JPH0237056B2 - Shinkubarubu - Google Patents
ShinkubarubuInfo
- Publication number
- JPH0237056B2 JPH0237056B2 JP27367784A JP27367784A JPH0237056B2 JP H0237056 B2 JPH0237056 B2 JP H0237056B2 JP 27367784 A JP27367784 A JP 27367784A JP 27367784 A JP27367784 A JP 27367784A JP H0237056 B2 JPH0237056 B2 JP H0237056B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- vacuum
- spring
- guide
- vacuum valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 5
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は真空バルブに関する。
真空バルブは、高真空に排気されたガラスある
いはアルミナ磁器製の容器中で接点を開離し、真
空の持つ優れた消弧性、絶縁性を利用して電路の
しや断を行うものである。従つて、真空バルブの
性能は、その内部真空度の良否によつて大きく左
右されるため、実使用状態で真空度の監視ができ
るようにすることを要望される場合がある。
いはアルミナ磁器製の容器中で接点を開離し、真
空の持つ優れた消弧性、絶縁性を利用して電路の
しや断を行うものである。従つて、真空バルブの
性能は、その内部真空度の良否によつて大きく左
右されるため、実使用状態で真空度の監視ができ
るようにすることを要望される場合がある。
この真空度監視方法には種々のものが考案され
てはいるが、そのほとんどは複雑で高価であつた
り、信頼性に欠けたりし、実用上多くの問題があ
る。そのうち比較的構造が簡単で容易に真空バル
ブに取り付けられる方法として、第２図に示すよ
うなものがある。第２図に於て真空容器１の一方
の固定側端板２に検出用ベローズ３が取り付けら
れ、この検出用ベローズ３には軸４の一端が固着
されている。軸４の他端にはバネ押え５が取り付
けられ、このバネ押え５と固定側端板２との間に
はバネ６が設けられている。真空バルブ内の真空
度が正規の値に保たれている場合、大気圧と真空
との圧力差による力で軸４は真空バルブ内方向Ａ
へ引かれるが、それに抗する方向へバネ６の力が
作用するため、両者の力がバランスをとつた位置
で軸４およびバネ押え５は停止している。この状
態で、万一何らかの原因で容器１内が真空不良に
なつた場合、真空容器内外の圧力差が消失するの
で、軸４およびバネ押え５はバネ６の力により真
空バルブの外方向Ｂへ移動することになる。この
変化を何らかの方法で検知することにより、真空
バルブ内部の真空度を監視することができる。
てはいるが、そのほとんどは複雑で高価であつた
り、信頼性に欠けたりし、実用上多くの問題があ
る。そのうち比較的構造が簡単で容易に真空バル
ブに取り付けられる方法として、第２図に示すよ
うなものがある。第２図に於て真空容器１の一方
の固定側端板２に検出用ベローズ３が取り付けら
れ、この検出用ベローズ３には軸４の一端が固着
されている。軸４の他端にはバネ押え５が取り付
けられ、このバネ押え５と固定側端板２との間に
はバネ６が設けられている。真空バルブ内の真空
度が正規の値に保たれている場合、大気圧と真空
との圧力差による力で軸４は真空バルブ内方向Ａ
へ引かれるが、それに抗する方向へバネ６の力が
作用するため、両者の力がバランスをとつた位置
で軸４およびバネ押え５は停止している。この状
態で、万一何らかの原因で容器１内が真空不良に
なつた場合、真空容器内外の圧力差が消失するの
で、軸４およびバネ押え５はバネ６の力により真
空バルブの外方向Ｂへ移動することになる。この
変化を何らかの方法で検知することにより、真空
バルブ内部の真空度を監視することができる。
ところが、一般に真空バルブの製造工程には、
部品の銀ロウ付あるいは加熱排気といつた熱工程
が含まれるために、図２に示したような構造で真
空バルブを製作するとバネ６は熱影響のために鈍
り、そのためバネ定数が低下し、真空不良時に軸
４およびバネ押え５が真空バルブの外方向Ｂへ移
動する距離が所期のものに比べて短かくなり、確
実な真空度監視が出来なくなる恐れがある。この
ためにバネ６を最後に取付けることが必要になる
が、バネ６を外した状態で真空バルブを排気する
と検出用ベローズ３は圧力差により真空バルブの
内方向Ａへ引かれ、検出用ベローズ３には過剰な
力が作用することになる。また製造工程において
取扱上何らかの力が軸４に作用すると検出用ベロ
ーズ３が過剰に伸縮し、損傷する恐れもある。
部品の銀ロウ付あるいは加熱排気といつた熱工程
が含まれるために、図２に示したような構造で真
