KR100750040B1

KR100750040B1 - 연삭 휠

Info

Publication number: KR100750040B1
Application number: KR1020010065505A
Authority: KR
Inventors: 스즈키마사아키; 세키야카즈마
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2001-07-04
Filing date: 2001-10-23
Publication date: 2007-08-16
Also published as: MY134523A; KR20030004007A; DE10149712A1; SG119140A1; TW491751B; DE10149712B4; US20030032382A1; US6966826B2

Abstract

연삭 휠은 환상 베이스와 이 베이스의 하면에 장착된 연삭숫돌수단으로 구성되어 있다. 베이스의 내주(內周)에는 반지름방향 안쪽으로 개방된 냉각액 풀(pool)이 형성되어 있다.

연삭 휠, 베이스, 연삭숫돌, 냉각액 풀, 반지름, 냉각액, 홀

Description

연삭 휠{Grinding wheel}

도 1은 본 발명에 따라 구성된 연삭 휠의 바람직한 실시형태를, 일부를 절단해서 나타내는 사시도,

도 2는 도 1에 나타내는 연삭 휠의 부분 확대단면도,

도 3은 도 1에 나타내는 연삭 휠을 사용해서 반도체 웨이퍼의 편면(片面)을 연삭하는 양식을 도시하는 단면도,

도 4는 본 발명에 따라 구성된 연삭 휠의 다른 실시형태를 나타내는 부분 단면도,

도 5는 도 4에 나타내는 연삭 휠의 부분사시도,

도 6은 비교예에서 사용한 종래의 연삭 휠을 나타내는 부분 확대단면도이다.

본 발명은 그것에 한정되는 것은 아니지만, 특히 반도체 웨이퍼의 편면을 연삭하는데 적합하게 사용되는 연삭 휠에 관한 것이다.

당업자에는 주지와 같이, 반도체 디바이스의 제조에 있어서는, 반도체 웨이퍼의 편면을 연삭하여 반도체 웨이퍼를 필요한 두께로 하기 위한 편면 연삭이 수행 되고 있다. 이러한 연삭에는, 평탄한 유지면을 가지는 척 테이블과 이것에 대향해서 배치된 회전 축을 구비하는 연삭기가 사용된다. 반도체 웨이퍼는 그 연삭해야 할 편면을 드러내서(따라서, 반대측의 면을 척 테이블에 밀접시켜) 척 테이블상에 유지되고, 회전 축의 선단에는 연삭 휠이 장착된다. 연삭 휠은 환상 베이스와 이 베이스의 하면에 장착된 연삭숫돌수단으로 구성되어 있다. 연삭숫돌수단은, 통상 주위 방향으로 간격을 두고 배치되어 주위 방향으로 호(弧) 모양으로 연장되는 복수개의 연삭숫돌로 구성되어 있다. 베이스에는 주위 방향으로 간격을 두고 복수개의 냉각액 유동홀이 형성되어 있다. 냉각액 유동홀의 각각은 베이스의 상면에서 하면까지 베이스를 관통해서 연장되고, 그 하단은 베이스의 하면에 장착되어 있는 연삭숫돌수단의 반지름방향 내측에 위치하게 되어 있다. 척 테이블은 비교적 저속(예컨대 100 내지 300rpm)으로 회전하게 되고, 회전 축 및 이것에 장착된 연삭 휠은 비교적 고속(예컨대 4000 내지 5000rpm)으로 회전하게 되며, 그리고 연삭 휠의 연삭숫돌수단을 반도체 웨이퍼의 편면에 가압해서 전진시키는 것에 의해 반도체 웨이퍼의 편면 연삭이 수행된다. 이러한 연삭시에는, 회전 축에 배치되어 있는 냉각액 유로를 통해서 연삭 휠의 냉각액 유동홀에 순수와 같은 냉각액이 공급되어, 베이스의 하면에 개구하고 있는 냉각액 유동홀에서 냉각액이 유출하게 된다.

그리고, 본 발명자의 경험에 의하면, 상술한 형태의 종래의 연삭 휠을 사용한 연삭에 있어서는, 공급되는 냉각액이 연삭 휠의 연삭숫돌수단 및 피연삭물 즉 반도체 웨이퍼의 연삭면의 냉각에 충분히 효과적으로 이용되지 않고, 이것에 기인하여 연삭효율이 반드시 충분한 것은 아니고, 연삭 휠에서의 연삭숫돌수단의 마찰 이 비교적 크다는 것을 알았다.

