KR100765518B1

KR100765518B1 - 플라즈마 표시장치 및 그의 제조방법

Info

Publication number: KR100765518B1
Application number: KR1020040108303A
Authority: KR
Inventors: 문병준; 김창현
Original assignee: 엘지전자 주식회사
Priority date: 2004-12-17
Filing date: 2004-12-17
Publication date: 2007-10-10
Also published as: KR20060069187A; CN1790594A; JP2006171764A; EP1672669A2; CN100514536C; EP1672669A3; DE602005007562D1; EP1672669B1; US20060145620A1; US7928659B2

Abstract

본 발명은 패널 단자부가 개선된 플라즈마 표시장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다.

이와 같은 본 발명의 플라즈마 표시장치는 다수의 전극이 형성된 패널 표시부와 상기 전극에 구동신호를 공급하기 위한 패널 단자부로 이루어지고, 상기 패널 단자부는 패널 표시부의 전극에 연장되어 형성된 전극패드, 상기 전극패드에 전기적으로 접속되어 상기 전극 구동신호를 공급하기 위한 필름형 소자, 및 상기 전극패드와 필름형 소자의 접속부를 덮는 난연성 재료를 포함한 방습층을 포함한다.

Description

플라즈마 표시장치 및 그의 제조방법{Plasma Display Apparatus and Manufacturing Method thereof }

도 1은 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 사시도.

도 2는 종래 플라즈마 표시장치의 구조를 나타낸 투사 평면도.

도 3은 종래 플라즈마 표시장치의 부분 단면도.

도 4는 본 발명에 따른 플라즈마 표시장치를 나타낸 투사 평면도.

도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 표시장치의 부분 단면도.

도 6은 본 발명에 따른 플라즈마 표시장치의 난연성 재료를 포함한 방습층의 형성방법을 나타낸 공정도.

***** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *****

10A,10'A: 전면 패널 10B,10'B: 후면 패널

1A,1'A: 전면 글라스 1B,1'B: 후면 글라스

2,2': 투명 전극 3,3': 금속버스전극

4,4': 유전체층 5,5': 보호막

본 발명은 플라즈마 표시 장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 플라즈마 표시 장치의 단자부 구조를 달리하여 전극 손상 방지 및 난연성을 확보할 수 있는 플라즈마 표시 장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로, 플라즈마 표시장치는 소다라임(Soda-lime) 글라스로 된 전면 패널과 후면 패널 사이에 형성된 격벽이 하나의 단위 셀을 이루고, 각 셀 내에는 헬륨-크세논(He-Xe), 헬륨-네온(He-Ne) 등과 같은 불활성 가스가 고주파 전압에 의해 방전이 될 때, 진공자외선(Vacuum Ultraviolet rays)이 발생되어 격벽 사이에 형성된 형광체를 발광시켜 화상을 구현하는 장치이다.

도 1은 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도이다. 도시된 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널은 화상이 디스플레이 되는 표시면인 전면 글라스(1A)에 스캔 전극(Y) 및 서스테인 전극(Z)이 쌍을 이뤄 형성된 복수의 유지전극쌍이 배열된 전면패널(10A) 및 배면을 이루는 후면 글라스(1B) 상에 전술한 복수의 유지전극쌍과 교차되도록 복수의 어드레스 전극(X)이 배열된 후면패널(10B)이 일정거리를 사이에 두고 평행하게 결합된다.

전면패널(10A)은 하나의 방전셀에서 상호 방전시키고 셀의 발광을 유지하기 위한 스캔 전극(Y) 및 서스테인 전극(Z), 즉 투명한 ITO 물질로 형성된 투명 전극(2Y, 2Z: 2)과 금속재질로 제작된 버스 전극(3Y, 3Z: 3)으로 구비된 스캔 전극(Y) 및 서스테인 전극(Z)이 쌍을 이뤄 포함된다. 스캔 전극(Y) 및 서스테인 전극(Z)은 방전 전류를 제한하며 전극 쌍 간을 절연시켜주는 유전체층(4)에 의해 덮혀지고, 상부 유전체층(4) 상면에는 방전 조건을 용이하게 하기 위하여 산화마그네슘(MgO) 을 증착한 보호층(5)이 형성된다.

후면패널(10B)은 복수 개의 방전 공간 즉, 방전셀을 형성시키기 위한 스트라이프 타입의 격벽(7)이 평행을 유지하여 배열된다. 또한, 어드레스 방전을 수행하여 진공자외선을 발생시키는 다수의 어드레스 전극(X)이 격벽(7)에 대해 평행하게 배치된다. 후면패널(10B)의 상측면에는 어드레스 방전시 화상표시를 위한 가시광선을 방출하는 R, G, B 형광체(8)가 도포된다. 어드레스 전극(X)과 형광체(8) 사이에는 어드레스 전극(X)을 보호하기 위한 하부 유전체층(9)이 형성된다.

