CN101071738B - 尖角下栅控型阴极结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种尖角下栅控型阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及尖角下栅控型阴极结构；能够有效地降低栅极结构的工作电压，提高碳纳米管的电子发射效率；具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

尖角下栅控型阴极结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种尖角下栅控型阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

碳纳米管场致发射平板显示器是利用碳纳米管冷阴极发射的电子数轰击荧光粉层而发出可见光的显示器，它与阴极射线管显示器很相似，其基本工作原理也相同，因此有时将场致发射显示器成为扁平CRT。场致发射显示技术能够把阴极射线管显示器的明亮清晰与液晶显示器的重量轻、超薄型相结合起来，结果是具有液晶显示器的轻便、阴极射线管显示器的快响应速度以及比液晶显示器大得多的亮度和视角。碳纳米管场致发射平板显示器则是一种新型的平面型显示设备，业已代表了新一代国际平板显示技术的发展方向。

为了降低总体器件成本，以便于和常规的集成驱动电路相联系，制作三极结构的场致发射显示器件已经成为了一种必然的选择。目前，在所制作的大多数显示器件中，栅极结构的工作电压仍然是居高不下，栅极电流过于偏大，还很难用常规的集成电路来进行驱动。尽管进一步缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，是减小栅极电压的最直接最有效的方法，但是也要受到绝缘材料的绝缘程度、材料属性以及制作工艺等各种因素的制约，不可能无限制的接近，同时还要防止二者之间在高电场强度下发生电学击穿现象的出现。另外，碳纳米管阴极的电子发射能力也会对整体器件的显示亮度和图像质量造成一定的影响，而目前对此还缺乏相应的调整措施。因此，在实际器件的制作过程中，究竟采用何种栅极结构控制模式，如何进一步降低栅极的工作电压，如何进一步增大碳纳米管阴极的电子发射效率，等等问题，都需要进一步的思考和加以解决。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的带有一种尖角下栅控型阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及尖角下栅控型阴极结构。

所述的尖角下栅控型阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层呈现尖角圆锥型形状，底部坐落于栅极引线层的上面；栅极升高层表面上刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层布满栅极升高层的上表面，并和栅极引线层相互连通；调控栅极层上面的印刷绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面完全覆盖栅极引线层以及调控栅极层；间隔层的高度高于栅极升高层的高度；间隔层上表面为平面；间隔层上表面上存在类似字母W型异型孔，即此异型孔在间隔层的上表面的截面为中空的圆型面，此处的圆型面直径最大，从间隔层的上表面开始，逐渐向间隔层的内部凹陷，其侧面形成一个倾斜面；间隔层异型孔的下表面中心为一个圆盘面型形状，此圆盘面的中心位置和底部栅极升高层的尖角位于同一个垂直面上，即在垂直角度上看，栅极升高层尖角的位置也就使间隔层异型孔下表面中心圆盘面的圆心位置，在间隔层异型孔下表面圆盘面的周围存在着一个尖角向下的倒置三角形形状，此倒置三角形的尖角向下，一条斜边的上面相接于圆盘面的周围，其斜面的倾斜角度与栅极升高层侧面的倾斜角度相同，另一条斜边相接于异型孔外侧面的倾斜面，也就是构成了异型孔的外部侧面；异型孔下表面的中心圆盘面的高度要高于栅极升高层尖角的高度；间隔层异型孔内表面上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满间隔层异型孔的内表面；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；间隔层上表面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和阴极过渡层、阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的尖角下栅控型阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；阴极过渡层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡、铜；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。

一种尖角下栅控型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层[3]的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)栅极升高层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；

5)调控栅极层[5]的制作：在栅极升高层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

6)间隔层[6]的制作：在调控栅极层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

7)阴极过渡层[7]的制作：在间隔层上异型孔内表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

8)阴极导电层[8]的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

9)阴极引线层[9]的制作：在间隔层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

10)阴极覆盖层[10]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

11)尖角下栅控型阴极结构的表面清洁处理：对尖角下栅控型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管[11]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)阳极玻璃面板[12]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

