CN101075540A - 工型侧栅控结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种工型侧栅控结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上有栅极引线层、碳纳米管以及工型侧栅控结构；能够进一步提高碳纳米管阴极的电子发射面积和电子发射效率，增强栅极的控制功能，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

工型侧栅控结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种工型侧栅控结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

碳纳米管阴极场致发射显示器是一种新型的平板显示设备，充分利用了碳纳米管的冷场致发射特性，使用外加电场强度迫使碳纳米管尖端发射电子，而非使用热能，使得场致发射电子束的能量分布较窄且具有较高亮度。这种显示器非常薄、轻，并且功耗低，能够节省能源。场致发射显示器在每一个像素点的后面都放置了成千上万个电子源，使得场致发射显示器能够把阴极射线管显示器的明亮清晰与液晶显示器的轻、薄等优点相结合起来，已经成为了目前国际平板显示领域的热门话题。

栅极结构是三极结构场致发射平板显示器中的重要控制元件，它直接决定着碳纳米管阴极的电子发射，具有其它元件所无法替代的功能。在目前大多数的显示器件当中，都采用了栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的控制模式，其优越之处就在于栅极结构的控制作用比较显著，但是栅极电压居高不下，所形成的栅极电流有些偏大，这是其不利之处，需要进一步的改进。由于从碳纳米管阴极所发射的电子要经过栅极结构中的通道孔之后才能够高速飞向阳极，轰击荧光粉层而发出可见光。受到栅极正电压的影响，部分所经过的电子要受到栅极结构的截留，从而形成栅极电流，这也就是栅极电流过于偏大的主要原因。受到具体制作材料的绝缘等级、制作工艺因素的限制，还不能无限制的将栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离缩减太小，否则会引起电学击穿，这也就是栅极结构工作电压居高不下的主要原因。在实际器件的制作过程中，需要对上述不利之处都要进行适当改进。究竟采用何种栅极结构形式，如何进一步减小栅极电流，如何降低栅极工作电压等等，都是急需解决的问题。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的工型侧栅控结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及工型侧栅控结构。

所述的工型侧栅控结构的衬底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极升高层；阴极升高层的上下表面均为平面，覆盖在栅极引线层的上面；阴极升高层中存在弧形孔，即弧形孔在阴极升高层上表面处的截面为一个中空的圆型孔，此处的圆型孔的直径最大，然后依次向圆型孔内部凹陷，直到到达间隔层的下表面位置为止，形成向上凸起的弧形面；间隔层中弧形孔在间隔层下表面的截面也是一个中空的圆型孔，但其直径要比上表面处截面圆型孔的直径小；阴极升高层中弧形孔的底部要暴露出栅极引线层；阴极升高层中弧形孔的底部的印刷的绝缘浆料层形成隔离一层；隔离一层要完全覆盖住弧形孔底部的栅极引线层，两侧和阴极升高层紧密接触；隔离一层中间存在一个小孔，作为栅极延长线层的通道；隔离一层中小孔中印刷的银浆形成栅极延长线层；栅极延长线层和栅极引线层是相互连通的；隔离一层上面的印刷的绝缘浆料层形成隔离二层；隔离二层的上下表面均为平面，坐落于隔离一层的上面；隔离二层的两侧要比隔离一层向内缩进，即隔离二层没有隔离一层宽；隔离二层的两侧侧面是垂直于阴极玻璃面板的垂直面；隔离二层中存在一个小孔，和隔离一层中的小孔是相互连通的，作为栅极延长线层的通道；隔离二层中小孔中印刷的银浆层形成栅极延长线层；阴极升高层上表面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极升高层中弧形孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；隔离二层上表面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层大部分都位于隔离二层的上表面上，但是两端要想阴极导电层方向延伸，呈现悬空状态；调控栅极层和栅极延长线层是相互连通的；调控栅极层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部的调控栅极层，包括其悬空部分；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的工型侧栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬；调控栅极层为金属金、银、钼、铬、铝；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍。

一种工型侧栅控结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)栅极引线层的制作：在阻滞层上面制出金属层，刻蚀形成栅极引线层；

4)阴极升高层的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极升高层；

5)隔离一层的制作：在阴极升高层中弧形孔的底部印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离一层；

6)栅极延长线的制作：在隔离一层中间小孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

7)隔离二层的制作：在隔离一层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离二层；

8)栅极延长线的制作：在隔离二层中间小孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；与隔离一层中的栅极延长线层是相通的；

9)阴极引线层的制作：在阴极升高层上表面上制备出金属层，刻蚀形成阴极引线层；

10)阴极过渡层的制作：在阴极升高层弧形孔内侧壁上制备出金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