본 발명의 주된 목적은, 연삭 휠에 개량을 가해서 공급되는 냉각액을 연삭 휠 및 피연삭물의 냉각에 충분히 효과적으로 이용할 수 있도록 하는 것이다.

본 발명자는 종래의 연삭 휠을 사용한 연삭을 검토한 바, 연삭 휠이 비교적 고속으로 회전하게 되는 것에 기인하여, 냉각액의 상당량이 연삭숫돌수단 및 피연삭물의 냉각에 충분히 이용되지 않고 반지름방향 바깥쪽으로 향해 유동해 버리는 것을 인식하였다. 그리고, 이러한 인식에 의거해서, 연삭 휠의 베이스의 형태에 개량을 가해서, 보다 상세하게는 베이스의 내주에 반지름방향 안쪽으로 개방된 냉각액 풀을 형성하여, 연삭 휠의 베이스에 공급된 냉각액의 반지름방향 바깥쪽으로의 유동을 상기 냉각액 풀에 의해 일단 저지한 후에 연삭숫돌수단 및 피연삭물로 향해 넘쳐 나오도록 함으로써, 상기 주된 목적을 달성할 수 있는 것을 발견하였다.

즉, 본 발명에 의하면, 상기 주된 기술적 과제를 달성하는 연삭 휠로서, 환상 베이스와, 상기 베이스의 하면에 장착된 연삭숫돌수단으로 구성된 연삭 휠에 있어서, 상기 베이스의 내주에는 반지름방향 안쪽으로 개방된 냉각액 풀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연삭 휠이 제공된다.

바람직한 실시형태에 있어서는, 상기 냉각액 풀은 주위 방향으로 연속해서 연장하게 되어 있다. 상기 냉각액 풀은 하방으로 향해 반지름방향 바깥쪽으로 경사져 연장되는 상부 경사면과 상기 상부 경사면의 하방을 반지름방향 바깥쪽으로 실 질상 수평으로 연장되는 돌출면과의 사이로 규정되어 있다. 상기 베이스에는 그 상면에서 상기 냉각액 풀에 연결되는 복수개의 연결 노치(notch) 또는 연결 홀(hole)이 주위 방향으로 간격을 두고 형성되어 있다. 상기 베이스는 상기 돌출면의 하방에 있어서, 하방으로 향해 반지름방향 바깥쪽으로 경사져 연장되는 하부 경사면을 가진다. 바람직하게는, 상기 베이스의 내주면 및 하면에는 주위 방향으로 간격을 두고 상기 냉각액 풀에서 상기 연삭숫돌수단까지 연장되는 복수개의 냉각액 안내 홈이 형성되어 있다. 냉각액 안내 홈은 상기 냉각액 풀에서 상기 연삭숫돌수단으로 향해 주위 방향 한쪽으로 향해 경사져 연장되어 있는 것이 바람직하다. 바람직한 실시형태에 있어서는, 상기 연삭숫돌수단은 주위 방향으로 간격을 두고 배치되어 주위 방향으로 호 모양으로 연장되는 복수개의 연삭숫돌로 구성되어 있고, 상기 냉각액 안내 홈이 상기 연삭숫돌의 각각에 대응해서 형성되어 있다.

이하, 도면을 참조해서, 본 발명에 따라 구성된 연삭 휠의 바람직한 실시형태에 대해서 보다 상세히 설명한다.

도 1 및 도 2를 참조해서 설명하면, 전체를 번호 2로 나타내는 연삭 휠은 베이스(4)와 연삭숫돌수단(6)으로 구성되어 있다. 알루미늄과 같은 적절한 금속으로 형성할 수 있는 베이스(2)는 전체로서 환상(環狀)이고, 실질상 수평인 환상 상면(8), 실질상 수평인 환상 하면(10) 및 실질상 수직인 원통형상의 외주면(12)을 가지고 있다.

