JPS60136119A - 真空バルブ - Google Patents
真空バルブInfo
- Publication number
- JPS60136119A JPS60136119A JP24183583A JP24183583A JPS60136119A JP S60136119 A JPS60136119 A JP S60136119A JP 24183583 A JP24183583 A JP 24183583A JP 24183583 A JP24183583 A JP 24183583A JP S60136119 A JPS60136119 A JP S60136119A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- pulp
- diaphragm
- end plate
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H33/00—High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
- H01H33/60—Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
- H01H33/66—Vacuum switches
- H01H33/668—Means for obtaining or monitoring the vacuum
Landscapes
- High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
し発明の技術分野〕
本発明は真空パルプに関する。
真空パルプは、高真空に排気されたガラスあるいはアル
ミナ磁器製の容器中で接点を開離し、真壁の持つ優れた
消弧性、絶縁性金利用してα路のしゃ断を行うものであ
る。従って、真空パルプの性能は、その内部真空度の良
否によって大きく左右されるため、真空度の監視が性能
保証上必要不可欠のものとなっている。
ミナ磁器製の容器中で接点を開離し、真壁の持つ優れた
消弧性、絶縁性金利用してα路のしゃ断を行うものであ
る。従って、真空パルプの性能は、その内部真空度の良
否によって大きく左右されるため、真空度の監視が性能
保証上必要不可欠のものとなっている。
この＾９度監視方法には種々のものが考案されてはいる
が、そのほとんどは複雑で高価であったり、霞頼性に欠
けたりし、実用上多くの問題がある。そのうち比較的構
造が簡単で容易に真空パルプに取り付けられる方法とし
て、第１図に示すようなものがある。第１図に於て真空
容器１の一方の端板２にベローズ３が取り付けられ、こ
のベローズ３には軸４の一端が固着されている。軸４の
他端には円板５が取抄付けられ、この円板５と前記端板
２との間にはバネ６が設けられている。真空バルブ内の
真空度が正規の値に保たれている場合、大気圧と真空と
の圧力差による力で軸４は真空バルブ内方向Ａへ引かれ
るが、それに抗する方向へバネ６の力が作用するため、
両者の力がバランスをとった位置で軸４および円板５は
停止している。この状態で、万−何らかの原因で容器１
内−が真空不良になった場合、真空容器内外の圧力差が
消失するので、軸４および円板５はバネ６の力により真
空バルブの外方向Ｂへ移動することになる。
が、そのほとんどは複雑で高価であったり、霞頼性に欠
けたりし、実用上多くの問題がある。そのうち比較的構
造が簡単で容易に真空パルプに取り付けられる方法とし
て、第１図に示すようなものがある。第１図に於て真空
容器１の一方の端板２にベローズ３が取り付けられ、こ
のベローズ３には軸４の一端が固着されている。軸４の
他端には円板５が取抄付けられ、この円板５と前記端板
２との間にはバネ６が設けられている。真空バルブ内の
真空度が正規の値に保たれている場合、大気圧と真空と
の圧力差による力で軸４は真空バルブ内方向Ａへ引かれ
るが、それに抗する方向へバネ６の力が作用するため、
両者の力がバランスをとった位置で軸４および円板５は
停止している。この状態で、万−何らかの原因で容器１
内−が真空不良になった場合、真空容器内外の圧力差が
消失するので、軸４および円板５はバネ６の力により真
空バルブの外方向Ｂへ移動することになる。
従って、円板５の近傍にマイクロスイッチ等ヲ配してお
くことにより、真空バルブ内部の真空度異常を検知する
