KR19980040623A - 웨트 스테이션의 필터 - Google Patents

Abstract

웨트 스테이션의 필터가 개시되어 있다. 이 필터는 밀폐된 용기와, 상기 용기의 측면의 상단부에 연통된 액체 주입관과, 상기 용기의 상부면의 중심부에 연통된 액체 배출관과, 상기 액체 배출관 아래에 설치되고 그 바닥에 소정의 홀을 구비하여 상기 홀을 통하여 유입되는 액체를 상기 액체 배출관으로 내보내면서 상기 액체 내의 오염물질을 여과시키는 기능을 갖는 멤브레인과, 상기 액체 주입관 및 상기 액체 배출관 사이의 용기 벽에 연통된 공기 배출관과, 상기 멤브레인 외벽과 상기 용기 내벽 사이에 설치되어 상기 용기 내부를 상부영역과 하부영역으로 분리시키면서 한 쪽 부분은 상기 공기 배출관 및 상기 액체 배출관 사이의 용기 내벽과 접촉되고 다른 한 쪽 부분은 상기 액체 주입관과 마주보는 용기 내벽이면서 상기 액체 주입관보다 일정크기만큼 낮은 위치에 접촉되어 경사진 면을 갖는 차폐막을 구비하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 세정용액 내의 기포를 제거하는 능력을 극대화시킬 수 있으므로 웨이퍼의 세정효율을 제고시킬 수 있다.

Description

웨트 스테이션의 필터(filter of wet station)

본 발명은 반도체소자를 제조하는 데 사용되는 장비에 관한 것으로, 특히 웨트 스테이션의 필터에 관한 것이다.

반도체소자를 제조하는데 있어서 화학용액을 사용하는 습식 식각공정 또는 세정공정은 필수적으로 요구되는 공정이다. 이러한 습식 공정은 화학용액을 담는 액조를 구비하는 웨트 스테이션을 이용하여 진행된다. 특히, 세정공정은 웨이퍼의 표면에 흡착된 오염물질, 예컨대 파티클을 제거하는 데 필수적으로 요구되는 공정이다. 이때, 웨트 스테이션의 액조에 파티클을 제거하기 위한 세정용액을 공급하여야 하며, 이와 같이 액조에 공급된 세정용액은 세정효율을 극대화시키기 위하여 순환펌프에 의하여 지속적으로 순환된다. 그리고, 웨이퍼의 표면을 세정시킨 화학용액, 즉 세정용액은 웨이퍼 표면으로부터 이탈된 오염물질, 예컨대 파티클을 다량 함유하고 있으므로, 웨트 스테이션의 소정영역에 설치된 필터를 통과시키어 파티클을 제거시키고, 필터를 통과하여 파티클이 제거된 세정용액을 다시 웨이퍼가 담긴 액조에 공급한다. 이와 같이 세정용액은 웨이퍼의 세정효율을 극대화시키기 위하여 필터를 통과하도록 순환되어진다. 이러한 종래의 필터는 밀폐된 용기와, 상기 용기의 측벽의 소정영역에 연통된 세정용액 주입구와, 상기 세정용액 주입구로부터 유입된 세정용액이 통과하면서 세정용액 내에 함유된 파티클과 같은 오염물질을 제거시키는 기능을 갖는 멤브레인과, 상기 멤브레인을 통과하여 오염물질이 제거된 세정용액이 상기 밀폐된 용기의 외부로 배출되는 세정용액 배출구를 구비한다. 여기서, 상기 세정용액 주입구, 멤브레인, 및 세정용액 배출구는 일직선 상에 놓이도록 설치된다. 그리고, 상기 밀폐된 용기의 소정영역에 공기를 배출시키기 위한 공기 배출구가 장착되어 있다.

한편, 세정효율을 보다 더 극대화시키기 위하여 표면활성제가 첨가된 세정용액이 최근에 널리 사용되고 있다. 이와 같이 세정용액에 표면활성제를 첨가하게 되면, 세정용액이 순환될 때 기포가 발생한다. 이러한 기포는 상기 공기 배출구에 의해 밀폐된 용기의 외부로 배출되나, 완전히 제거시키기가 어렵다. 따라서, 세정용액 내에 잔존하는 기포는 필터의 내부에 설치된 멤브레인의 코어(core) 부분에 흡착될 수 있으며, 이와 같이 멤브레인의 코어 부분에 기포가 흡착되면, 세정용액의 순환기능을 저하시키어 순환 펌프의 압력을 증가시킴으로써 순환펌프에 손상이 가해짐은 물론, 세정효율을 오히려 저하시킨다.

상술한 바와 같이 종래의 웨트 스테이션의 필터는 세정용액 내에 기포가 발생할 경우 기포를 완전히 제거시키는 기능이 약하다. 따라서, 세정용액의 순환기능이 저하되어 세정효율을 저하시키는 문제점을 갖는다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 필터 내에 화학용액 탱크를 설치하여 세정용액이 순환될 때 발생하는 기포를 제거하는 기능을 극대화시킬 수 있는 웨트 스테이션의 필터를 제공하는 데 있다.

도 1은 본 발명의 필터를 설명하기 위한 단면도이다.

