CN101075541A - 箭头型栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种箭头型栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及箭头型栅控阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，能够提高碳纳米管阴极的电子发射效率和电子发射数量，降低栅极的工作电压，有利于提高器件的显示亮度，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

箭头型栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种箭头型栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

碳纳米管具有小的尖端曲率半径以及高的纵横比率，在外加电压的作用下不需要额外的能量就能够发射出大量的电子，因此具有非常良好的场致发射性能，可以作为电子源应用于场致发射显示器件。利用碳纳米管作为阴极材料而制作的场致发射显示器，充分利用了碳纳米管的低导通电场、高发射电流密度以及高稳定性，再加之结合传统阴极射线管显示器所具有的高图像质量，形成了一种新型的平板显示设备。这种显示器具有高亮度、高分辨率、低能耗，低成本等特点，已经成为了国际平板显示领域的热门话题。

在三极结构的场致发射平板显示器件当中，栅极结构控制着碳纳米管阴极的电子发射。而进一步降低栅极结构的工作电压也是众多科研人员不懈努力的目标之一，这也符合低压平板器件的质量体系指标要求。目前大多数的显示器中都采用了栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的控制模式，其主要优点是制作工艺简单，控制作用显著，其主要不利之处就是栅极电流过大，栅极电压居高不下，还需要进一步的加以改进。一方面需要尽可能的缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，另一方面也可以对碳纳米管阴极结构作以改变，使得碳纳米管阴极形状的曲率变得更小，能够在较低的电压下就发射出大量的电子，这也是间接的降低了器件的工作电压。此外，还需要确保尽可能多的碳纳米管阴极来参与电子发射，有助于提高器件的显示亮度。那么，在实际器件的制作过程中，就需要科研人员和实际制作人员共同努力，来解决这些所面临的实际问题。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的箭头型栅控阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上设置有阴极导电层、碳纳米管以及箭头型栅控阴极结构。

所述的箭头型栅控阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的银浆层形成阴极基底一层；阴极基底一层的上下表面均为平面，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极基底一层的侧面上的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要完全覆盖住阴极基底一层的整体侧面部分，但不能覆盖住上顶面部分；阴极基底一层的上顶面上的印刷的银浆层形成阴极基底二层；阴极基底二层呈现尖顶圆锥型形状，坐落于阴极基底一层的上顶部，并和阴极基底一层紧密接触；阴极基底二层的截面呈现三角形形状，其底面为圆型面，直径要大于圆柱体型阴极基底一层的截面直径；阴极基底一层和阴极基底二层构成了一个整体的阴极基底层，其截面呈现竖立的箭头型形状；阴极基底二层的上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层布满阴极基底二层的整个上表面；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在弧形孔，暴露出底部的阴极基底层以及阴极导电层；间隔层中弧形孔在间隔层上表面的截面为圆型孔，从间隔层的上表面开始，直至到达间隔层的下表面位置为止，弧形孔的内侧壁呈现一个弧型形状；间隔层上表面上的印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层位于间隔层上表面弧形孔周围，其截面呈现直角三角形形状，长直角边位于间隔层的上表面，短直角边垂直于间隔层的上表面而指向阳极方向，斜边形成一个斜向上的斜坡面，整体附加间隔层为三角圆环型形状，环绕在弧形孔周围；附加间隔层上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层布满附加间隔层的上表面，同时其前端部分沿着平行于附加间隔层上表面的方向向弧形孔内部延伸，呈现悬空状态；间隔层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部的栅极引线层以及部分调控栅极层，但部分覆盖住处于悬空态的调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的箭头型栅控阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；调控栅极层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。

一种带有箭头型栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)阴极基底一层的制作：在阴极引线层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底一层；

5)阴极覆盖层的制作：在阴极基底一层的侧面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

6)阴极基底二层的制作：在阴极基底一层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底二层；

7)阴极导电层的制作：在阴极基底二层的上表面上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

8)间隔层的制作：在阻滞层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

9)附加间隔层的制作：在间隔层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；

10)调控栅极层的制作：在附加间隔层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

11)栅极引线层的制作：在间隔层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

12)栅极覆盖层的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

13)箭头型栅控阴极结构的表面清洁处理：对箭头型栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)阳极玻璃面板的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