14)阳极导电层[13]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

15)绝缘浆料层[14]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

16)荧光粉层[15]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

17)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[16]和四周玻璃围框[17]装到一起，将消气剂[18]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

18)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的尖角下栅控型阴极结构中，将栅极结构制作在碳纳米管阴极结构的正下方。当在栅极结构上施加适当电压以后，就会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子，从而体现了栅极结构的强大控制功能。由于栅极结构位于碳纳米管阴极结构的下方，从碳纳米管阴极所发射的电子不会受到栅极结构的截留，极大的减小了栅极电流。由于栅极结构呈现尖角圆锥状形状，这样在确保栅极结构的强有力控制功能的同时，还有利于减小栅极-阴极结构之间的电容效应，有助于提高器件的工作频率。

其次，在所述的尖角下栅控型阴极结构中，将碳纳米管阴极制备在了阴极导电层的上面，而阴极导电层位于呈现类似于字母W型的异型孔内表面上。这样，充分利用了碳纳米管阴极的边缘位置能够发射大量电子的特有现象，提高了碳纳米管阴极的电子发射效率；增大了碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都参与电子发射；同时有效的缩减了栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，降低了栅极的工作电压。将栅极结构和阴极结构高度集成到一起，有助于促进整体器件的高度集成化发展；

此外，在所述的尖角下栅控型阴极结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了尖角下栅控型阴极结构的纵向结构示意图；

图2给出了尖角下栅控型阴极结构的横向结构示意图；

图3给出了带有尖角下栅控型阴极结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但并不局限于这些实施例。

所述的尖角下栅控型阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[12]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[17]构成的密封真空腔；设在阳极玻璃面板上的阳极导电层[13]以及制在阳极导电层上面的荧光粉层[15]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[16]以及消气剂[18]附属元件，在阴极玻璃面板上有栅极引线层[3]、碳纳米管[11]以及尖角下栅控型阴极结构。

所述的尖角下栅控型阴极结构包括阴极玻璃面板[1]、绝缘层[2]、栅极引线层[3]、栅极升高层[4]、调控栅极层[5]、间隔层[6]、阴极过渡层[7]、阴极导电层[8]、阴极引线层[9]、阴极覆盖层[10]和碳纳米管[11]部分。

所述的尖角下栅控型阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层呈现尖角圆锥型形状，底部坐落于栅极引线层的上面；栅极升高层表面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层布满栅极升高层的上表面，并和栅极引线层是相互连通的；调控栅极层上面的印刷绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面要完全覆盖住栅极引线层以及调控栅极层；间隔层的高度要高于栅极升高层的高度；间隔层的上表面为平面；间隔层的上表面上存在类似字母W型异型孔，即此异型孔在间隔层的上表面的截面为中空的圆型面，此处的圆型面直径最大，从间隔层的上表面开始，逐渐向间隔层的内部凹陷，其侧面形成一个倾斜面；间隔层异型孔的下表面中心为一个圆盘面型形状，此圆盘面的中心位置和底部栅极升高层的尖角位于同一个垂直面上，也就是说，在垂直角度上看，栅极升高层尖角的位置也就使间隔层异型孔下表面中心圆盘面的圆心位置，在间隔层异型孔下表面圆盘面的周围存在着一个尖角向下的倒置三角形形状，此倒置三角形的尖角向下，一条斜边的上面相接于圆盘面的周围，其斜面的倾斜角度与栅极升高层侧面的倾斜角度相同，另一条斜边相接于异型孔外侧面的倾斜面，也就是构成了异型孔的外部侧面；异型孔下表面的中心圆盘面的高度要高于栅极升高层尖角的高度；间隔层异型孔内表面上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满间隔层异型孔的内表面；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；间隔层上表面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和阴极过渡层、阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的尖角下栅控型阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；阴极过渡层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡、铜；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。

