KR100875445B1 - 코어링 휠 및 이를 이용한 잉곳 코어링 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 단일의 실리콘 잉곳으로 플라즈마 처리 장치에 사용되는 실리콘 포커스링과 실리콘 전극으로 제작하기 위하기 위한 코어링 휠 및 이를 이용한 잉곳 코어링 장치에 관한 것으로서, 코어링 휠은 일측이 개구되는 원통형상의 몸체와; 상기 몸체의 타측 면 중심에 돌출형성되는 고정부와; 상기 몸체의 일측 개구단에 형성되는 절삭팁을 포함하고, 상기 몸체의 타측 면에는 몸체의 내부와 외부를 관통하는 적어도 하나 이상의 관통홀이 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한 잉곳 코어링 장치는 잉곳을 코어링 하는 코어링 휠과; 상기 코어링 휠이 장착되는 주축과; 상기 주축을 승하강 시키는 승하강 유닛과; 상기 주축을 회전시키는 회전 유닛과; 잉곳이 본딩되는 플레이트형의 지그와; 상기 코어링 휠의 하부에 배치되어 상기 카본 지그가 고정되는 안착대와; 상기 안착대가 이동되도록 지지되는 작업대를 포함하는 것을 특징으로 한다.

실리콘 잉곳, 코어링, 휠, 코어링 장치

Description

코어링 휠 및 이를 이용한 잉곳 코어링 장치{Coring Wheel and Apparatus for Coring Ingot using thereof}

본 발명은 코어링 휠 및 이를 이용한 잉곳 코어링 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플라즈마 처리 장치에 사용되는 실리콘 링(즉, 포커스링)과 실리콘 전극을 제작하기 위하여 실리콘 잉곳을 코어링 하는 코어링 휠 및 이를 이용한 잉곳 코어링 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자는 기판(즉, 실리콘 웨이퍼) 상에 반도체성 박막, 도전성 박막 또는 절연성의 박막을 형성하고, 이들의 일부를 식각하여 제작한다. 최근 들어, 박막의 형성 공정과 식각 공정시 플라즈마 기술을 이용하여 공정 효율을 증대시키고 있다. 예를 들면, 식각 공정은 플라즈마 식각 챔버에 반응 가스를 공급하고, 챔버에 고주파 전원을 인가하여 반응 가스를 여기된 플라즈마 상태가 되도록 한다. 이와 같이 반응 가스를 플라즈마화시켜 반응 가스의 물리적인 충돌에 의해 박막을 제거하므로 박막의 제거 성능을 향상시킬 수 있다.

플라즈마 처리 장치는 웨이퍼가 안치되는 하부 전극과, 웨이퍼의 에지 영역에 마련된 포커스링과, 상기 하부 전극 상측에 마련되어 샤워헤드 기능을 갖는 상 부 전극을 구비한다. 여기서, 포커스링과 상부 전극은 실리콘을 이용하여 제작된다.

이러한 포커스링의 제작 방법을 간략히 살펴보면 다음과 같다. 실리콘 잉곳을 절단하여 원형의 실리콘판을 제작한다. 이후, 원형의 실리콘판을 중심에 중심홀을 형성하고, 로터리 연삭기 등을 이용하여 실리콘 판의 표면을 그라인딩하고, 폴리싱하여 실리콘 포커스링을 제작한다. 이때, 중심홀 형성을 위하여 잘려진 실리콘 판의 일부는 버려진다.

또한, 상부 전극의 제작 방법을 간략히 살펴보면 다음과 같다. 실리콘 잉곳을 절단하여 원형의 실리콘 판을 제작한다. 원형의 실리콘 판상에 복수의 관통공을 균일하게 형성한다. 이후, 연삭기 등으로 복수의 관통공이 형성된 실리콘 판을 그라인딩하고, 폴리싱하여 실리콘 상부 전극을 제작한다.

