KR100582967B1 - 액체 여과 기기 - Google Patents

액체 여과 기기

Info

Publication number
KR100582967B1
KR100582967B1 KR1020037003617A KR20037003617A KR100582967B1 KR 100582967 B1 KR100582967 B1 KR 100582967B1 KR 1020037003617 A KR1020037003617 A KR 1020037003617A KR 20037003617 A KR20037003617 A KR 20037003617A KR 100582967 B1 KR100582967 B1 KR 100582967B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
fluid
bubbles
vent
aeration
cap
Prior art date
Application number
KR1020037003617A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20030067668A (ko
Inventor
라버디에르마크
클라크마이클
Original Assignee
엔테그리스, 아이엔씨.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엔테그리스, 아이엔씨. filed Critical 엔테그리스, 아이엔씨.
Publication of KR20030067668A publication Critical patent/KR20030067668A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100582967B1 publication Critical patent/KR100582967B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D65/00—Accessories or auxiliary operations, in general, for separation processes or apparatus using semi-permeable membranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D19/00—Degasification of liquids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D19/00—Degasification of liquids
    • B01D19/0031—Degasification of liquids by filtration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D19/00—Degasification of liquids
    • B01D19/0042—Degasification of liquids modifying the liquid flow
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
    • B01D29/11—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with bag, cage, hose, tube, sleeve or like filtering elements
    • B01D29/13—Supported filter elements
    • B01D29/15—Supported filter elements arranged for inward flow filtration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
    • B01D29/88—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor having feed or discharge devices
    • B01D29/90—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor having feed or discharge devices for feeding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
    • B01D29/88—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor having feed or discharge devices
    • B01D29/90—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor having feed or discharge devices for feeding
    • B01D29/902—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor having feed or discharge devices for feeding containing fixed liquid displacement elements or cores
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D36/00—Filter circuits or combinations of filters with other separating devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D36/00—Filter circuits or combinations of filters with other separating devices
    • B01D36/001—Filters in combination with devices for the removal of gas, air purge systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
    • B01D61/14—Ultrafiltration; Microfiltration
    • B01D61/20—Accessories; Auxiliary operations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D63/00—Apparatus in general for separation processes using semi-permeable membranes
    • B01D63/02—Hollow fibre modules
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D63/00—Apparatus in general for separation processes using semi-permeable membranes
    • B01D63/06—Tubular membrane modules
    • B01D63/067—Tubular membrane modules with pleated membranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D63/00—Apparatus in general for separation processes using semi-permeable membranes
    • B01D63/10—Spiral-wound membrane modules
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
    • B01D2201/30—Filter housing constructions
    • B01D2201/301—Details of removable closures, lids, caps, filter heads
    • B01D2201/302—Details of removable closures, lids, caps, filter heads having inlet or outlet ports
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2313/00—Details relating to membrane modules or apparatus
    • B01D2313/08—Flow guidance means within the module or the apparatus
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2313/00—Details relating to membrane modules or apparatus
    • B01D2313/16—Specific vents

Abstract

본 발명은 장치로부터 기포의 정화를 용이하게 하는 내부 유동 경로를 가진 액체 여과 장치를 제공한다. 상기 장치는 여과 장치로 여과 장치를 통해 들어오는 유체로부터 기포를 수집하는 내부 채널을 포함하고, 작동하는 동안 더욱 효율적으로 유체가 장치로부터 기포를 쓸어내도록 가압한다. 또한 본 발명은 통기 공정동안 유체 손실을 최소화하는 자동적인 수단을 제공한다.
기포, 내부 유동 경로, 여과 장치, 내부 채널, 보울, 캡, 하우징