一种尖角下栅控型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层[3]的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)栅极升高层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；

5)调控栅极层[5]的制作：在栅极升高层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极层；

6)间隔层[6]的制作：在调控栅极层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

7)阴极过渡层[7]的制作：在间隔层上异型孔内表面上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极过渡层；

8)阴极导电层[8]的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

9)阴极引线层[9]的制作：在间隔层的上表面上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

10)阴极覆盖层[10]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

11)尖角下栅控型阴极结构的表面清洁处理：对尖角下栅控型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管[11]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

14)阳极玻璃面板[12]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

15)阳极导电层[13]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

16)绝缘浆料层[14]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

17)荧光粉层[15]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

18)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[16]和四周玻璃围框[17]装配到一起，并将消气剂[18]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

19)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (6)

1.一种尖角下栅控型阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[12]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[17]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[13]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[15]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[16]以及消气剂[18]附属元件；其特征在于：在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层[3]、碳纳米管[11]以及尖角下栅控型阴极结构，所述的尖角下栅控型阴极结构的衬底材料为钠钙玻璃或硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层呈现尖角圆锥型形状，底部坐落于栅极引线层的上面；栅极升高层表面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层布满栅极升高层的上表面，并和栅极引线层是相互连通的；调控栅极层上面的印刷绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面要完全覆盖住栅极引线层以及调控栅极层；间隔层的高度要高于栅极升高层的高度；间隔层的上表面为平面；间隔层的上表面上存在类似字母W型异型孔，即此异型孔在间隔层的上表面的截面为中空的圆型面，此处的圆型面直径最大，从间隔层的上表面开始，逐渐向间隔层的内部凹陷，其侧面形成一个倾斜面；间隔层异型孔的下表面中心为一个圆盘面型形状，此圆盘面的中心位置和底部栅极升高层的尖角位于同一个垂直面上，也就是说，在垂直角度上看，栅极升高层尖角的位置也就是间隔层异型孔下表面中心圆盘面的圆心位置，在间隔层异型孔下表面圆盘面的周围存在着一个尖角向下的倒置三角形形状，此倒置三角形的尖角向下，一条斜边的上面相接于圆盘面的周围，其斜面的倾斜角度与栅极升高层侧面的倾斜角度相同，另一条斜边相接于异型孔外侧面的倾斜面，也就是构成了异型孔的外部侧面；异型孔下表面的中心圆盘面的高度要高于栅极升高层尖角的高度；间隔层异型孔内表面上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满间隔层异型孔的内表面；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；间隔层上表面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和阴极过渡层、阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

2.根据权利要求1所述的尖角下栅控型阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的尖角下栅控型阴极结构的固定位置在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼或铬；调控栅极层为金属金、银、铜、铝、钼、铬或锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅或铟；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铬、锡或铜；阴极导电层为金属铁、钴或镍。

3.一种尖角下栅控型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃划割，制出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层[3]的制作：在绝缘层上面制出金属层，刻蚀形成栅极引线层；

4)栅极升高层[4]的制作：在栅极引线层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；

5)调控栅极层[5]的制作：在栅极升高层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

6)间隔层[6]的制作：在调控栅极层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

7)阴极过渡层[7]的制作：在间隔层上异型孔内表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

8)阴极导电层[8]的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

9)阴极引线层[9]的制作：在间隔层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

10)阴极覆盖层[10]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

11)尖角下栅控型阴极结构的表面清洁处理：对尖角下栅控型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管[11]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)阳极玻璃面板[12]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

14)阳极导电层[13]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

15)绝缘浆料层[14]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

16)荧光粉层[15]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

17)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[16]和四周玻璃围框[17]装配到一起，并将消气剂[18]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

18)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

4.根据权利要求3所述的尖角下栅控型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤15具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

5.根据权利要求3所述的尖角下栅控型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤16具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

6.根据权利要求3所述的尖角下栅控型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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