이와 같이 플라즈마 처리 장치에 사용되는 종래의 실리콘 포커스링과 실리콘 전극의 제작 방식은 제작시 버려지는 단결정 실리콘 량이 많아 이들의 제작 원가가 상승하는 문제가 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명은 실리콘 잉곳을 코어링 하여 실리콘 포커스링 제작을 위한 중심부가 비어 있는 실리콘 원통링과, 실리콘 전극 제작을 위한 실리콘 중심 원통으로 절단하는 코어링 휠 및 이를 이용한 잉곳 코어링 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 코어링 휠은 일측이 개구되는 원통형상의 몸체와; 상기 몸체의 타측 면 중심에 돌출형성되는 고정부와; 상기 몸체의 일측 개구단에 형성되는 절삭팁을 포함하고, 상기 몸체의 타측 면에는 몸체의 내부와 외부를 관통하는 적어도 하나 이상의 관통홀이 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 몸체의 외주면에는 나사선형의 배출홈이 적어도 하나 이상 형성되는 것이 바람직하다. 이때 상기 배출홈은 그 일단이 상기 절삭팁의 단부로 개구되고, 그 타단이 상기 몸체의 타측 단부로 개구되는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 절삭팁의 단부는 요철형상인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 절삭팁은 연마제를 전착, 납접, 용착 또는 소결확산 접합 중의 어느 하나의 처리방식으로 부착하여 제조되는 것을 특징으로 하고, 상기 연마제는 다이아몬드 분말 또는 입방정질화붕소 분말인 것이 바람직하다.

그리고, 상기 몸체의 길이는 적어도 코어링 하고자 하는 잉곳 길이의 절반 길이 보다는 긴 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 잉곳 코어링 장치는 잉곳을 코어링 하는 코어링 휠과; 상기 코어링 휠이 장착되는 주축과; 잉곳이 본딩되는 플레이트형의 지그와; 상기 코어링 휠에 대향배치되어 상기 지그가 고정되는 안착대를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이때 상기 코어링 휠은 일측이 개구되는 원통형상의 몸체와; 상기 몸체의 타측 면 중심에 돌출형성되는 고정부와; 상기 몸체의 일측 개구단에 형성되는 절삭팁을 포함하고, 상기 몸체의 타측 면에는 몸체의 내부와 외부를 관통하는 적어도 하나 이상의 관통홀이 형성되는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 몸체의 외주면에는 나사선형의 배출홈이 적어도 하나 이상 형성되는 것이 바람직하고, 상기 몸체의 길이는 적어도 코어링 하고자 하는 잉곳 길이의 절반 길이 보다는 긴 것이 바람직하다.

상기 지그는 카본 지그인 것이 바람직하다.

그리고, 상기 안착대에는 다수의 나사 체결공이 형성되고, 상기 카본 지그를 관통하는 체결나사가 상기 나사 체결공의 어느 하나에 체결되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 안착대는 상기 코어링 휠의 회전 방대 방향으로 회전되는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 주축 또는 안착대를 승하강 시키는 승하강 유닛과; 상기 주축 또는 안착대를 회전시키는 회전 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 안착대가 이동되도록 지지되는 작업대를 더 포함하는 것을 특징 으로 한다.

본 발명에 따르면, 실리콘 잉곳을 코어링 하여 실리콘 포커스링 제작을 위한 중심부가 비어 있는 실리콘 원통링과, 실리콘 전극 제작을 위한 실리콘 중심 원통을 제조할 수 있게 됨에 따라 실리콘 잉곳의 손실을 최소화하여 제품의 생산 원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.

또한, 코어링 된 실리콘 중심 원통은 다시 한번 코어링 하여 소구경의 실리콘 포커스링 및 실리콘 전극을 제작할 수 있어 하나의 실리콘 잉곳으로 다양한 구경의 실리콘 포커스링 및 실리콘 전극을 제작할 수 있는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다.

그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 코어링 휠을 보여주는 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 코어링 휠을 보여주는 단면도이다.

코어링 휠(coring wheel)(100)은 회전을 통하여 실리콘 잉곳(silicon ingot)(10)의 중심부를 코어링 함에 따라 실리콘 포커스링 제작을 위한 중심부가 비어 있는 실리콘 원통링과, 실리콘 전극 제작을 위한 실리콘 중심 원통을 동시에 제조할 수 있도록 하는 수단이다.

도면에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 코어링 휠(100)은 크게 몸체(110), 고정부(120) 및 절삭팁(130)으로 구분된다.

