JPS61153913A - 真空バルブ - Google Patents
真空バルブInfo
- Publication number
- JPS61153913A JPS61153913A JP27367784A JP27367784A JPS61153913A JP S61153913 A JPS61153913 A JP S61153913A JP 27367784 A JP27367784 A JP 27367784A JP 27367784 A JP27367784 A JP 27367784A JP S61153913 A JPS61153913 A JP S61153913A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- vacuum
- spring
- guide
- bellows
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は真空バルブに関する。
真空バルブは、高真空に排気されたガラスあるいはアル
ミナ磁器製の容器中で接点を開離し、真空の持つ優れた
消弧性、絶縁性を利用して電路のしゃ断を行うものであ
る。従って、真空バルブの性能は、その内部真空度の良
否によって大きく左右されるため、実使用状態で真空度
の監視ができるようにすることを要望される場合がある
。
ミナ磁器製の容器中で接点を開離し、真空の持つ優れた
消弧性、絶縁性を利用して電路のしゃ断を行うものであ
る。従って、真空バルブの性能は、その内部真空度の良
否によって大きく左右されるため、実使用状態で真空度
の監視ができるようにすることを要望される場合がある
。
この真空度監視方法には種々のものが考案されてはいる
が、そのほとんどは複雑で高価であったり、信頼性に欠
けたりし、実用上多くの問題がある。
が、そのほとんどは複雑で高価であったり、信頼性に欠
けたりし、実用上多くの問題がある。
そのうち比較的構造が簡単で容易に真空バルブに取り付
けられる方法として、第２図に示すようなものがある。
けられる方法として、第２図に示すようなものがある。
第２図に於て真空容器１の一方の固定側端板２に検出用
ベローズ３が取り付けられ、この検出用ベローズ８には
軸４の一端が固着されている。軸４の他端にはバネ押え
６が取り付けられ、このバネ押え５と固定側端板２との
間にはノ（ネ６が設けられている。真空バルブ内の真空
度が正規の値Ｃ二保たれている場合、大気圧と真空との
圧力差による力で軸４は真空パルプ内方内入へ引かれる
が、それに抗する方向へバネ６の力が作用するため、両
者の力がバランスをとった位置で軸４およびバネ押え５
は停止している。この状態で、万−何らかの原因で容器
１内が真空不良になった場合、真空容器内外の圧力差が
消失するので、軸４およびバネ押え５はバネ６０力によ
り真空バルブの外方向Ｂへ移動することになる。この変
化を何らかの方法で検知することにより、真空バルブ内
部の真空度を監視することができる。
ベローズ３が取り付けられ、この検出用ベローズ８には
軸４の一端が固着されている。軸４の他端にはバネ押え
６が取り付けられ、このバネ押え５と固定側端板２との
間にはノ（ネ６が設けられている。真空バルブ内の真空
度が正規の値Ｃ二保たれている場合、大気圧と真空との
圧力差による力で軸４は真空パルプ内方内入へ引かれる
が、それに抗する方向へバネ６の力が作用するため、両
者の力がバランスをとった位置で軸４およびバネ押え５
は停止している。この状態で、万−何らかの原因で容器
１内が真空不良になった場合、真空容器内外の圧力差が
消失するので、軸４およびバネ押え５はバネ６０力によ
り真空バルブの外方向Ｂへ移動することになる。この変
化を何らかの方法で検知することにより、真空バルブ内
部の真空度を監視することができる。
ところが、一般に真空パルプの製造工程には、部品の銀
ロウ付あるいは加熱排気といった熱工程が含まれるため
に、図２に示したような構造で真空パルプを製作すると
バネ６は熱影響のために鈍り、そのためバネ定数が低下
し、真空不良時に軸４およびバネ押え５が真空パルプの
外方向Ｂへ移動する距離が所期のものに比べて短かくな
り、確実な真空度監視が出来なくなる恐れがある。この
ためにバネ６を最後に取付けることが必要になるが、バ
ネ６を外した状態で真空パルプを排気すると検出用ベロ
ーズ８は圧力差により真空パルプの内方同人へ引かれ、
検出用ベローズ８には過剰な力が作用することになる。
ロウ付あるいは加熱排気といった熱工程が含まれるため
に、図２に示したような構造で真空パルプを製作すると
バネ６は熱影響のために鈍り、そのためバネ定数が低下
し、真空不良時に軸４およびバネ押え５が真空パルプの
外方向Ｂへ移動する距離が所期のものに比べて短かくな