空バルブを製作するとバネ６は熱影響のために鈍
り、そのためバネ定数が低下し、真空不良時に軸
４およびバネ押え５が真空バルブの外方向Ｂへ移
動する距離が所期のものに比べて短かくなり、確
実な真空度監視が出来なくなる恐れがある。この
ためにバネ６を最後に取付けることが必要になる
が、バネ６を外した状態で真空バルブを排気する
と検出用ベローズ３は圧力差により真空バルブの
内方向Ａへ引かれ、検出用ベローズ３には過剰な
力が作用することになる。また製造工程において
取扱上何らかの力が軸４に作用すると検出用ベロ
ーズ３が過剰に伸縮し、損傷する恐れもある。
本発明は真空度を監視するために別に設けられ
た検出用ベローズを有する真空バルブにおいて、
検出用ベローズの過剰伸縮を防止することにより
信頼性の高い構造とし、安定した確実な動作を行
なう真空度監視装置を有する真空バルブを提供す
ることを目的としたものである。
た検出用ベローズを有する真空バルブにおいて、
検出用ベローズの過剰伸縮を防止することにより
信頼性の高い構造とし、安定した確実な動作を行
なう真空度監視装置を有する真空バルブを提供す
ることを目的としたものである。
本発明は前記軸に段差を設け、その径小部分で
真空バルブの端板あるいは端板に連結されたガイ
ドと摺動させるとともに、端板またはガイドに軸
の段差部が当たるようにし、ベローズの過剰な伸
縮を防止しようとするものである。
真空バルブの端板あるいは端板に連結されたガイ
ドと摺動させるとともに、端板またはガイドに軸
の段差部が当たるようにし、ベローズの過剰な伸
縮を防止しようとするものである。
以下図面を用いて、本発明の実施例を説明す
る。
る。
第１図において、検出用ベローズ３はその開口
端部３ａを円筒状のガイド１１のつば状部分に銀
ロウ付等により気密接合されており、このガイド
１１の一端は固定側端板２と溶接等により気密接
合されている。またベローズ３の他端３ｂはジヨ
イント１２を介して軸１３の一端に銀ロウ付等に
より気密接合されており軸１３はガイド１１の内
径小部分と摺動するとともに軸１３の段差部１３
ａがガイド１１に当たるように構成されている。
さらに軸１３の他端に施されたネジを利用し、バ
ネ押え１４によりバネ６がガイド１１と軸１３の
隙間に装着されている。そして、軸１３の端部近
傍に設けられた小孔を利用し、絶縁棒（例えば四
フツ化エチレン樹脂）１６がピン１５により貫通
固定されている。
端部３ａを円筒状のガイド１１のつば状部分に銀
ロウ付等により気密接合されており、このガイド
１１の一端は固定側端板２と溶接等により気密接
合されている。またベローズ３の他端３ｂはジヨ
イント１２を介して軸１３の一端に銀ロウ付等に
より気密接合されており軸１３はガイド１１の内
径小部分と摺動するとともに軸１３の段差部１３
ａがガイド１１に当たるように構成されている。
さらに軸１３の他端に施されたネジを利用し、バ
ネ押え１４によりバネ６がガイド１１と軸１３の
隙間に装着されている。そして、軸１３の端部近
傍に設けられた小孔を利用し、絶縁棒（例えば四
フツ化エチレン樹脂）１６がピン１５により貫通
固定されている。
以上のようにして構成された真空度監視装置を
備えた真空バルブを製造する場合、前述したよう
にバネ６が最後に装着するため、その製造工程に
おいてベローズは第１図の下方向に真空バルブ内
外の圧力差により力を受け、検出用ベローズ３に
連結された軸１３と共に移動するが、軸１３の段
差部１３ａとガイド１１が当るために必要以上に
検出用ベローズ３が伸びるのが防止される。ま
た、取扱上軸１３に図示上方向の力が作用した場
合にもジヨイント１２がガイド１１端面に当り検
出用ベローズ３の過剰な縮みが防止できる。
備えた真空バルブを製造する場合、前述したよう
にバネ６が最後に装着するため、その製造工程に
おいてベローズは第１図の下方向に真空バルブ内
外の圧力差により力を受け、検出用ベローズ３に
連結された軸１３と共に移動するが、軸１３の段
差部１３ａとガイド１１が当るために必要以上に
検出用ベローズ３が伸びるのが防止される。ま
た、取扱上軸１３に図示上方向の力が作用した場
合にもジヨイント１２がガイド１１端面に当り検
出用ベローズ３の過剰な縮みが防止できる。
このように検出用ベローズ３の過剰な伸縮が防
止できるため検出用ベローズ３が損傷することが
なく、信頼性の高い真空度監視装置となる。ま
た、従来例においては圧力差により検出用ベロー
ズ３が受ける力とバネ６による力とが釣合つた位
置が真空正常時の設定位置となるが、この場合、
バネ６本体および検出用ベローズ３自身の持つバ
ネ定数のばらつきにより設定位置が異なつてく
る。
止できるため検出用ベローズ３が損傷することが
なく、信頼性の高い真空度監視装置となる。ま
た、従来例においては圧力差により検出用ベロー
ズ３が受ける力とバネ６による力とが釣合つた位
置が真空正常時の設定位置となるが、この場合、
バネ６本体および検出用ベローズ３自身の持つバ
ネ定数のばらつきにより設定位置が異なつてく