몸체(110)는 일측이 개구되고 타측이 폐쇄되는 원통형상으로 형성된다. 이때 몸체(110)의 외경 지름에 의해 제조되는 실리콘 포커스링의 내경 지름이 결정되고, 몸체(110)의 외경 지름 및 측면 두께에 의해 제조되는 실리콘 전극의 외경 지름이 결정된다. 따라서, 몸체(110)의 외경 지름은 제작하고자 하는 실리콘 포커스링의 내경 지름과 유사한 값을 갖는 것이 바람직하다. 또한, 몸체(110)의 측면 두께는 가공 가능한 범위에서 최소의 두께를 갖도록 하여 실리콘 잉곳에서 절삭되는 부분을 최소화함에 따라 실리콘 중심 원통이 가능한 최대의 외경을 갖도록 하는 것이 바람직하다.

그리고, 몸체(110)의 길이는 적어도 코어링 하고자 하는 실리콘 잉곳 길이의 절반보다는 길게 형성되어야 하며, 바람직하게는 실리콘 잉곳 길이보다 길게 형성되는 것이 좋다. 그래서, 몸체(110)의 길이가 실리콘 잉곳의 길이보다 긴 경우에는 실리콘 잉곳의 상면에서 하면까지 한번에 코어링하고, 몸체(110)의 길이가 실리콘 잉곳의 절반 길이보다 길고 실리콘 잉곳의 길이보다 짧은 경우에는 실리콘 잉곳의 상면에서 하면 방향으로 1차 코어링을 수행한 다음, 실리콘 잉곳을 뒤집어 하면에서 상면 방향으로 2차 코어링을 수행한다.

또한, 몸체(110)의 폐쇄되는 타측 면에는 몸체(110)의 내부와 외부를 관통하 는 적어도 하나 이상의 관통홀(111)이 형성된다. 그래서, 실리콘 잉곳(10)의 중심부 코어링 시 몸체(110)의 개구부가 실리콘 잉곳(10)에 폐쇄되고, 코어링 진행에 따라 몸체(110)의 내부 공간이 줄어듦에 따라 몸체(110)의 내부에 발생되는 압력을 제거하는 역할을 한다. 이러한 관통홀(111)은 그 형상 및 개수가 한정되지 않고, 몸체(110) 내부의 압력을 몸체(110)의 외부로 배출할 수 있다면 어떠하여도 무방하다. 본 발명에서는 원형의 관통홀(111)을 등각격으로 다수개 형성하였다.

고정부(120)는 상기 몸체(110)의 폐쇄되는 타측 면 중심에서 돌출형성되는 부위로서, 후술되는 잉곳 코어링 장치의 주축에 장착된다. 고정부(120)의 형상 및 크기는 한정되지 않고, 상기 몸체(110)의 회전을 지지할 수 있으면 어떠하여도 무방하다. 본 발명에서는 원기둥 모양으로 몸체(110)의 타측 면 중심에서 돌출되는 형상을 제시하였다. 또한 예를 들어 단면이 삼각 및 사각을 포함하는 다각형을 갖는 다각 기둥으로 형성될 수 있을 것이다.

절삭팁(130)은 상기 몸체(110)의 일측 개구단에 형성된다. 이때 절삭팁(130)은 상기 몸체(110)의 일측 개구단에 직접 연마제를 전착 처리를 하여 제조될 수 있고, 별도의 절삭팁(130)을 제조한 다음 연마제를 전착 처리하고 상기 몸체(110)의 일측 개구단에 부착하여 제조될 수 있다. 상기 연마제는 다이아몬드 분말을 사용하는 것이 바람직하지만, 이에 한정되지는 않고 입방정질화붕소(CBN)과 같이 경도가 강한 분말을 사용할 수 있다. 그리고, 상기 연마제를 처리하는 방식도 전착 방식으로 처리하는 것이 바람직하나, 이에 한정되지 않고 납접, 용착, 소결확산 접합 등의 방식을 사용하여 처리할 수 있다.

이때 상기 절삭팁(130)의 단부는 코어링 시 절삭 효능을 향상시키고, 발생되는 칩(chip)의 배출을 용이하게 하기 위하여 요철 형상으로 제작하는 것이 좋을 것이다. 이러한 요철의 형상은 어떠하여도 무방하다. 본 발명에서는 반원형의 홈부(131)를 절삭팁의 단부에 형성하는 것을 제시하였다.

