KR100574947B1 - Ｂｇａ 패키지, 그 제조방법 및 ｂｇａ 패키지 적층 구조 - Google Patents

Ｂｇａ 패키지, 그 제조방법 및 ｂｇａ 패키지 적층 구조 Download PDF

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Abstract

본 발명은 BGA 패키지와 그 제조방법, 그리고 그 BGA 패키지를 단위 패키지로 하여 복수개가 적층된 형태의 패키지 적층 구조에 관한 것이다. 본 발명에 따른 패키지는, 기판 상에 반도체 칩이 접착되어 있고, 반도체 칩 상면에는 복수개의 솔더 볼이 구비되어 있으며, 봉지재가 기판 위의 반도체 칩을 감싸도록 형성되되 솔더 볼은 노출시키게 형성되어 있다.

Description

ＢＧＡ 패키지, 그 제조방법 및 ＢＧＡ 패키지 적층 구조{BGA package, manufacturing method thereof and stacked package comprising the same}
도 1은 종래의 WBGA(Wire bonding Ball Grid Array) 패키지를 도시한다.
도 2 내지 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 BGA 패키지 및 그 제조방법을 설명하기 위한 도면들로서, 도 4 내지 도 6은 도 2의 Ⅳ-Ⅳ' 단면에 대응된다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예의 변형예에 따른 BGA 패키지의 단면도이다.
도 8 내지 도 14는 본 발명의 제2 실시예에 따른 BGA 패키지 및 그 제조방법을 설명하기 위한 도면들로서, 도 10과 도 11은 도 8의 Ⅹ-Ⅹ' 단면에 대응되고, 도 13 및 도 14는 도 12의 ⅩⅢ-ⅩⅢ' 단면에 대응된다.
도 15 내지 도 17은 본 발명의 실시예들에 따른 패키지를 적층한 패키지 적층 구조의 예를 도시한 단면도들이다.
본 발명은 패키지 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 BGA(Ball Grid Array) 패키지와 그 제조방법, 그리고 그 BGA 패키지를 단위 패키지로 하여 복수개가 적층된 형태의 패키지 적층 구조(stacked package)에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼에 각종 공정에 의해 복수개의 반도체 칩이 구성되면 스크라이브 라인을 따라 반도체 웨이퍼를 절단하여 개개의 반도체 칩으로 분리하게 된다. 분리된 반도체 칩에 대해서는 보드 실장을 위한 패키징 공정이 실시된다. 패키징 공정에 따라 반도체 패키지가 완성된다. 이러한 반도체 패키지는 전자기기의 집약적인 발달과 소형화로 제조되는 경향으로 인해 얇게 제조됨과 아울러 고집적화, 고기능화가 요구된다.
보다 좁은 면적에 보다 많은 수의 반도체 칩을 실장하기 위하여 CSP(Chip Scale Package)를 적용하려는 연구가 활발하다. CSP는 반도체 칩이 최종적으로 패키징 완료된 후 패키지의 면적과 반도체 칩의 면적비가 1.2 이하이므로 다른 종류의 패키지에 비하여 실장시 차지하는 면적이 작다. CSP의 종류에는 μBGA, WBGA(Wire bonding BGA), 및 FBGA(Fine pitch BGA) 등이 있다.
도 1에 나타낸 CSP는 WBGA로서, 활성면의 에지에 칩 패드(10)들이 형성된 에지패드형 칩(5)이 기판(20) 상면에 접착재(15)에 의하여 부착되어 있다. 본딩 와이어(25)가 칩 패드(10)와 기판(20)의 금속패턴(미도시)을 연결하고 있다. 솔더 마스크(35)가 칩(5) 반대편 기판(20) 면으로 도입되고 솔더 마스크(35)의 사이트를 통하여 솔더 볼(40)이 부착되어 있다. 성형수지(45)는 칩(5)의 노출된 면이 없도록 솔더 볼(40)측을 제외한 나머지 부분을 전부 감싸도록 형성되어 있다.