베이스(4)의 내주에는 반지름방향 안쪽으로 개방된 냉각액 풀(14)이 형성되어 있는 것이 중요하다. 도시의 실시형태에 있어서는, 베이스(4)의 내주면은 실질 상 수직 하방으로 연장되는 상부 수직면(16), 이 상부 수직면(16)의 하단에서 실질상 수평으로 반지름방향 바깥쪽으로 연장되는 후퇴면(18), 후퇴면(18)의 반지름방향 외측단에서 하방으로 향해 반지름방향 바깥쪽으로 경사져 연장되는 상부 경사면(20), 상부 경사면(20)의 하단에서 실질상 수직 하방으로 연장되는 중간 수직면(22), 이 중간 수직면(22)의 하단에서, 따라서 상기 상부 경사면(20)의 하방을, 실질상 수평으로 반지름방향 안쪽으로 연장되는 돌출면(24), 돌출면(24)의 반지름방향 내측단에서 실질상 수직으로 하방으로 연장되는 하부 수직면(26) 및 하부 수직면(26)의 하단에서 하방으로 향해 반지름방향 바깥쪽으로 경사져 연장되는 하부 경사면(28)을 포함하고 있다. 그리고, 상부 경사면(20)과 돌출면(24)의 사이에, 단면 형상이 거의 직각삼각형인 냉각액 풀(14)이 규정되어 있다. 후술하는 연결 노치가 형성되어 있는 부위를 제외하고, 상기 상부 수직면(16), 후퇴면(18), 상부 경사면(20), 중간 수직면(22), 돌출면(24), 하부 수직면(26) 및 하부 경사면(28)은 주위 방향으로 연속해서 연장하게 되어 있고, 상기 냉각액 풀(14)도 주위 방향으로 연속해서 연장하게 되어 있다. 냉각액 풀(14)은 반드시 주위 방향으로 연속해서 연장하게 되어 있을 필요는 없고, 소망이라면 주위 방향으로 간격을 두고 주위 방향으로 연장되는 복수개의 냉각액 풀을 형성하는 것도 가능하다. 상부 경사면(20)의 경사각도(α)는 10 내지 30도 정도로 좋다. 하부 경사면(28)의 경사각도(β)는 35 내지 55도 정도로 좋다. 소망이라면, 돌출면(24)을 반지름방향 안쪽으로 향해 하방으로 20도 이하에서 좋은 경사각도로 경사지게 하는 것도 가능하다.

도 1을 참조함으로써 명확하게 이해되는 바와 같이, 베이스(4)에는 상면(8) 에서 내주면에서의 상기 후퇴면(18)까지 연장되는 연결 노치(30)가 주위 방향으로 간격을 두고 복수개, 보다 상세하게는 등각도 간격을 두고 6개 형성되어 있고, 베이스(4)의 상면은 연결 노치(30)를 통해서 상기 냉각액 풀(14)에 연결하게 되어 있다. 연결 노치(30)의 각각은 거의 반원 형상이고, 반지름방향 내측이 개방되어 있다. 소망이라면, 연결 노치(30) 대신에, 반지름방향 내측도 닫혀져 있는 원형과 같은 적절한 단면 형상을 가지는 연결 홀을 형성하는 것도 가능하다. 베이스(4)에는, 또 상면(8)에서 실질상 수직으로 하방으로 연장되는 블라인드(blind) 나사 홀(32)이 주위 방향으로 간격을 두고 복수개 형성되어 있다. 도시의 실시형태에 있어서는, 등각도 간격을 두고 6개의 블라인드 나사 홀(32)이 형성되어 있고, 주위 방향에서 보아 블라인드 나사 홀(32)의 각각은 인접하는 연결 노치(30)의 중간에 위치하게 되어 있다.

도 1 및 도 2를 참조하여 설명을 계속하면, 상기 연삭숫돌수단(6)은 베이스(4)의 하면(10)에 배치되어 있다. 더 상술하면, 도시의 실시형태에 있어서는, 베이스(4)의 하면에는 주위 방향으로 연속해서 연장되는 환상 홈(34)이 형성되어 있다. 연삭숫돌수단(6)은 주위 방향으로 간격을 두고 주위 방향으로 호 모양으로 연장되는 복수개(도시한 경우는 27개)의 연삭숫돌(36)으로 구성되어 있고, 연삭숫돌(36)의 각각은 적절한 접착제에 의해 그 상부를 홈(34)내에 고착함으로써 베이스(4)의 하면에 고정되어 있다. 연삭숫돌(36)의 각각은, 예컨대 다이아몬드 연마재를 자기화(磁器化)하는 것과 같은 적절한 결합제로 결합함으로써 형성된 것이라도 된다. 연삭숫돌(36)의 각각의 횡단면 형상은 직사각형이라도 된다. 주위 방향으로 간격을 두고 배치된 복수개의 연삭숫돌(36) 대신에, 소망이라면 주위 방향으로 연속해서 연장되는 환상 연삭숫돌으로 연삭숫돌수단(6)을 구성하는 것도 가능하다.