Description

액체 여과 기기 {LIQUID FILTRATION DEVICE}
매사추세츠주의 베드포드의 마이크롤리스 코포레이션(Mykrolis Corporation)에 의해 판매되는 IMPACT(등록상표) LVHD 필터는 낮은 지지 공간을 가지고 있는데, 이는 포토레지스트, 절연체, 비반사체, 광디스크 물질인 기기에 의해 주로 여과되는 처리 유체의 높은 비용 때문에 매우 유리하다. IMPACT LVHD 필터는 처리 유체안의 잔해가 기질위에 침전되는 것과 다른 결함이 유발되는 것을 방지하는 우수한 여과기능을 제공한다.
도1에서 현행 IMPACT 필터의 단면도를 볼 수 있다. 도1은 고립식 매니폴드(a stand alone manifold)에 경계 면을 이루거나 또는 마이크롤리스 코포레이션(Mykrolis Corporation)에 의해서 제조된 RGEN(등록상표)또는 IntelliGen(등록상표) 분배 시스템과 같은 분배 시스템과 직접 연결될 수 있는 통기구(12), 공급부(14) 및 출구(16)의 세 개의 독립적인 연결구들을 사용하는 기구를 도시한다. 처리 유체는 입구 포트(14)를 통해 유입되어 입구 튜브(24)를 통해 하우징 바닥(25)으로 유동한다. 이후 처리 유체는 수직 멤브래인(membrane) 필터(26)를 통해 출구 포트(16)로 유동하며, 여기에서 정화된 유체는 매니폴드나 또는 분배 시스템으로 역 지향된다. 통기 포트(12)는 필터의 상류 측에 축적된 기포가 하우징(22)을 빠져나가는 것을 허용한다. 필터로부터 기포를 더 잘 제거하기 위해, 하우징 캡(18)의 상부 면은 통기 포트(12)로 상향 지향된 각도로 설정된다. 이것은 공기 기포가 점차 하우징(20)의 가장 높은 지점으로 상승하여 하우징(22)을 빠져나가는 것을 허용한다.
IMPACT LHVD 필터의 특징과 이점에 대한 더욱 자세한 설명은 엠.클라크 및 정국순(M.Clarke and Kwok-Shun Cheng)에 의해 기재된 것으로, 명칭이 "처리 개선을 위한 신규한 광화학 여과 기술(New Photochemical Filtration Technology for Process Improvement)"인 마이크롤리스(Mykrolis) 출원 노트 No.MA068에 개시되어 있다. 이 출원은 1997년 11월10일자로 인터페이스 97 포스터 세션(INTERFACE '97 Poster Session)에서 처음으로 발표되었다.
그것은 http:/www.mykrolis.com/micro/appnotesliq.nsf/docs/48LQ63 에서 볼 수 있다. 또한, IMPACT LHVD의 이점은 엠.클라크(M.Calrke)에 의해 기재되고, 명칭이"IMPACT ST 매니폴드를 갖는 개선된 사진 석판술 장비 OEE(Improving Photolithography Equipment OEE with the IMPACT ST Manifold)"인 마이크롤리스(Mykrolis) 출원 노트 No.MAL109에 나타나 있다.
그것은 http:/www.mykrolis.com/micro/appnotesliq.nsf/docs/46AK7B에서 볼 수 있다.
IMPACT LHVD 필터의 디자인 및 성능이 다른 여과 장치보다 더욱 개선되었지만, 기포 통기를 위해 완전히 최적화되지는 않았다. IMPACT LHVD 필터에서, 바닥에서의 유체의 정체와 겔 입자의 생성을 방지하기 위해 유체로 바닥을 쓸도록 기포 함유 유체는 상기 장치의 바닥으로 가압된다. 그러므로 소정의 함유된 기포는 이후에 통기구로 상승하여야 한다. 다시, 바닥으로부터 천천히 상승된 기포는 상기 장치로부터 정화되기 위해 더 많은 시간과 화학물질을 필요로 한다.
필터의 단점을 보완하고 그것들이 표준 여과 및 분배 시스템에서 어떻게 사용되는지를 알기 위해, 마이크롤리스(Mykrolis)는 "투 스테이지 테크놀로지(Two Stage Technology)"또는 "TST"라 불리우는 통합된 여과 및 분배 시스템을 개발했다. 이러한 TST 시스템의 디자인은 새로운 필터의 개시 중에 버려지는 유체의 양을 최소화 할 수 있도록 기포 함유 유체의 재순환을 허용한다. 상기 시스템이 필터로부터 더욱 효과적으로 기포를 제거하고 유체를 보존할 수 있음에도 불구하고, 통기 공정이 최적화되지 못했기 때문에 노폐물은 여전히 발생한다.
투 스테이지 테크놀로지(Two Stage Technology) 시스템의 작동에 대한 보다 상세한 설명은 엠.클라크(M.Clarke)에 의해 기재되고, 명칭이 "밀리포어 2단계 기술 광화학 분배 시스템의 작동 사이클에 대한 이해(Understanding the Operating Cycles of Millipore Two-Stage Technology Photochemical Dispense System)"인 마이크롤리스(Mykrolis) 출원 노트 No. MAL111에 있다.
이것은 http:/www.mykrolis.com/micro/appnotesliq.nsf/docs/46FSWG 에서 볼 수 있다.
(심지어 TST시스템을 포함한)상기 모든 시스템에 있어, 통기 공정이 단지 기포만이 아니라 기포 함유 유체 스트림(stream)을 배출시키기 때문에 기포 통기는 아직 최적화되지 못했다. 많은 처리 유체 안에서 기포가 신속하게 상승하지 못하기 때문에 기포를 제거하기 위해 통기구로 향하는 유체의 움직임이 필요하다(사실상, 기포는 유체흐름에 의해 운반된다). 더욱이 제거되는 기포가 작을수록, 더 많은 유체가 유출된다.
상술한 출원 노트와 검토로부터 가스 기포는 반도체 제조업자에게 관심사라는 것을 알 수 있다. 그러나, 현재의 IMPACT 필터나 다른 입수 가능한 제품들에서는 부적절하게도 여과 전에 기포를 제거할 뿐 아니라 여과장치의 모든 표면에서 기포를 쓸어낼 필요가 있다.
따라서, 여과 전에 여과될 액체로부터 기포의 제거를 개시하여 제거된 가스 기포가 통기구에 인접하게 위치됨으로써, 여과된 액체로부터 가스 기포의 제거가 용이해지는 액체 여과 장치를 공급하는 것이 바람직하다. 또한, 유체의 손실량을 최소화하는 액체 여과 장치의 자동 통기용 수단을 제공하는 시스템을 갖는 것이 바람직하다.
본 발명은 액체 여과 장치로부터 가스 덩어리를 제거하기 위해 특정한 유동 채널과 연결된 장치 안에서의 유체의 속도를 이용함으로써 유체로부터 가스 기포를 제거하는 장치를 제공한다. 적절하게 설계된 유동 경로는 가스 기포가 거의 대부분 수집될 수 있는 위치로 유체를 지향시킨다.
본 발명은 수용된 기포의 보다 신속하고 보다 효율적인 제거를 허용하는 하우징 커버를 가진 하우징 안에서 액체로부터 가스 기포를 제거하기 위한 장치 및 방법을 제공한다. 상기 신규한 장치와 방법은 장치 내의 필터 카트리지의 플랜지 밑면 주위를 쓸어내기 위해 그 장치 입구에서의 유체속도의 일부분을 이용한다. 이것은 유체내의 가스 기포가 필터 멤브래인 상에, 그리고 하우징 커버의 내부면에 인접하게 상승하도록 가압한다. 이후 필터 카트리지의 플랜지 아래에 위치한 액체 흐름은 하우징 커버의 내부면에 수렴되고, 장치의 통기 포트 쪽으로 진행시키기 위해 유체로부터 가스 기포를 가압하도록 진행한다.
또한, 본 발명은 여과된 유체로부터 기포의 효과적인 자동 통기를 위한 방법을 제공한다.
본 발명의 목적은 한 통기 사이클 중에 장치 내의 유체로부터 가스 기포를 제거하는 액체 여과 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 장치가 한 여과 사이클에서 작동하는 동안 그 장치 내의 표면을 이용함으로써 유체로부터 가스 기포를 제거하는 액체 여과 장치를 제공하는 것이다.
도1은 IMPACT LHVD 필터의 단면도로 종래 기술을 나타내는 도면이다.
도2a와 도2b는 유체 유동 경로를 나타내는 화살표가 도시된 본 발명의 여과 장치의 단면도이다.
도3a는 본 발명의 여과 장치의 상부 캡의 밑면도이다.
도3b는 본 발명의 필터 카트리지의 캡에 연관되어 위치한 그림 3a의 상부 캡의 부분 단면도이다.
도4a는 유체 흐름 경로를 나타내는 화살표와 함께 유체 채널을 도시한 본 발명의 부분 단면도이다.
도4b는 도4a의 장치의 밑면도이다.
도5는 본 발명의 여과장치의 보울(bowl)의 평면도이다.
도6a는 유체 유동 경로를 나타내는 화살표와 함께 유체 채널을 도시한 본 발명의 부분 단면도이다.
도6b는 도6a의 장치의 밑면도이다.
도7은 유체 유동 경로를 나타내는 화살표가 도시된 상부 캡과 하우징의 밑면도이다.
도8은 유체 유동 경로를 도시한 화살표와 유체 채널을 도시한 본 발명의 부분 단면도이다.
도9는 필터 카트리지 위로 기포를 가압하는 지점에 접근하는 유체 유동 경로의 수렴과 유체 채널을 도시한 본 발명의 부분 단면도이다.
도10은 본 발명의 다른 하우징 커버의 저면도이다.
도11은 도10의 하우징 커버와의 결합부에 사용되는 본 발명의 다른 상부 캡의 저면도이다.
도12는 본 발명의 장치를 작동하기 위한 자동화된 방법을 설명하는 흐름도이다.
