CN1909158A - 多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阴极玻璃面板、阳极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上有控制栅极、碳纳米管以及多棱六边辐射型阴极发射结构；提高碳纳米管的电子发射效率；进一步缩短了栅极－阴极之间的距离，降低了整体器件的工作电压，提高了栅极的控制能力和效率，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平面显示技术领域、电子科学与技术领域、真空科学与技术领域、集成电路科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及到一种多棱六边辐射型阴极发射结构的碳纳米管场发射显示器的器件制作及其制作工艺。

背景技术

碳纳米管是由薄薄的共轴石墨层卷曲所形成的中空管状碳结构，典型的碳纳米管的直径仅仅为几个纳米至几十个纳米，而长度可以达到微米的数量级，是理想的准一维材料。由于生长工艺条件的不同，碳纳米管具有单端开口，单端封闭，弯曲卷绕以及直立管状等多种形态。由于碳纳米管具有纳米尺度的尖端曲率半径，在相对比较低的电压下就能够发射大量的电子，因此，碳纳米管能够呈现出良好的场致发射特性，非常适合于各种器件的场致发射阴极材料。场致发射平板显示器，因其结构薄型化，并具有高清晰度、低能耗、高稳定性的大平面显示特点，一直是纳米电子学领域研究的热点。

在三极结构的场致发射显示器件当中，栅极控制着碳纳米管阴极的电子发射。随着栅极-阴极之间距离的减小，栅极的工作电压必然会极大地降低，这符合低压低成本平板器件的要求，但是对于栅极和阴极之间的绝缘问题却是一个很大的挑战，既要符合绝缘等级等电学要求，还要制作工艺简单。因此，如何既要进一步的降低器件的工作电压，还要兼顾绝缘程度电学性能要求，这是需要解决的问题之一。另外，碳纳米管阴极的形状也会影响到碳纳米管顶端电场强度的分布和大小。如何使得碳纳米管阴极的形状和栅极结构相互配合起来，能够有效地增大碳纳米管顶端的电场强度，从而达到进一步降低器件工作电压的目的，这也是需要解决的现实问题。此外，在碳纳米管阴极的电子发射过程中，并不是所有的碳纳米管阴极都能够均匀稳定的发射大量电子的，而是存在着边缘位置发射大量电子的现象。那么是否采用某种结构形式的阴极形状，来更多的增加碳纳米管阴极的边缘位置，从而更有效的利用边缘位置发射大量电子的独特现象呢，这也是值得思考得问题。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保整体器件良好图像质量的前提下，还要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件当中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的：

一种多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板、阳极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上有控制栅极、碳纳米管以及多棱六边辐射型阴极发射结构。

所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的衬底材料为玻璃，也就是阴极玻璃面板，阴极玻璃面板上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层，阴极玻璃面板上的刻蚀后的二氧化硅一层形成阴极提升层，阴极提升层位于阴极引线层的上面，但不能完全覆盖住阴极引线层，阴极提升层呈现半个六棱型结构，即上顶面为一个六棱型，侧面为六个梯形形状相互接触排列在四周，长边位于下方，阴极提升层的侧面是一个斜坡形状，从顶部六棱型的边缘一直延伸到底部阴极引线层上面，阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层，阴极导电层布满阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分，并和阴极玻璃面板上的阴极引线层相互连通，阴极导电层上面的刻蚀后的金属层形成转换层，转换层为线条型，一个线条型转换层位于阴极提升层顶部六棱形的边缘部分，其余的线条型转换层呈现辐射型位于阴极提升层的侧面斜坡面上，阴极玻璃面板上的刻蚀后的二氧化硅二层形成栅极增高层，栅极增高层和阴极提升层是相互隔离开来的，栅极增高层环绕在阴极提升层的周围，从俯视方向上也呈现一个内侧六棱型形状，和阴极提升层的顶部六棱型形状是相对应的，但栅极增高层的侧壁是垂直于阴极玻璃面板的，栅极增高层的上顶面与阴极提升层的上顶面的高度是相同的，栅极增高层顶面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层，栅极引线层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成栅极覆盖层，碳纳米管制备在转换层上面。

所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上，且栅极和阴极是集成到一起的，栅极位于碳纳米管阴极的上方，控制着碳纳米管阴极的电子发射，阴极引线层为金属金、银、铝、铜、铬、钼、锡，阴极导电层为金属金、银、铬、镍、钴、锡、钼、铝，转换层为金属镍、钼、钴、锡、铬，栅极引线层为金属金、银、镍、钴、锡、铬、钼、铝，栅极引线层和阴极引线层是相互垂直的。

