KR980009720U - 반도체 웨이퍼 클램프 조립체 - Google Patents
반도체 웨이퍼 클램프 조립체 Download PDFInfo
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Abstract
반도체 웨이퍼의 클램핑시 웨이퍼왕 클램프의 고정력 불균일에 의한 웨이퍼 손상 및 깨침현상을 방지할 수 있도록 한 반도체 웨이퍼 클램프 조립체에 관한 것이다.
본 고안의 구성은 공정챔버내의 프레임(11)에 보울트(13)로 고정되는 클램프 홀더(12)와, 상기 클램프 홀더의 일측에 고정되어 웨이퍼의 가장자리부를 고정하는 클램프(14)와, 상기 클램프 홀더의 상부에 설치된 클램프 커버(16)로 구성된 반도체 웨이퍼 클램프 조립체에 있어서, 상기 클램프(14)가 고정되는 클램프 홀더(12)와 이를 고정하는 보울트(13) 사이에 코일스프링(19)을 탄력설치하여 클램프가 탄력적으로 유동가능하게 구성된 것이다.
따라서 웨이퍼 클램핑시 각 클램프와 웨이퍼 사이의 고정력이 균일하게 이루어져 웨이퍼의 변형에 의한 손상 및 깨짐이 방지됨으로써 수율이 향상되는 효과가 있다.
Description
제1도는 종래의 웨이퍼 클램프 조립체를 나타낸 단면구조이다.
제2도는 본 고안에 따른 클램프 조립체를 나탸낸 단면구조이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1, 11 : 프레임 2, 12 : 클램프 홀더 3, 13, 5, 15 : 보울트
4, 14 : 클램프 4a, 14a : 선단부 6, 16 : 커버
7, 17 : 웨이퍼 8, 18 : 척 12a : 관통구멍
12b : 단턱 13a : 머리부 19 : 코일스프링
본 고안은 반도체 웨이퍼 클램프 조립체에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼 클램핑시 웨이퍼와 클램프의 고정력 불균일에 의한 웨이퍼 손상 및 깨짐현상을 방지할 수 있도록 한 반도체 웨이퍼 클램프 조립체에 관한 것이다.
반도체장치의 제조조정중 건식식각설비에서는, 건식식각시 공정챔버내에 폴리머(Polymer)가 형성되고, 이 폴리머는 파티클로 되어 웨이퍼 표면에 떨어짐으로써 불량을 유발하게 되므로 이를 방지하기 위해 공정챔버내의 온도를 고온상태로 유지하고 있다.
이와 같이 공정챔버내의 온도를 고온로 유지하여 온도가 높아지면 웨이퍼 표면의 포토 레지스트가 타는 현상이 발생하게 되므로 이를 방지하기 위하여 웨이퍼 뒷면에 열전도율이 양호한 헬륨가스로 냉각 시켜주고 있다. 따라서 헬륨가스를 웨이퍼 뒷면에 분사시킬 때 분사압에 의해 웨이퍼가 움직이게 되므로 이를 방지하기 위해 클램프 조립체로 웨이퍼를 움직이게 되므로 이를 방지하기 위해 클램프 조립체로 웨이퍼를 움직이지 않도록 고정지지하고 있다.
상기와 같은 종래의 클램프 조립체는 제1도에 도시된 바와 같이 공공챔버내의 프레임(1)에 클램프 홀더(2)가 볼트(3)로 고정되고, 클램프 홀더(2) 일측에 클램프(4) 볼트(5)로 고정되며, 클램프 홀더 (2)상에는 클램프 커버(6)가 설치된 구성이다. 이러한 클램프 조립체는 공정챔버내에 적어도 2개 이상 구비되어 웨이퍼(7)의 가장자리부를 여러곳에서 고정지지하게 된다.
따라서 가상선으로 도시된 바와 같이 웨이퍼(7)가 놓여진 척(Chuck)(8)이 상승하게 되면, 웨이퍼(7)의 상면 가장자리부가 클램프(4)의 선단부(4a)에 접촉되어 지지됨으로써 고정되는 것이다.
그러나 클램프 조립체의 설치시 조립오차가 발생하게 되고, 이로써 웨이퍼(7) 접촉되는 클램프(4)의 선단부(4a) 높이가 각기 조금씩 상이하게 되므로 웨이퍼(7)의 클램핑시 웨이퍼(7)와 각 클램프(4) 사이의 고정력이 상이하게 된다.
따라서 웨이퍼(7)와 클램프(4)의 고정력이 커지게 되면, 웨이퍼(7)의 표면에 손상을 주게 되고, 전체적으로 고정력이 불균형을 이루는 경우 웨이퍼(7)가 수평을 이루지 못하고 변형되어 손상되고, 심하게는 깨짐 등의 불량이 발생하는 문제점이 있었다.
본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은, 웨이퍼 클림핑시 각 클램프의 고정력이 균일하게 작용하도록 하여 웨이퍼의 변형에 의한 손상 및 깨짐을 방지할 수 있는 반도체 웨이퍼 클램프 조립체를 제공하는 데 있다.