る。
本実施例によれば、軸１３の段差部１３ａとガ
イド１１が当る状態で、圧力差によりベローズ３
が受ける力をＰ、バネによる力をＱ、バネ定数の
ばらつきを考慮した裕度をＲとした時、Ｐ＞Ｑ＋
Ｒとなるようにしておけば、一定位置に設定で
き、確実な真空度監視ができることになる。
イド１１が当る状態で、圧力差によりベローズ３
が受ける力をＰ、バネによる力をＱ、バネ定数の
ばらつきを考慮した裕度をＲとした時、Ｐ＞Ｑ＋
Ｒとなるようにしておけば、一定位置に設定で
き、確実な真空度監視ができることになる。
なお、本実施例においては、ガイド１１の内径
小部分を軸の段差部１３ａとジヨイント１２では
さむように配置し、軸１３とジヨイント１２を接
合しているが本実施例によらず、軸１３とジヨイ
ント１２を一体成形し、軸の段差部１３ａに相当
するリング状部材を軸１３に嵌合しても同様の構
成となる。すなわちジヨイント１２を軸１３の一
部とみなせば、軸１３の径小部分でガイド１１と
摺動させるとともに径大部分で過剰な動作を阻止
する構成とすることで本発明による目的が達成さ
れる。また、軸１３の摺動を端板２と行なわせる
構成としてもやはり同様である。
小部分を軸の段差部１３ａとジヨイント１２では
さむように配置し、軸１３とジヨイント１２を接
合しているが本実施例によらず、軸１３とジヨイ
ント１２を一体成形し、軸の段差部１３ａに相当
するリング状部材を軸１３に嵌合しても同様の構
成となる。すなわちジヨイント１２を軸１３の一
部とみなせば、軸１３の径小部分でガイド１１と
摺動させるとともに径大部分で過剰な動作を阻止
する構成とすることで本発明による目的が達成さ
れる。また、軸１３の摺動を端板２と行なわせる
構成としてもやはり同様である。
本発明によれば軸に段差をつけ検出用ベローズ
の過剰な伸びを防止したので、信頼性の高い真空
不良検出装置の真空バルブを得ることができる。
の過剰な伸びを防止したので、信頼性の高い真空
不良検出装置の真空バルブを得ることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す真空度監視装
置の断面図、第２図は従来の真空度監視装置を備
えた真空バルブの概要断面図である。 ２……固定側端板、３……検出用ベローズ、１
３……軸、１４……バネ押え、６……バネ、１１
……ガイド。
置の断面図、第２図は従来の真空度監視装置を備
えた真空バルブの概要断面図である。 ２……固定側端板、３……検出用ベローズ、１
３……軸、１４……バネ押え、６……バネ、１１
……ガイド。
Claims (1)
- １ 絶縁筒の両端を端板で閉塞した真空容器と、
この真空容器内の軸方向に対向して接離可能な状
態で１対の電極を配置してなる真空バルブにおい
て、前記端板のいずれか一方の内側にガイドを介
して検出用ベローズの一端に固着し、検出用ベロ
ーズの他端を軸の一端に固着し、軸の他端をバネ
押えに結合し、前記軸の中間部に突部を設け、こ
の突部の一端を前記ガイドの一端と当接させ、バ
ネを前記軸に装着し、前記バネはバネ押えと前記
ガイド間に配置させ、前記軸は前記ガイドの中心
部に明けられた穴に貫通させて配置させたことを
特徴とする真空バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27367784A JPH0237056B2 (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | Shinkubarubu |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27367784A JPH0237056B2 (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | Shinkubarubu |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61153913A JPS61153913A (ja) | 1986-07-12 |
| JPH0237056B2 true JPH0237056B2 (ja) | 1990-08-22 |
Family
ID=17531008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27367784A Expired - Lifetime JPH0237056B2 (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | Shinkubarubu |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0237056B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0723878Y2 (ja) * | 1988-09-14 | 1995-05-31 | 松下電工株式会社 | 高周波リレーの構造 |
