CN1667790A - 底栅结构的三极场发射显示器及其制作工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种带有底栅结构的碳纳米管阴极的三极结构场致发射显示器及其制作工艺，显示器包括由阴极面板、阳极面板和玻璃围框构成的密封真空腔，在阴极面板上有印刷的碳纳米管阴极以及控制碳纳米管电子发射的底栅结构控制栅极，在阳极面板上有光刻的锡铟氧化物薄膜层以及制备在锡铟氧化物薄膜层上面的荧光粉层，在阴极面板上制作有底栅结构，用于控制碳纳米管阴极的电子发射，具有结构简单、制作工艺简单、制作成本低廉、制作过程稳定可靠的优点。
Description
技术领域
本发明属于真空科学技术、纳米科学技术、平面显示技术以及微电子技术的相互交叉领域，涉及到场致发射平板显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的三极结构场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及到带有底栅结构的、碳纳米管阴极的、三极结构的场致发射平面显示器件的制作工艺。
背景技术
碳纳米管是一种特殊的冷阴极材料，能够仅仅在外界电压的作用下发射大量的电子，这是由于其特殊的结构而决定的。对于利用碳纳米管作为阴极材料的场致发射平面显示器件来说，为了能够最大程度的降低生产成本，降低整体器件的工作电压，以便于和常规的IC电路相结合，制作三极结构的场致发射平面显示器件是一个必然的选择。
在三极结构的碳纳米管阴极场致发射显示器件中，栅极结构对于碳纳米管阴极的电子发射起着必要的控制作用。栅极结构的制作工艺以及栅极衬底材料的选择都有着十分严格的要求。其中，控制栅极结构形式的选择也是研究人员重点考虑的内容之一，目前，大多数平板显示器件中都选择了控制栅极位于碳纳米管阴极上方的结构形式，栅极结构的强有力控制作用很明显。但是所形成的栅极电流比较大，对于器件的材料要求比较高，在器件的制作过程中容易使得碳纳米管阴极受到一定的损伤和污染，这是其不利之处。
目前，各制作企业或者研究机构使用的用来制作控制栅极的材料各不相同，但大多都使用了专用的特殊制作材料，同时也使用了特殊的制作工艺，这就带来了一系列的问题，如：器件制作成本高；制作过程复杂；制作工艺条件要求过于苛刻，无法进行大面积制作等等。
此外，还需要进一步降低整体平板显示器件的制作成本，器件制作过程免于复杂化，有利于进行商业化的大规模生产。
发明内容
本发明的目的在于克服上述场致发射显示器中存在的缺点而提供一种带有底栅结构的、制作过程稳定可靠、结构简单、成品率高、成本低廉的三极场发射平面显示器及其制作工艺。
本发明主要包括由阴极面板、阳极面板和玻璃围框构成的密封真空腔，在阴极面板上有印刷的碳纳米管阴极以及控制碳纳米管电子发射的底栅结构控制栅极，在阳极面板上有光刻的锡铟氧化物薄膜层以及制备在锡铟氧化物薄膜层上面的荧光粉层。其特征在于栅极结构位于碳纳米管阴极的底部和两侧，用于控制碳纳米管阴极的电子发射。
本发明中的底栅结构的固定位置为安装固定在阴极面板上；本发明中底栅结构的控制栅极位于碳纳米管阴极的底部和两侧，用于控制碳纳米管阴极的电子发射；本发明中的底栅结构的衬底材料为大型、具有相当良好的耐热性和可操作性、成本低廉的高性能绝缘材料；本发明中的底栅结构中的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃，硼硅玻璃；本发明中的底栅结构中的底部控制栅极导电条为银浆条，也可以为锡铟氧化物薄膜导电层，也可以为铬、镍、金、银金属；本发明中的底栅结构中的银浆条是结合丝网印刷工艺完成的；本发明中的底栅结构中的绝缘隔离层为绝缘浆料层，是结合丝网印刷工艺完成的；本发明中的底栅结构中的侧壁控制栅极导电条为银浆条，是结合丝网印刷工艺完成的；本发明中的底栅结构中的侧壁控制栅极导体条和底部栅极导电条是相互连通的；本发明中的底栅结构中的侧壁控制栅极导电条位于碳纳米管阴极导电条的两侧，并且利用绝缘浆料进行相互隔离开；本发明中的底栅结构中的侧壁控制栅极导电条可以高于碳纳米管阴极导电条的制作平面，也可以和碳纳米管阴极导电条位于同一水平面上，也可以略低于碳纳米管阴极导电条的制作平面；本发明中的底栅结构中的侧壁控制栅极导电条也可以为金属铝、金、镍、铬，采用常规蒸镀或