ことができる。
くことにより、真空バルブ内部の真空度異常を検知する
ことができる。
ところが、ここで使用されるベローズ３は大気圧と真望
を隔絶するために、ベローズ３の肉厚はある程度厚くな
ければならず、従ってその弾性係数も大きくなり、その
ために真空バルブ内部の圧力変化に対するベローズ３の
追従性も悪くなり、真空バルブ内部圧力が大気圧程度に
ならなければ前述した動作を行なわず、精度上の問題が
ある。
を隔絶するために、ベローズ３の肉厚はある程度厚くな
ければならず、従ってその弾性係数も大きくなり、その
ために真空バルブ内部の圧力変化に対するベローズ３の
追従性も悪くなり、真空バルブ内部圧力が大気圧程度に
ならなければ前述した動作を行なわず、精度上の問題が
ある。
また、このベローズ３により真空と大気圧を隔絶するわ
けであるが、真空パルプそのものとしてはリーク危険箇
所が増すことになってしまうなどの問題があった。
けであるが、真空パルプそのものとしてはリーク危険箇
所が増すことになってしまうなどの問題があった。
本発明は真空パルプの真空度を精度良く監視でき、かつ
信頼性のある装置を具備した真空ノくルプを提供するこ
とを目的とする。
信頼性のある装置を具備した真空ノくルプを提供するこ
とを目的とする。
本発明は真空容器内に小室を設け、この真空容器と小室
とは互に独立した真空容器であり、かつ゛真空度も同じ
にし、小室の真空容器側の上板であるダイヤフラムと小
室内にある導板とに一定ギャップを設けて配置し、真空
パルプの真空容器内の真空度の変化で、ダイヤフラムが
変位することを％徴とする真空パルプを特徴とするもの
である。
とは互に独立した真空容器であり、かつ゛真空度も同じ
にし、小室の真空容器側の上板であるダイヤフラムと小
室内にある導板とに一定ギャップを設けて配置し、真空
パルプの真空容器内の真空度の変化で、ダイヤフラムが
変位することを％徴とする真空パルプを特徴とするもの
である。
し発明の実施例〕
以下本発明の一実施例を図面によって説明する。
真空パルプの製造方法は真空封着方式と、排気管方式と
に大別される。前者は固定および可動電極の部分組立終
了後、端板と絶縁筒との間に銀ろうを配置し、真空加熱
炉に入れ、排気すると同時に加熱し銀ろうを溶融させ真
空容器を形成するものである。また後者は端板に排気用
のパイプを備えており、溶接等により真空容器を形成し
た後に排気用パイプから排気し、排気後パイプを圧着す
るものである。第２図は真空封着方式の真空／＜ルプの
一実施例を示したものである。第２図において、金属端
板２の輿望パルプ内部側に金属円筒７の一端を四つ付ま
たは溶接により気密に固着するとどもに、他端にはダイ
ヤフラム８をその周辺部ｓａｉ／Ｃｓロウを介して乗せ
ておく。また、金属端板２の金属円筒７中央部に絶縁物
９を介して配設されたリード１Ｏの端部には金属円板１
１が固着されており、ダイヤフラム８とは隙間を形成し
ている。
に大別される。前者は固定および可動電極の部分組立終
了後、端板と絶縁筒との間に銀ろうを配置し、真空加熱
炉に入れ、排気すると同時に加熱し銀ろうを溶融させ真
空容器を形成するものである。また後者は端板に排気用
のパイプを備えており、溶接等により真空容器を形成し
た後に排気用パイプから排気し、排気後パイプを圧着す
るものである。第２図は真空封着方式の真空／＜ルプの
一実施例を示したものである。第２図において、金属端
板２の輿望パルプ内部側に金属円筒７の一端を四つ付ま
たは溶接により気密に固着するとどもに、他端にはダイ
ヤフラム８をその周辺部ｓａｉ／Ｃｓロウを介して乗せ
ておく。また、金属端板２の金属円筒７中央部に絶縁物
９を介して配設されたリード１Ｏの端部には金属円板１
１が固着されており、ダイヤフラム８とは隙間を形成し
ている。
以上のような検出部構成の真空パルプを真空加熱炉に入
れ排気加熱を行うと、金属円筒内部上真空パルプ内部は
同時に排気され、常に等しい圧力を保ったまま高真空状
態になるとともに銀ロウが溶融し、金属円筒内部と真空
バルブ内部は離隔される。このようにして製造さｊキた
真空パルプが何らかの原因でリークすれば、真空パルプ
の内部圧力が上昇し図中、破線で示すように、ダイヤフ
ラム８が変形し金属円板１１に近づく。
れ排気加熱を行うと、金属円筒内部上真空パルプ内部は
同時に排気され、常に等しい圧力を保ったまま高真空状
態になるとともに銀ロウが溶融し、金属円筒内部と真空