り、確実な真空度監視が出来なくなる恐れがある。この
ためにバネ６を最後に取付けることが必要になるが、バ
ネ６を外した状態で真空パルプを排気すると検出用ベロ
ーズ８は圧力差により真空パルプの内方同人へ引かれ、
検出用ベローズ８には過剰な力が作用することになる。
また製造工程において取扱上何らかの力が軸４に作用す
ると検出用ぺ町−ズ３が過剰に伸縮し、損傷する恐れも
ある。
ると検出用ぺ町−ズ３が過剰に伸縮し、損傷する恐れも
ある。
本発明は真空度を監視するために別に設けられた検出用
ベローズを有する真空パルプにおいて、検出用ベローズ
の過剰伸縮を防止することにより信頼性の高い構造とし
、安定した確実な動作を行なう真空度監視装置を有する
真空パルプを提供することを目的としたものである。
ベローズを有する真空パルプにおいて、検出用ベローズ
の過剰伸縮を防止することにより信頼性の高い構造とし
、安定した確実な動作を行なう真空度監視装置を有する
真空パルプを提供することを目的としたものである。
本発明は前記軸に段差を設け、その径小部分で真空パル
プの端板あるいは端板に連結されたガイドと摺動させる
とともに、端板またはガイドに軸の段差部が当たるよう
にし、ベローズの過剰な伸縮を防止しようとするもので
ある。
プの端板あるいは端板に連結されたガイドと摺動させる
とともに、端板またはガイドに軸の段差部が当たるよう
にし、ベローズの過剰な伸縮を防止しようとするもので
ある。
以下図面を用いて、本発明の詳細な説明する。
第１図において、検出用ベローズ８はその開口端部８ａ
を円筒状のガイド１１のつば状部分に銀ロウ付等により
気密接合されており、このガイド１１の一端は固定側端
板２と溶接等により気密接合されている。またベローズ
３の他端８ｂはジョイン） １２を介して軸１３の一端
に銀ロウ付等により気密接合されており軸１３はガイド
１１の内径小部分と摺動するとともに軸１３の段差部１
８ａがガイド１１に当たるように構成されている。さら
に軸１３の他端に施されたネジを利用し、バネ押え１４
によりバネ６がガイド１１と軸１３の隙間に装着されて
いる。そして、軸１３の端部近傍に設けられた小孔を利
用し、絶縁棒１６がビン１５により貫通固定されている
。
を円筒状のガイド１１のつば状部分に銀ロウ付等により
気密接合されており、このガイド１１の一端は固定側端
板２と溶接等により気密接合されている。またベローズ
３の他端８ｂはジョイン） １２を介して軸１３の一端
に銀ロウ付等により気密接合されており軸１３はガイド
１１の内径小部分と摺動するとともに軸１３の段差部１
８ａがガイド１１に当たるように構成されている。さら
に軸１３の他端に施されたネジを利用し、バネ押え１４
によりバネ６がガイド１１と軸１３の隙間に装着されて
いる。そして、軸１３の端部近傍に設けられた小孔を利
用し、絶縁棒１６がビン１５により貫通固定されている
。
以上のようにして構成された真空度監視装置を備えた真
空パルプを製造する場合、前述したようにバネ６を最後
に装着するため、その製造工程においてベローズは第１
図の下方向に真空バルブ内外の圧力差により力を受け、
検出用ベローズ３に連結された軸１３と共に移動するが
、軸１３の段差部１８ａとガイド１１が当るために必要
以上に検出用ベローズ３が伸びるのが防上される。また
、取扱上軸１３に図示上方向の力が作用した場合にもジ
ヨイント１２がガイド１１端面に当り検出用ベローズ８
の過剰な縮みが防止できる。
空パルプを製造する場合、前述したようにバネ６を最後
に装着するため、その製造工程においてベローズは第１
図の下方向に真空バルブ内外の圧力差により力を受け、
検出用ベローズ３に連結された軸１３と共に移動するが
、軸１３の段差部１８ａとガイド１１が当るために必要
以上に検出用ベローズ３が伸びるのが防上される。また
、取扱上軸１３に図示上方向の力が作用した場合にもジ
ヨイント１２がガイド１１端面に当り検出用ベローズ８
の過剰な縮みが防止できる。
このように検出用ベローズ８の過剰な伸縮が防止できる
ため検出用ベローズ３が損傷することがなく、信頼性の
高い真空度監視装置となる。また、従来例においては圧
力差により検出用ベローズ８が受ける力とバネ６による
力とが釣合った位置が真空正常時の設定位置となるが、
この場合、バネ６本体および検出用ベローズ８自身の持
つバネ定数のばらつきにより設定位置が異なってくる。
ため検出用ベローズ３が損傷することがなく、信頼性の
高い真空度監視装置となる。また、従来例においては圧
力差により検出用ベローズ８が受ける力とバネ６による
力とが釣合った位置が真空正常時の設定位置となるが、
この場合、バネ６本体および検出用ベローズ８自身の持
つバネ定数のばらつきにより設定位置が異なってくる。
本実施例によれば、軸１３の段差部１８ａとガイド１１
が当る状態で、圧力差によりベローズ８が受ける力をＰ