者溅射工艺来完成；本发明中的底栅结构中需要在绝缘隔离层上制作碳纳米管阴极导电条；本发明中的底栅结构中在绝缘隔离层上印刷银浆来作为碳纳米管阴极导电条，是结合丝网印刷工艺完成的；本发明中的底栅结构中的碳纳米管阴极导电条可以为银浆条，也可以为铝、金、镍、铬，采用常规的蒸镀或者溅射工艺来完成；本发明中的底栅结构中的碳纳米管阴极导电条的走向是和底部控制栅极导电条的走向相互垂直的；本发明中的底栅结构中的碳纳米管阴极导电条和侧壁控制栅极导电条之间是相互隔离开的，其相互隔离开的距离大于或等于碳纳米管阴极导电条和底部控制栅极导电条之间的垂直距离；本发明中的底栅结构中需要在绝缘隔离层上再次印刷绝缘保护层；本发明中的底栅结构中的绝缘保护层是绝缘浆料层，是结合丝网印刷工艺完成的；本发明中的底栅结构中的绝缘保护层需要在碳纳米管阴极导电条的上方预留出碳纳米管阴极的空余之处，为后续的碳纳米管阴极制备和后处理作准备，其余之处全部用绝缘保护层覆盖起来；本发明中的底栅结构中由衬底材料玻璃、底部控制栅极导电条、绝缘隔离层、侧壁控制栅极导电条、碳纳米管阴极导电条和绝缘保护层构成。
本发明中的底栅结构采用如下的工艺进行制作：
1)衬底材料玻璃[1]的准备：
对整体衬底材料玻璃进行划片；
2)底部控制栅极导电条[2]的制作：
结合丝网印刷工艺，在衬底材料玻璃上印刷银浆，形成底部控制栅极导电条[2]；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：585℃，保持时间：10分钟)；
3)绝缘隔离层[3]的制作：
结合丝网印刷工艺，在衬底材料玻璃上印刷绝缘浆料，形成绝缘隔离层[3]；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：590℃，保持时间：10分钟)；
4)侧壁控制栅极导电条[4]的制作：
结合丝网印刷工艺，在衬底材料玻璃上印刷银浆，形成侧壁控制栅极导电条[4]。经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：585℃，保持时间：10分钟)。由于在制作绝缘隔离层的时候已经预留了空余之处，因此能够将银浆印刷在绝缘隔离层的空余之处，和底部控制栅极导电条[2]相连通。所以当在底部控制栅极导电条上施加电压的时候，也就同时在侧壁控制栅极导电条上施加了电压。由于在绝缘浆料隔离层的上面还要印刷碳纳米管阴极导电条，并且碳纳米管阴极导电条的走向是和底部控制栅极导电条的走向相互垂直的，所以侧壁控制栅极导电条位于碳纳米管阴极导电条的两侧，并且利用绝缘浆料进行相互隔离开。
5)碳纳米管阴极导电条[5]的制作：
结合丝网印刷工艺，在绝缘浆料隔离层[3]上面印刷银浆，形成碳纳米管阴极导电条[5]。经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：585℃，保持时间：10分钟)。其中，碳纳米管阴极导电条[5]的走向是和底部控制栅极导电条[2]的走向相互垂直的，并且碳纳米管阴极导电条[5]和侧壁控制栅极导电条[4]之间相互隔离开，其相互隔离开的距离等于碳纳米管阴极导电条[5]和底部控制栅极导电条[2]之间的垂直距离。
6)绝缘保护层[6]的制作：
结合丝网印刷工艺，在绝缘隔离层上再次印刷绝缘保护层[6]。经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：590℃，保持时间：10分钟)。要求在碳纳米管阴极导电条的上方预留出碳纳米管阴极的空余之处，其余之处全部用绝缘浆料保护层覆盖起来。
7)玻璃表面的处理
对整体玻璃表面进行清洁处理，除掉杂质。
本发明中的带有底栅结构的碳纳米管阴极场致发射平板显示器按照如下的工艺进行制作：
1、阴极板的制作：
1)碳纳米管阴极[7]的印刷：
结合丝网印刷工艺，将碳纳米管[7]印刷在预留的绝缘保护层的空余之处。
2)碳纳米管[7]阴极的后处理
对印刷后的碳纳米管[7]阴极进行后处理，以改善碳纳米管的场发射特性。
2、阳极面板的制作：
1)清洁平板玻璃[8]，除掉表面杂质；
2)在平板玻璃[8]上蒸镀一层锡铟氧化物[9]薄膜；
3)对锡铟氧化物[9]薄膜进行光刻，形成导电条；
4)结合丝网印刷工艺，在导电条的非显示区域印刷绝缘浆料[10]层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)；