이와 같은 구조를 갖는 종래 플라즈마 디스플레이 패널은 플라즈마 표시장치의 일 구성요소로, 배면에 스캔, 서스테인 구동부 및 어드레스 구동부가 설치된 프레임이 형성되고, 각 구동부로부터 소정의 신호를 플라즈마 디스플레이 패널에 공급하기 위한 단자부가 형성된다.

도 2는 종래 플라즈마 표시장치를 나타낸 투사 평면도이고, 도 3은 도 2에 따른 플라즈마 표시장치에서 A-A'로 자른 일 단면도이다. 도 2 및 도 3를 참조하면, 종래에 따른 플라즈마 표시장치는 플라즈마 디스플레인 패널인 패널 표시부(D1)와 패널 단자부(D2)로 나뉘어진다.

먼저 패널 표시부(D1)는 도 1에서 설명한 바와 같이 동일한 구조로 형성된다. 이를 설명하면, 패널 표시부(D1)는 전면패널(10A), 후면패널(10B), 전면패널(10A) 및 후면패널(10B)을 봉합하여 방전셀을 구성하는 시일(Seal)재(12)로 구성된다. 전면패널(10A)은 전면 글라스(1A) 상에 나란하게 형성된 스캔전극 또는 서스테인전극을 구성하는 투명전극(2Y,2Z ; 2)과, 투명전극(2Y,2Z ; 2) 상의 가장자리에 형성된 금속버스전극(3Y,3Z ; 3)과, 금속버스전극(3Y,3Z ; 3)로부터 연장되어 패널단자부(D2)까지 연장되는 금속버스전극패드(11)와, 투명전극(2), 금속버스전극(3) 및 금속버스전극패드(11)를 덮도록 전면 글라스(1A) 상에 순차적으로 적층된 상부 유전체층(4) 및 보호막(5)을 구비한다. 후면패널(10B)은 후면 글라스(1B) 상에 스캔전극 또는 서스테인전극과 직교하도록 형성된 어드레스전극(X)과, 어드레스전극(X)을 덮도록 후면 글라스(미도시) 상에 적층된 하부 유전체층(미도시)을 구비한다.

패널 단자부(D2)는 전면 글라스(1A) 상에 패널 표시부(D1)로부터 연장하여 형성된 금속버스전극패드(11)와, 상기 금속버스전극패드(11)와 접속되어 인쇄회로기판(PCB)에서 제어하는 구동신호를 공급하는 필름형 소자(14)로 구성된다. 이 때 금속버스전극패드(11)와 필름형 소자(14)는 이방전도성 필름(Anisotropic Conductive Film ; 이하, 'ACF'라 함)(16)에 의해 접착되어진다. ACF(16)는 금속 코팅된 에폭시 또는 금속입자 등의 전도성입자를 분산시킨 필름 형태를 가지며, 금속버스전극(3)과 필름형 소자(14)를 전기적으로 접속하는 역할을 한다.

한편, 필름형 소자(14)와 금속버스전극패드(11)가 이방전도성 필름(16)에 접착되어지는 패널 단자부(D2)에는 은(Ag)으로 구성된 금속버스전극패드(11)가 외부 공기에 노출되어 있기 때문에 PDP 구동시 외부 환경인 온도, 수분, 부식성 가스나 전도성 이물과의 반응 즉, 마이그레이션(Migration)에 의해 전극들이 손상되는 문제점이 있다.

이와 같은 마이그레이션 현상에 대하여는 다음 화학식1 내지 화학식 5를 바 탕으로 설명될 수 있다.

화학식 1)

Ag + + e - →Ag

화학식 2)

O₂ + 2H₂O + 4e - →4OH -

화학식 3)

2H ₂ O + 2e - →40H -

화학식 4)

Ag →Ag + + e -

화학식 5)

H ₂O →1/2 O₂+ 2H + + 2e -

먼저, 인접한 두 전극이 은(Ag)을 포함하고 이들 두 전극의 패드들(11) 사이에 전위차가 발생하면, 인접한 두 전극의 패드들(11)은 각각 음극(Cathod)과 양극(Anode)으로 되어 화학식 4와 같이 양극에서 은의 양이온(Ag + )이 용출하여 용존 산소 하에서 음극으로 이동하여 음극에서 화학식 1과 같이 환원반응이 일어나 음극 상에서 은이 석출된다. 화학식2 및 3은 마이그레이션의 발생속도를 결정하는 율속결정단계이며, 화학식 2는 용존산소의 환원반응을 나타내고 화학식 3은 전기분해와 수소발생반응을 나타낸다.