본 발명의 여과 장치내에서 여과되는 유체로부터 제거된 기포 및 여과된 유체의 유동 방향은 그 장치가 작동되는 모드에 따라 달라진다. 본 발명의 여과 장치는 통기구가 개방되거나 폐쇄된 상태로 작동될 수 있다. 여과 장치의 초기 작동 모드에서, 여과 장치는 유체로 채워져 있으며 상기 장치로부터 가스와 기포의 대부분을 제거하기 위해 추가의 유체가 통기구가 개방된 그 장치로 펌핑된다. 작동 모드 중에, 기포 함유 유체 역시 통기구를 통과한다. 이 초기 작동 모드 이후 통기구는 폐쇄되고 여과되는 유체는 본 발명의 여과 장치로 펌핑된다. 이러한 모드 중에, 기포는 여과되는 유체로부터 일정하게 분리되어 통기구에 또는 그 인접부에 수집된다. 바람직한 작동 모드에서, 버려지는 유체량을 최소화하기 위해 상기 필터의 구멍으로부터 완전한 또는 사실상 완전한 가스 제거를 보장하도록 유체는 한 주기의 시간동안 여과 장치에서 재순환된다. 특정 간격에서 상기 통기구는 개방되고 기포는 여과 장치로부터 배출된다. 이후 상기 통기구는 폐쇄되고 기포가 없는 유체는 필요한 곳으로 배분될 수 있다. 몇 주기의 시간 후에, 상기 장치는 추가의 기포를 수집하고 다른 통기 작동이 필요하게 된다. 다시, 기포와 유체는 통기구를 통해 배출된다.
유체에 유입된 기포는 여과 장치의 두 위치 중에 하나를 따라 유체로부터 가압된다. 제1채널은 여과 장치의 하우징 커버에 위치하며 통기구와 직접 유체 연통되도록 위치된다. 제2채널은 여과 장치의 필터 멤브래인 위에 상부 캡 안에 위치되고 제1채널과 직접 유체 연통되도록 위치된다. 제1채널은 유체가 여과 장치로 유입할 때 유체로부터 기포를 축적한다. 또한, 제1채널은 제2채널에서 회수된 기포를 받아들이도록 위치된다. 제2채널은 여과 장치의 필터 멤브래인 상류측에서 수집되거나 형성된 소정의 기포를 축적한다. 따라서, 여과 장치는 상기 여과 장치로 유입된 때 즉시 유체로부터 릴리즈된(released) 기포와 여과 전에 유체로부터 릴리즈된 기포를 회수한다.
본 발명은 공기 기포의 제거를 용이하게 하는 내부 유동 경로를 가진 액체 여과 장치를 제공하며, 상기 장치는 하우징을 포함하고, 상기 하우징은 보울(bowl)과, 캡과, 내부면 및 외부면을 갖고 유체 입구, 출구 및 통기구로써의 기능을 하는 구멍에 의해 특징 지워진 커버를 포함하며, 상기 캡, 커버 및 보울은 유체 채널을 형성하는 방식으로 결합되어, 이러한 채널은 기포를 장치의 외부로 그리고 통기구 방향으로 쓸어내는 것을 용이하게 하고, 상기 채널은 통기구가 위치된 하우징 부분으로 유체를 지향시키는 유체 채널과 보울 바닥을 쓸어 내도록 유체를 지향시키는 유체 채널과 캡의 밑면을 쓸어내도록 유체를 지향시키는 유체 채널을 포함한다.
양호한 실시예에서, 상기 장치는 입구 및 통기 유체 유동 경로의 단면적이 기포의 제거와 분리를 위해 최적의 유체 속도를 이루게 하는 방식으로 제어되도록 설계되어 기포 제거의 효율을 증가시킨다.
양호한 실시예에서, 상기 상부 캡의 밑면은 경사면을 갖고, 밑바닥과 천정을 갖는 상기 경사면은 통기 사이클과 여과 사이클 중에, 그리고 이들 사이클 사이에서 사용된다. 이러한 경사면은 장치로부터 기포의 제거를 용이하게 한다. 양호하게는, 상기 면의 천정은 통기구와 병치되어 기포는 더욱 효율적으로 유체로부터 제거된다.
양호한 실시예에서, 통기 경로는 캡과 커버 사이 공간의 바닥이나 바닥의 인접부에 수렴된다. 이 공간은 제거된 기포가 모이는 곳임을 알 수 있다. 본 실시예에서, 상기 면의 천정은 기포가 더 효율적으로 제거되도록 통기구와 병치되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 양호한 실시예에서, 커버의 내부면은 통기구 리지(ridge)를 갖고, 상기 통기구 리지의 천정은 실질적으로 통기구에 인접하게 위치된다.
다른 양호한 실시예에서, 유체로부터 가스를 가압하기 위한 유체 속도를 유지하도록 통기 유체 경로를 제한하는 동안 통기구는 통기 구멍 위에 직접 위치된다.
또 다른 양호한 실시예에서, 통기 공정은 자동적으로 제어되어 극소량의 유체만이 통기 공정 중에 손실된다.
본 발명은 유체를 여과하는 장치로부터 기포를 제거하는 방법을 제공하며, 상기 장치는 입구, 출구 및 통기구를 포함하고 여과 및 통기 공정 상태에 있게 되는 것을 특징으로 하며, 상기 방법은 여과 및 통기 공정 중에 쓸리는 유체 채널을 제공하는 단계를 포함한다. 제공된 유체 채널은 장치의 표면으로부터 통기구 쪽으로 공기 기포의 쓸림을 용이하게 하도록 제공되어 여과 또는 통기 중에 상기 장치를 사용하여 장치로부터 기포를 제거할 수 있다.
도2a 및 도2b를 참조하면, 본 발명의 장치는 하우징 커버(36)로부터 형성된 출구(30), 입구(32) 및 통기구(34)를 포함한다. 하우징 커버(36)는 상부 캡(38) 및 하우징 보울(42)에 끼워진다. 필터 매체(40)은 하우징 보울(42)에 내장된다. 화살표는 장치 안에서 유체가 어떻게 흐르는가를 나타낸다. 변환 밸브(44)는 유체 유동로를 입구로부터 통기구(34)로 변경한다. 여과 장치가 유체를 여과할 경우, 통기구(34)의 인접부에 공기 기포를 가라앉히는 동안 유체의 대부분은 입구(32)에서 하우징 보울(42)로 직접 지나간다. 하우징 커버(36)은 하우징 커버(36)의 전체 또는 실질적으로 전체 주변부 주위로 연장되고 가스와 기포를 통기구(34)로 향하도록 하는 경로를 제공하는 제1채널(31)을 구비한다. 상부 캡(38)에는 실질적으로 상부 캡(38)의 전체 주변부로 연장되고, 입구 유체로부터의 가스를 제1채널(31)을 지나 통기구(34)로 향하도록 하는 경로를 제공하는 제2채널(33)이 구비된다.
도3a 및 도3b에서, 하우징 커버(36)은 하우징 커버(36)의 통기구 측면(35)쪽으로 경사진 내부면(37)을 가진다. 모든 추가적인 가스 기포를 제거하기 위해 제1채널(31)은 하우징 커버(36)의 출구 측면(39)으로부터 통기구(34; 도2b)까지 나선형으로 올라간다.
또한, 도3a 및 도3b에 도시된 것처럼, 입구 유체는 통기구(34; 도2b)가 특정한 설계용으로 위치된 변환 밸브(44)에 의해서 하우징의 중심으로부터 하우징의 측면으로 재지향된다. 이러한 구성은 기포를 함유한 유체를 입구(32; 도2b)로부터 통기구(34; 도2b) 쪽으로 이동하도록 가압한다. 단면적을 제어함으로써 유체 속도가 조절될 수 있어 효율적인 기포 제거를 위해 부력과 체류시간이 최적화된다. 이후 상기 유체는 측면 유체 채널(46)로 하향 이동한다.
도4a 및 도4b는 상부 캡(38; 도2b) 아래로 지향되어 절결부(52)를 통과하여 이후 나뉘어 지는 유입 유체를 보여준다. 대부분의 유체는 유체 정체위치 및 겔 입자의 생성을 방지하기 위해 하우징 보울 바닥(25; 도6b)를 쓸어내도록 보울(42; 도2b)의 내측에 있는 두 개의 리브(49)로 형성된 측면 유체 채널(46) 아래로 이동한다. 유입 유체의 다른 부분은 상부 캡(38; 도2b)의 밑면 주위의 가스 덩어리를 쓸어내기 위해 유체 채널(53,54)로 유입된다. 상부 캡(38; 도2b)과 하우징 보울(42; 도2b) 사이에 기계식인 시일을 형성함으로써, 유체가 상부 캡(38; 도2b) 아래로 이동한 뒤 절결부(51)를 통해 대향 측면 위로 역이동하는 것을 허용하는 유체 경로가 두 개의 채널(53,54)과 함께 생성된다.
도5는 보울(42; 도2b)의 바닥과 상부 캡(38; 도2b)의 밑면을 쓸도록 유입 유체를 지향시키는 상부 캡 시일 리지(55) 바로 아래에 위치된 두 개의 큰 리브(49)를 도시한다.
도6a 및 도6b는 화살표로 나타난 것과 같이 액체의 유동을 도시한다. 유입 유체는 리브(49; 도5)에 의해 형성된 측면 채널(46) 아래로 지향되어 필터 매체(40; 도2b)의 바닥과 보울(42)의 내부면 바닥 사이의 공간을 쓸어낸다. 또한, 유체는 상부 캡(38)의 밑면을 쓸기 위해 채널(53,54; 도4b)로 지향된다.
도7은 가스 기포를 제거하기 위해 증가하는 경사 위에 제2채널(33; 도2b)을 통과하여 상부 캡(38; 도2b)의 밑면(57)으로 향하는 유체 유동을 도시한다.
도8은 기포를 제2채널(33)을 통과하여, 절결부(51)를 통과하여 상부 캡(38; 도2b) 위를 지나 상부 캡(38; 도2b)과 커버(36; 도2b) 사이의 공간으로 지향시키는 진입점(48)으로 수렴하는 유동 경로를 도시한다.
도9는 하우징 커버(36; 도2b) 아래 공간의 가장 낮은 위치(최하점; 58)에서 상부 캡(38) 위로 역지향되는 유동 경로를 도시한다. 이것은 액체가 가스 기포를 상부 캡(38; 도2b)의 밑면을 따라 채널(31; 도2b)로 가압하는 것을 보장한다.
도10은 채널(73)을 따라 유체가 역류하는 것을 막기 위해 구비된 제한된 유체 유동 경로(71)가 있는 하우징 커버(88)를 도시한다. 제한된 유동 경로(71)는 임계면이 통기 공정에서만 쓸려지는 것을 허용한다. 통기 공정 중에 유체 입구(93)로 유입된 유체의 작은 양만이 통기구(92)로 직접 지나갈 수 있고, 나머지 유체 속도는 필터 카트리지(40; 도2b)의 상부 캡(81; 도11) 아래로 유체 유동을 지속하여 상부 캡(81)의 밑면을 쓸어내도록 유지된다. 이후 유체는 유체 속도가 작은 단면적으로 보다 용이하게 유지될 수 있는 통기구 홈(73)의 접근 지점(84)으로 수렴된다. 반면에, 가스 통기구(92)로의 접근이 제한되지 않음에 따라 카트리지의 쓸어냄은 여과 공정동안 수행되어야 하고, 따라서 통기 공정이나 또는 통기와 여과 공정 모두에서 덜 효율적이다. 하우징 커버(88)는 통기구(92), 유체 입구(93) 및 유체 출구(75)를 구비한다. 내부면(90, 77)은 가스 통기구(92)로의 가스 유동을 촉진하기 위해 가스 통기구 리지(87) 쪽으로 경사진다. 도11에서 도시된 것처럼, 상부 캡(81)의 밑면(94)에는 채널(73; 도10)과 유체 연통된 접근지점(84)으로 집중되는 가스 채널(83)이 구비된다. 또한, 상부 캡(81)에는 출구(75; 도10)와 유체 연통된 출구(85)가 구비된다. 도11의 상부 캡은 구역(86)을 차단하도록 하우징 커버(88)에 부착되어 지지(hold-up)공간을 감소시키고 여과 장치의 유체 유동 경로를 형성한다.