상기의 목적은 공정챔버내의 프레임에 보울트로 고정되는 클램프 홀더와, 상기 클램프 홀더의 일측에 고정되어 웨이퍼의 가장자리부를 고정하는 클램프와, 상기 클램프 홀더의 상부에 설치된 클램프 커버로 구성된 반도체 웨이퍼 클램프 조립체에 있어서, 상기 클램프가 고정되는 클램프 홀더와 이를 고정하는 보울트 사이에 코일스프링을 탄력설치하여 클램프가 탄력적으로 유동가능하게 됨을 특징으로 하는 반도체 클램프 조립체에 의해 달성될 수 있다.
이하, 본 고안에 따른 반도체 웨이퍼 클램프 조립체를 첨부도면에 의하여 상세하게 설명한다. 제2도는 본 고안에 따른 반도체 웨이퍼 클램프 조립체를 나타낸 것으로, 고정챔버내의 프레임(11)에 클램프 홀더(12)가 보울트(13)로 고정되고, 클램프 홀더(12)의 일측에는 웨이퍼(17)를 고정하는 클램프(14)가 보울트(15)로 고정되며, 클램프 홀더(12)의 상부에는 클램프 커버(16)가 설치되어 있다.
또한 상기 클램프 홀더(12) 및 클램프(14)는 공정챔버의 프레임(11)으로부터 탄력적으로 유동가능하게 설치된 것으로, 즉 클램프 홀더(12)와 이를 프레임(11)에 고정하는 보울트(13)사이에 코일스프링 (19)이 설치되어 있으며, 코일스프링(19)의 상단은 보울트(13)의 머리부(13a)에 지지되고, 하단은 클렘프 홀더(12)에 형성된 관통구멍 (12a)의 단턱(12b)에 지지된 구성이다.
또한 보울트(13)의 머리부(13a)와 프레임(11) 사이에 스페이서 (20)가 설치되고, 이 스페이서(20)는 코일스프링(19)의 설치시 탄성력을 일정하게 유지한다.
이러한 구성의 본 고안은 클램프 홀더(12)가 코일스프링(19)에 의해 탄력적으로 유동가능하게 설치된 것이므로 웨이퍼(17)와 각 클램프(14) 사이에 작용하는 고정력이 상이한 경우에도 이를 완화시켜 웨이퍼(17)의 고정력을 균일하게 유지할 수 있다.
즉 제2도에 도시된 바와 같이 웨이퍼(17)가 놓여진 척(18)을 상승시켜 웨이퍼(17)의 가장자리부가 클램프(14)의 선단부(14a)에 접촉되도록 함으로써 웨이퍼(17)를 클램핑할 때 웨이퍼(17)와 어느 한 쪽의 클램프(14)사이에 고정력이 크게 작용되면, 코일스프링(19)이 압축되면서 클램프(14)가 도면의 가상선 상태로 유동되어 고정력을 감소시키게 되는 것이고, 코일스프링(19)의 탄성복원력이 웨이퍼(17)에 누름력으로 작용하여 웨이퍼(17)를 고정지지하게 된다.
상기와 같이 코일스프링(19)에 의해 유동되는 클램프(14)의 유동범위는 웨이퍼(17)와 클램프(14) 유동범위는 웨이퍼(17)와 사이에 작용하는 고정력에 비례하는 것이고, 이러한 각 클램프(14)의 탄력적인 유동으로 고정력의 세기에 관계없이 웨이퍼(17)를 항상 균일한 고정력으로 고정지지할 수 있는 것이다.
이상에서와 같이 본 고안에 따른 반도체 웨이퍼 클램핑 조립체에 의하면, 웨이퍼 클램핑시 각 클램프와 웨이퍼 사이의 고정력이 균일하게 이루어져 웨이퍼의 변형에 의한 손상 및 깨짐이 방지됨으로서 수율이 향상되는 효과가 있다.
본 고안은 이상에서 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 고안의 사상과 범위내에서 다양한 변형이나 수정이 가능함은 본 고안이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 이러한 변형이나 수정이 첨부된 실용신안 등록청구의 범위에 속함은 당연하다.
Claims (2)
- 공정챔버내의 프레임에 보울트로 고정되는 클램프 홀더와, 상기 클램프 홀더의 일측에 고정되어 웨이퍼의 가장자리부를 고정하는 클램프와, 상기 클램프 홀더의 상부에 설치된 클램프 커버로 구성된 반도체 웨이퍼 클램프 조립체에 있어서,상기 클램프가 고정되는 클램프 홀더와 이를 고정하는 보울트 사이에 코일스프링을 탄력설치하여 클램프가 탄력적으로 유동가능하게 됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 클램프 조립체.
- 제1항에 있어서, 상기 보울트의 머리부와 프레임 사이에 코일스프링의 탄성력을 일정하게 유지하는 스페이서가 설치됨을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 클램프 조립체.※참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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