상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명에 따른 웨트 스테이션의 필터는 밀폐된 용기와, 상기 용기의 측면의 상단부에 연통된 액체 주입관과, 상기 용기의 상부면의 중심부에 연통된 액체 배출관과, 상기 액체 배출관 아래에 설치되고 그 바닥에 소정의 홀을 구비하여 상기 홀을 통하여 유입되는 액체를 상기 액체 배출관으로 내보내면서 상기 액체 내의 오염물질을 여과시키는 기능을 갖는 멤브레인과, 상기 액체 주입관 및 상기 액체 배출관 사이의 용기 벽에 연통된 공기 배출관과, 상기 멤브레인 외벽과 상기 용기 내벽 사이에 설치되어 상기 용기 내부를 상부영역과 하부영역으로 분리시키면서 한 쪽 부분은 상기 공기 배출관 및 상기 액체 배출관 사이의 용기 내벽과 접촉되고 다른 한 쪽 부분은 상기 액체 주입관과 마주보는 용기 내벽이면서 상기 액체 주입관보다 일정크기만큼 낮은 위치에 접촉되어 경사진 면을 갖는 차폐막을 구비하는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 웨트 스테이션의 필터를 설명하기 위한 단면도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 필터는 밀폐된 용기(1)와, 상기 용기(1)의 측벽의 상단부에 연통된 액체 주입관(I)와, 상기 용기(1)의 상부면의 중심부에 연통된 액체 배출관(O)와, 상기 액체 배출관(O) 아래에 설치된 멤브레인(3)을 구비한다. 여기서, 상기 멤브레인(3)은 그 바닥에 소정의 홀을 구비함으로써, 상기 홀을 통하여 유입되는 액체, 예컨대 세정용액이 상기 액체 배출관(O)를 통하여 상기 밀폐된 용기(1)의 외부로 배출되도록 설치된다. 그리고, 상기 멤브레인(3)을 통과하는 세정용액에 함유된 오염물질, 즉 파티클은 상기 멤브레인(3) 내부에서 여과되도록 코어부를 갖는다. 바람직하게는, 상기 멤브레인(3)의 바닥은 상기 액체 주입관(I)보다 낮아야 한다.

계속해서, 상기 필터는 액체 주입관(I) 및 액체 배출관(O) 사이의 용기(1) 벽에 연통된 공기 배출관(P)과, 상기 멤브레인(3)의 외벽과 상기 용기(1)의 내벽 사이에 설치되어 상기 용기(1) 내부를 상부 영역과 하부 영역으로 분리시키는 차폐막(5)을 구비한다. 여기서, 상기 차폐막(5)의 한 쪽 부분은 상기 공기 배출관(P) 및 상기 액체 배출관(O) 사이의 용기(1) 내벽과 접촉되고 다른 한 쪽 부분은 상기 액체 주입관(I)와 마주보는 용기(1) 내벽과 접촉되어 경사진 면을 갖는다. 이때, 상기 차폐막(5)의 낮은 부분은 상기 액체 주입관(I)의 높이보다 d만큼 낮도록 설치되어야 한다. 이에 따라, 상기 액체 주입관(I)을 통하여 용기(1) 내에 유입된 세정용액 내에 기포가 존재할 경우 기포는 세정용액이 상기 멤브레인(3)의 바닥에 형성된 홀을 통과하기 전에 상기 공기 배출관(P)을 통하여 참조부호 A로 표시한 화살표와 같이 용기(1) 외부로 배출된다. 여기서, 상기 공기 배출관(P)의 소정영역에 밸브(V)를 구비하여 필요에 따라 공기의 배출을 조절하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성된 필터의 용기(1) 내부에 액체, 즉 세정용액이 유입되면, 세정용액은 차폐막(5) 아래의 하부영역을 채우면서 그 수면(7)은 상기 액체 주입관(I)보다 높게 형성된다. 또한, 상기 용기(1)는 상부 반경(Ru)이 하부반경(Rb)보다 크도록 설계되어지는 것이 바람직하다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 당업자의 수준에서 그 변형 및 개량이 가능하다.

상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 의하면, 용기 내부를 상부영역과 하부영역으로 분리시키는 차폐막을 구비하여 세정용액 내에 함유된 기포를 제거하는 능력을 극대화시킬 수 있다. 따라서, 세정용액을 원활하게 순환시키면서 세정용액 내의 오염물질을 효율적으로 여과시킬 수 있으므로 웨이퍼의 세정효율을 제고시킬 수 있다.

Claims (1)

1. 밀폐된 용기;

   상기 용기의 측면의 상단부에 연통된 액체 주입관;

   상기 용기의 상부면의 중심부에 연통된 액체 배출관;

   상기 액체 배출관 아래에 설치되고 그 바닥에 소정의 홀을 구비하여 상기 홀을 통하여 유입되는 액체를 상기 액체 배출관으로 내보내면서 상기 액체 내의 오염물질을 여과시키는 기능을 갖는 멤브레인;

   상기 액체 주입관 및 상기 액체 배출관 사이의 용기 벽에 연통된 공기 배출관; 및

   상기 멤브레인 외벽과 상기 용기 내벽 사이에 설치되어 상기 용기 내부를 상부영역과 하부영역으로 분리시키면서 한 쪽 부분은 상기 공기 배출관 및 상기 액체 배출관 사이의 용기 내벽과 접촉되고 다른 한 쪽 부분은 상기 액체 주입관과 마주보는 용기 내벽이면서 상기 액체 주입관보다 일정크기만큼 낮은 위치에 접촉되어 경사진 면을 갖는 차폐막을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨트 스테이션의 필터.