CN101071732A - 栅控多斜阴极结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种栅控多斜阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有栅极引线层、碳纳米管以及栅控多斜阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，能够进一步提高碳纳米管阴极的电子发射效率和发射数量，增强栅极的调控功能，有助于提高器件的显示分辨率和图像质量，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

栅控多斜阴极结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种栅控多斜阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

利用碳纳米管作为阴极材料而制作的场致发射平板显示器件具有重量轻、功耗小、体积小、大屏幕等特点，其工作原理和阴极射线管显示器几乎完全相同，因此具有传统阴极射线管显示器的高图像质量。目前，场致发射显示器的研发和生产都得到了迅猛的发展，已经在军事等相关部门开始实际应用。未来的场致发射平板显示器将向高亮度、高分辨率、全彩色和大尺寸方向发展。

为了降低总体器件成本，以便于和常规的集成驱动电路相联系，制作三极结构的场致发射显示器已经成为了一种必然的选择。目前，在大多数的显示器中都采用栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的结构形式。这种结构形式的制作工艺相对比较简单，栅极结构的控制作用显著，但所形成的栅极电流比较大，栅极工作电压也比较高，需要加以改进。进一步降低栅极结构的工作电压，这是符合低压平板器件的质量体系要求的。一方面要尽可能的缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，达到降低栅极电压的目的，另一方面也可以对碳纳米管阴极的表面形状加以改进，以便于能够在较低的电场强度下就能够发射出大量的电子，这也间接的能够降低栅极结构的工作电压。另外，为了进一步提高整体器件的显示亮度，这就需要尽可能多的碳纳米管阴极来发射电子，需要增大碳纳米管阴极的电子发射面积以及提高碳纳米管的电子发射效率，这些都需要在实际器件制作过程中采取切实可靠的措施来达到。那么，在实际器件的制作过程中，如何进一步的降低栅极的工作电压，如何进一步的增强碳纳米管阴极表面顶端的电场强度，这些都是值得认真考虑的问题。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的栅控多斜阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及栅控多斜阴极结构。

所述的栅控多斜阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在斜面孔，即斜面孔在间隔层上表面所形成的截面为圆形面，从间隔层的上表面开始，其孔内侧壁逐渐倾斜，斜面孔的直径越来越小，直至到达间隔层的下表面位置为止，越靠近间隔层的上表面斜面孔的直径越大；间隔层中斜面孔底部要暴露出阴极引线层；间隔层中斜面孔内侧壁下半部分的表面上的刻蚀后的金属层形成阴极延长线层；阴极延长线层依附于斜面孔内侧壁的表面上，和阴极引线层是相互连通的；间隔层斜面孔中印刷的银浆层形成提升一层；提升一层呈现窄细圆柱体型，其中心轴线与斜面孔的中心轴线相重合，底部和阴极延长线层紧密接触；提升一层的高度与间隔层的上表面高度是相同的；间隔层斜面孔中在提升一层旁侧印刷的银浆层形成提升二层；提升二层的顶部剖面呈现类三角型形状，环绕在提升一层的周围，形成三角圆环型形状；提升二层位于提升一层和阴极延长线层的中间位置，底部和阴极延长线层紧密接触；提升二层的高度与阴极延长线层的高度相同或略高一些，但不能超过提升一层的高度；提升一层的上表面、提升二层的上表面以及阴极延长线层的上表面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层要覆盖提升一层、提升二层以及阴极延长线层的全部上表面，且是相互连通的；提升一层的上顶部印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层仅仅位于提升一层的上表面，其它位置不存在阴极覆盖层；间隔层斜面孔中内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层位于间隔层上表面与斜面孔内侧壁相交界部位，分为两部分，一部分沿着斜面孔内侧壁的方向依附于斜面孔内侧壁的表面上，另一部分垂直于间隔层的上表面而向上指向阳极方向；间隔层上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部栅极引线层，但不能覆盖住调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的栅控多斜阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铟；阴极延长线层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；调控栅极层为金属金、银、铝、钼、铬；栅极引线层和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬。

一种带有栅控多斜阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)间隔层的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

5)阴极延长线层的制作：在间隔层斜面孔内侧壁的下半部分的表面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极延长线层；

6)提升一层的制作：在间隔层斜面孔中印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成提升一层；

7)提升二层的制作：在间隔层斜面孔中提升一层的旁侧印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成提升二层；

8)阴极导电层的制作：在提升一层、提升二层以及阴极延长线层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

9)阴极覆盖层的制作：在提升一层的上顶部印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

10)调控栅极层的制作：在间隔层斜面孔中制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

11)栅极引线层的制作：在间隔层上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

12)栅极覆盖层的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

13)栅控多斜阴极结构的表面清洁处理：对栅控多斜阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

16)阳极玻璃面板的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

17)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

18)绝缘浆料层的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

19)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

20)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

21)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤18具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤21具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的栅控多斜阴极结构中，将碳纳米管阴极制作在了呈现多个斜面的阴极导电层的上面。这样，可以极大地增加碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都参与发射大量的电子，提高了碳纳米管阴极的电子发射数量；充分利用了边缘位置发射大量电子的碳纳米管阴极特有现象，提高了碳纳米管阴极的电子发射效率，有助于进一步提高整体器件的显示亮度。同时，在栅极的控制作用下，位于提升一层上面的碳纳米管形成旁侧发射现象，而位于提升二层和阴极延长线层上面的碳纳米管则形成高栅发射现象，这样的组合使得充分利用了其优势，能够极大地增强碳纳米管阴极的发射效率和数量。

其次，在所述的栅控多斜阴极结构中，分别制作了调控栅极层和栅极引线层结构。栅极引线层负责将外界电压传递到器件内部，而调控栅极层则是对碳纳米管阴极的电子发射进行强有力的控制。当在栅极上施加适当电压以后，就会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管阴极发射出大量的电子。沿着斜面孔内侧壁的调控栅极层部分能够对碳纳米管阴极施加电场强度，而垂直于间隔层上表面的调控栅极层部分则是同时起到对碳纳米管施加电场强度和对电子束进行聚焦的双重功能，有助于进一步提高整体器件的显示分辨率。此外，在所述的栅控多斜阴极结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了栅控多斜阴极结构的纵向结构示意图；

图2给出了栅控多斜阴极结构的横向结构示意图；

图3给出了带有栅控多斜阴极结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

所述的一种带有栅控多斜阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[14]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[19]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[15]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[17]；在阴极玻璃面板上有栅极引线层[11]、碳纳米管[13]以及栅控多斜阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂[20]附属元件。

所述的栅控多斜阴极结构包括阴极玻璃面板[1]、阻滞层[2]、阴极引线层[3]、间隔层[4]、阴极延长线层[5]、提升一层[6]、提升二层[7]、阴极导电层[8]、阴极覆盖层[9]、调控栅极层[10]、栅极引线层[11]、栅极覆盖层[12]和碳纳米管[13]部分。

所述的栅控多斜阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在斜面孔，即斜面孔在间隔层上表面所形成的截面为圆形面，从间隔层的上表面开始，其孔内侧壁逐渐倾斜，斜面孔的直径越来越小，直至到达间隔层的下表面位置为止，越靠近间隔层的上表面斜面孔的直径越大；间隔层中斜面孔底部要暴露出阴极引线层；间隔层中斜面孔内侧壁下半部分的表面上的刻蚀后的金属层形成阴极延长线层；阴极延长线层依附于斜面孔内侧壁的表面上，和阴极引线层是相互连通的；间隔层斜面孔中印刷的银浆层形成提升一层；提升一层呈现窄细圆柱体型，其中心轴线与斜面孔的中心轴线相重合，底部和阴极延长线层紧密接触；提升一层的高度与间隔层的上表面高度是相同的；间隔层斜面孔中在提升一层旁侧印刷的银浆层形成提升二层；提升二层的顶部剖面呈现类三角型形状，环绕在提升一层的周围，形成三角圆环型形状；提升二层位于提升一层和阴极延长线层的中间位置，底部和阴极延长线层紧密接触；提升二层的高度与阴极延长线层的高度相同或略高一些，但不能超过提升一层的高度；提升一层的上表面、提升二层的上表面以及阴极延长线层的上表面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层要覆盖提升一层、提升二层以及阴极延长线层的全部上表面，且是相互连通的；提升一层的上顶部印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层仅仅位于提升一层的上表面，其它位置不存在阴极覆盖层；间隔层斜面孔中内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层位于间隔层上表面与斜面孔内侧壁相交界部位，分为两部分，一部分沿着斜面孔内侧壁的方向依附于斜面孔内侧壁的表面上，另一部分垂直于间隔层的上表面而向上指向阳极方向；间隔层上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部栅极引线层，但不能覆盖住调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的栅控多斜阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铟；阴极延长线层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；调控栅极层为金属金、银、铝、钼、铬；栅极引线层和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬。

一种带有栅控多斜阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)间隔层[4]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

5)阴极延长线层[5]的制作：在间隔层斜面孔内侧壁的下半部分的表面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极延长线层；

6)提升一层[6]的制作：在间隔层斜面孔中印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成提升一层；

7)提升二层[7]的制作：在间隔层斜面孔中提升一层的旁侧印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成提升二层；

8)阴极导电层[8]的制作：在提升一层、提升二层以及阴极延长线层的上表面上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

9)阴极覆盖层[9]的制作：在提升一层的上顶部印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

10)调控栅极层[10]的制作：在间隔层斜面孔中制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极层；

11)栅极引线层[11]的制作：在间隔层上表面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

12)栅极覆盖层[12]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

13)栅控多斜阴极结构的表面清洁处理：对栅控多斜阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管[13]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

16)阳极玻璃面板[14]制作：对整体平板钠钙玻璃划割，制出阳极玻璃面板；

17)阳极导电层[15]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

18)绝缘浆料层[16]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

19)荧光粉层[17]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

20)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[19]装配到一起，并将消气剂[20]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定。

21)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤18具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤21具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (7)

1、一种栅控多斜阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[14]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[19]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[15]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[17]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂[20]附属元件，其特征在于：在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层[11]、碳纳米管[13]以及栅控多斜阴极结构。

2、根据权利要求1所述的栅控多斜阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的栅控多斜阴极结构的衬底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在斜面孔，即斜面孔在间隔层上表面所形成的截面为圆形面，从间隔层的上表面开始，其孔内侧壁逐渐倾斜，斜面孔的直径越来越小，直至到达间隔层的下表面位置为止，越靠近间隔层的上表面斜面孔的直径越大；间隔层中斜面孔底部要暴露出阴极引线层；间隔层中斜面孔内侧壁下半部分的表面上的刻蚀后的金属层形成阴极延长线层；阴极延长线层依附于斜面孔内侧壁的表面上，和阴极引线层是相互连通的；间隔层斜面孔中印刷的银浆层形成提升一层；提升一层呈现窄细圆柱体型，其中心轴线与斜面孔的中心轴线相重合，底部和阴极延长线层紧密接触；提升一层的高度与间隔层的上表面高度是相同的；间隔层斜面孔中在提升一层旁侧印刷的银浆层形成提升二层；提升二层的顶部剖面呈现类三角型形状，环绕在提升一层的周围，形成三角圆环型形状；提升二层位于提升一层和阴极延长线层的中间位置，底部和阴极延长线层紧密接触；提升二层的高度与阴极延长线层的高度相同或略高一些，但不能超过提升一层的高度；提升一层的上表面、提升二层的上表面以及阴极延长线层的上表面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层要覆盖提升一层、提升二层以及阴极延长线层的全部上表面，且是相互连通的；提升一层的上顶部印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层仅仅位于提升一层的上表面，其它位置不存在阴极覆盖层；间隔层斜面孔中内侧壁上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层位于间隔层上表面与斜面孔内侧壁相交界部位，分为两部分，一部分沿着斜面孔内侧壁的方向依附于斜面孔内侧壁的表面上，另一部分垂直于间隔层的上表面而向上指向阳极方向；间隔层上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部栅极引线层，但不能覆盖住调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

3、根据权利要求2所述的栅控多斜阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的栅控多斜阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铟；阴极延长线层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍；调控栅极层为金属金、银、铝、钼、铬；栅极引线层和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬。

4、一种栅控多斜阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)间隔层[4]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

5)阴极延长线层[5]的制作：在间隔层斜面孔内侧壁的下半部分的表面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极延长线层；

6)提升一层[6]的制作：在间隔层斜面孔中印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成提升一层；

7)提升二层[7]的制作：在间隔层斜面孔中提升一层的旁侧印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成提升二层；

8)阴极导电层[8]的制作：在提升一层、提升二层以及阴极延长线层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

9)阴极覆盖层[9]的制作：在提升一层的上顶部印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

10)调控栅极层[10]的制作：在间隔层斜面孔中制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

11)栅极引线层[11]的制作：在间隔层上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

12)栅极覆盖层[12]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

13)栅控多斜阴极结构的表面清洁处理：对栅控多斜阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管[13]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)阳极玻璃面板[14]的制作：对平板玻璃进行划割，制出阳极玻璃面板；

16)阳极导电层[15]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

17)绝缘浆料层[16]的制作：在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层；

18)荧光粉层[17]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

19)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[19]装配到一起，并将消气剂[20]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

5、根据权利要求4所述的栅控多斜阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

6、根据权利要求4所述的栅控多斜阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

7、根据权利要求4所述的栅控多斜阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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