バルブ内部は離隔される。このようにして製造さｊキた
真空パルプが何らかの原因でリークすれば、真空パルプ
の内部圧力が上昇し図中、破線で示すように、ダイヤフ
ラム８が変形し金属円板１１に近づく。
従って、ダイヤフラム８と同電位の金属端板２との間の
静電容量の変化を容量検出器１２により検出することで
真空度の監゛視ができる。また１本実施例による他のリ
ーク危険箇ｒ３ｒ Ｉｄ絶縁物９と金属端板２およびリ
ード１０の間であるが、絶縁物として用いられるセラミ
ックス等の封着技術は極めて信頼性にゆれており、第１
図にて説明した従来例のようなベローズ使用よりもはる
かに安全性の高いものである。また、万一この封着部よ
りリークしたとしても、ダイヤフラム８と金属円板。
静電容量の変化を容量検出器１２により検出することで
真空度の監゛視ができる。また１本実施例による他のリ
ーク危険箇ｒ３ｒ Ｉｄ絶縁物９と金属端板２およびリ
ード１０の間であるが、絶縁物として用いられるセラミ
ックス等の封着技術は極めて信頼性にゆれており、第１
図にて説明した従来例のようなベローズ使用よりもはる
かに安全性の高いものである。また、万一この封着部よ
りリークしたとしても、ダイヤフラム８と金属円板。
１１との間の静電容量が変化するので仁のリークも容易
に検出できる。さらに本実施例では真空パルプの製造工
程の特質上、真空パルプにリーク、が無い限りダイヤフ
ラム８の両面には差圧が生じないので、ダイヤフラム８
には弾性係数の極めて小さな薄膜を使用することができ
、精度の高い監視視装置とする仁とができる。
に検出できる。さらに本実施例では真空パルプの製造工
程の特質上、真空パルプにリーク、が無い限りダイヤフ
ラム８の両面には差圧が生じないので、ダイヤフラム８
には弾性係数の極めて小さな薄膜を使用することができ
、精度の高い監視視装置とする仁とができる。
次に第３図は排気管方式の真空パルプの−実施例である
。第３図で第２図と同一部品には同一符号がつけられて
いるが、第３図ｔａＪの実施例では金属円筒７の両端は
、それぞれダイヤフラム８および金属端板２にロウ付あ
るいは浴接により固設され、気密容器をなすとともに、
金属円筒７の一箇所１３に小排気パイプ１４の一端を貫
通固着する。
。第３図で第２図と同一部品には同一符号がつけられて
いるが、第３図ｔａＪの実施例では金属円筒７の両端は
、それぞれダイヤフラム８および金属端板２にロウ付あ
るいは浴接により固設され、気密容器をなすとともに、
金属円筒７の一箇所１３に小排気パイプ１４の一端を貫
通固着する。
小排気パイプの他端は金属端板２に固設された大排気パ
イプ１５内に隙間１６を設けて挿入され真空バルブ内部
および金属円筒内の気体は排気口１７より４．ＩＰ気さ
れる。金属円筒内を含む真空バルブ全体が規定真空度に
達した後、第３図ｔｂ）に示すように大小の排気パイプ
ト４．１５を取ねて圧着する。このようにすることによ
って、前述した真空封着方式のβ空バルブに於ける監視
装置と同一の機能をなすことができる。
イプ１５内に隙間１６を設けて挿入され真空バルブ内部
および金属円筒内の気体は排気口１７より４．ＩＰ気さ
れる。金属円筒内を含む真空バルブ全体が規定真空度に
達した後、第３図ｔｂ）に示すように大小の排気パイプ
ト４．１５を取ねて圧着する。このようにすることによ
って、前述した真空封着方式のβ空バルブに於ける監視
装置と同一の機能をなすことができる。
〔発明の効果Ｊ
本発明によれば、真空容器内に独立して配置された小室
金膜けることにより、真空容器と小室の真空度の変化を
梢度よ〈監視することができる。
金膜けることにより、真空容器と小室の真空度の変化を
梢度よ〈監視することができる。
第１図は従来の真空しゃ断器の概要断面図、第２図は本
発明の一実施例を示す真空度監視部の要部断面図、第３
図（ａ）は本発明の他の一実施例を示す真空度監視部の
要部断面図、第３図（ｂ）は第３図（：りの排気パイプ
封着後の要部断面図。 ２・・・・端 板 ７・・・金属円筒 ８・・・・ダイヤフラム ９・・・絶縁物１０・・・リ
ード １１・・・金ＷＡ円板（７３１７） 代理人 弁
理士 則 近 慾 佑 （ほか１名）第一１ 図 δ 第２図
発明の一実施例を示す真空度監視部の要部断面図、第３
図（ａ）は本発明の他の一実施例を示す真空度監視部の
要部断面図、第３図（ｂ）は第３図（：りの排気パイプ