도 3은 도 1 및 도 2에 도시하는 연삭 휠(2)을 사용해서 반도체 웨이퍼(38)의 편면을 연삭하는 양식을 간략하게 도시하고 있다. 편면을 연삭해야 할 반도체 웨이퍼(38)는, 연삭해야 할 편면을 상면으로 하여 상방으로 드러낸 상태에서, 척 테이블(40)상에 유지된다. 척 테이블(40)은 적어도 그 중앙 주부(主部)가 다공질 재료로 형성되고 혹은 다수의 흡인 홀을 가지고, 반도체 웨이퍼(38)를 진공 흡착할 수 있는 형태인 것이 바람직하다.

척 테이블(40)의 상방에는 회전 축(42)이 배치되어 있고, 이러한 회전 축(42)의 선단 즉 하단에 연삭 휠(2)이 장착된다. 더 상술하면, 회전 축(42)의 하단에는 장착 플랜지(44)가 일체로 형성되어 있고, 이 장착 플랜지(44)의 하면에는 비교적 큰 지름의 원형 오목(凹)부(46)가 형성되어 있다. 회전 축(42)에는 상하 방향으로 연장되는 원형 오목(凹)부(46)에 개구하고 있는 냉각액 유로(48)가 형성되어 있다. 회전 축(42)의 하단, 따라서 장착 플랜지(44)에는 부가부재(50)가 고정되어 있다. 부가부재(50)는 원형 오목(凹)부(46)의 안지름과 실질상 동일한 바깥지름을 가지는 상부와 장착 플랜지(44)의 바깥지름과 실질상 동일한 바깥지름을 가지는 하부를 가지고, 그 상부가 원형 오목(凹)부(46)내에 삽입하게 되며, 상부와 하부와의 사이에 규정되어 있는 환상 쇼울더면이 장착 플랜지(44)의 하면에 맞닿게 된다. 장착 플랜지(44)에는 그 외주면에서 원형 오목(凹)부(46)까지 반지름방향으로 연장되는 관통 홀이 주위 방향으로 간격을 두고 형성되어 있고, 부가부재(50)의 상부에 는 그 외주면에서 반지름방향으로 연장되는 블라인드 나사 홀이 주위 방향으로 간격을 두고 형성되어 있으며, 장착 플랜지(44)의 관통 홀을 통해서 부가부재(50)의 블라인드 나사 홀에 체결 볼트(51)를 나사 결합함으로써, 장착 플랜지(44)에 부가부재(50)가 고정된다. 부가부재(50)의 상부의 외주면과 장착 플랜지(44)의 원형 오목(凹)부(46)의 내주면과의 사이에는 합성고무제라도 좋은 밀봉 링(52)이 배치되고, 부가부재(50)의 환상 쇼울더면과 장착 플랜지(44)의 하면 사이에도 합성고무제라도 좋은 밀봉 링(54)이 배치되어 있다. 부가부재(50)의 상면에는 그 중앙에서 방사상으로 연장되는 복수개(도면의 경우는 6개)의 홈(56)이 형성되고, 그리고 또 이러한 홈(56)의 각각의 외측 단부에서 실질상 수직으로 연장되는 하면에 개구하고 있는 홀(58)이 형성되어 있다. 홈(56) 및 홀(58)은 회전 축(42)에 형성되어 있는 상기 냉각액 유로(48)에 연결하게 되어 있다.