또한 본 발명은 처리 유체를 여과하고 분배하기 위한 시스템에서 액체 여과 장치 작동 방법을 제공한다. 전형적인 용도(또한 단일 스테이지 기술이라 불리는)에서, 필터는 분배 기구(예를 들어, 다이아프램 펌프, 공기 가압식 흡수통 등)와 반도체 웨이퍼 또는 광학 디스크와 같은 기질위로 유체를 향하게 하는 출구 노즐 사이에 건식으로 설치된다. 필터의 구멍으로부터 공기를 제거하기 위해, 처리 유체는 필터 안으로 푸싱되고 각 유체 흐름이 눈에 보이는 기포를 포함하지 않을 때까지 통기구 및 출구 포트 밖으로 배수된다. 불행히도, 통기구와 출구 밖으로 보내진 유체는 많은 기포를 포함하고, 기포가 코팅된 기질 위 또는 안의 결함을 유발할 수 있다는 것은 공지되어 있다. 따라서, 이런 기포 함유 유체는 보통 버려져서 다시 사용할 수 없게 되고, 이런 실시는 현저한 양의 유체를 소비할 수 있다. 처리 유체는 값비쌀 수 있으며(리터당 1,000달러에서 10,0000달러) 더 효율적으로 기포를 제거함으로써 낭비를 줄이는 것은 중요하다.
전형적인 여과 장치는 기포를 제거하기 위해 최적화되지 못했다. 기포를 제거하기 위한 양호한 작동 방위는 바닥에 유체 입구가 있고 상부에 통기구가 있는 필터를 사용한다. 비록 이것이 효과적으로 많은 가스 기포를 장치로부터 제거함에도 불구하고, 입구를 통해 주입된 더 작은 기포는 멤브래인의 외측을 따라 천천히 상승한다. 장치의 상류측으로부터 이 기포를 제거하는 것에는 상당한 시간이 소모되고 유체를 버리게 된다. 또한, 기포는 멤브래인에 의해 흡수될 수 있어 비습윤지점은 짧은 필터 수명 및 기질 결함을 유도하는 기포를 야기시킨다.
TST 시스템에서, 마이크로프로세서는 많은 공정의 이점을 허용하기 위해 그 사이에 필터를 가진 두 개의 펌프의 작동을 제어한다. 또한 이 시스템의 디자인은 새로운 필터의 개시 중에 버려지는 유체의 양을 최소화하기 위해 기포 함유 유체의 재순환을 허용한다. 건식 필터를 개시하는 동안, 유체는 필터를 통해 하류측으로 푸싱되며, (필터 멤브래인의 구멍에서 제거된 가스로부터의)기포 함유 유체는 펌프의 입구로 역순환된다. 이후 상기 유체는 필터의 상류측으로 되돌려 진다. 멤브래인 구멍은 이제 처리 유체로 채워져 있기 때문에, 멤브래인은 기포 통과에 대한 더 효율적인(하지만 완전하게 효율적이지는 않은) 차단부이다. 종래 Impact LHVD 필터 분야에서, 기포 함유 유체는 필터의 바닥으로 지향된다. 이후 기포는 자동 수단(소프트웨어 작동식 통기 밸브)에 의하거나 또는 수동 수단(수동 작동식 통기 밸브)에 의해 제거되는 필터의 통기구로 부력에 의해 상승되어야 한다. 이것이 필터로부터 기포를 제거하고 유체를 보존하는 더 효율적인 방법임에도 불구하고, 통기 공정이 최적화되지 않았기 때문에 폐기물이 여전히 발생된다. 모든 이러한 시스템에 있어, 통기 공정이 단지 기포만이 아니라 기포 함유 유체 스트림을 릴리즈하기 때문에 기포 통기는 최적화되지 못한다. 많은 처리 유체에서 기포가 신속하게 상승하지 못하기 때문에, 기포(효율적으로 기포는 유체 흐름을 따라서 운반된다)를 제거하기 위해 통기구로 향한 유체의 움직임이 요구된다. 게다가, 제거되는 기포가 작을수록, 더 많은 유체가 방출된다.
본 발명의 액체 여과 장치로 하는 기포 통기는 자동적으로 필터의 통기("양호한 통기")를 조절하는 알고리즘을 사용할 수 있다. 특히, 양호한 통기는 필터가 한 통기 사이클을 지나는 단위 시간을 제한하고, 각 통기 사이클동안 손실되는 유체의 양을 제한할 수 있다.
전형적으로, 필터는 다음과 같이 개시하는 동안 그리고 작동하는 동안 통기된다:
(A) 필터를 개시하는 동안 TST 시스템에서, 필터는 포획된 기포를 제거하기 위해 매 다섯 사이클마다 통기된다. 구체적으로, 통기 밸브는 250밀리초 (milliseconds)동안 개방되고, 대략 50에서 150마이크로리터(microliters)의 유체가 폐기물로 보내진다. 전형적인 개시와 예비 조건 설정 공정동안에, 필터는 200회 이상 통기될 수 있다. 그러므로, 이 공정은 대략 10밀리리터와 30밀리리터 사이의 유체를 소모한다. 또한 정상적인 작동 중에, 필터는 매 주기 통기되고, 결국 다시 각 분배당 50에서 150마이크로리터 사이가 손실된다.
(B) non-TST 적용에 있어서, 통기는 보통 수동 공정이고 작업자의 재량과 편의에 달려 있다. 개시 동안, 통기는 더 빈번하지만 수동적인 형태의 통기는 50에서 100밀리리터 사이의 유체 손실을 유발한다. 또한, 전형적으로 필터의 하류 유체의 재순환이 없기 때문에, 부가적인 500에서 1500밀리리터가 필터를 조절하는데 버려질 수 있다. 마지막으로, 작동하는 동안, 통기는 하루에 한번씩 수행될 수 있고, 그리고 다시, 20에서 30밀리리터 사이가 매번 손실될 수 있다.
본 발명의 액체 여과 장치로 양호한 통기는 계획될 수 있고 자동화된다. 단일 스테이지 시스템에서, 이것은 "인텔리젼트(intelligent)" 매니폴드와 본 발명의 장치를 이용함으로써 달성될 수 있다. 현행 IMPACT ST 매니폴드는 수동적인 장치이지만, 마이크로프로세서와 몇 개의 유체 연결부(예를 들면, 솔레노이드 밸브, T자관)을 부가함으로써 양호한 통기를 하도록 제조될 수 있다. 그런 시스템의 설명은 도12에서 도시된다. 이 도면에서, 본 발명의 필터 장치(70)를 갖는 매니폴드는 솔레노이드 통기 밸브(72)와 솔레노이드 재순환 밸브(74)의 작동을 제어한다. 또한 본 발명의 장치를 갖는 매니폴드는 펌프(89)와 연통된다. T자관 연결부(76)는 유체가 재순환 밸브(74) 또는 정지 및 재흡수 밸브(78)를 통해 기질(91)로 지향될 수 있도록 위치된다. T자관(80)은 정상적인 작동 중에 유체 공급원(82)로부터 또는 유체가 매니폴드와 필터 장치(70)로 재순환될 경우 밸브(74)로부터 유체를 수용하도록 위치된다. 새로운 필터의 개시에서, 재순환 밸브(74)와 정지 및 재흡수 밸브(78)는 폐쇄되고 통기 밸브(72)는 개방된다. 이후 유체는 여과 장치의 하우징을 채우기 위해 매니폴드로 보내진다. 하우징이 가득 찬 후에, 통기 손실이 최소화될 수 있도록 통기 밸브(72)가 폐쇄되고 재순환 밸브(74)가 개방되어 유체는 자동적으로 재순환될 수 있다. (정기적인 또는 소정의 몇 사이클 후의)재순환이 있는 동안 선택된 시간에, 매니폴드와 필터(70)로부터 가스를 제거하기 위해 재순환 밸브(74)는 폐쇄되고 통기 밸브(72)는 개방된다. 필터가 준비된 후에, 유체가 기질(91)상에 침전될 수 있도록 밸브(74)는 폐쇄되고 밸브(78)는 개방된다.
대부분의 경우에 있어서, 본 발명의 장치를 이용함으로써 통기사이에 사이클의 수가 늘어날 수 있다. 기포는 우선적으로 포획되고 여과 장치의 상부로 모이기 때문에, 필터 멤브래인과 접촉하거나 그 옆으로 지나지 않는다. 이로써, (예를 들면, 더 짧은 필터의 수명을 유발하거나 기질 결함을 유도하는 기포를 생성하는)비습윤지점을 형성하지 않는다. 그러므로, 통기 공정 사이의 시간은 증가될 수 있다.
또한, 통기 밸브 개방(시간 및 기하학적 형상)이 최소화될 수 있다. 일반적으로, 기포 함유 유체가 밸브를 통해 유동하는 것을 허용하기 위해 통기 밸브는 충분히 개방되어야 한다. 그러나, 기포는 더 큰 기포로 합체되기 때문에, (더 낮은 점성을 가진)공기는 작은 통로를 통과하는 유체보다 더욱 용이하게 유동하고, 짧은 시간 간격동안 약간 통기구를 개방하는 것으로도 유체가 통과하는 것은 허용하지 않으면서 공기가 통과하는 것은 허용한다. 이것은 개방 오리피스(orifice) 면적을 최소화하도록 짧은 통기구 개방 시간을 설정하거나 또는 통기구 밸브를 제어함으로써 달성될 수 있다. 이 두 가지는 서로 다른 점성도의 유체에 대한 밸브의 개방을 최소화하는데 효과적이고, 통기구로의 유체 손실을 최소화한다.
본 발명의 자동 작동 방법은 다음의 특징과 통합됨으로써 더욱 개선될 수 있다:
(A) 시스템의 멤브래인 접촉기 형의 디개서(degasser)를 설치한다. 이 디개서는 필터의 통기 라인에 설치될 수 있다. 또한, 단일 스테이지 시스템에서, 이는 필터의 상류부에 있을 수 있고, 두개의 스테이지 기술 시스템에서 펌프의 상류측에 위치된다(그러나 라인의 하류부는 개시 중에 유체를 재순환 시키는데 사용된다). 그러한 디개서는 유체 흐름에 영향을 미치지 않으면서 기포를 제거하고 미세 기포의 생성을 방지한다. 또한 이것은 정상적인 작동 중에 실질적으로 통기하지 않는 이점을 가지고 있다. 다른 탈가스 수단(예를 들면, 살포, 가열, 진공 등)이 사용될 수 있지만, 이러한 수단은 보통 처리 유체의 바람직하지 않은 변형(예를 들면, 용매 증발로 인한 점성도의 변화)을 유발한다.
(B) 기포 검출기를 통기 라인, 필터 자체의 통기 포트, 또는 여과 장치를 두개의 스테이지 기술 시스템에 연결하는 매니폴드 중에 어느 한 곳에 설치한다. 이후 기포 검출기가 마이크로프로세서에 의해 판독된 신호로 충분한 양의 가스를 감지했을 때에만 통기될 수 있다. 또한, 통기는 유체가 아닌 기포만을 배출하도록 제어될 수 있다.