封着後の要部断面図。 ２・・・・端 板 ７・・・金属円筒 ８・・・・ダイヤフラム ９・・・絶縁物１０・・・リ
ード １１・・・金ＷＡ円板（７３１７） 代理人 弁
理士 則 近 慾 佑 （ほか１名）第一１ 図 δ 第２図
Claims (1)
- 絶縁筒の両端を端板で固着してなる真空容器内に一対の
接離可能な也極を収納し、少なくとも一方の［ル極の通
畦軸がベローズを介して前記端板の一方にｉｊＪ動に取
付けられた真空バルブにおいて、前記端板のいずれか一
方の前記真空容器内に隔離した小室を設け、前記小室は
ダイヤフラムを筒の一端で固着し、前記筒の他端を前記
端板のいずれか一方に固着し、前記小室内に前記ダイヤ
フラムとギャップを持たさせて、導板全配置し、前記導
板は導枠に固着し、この導枠を絶縁物を介して前記真空
容器を貫通して、前記端板忙固着したことを特徴とする
真空パルプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24183583A JPS60136119A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24183583A JPS60136119A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 真空バルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60136119A true JPS60136119A (ja) | 1985-07-19 |
Family
ID=17080202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24183583A Pending JPS60136119A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 真空バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60136119A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008116788A2 (de) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur überwachung des vakuums |
| JP2009520328A (ja) * | 2005-12-16 | 2009-05-21 | トーマス アンド ベッツ インターナショナル インク | 真空タイプの電気デバイスの高圧状態を検出する方法と装置 |
| EP2884151A1 (de) * | 2013-12-10 | 2015-06-17 | Linde Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur Anzeige des Verlusts eines Vakuums |
-
1983
- 1983-12-23 JP JP24183583A patent/JPS60136119A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009520328A (ja) * | 2005-12-16 | 2009-05-21 | トーマス アンド ベッツ インターナショナル インク | 真空タイプの電気デバイスの高圧状態を検出する方法と装置 |
| WO2008116788A2 (de) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur überwachung des vakuums |
| WO2008116788A3 (de) * | 2007-03-23 | 2008-12-11 | Siemens Ag | Vorrichtung zur überwachung des vakuums |
| EP2884151A1 (de) * | 2013-12-10 | 2015-06-17 | Linde Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur Anzeige des Verlusts eines Vakuums |
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