１バネによる力をＱ１バネ定数のばらつきを考慮した裕
度なＲとした時、Ｐ）Ｑ−）−Ｒとなるようにしておけ
ば、一定位置に設定でき、確実な真空度監視ができるこ
とになる。
が当る状態で、圧力差によりベローズ８が受ける力をＰ
１バネによる力をＱ１バネ定数のばらつきを考慮した裕
度なＲとした時、Ｐ）Ｑ−）−Ｒとなるようにしておけ
ば、一定位置に設定でき、確実な真空度監視ができるこ
とになる。
なお、本実施例においては、ガイドエ１の内径小部分を
軸の段差部１８ｍとジヨイント１２ではさむように配置
し、軸１３とジヨイント１２を接合しているが本実施例
によらず、軸１３とジヨイント１２を一体成形し、軸の
段差部１８ａに相当するリング状部材を軸１３に嵌合し
ても同様の構成となる。すなわちジヨイント１２を軸１
３の一部とみなせば、軸１３の径小部分でガイドＵと摺
動させるとともに径大部分で過剰な動作を阻止する構成
とすることで本発明による目的が達成される。また、軸
１３の摺動を端板２と行なわせる構成としてもやはり同
様である。
軸の段差部１８ｍとジヨイント１２ではさむように配置
し、軸１３とジヨイント１２を接合しているが本実施例
によらず、軸１３とジヨイント１２を一体成形し、軸の
段差部１８ａに相当するリング状部材を軸１３に嵌合し
ても同様の構成となる。すなわちジヨイント１２を軸１
３の一部とみなせば、軸１３の径小部分でガイドＵと摺
動させるとともに径大部分で過剰な動作を阻止する構成
とすることで本発明による目的が達成される。また、軸
１３の摺動を端板２と行なわせる構成としてもやはり同
様である。
本発明によれば軸に段差をつけ検出用ベローズの過剰な
伸びを防止したので、信頼性の高い真空不良検出−置
の真空パルプを得ることができる。
伸びを防止したので、信頼性の高い真空不良検出−置
の真空パルプを得ることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す真空度監視装置の断面
図、第２図は従来の真空度監視装置を備えた真空パルプ
の概要断面図である。 ２・・・固定側端板 ８・・・検出用ベローズ１３・
・・軸 １４・・・バネ押え６・・・バネ１
１・・・ガイド （７３１７）代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか
１名）第１図 第２図 手 続 補 正 書 く自発）ＷＢ？ａｅｆ
４．’！９８
図、第２図は従来の真空度監視装置を備えた真空パルプ
の概要断面図である。 ２・・・固定側端板 ８・・・検出用ベローズ１３・
・・軸 １４・・・バネ押え６・・・バネ１
１・・・ガイド （７３１７）代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか
１名）第１図 第２図 手 続 補 正 書 く自発）ＷＢ？ａｅｆ
４．’！９８
Claims (1)
- 絶縁筒の両端を端板で閉塞した真空容器と、この真空容
器内の軸方向に対向して接離可能な状態で１対の電極を
配置してなる真空バルブにおいて、前記端板のいずれか
一方の内側にガイドを介して検出用ベローズの一端に固
着し、検出用ベローズの他端を軸の一端に固着し、軸の
他端をバネ押えに結合し、前記軸の中間部に突部を設け
、この突部の一端を前記ガイドの一端と当接させ、バネ
を前記軸に装着し、前記バネはバネ押えと前記ガイド間
に配置させ、前記軸は前記ガイドの中心部に明けられた
穴に貫通させて配置させたことを特徴とする真空バルブ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27367784A JPH0237056B2 (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | Shinkubarubu |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27367784A JPH0237056B2 (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | Shinkubarubu |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61153913A true JPS61153913A (ja) | 1986-07-12 |
| JPH0237056B2 JPH0237056B2 (ja) | 1990-08-22 |
Family