도 3a 및 3b는 본 발명에 따른 코어링 휠의 다른 실시예를 보여주는 사시도로서, 도 3a에 도시된 바와 같이 절삭팁(130)의 단부에 형성되는 홈부(131)의 형상은 사각형상으로 형성할 수 있을 것이고, 도 3b에 도시된 바와 같이 철부(133)의 형상을 톱날과 같이 형성할 수 있을 것이다.

또한, 본 발명에 따른 코어링 휠(100)은 코어링 시 발생되는 칩의 배출을 용이하게 하기 위하여 몸체(110)의 측벽 외주면에 배출홈(113)이 형성될 수 있다.

도 4는 본 발명에 따른 코어링 휠의 다른 실시예를 보여주는 사시도로서, 도면에 도시된 바와 같이 배출홈(113)은 상기 몸체(110)의 외주면을 따라 나선형으로 형성된다. 이때 배출홈(113)은 그 일단이 상기 절삭팁(130)의 단부로 개구되고, 그 타단이 상기 몸체(110)의 타측 단부로 개구된다. 바람직하게는 배출홈(113)의 일단이 상기 절삭팁(130)의 홈부(131)로 개구되어 칩의 배출을 더욱 용이하게 하는 것이 좋을 것이다. 물론 이에 한정되지 않고, 배출홈(113)의 일단이 상기 절삭팁(130)의 홈부(131)를 제외한 절삭팁(130)의 단부 어떠한 지점으로 개구되어도 무방하다.

이때 상기 배출홈(113)은 칩의 배출을 용이하게 할 수 있다면 그 개수 및 나선형의 형성 각도는 어떠하여도 무방하다. 본 발명에서는 배출홈(113)의 개수를 절 삭팁(130)에 형성되는 홈부(131)의 개수와 대응되게 형성하였다.

본 발명에 따른 코어링 휠을 이용한 잉곳 코어링 장치를 설명하면 다음과 같다.

도 5는 본 발명에 따른 잉곳 코어링 장치를 보여주는 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 잉곳 코어링 장치의 요부를 보여주는 요부 사시도이다.

본 발명에 따른 잉곳 코어링 장치는 실리콘 잉곳(10)을 코어링 하는 코어링 휠(100)과; 상기 코어링 휠(100)이 장착되는 주축(200)과; 상기 주축(200)을 승하강 시키는 승하강 유닛(300)과; 상기 주축(200)을 회전시키는 회전 유닛(400)과; 실리콘 잉곳(10)이 본딩되는 플레이트형의 지그(500)와; 상기 코어링 휠(100)과 대향 배치되어 상기 지그(500)가 고정되는 안착대(600)와; 상기 안착대(600)가 이동되도록 지지되는 작업대(700)를 포함한다. 그리고, 상기 코어링 휠(100)과 지그(500)에 본딩되는 실리콘 잉곳(10)을 정렬시키는 정렬 유닛이 더 구비된다.

상기의 주축(200), 승하강 유닛(300), 회전 유닛(400), 작업대(700) 및 정렬 유닛은 종래에 사용되는 범용의 밀링 머신의 그것과 유사한 구성 및 기능을 갖는다. 따라서 주축(200), 승하강 유닛(300), 회전 유닛(400), 작업대(700) 및 정렬 유닛은 본 발명에서는 상세한 설명을 생략하도록 한다.

코어링 휠(100)은 전술된 바와 같이 일측이 개구되는 원통형상의 몸체(110)와; 상기 몸체(110)의 타측 면 중심에 돌출형성되는 고정부(120)와; 상기 몸체(110)의 일측 개구단에 형성되는 절삭팁(130)을 포함하도록 구성되고, 상기 주 축(200)에 상기 고정부(120)가 장착되어 주축(200)의 회전 및 승하강 동작에 의해 일체로 회전 및 승하강 동작된다. 코어링 휠(100)은 앞에서 상세히 설명하였기에 중복되는 설명은 생략하도록 한다.

코어링 휠(100)은 상기 주축(200)의 단부에 설치되는 척(chuck)(210)에 의해 장착된다. 코어링 휠(100)을 주축(200)에 장착할 수 있다면 어떠한 척이 사용되어도 무방하고, 예를 들어 보통척, 에어척, 콜릿척(collet chuck), 마그네트척 등이 사용될 수 있다.