16)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

17)绝缘浆料层的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

18)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

19)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的箭头型栅控阴极结构中，将碳纳米管阴极制备在了阴极导电层的上面，而阴极导电层则制作在了呈现箭头型阴极基底层的上面。这样，可以极大地增加碳纳米管的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都参与电子发射，有利于提高整体器件的显示亮度。充分利用了碳纳米管阴极的边缘位置发射大量电子的现象，有利于提高碳纳米管阴极的电子发射效率。

其次，在所述的箭头型栅控阴极结构中，分别制作了调控栅极层以及栅极引线层结构。栅极引线层能够将外界电压传递到器件内部，而调控栅极层则是对碳纳米管阴极的电子发射起到强有力的控制作用。当在栅极上施加适当电压以后，就会在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子，体现了栅极的调控作用。同时，调控栅极层的末端能够尽可能的接近于碳纳米管阴极，缩短了二者之间的距离，有助于进一步降低栅极结构的工作电压。

此外，在所述的箭头型栅控阴极结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了箭头型栅控阴极结构的纵向结构示意图；

图2给出了箭头型栅控阴极结构的横向结构示意图；

图3给出了带有箭头型栅控阴极结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于这些实施例。

所述的一种带有箭头型栅控阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[14]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[19]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[15]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[17]；在阴极玻璃面板上有阴极导电层[7]、碳纳米管[13]以及箭头型栅控阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂[20]附属元件。

所述的箭头型栅控阴极结构包括阴极玻璃面板[1]、阻滞层[2]、阴极引线层[3]、阴极基底一层[4]、阴极覆盖层[5]、阴极基底二层[6]、阴极导电层[7]、间隔层[8]、附加间隔层[9]、调控栅极层[10]、栅极引线层[11]、栅极覆盖层[12]和碳纳米管[13]部分。

所述的箭头型栅控阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的银浆层形成阴极基底一层；阴极基底一层的上下表面均为平面，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极基底一层的侧面上的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要完全覆盖住阴极基底一层的整体侧面部分，但不能覆盖住上顶面部分；阴极基底一层的上顶面上的印刷的银浆层形成阴极基底二层；阴极基底二层呈现尖顶圆锥型形状，坐落于阴极基底一层的上顶部，并和阴极基底一层紧密接触；阴极基底二层的截面呈现三角形形状，其底面为圆型面，直径要大于圆柱体型阴极基底一层的截面直径；阴极基底一层和阴极基底二层构成了一个整体的阴极基底层，其截面呈现竖立的箭头型形状；阴极基底二层的上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层布满阴极基底二层的整个上表面；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在弧形孔，暴露出底部的阴极基底层以及阴极导电层；间隔层中弧形孔在间隔层上表面的截面为圆型孔，从间隔层的上表面开始，直至到达间隔层的下表面位置为止，弧形孔的内侧壁呈现一个弧型形状；间隔层上表面上的印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层位于间隔层上表面弧形孔周围，其截面呈现直角三角形形状，长直角边位于间隔层的上表面，短直角边垂直于间隔层的上表面而指向阳极方向，斜边形成一个斜向上的斜坡面，整体附加间隔层为三角圆环型形状，环绕在弧形孔周围；附加间隔层上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层布满附加间隔层的上表面，同时其前端部分沿着平行于附加间隔层上表面的方向向弧形孔内部延伸，呈现悬空状态；间隔层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部的栅极引线层以及部分调控栅极层，但部分覆盖住处于悬空态的调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的箭头型栅控阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；调控栅极层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。

一种带有箭头型栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)阴极基底一层[4]的制作：在阴极引线层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底一层；