도 1 내지 도 3을 참조하여 설명을 계속하면, 연삭 휠(2)은 부가부재(50)의 하면에 장착된다. 장착 플랜지(44) 및 부가부재(50)에는 주위 방향으로 간격을 두고 실질상 수직으로 연장되는 복수개(도시한 경우는 6개)의 관통 홀이 형성되어 있다. 이러한 관통 홀을 통해서 연삭 휠(2)의 베이스(4)의 상면에 형성되어 있는 상기 블라인드 나사 홀(32)에 체결 볼트(60)를 나사 결합함으로써, 부가부재(50)의 하면에, 따라서 회전 축(42)의 하단에 연삭 휠(2)이 장착된다. 연삭 휠(2)의 베이스(4)에 형성되어 있는 상기 연결 노치(30)의 각각은, 부가부재(50)에 형성되어 있는 상기 홀(58)의 각각에 정합하게 된다. 따라서, 연삭 휠(2)의 베이스(4)에 형성되어 있는 상기 냉각액 풀(14)은, 베이스(4)에 형성되어 있는 연결 노치(30) 및 부 가부재(50)에 형성되어 있는 홀(58) 및 홈(56)을 통해서 회전 축(42)에 형성되어 있는 냉각액 유로(48)에 연결하게 되어 있다.

반도체 웨이퍼(38)의 편면을 연삭할 때에는, 척 테이블(40)이 100 내지 300rpm 정도로 좋은 비교적 저속으로 회전하게 됨과 동시에, 회전 축(42)이 4000 내지 5000rpm 정도로 좋은 비교적 고속으로 회전하게 되고, 그리고 연삭 휠(2)을 반도체 웨이퍼(38)의 편면에 가압하여 점차 가공하며, 이렇게 해서 반도체 웨이퍼(38)의 편면이 연삭 휠(2)에 의해, 보다 상세하게는 그 연삭숫돌수단(6)에 의해 연삭된다. 이러한 연삭시에는, 회전 축(42)의 냉각액 유로(48)를 통해서 상온의 순수라도 좋은 냉각액이 공급된다. 냉각액은 회전 축(42)의 냉각액 유로(48)에서 부가부재(50)에 형성되어 있는 홈(56) 및 홀(58)을 통해서 유동하고, 이어서 연삭 휠(2)의 베이스(4)에 형성되어 있는 연결 노치(30)를 통해서 냉각액 풀(14)로 유입한다. 연삭 휠(2)은 비교적 고속으로 회전하게 되어 있으므로, 냉각액에는 상당히 큰 원심력이 작용하고, 이것에 의해 냉각액은 반지름방향 바깥쪽으로 유동하는 것으로 한다. 그러나, 본 발명에 따라 구성된 연삭 휠(2)에 있어서는, 반지름방향 안쪽으로 개방된 냉각액 풀(14)이 배치되어 있으므로, 반지름방향 바깥쪽으로 유동하게 되는 경향을 가지는 냉각액이 일단 냉각액 풀(14)에 체류하게 되어, 반지름방향 바깥쪽으로의 유동이 억제된다. 그리고, 냉각액 풀(14)에 체류하게 된 후에 냉각액 풀(14)에서 넘쳐나와, 냉각액 풀(14)의 하방을 하방으로 향해 반지름방향 바깥쪽으로 경사져 연장되어 있는 하부 경사면(28)을 따라 흘러내리고, 연삭숫돌수단(6) 및 이것에 의해 연삭되고 있는 반도체 웨이퍼(38)의 편면상으로 안내된다. 본 발명에 따라 구성된 연삭 휠(2)에 있어서는, 연삭 휠(2)의 고속 회전에 기인하여 반지름방향 바깥쪽으로 유동하게 되는 냉각액이, 냉각액 풀(14)에 일단 체류된 후에 필요한 부위, 즉 연삭이 수행되고 있는 부위로 공급되므로, 냉각액이 반지름방향 바깥쪽으로 지나치게 유동하게 되어 쓸데없이 소비되는 것이 방지 내지 억제되어 냉각액이 충분히 효과적으로 이용된다.