이러한 코어링 휠(100)은 실리콘 잉곳(10)을 코어링하여 제조하고자 하는 실리콘 포커스링의 내경 및 실리콘 전극의 외경에 따라 다양하게 교체하여 사용할 수 있도록 각각 다른 직경을 갖도록 다수개를 구비하는 것이 바람직하다.

지그(Jig)(500)는 코어링 하고자 하는 실리콘 잉곳(10)을 고정하여 상기 안착대(600)에 고정시키기 위한 수단으로서, 실리콘 잉곳(10)을 편평하게 안착대(600)에 고정시키기 위하여 상면 및 하면이 편평한 플레이트형인 것이 바람직하다. 종래의 범용 밀링 머신에서 공작물을 고정시키기 위하여 사용되던 바이스(vise)와 같은 치구를 이용하여 실리콘 잉곳(10)을 고정시킬 경우, 실리콘 잉곳(10)의 손상 및 파괴를 초래하기 때문에 실리콘 잉곳(10)을 플레이트 형인 지그(500)의 상면에 본딩처리하는 것이다.

지그(500)의 상면에는 실리콘 잉곳(10)의 본딩을 용이하게 하는 안착홈(530)이 형성될 수 있다. 이때 안착홈(530)의 크기 및 형상은 실리콘 잉곳(10)의 크기 및 형상에 대응하는 것이 바람직할 것이다. 또한, 이러한 지그(500)는 그 상면 및 하면이 편평하게 형성되어, 상면에 실리콘 잉곳(10)을 본딩할 수 있다면 어떠한 재질 및 형상을 가져도 무방하다. 본 발명에서는 비교적 값이 싸고, 제조가 용이한 카본(carbon) 지그를 직사각형 또는 정사각형으로 제조하여 사용하였다.

이때 지그(500)의 가장 자리 부위에는 상하면이 관통되어 체결나사(520)가 체결되는 나사공(510)이 형성될 수 있다 .상기 나사공(510)은 그 내주연에 나사산이 형성되는 것이 바람직하나, 이에 한정되지 않고 나사산이 형성되지 않을 수 있다.

안착대(600)는 상기 작업대(700)에서 이동되도록 지지되어 그 상면에 상기 지그(500)가 고정되는 수단으로서, 실질적으로 실리콘 잉곳(10)을 코어링 장치에 고정시키는 역할을 한다. 이러한 안착대(600)는 상기 지그(500)를 편평하게 유지한 상태에서 고정시킬 수 있도록 그 상면이 편평하게 형성되는 것이 바람직하다. 그리고, 지그(500)의 고정을 위하여 지그(500)의 나사공과 연통되는 다수의 나사 체결공(610)이 형성된다. 그래서, 체결나사(520)가 지그(500)의 상면으로 투입되어 지그(500)의 나사공(510)을 통과한 다음 안착대(600)의 나사 체결공(610)에 체결됨에 따라 지그(500)와 안착대(600)를 고정시킨다. 물론 지그(500)와 안착대(600)를 고정시키는 방법은 이에 한정되지 않고, 지그(500)의 하면에 다수의 돌출부를 형성하고, 안착대(600)의 상면에 상기 돌출부에 대응되는 오목부를 형성하여 지그(500)의 돌출부를 안착대(600)의 오목부에 결합할 수 있을 것이고, 그 반대의 경우도 가능할 것이다.

그리고, 본 실시예에서는 코어링 휠(100)이 주축에 장착되고, 승하강수단 및 회전수단이 주축(200)을 승하강 및 회전시키는 것으로 예시하였지만, 이에 한정되지 않고, 승하강수단(300) 및 회전수단(400)이 실리콘 잉곳(10)이 본딩되어 안착되는 안착대(600)를 승하강 및 회전시켜 코어링을 진행할 수 있을 것이다. 이때는 코어링 휠(100)이 고정되되고, 지그(500)에 본딩된 실리콘 잉곳(10)이 회전되면서 코어링 휠 방향으로 상승시켜 코어링을 진행할 수 있을 것이다.

또한, 본 실시예에서는 코어링 휠(100)이 상부에 배치되고, 작업대(700) 및 지그(500)가 코어링 휠(100)의 하부에 배치되는 것으로 예시하였지만, 이에 한정되지 않고, 작업대(700) 및 지그(500)가 상부에 배치되고, 그에 대향하도록 코어링 휠(100)이 하부에 배치될 수 있다. 이때도 마찬가지로 실리콘 잉곳(10)이 고정되고 코어링 휠(100)이 회전되면서 상승하여 코어링이 진행되거나, 코어링 휠(100)이 고정되고 실리콘 잉곳(10)이 회전되면서 하강하여 코어링이 진행될 수 있을 것이다.

이하, 본 발명에 따른 잉곳 코어링 장치의 작동상태를 설명하면 다음과 같다.

도 7은 본 발명에 따른 잉곳 코어링 장치의 사용 상태를 보여주는 사용상태도이다.

먼저, 실리콘 잉곳(10)을 코어링 하여 제조하고자 하는 실리콘 포커스링(실리콘 원통링(10a))의 내경 및 실리콘 전극(실리콘 중심 원통(10b))의 외경을 고려하여 이에 대응되는 직경을 갖는 코어링 휠(100)을 주축(200)의 척(210)에 장착한다.

그리고, 코어링 하고자 하는 실리콘 잉곳(10)의 하면을 플레이트형의 지그(500) 상면에 본딩한 다음, 지그(500)를 안착대(600)에 고정시킨다.

안착대(600)에 실리콘 잉곳(10)이 고정되면, 안착대(600)를 작업대(700)에서 이동시켜 실리콘 잉곳(10)의 중심과 코어링 휠(100)의 중심을 정렬한다.

이렇게 실리콘 잉곳(10)과 코어링 휠(100)의 정렬이 완료되면, 회전 유닛(400)을 작동시켜 코어링 휠(100)을 회전시키고, 승하강 유닛(300)을 작동시켜 코어링 휠(100)을 실리콘 잉곳(10)의 상면으로 하강시킨다. 그러면, 코어링 휠(100)의 절삭팁(130)이 실리콘 잉곳을 절삭하게 코어링이 진행된다. 이때 만약 코어링 휠(100)의 길이가 실리콘 잉곳(10)의 길이보다 긴 것을 선택하였다면, 실리콘 잉곳(10)의 상면에서 하면까지 한번에 코어링이 가능하다.

하지만, 코어링 휠(100)의 길이가 실리콘 잉곳(10) 길이의 절반보다 길고, 실리콘 잉곳(10)의 전체 길이보다 짧았다면 실리콘 잉곳(10)의 상면에서 하면 방향으로 1차 코어링을 수행한 다음, 실리콘 잉곳(10)과 지그(500)를 분리하고 다시 실리콘 잉곳(10)을 뒤집어 실리콘 잉곳(10)의 상면을 지그(500)에 본딩한 후 실리콘 잉곳(10)의 하면에서 상면 방향으로 2차 코어링을 수행한다.

이렇게 실리콘 잉곳(10)의 코어링이 완료되면, 안착대(600)에서 지그(500)를 분리하고, 지그(500)에서 실리콘 포커스링 제작을 위한 중심부가 비어 있는 실리콘 원통링(10a)과, 실리콘 전극 제작을 위한 실리콘 중심 원통(10b)으로 분리된 실리콘 잉곳(10)을 분리한다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉곳 코어링 장치의 사용 상태를 보여 주는 사용상태도이다.

도면에 도시된 바와 같이 잉곳 코어링 장치의 다른 실시예는 안착대(600)의 하면 중심에 회전축(620)을 구비하고, 상기 회전축(620)을 회전시키는 별도의 회전구동수단(미도시)을 구비함에 따라 코어링 시 코어링 휠(100)의 회전방향과 반대방향으로 안착대(600)를 회전시켜 실리콘 잉곳(10)을 코어링 휠(100)과 반대방향으로 회전시킴에 따라 코어링 휠(100)의 회전 효과를 증대시켜 코어링 시간을 단축할 수 있다.