ID=17531008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27367784A Expired - Lifetime JPH0237056B2 (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | Shinkubarubu |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0237056B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0242340U (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-23 | ||
| DE10245866A1 (de) * | 2002-09-30 | 2004-04-08 | Schott Glas | Vorrichtung zur Vakuumüberwachung von Anlagekomponenten mit evakuiertem Hohlraum, insbesondere für Glasproduktion |
| JP2006112812A (ja) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Tohoku Univ | 真空度測定構造，真空断熱パネル及び真空度測定方法，並びに真空度測定構造を備えた真空構造体及びその製造方法 |
| WO2008116788A2 (de) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur überwachung des vakuums |
| JP2012216325A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | タンク形真空遮断器 |
| JP2013192753A (ja) * | 2012-03-21 | 2013-09-30 | Nohmi Bosai Ltd | スプリンクラヘッド取付具 |
-
1984
- 1984-12-27 JP JP27367784A patent/JPH0237056B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0242340U (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-23 | ||
| JPH0723878Y2 (ja) * | 1988-09-14 | 1995-05-31 | 松下電工株式会社 | 高周波リレーの構造 |
| DE10245866A1 (de) * | 2002-09-30 | 2004-04-08 | Schott Glas | Vorrichtung zur Vakuumüberwachung von Anlagekomponenten mit evakuiertem Hohlraum, insbesondere für Glasproduktion |
| DE10245866B4 (de) * | 2002-09-30 | 2006-02-23 | Schott Ag | Vorrichtung zur Vakuumüberwachung einer Anlagekomponente mit evakuiertem Hohlraum, insbesondere für die Glasproduktion |
| JP2006112812A (ja) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Tohoku Univ | 真空度測定構造，真空断熱パネル及び真空度測定方法，並びに真空度測定構造を備えた真空構造体及びその製造方法 |
| WO2008116788A2 (de) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur überwachung des vakuums |
| WO2008116788A3 (de) * | 2007-03-23 | 2008-12-11 | Siemens Ag | Vorrichtung zur überwachung des vakuums |
| JP2012216325A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | タンク形真空遮断器 |
| JP2013192753A (ja) * | 2012-03-21 | 2013-09-30 | Nohmi Bosai Ltd | スプリンクラヘッド取付具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0237056B2 (ja) | 1990-08-22 |
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