5)结合丝网印刷工艺，在导电条上面的显示区域印刷荧光粉层[11]；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)；
3、器件装配
将阴极面板、阳极面板以及玻璃围框[12]装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定。
5、成品制作
对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤：放入烧结炉当中进行高温烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
本发明具有如下积极效果：
本发明中的底栅结构中的控制栅极部分是位于碳纳米管阴极的底部和两侧，用于控制碳纳米管阴极电子的场致发射。当在控制栅极上施加适当电压的时候，碳纳米管阴极就会发射出大量的电子，所发射的电子在阳极高电压的作用下，直接向阳极高速运动，轰击荧光粉层而发光，由于控制栅极位于碳纳米管阴极的底部和两侧，并且用绝缘隔离层和碳纳米管阴极相互隔离开，所以所发射的电子不会受到控制栅极结构的截流，这样所形成的控制栅极电流也就比较小，极大地提高了碳纳米管阴极的场致发射效率，也提高了显示器件的发光效率。在本发明中的底栅结构中，由于在碳纳米管阴极导电条的两侧也同时制作了侧壁控制栅极导电条部分，起到了进一步增强碳纳米管顶端的电场强度的效应，进一步提高了碳纳米管阴极发射电子的能力，改善了显示器件的场致发射性能。在本发明中的底栅结构中，从制作工艺的角度来看，是先制作了底栅结构，后制作碳纳米管阴极。当所有的控制栅极结构部分都制作完毕之后，才进行碳纳米管阴极部分的制作，这样，所制作的碳纳米管阴极不会受到控制栅极结构制作工艺的干扰，也就不会对碳纳米管阴极部分产生污染和损伤，极大地提高了器件制作的成功率，改进了碳纳米管阴极的场致发射电子的能力。另外，在底栅结构的制作过程中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。
该带有底栅结构的三极碳纳米管阴极场致发射平面显示器包括有如下的主要组成部分：由阴极面板、阳极面板和玻璃围框构成的密封真空腔，在阴极面板上有印刷的碳纳米管阴极以及控制碳纳米管电子发射的底栅结构控制栅极，在阳极面板上有光刻的锡铟氧化物薄膜层以及制备在锡铟氧化物薄膜层上面的荧光粉层。其特征在于栅极结构位于碳纳米管阴极的底部和两侧，用于控制碳纳米管阴极的电子发射。
附图说明
图1给出了底栅结构的纵向结构示意图。
图2给出了底栅结构的横向结构示意图。
图3中给出了一个带有底栅结构的的碳纳米管阴极场致发射平面显示器的
实施例的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于这些实施例。
如图1、2、3所示，包括有由阴极面板玻璃[1]、阳极面板玻璃[8]和玻璃围框[12]所构成的密封真空腔，在阴极面板玻璃[1]上有印刷的碳纳米管阴极[7]以及控制碳纳米管[7]电子发射的底栅结构控制栅极，在阳极面板玻璃[8]上有光刻的锡铟氧化物薄膜层[9]以及制备在锡铟氧化物薄膜层[9]上面的荧光粉层[11]。控制栅极部分位于碳纳米管阴极的底部和两侧，用于控制碳纳米管阴极的电子发射。其中两侧的控制栅极部分对碳纳米管阴极的电子发射起到了增强效应。在进一步减小栅极电流、提高碳纳米管阴极场致发射性能、改进显示器件的场发射效率的同时，还能够进一步降低整体平板器件的制作成本，简化整体器件制作工艺和制作过程。
本发明中的底栅结构采用如下的工艺进行制作：
1)衬底材料玻璃[1]的准备：
对整体衬底材料玻璃进行划片；
2)底部控制栅极导电条[2]的制作：
结合丝网印刷工艺，在衬底材料玻璃上印刷银浆，形成底部控制栅极导电条[2]；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：585℃，保持时间：10分钟)；
3)绝缘隔离层[3]的制作：
结合丝网印刷工艺，在衬底材料玻璃上印刷绝缘浆料，形成绝缘隔离层[3]；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：590℃，保持时间：10分钟)；