도 4 및 도 5는, 본 발명에 따라 구성된 연삭 휠의 다른 실시형태를 도시하고 있다. 도 4 및 도 5에 도시하는 실시형태에 있어서는, 냉각액 풀(14)을 규정하고 있는 돌출면(24)은, 반지름방향 안쪽으로 향해 하방으로 20도 이하로 좋은 경사각도 ｒ로 경사져 있다. 베이스(4)의 내주면에서의 상기 하부 수직면(26) 및 하부 경사면(28)과 함께 하면(10)에는, 주위 방향으로 간격을 두고 냉각액 풀(14)에서 연삭숫돌수단(6)까지 연장되는 복수개의 냉각액 안내 홈(62)이 형성되어 있다. 복수개의 냉각액 안내 홈(62)의 각각은 복수개의 연삭숫돌(36)의 각각에 대응해서 형성되어 있다. 냉각액 안내 홈(62)의 각각은, 주위 방향으로는 경사지지 않고 실질상 수직으로 연장되는 것도 가능하지만, 도 5를 참조함으로써 이해되는 바와 같이, 주위 방향 한쪽, 즉 연삭 휠(2)의 회전방향으로 경사져 연장되고, 연삭 휠(2)의 회전에 기인하는 냉각액의 주위 방향으로의 유동 경향을 소실 내지 감소시키는 것이 적합하다. 또한, 냉각액 안내 홈(62)의 각각의 하류단은, 연삭 휠(2)의 회전 방향에서 보아 각 연삭숫돌(36)의 중간보다도 상류측에서 연삭숫돌(36)의 내주면에 연속하는 것이 적합하다. 냉각액 안내 홈(62)의 주위 방향으로의 경사각도(θ)는 20 내지 60도 정도로 좋다.

도 4 및 도 5에 도시하는 연삭 휠(2)에 있어서는, 냉각액 풀(14)에 체류하게 된 냉각액은, 주로 냉각액 안내 홈(62)을 통해서 유출하고, 연삭숫돌수단(6) 및 이것에 의해 연삭되고 있는 반도체 웨이퍼(38)(도 3)의 편면상으로 안내된다.

도 4 및 도 5에 도시하는 연삭 휠(2)에서의 상술한 구성 이외는 도 1 내지 도 3에 도시하는 연삭 휠(2)과 실질상 동일하여도 좋다.

실시예

도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같은 형태의 연삭 휠을 제작하였다. 베이스는 알루미늄으로 형성하였다. 베이스의 바깥지름(D1)은 290㎜, 베이스의 높이(H1)는17㎜, 상면 안지름(D2)은 158㎜, 하면 안지름(D3)은 178㎜이었다. 베이스의 내주에서의 상부 수직면의 높이(H2)는 2.5㎜, 후퇴면의 폭(W1)은 3.8㎜, 상부 경사면의 경사각도(α)는 20도, 상부 경사면의 길이(L1)는 8.8㎜, 중간 수직면의 높이(H3)는 1.6㎜, 돌출면의 폭(W2)은 6.3㎜, 하부 수직면의 높이(H4)는 1.6㎜, 하부 경사면의 경사각도(β)는 45도, 하부 경사면의 길이(L2)는 11.3㎜이었다. 베이스의 하면에는 주위 방향으로 등간격을 두고 27개의 연삭숫돌을 고착하였다. 연삭숫돌의 각각의 주위 방향 길이(L3)는 20㎜, 두께(T1)는 4.0㎜, 베이스의 하면에서의 돌출 길이(L4)는 5.2㎜이고, 각 연삭숫돌의 주위 방향 간격(G1)은 2.2㎜이었다. 연삭숫돌의 각가은 입자 지름 40 내지 60㎛의 다이아몬드 입자를 자기화에 의해 결합하여 형성한 것이고, 다이아몬드 입자의 집중도는 75이었다.

가부시키가이야 디스코에서 상품명「DFG841」로서 판매되고 있는 연삭기(surface grinder)의 회전 축에 상기 연삭 휠을 장착하고, 직경 6인치의 실 리콘 웨이퍼의 편면 연삭을 수행하였다. 이러한 연삭에 있어서, 회전 축의 회전속도는 4800rpm이고, 척 테이블의 회전속도는 200rpm이며, 연삭 휠을 8㎛/초의 하강속도로 200㎛ 하강시켜, 실리콘 웨이퍼의 편면을 200㎛의 깊이에 걸쳐 연삭하였다. 냉각수로서 24℃의 순수를 회전 축의 냉각수 유로를 통해서 3000cc/분 공급하였다.

180매의 실리콘 웨이퍼의 편면 연삭을 수행한 후에, 연삭 휠에서의 연삭숫돌의 마모량(돌출 길이의 감소량)을 측정한 바 하기 표 1에 나타내는 바와 같았다. 또한, 실리콘 웨이퍼의 연삭체적 합계치를 연삭숫돌 마모체적 합계치로 나눈 연삭비를 구한바 하기 표 1과 같았다.

비교예

비교를 위해, 베이스의 형상이 도 6에 도시하는 바와 같은 것을 제외하고, 실시예에서 사용한 연삭 휠과 동일한 연삭 휠을 사용하여, 실시예와 동일하게 하여 180매의 실리콘 웨이퍼의 편면 연삭을 수행하였다. 연삭 휠의 베이스의 바깥지름(D4)은 290㎜, 높이(H5)는 17㎜, 상면 안지름(D5)은 138㎜, 하면 안지름(D6)은 178㎜이었다. 베이스의 상면 내주연부에는 깊이(X1)가 1.9㎜로 횡단면 형상이 삼각형상인 환상 홈이 형성되고, 그리고 또 베이스에는 주위 방향으로 등간격을 두고 홈에서 베이스의 하면까지 연장되는 12개의 홀이 형성되어 있었다. 홀은 하방으로 향해 반지름 바깥쪽으로 경사져 연장되어 있고, 경사각 ｒ은 25도이고 홀의 직경(D7)은 2㎜이었다.

실시예와 동일하게 하여, 연삭 휠에서의 연삭숫돌의 마모량(돌출 길이의 감소량) 및 연삭비를 구한 바 하기 표 1에 나타내는 것과 같았다.

	연삭숫돌마모량(㎜)	연삭비
실시예	20.0	14950
비교예	32.0	9344

상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면 연삭 휠에 개량을 가해서 공급되는 냉각액을 연삭 휠 및 피연삭물의 냉각에 충분히 효과적으로 이용할 수 있고, 연삭숫돌의 마모가 감소되어 연삭비가 향상되는 효과가 있다.

Claims

환상 베이스와 상기 베이스의 하면에 장착된 숫돌수단으로 구성된 연삭 휠에 있어서,

상기 베이스는 상기 베이스의 내측에서 반지름방향 안쪽으로 개방된 냉각액풀이 형성된 내주면 및 하면을 포함하고,

상기 베이스의 내주면과 하면을 포함하는 표면은 상기 냉각액풀로부터 유동되는 냉각수가 상기 냉각액 풀에 잔류 및 상기 베이스에서 상기 숫돌수단까지 가이드 되도록 내측 반지름 방향으로 냉각수를 전도 하는 것을 특징으로 하는 연삭 휠.
제 1 항에 있어서, 상기 냉각액 풀은 주위 방향으로 연속해서 연장하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 연삭 휠.
제 1 항에 있어서, 상기 냉각액 풀은 하방으로 향해 반지름방향 바깥쪽으로 경사져 연장되는 상부 경사면과 상기 상부 경사면의 하방을 반지름방향 바깥쪽으로 실질상 수평으로 또는 반지름방향 안쪽으로 향해 하방으로 경사져 연장되는 돌출면과의 사이에 규정되어 있는 것을 특징으로 하는 연삭 휠.
제 1 항에 있어서, 상기 베이스에는 그 상면에서 상기 냉각액 풀에 연결되는 복수개의 연결 노치(notch) 또는 연결 홀(hole)이 주위 방향으로 간격을 두고 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연삭 휠.
제 1 항에 있어서, 상기 베이스는 상기 돌출면의 하방에 있어서 하방으로 향 해 반지름방향 바깥쪽으로 경사져 연장되는 하부 경사면을 가지는 것을 특징으로 하는 연삭 휠.
제 1 항에 있어서, 상기 연삭숫돌수단은 주위 방향으로 간격을 두고 배치되어 주위 방향으로 호 모양으로 연장되는 복수개의 연삭숫돌로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 연삭 휠.
제 1 항에 있어서, 상기 베이스의 내주면 및 하면에는 주위 방향으로 간격을 두고 상기 냉각액 풀에서 상기 연삭숫돌수단까지 연장되는 복수개의 냉각액 안내 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연삭 휠.
제 7 항에 있어서, 상기 냉각액 안내 홈은 상기 냉각액 풀에서 상기 연삭숫돌수단으로 향해 주위 방향 한쪽으로 향해 경사져 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 연삭 휠.
제 7 항에 있어서, 상기 연삭숫돌수단은 주위 방향으로 간격을 두고 배치되어 주위 방향으로 호 모양으로 연장되는 복수개의 연삭숫돌으로 구성되어 있고, 상기 냉각액 안내 홈이 상기 연삭숫돌의 각각에 대응해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연삭 휠.