Claims (12)

  1. 기포의 제거를 용이하게 하는 내부 유동 경로를 갖는 액체 여과 장치이며,
    보울과,
    캡과,
    내부면 및 외부면을 갖고, 유체 입구, 출구 및 통기구로서 기능하는 구멍을 갖는 커버를 구비한 하우징을 포함하며,
    상기 캡, 커버 및 보울은 기포를 상기 장치의 외부로 그리고 통기구 쪽으로 용이하게 쓸어내는 유체 채널들을 형성하는 방식으로 결합되고,
    상기 채널들은 유체를 상기 통기구가 위치된 하우징의 부분 쪽으로 지향시키는 유체 채널과,
    상기 보울의 바닥을 쓸어내도록 유체를 지향시키는 유체 채널과,
    상기 캡의 밑면을 쓸어내도록 유체를 지향시키는 유체 채널을 포함하는 액체 여과 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 캡과 커버 사이의 공간으로 수렴하는 통기 경로를 더 포함하는 액체 여과 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 상부 캡의 밑면은 경사면을 가지고, 상기 경사면은 바닥부와 천정부를 가지는 액체 여과 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 천정부 면은 상기 통기 구멍과 병치되는 액체 여과 장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 통기 경로의 수렴은 캡과 커버 사이의 공간의 바닥부로 나란히 이루어지는 액체 여과 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 통기 경로의 수렴은 캡과 커버 사이의 공간의 바닥부로 나란히 이루어지는 액체 여과 장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 바닥부 면은 상기 수렴된 통기 흐름 경로와 병치되는 액체 여과 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 통기 흐름 경로의 수렴은 캡과 커버 사이의 공간의 바닥부로 나란히 이루어지는 액체 여과 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 커버의 내부면이 통기 리지를 형성하는 액체 여과 장치.
  10. 입구, 출구 및 통기구를 포함하고 여과 사이클 및 통기 사이클 모두를 수행하는 유체 여과 장치로부터 기포를 제거하는 방법이며,
    상기 장치 내의 위치에서 유체를 지향시키도록 위치되어 통기 사이클 중에 유동 유체를 수용하는 유체 채널을 제공하는 단계와,
    상기 장치의 표면으로부터 통기구 쪽으로 기포를 용이하게 쓸어내는 여과 사이클을 위한 유체 채널을 제공하는 단계를 포함하며,
    상기 장치를 여과 사이클 또는 통기 사이클에 적용함으로써 그 장치로부터 기포가 제거되는 기포 제거 방법.
  11. 제10항에 있어서, 통기 공정동안 유체 손실을 최소화하기 위해 통기 사이클이 자동적으로 제어되는 기포 제거 방법.
  12. 제11항에 있어서, 탈가스 멤브래인 접촉기가 기포 및 미세 기포를 한층 더 제거하는데 사용되는 기포 제거 방법.
KR1020037003617A 2000-09-13 2001-09-13 액체 여과 기기 KR100582967B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US23220900P 2000-09-13 2000-09-13
US60/232,209 2000-09-13
PCT/US2001/028771 WO2002022232A1 (en) 2000-09-13 2001-09-13 Liquid filtration device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030067668A KR20030067668A (ko) 2003-08-14
KR100582967B1 true KR100582967B1 (ko) 2006-05-24

Family

ID=22872266

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020037003617A KR100582967B1 (ko) 2000-09-13 2001-09-13 액체 여과 기기

Country Status (8)

Country Link
US (5) US6846409B2 (ko)
EP (1) EP1322395B1 (ko)
JP (1) JP2004508183A (ko)
KR (1) KR100582967B1 (ko)
CN (1) CN1183993C (ko)
DE (1) DE60144097D1 (ko)
TW (1) TW508260B (ko)
WO (1) WO2002022232A1 (ko)

Families Citing this family (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6378907B1 (en) 1996-07-12 2002-04-30 Mykrolis Corporation Connector apparatus and system including connector apparatus
DE60140326D1 (de) * 2000-05-12 2009-12-10 Pall Corp Filter
EP1322395B1 (en) 2000-09-13 2011-02-23 Entegris, Inc. Liquid filtration device
US20030019819A1 (en) * 2001-07-30 2003-01-30 Karl Fritze Hot disconnect replaceable water filter assembly
TWI245163B (en) 2003-08-29 2005-12-11 Asml Netherlands Bv Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2005118106A2 (en) * 2004-06-03 2005-12-15 Entegris, Inc. Fluid filtration apparatus with feed and outlet side vent
US7393388B2 (en) * 2005-05-13 2008-07-01 United Technologies Corporation Spiral wound fuel stabilization unit for fuel de-oxygenation
US7435283B2 (en) * 2005-05-18 2008-10-14 United Technologies Corporation Modular fuel stabilization system
US7465336B2 (en) * 2005-06-09 2008-12-16 United Technologies Corporation Fuel deoxygenation system with non-planar plate members
US7377112B2 (en) 2005-06-22 2008-05-27 United Technologies Corporation Fuel deoxygenation for improved combustion performance
PL1933968T3 (pl) * 2005-07-22 2013-01-31 Mann & Hummel Gmbh Filtr paliwa
US20070101731A1 (en) * 2005-09-07 2007-05-10 United Technologies Corporation Deoxygenated fuel-cooled environmental control system pre-cooler for an aircraft
US9258259B2 (en) * 2005-09-30 2016-02-09 Nokia Technologies Oy Retrieval of offline instant messages
US7615104B2 (en) 2005-11-03 2009-11-10 United Technologies Corporation Fuel deoxygenation system with multi-layer oxygen permeable membrane
US20070130956A1 (en) * 2005-12-08 2007-06-14 Chen Alexander G Rich catalytic clean burn for liquid fuel with fuel stabilization unit
US7582137B2 (en) * 2006-01-18 2009-09-01 United Technologies Corporation Fuel deoxygenator with non-planar fuel channel and oxygen permeable membrane
US7569099B2 (en) * 2006-01-18 2009-08-04 United Technologies Corporation Fuel deoxygenation system with non-metallic fuel plate assembly
US7824470B2 (en) * 2006-01-18 2010-11-02 United Technologies Corporation Method for enhancing mass transport in fuel deoxygenation systems
JP5354525B2 (ja) * 2006-08-25 2013-11-27 インテグリス・インコーポレーテッド エア抜き可能なフィルタ装置
PE20091163A1 (es) 2007-11-01 2009-08-09 Wyeth Corp Anticuerpos para gdf8
KR20100102595A (ko) * 2007-11-29 2010-09-24 엔테그리스, 아이엔씨. 필터 유닛 및 필터 카트리지
KR100921743B1 (ko) * 2007-12-14 2009-10-15 한국생산기술연구원 진공펌프용 여과장치
WO2011060254A1 (en) 2009-11-12 2011-05-19 Donaldson Company, Inc. Liquid filter construction for freezing environments
US9682335B2 (en) 2011-02-24 2017-06-20 Saint-Gobain Performance Plastics Corporation Modular filter capsule apparatus
US20120223002A1 (en) * 2011-02-24 2012-09-06 Lin Zhenwu Modular filter capsule apparatus
JP6195436B2 (ja) * 2012-10-29 2017-09-13 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー フィルター装置、フィルター装置の組立方法、フィルター装置を用いた濾過方法、フィルター装置を用いた濾過液の製造方法
US9656197B2 (en) * 2012-11-12 2017-05-23 Pall Corporation Systems and methods for conditioning a filter assembly
US9421498B2 (en) * 2012-11-12 2016-08-23 Pall Corporation Systems and methods for conditioning a filter assembly
US9731231B2 (en) 2013-03-07 2017-08-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Laminar flow intake channeling device
US9719504B2 (en) * 2013-03-15 2017-08-01 Integrated Designs, L.P. Pump having an automated gas removal and fluid recovery system and method
JP2015106656A (ja) * 2013-11-29 2015-06-08 東京エレクトロン株式会社 フィルター装置
US11351509B2 (en) * 2013-12-06 2022-06-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Filter with seal treatment
JP2014195807A (ja) * 2014-06-18 2014-10-16 株式会社ロキテクノ フィルターモジュール脱着装置および濾過ユニット
EP3233235B1 (en) * 2014-12-16 2021-01-27 Saint-gobain Performance Plastics Corporation Modular filter capsule apparatus
US10121685B2 (en) * 2015-03-31 2018-11-06 Tokyo Electron Limited Treatment solution supply method, non-transitory computer-readable storage medium, and treatment solution supply apparatus
US10729991B2 (en) 2015-06-22 2020-08-04 3M Innovative Properties Company Compact cross-flow contactor
GB201516863D0 (en) * 2015-09-23 2015-11-04 Castrol Ltd Fluid method and system
CN105781828A (zh) * 2015-11-24 2016-07-20 黄梅福德银汽配有限公司 一种新型自动排气柴油滤座
EP3394242A2 (en) 2015-12-22 2018-10-31 Corning Incorporated Cell separation device and method for using same
WO2018013071A1 (en) 2016-07-11 2018-01-18 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Froth coalescing
DE112018005447T5 (de) * 2017-09-25 2020-08-06 Cummins Filtration Ip, Inc. Kraftstofffilterkartuschen mit automatisierten internen Entlüftungsfunktionen
CN116099279A (zh) * 2018-07-30 2023-05-12 肖恩发展有限责任公司 具有掺气缓解的含水流体过滤器组件
CN110052060B (zh) * 2019-04-24 2022-07-01 杭州科百特过滤器材有限公司 一种中空纤维脱气膜组件
CN114555211A (zh) * 2019-06-25 2022-05-27 唐纳森公司 具有护罩的过滤器元件端盖
US11241644B2 (en) 2020-04-13 2022-02-08 Pall Corporation Adapter for filter device and method of use
CN113413672B (zh) * 2021-06-28 2023-02-28 张春燕 一种过滤器
US20230134445A1 (en) * 2021-11-04 2023-05-04 Entegris, Inc. Filter cartridge assembly