11)阴极导电层的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

12)调控栅极层的制作：在隔离二层的上表面上制备出金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

13)栅极覆盖层的制作：在调控栅极层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

14)阴极覆盖层的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

15)工型侧栅控结构的表面清洁处理：对工型侧栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

16)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

17)阳极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

18)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

19)绝缘浆料层的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

20)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

21)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。

23)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤20具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤21具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤23具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的工型侧栅控结构中，分别制作了栅极引线层和调控栅极层结构。栅极引线层能够将外界电压传递到器件内部，而调控栅极层则是能够把外界电压转换成碳纳米管阴极表面顶端的强大电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子；栅极引线层和调控栅极层是通过栅极延长线层相互连通的。由于调控栅极层位于碳纳米管阴极的旁侧，也就极大地减小了对碳纳米管阴极所发射的电子束进行截留的几率，从而减小了栅极电流的大小，有助于提高器件的显示亮度。由于调控栅极层的末端可以尽可能的接近于碳纳米管阴极，从而能够进一步降低栅极结构的工作电压。

其次，在所述的工型侧栅控结构中，将碳纳米管阴极制作在了位于弧形面形状上表面上的阴极导电层的上面。这样就极大地增加了碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都参与电子发射，有助于提高器件的阳极工作电流。将栅极结构和阴极结构高度集成到一起，有助于促进整体器件的高度集成化发展；此外，在所述的工型侧栅控结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了工型侧栅控结构的纵向结构示意图；

图2给出了工型侧栅控结构的横向结构示意图；

图3给出了带有工型侧栅控结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但本发明不限于这些实施例。

本发明包括由阳极玻璃面板[15]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[20]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[16]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[18]；在阴极玻璃面板上有栅极引线层[3]、碳纳米管[14]以及工型侧栅控结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[19]以及消气剂[21]附属元件。

所述的工型侧栅控结构包括阴极玻璃面板[1]、阻滞层[2]、栅极引线层[3]、阴极升高层[4]、隔离一层[5]、栅极延长线层[6]、隔离二层[7]、阴极引线层[8]、阴极过渡层[9]、阴极导电层[10]、调控栅极层[11]、栅极覆盖层[12]、阴极覆盖层[13]和碳纳米管[14]部分。

所述的工型侧栅控结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极升高层；阴极升高层的上下表面均为平面，覆盖在栅极引线层的上面；阴极升高层中存在弧形孔，即弧形孔在阴极升高层上表面处的截面为一个中空的圆型孔，此处的圆型孔的直径最大，然后依次向圆型孔内部凹陷，直到到达间隔层的下表面位置为止，形成向上凸起的弧形面；间隔层中弧形孔在间隔层下表面的截面也是一个中空的圆型孔，但其直径要比上表面处截面圆型孔的直径小；阴极升高层中弧形孔的底部要暴露出栅极引线层；阴极升高层中弧形孔的底部的印刷的绝缘浆料层形成隔离一层；隔离一层要完全覆盖住弧形孔底部的栅极引线层，两侧和阴极升高层紧密接触；隔离一层中间存在一个小孔，作为栅极延长线层的通道；隔离一层中小孔中印刷的银浆形成栅极延长线层；栅极延长线层和栅极引线层是相互连通的；隔离一层上面的印刷的绝缘浆料层形成隔离二层；隔离二层的上下表面均为平面，坐落于隔离一层的上面；隔离二层的两侧要比隔离一层向内缩进，即隔离二层没有隔离一层宽；隔离二层的两侧侧面是垂直于阴极玻璃面板的垂直面；隔离二层中存在一个小孔，和隔离一层中的小孔是相互连通的，作为栅极延长线层的通道；隔离二层中小孔中印刷的银浆层形成栅极延长线层；阴极升高层上表面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极升高层中弧形孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；隔离二层上表面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层大部分都位于隔离二层的上表面上，但是两端要想阴极导电层方向延伸，呈现悬空状态；调控栅极层和栅极延长线层是相互连通的；调控栅极层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部的调控栅极层，包括其悬空部分；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的工型侧栅控结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬；调控栅极层可以为金属金、银、钼、铬、铝；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；阴极过渡层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。

一种带有工型侧栅控结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]制作：对整体平板钠钙玻璃划割，制出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)栅极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)阴极升高层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极升高层；

5)隔离一层[5]的制作：在阴极升高层中弧形孔的底部印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离一层；

6)栅极延长线[6]的制作：在隔离一层中间小孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

7)隔离二层[7]的制作：在隔离一层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离二层；

8)栅极延长线[6]的制作：在隔离二层中间小孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；与隔离一层中的栅极延长线层是相通的；