이러한 구조의 패키지를 제조하기 위해서는, 몰딩 등으로 성형수지(45)를 형성한 다음에 솔더 볼(40)을 부착한다. 이 때문에, 성형수지(45)로 둘러싸이지 않은 기판(20) 면 쪽에 솔더 볼(40)을 부착하게 된다. 반대쪽, 즉 칩(5) 쪽에 솔더 볼을 붙이려면 별도의 패터닝 공정이나 추가 기판이 필요하다.
한편, 보다 좁은 면적에 보다 많은 수의 반도체 칩을 실장하기 위하여 패키지 여러 개를 수직으로 적층하여 사용하는 경우가 있다. 그럴 경우, 패키지는 좁은 면적을 차지해야할 뿐만 아니라 적층하기 용이한 구조를 가지고 있어야 한다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 패키지 적층이 용이한 구조의 패키지를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 차지하는 면적이 좁은 패키지 적층 구조를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는 패터닝 공정이나 추가 기판을 필요로 하지 않고 칩 쪽에 솔더 볼을 부착한 패키지 제조방법을 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 패키지는, 기판, 상기 기판 상면에 접착된 반도체 칩, 상기 반도체 칩 상면에 구비된 복수개의 솔더 볼, 및 상기 기판 위의 상기 반도체 칩을 감싸도록 형성되되 상기 솔더 볼은 노출시키게 형성된 봉지재(encapsulant)를 포함하는 BGA 패키지이다.
실시예에 따르면, 다음과 같은 BGA 패키지가 제공된다. BGA 패키지는, 활성면의 에지에 복수개의 칩 패드가 형성되고 상기 칩 패드에 연결된 리루팅(rerouting) 배선 패턴에 의해 활성면의 중앙부에 복수개의 솔더 볼 패드가 형성된 반도체 칩을 포함한다. 상기 반도체 칩은 그 비활성면에 도포된 접착재를 통해 기판의 상면에 접착되어 있는데, 상기 기판은 상면에 본드 핑거와 하면에 기판 랜드가 형성되고 대응하는 상기 반도체 칩의 에지 바깥으로 연장된 에지를 가지는 것이다. 상기 칩 패드와 상기 본드 핑거간은 도전성 와이어로 전기적으로 연결되어 있다. 상기 솔더 볼 패드에는 복수개의 솔더 볼이 부착되어 있다. 상기 기판 위의 상기 반도체 칩과 상기 도전성 와이어를 감싸도록 형성되되 상기 솔더 볼은 노출시키게 봉지재가 형성되어 있다.
이러한 패키지는 상기 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제를 달성하기 위하여, 상부 패키지의 솔더 볼과 하부 패키지의 기판 랜드가 접속된 구조로 두 개 이상의 패키지가 적층될 수 있어, 좁은 면적을 차지하는 패키지 적층 구조를 제공한다.
이 때, 최상부에 적층되는 다른 BGA 패키지를 더 포함하고, 상기 상부 패키지의 기판 랜드와 상기 다른 BGA 패키지의 솔더 볼이 접속되며, 상기 다른 BGA 패키지는, 기판, 상기 기판 상면에 접착된 반도체 칩, 상기 반도체 칩 상면에 구비된 복수개의 솔더 볼, 및 상기 기판 위의 상기 반도체 칩을 감싸도록 형성되되 상기 솔더 볼은 노출시키게 형성된 봉지재를 포함하는 것일 수 있다.
뿐만 아니라, 이러한 패키지 하나 위에 다른 BGA 패키지가 적층될 수 있는데, 여기서도 상기 패키지의 기판 랜드와 상기 다른 BGA 패키지의 솔더 볼이 접속된다.
상기 또 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 패키지 제조방법 에서는, 기판 상면에 반도체 칩을 접착한다. 상기 반도체 칩 상면에 복수개의 솔더 볼을 부착한 다음, 상기 솔더 볼보다 낮게 상기 반도체 칩 상면과 측면을 보호하는 봉지재를 형성한다.