4)侧壁控制栅极导电条[4]的制作：
结合丝网印刷工艺，在衬底材料玻璃上印刷银浆，形成侧壁控制栅极导电条[4]。经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：585℃，保持时间：10分钟)。由于在制作绝缘隔离层的时候已经预留了空余之处，因此能够将银浆印刷在绝缘隔离层的空余之处，和底部控制栅极导电条[2]相连通。所以当在底部控制栅极导电条上施加电压的时候，也就同时在侧壁控制栅极导电条上施加了电压。由于在绝缘浆料隔离层的上面还要印刷碳纳米管阴极导电条，并且碳纳米管阴极导电条的走向是和底部控制栅极导电条的走向相互垂直的，所以侧壁控制栅极导电条位于碳纳米管阴极导电条的两侧，并且利用绝缘浆料进行相互隔离开。
5)碳纳米管阴极导电条[5]的制作：
在绝缘浆料隔离层[3]上面印刷银浆，形成碳纳米管阴极导电条[5]。经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：585℃，保持时间：10分钟)。其中，碳纳米管阴极导电条[5]的走向是和底部控制栅极导电条[2]的走向相互垂直的，并且碳纳米管阴极导电条[5]和侧壁控制栅极导电条[4]之间相互隔离开，其相互隔离开的距离等于碳纳米管阴极导电条[5]和底部控制栅极导电条[2]之间的垂直距离。
6)绝缘保护层[6]的制作：
结合丝网印刷工艺，在绝缘隔离层上再次印刷绝缘保护层[6]。经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：590℃，保持时间：10分钟)。要求在碳纳米管阴极导电条的上方预留出碳纳米管阴极的空余之处，其余之处全部用绝缘浆料保护层覆盖起来。
7)玻璃表面的处理
对整体玻璃表面进行清洁处理，除掉杂质。
本发明中的带有底栅结构的碳纳米管阴极场致发射平板显示器按照如下的工艺进行制作：
1、阴极板的制作：
1)碳纳米管阴极[7]的印刷：
结合丝网印刷工艺，将碳纳米管[7]印刷在预留的绝缘保护层的空余之处。
2)碳纳米管[7]阴极的后处理
对印刷后的碳纳米管[7]阴极进行后处理，以改善碳纳米管的场发射特性。
2、阳极面板的制作：
1)清洁平板玻璃[8]，除掉表面杂质；
2)在平板玻璃[8]上蒸镀一层锡铟氧化物[9]薄膜；
3)对锡铟氧化物[9]薄膜进行光刻，形成导电条；
4)结合丝网印刷工艺，在导电条的非显示区域印刷绝缘浆料[10]层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)；
5)结合丝网印刷工艺，在导电条上面的显示区域印刷荧光粉层[11]；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)；
3、器件装配
将阴极面板、阳极面板以及玻璃围框[12]装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定。
5、成品制作
对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行高温烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
Claims (8)
1、一种底栅结构的三极场发射显示器，包括有阴极面板[1]、阳极面板[8]以及玻璃围框[12]所构成的密封真空腔，在阴极面板玻璃[1]上有印刷的碳纳米管阴极[7]以及控制碳纳米管[7]电子发射的底栅结构控制栅极，在阳极面板[8]上有光刻的锡铟氧化物薄膜层[9]以及制备在锡铟氧化物薄膜层[9]上面的荧光粉层[11]，其特征在于：底栅结构位于碳纳米管阴极的底部和两侧，用于控制碳纳米管阴极的电子发射。
2、如权利要求1所述的一种底栅结构的三极场发射显示器，其特征在于：所述底栅结构中由衬底材料玻璃[1]、底部控制栅极导电条[2]、绝缘隔离层[3]、侧壁控制栅极导电条[4]、碳纳米管阴极导电条[5]和绝缘保护层[6]构成，底栅结构位于碳纳米管阴极的底部和两侧，其固定位置为安装固定在阴极面板玻璃上。
3、如权利要求1所述的一种底栅结构的三极场发射显示器，其特征在于：所述底栅结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃，硼硅玻璃。