이렇게 안착대(600)를 회전시키는 경우에는 상기 안착대(600)에 구비되는 회전축(620)의 중심과 안착대(600)에 고정되는 실리콘 잉곳(10)의 중심 및 코어링 휠(100)의 중심 사이의 정렬이 선행되어야 할 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 코어링 휠을 보여주는 사시도이고,

도 2는 본 발명에 따른 코어링 휠을 보여주는 단면도이며,

도 3a, 3b 및 도 4는 본 발명에 따른 코어링 휠의 다른 실시예를 보여주는 사시도이고,

도 5는 본 발명에 따른 잉곳 코어링 장치를 보여주는 사시도이며,

도 6은 본 발명에 다른 잉곳 코어링 장치의 요부를 보여주는 요부 사시도이고,

도 7은 본 발명에 따른 잉곳 코어링 장치의 사용 상태를 보여주는 사용상태도이고,

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉곳 코어링 장치의 사용 상태를 보여주는 사용상태도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10: 실리콘 잉곳 100: 코어링 휠

110: 몸체 120: 고정부

130: 절삭팁 200: 주축

210: 척 300: 승하강 유닛

400: 회전유닛 500: 지그

600: 안착대 700: 작업대

Claims (16)

1. 일측이 개구되는 원통형상의 몸체와;

   상기 몸체의 타측 면 중심에 돌출형성되는 고정부와;

   상기 몸체의 일측 개구단에 형성되는 절삭팁을 포함하고,

   상기 몸체의 타측 면에는 몸체의 내부와 외부를 관통하는 적어도 하나 이상의 관통홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 코어링 휠.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 몸체의 외주면에는 나사선형의 배출홈이 적어도 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 코어링 휠.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 배출홈은 그 일단이 상기 절삭팁의 단부로 개구되고, 그 타단이 상기 몸체의 타측 단부로 개구되는 것을 특징으로 하는 코어링 휠.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 절삭팁의 단부는 요철형상인 것을 특징으로 하는 코어링 휠.
5. 제 1항 또는 제 4항에 있어서,

   상기 절삭팁은 연마제를 전착, 납접, 용착 또는 소결확산 접합 중의 어느 하나의 처리방식으로 부착하여 제조되는 것을 특징으로 하는 코어링 휠.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 연마제는 다이아몬드 분말 또는 입방정질화붕소 분말인 것을 특징으로 하는 코어링 휠.
7. 제 1항에 있어서,

   상기 몸체의 길이는 적어도 코어링 하고자 하는 잉곳 길이의 절반 길이 보다는 긴 것을 특징으로 하는 코어링 휠.
8. 잉곳을 코어링 하는 코어링 휠과;

   상기 코어링 휠이 장착되는 주축과;

   잉곳이 본딩되는 플레이트형의 지그와;

   상기 코어링 휠에 대향배치되어 상기 지그가 고정되는 안착대를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 코어링 장치.
9. 제 8항에 있어서, 상기 코어링 휠은

   일측이 개구되는 원통형상의 몸체와;

   상기 몸체의 타측 면 중심에 돌출형성되는 고정부와;

   상기 몸체의 일측 개구단에 형성되는 절삭팁을 포함하고,

   상기 몸체의 타측 면에는 몸체의 내부와 외부를 관통하는 적어도 하나 이상의 관통홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 잉곳 코어링 장치.
10. 제 9항에 있어서,

    상기 몸체의 외주면에는 나사선형의 배출홈이 적어도 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 잉곳 코어링 장치.
11. 제 9항에 있어서,

    상기 몸체의 길이는 적어도 코어링 하고자 하는 잉곳 길이의 절반 길이 보다는 긴 것을 특징으로 하는 잉곳 코어링 장치.
12. 제 8항에 있어서,

    상기 지그는 카본 지그인 것을 특징으로 하는 잉곳 코어링 장치.
13. 제 8항에 있어서,

    상기 안착대에는 다수의 나사 체결공이 형성되고, 상기 지그를 관통하는 체결나사가 상기 나사 체결공의 어느 하나에 체결되는 것을 특징으로 하는 잉곳 코어링 장치.
14. 제 8항에 있어서,

    상기 안착대는 상기 코어링 휠의 회전 방대 방향으로 회전되는 것을 특징으로 하는 잉곳 코어링 장치.
15. 제 8항에 있어서,

    상기 주축 또는 안착대를 승하강 시키는 승하강 유닛과;

    상기 주축 또는 안착대를 회전시키는 회전 유닛과;

    상기 코어링 휠과 잉곳을 정렬시키는 정렬 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 코어링 장치.
16. 제 8항에 있어서,

    상기 안착대가 이동되도록 지지되는 작업대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 코어링 장치.

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