상기 또 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 다른 패키지 제조방법에서는, 활성면의 에지에 복수개의 칩 패드가 형성되고 상기 칩 패드에 연결된 리루팅 배선 패턴에 의해 활성면의 중앙부에 복수개의 솔더 볼 패드가 형성된 반도체 칩을, 상면에 본드 핑거와 하면에 기판 랜드가 형성되고 대응하는 상기 반도체 칩의 에지 바깥으로 연장된 에지를 가지는 기판 상에 접착한다. 상기 솔더 볼 패드에 솔더 볼을 부착한 다음, 상기 칩 패드와 상기 본드 핑거간을 도전성 와이어로 연결시켜 와이어 본딩한다. 그리고 나서, 상기 솔더 볼보다 낮게 상기 반도체 칩 상면과 측면, 와이어 본딩된 부분을 보호하는 봉지재를 형성한다.
기타 실시예의 구체적 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들을 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
(제1 실시예)
도 2 내지 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 BGA 패키지 및 그 제조방법을 설명하기 위한 도면들로서, 도 4 내지 도 6은 도 2의 Ⅳ-Ⅳ' 단면에 대응된다. 그리고, 도 7은 본 발명의 제1 실시예의 변형예에 따른 BGA 패키지의 단면도이다.
우선, 도 2와 같은 반도체 칩(100)을 준비한다. 반도체 칩(100)은 상면에 솔더 볼을 얹을 수 있도록 복수개의 솔더 볼 패드(115)를 가진 것이다. 솔더 볼 패드(115)는 구리나 알루미늄을 증착한 뒤에 패터닝한 것으로, 그 상면에는 금 및 니켈을 도금하여 차후에 솔더 볼이 확고히 융착되도록 할 수 있다.
이러한 반도체 칩(100)을 도 3과 같은 기판(120) 상면에 접착한다. 접착된 후의 단면 모습은 도 4와 같다. 반도체 칩(100)과 기판(120)은 접착제 또는 양면 접착 테이프와 같은 접착재(150)를 매개로 하여 접착한다. 예컨대, 페이스트 형태 또는 프리폼(preform)된 필름의 형태인 에폭시 또는 열가소성 물질 등과 같은 접착 재료를 사용할 수 있다. 반도체 칩(100)의 노출되는 면이 없도록, 기판(120)의 크기는 반도체 칩(100)과 같거나 더 큰 것이 좋다. 따라서, 기판(120)의 에지는 대응하는 반도체 칩(100)의 에지 바깥으로 연장되어 있는 것이 바람직하다.
본 실시예에서, 반도체 칩(100)과 기판(120) 사이에 개재된 접착재(150)가 도전성을 띠는 경우에 반도체 칩(100)과 기판(120)이 전기적으로 접속될 수 있다. 도전성 접착재 대신에, 솔더 볼, 스터드 범프, 도전성 페이스트, 도전막 또는 다른 임의의 기계적이거나 야금학적인 상호 접속을 포함하는 다른 플립 칩 접속 방법을 사용하는 것도 또한 고려해볼 수 있다. 그러나, 본 실시예에서 반도체 칩(100)과 기판(120)이 반드시 전기적으로 접속되어야 하는 것은 아니다. 전기적으로 접속되지 않을 경우, 기판(120)은 단순히 반도체 칩(100)의 패키징을 위한 지지 부재로 사용된다.
다음으로, 도 5에서와 같이, 반도체 칩(100) 상면에 복수개의 솔더 볼(160)을 부착한다. 솔더 볼(160)은 솔더 볼 패드(115)에 안착시킨 후 고온의 퍼니스에 투입한다. 그러면, 솔더 볼(160)이 리플로우(reflow)되면서 열 융착된다. 솔더 볼(160)의 직경은 약 300㎛ 정도일 수 있다.
다음, 도 6을 참조하여, 솔더 볼(160)보다 낮게 반도체 칩(100) 상면과 측면을 보호하는 봉지재(180)를 형성하여 BGA 패키지(P1) 제조를 완료한다. 봉지재(180)로는 액상 봉지재(liquid encapsulant)를 사용하여 경화시킬 수 있으며, 그 종류는 다양하게 변경 가능하다. 이것은 반도체 칩(100)을 외부의 먼지, 습기 및 기계적 접촉 등으로부터 보호되도록 한다.
액상 봉지재는 통상 디스펜서(dispenser)를 이용하여 작업하게 된다. 상온에서 액체 상태를 유지하며, 공기 중에 노출되었을 때 딱딱하게 굳는 성질이 있으므로, 디스펜서를 이용하여 액상 봉지재를 기판(120)의 상부에 도포하게 되면, 액상 봉지재가 반도체 칩(100)의 상면과 측면에 뿌려져 서서히 경화된다.