一种多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阴极引线层的制作：在阴极玻璃面板上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

3)阴极提升层的制作：在阴极玻璃面板上制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成阴极提升层；

4)阴极导电层的制作：在阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

5)转换层的制作：在阴极导电层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成转换层；

6)栅极增高层的制作：在阴极玻璃面板上再次制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成栅极增高层；

7)栅极引线层的制作：在栅极增高层的上顶面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；栅极引线层和阴极引线层是相互垂直的；

8)栅极覆盖层的制作：在栅极引线层的上面制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成栅极覆盖层；

9)多棱六边辐射型阴极发射结构的表面清洁处理：对多棱六边辐射型阴极发射结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

10)碳纳米管的制备：在转换层的上面制备出碳纳米管；

11)阳极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

12)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

13)绝缘浆料层的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

14)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

15)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

16)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤3具体为在阴极玻璃面板上制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成阴极提升层；阴极提升层位于阴极引线层的上面，但不能完全覆盖住阴极引线层；阴极提升层呈现半个六棱型结构，即上顶面为一个六棱型，侧面为六个梯形形状相互接触排列在四周，长边位于下方；阴极提升层的侧面是一个斜坡形状，从顶部六棱型的边缘一直延伸到底部阴极引线层上面。

所述步骤4具体为在阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；阴极导电层布满阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分，并和阴极玻璃面板上的阴极引线层相互连通。

所述步骤6具体为在阴极玻璃面板上再次制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成栅极增高层；栅极增高层和阴极提升层是相互隔离开来的；栅极增高层环绕在阴极提升层的周围，从俯视方向上也呈现一个内侧六棱型形状，和阴极提升层的顶部六棱型形状是相对应的，但栅极增高层的侧壁是垂直于阴极玻璃面板的；栅极增高层的上顶面与阴极提升层的上顶面的高度是相同的；

所述步骤14具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

所述步骤15具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

所述步骤17具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行高温烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的多棱六边辐射型阴极发射结构中，栅极位于碳纳米管阴极的上方，控制着碳纳米管阴极的电子发射。在栅极引线层的上面制作了栅极覆盖层，有利的对栅极结构进行了保护，避免了其它杂质对于栅极引线层的影响，同时也有效的防止了栅极-阴极之间短路现象的发生，提高了整体器件的制作成功率；

其次，在所述的多棱六边辐射型阴极发射结构中，将碳纳米管制备在了转换层的上面，转换层为线条型，一个线条型转换层位于阴极提升层顶部六棱形的边缘部分，其余的线条型转换层呈现辐射型位于阴极提升层的侧面斜坡面上，这样通过改变了阴极的形状和位置，充分利用了边缘位置发射大量电子的现象，能够有效地增大碳纳米管的电场强度，提高碳纳米管的电子发射效率；

第三，在所述的多棱六边辐射型阴极发射结构中，制作了栅极增高层。其中栅极增高层和阴极提升层是相互隔离开来的，环绕在阴极提升层的周围，从俯视方向上也呈现一个内侧六棱型形状，和阴极提升层的顶部六棱型形状是相对应的，但栅极增高层的侧壁是垂直于阴极玻璃面板的，栅极增高层的上顶面与阴极提升层的上顶面的高度是相同的；这样通过相互垂直交叉，能够进一步缩短了栅极-阴极之间的距离，降低了整体器件的工作电压，提高了栅极的控制能力和效率。

此外，在所述的多棱六边辐射型阴极发射结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作。

附图说明

图1给出了多棱六边辐射型阴极发射结构的纵向结构示意图；

图2给出了多棱六边辐射型阴极发射结构中阴极侧面的结构示意图；

图3给出了多棱六边辐射型阴极发射结构的横向结构示意图；

图4给出了带有多棱六边辐射型阴极发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于这些实施例。

所述的一种带有多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板1、阳极玻璃面板10和四周玻璃围框15所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层11以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层13；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构14以及消气剂附属元件16。在阴极玻璃面极上有控制栅极7、碳纳米管9以及多棱六边辐射型阴极发射结构。

所述的多棱六边辐射型阴极发射结构包括阴极玻璃面板1、阴极引线层2、阴极提升层3、阴极导电层4、转换层5、栅极增高层6、栅极引线层7、栅极覆盖层8和碳纳米管9部分。