9)阴极引线层[8]的制作：在阴极升高层上表面上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

10)阴极过渡层[9]的制作：在阴极升高层弧形孔内侧壁上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成阴极过渡层；

11)阴极导电层[10]的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

12)调控栅极层[11]的制作：在隔离二层的上表面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极层；

13)栅极覆盖层[12]的制作：在调控栅极层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

14)阴极覆盖层[13]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

15)工型侧栅控结构的表面清洁处理：对工型侧栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

16)碳纳米管[14]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

17)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

18)阳极玻璃面板[15]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

19)阳极导电层[16]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

20)绝缘浆料层[17]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

21)荧光粉层[18]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

22)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[19]和四周玻璃围框[20]装配到一起，并将消气剂[21]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

23)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤20具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤21具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤23具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (7)

1、一种工型侧栅控结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[15]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[20]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[16]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[18]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[19]以及消气剂附属元件[21]，其特征在于：在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层[3]、碳纳米管[14]以及工型侧栅控结构。

2、根据权利要求1所述的工型侧栅控结构的平板显示器，其特征在于：所述的工型侧栅控结构的衬底材料钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极升高层；阴极升高层的上下表面均为平面，覆盖在栅极引线层的上面；阴极升高层中存在弧形孔，即弧形孔在阴极升高层上表面处的截面为一个中空的圆型孔，此处的圆型孔的直径最大，然后依次向圆型孔内部凹陷，直到到达间隔层的下表面位置为止，形成向上凸起的弧形面；间隔层中弧形孔在间隔层下表面的截面也是一个中空的圆型孔，但其直径要比上表面处截面圆型孔的直径小；阴极升高层中弧形孔的底部要暴露出栅极引线层；阴极升高层中弧形孔的底部的印刷的绝缘浆料层形成隔离一层；隔离一层要完全覆盖住弧形孔底部的栅极引线层，两侧和阴极升高层紧密接触；隔离一层中间存在一个小孔，作为栅极延长线层的通道；隔离一层中小孔中印刷的银浆形成栅极延长线层；栅极延长线层和栅极引线层是相互连通的；隔离一层上面的印刷的绝缘浆料层形成隔离二层；隔离二层的上下表面均为平面，坐落于隔离一层的上面；隔离二层的两侧要比隔离一层向内缩进，即隔离二层没有隔离一层宽；隔离二层的两侧侧面是垂直于阴极玻璃面板的垂直面；隔离二层中存在一个小孔，和隔离一层中的小孔是相互连通的，作为栅极延长线层的通道；隔离二层中小孔中印刷的银浆层形成栅极延长线层；阴极升高层上表面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极升高层中弧形孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；隔离二层上表面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层大部分都位于隔离二层的上表面上，但是两端要想阴极导电层方向延伸，呈现悬空状态；调控栅极层和栅极延长线层是相互连通的；调控栅极层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部的调控栅极层，包括其悬空部分；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

3、根据权利要求2所述的工型侧栅控结构的平板显示器，其特征在于：所述的工型侧栅控结构安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬；调控栅极层为金属金、银、钼、铬、铝；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍。

4、一种工型侧栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃划割，制出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)栅极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)阴极升高层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极升高层；

5)隔离一层[5]的制作：在阴极升高层中弧形孔的底部印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离一层；

6)栅极延长线[6]的制作：在隔离一层中间小孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

7)隔离二层[7]的制作：在隔离一层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离二层；

8)栅极延长线[6]的制作：在隔离二层中间小孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；与隔离一层中的栅极延长线层是相通的；

9)阴极引线层[8]的制作：在阴极升高层上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

10)阴极过渡层[9]的制作：在阴极升高层弧形孔内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

11)阴极导电层[10]的制作：在阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

12)调控栅极层[11]的制作：在隔离二层的上表面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极层；

13)栅极覆盖层[12]的制作：在调控栅极层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

14)阴极覆盖层[13]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

15)工型侧栅控结构的表面清洁处理：对工型侧栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

16)碳纳米管[14]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

17)阳极玻璃面板[15]的制作：对整体平板玻璃划割，制出阳极玻璃面板；

18)阳极导电层[16]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

19)绝缘浆料层[17]的制作：在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层；

20)荧光粉层[18]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

21)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[19]和四周玻璃围框[20]装配到一起，并将消气剂[21]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

22)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

5、根据权利要求4所述的工型侧栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤19具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

6、根据权利要求4所述的工型侧栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤20具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

7、根据权利要求4所述的工型侧栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤22具体为对已经装配好的器件进行如下封装工艺：将样品器件放入烘箱中进行烘烤；放入烧结炉中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Images