5)阴极覆盖层[5]的制作：在阴极基底一层的侧面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

6)阴极基底二层[6]的制作：在阴极基底一层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底二层；

7)阴极导电层[7]的制作：在阴极基底二层的上表面上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

8)间隔层[8]的制作：在阻滞层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

9)附加间隔层[9]的制作：在间隔层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；

10)调控栅极层[10]的制作：在附加间隔层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极层；

11)栅极引线层[11]的制作：在间隔层的上表面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

12)栅极覆盖层[12]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

13)箭头型栅控阴极结构的表面清洁处理：对箭头型栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管[13]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

16)阳极玻璃面板[14]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

17)阳极导电层[15]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

18)绝缘浆料层[16]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

19)荧光粉层[17]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

20)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[19]装配到一起，并将消气剂[20]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

21)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤18具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤21具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (7)

1、一种箭头型栅控阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[14]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[19]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[15]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[17]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂[20]附属元件，其特征在于：在阴极玻璃面板上设置有阴极导电层[7]、碳纳米管[13]以及箭头型栅控阴极结构。

2、根据权利要求1所述的箭头型栅控阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的箭头型栅控阴极结构的衬底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的印刷的银浆层形成阴极基底一层；阴极基底一层的上下表面均为平面，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极基底一层的侧面上的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要完全覆盖住阴极基底一层的整体侧面部分，但不能覆盖住上顶面部分；阴极基底一层的上顶面上的印刷的银浆层形成阴极基底二层；阴极基底二层呈现尖顶圆锥型形状，坐落于阴极基底一层的上顶部，并和阴极基底一层紧密接触；阴极基底二层的截面呈现三角形形状，其底面为圆型面，直径要大于圆柱体型阴极基底一层的截面直径；阴极基底一层和阴极基底二层构成了一个整体的阴极基底层，其截面呈现竖立的箭头型形状；阴极基底二层的上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层布满阴极基底二层的整个上表面；阻滞层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面为平面，要覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在弧形孔，暴露出底部的阴极基底层以及阴极导电层；间隔层中弧形孔在间隔层上表面的截面为圆型孔，从间隔层的上表面开始，直至到达间隔层的下表面位置为止，弧形孔的内侧壁呈现一个弧型形状；间隔层上表面上的印刷的绝缘浆料层形成附加间隔层；附加间隔层位于间隔层上表面弧形孔周围，其截面呈现直角三角形形状，长直角边位于间隔层的上表面，短直角边垂直于间隔层的上表面而指向阳极方向，斜边形成一个斜向上的斜坡面，整体附加间隔层为三角圆环型形状，环绕在弧形孔周围；附加间隔层上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层布满附加间隔层的上表面，同时其前端部分沿着平行于附加间隔层上表面的方向向弧形孔内部延伸，呈现悬空状态；间隔层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要覆盖住全部的栅极引线层以及部分调控栅极层，但部分覆盖住处于悬空态的调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

3、根据权利要求2所述的箭头型栅控阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的箭头型栅控阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极导电层为金属铁、钴、镍；调控栅极层为金属金、银、铜、铝、钼、铬；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬。

4、一种箭头型栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)阴极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)阴极基底一层[4]的制作：在阴极引线层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底一层；

5)阴极覆盖层[5]的制作：在阴极基底一层的侧面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

6)阴极基底二层[6]的制作：在阴极基底一层的上面印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底二层；

7)阴极导电层[7]的制作：在阴极基底二层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

8)间隔层[8]的制作：在阻滞层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

9)附加间隔层[9]的制作：在间隔层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成附加间隔层；

10)调控栅极层[10]的制作：在附加间隔层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

11)栅极引线层[11]的制作：在间隔层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

12)栅极覆盖层[12]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

13)箭头型栅控阴极结构的表面清洁处理：对箭头型栅控阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管[13]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)碳纳米管的后处理：阳极玻璃面板[14]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

16)阳极导电层[15]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

17)绝缘浆料层[16]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

18)荧光粉层[17]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

19)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[19]装配到一起，并将消气剂[20]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

5、根据权利要求4所述的箭头型栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

6、根据权利要求4所述的箭头型栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

7、根据权利要求4所述的箭头型栅控阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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