인가전압이 상승하여 두 전극의 패드들(11) 사이에 전압차가 커지게 되면 전 류가 증가하여 마이그레이션 발생이 그 만큼 가속된다. 다시 말하여, 인가전압이 상승하면 음극의 초기반응인 화학식 2 및 화학식 3에 의해 음극의 전류를 증가시켜 양극에서 은의 용출반응 전류가 증가하게 된다. 즉, 두 전극의 패드들(11) 사이에 화학식 5와 같이 전기분해가 일어나 산소가 발생하면 양극에 존재하는 은의 Ag + 이 음극으로 이동하여 음극의 표면에서 화학식 2 및 3과 같은 반응이 일어나게 되어 OH - 와 결합하여 음극 표면에서 AgOH, Ag, Ag₂O 화합물의 콜라이드(Collide) 형태로 분산된다. 그 결과, 두 전극의 패드들(11) 사이에 전위차가 크게 되면 표면변색이 일어남은 물론, 인접한 두 패드들(11) 각각에서 전극개방(Open)이 일어나거나 두 패드들(11) 사이에 단락(Short)이 발생된다.

이와 같이 수분의 반응으로 인한 전극 변색 및 전극 단락을 방지하기 위하여 종래에는 패널 단자부에 경화강도가 크고 내습성이 좋은 에폭시 아크릴레이트(epoxy acrylate) 계의 수지인 자외선 경화형 수지를 도포하였다.

한편, PDP는 구동시 전압로드나 스위칭 소자의 스위칭 로드 기타 여러 가지 원인의 로드에 따라 발생되는 열에 의하여 방전셀이 켜져야 할 셀이 꺼지거나 방전셀이 꺼져야 할 셀이 켜지는 이상방전 및 오방전이 발생하는 문제점이 있다. 또한, 로드가 더욱 커져 발열이 심할 경우, PDP의 구성부 중 열이 많이 발생되는 필름형 소자를 포함한 패널 단자부에 화재가 발생하여 PDP의 기능을 완전히 상실하게 되는 문제점이 있다.

이러한 문제점 즉, 발열로 인한 오방전 및 이상방전과 같은 화질 저하 문제 점은 종래 회로부에서 패널에 인가되는 전압이나 전압파형을 조절하여 개선하였지만, PDP 구동시 실제 발생되는 열에 대하여는 플라즈마 디스플레이 패널 후면에 부착되는 방열판이나 구동회로 기판 상부에 형성된 히트싱크를 이용한 방열을 제외하고는 다른 구체적인 방열 수단이 없어 방열특성이 좋지 않을 경우 전술한 표시 단자부는 화재에 취약하여 PDP의 기능을 완전히 상실하게 되는 문제점이 있다.

따라서 본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 플라즈마 표시장치의 패널 단자부의 열에 의한 화재에도 쉽게 타지 않을 수 있는 난연성을 확보하고 동시에 내습성 확보를 통하여 전극 손상을 방지할 수 있는 플라즈마 표시장치 및 그의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명은 다수의 전극이 형성된 패널 표시부와 상기 전극에 구동신호를 공급하기 위한 패널 단자부로 이루어진 플라즈마 표시장치에 있어서, 상기 패널 단자부는 패널 표시부의 전극에 연장되어 형성된 전극패드, 상기 전극패드에 전기적으로 접속되어 상기 전극 구동신호를 공급하기 위한 필름형 소자, 및 상기 전극패드와 필름형 소자의 접속부를 덮는 난연성 재료를 포함한 방습층을 포함한다.

상기 패널 표시부의 전극은 스캔전극, 서스테인전극, 데이터전극 중 어느 하나 인 것을 특징으로 한다.

상기 난연성 재료는 할로겐 물질계, 알루미늄(Al)계, 인(P)계, 멜라민계 수 지 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 방습층은 자외선 경화성 수지를 포함하고, 상기 자외선 경화성 수지는 올리고머(Oligomer) 또는 모노머(Monomer) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 난연성 재료의 질량비는 난연성 재료를 포함한 전체 방습층의 질량에 대한 20wt%이상 50wt%이하인 것을 특징으로 한다.

상기 자외선 경화성 수지의 질량비는 난연성 재료를 포함한 전체 방습층의 질량에 대한 60wt%이상 80wt%이하인 것을 특징으로 한다.

상기 자외선 경화성 수지의 점도는 2000cps이상 30000cps이하 인 것을 특징으로 한다.