Family Cites Families (177)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US136631A (en) * 1873-03-11 Improvement in steam-power-brake couplings
US468390A (en) * 1892-02-09 Low-water alarm
US423081A (en) * 1890-03-11 Cable-railway crossing
US420209A (en) * 1890-01-28 Pipe-coupling for railway-cars
US898214A (en) 1903-11-27 1908-09-08 Edward E Gold Automatic pipe-coupling for railway-cars.
US872174A (en) * 1907-03-25 1907-11-26 Ralph M Fyock Automatic train-pipe coupling.
US891718A (en) * 1907-06-21 1908-06-23 Thomas B Mcmillan Coupling.
US872707A (en) * 1907-06-29 1907-12-03 Peter Beahm Automatic connector for train-pipes.
US940334A (en) * 1909-01-11 1909-11-16 William D Leftwich Coupling mechanism.
US967516A (en) 1909-09-01 1910-08-16 Henry Cain J Automatic air-coupling.
US1070110A (en) 1912-04-27 1913-08-12 James A Tate Automatic air-brake coupling or connector.
US1186068A (en) * 1915-10-30 1916-06-06 Warren C Benjamin Air-brake coupling.
US1221682A (en) * 1916-04-20 1917-04-03 William C Coffield Air-coupling.
US1389012A (en) * 1920-07-10 1921-08-30 John W Roberts Pipe-coupling for railway rolling-stock
DE423081C (de) * 1923-05-02 1925-12-18 Hoechst Ag Verfahren zur Darstellung von Sulfoalkyl- und Sulfoarylaethern von aus Phenolen sich ableitenden harzartigen Kondensationsprodukten
US1786066A (en) * 1928-09-12 1930-12-23 Cobb Connector Company Train-pipe coupler
BE344502A (ko) * 1929-12-05
US1886398A (en) * 1931-08-13 1932-11-08 Arthur C Harrell Automatic train pipe coupling
US2462488A (en) * 1945-06-07 1949-02-22 Fram Corp Control plate for filter cartridges
US2997180A (en) * 1957-06-03 1961-08-22 Chrysler Corp Anti-vapor-lock fuel filter
US3107601A (en) 1958-09-02 1963-10-22 Richard L Longmire Filtration and recirculation system for deep fat cooking apparatus
US3052863A (en) 1961-03-16 1962-09-04 Ibm Contact connector operating devices
US3214195A (en) 1962-05-25 1965-10-26 Crawford Fitting Co Coupling device for interconnecting multiple fluid lines
US3399776A (en) 1965-09-02 1968-09-03 Robert R. Knuth Detachable snap-on filter for a hydraulic system
DE1525925A1 (de) 1966-09-16 1970-01-22 Vickers Zimmer Ag Flanschverbindung,insbesondere fuer Doppelrohrleitungen
US3469863A (en) 1967-04-05 1969-09-30 Trico Products Corp Fluid coupling assembly
US3493115A (en) * 1968-01-29 1970-02-03 Ultra Tech Corp Cam lock cartridge system
US3519133A (en) * 1968-07-09 1970-07-07 Dover Corp Fluid filter means
US3560377A (en) * 1969-01-21 1971-02-02 Amicon Corp Apparatus and process for filtering fluids
US3706184A (en) 1969-06-09 1972-12-19 Matter Mfg Corp Wall-recessed suction cleaner
US3734851A (en) * 1969-12-29 1973-05-22 K Matsumura Method and device for purifying blood
US3628662A (en) 1970-03-26 1971-12-21 Marvel Eng Co Filter antidrain valve assembly
US3650251A (en) * 1970-05-11 1972-03-21 Mack Trucks Hydraulic valve lifter
US3695446A (en) 1970-10-15 1972-10-03 Culligan Int Co Membrane module assembly
US3947080A (en) * 1971-06-14 1976-03-30 Underwriters Safety Device Co. Quick-connect-disconnect terminal block assembly
US3880757A (en) * 1971-09-08 1975-04-29 Gary Thomason Filtering system
BE791684A (fr) * 1971-11-22 1973-03-16 Ogden Hubert S Cartouche filtrante amovible
US3802564A (en) * 1972-06-09 1974-04-09 W Turman Oil filter and adapter
US3812659A (en) * 1972-08-02 1974-05-28 Whirlpool Co Canister vacuum cleaner latching means
US3935106A (en) * 1974-01-23 1976-01-27 Lipner Herbert D Water filter assembly
US3950251A (en) * 1974-03-25 1976-04-13 Rayne International Filter with quick-connect coupling
GB1496035A (en) * 1974-07-18 1977-12-21 Iwaki Co Ltd Magnetically driven centrifugal pump
JPS51111902A (en) 1975-03-26 1976-10-02 Iwaki:Kk Magnet pump
US4089549A (en) * 1976-10-21 1978-05-16 Stratoflex, Inc. Simultaneous plural fluid conductor connections
US4151823A (en) * 1977-07-28 1979-05-01 Grosse Leland J Quick-change oil filter/reservoir system for internal combustion engine
US4174231A (en) * 1977-09-08 1979-11-13 Hobgood Harold G Method for flushing the crankcase of an internal combustion engine
NO140919C (no) * 1978-04-17 1979-12-12 Helge Dybvig Anordning ved drivstoffsystem, saerlig for baater
US4187179A (en) * 1978-08-14 1980-02-05 Harms John F Electrically grounded filter plate
US4298358A (en) * 1979-01-11 1981-11-03 Baxter Travenol Laboratories, Inc. Gas separating and venting filter
DE3005408A1 (de) * 1979-02-15 1980-08-21 Daicel Chem Semipermeables membranelement
US4283284A (en) 1979-07-18 1981-08-11 Baxter Travenol Laboratories, Inc. Hollow fiber dialyzer end seal system
US4321911A (en) * 1979-08-15 1982-03-30 Offutt Worthington W Modular solar collector system
US4344777A (en) * 1980-01-07 1982-08-17 Siposs George G Directed flow bubble trap for arterial blood
US4629563B1 (en) 1980-03-14 1997-06-03 Memtec North America Asymmetric membranes
US4629475A (en) * 1980-05-13 1986-12-16 Polaroid Corporation Liquid debubbling apparatus and method
US4414109A (en) 1980-09-29 1983-11-08 Purex Corporation Multi-ported valve with sealing network between valve body and rotor
US4529512A (en) * 1981-01-19 1985-07-16 Clark Equipment Company Hydraulic reservoir
DE3280289D1 (de) * 1981-02-23 1991-02-14 Nippon Denso Co Filterelement fuer fluidumreinigungssysteme.
US4404103A (en) 1981-11-05 1983-09-13 Drath Edwin H Rocking swivel hose connectors and method
US4416775A (en) 1981-12-14 1983-11-22 Std Filter Company, Inc. In-line filter and cartridge therefor
US4411783A (en) * 1981-12-23 1983-10-25 Shiley Incorporated Arterial blood filter with improved gas venting
USRE32711E (en) * 1981-12-23 1988-07-12 Shiley, Inc. Arterial blood filter with improved gas venting
US4524807A (en) * 1982-05-21 1985-06-25 Humphrey Products Company Snap-together modular manifold construction
US4494775A (en) * 1982-09-30 1985-01-22 William Nash Company, Inc. Fluid coupling
US4555130A (en) 1983-04-01 1985-11-26 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Diver's umbilical quick-disconnect device
NL8301870A (nl) * 1983-05-26 1984-12-17 Wavin Bv Afdichting voor een inrichting voor het zuiveren van vloeistoffen door membraanfiltratie.
US4535997A (en) * 1983-06-24 1985-08-20 Brust John E Sealing system
US4522717A (en) * 1983-06-24 1985-06-11 Brust John E Filter apparatus
DE3327431A1 (de) 1983-07-29 1985-02-14 Wilhelm 2000 Hamburg Heine Vorrichtung zum filtern und trennen von stroemungsmedien, insbesondere zur wasserentsalzung und wasserreinigung durch umkehrosmose und ultrafiltration
EP0138060B1 (en) * 1983-09-16 1990-03-07 Mitsubishi Rayon Co., Ltd. Hollow-fiber filtering module and water purification device utilizing it
US4629568A (en) 1983-09-26 1986-12-16 Kinetico, Inc. Fluid treatment system
US4610781A (en) 1983-12-30 1986-09-09 Baxter Travenol Laboratories, Inc. Fluid processing system with flow control manifold
JPS60179189A (ja) * 1984-02-27 1985-09-13 Hitachi Ltd 浄水器
US4879032A (en) 1984-06-04 1989-11-07 Allied Resin Corporation Fluid separatory devices having improved potting and adhesive compositions
US4559136A (en) 1984-08-31 1985-12-17 Vortex Innerspace Products, Inc. Aquarium filtering system
US4645601A (en) * 1984-08-31 1987-02-24 Everpure, Inc. Quick change reverse osmosis assembly
DE3519060A1 (de) 1985-05-28 1986-12-04 Robert Dipl.-Ing. Dr. 3352 Einbeck Kohlheb Trennzelle fuer die druckfiltration und umkehrosmose
US4654142A (en) * 1985-11-18 1987-03-31 Everpure, Inc. Filtering system
US4735716A (en) * 1986-01-27 1988-04-05 Cuno Corporated Quick-change filter cartridge and head therefor
US4719012A (en) * 1986-05-30 1988-01-12 Caterpillar Inc. Twist on disposable filter
US4820174A (en) * 1986-08-06 1989-04-11 Amp Incorporated Modular connector assembly and filtered insert therefor
US4664420A (en) * 1986-09-02 1987-05-12 Island Rubber & Equipment Co., Inc. Pneumatic self-sealing female coupling incorporating combination locking tumblers
US4870961A (en) * 1986-09-22 1989-10-03 Barnard Gordon D Medical ventilator tube and manifold assembly
US4708157A (en) * 1986-10-07 1987-11-24 Flowtron Industries, Inc. Air eliminator for fluid handling systems
US4759571A (en) * 1986-10-31 1988-07-26 D. W. Zimmerman Mfg., Inc. Fluid transfer module with multiple flow paths
DE3789449T2 (de) * 1986-11-04 1994-11-03 Osmonics Inc Flüssigkeitsfilter mit trocken bleibendem gehäuse.
US4900449A (en) * 1987-05-20 1990-02-13 Gelman Sciences Filtration membranes and method of making the same
US4806240A (en) * 1987-06-12 1989-02-21 Cuno, Incorporated Adapter and cartridge assembly
US4846800A (en) * 1987-10-14 1989-07-11 Kenneth Ouriel Two chambered autotransfuser device and method of use
US4904382A (en) * 1987-11-23 1990-02-27 Everpure, Inc. Filter cartridge security for locking between operating and non-operating positions
DE3740418A1 (de) 1987-11-28 1989-06-08 Joachim Wolf Filtervorrichtung
US4966699A (en) 1988-05-25 1990-10-30 Terumo Kabushiki Kaisha Hollow fiber membrane fluid processor
US5057131A (en) 1988-09-26 1991-10-15 The Scott Fetzer Company Vacuum cleaner filter bag assembly