4、如权利要求1所述的一种底栅结构的三极场发射显示器，其特征在于：所述底栅结构中的底部控制栅极导电条为银浆条，是结合丝网印刷工艺完成的，也可以为锡铟氧化物薄膜导电层，也可以为铬、镍、金、银金属。底栅结构中的绝缘隔离层为绝缘浆料层。
5、如权利要求1所述的一种底栅结构的三极场发射显示器，其特征在于：所述底栅结构中的侧壁控制栅极导电条为银浆条，侧壁控制栅极导体条和底部栅极导电条是相互连通的，侧壁控制栅极导电条位于碳纳米管阴极导电条的两侧，并且利用绝缘浆料进行相互隔离开，侧壁控制栅极导电条可以高于碳纳米管阴极导电条的制作平面，也可以和碳纳米管阴极导电条位于同一水平面上，也可以略低于碳纳米管阴极导电条的制作平面；侧壁控制栅极导电条也可以为金属铝、金、镍、铬。
6、如权利要求1所述的一种底栅结构的三极场发射显示器，其特征在于：所述底栅结构中需要在绝缘隔离层上制作碳纳米管阴极导电条，底栅结构中的碳纳米管阴极导电条可以为银浆条，也可以为铝、金、镍、铬，碳纳米管阴极导电条的走向是和底部控制栅极导电条的走向相互垂直的，碳纳米管阴极导电条和侧壁控制栅极导电条之间是相互隔离开的，其相互隔离开的距离大于或等于碳纳米管阴极导电条和底部控制栅极导电条之间的垂直距离。
7、如权利要求1所述的一种底栅结构的三极场发射显示器，其特征在于：所述底栅结构中需要在绝缘隔离层上再次印刷绝缘保护层，底栅结构中的绝缘保护层是绝缘浆料层，绝缘保护层需要在碳纳米管阴极导电条的上方预留出碳纳米管阴极的空余之处，为后续的碳纳米管阴极制备和后处理作准备，其余之处全部用绝缘保护层覆盖起来。
8、如权利要求1所述的一种底栅结构的三极场发射显示器，其特征在于：所述底栅结构采用如下的工艺进行制作：
1)衬底材料玻璃[1]的准备：
对整体衬底材料玻璃进行划片；
2)底部控制栅极导电条[2]的制作：
结合丝网印刷工艺，在衬底材料玻璃上印刷银浆，形成底部控制栅极导电条[2]；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：585℃，保持时间：10分钟)；
3)绝缘隔离层[3]的制作：
结合丝网印刷工艺，在衬底材料玻璃上印刷绝缘浆料，形成绝缘隔离层[3]；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：590℃，保持时间：10分钟)；
4)侧壁控制栅极导电条[4]的制作：
结合丝网印刷工艺，在衬底材料玻璃上印刷银浆，形成侧壁控制栅极导电条[4]。经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：585℃，保持时间：10分钟)。由于在制作绝缘隔离层的时候已经预留了空余之处，因此能够将银浆印刷在绝缘隔离层的空余之处，和底部控制栅极导电条[2]相连通。所以当在底部控制栅极导电条上施加电压的时候，也就同时在侧壁控制栅极导电条上施加了电压。由于在绝缘浆料隔离层的上面还要印刷碳纳米管阴极导电条，并且碳纳米管阴极导电条的走向是和底部控制栅极导电条的走向相互垂直的，所以侧壁控制栅极导电条位于碳纳米管阴极导电条的两侧，并且利用绝缘浆料进行相互隔离开。
5)碳纳米管阴极导电条[5]的制作：
结合丝网印刷工艺，在绝缘浆料隔离层[3]上面印刷银浆，形成碳纳米管阴极导电条[5]。经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：585℃，保持时间：10分钟)。其中，碳纳米管阴极导电条[5]的走向是和底部控制栅极导电条[2]的走向相互垂直的，并且碳纳米管阴极导电条[5]和侧壁控制栅极导电条[4]之间相互隔离开，其相互隔离开的距离等于碳纳米管阴极导电条[5]和底部控制栅极导电条[2]之间的垂直距离。
6)绝缘保护层[6]的制作：
结合丝网印刷工艺，在绝缘隔离层上再次印刷绝缘保护层[6]。经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：590℃，保持时间：10分钟)。要求在碳纳米管阴极导电条的上方预留出碳纳米管阴极的空余之处，其余之处全部用绝缘浆料保护层覆盖起来。
7)玻璃表面的处理
对整体玻璃表面进行清洁处理，除掉杂质。
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