| DE10245866B4 (de) * | 2002-09-30 | 2006-02-23 | Schott Ag | Vorrichtung zur Vakuumüberwachung einer Anlagekomponente mit evakuiertem Hohlraum, insbesondere für die Glasproduktion |
| JP4845169B2 (ja) * | 2004-10-12 | 2011-12-28 | 国立大学法人東北大学 | 真空度測定構造，真空構造体及び真空断熱パネル |
| DE102007014940B3 (de) * | 2007-03-23 | 2008-10-16 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Überwachung des Vakuums |
| JP5183763B2 (ja) * | 2011-03-31 | 2013-04-17 | 中国電力株式会社 | タンク形真空遮断器 |
| JP5830418B2 (ja) * | 2012-03-21 | 2015-12-09 | 能美防災株式会社 | スプリンクラヘッド取付具 |
-
1984
- 1984-12-27 JP JP27367784A patent/JPH0237056B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61153913A (ja) | 1986-07-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7395716B2 (en) | Variable capacitance measuring device | |
| US3302269A (en) | Methods of making condition responsive devices | |
| US4160139A (en) | Pressure sensitive switch | |
| US4384267A (en) | Thermosensitive fuse | |
| JPH0237056B2 (ja) | Shinkubarubu | |
| US3252060A (en) | Variable compression contacted semiconductor devices | |
| JPS5814610B2 (ja) | コンデンサ型感知装置 | |
| US2919320A (en) | Diaphragm-type pressure-actuated switch and method of fabricating same | |
| US3719862A (en) | Flexible contact members for use in high power electrical devices including a plurality of semiconductor units | |
| US2981813A (en) | Vacuum switch | |
| US4281308A (en) | Thermal switch with split ring construction | |
| US3330925A (en) | Snap-acting pressure switch | |
| EP3276320B1 (en) | Multi-condition sensor systems | |
| US4633579A (en) | Method for making a pressure responsive switch | |
| US2719198A (en) | Fire detector | |
| US4551702A (en) | Thermostatic switch and method of manufacture | |
| US10126196B2 (en) | Multi-condition sensor systems | |
| JPH03187235A (ja) | 半導体装置およびそのための電極ブロック | |
| US4947403A (en) | Gas laser tube having a supported cathode | |
| US20100226115A1 (en) | Lightbulb with envelope-fracture responsive electrical disconnect means | |
| JPS60136119A (ja) | 真空バルブ | |
| JPH0344944A (ja) | ダイオード装置 | |
| SU1267184A2 (ru) | Вакуумное реле | |
| JPH0117066Y2 (ja) | ||
| CA1119424A (en) | Capacitive pressure sensor |