层中存在圆环半球型凹陷孔，从间隔三层的上表面开始向间隔三层内部凹陷，其半球型形状的中心位置在垂直方向上与圆环型调控栅极层的面中部位置是相同的，半球型形状的中心位置在垂直方向上同调控栅极层与栅极延长线层的连接位置是位于同一个垂直面上的，半球型形状呈现圆环状环绕在调控栅极层的上方，其内外直径均与圆环型调控栅极层的相同；间隔三层中圆环半球型凹陷孔的内侧壁上面的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满圆环半球型凹陷孔的内侧壁；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；间隔三层上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层、阴极过渡层和阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

2、根据权利要求1所述的具有托盘型底栅控结构的平板显示器，其特征在于：所述的托盘型底栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬之一；栅极延长线层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡之一；调控栅极层可以为金属金、银、铝、钼、铬之一；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟之一；阴极过渡层可以为金属金、银、铝、钼、铬、铅、锡之一；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍之一。

3、一种如权利要求1所述的具有托盘型底栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)栅极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)间隔一层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔一层；

5)栅极延长线层[5]的制作：在间隔一层中圆型孔内侧壁上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极延长线层；

6)间隔二层[6]的制作：在栅极引线层上面圆型孔中印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔二层；

7)调控栅极层[7]的制作：在间隔一层和间隔二层的上表面上面制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

8)间隔三层[8]的制作：在调控栅极层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔三层；

9)阴极过渡层[9]的制作：在间隔三层中圆环半球型凹陷孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

10)阴极导电层[10]的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

11)阴极引线层[11]的制作：在间隔三层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

12)阴极覆盖层[12]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

13)托盘型底栅控结构的表面清洁处理：对托盘型底栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管[13]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)阳极玻璃面板[14]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

16)阳极导电层[15]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

17)绝缘浆料层[16]的制作：在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层；

18)荧光粉层[17]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

19)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[19]装到一起，将消气剂附属元件[20]放入到空腔中，用低熔点玻璃粉固定，

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

4、根据权利要求3所述的具有托盘型底栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

5、根据权利要求3所述的具有托盘型底栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

6、根据权利要求3所述的具有托盘型底栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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