이하에서는 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명하기로 한다.

도 4는 본 발명에 따른 플라즈마 표시장치를 나타낸 투사 평면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 표시장치에서 A'-A"을 자른 부분 단면도이다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 플라즈마 표시장치는 다수의 전극이 형성된 플라즈마 디스플레이 패널 즉, 화면이 표시되는 패널 표시부(D'1)와 패널 표시부 내의 전극에 구동신호를 공급하기 위한 패널 단자부(D'2)를 포함한다.

먼저, 패널 표시부(D'1)는 종래와 마찬가지로 전면패널(10'A), 후면패널(10'B), 전면패널(10'A) 및 후면패널(10'B)을 봉합하여 방전셀을 형성하는 시일(Seal)재(12')로 구성된다. 전면패널(10'A)은 전면 글라스(1'A) 상에 나란하게 형 성된 스캔전극(Y') 또는 서스테인전극(Z')을 구성하는 투명전극(2'Y,2'Z ; 2')과, 투명전극(2'Y,2'Z ; 2') 상의 가장자리에 형성된 금속버스전극(3'Y,3'Z ; 3')과, 금속버스전극(3'Y,3'Z ; 3')로부터 연장되어 패널단자부(D'2)까지 연장되는 금속버스전극패드(11')와, 투명전극(2'), 금속버스전극(3') 및 금속버스전극패드(11')를 덮도록 전면 글라스(1'A) 상에 순차적으로 적층된 상부 유전체층(4') 및 보호막(5')을 구비한다. 후면패널(10'B)은 후면 글라스(미도시) 상에 스캔전극(Y') 또는 서스테인전극(Z')과 직교하도록 형성된 어드레스전극(X)과, 어드레스전극(X)을 덮도록 후면 글라스(미도시) 상에 적층된 하부 유전체층(미도시)을 구비한다.

패널 단자부(D'2)는 전면 글라스(1'A) 상에 패널 표시부(D'1)로부터 연장하여 형성된 금속버스전극패드인 전극패드(11')와, 전극패드(11')와 접속되어 인쇄회로기판(PCB)에서 제어하는 구동신호를 공급하는 필름형 소자(14'), 예를 들어, 칩 온 플렉서블 인쇄 회로기판(Chip On Flexible Printed Circuit ; 이하, 'COF'라 함) 혹은 TCP(Tape Carrier Package) 와 같은 소자로 구성된다. 이 때 전극패드(11')와 필름형 소자(14')는 이방전도성 필름(Anisotropic Conductive Film ; 이하, 'ACF'라 함)(16')에 의해 접착되어진다. 이러한 ACF(16')는 금속 코팅된 에폭시 또는 금속입자 등의 도전성입자를 분산시킨 필름 형태를 가지며, 금속버스전극(3')과 전기적으로 접속된 전극패드(11')와 필름형 소자(14')를 전기적으로 접속하는 역할을 한다.

또한, 본 발명에 따른 플라즈마 표시장치의 패널단자부(D'2)에는 패널표시부(D'1)로부터 연장된 전극패드(11')가 외부환경인 온도, 수분, 부식성 가스나 전도 성 이물과의 반응에 의한 전극단락 방지 및 난연성을 확보할 수 있도록 난연성 방습층(13)이 도포된다. 더욱 자세하게는 전극패드(11')와 필름형 소자(14')의 접속부에 난연성 재료를 포함한 방습층(13)이 도포된다. 이 때, 난연성 재료는 브롬(Br)과 같은 할로겐 물질계, 알루미늄(Al)계, 인(P)계 또는 멜라민계 수지 중 적어도 어느 하나를 포함하고, 방습층(13)은 자외선 경화성 수지를 포함하며, 이 때의 자외선 경화성 수지는 올리고머(Oligomer) 또는 모노머(Monomer) 중 적어도 어느 하나를 포함하여 형성된다.

도 6은 도 5에 도시된 난연성 재료를 포함한 방습층의 형성방법을 나타낸 공정도이다.

도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 난연성 재료를 포함한 방습층의 형성방법은 먼저, 자외선 경화성 수지에 난연성 재료인 브롬(Br)과 같은 할로겐 물질계, 알루미늄(Al)계, 인(P)계 또는 멜라민계 수지 중 적어도 어느 하나를 첨가한다.[S1] 이때, 난연성 재료의 질량비는 난연성 재료를 포함한 전체 방습층의 질량에 대한 20wt%이상 50wt%이하 값을 갖도록 한다. 또한, 자외선 경화성 수지의 질량비는 난연성 재료를 포함한 전체 방습층의 질량에 대한 60wt%이상 80wt%이하 값을 갖도록 한다. 이와 같이, 본 발명의 난연성 재료 및 자외선 경화성 수지의 질량비는 독립적으로 적용 비율이 다르게 구성될 수 있다. 이는 자외선 경화성 수지의 점도 조건에 따라 다르게 형성하기 위함이다. 다만, 점도가 커짐에 따라 분산이 잘 되지 않거나 유동성이 작아져 전극 패드와 필름형 소자의 접속부를 충분히 덮지 못하는 문제점이 있기 때문에 소정의 점도를 유지하도록 하고, 이 때의 점도는 2000cps이상 30000cps이하의 값을 갖도록 한다.