US4857189A (en) 1988-10-13 1989-08-15 Everpure, Inc. Filter cartridge with a lugged concentric closure portion
US4900065A (en) * 1988-10-31 1990-02-13 Dlh Industries, Inc. Quick-connect fluid coupling
US5167837A (en) * 1989-03-28 1992-12-01 Fas-Technologies, Inc. Filtering and dispensing system with independently activated pumps in series
NL8901090A (nl) 1989-04-28 1990-11-16 X Flow Bv Werkwijze voor het vervaardigen van een microporeus membraan en een dergelijk membraan.
US5149260A (en) * 1989-05-01 1992-09-22 Foust Harry D Device and method for combustion of waste oil
US4932987A (en) * 1989-05-25 1990-06-12 Jorge Molina Extra corporeal air eliminator
US4964984A (en) * 1989-06-14 1990-10-23 Electromedics, Inc. Blood filter
JPH0347271A (ja) * 1989-07-14 1991-02-28 Terumo Corp 液体処理器
DK162191C (da) * 1989-09-15 1992-02-17 Eskofot As Filter til filtrering af vaesker
US4944776A (en) 1989-10-05 1990-07-31 Andrew Corporation Dehumidifier for waveguide system
US5221473A (en) * 1989-10-13 1993-06-22 Burrows Bruce D Filter cartridge assembly for a reverse osmosis purification system
YU212089A (en) * 1989-11-06 1992-05-28 Lazarevic Bogdan Pipeline for gas under high pressure
US5041220A (en) 1990-01-09 1991-08-20 Minntech Corporation Hollow fiber filter cartridge for a standarized housing
US5022986A (en) * 1990-01-11 1991-06-11 John Lang Manifold and disposable filter assembly
US5108598A (en) * 1990-02-14 1992-04-28 Ultra Flow, Inc. Horizontal motion quick-disconnect filter system with recirculating bypass
US5069780A (en) 1990-06-04 1991-12-03 Infinitex Ultrafiltration device and process
US5362406A (en) * 1990-07-27 1994-11-08 Pall Corporation Leucocyte depleting filter device and method of use
US5066391A (en) 1990-08-22 1991-11-19 Faria Manuel S Reusable liquid filter assembly
US5176828A (en) 1991-02-04 1993-01-05 Millipore Corporation Manifold segment stack with intermediate feed manifold
US5096230A (en) * 1991-03-20 1992-03-17 General Resource Corporation Quick release adapter for connecting an exhaust removal hose to a vehicle tail pipe using magnets
US5262068A (en) * 1991-05-17 1993-11-16 Millipore Corporation Integrated system for filtering and dispensing fluid having fill, dispense and bubble purge strokes
EP0522493B2 (de) * 1991-07-09 2001-10-24 FASTER S.r.l. Schnellkupplung zum jeweils gleichzeitigen Herstellen oder Lösen der Verbindungen mehrerer Kupplungen und/oder Anschlussstecker, insbesondere Kupplungsblock für Anbaufrontlader an Fahrzeugen
WO1993014858A1 (en) * 1992-01-22 1993-08-05 Allied-Signal Inc. Quick connect/disconnect liquid filter
US5180490A (en) * 1992-01-31 1993-01-19 Baldwin Filters, Inc. Lubricant filter assembly with internal bypass lock-out
JP3373597B2 (ja) * 1992-06-18 2003-02-04 スタナダイン・オートモーティヴ・コーポレイション 内部ベントを有する燃料フィルタ
US5178758A (en) * 1992-06-30 1993-01-12 Hwang Ching F Biochemical water filter
DE4228155C1 (de) * 1992-08-25 1993-12-02 Daimler Benz Ag Vorrichtung zur Befestigung mindestens einer freiliegenden Leitung an einem Befestigungskörper, insbesondere Kraftstoffilter für eine Brennkraftmaschine
US5399263A (en) * 1992-09-24 1995-03-21 Barnstead Thermolyne Water purifier
US5324483B1 (en) * 1992-10-08 1996-09-24 Warner Lambert Co Apparatus for multiple simultaneous synthesis
US5320752A (en) * 1992-11-03 1994-06-14 Clack Corporation Water purification system employing modular flat filter assembly
US5401401A (en) * 1993-01-13 1995-03-28 Aquaria Inc. Hang on tank canister filter
US5449454A (en) * 1993-01-13 1995-09-12 Aquaria, Inc. Gas expelling device for a canister type filter
US5336406A (en) * 1993-01-26 1994-08-09 Elkay Manufacturing Company Replaceable filter cartridge and head assembly with safety shut-off valve
US5380437A (en) * 1993-02-02 1995-01-10 Biomedical Research And Development Laboratories, Inc. Multifunctional filtration apparatus
US5389260A (en) * 1993-04-02 1995-02-14 Clack Corporation Brine seal for tubular filter
DE4321927C2 (de) * 1993-07-01 1998-07-09 Sartorius Gmbh Filtereinheit mit Entgasungsvorrichtung
US5397462A (en) * 1993-08-24 1995-03-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Filter with laterally removable element and valve means
DE4340218C1 (de) * 1993-11-25 1994-09-22 Enderle Guenther Dipl Ing Fh Filtervorrichtung
US5484527A (en) * 1993-12-13 1996-01-16 Stanadyne Automotive Corp. Module for filter assembly base
US5387339A (en) * 1993-12-17 1995-02-07 Coors Brewing Company High efficiency liquid filtration system and method for using the same
US5417459A (en) * 1994-02-24 1995-05-23 Sonsub, Inc. Subsea umbilical connector
US5632894A (en) * 1994-06-24 1997-05-27 Gish Biomedical, Inc. Arterial blood filter with upwardly inclining delivery inlet conduit
CN1120520A (zh) * 1994-07-08 1996-04-17 三星电子株式会社 净水器的过滤装置
US5462675A (en) * 1994-07-15 1995-10-31 Pall Corporation Filter assembly and method of reducing hold-up in a filter assembly
US5549010A (en) * 1995-01-13 1996-08-27 Ziba Design, Inc. Readily serviceable ancillary fluid filtration system having visual flow rate indicator and quick-release fluid hose fitting
US5902551A (en) * 1995-01-13 1999-05-11 Semi-Gas Systems, Inc. Process gas docking station with point-of-use filter for receiving removable purifier cartridges
US5651765A (en) * 1995-04-27 1997-07-29 Avecor Cardiovascular Inc. Blood filter with concentric pleats and method of use
US5507530A (en) * 1995-05-08 1996-04-16 Soo Tractor Sweeprake Company Plural male and female fluid coupler connecting mechanism and method
US5685894A (en) * 1995-09-13 1997-11-11 Electrolux Corporation Filter and accessory mount for upright vacuum cleaner exhaust port
US6387271B1 (en) * 1995-09-14 2002-05-14 Pall Corporation Method for separating solid particulates from a liquid
US6059318A (en) * 1996-04-30 2000-05-09 E. I. Du Pont De Nemours And Company Lateral entry remotely operated coupling system
US5925025A (en) * 1996-06-05 1999-07-20 Tyco Group S.A.R.L. Filtration valve cap with reflux clearing feature and related method of use thereof
US5762789A (en) * 1996-06-28 1998-06-09 Millipore Corporation Disposable membrane module with low-dead volume
US6378907B1 (en) * 1996-07-12 2002-04-30 Mykrolis Corporation Connector apparatus and system including connector apparatus
US6068770A (en) * 1996-07-12 2000-05-30 Millipore Corporation Disposable separation module with quick connect capability
JPH1043293A (ja) * 1996-08-08 1998-02-17 Senko Ika Kogyo Kk 液体中気泡除去装置
US6048454A (en) * 1997-03-18 2000-04-11 Jenkins; Dan Oil filter pack and assembly
US5858224A (en) * 1997-03-18 1999-01-12 Nelson Industries, Inc. Filter with pressure sensor mounted in housing end
US5902511A (en) * 1997-08-07 1999-05-11 North American Refractories Co. Refractory composition for the prevention of alumina clogging
US6159366A (en) * 1997-08-21 2000-12-12 Carroll; Randall Scott No spill, self-bleeding filter
US5911879A (en) * 1997-09-24 1999-06-15 Eaton Corporation Refrigerant filter/drier
US6024229A (en) * 1998-02-27 2000-02-15 Ayers; William R. Reusable filter assembly
US6523861B1 (en) * 1998-05-26 2003-02-25 Gary Clancy Fluid coupling and method of use
US6059797A (en) * 1998-06-17 2000-05-09 Ensurg, Inc. Self-disposing ligating band dispenser
USD423081S (en) 1998-07-10 2000-04-18 Millipore Corporation Connector
DE69942511D1 (de) * 1998-10-09 2010-07-29 Entegris Inc Filtrationsmodul
JP2000140524A (ja) * 1998-11-05 2000-05-23 Nippon Rokaki Kk 濾過装置
US7029238B1 (en) * 1998-11-23 2006-04-18 Mykrolis Corporation Pump controller for precision pumping apparatus
FR2788561B1 (fr) * 1999-01-14 2001-02-16 Snecma Circuit de carburant a filtre principal protege
US6139738A (en) * 1999-03-10 2000-10-31 Parker-Hannifin Corporation Cartridge filter with integrated threading having anti-rotation feature
US6302147B1 (en) * 1999-04-08 2001-10-16 Joseph Lorney Rose Automatic dry release valve coupling
US6176904B1 (en) 1999-07-02 2001-01-23 Brij M. Gupta Blood filter
EP1775003B1 (en) 2000-05-12 2009-12-23 Pall Corporation Filtration systems
DE60140326D1 (de) * 2000-05-12 2009-12-10 Pall Corp Filter
EP1322395B1 (en) * 2000-09-13 2011-02-23 Entegris, Inc. Liquid filtration device
US20020060189A1 (en) * 2000-11-22 2002-05-23 Wayne Conrad Method and apparatus for controlling a household water purifier
US6902671B2 (en) * 2000-12-01 2005-06-07 Millipore Corporation Chemical process system with multi-functional barrier filter
JP2002273113A (ja) * 2001-03-15 2002-09-24 Koganei Corp 濾過器および薬液供給装置並びに薬液供給方法
US6752159B1 (en) * 2001-08-21 2004-06-22 Motorvac Technologies, Inc. Dynamic oil flusher cleaning system
US7469932B2 (en) * 2001-09-13 2008-12-30 Entegris, Inc. Receptor for a separation module
WO2003022388A2 (en) * 2001-09-13 2003-03-20 Mykrolis Corporation Separation module
US6581974B1 (en) * 2001-09-29 2003-06-24 Ragner Manufacturing, Llc Pivot adaptor attachment for vacuum cleaners
FR2835585B1 (fr) * 2002-02-04 2004-03-05 Staubli Sa Ets Raccord rapide pour la jonction amovible de deux canalisations
US7163037B2 (en) * 2005-01-21 2007-01-16 Eaton Corporation Guiding movement of capless filler neck closure