所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板1，阴极玻璃面板上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层2，阴极玻璃面板上的刻蚀后的二氧化硅一层形成阴极提升层3，阴极提升层位于阴极引线层的上面，但不能完全覆盖住阴极引线层，阴极提升层呈现半个六棱型结构，即上顶面为一个六棱型，侧面为六个梯形形状相互接触排列在四周，长边位于下方，阴极提升层的侧面是一个斜坡形状，从顶部六棱型的边缘一直延伸到底部阴极引线层上面，阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层4，阴极导电层布满阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分，并和阴极玻璃面板上的阴极引线层相互连通，阴极导电层上面的刻蚀后的金属层形成转换层5，转换层为线条型，一个线条型转换层位于阴极提升层顶部六棱形的边缘部分，其余的线条型转换层呈现辐射型位于阴极提升层的侧面斜坡面上，阴极玻璃面板上的刻蚀后的二氧化硅二层形成栅极增高层6，栅极增高层和阴极提升层是相互隔离开来的，栅极增高层环绕在阴极提升层的周围，从俯视方向上也呈现一个内侧六棱型形状，和阴极提升层的顶部六棱型形状是相对应的，但栅极增高层的侧壁是垂直于阴极玻璃面板的，栅极增高层的上顶面与阴极提升层的上顶面的高度是相同的，栅极增高层顶面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层7，栅极引线层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成栅极覆盖层8，碳纳米管9制备在转换层上面。

所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上，且栅极和阴极是集成到一起的，栅极位于碳纳米管阴极的上方，控制着碳纳米管阴极的电子发射。阴极引线层可以为金属金、银、铝、铜、铬、钼、锡。阴极导电层可以为金属金、银、铬、镍、钴、锡、钼、铝。转换层可以为金属镍、钼、钴、锡、铬。栅极引线层可以为金属金、银、镍、钴、锡、铬、钼、铝。栅极引线层和阴极引线层是相互垂直的。

一种带有多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板1的制作：对整体平板玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阴极引线层2的制作：在阴极玻璃面板上制备出一个金属层，如金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

3)阴极提升层3的制作：在阴极玻璃面板上制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成阴极提升层；

4)阴极导电层4的制作：在阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分制备出一个金属层，如金属铬层，刻蚀后形成阴极导电层；

5)转换层5的制作：在阴极导电层的上面制备出一个金属层，如金属镍层，刻蚀后形成转换层；

6)栅极增高层6的制作：在阴极玻璃面板上再次制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成栅极增高层；

7)栅极引线层7的制作：在栅极增高层的上顶面制备出一个金属层，如金属钴层，刻蚀后形成栅极引线层；栅极引线层和阴极引线层是相互垂直的；

8)栅极覆盖层8的制作：在栅极引线层的上面制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成栅极覆盖层；

9)多棱六边辐射型阴极发射结构的表面清洁处理：对多棱六边辐射型阴极发射结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

10)碳纳米管9的制备：在转换层的上面制备出碳纳米管；

11)阳极玻璃面板10的制作：对整体钠钙平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

12)阳极导电层11的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

13)绝缘浆料层12的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

14)荧光粉层13的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

15)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构14和玻璃围框15装配到一起，并将消气剂16放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

16)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤3具体为在阴极玻璃面板上制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成阴极提升层；阴极提升层位于阴极引线层的上面，但不能完全覆盖住阴极引线层；阴极提升层呈现半个六棱型结构，即上顶面为一个六棱型，侧面为六个梯形形状相互接触排列在四周，长边位于下方；阴极提升层的侧面是一个斜坡形状，从顶部六棱型的边缘一直延伸到底部阴极引线层上面；

所述步骤4具体为在阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分制备出一个金属铬层，刻蚀后形成阴极导电层；阴极导电层布满阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分，并和阴极玻璃面板上的阴极引线层相互连通；

所述步骤5具体为在阴极导电层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成转换层；转换层为线条型，一个线条型转换层位于阴极提升层顶部六棱形的边缘部分，其余的线条型转换层呈现辐射型位于阴极提升层的侧面斜坡面上；

所述步骤6具体为在阴极玻璃面板上再次制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成栅极增高层；栅极增高层和阴极提升层是相互隔离开来的；栅极增高层环绕在阴极提升层的周围，从俯视方向上也呈现一个内侧六棱型形状，和阴极提升层的顶部六棱型形状是相对应的，但栅极增高层的侧壁是垂直于阴极玻璃面板的；栅极增高层的上顶面与阴极提升层的上顶面的高度是相同的；

所述步骤13具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)；

所述步骤14具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)；

所述步骤16具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行高温烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (10)

1、一种多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板[1]、阳极玻璃面板[10]和四周玻璃围框[15]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[11]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[13]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[14]以及消气剂附属元件[16]，其特征在于：在阴极玻璃面板上有控制栅极[7]、碳纳米管[9]以及多棱六边辐射型阴极发射结构。

2、根据权利要求1所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器，其特征在于：所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的衬底材料为玻璃，也就是阴极玻璃面板[1]，阴极玻璃面板上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层[2]，阴极玻璃面板上的刻蚀后的二氧化硅一层形成阴极提升层[3]，阴极提升层位于阴极引线层的上面，但不能完全覆盖住阴极引线层，阴极提升层呈现半个六棱型结构，即上顶面为一个六棱型，侧面为六个梯形形状相互接触排列在四周，长边位于下方，阴极提升层的侧面是一个斜坡形状，从顶部六棱型的边缘一直延伸到底部阴极引线层上面，阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层[4]，阴极导电层布满阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分，并和阴极玻璃面板上的阴极引线层相互连通，阴极导电层上面的刻蚀后的金属层形成转换层[5]，转换层为线条型，一个线条型转换层位于阴极提升层顶部六棱形的边缘部分，其余的线条型转换层呈现辐射型位于阴极提升层的侧面斜坡面上，阴极玻璃面板上的刻蚀后的二氧化硅二层形成栅极增高层[6]，栅极增高层和阴极提升层是相互隔离开来的，栅极增高层环绕在阴极提升层的周围，从俯视方向上也呈现一个内侧六棱型形状，和阴极提升层的顶部六棱型形状是相对应的，但栅极增高层的侧壁是垂直于阴极玻璃面板的，栅极增高层的上顶面与阴极提升层的上顶面的高度是相同的，栅极增高层顶面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层[7]，栅极引线层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成栅极覆盖层[8]，碳纳米管[9]制备在转换层上面。

3、根据权利要求2所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器，其特征在于：所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上，且栅极和阴极是集成到一起的，栅极位于碳纳米管阴极的上方，控制着碳纳米管阴极的电子发射，阴极引线层为金属金、银、铝、铜、铬、钼、锡，阴极导电层为金属金、银、铬、镍、钴、锡、钼、铝，转换层为金属镍、钼、钴、锡、铬，栅极引线层为金属金、银、镍、钴、锡、铬、钼、铝，栅极引线层和阴极引线层是相互垂直的。

4、一种多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阴极引线层[2]的制作：在阴极玻璃面板上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

3)阴极提升层[3]的制作：在阴极玻璃面板上制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成阴极提升层；

4)阴极导电层[4]的制作：在阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

5)转换层[5]的制作：在阴极导电层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成转换层；

6)栅极增高层[6]的制作：在阴极玻璃面板上再次制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成栅极增高层；

7)栅极引线层[7]的制作：在栅极增高层的上顶面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；栅极引线层和阴极引线层是相互垂直的；

8)栅极覆盖层[8]的制作：在栅极引线层的上面制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成栅极覆盖层；

9)多棱六边辐射型阴极发射结构的表面清洁处理：对多棱六边辐射型阴极发射结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

10)碳纳米管[9]的制备：在转换层的上面制备出碳纳米管；

11)阳极玻璃面板[10]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

12)阳极导电层[11]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

13)绝缘浆料层[12]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

14)荧光粉层[13]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

15)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[14]和玻璃围框[15]装配到一起，并将消气剂[16]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

16)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

5、根据权利要求4所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤3具体为在阴极玻璃面板上制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成阴极提升层；阴极提升层位于阴极引线层的上面，但不能完全覆盖住阴极引线层；阴极提升层呈现半个六棱型结构，即上顶面为一个六棱型，侧面为六个梯形形状相互接触排列在四周，长边位于下方；阴极提升层的侧面是一个斜坡形状，从顶部六棱型的边缘一直延伸到底部阴极引线层上面。

6、根据权利要求4所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤4具体为在阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；阴极导电层布满阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分，并和阴极玻璃面板上的阴极引线层相互连通。

7、根据权利要求4所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤6具体为在阴极玻璃面板上再次制备出一个二氧化硅层，刻蚀后形成栅极增高层；栅极增高层和阴极提升层是相互隔离开来的；栅极增高层环绕在阴极提升层的周围，从俯视方向上也呈现一个内侧六棱型形状，和阴极提升层的顶部六棱型形状是相对应的，但栅极增高层的侧壁是垂直于阴极玻璃面板的；栅极增高层的上顶面与阴极提升层的上顶面的高度是相同的；

8、根据权利要求4所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤14具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

9、根据权利要求4所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤15具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

10、根据权利要求4所述的一种带有多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行高温烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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