이와 같이 형성된 난연성 재료가 포함되어 포함한 자외선 경화성 수지를 패널 단자부에 도포하여 방습층을 형성한다.[S2] 이는 전극패드의 금속전극이 외부 환경인 온도, 수분, 부식성 가스나 전도성 이물과의 반응에 의한 전극단락 방지 및 난연성 확보를 위한것으로, 더욱 자세하게는 패널 단자부의 전극패드와 필름형 소자의 접속부에 도포하여 방습 및 난연 기능을 확보하도록 하는 것이다. 이때의 전극패드에 포함되는 전극은 스캔전극의 금속전극, 서스테인 전극의 금속전극, 데이터 전극 중 어느 하나이다.

이 후, 패널 단자부에 형성된 방습층(13)에 자외선을 조사하여 완전 경화 시킨다.[S3]

이와 같이, 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.

그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 표시장치의 패널 단자부는 외부 환경으로 인한 전극 손상을 방지하고, 동시에 난연성을 확보하여 플라즈마 표시장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims

다수의 전극이 형성된 패널 표시부와 상기 전극에 구동신호를 공급하기 위한 패널 단자부로 이루어진 플라즈마 표시장치에 있어서,

상기 패널 단자부는

패널 표시부의 전극에 연장되어 형성된 전극패드;

상기 전극패드에 전기적으로 접속되어 상기 전극 구동신호를 공급하기 위한 필름형 소자; 및

상기 전극패드와 필름형 소자의 접속부를 덮는 난연성 재료와 자외선 경화성 수지를 포함한 방습층을 포함하고,

상기 자외선 경화성 수지의 질량비는 상기 방습층 전체 질량에 대한 60wt%이상 80wt%이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
제 1항에 있어서,

상기 패널 표시부의 전극은 스캔전극, 서스테인전극, 데이터전극 중 어느 하나 인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
제 1항에 있어서,

상기 난연성 재료는 할로겐 물질계, 알루미늄(Al)계, 인(P)계, 멜라민계 수지 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
제 1항에 있어서,

상기 방습층은 자외선 경화성 수지를 포함하고,

상기 자외선 경화성 수지는 올리고머(Oligomer) 또는 모노머(Monomer) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
제 1항 또는 제 3항에 있어서,

상기 난연성 재료의 질량비는 난연성 재료를 포함한 전체 방습층의 질량에 대한 20wt%이상 50wt%이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
삭제
제 4항에 있어서,

상기 자외선 경화성 수지의 점도는 2000cps이상 30000cps이하 인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
다수의 전극이 형성된 패널 표시부와 상기 전극에 구동신호를 공급하기 위한 패널 단자부로 이루어지고, 상기 패널 단자부는 상기 패널 표시부의 전극에 형성된 전극패드, 상기 전극패드에 전기적으로 접속되어 상기 전극 구동신호를 공급하기 위한 필름형 소자를 포함하여 이루어지는 플라즈마 표시장치의 제조방법에 있어서,

난연성 재료와 자외선 경화성 수지를 포함한 방습층을 형성하는 단계;

상기 방습층을 상기 전극패드와 필름형 소자의 접속부에 덮는 단계를 포함하고,

상기 자외선 경화성 수지의 질량비는 상기 방습층 전체 질량에 대한 60wt%이상 80wt%이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치의 제조방법.
제 8항에 있어서,

상기 난연성 재료는 할로겐 물질계, 알루미늄(Al)계, 인(P)계, 멜라민계 수지 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치의 제조방법.
제 9항에 있어서,

상기 자외선 경화성 수지는 올리고머(Oligomer) 또는 모노머(Monomer) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치의 제조방법.
제 9항 또는 제 10항에 있어서,

상기 난연성 재료의 질량비는 난연성 재료를 포함한 전체 방습층의 질량에 대한 20wt%이상 50wt%이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치의 제조방법.
제 10항에 있어서,

상기 자외선 경화성 수지의 점도는 2000cps이상 30000cps이하 인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치의 제조방법.