Also Published As

Publication number Publication date
US20050145577A1 (en) 2005-07-07
US7572367B2 (en) 2009-08-11
US20070107601A1 (en) 2007-05-17
EP1322395B1 (en) 2011-02-23
DE60144097D1 (de) 2011-04-07
EP1322395A1 (en) 2003-07-02
TW508260B (en) 2002-11-01
US7407594B2 (en) 2008-08-05
US20060070961A1 (en) 2006-04-06
US6846409B2 (en) 2005-01-25
JP2004508183A (ja) 2004-03-18
KR20030067668A (ko) 2003-08-14
CN1183993C (zh) 2005-01-12
US6982041B2 (en) 2006-01-03
US20080302712A1 (en) 2008-12-11
US20040094463A1 (en) 2004-05-20
CN1455696A (zh) 2003-11-12
WO2002022232A1 (en) 2002-03-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100582967B1 (ko) 액체 여과 기기
US7594801B2 (en) Chemical liquid apparatus and deaerating method
JP4128085B2 (ja) 液体タンク
US7198361B2 (en) Ink jet apparatus
US20080169230A1 (en) Pumping and Dispensing System for Coating Semiconductor Wafers
US8091991B2 (en) Continuous printhead gas flow duct including drain
KR100493254B1 (ko) 라인 구멍으로부터의 액체 적하 방지 장치
JP2002336663A (ja) 濾過装置
GB2362337A (en) Bubble trap for removing gas/gas and solids from flowing liquid
JP7266754B2 (ja) 液体を濾過する方法及びフィルター装置
JP2006204988A (ja) フィルタハウジング
JP2010019426A (ja) 液体タンク
JP2010149068A (ja) 浸漬型膜分離装置の洗浄方法および洗浄装置
JPH11309345A (ja) 浸漬型膜分離装置の集合管構造
KR0161085B1 (ko) 정수기용 여과장치
JP3239922B2 (ja) 固液分離装置
JP2006159482A (ja) インクジェット記録装置
KR20030085660A (ko) 포토리소그래피 공정설비의 포토레지스트 공급시스템
KR19980040623A (ko) 웨트 스테이션의 필터
KR20000001192A (ko) 반도체장치의 포토레지스트 필터링 장비
KR20000009387U (ko) 반도체 제조공정중 기포 제거장치
JPH04135603A (ja) 清涼飲料水等の脱気装置
WO2005088685A1 (ja) 処理液供給システム及びフィルタ装置
KR20030058604A (ko) 반도체 웨이퍼 세정 장치 및 이를 이용한 반도체 웨이퍼세정 방법
KR19990025149A (ko) 진공 배출장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
N231 Notification of change of applicant
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110512

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee