CN101075532A - 内凹型下栅控阶梯阴极结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种内凹型下栅控阶梯阴极结构的平板显示器及其制作方法，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上有阴极引线层、碳纳米管以及内凹型下栅控阶梯阴极结构；能够进一步提高器件的显示图像质量，降低栅极结构的工作电压；具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

内凹型下栅控阶梯阴极结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种内凹型下栅控阶梯阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

碳纳米管具有小的尖端曲率半径，在外加电压的作用下，碳纳米管阴极尖端附近的电场强度非常集中，迫使碳纳米管不需要额外的能量就能够发射出大量的电子，即冷场致发射现象。由于碳纳米管具有良好的场致发射性能，可以作为电子源应用于场致发射显示器件。碳纳米管阴极场致发射显示器件充分利用了碳纳米管的低导通电场、高发射电流密度以及高稳定性特点，结合了传统阴极射线管显示器具有的高清晰图像质量，是一种新型的平板显示设备，早己引起了众多科研人员的高度关注。

在三极结构的碳纳米管阴极场致发射显示器件中，栅极结构用来直接控制碳纳米管阴极电子发射的重要控制元件，但由于栅极结构的加入，使得整体器件制作更加复杂。针对于栅极工作电压居高不下，器件显示亮度不高，碳纳米管阴极的发射效率低下等缺点，还需加以认真解决。在阴极方面，需要增大碳纳米管阴极的电子发射面积，使更多的碳纳米管阴极参与电子发射，增加了器件的阳极工作电流，当然器件的显示亮度就提高了；还需进一步提高碳纳米管阴极的电子发射效率，使得碳纳米管在较低工作电压下能发射出更多的电子，既有利于降低栅极结构的工作电压，同时还能提高碳纳米管的发射电子束电流。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的内凹型下栅控阶梯阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有阴极引线层、碳纳米管以及内凹型下栅控阶梯阴极结构。

所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上面的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层上下表面均为平面，下表面完全覆盖栅极引线层；栅极升高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极升高层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极延长线层和栅极引线层相互连通；栅极升高层上面印刷的绝缘浆料层形成附加栅极升高层；附加栅极升高层的上下表面均为平面，下表面要完全覆盖住栅极升高层的上表面；附加栅极升高层中存在凹面孔，即此凹面孔在附加栅极升高层的上表面所形成的截面为一个中空的圆型面，此处的直径最大，从附加栅极升高层的上表面开始，依次逐渐向附加栅极升高层的内部凹陷，直至到达附加栅极升高层的下表面位置为止，凹陷孔的侧面形成一个向下弯曲的弧型面；附加栅极升高层中凹陷孔的底面要暴露出栅极延长线层；附加栅极升高层中凹陷孔的内侧面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层布满凹陷孔的内侧面上，并且和底部的栅极延长线层是相互连通的；附加栅极升高层上表面的印刷的绝缘浆料层形成间隔一层；栅极管制层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔二层；间隔二层和间隔一层是相互连接在一起的；间隔二层的下表面要完全覆盖住栅极管制层以及栅极延长线层；间隔二层的上表面和间隔一层的上表面均为平面，且是平齐的；间隔二层中存在异型孔，即此异型孔在间隔二层的上表面上所形成的截面为一个中空的圆型面，从间隔二层的上表面开始，逐渐向间隔二层的内部凹陷，直至最后汇聚成一点，异型孔的内侧壁呈现阶梯型形状，最底处为一个平面；间隔二层中的异型孔完全处于栅极管制层的包围当中；间隔二层中异型孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满间隔二层中异型孔的内侧壁；间隔二层中异型孔的最底部平面上的印刷的银浆层形成提升层；提升层呈现三角尖锥型形状，坐落于异型孔的底部平面上，提升层的尖角朝向阳极方向；阴极过渡层上表面上的以及提升层上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；间隔一层上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层、阴极过渡层、提升层和阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铜、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍。

一种内凹型下栅控阶梯阴极结构的平板显示器的制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层[3]的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)栅极升高层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；

5)栅极延长线层[5]的制作：在栅极升高层中小圆孔内印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

6)附加栅极升高层[6]的制作：在栅极升高层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极升高层；

7)栅极管制层[7]的制作：在附加栅极升高层凹陷孔内侧面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极管制层；

8)间隔一层[8]的制作：在附加栅极升高层的上表面上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔一层；

9)间隔二层[9]的制作：在栅极管制层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔二层；

10)阴极过渡层[10]的制作：在间隔二层中异型孔的内侧壁上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极过渡层；

11)提升层[11]的制作：在间隔二层中异型孔内侧壁上印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成提升层；

12)阴极导电层[12]的制作：在提升层和阴极过渡层的上表面上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

13)阴极引线层[13]的制作：在间隔一层上表面上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

14)阴极覆盖层[14]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

15)内凹型下栅控阶梯阴极结构的表面清洁处理：对内凹型下栅控阶梯阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

16)碳纳米管[15]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

17)阳极玻璃面板[16]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

18)阳极导电层[17]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

19)绝缘浆料层[18]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

20)荧光粉层[19]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

21)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[20]和四周玻璃围框[21]装到一起，将消气剂[22]放入到空腔中，用低熔点玻璃粉固定；

23)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤19具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤20具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤22具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构中，将碳纳米管制备在了阴极导电层的上面。这样，充分利用了碳纳米管阴极的边缘位置能够发射大量电子的特有现象，使得碳纳米管能够发射出更多的电子，提高了碳纳米管的电子发射效率，有利于进一步提高器件的显示亮度和图像质量。将栅极结构和阴极结构高度集成到一起，有助于促进整体器件的高度集成化发展。

其次，在所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构中，栅极结构制备在了碳纳米管阴极的下方。当在栅极引线层上施加适当电压以后，就会通过栅极延长线层将外界电压传递到栅极管制层上面，从而在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子，体现了栅极结构的强大控制功能。栅极结构被间隔层所覆盖，不会截留到碳纳米管阴极的电子束，极大地减小了栅极电流。缩减了栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，降低了栅极结构的工作电压。

此外，在所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了内凹型下栅控阶梯阴极结构的纵向结构示意图；

图2给出了内凹型下栅控阶梯阴极结构的横向结构示意图；

图3给出了带有内凹型下栅控阶梯阴极结构的平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

如图所示，本发明包括由阳极玻璃面板[16]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[21]构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[17]及制在阳极导电层上面的荧光粉层[19]；在阴极玻璃面板上有阴极引线层[13]、碳纳米管[15]以及内凹型下栅控阶梯阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[20]及消气剂附属元件[22]。

所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构包括阴极玻璃面板[1]、绝缘层[2]、栅极引线层[3]、栅极升高层[4]、栅极延长线层[5]、附加栅极升高层[6]、栅极管制层[7]、间隔一层[8]、间隔二层[9]、阴极过渡层[10]、提升层[11]、阴极导电层[12]、阴极引线层[13]、阴极覆盖层[14]和碳纳米管[15]部分。

所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上面的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层的上下表面均为平面，下表面要完全覆盖住栅极引线层；栅极升高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极升高层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极延长线层和栅极引线层是相互连通的；栅极升高层上面的印刷的绝缘浆料层形成附加栅极升高层；附加栅极升高层的上下表面均为平面，下表面要完全覆盖住栅极升高层的上表面；附加栅极升高层中存在凹面孔，即此凹面孔在附加栅极升高层的上表面所形成的截面为一个中空的圆型面，此处的直径最大，从附加栅极升高层的上表面开始，依次逐渐向附加栅极升高层的内部凹陷，直至到达附加栅极升高层的下表面位置为止，凹陷孔的侧面形成一个向下弯曲的弧型面；附加栅极升高层中凹陷孔的底面要暴露出栅极延长线层；附加栅极升高层中凹陷孔的内侧面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层布满凹陷孔的内侧面上，并且和底部的栅极延长线层是相互连通的；附加栅极升高层上表面的印刷的绝缘浆料层形成间隔一层；栅极管制层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔二层；间隔二层和间隔一层是相互连接在一起的；间隔二层的下表面要完全覆盖住栅极管制层以及栅极延长线层；间隔二层的上表面和间隔一层的上表面均为平面，且是平齐的；间隔二层中存在异型孔，即此异型孔在间隔二层的上表面上所形成的截面为一个中空的圆型面，从间隔二层的上表面开始，逐渐向间隔二层的内部凹陷，直至最后汇聚成一点，异型孔的内侧壁呈现阶梯型形状，最底处为一个平面；间隔二层中的异型孔完全处于栅极管制层的包围当中；间隔二层中异型孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满间隔二层中异型孔的内侧壁；间隔二层中异型孔的最底部平面上的印刷的银浆层形成提升层；提升层呈现三角尖锥型形状，坐落于异型孔的底部平面上，提升层的尖角朝向阳极方向；阴极过渡层上表面上的以及提升层上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；间隔一层上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层、阴极过渡层、提升层和阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铜、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍。

一种内凹型下栅控阶梯阴极结构的平板显示器的制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃划割，制阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层[3]的制作：在绝缘层上制出金属铬层，刻蚀成栅极引线层；

4)栅极升高层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；

5)栅极延长线层[5]的制作：在栅极升高层中小圆孔内印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

6)附加栅极升高层[6]的制作：在栅极升高层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极升高层；

7)栅极管制层[7]的制作：在附加栅极升高层凹陷孔内侧面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极管制层；

8)间隔一层[8]的制作：在附加栅极升高层的上表面上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔一层；

9)间隔二层[9]的制作：在栅极管制层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔二层；

10)阴极过渡层[10]的制作：在间隔二层中异型孔的内侧壁上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极过渡层；

11)提升层[11]的制作：在间隔二层中异型孔内侧壁上印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成提升层；

12)阴极导电层[12]的制作：在提升层和阴极过渡层上表面上制出金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

13)阴极引线层[13]的制作：在间隔一层上表面上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

14)阴极覆盖层[14]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

15)内凹型下栅控阶梯阴极结构的表面清洁处理：对内凹型下栅控阶梯阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

16)碳纳米管[15]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

17)阳极玻璃面板[16]的制作：对整体平板玻璃划割，制出阳极玻璃面板；

18)阳极导电层[17]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

19)绝缘浆料层[18]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

20)荧光粉层[19]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

21)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[20]和四周玻璃围框[21]装配到一起，并将消气剂[22]放到空腔中，用低熔点玻璃粉固定；

22)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤19具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。所述步骤20具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。所述步骤22具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (7)

1、一种内凹型下栅控阶梯阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[16]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[21]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[17]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[19]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[20]以及消气剂附属元件[22]；其特征在于：在阴极玻璃面板上设置有阴极引线层[13]、碳纳米管[15]以及内凹型下栅控阶梯阴极结构。

2、根据权利要求1所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构的衬底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上面印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层上下表面均为平面，下表面完全覆盖栅极引线层；栅极升高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极升高层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极延长线层和栅极引线层相互连通；栅极升高层上面印刷的绝缘浆料层形成附加栅极升高层；附加栅极升高层的上下表面均为平面，下表面要完全覆盖住栅极升高层的上表面；附加栅极升高层中存在凹面孔，即此凹面孔在附加栅极升高层的上表面所形成的截面为一个中空的圆型面，此处的直径最大，从附加栅极升高层的上表面开始，依次逐渐向附加栅极升高层的内部凹陷，直至到达附加栅极升高层下表面位置为止，凹陷孔的侧面形成一个向下弯曲的弧型面；附加栅极升高层中凹陷孔的底面要暴露出栅极延长线层；附加栅极升高层中凹陷孔的内侧面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层布满凹陷孔的内侧面上，并且和底部的栅极延长线层相互连通；附加栅极升高层上表面印刷的绝缘浆料层形成间隔一层；栅极管制层上面印刷的绝缘浆料层形成间隔二层；间隔二层和间隔一层是相互连接在一起的；间隔二层下表面完全覆盖栅极管制层以及栅极延长线层；间隔二层的上表面和间隔一层上表面均为平面，且是平齐的；间隔二层中存在异型孔，即此异型孔在间隔二层的上表面上所形成的截面为一个中空的圆型面，从间隔二层的上表面开始，逐渐向间隔二层的内部凹陷，直至最后汇聚成一点，异型孔的内侧壁呈现阶梯型形状，最底处为一个平面；间隔二层中的异型孔完全处于栅极管制层的包围当中；间隔二层中异型孔内侧壁上刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满间隔二层中异型孔的内侧壁；间隔二层中异型孔的最底部平面上的印刷的银浆层形成提升层；提升层呈现三角尖锥型形状，坐落于异型孔的底部平面上，提升层的尖角朝向阳极方向；阴极过渡层上表面上的以及提升层上表面上刻蚀后的金属层形成阴极导电层；间隔一层上表面上刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层、阴极过渡层、提升层和阴极导电层相互连通；阴极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

3、根据权利要求2所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铜、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍。

4、一种内凹型下栅控阶梯阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃划割，制出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层[3]的制作：在绝缘层上面制金属层，刻蚀成栅极引线层；

4)栅极升高层[4]的制作：在栅极引线层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；

5)栅极延长线层[5]的制作：在栅极升高层中小圆孔内印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

6)附加栅极升高层[6]的制作：在栅极升高层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极升高层；

7)栅极管制层[7]的制作：在附加栅极升高层凹陷孔内侧面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制层；

8)间隔一层[8]的制作：在附加栅极升高层的上表面上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔一层；

9)间隔二层[9]的制作：在栅极管制层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔二层；

10)阴极过渡层[10]的制作：在间隔二层中异型孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

11)提升层[11]的制作：在间隔二层中异型孔内侧壁上印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成提升层；

12)阴极导电层[12]的制作：在提升层和阴极过渡层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

13)阴极引线层[13]的制作：在间隔一层上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

14)阴极覆盖层[14]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

15)内凹型下栅控阶梯阴极结构的表面清洁处理：对内凹型下栅控阶梯阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

16)碳纳米管[15]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

17)阳极玻璃面板[16]的制作：对整体平板玻璃划割，制出阳极玻璃面板；

18)阳极导电层[17]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

19)绝缘浆料层[18]的制作：在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层；

20)荧光粉层[19]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

21)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[20]和四周玻璃围框[21]装到一起，将消气剂[22]放入空腔中，用低熔点玻璃粉固定；

22)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

5、根据权利要求4所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤19具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

6、根据权利要求4所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤21具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

7、根据权利要求4所述的内凹型下栅控阶梯阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤23具体为对装配好的器件进行如下封装工艺：将样品器件放入烘箱中烘烤；放入烧结炉中烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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