KR100656727B1 - 조합 클램프 링 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (19)
- 공정 챔버 내에서 사용하기 위한 멀티-피스 소모성 클램프 링으로서,a) 하향 연장되어 있고, 또한, 전기적으로 충전된 두 개의 부재 사이에 위치되어 있는 U자 형상의 환상 하부 링 부분, 및b) 상기 U자 형상의 환상 하부 링 부분의 윗면을 실질적으로 덮는 환상 하부 링 부분과 분리된 환상 상부 쉴드 부분을 구비하고,상기 하부 링 부분 및 상부 쉴드 부분은 착탈가능하게 함께 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 클램프 링.
- 제 1 항에 있어서, 상부 쉴드 부분 상에 숄더를 추가로 구비하여 상기 상부 쉴드 부분과 하부 링 부분을 서로에 대해 정렬하는 것을 특징으로 하는 클램프 링.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서, 상부 쉴드 부분을 하부 링 부분과 독립적으로 공정 챔버 내의 챔버 부재에 부착하기에 적합한, 상부 쉴드 부분 내의 복수의 홀을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 클램프 링.
- 제 4 항에 있어서, 패스너의 헤드가 상부 쉴드 부분 안으로 적어도 부분적으로 들어가도록 하기에 적합한, 상부 쉴드 부분의 오목한 영역을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 클램프 링.
- 제 5 항에 있어서, 패스너를 덮기에 적합한 캡을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 클램프 링.
- 제 4 항에 있어서, 하부 링 부분이 챔버 부재에 부착되지 않고 하부 링 부분이 상부 쉴드 부분과 정렬되게 하는 것을 특징으로 하는 클램프 링.
- 제 7 항에 있어서, 하부 링 부분이 상부 쉴드 부분 상의 숄더에 정렬되도록 허용되는 것을 특징으로 하는 클램프 링.
- 제 1 항에 있어서, 상기 상부 쉴드 부분 및 하부 링 부분은 상기 부분중 하나의 부분상의 돌기부와 다른 부분상의 대응 디텐트와 착탈가능하게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 클램프 링.
- a) 바닥, 측벽, 및 상면을 구비한 챔버;b) 챔버 내부의 기판 지지면;c) 챔버 내에서 플라즈마를 생성하기에 적합한 파워 서플라이; 및d) 공정 시스템 내의 공정으로부터 적어도 부분적으로 쉴드된, 하향 연장되어 있는 U자 형상의 하부 링 부분과 상부 쉴드 부분을 구비하고, 상기 하부 링 부분 및 상부 쉴드 부분은 착탈가능하게 함께 연결되어 있는 멀티-피스 클램프 링을 구비하는 것을 특징으로 하는 공정 시스템.
- 제 10 항에 있어서, 상기 클램프 링을 상승 및 하강시키기에 적합한 리프트 기구를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 공정 시스템.
- 제 10 항에 있어서, 상기 U자 형상의 하부 링 부분이 절연 라이너와 겹치는 것을 특징으로 하는 공정 시스템.
- 제 10 항에 있어서, 하부 링 부분 및 상부 쉴드 부분이 링 부분을 함께 연결하도록 돌출부 및 디텐트를 구비하는 것을 특징으로 하는 공정 시스템.
- 공정 챔버 내에서 사용하기 위한 소모성 클램프 링으로서,하향 연장되어 있는 U자 형상의 환상 하부 링 부분과 착탈가능하게 연결되어 있고, 상기 하부 링 부분의 윗면을 실질적으로 덮는 환상 상부 쉴드 부분을 구비하는 것을 특징으로 하는 클램프 링.
- 제 14 항에 있어서, 상부 쉴드 부분 상에 숄더를 추가로 구비하여 상기 상부 쉴드 부분을 하부 링 부분과 정렬하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 클램프 링.
- 제 15 항에 있어서, 상기 상부 쉴드 부분은 상기 하부 링 부분의 윗면과 겹치도록 된 숄더에 인접한 하부 부분을 구비하는 것을 특징으로 하는 클램핑 링.
- 제 14 항에 있어서, 상기 공정 챔버 내의 챔버 구성요소에 상부 쉴드 부분을 연결하도록 하나 이상의 패스너를 안에 수용하는 상부 쉴드 부분 내의 하나 이상의 홀을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 클램핑 링.
- 제 14 항에 있어서, 상기 상부 쉴드 부분 및 하부 링 부분은 상기 부분중 하나의 부분상의 돌기부와 다른 부분상의 대응 디텐트와 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 클램프 링.
- 제 14 항에 있어서, 상기 상부 쉴드 부분이 공정 챔버 내에서 수직으로 이동됨에 따라 상기 상부 쉴드 부분은 하부 링 부분과 맞물림 해제되도록 하는 것을 특징으로 하는 클램핑 링.
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