이 때, 도 7에서와 같이 봉지재(180')가 반도체 칩(100)의 상면을 덮는 BGA 패키지(P2)를 제조할 수도 있다. 그럴 경우, 반도체 칩(100) 상면에서의 두께가 솔더 볼(160) 높이보다 작게 형성되어 솔더 볼(160)을 노출시키도록 형성한다.
반도체 칩(100)과 기판(120)을 전기적으로 접속하기 위해 솔더 범프나 다른 도전성 범프를 이용하는 경우에, 봉지재(180, 180')는 반도체 칩(100)과 기판(120) 사이의 공간을 채우기 위한 언더필로도 사용될 수 있어, 기판(120) 주위에 필렛을 형성할 수 있다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 BGA 패키지 제조방법의 실시예에서는 봉지재(180, 180')를 형성하는 인캡슐레이션(encapsulation) 공정 진행 전에 솔더 볼(160)을 부착함에 따라, 종래 인캡슐레이션 공정 진행 후 솔더 볼을 부착하는 경우에 비해서, 반도체 칩(100) 상면에 솔더 볼 부착을 위한 별도의 패터닝 공정이나 별도의 기판이 필요하지 않다. 따라서, 본 발명의 제조방법에 따르면, 패터닝 공정이나 추가 기판을 필요로 하지 않고 반도체 칩 쪽에 솔더 볼을 부착한 패키지를 제조할 수 있다.
도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 BGA 패키지(P1 또는 P2)는, 기판(120), 기판(120) 상면에 접착된 반도체 칩(100), 반도체 칩(100) 상면에 구비된 복수개의 솔더 볼(160), 및 기판(120) 위의 반도체 칩(100)을 감싸도록 형성되되 솔더 볼(160)은 노출시키게 형성된 봉지재(180 또는 180')를 포함한다.
이러한 BGA 패키지(P1 또는 P2)는 반도체 칩(100) 쪽에 솔더 볼(160)이 부착된 구조이면서도 별도의 기판 등을 필요로 하지 않으므로 인캡슐레이션시 필요한 수직적 공간이 최소화된 것이다. 따라서, 패키지 두께가 작은 것이 장점이다.
(제2 실시예)
도 8 내지 도 14는 본 발명의 제2 실시예에 따른 BGA 패키지 및 그 제조방법을 설명하기 위한 도면들로서, 도 10과 도 11은 도 8의 Ⅹ-Ⅹ' 단면에 대응된다. 그리고, 도 13 및 도 14는 도 12의 ⅩⅢ-ⅩⅢ' 단면에 대응된다.
도 8에 도시한 것과 반도체 칩(200)을 준비한다. 이 반도체 칩(200)은 활성 면의 에지에 복수개의 칩 패드(205)가 형성되고 칩 패드(205)에 연결된 리루팅(rerouting) 배선 패턴(210)에 의해 활성면의 중앙부에 복수개의 솔더 볼 패드(215)가 형성되어 있다.
칩 패드(205)는 알루미늄 또는 구리 재질로 반도체 제조 공정에서 형성된 것이다. 일반적으로, 칩 패드(205)만을 노출시키고 반도체 칩(200) 상면은 보호하는 패시베이션막(미도시)이 형성된 채로 반도체 제조 공정이 완료된다. 그런 반도체 칩(200) 상면에 리루팅 배선 패턴(210)과 솔더 볼 패드(215)를 형성하는 일로써 패키징 공정이 시작된다. 리루팅 배선 패턴(210)과 솔더 볼 패드(215)는 구리 또는 알루미늄과 같은 도전막을 증착한 후 패터닝하여 형성하며, 솔더 볼 패드(215)의 상면에는 금 및 니켈을 도금하여 차후에 솔더 볼이 확고히 융착되도록 할 수 있다. 하나의 패터닝된 리루팅 배선 패턴(210)은 반도체 칩(200)의 에지 쪽에 형성되고 노출된 하나의 칩 패드(205)를 외부 접속 단자로서 차후 각 솔더 볼 패드(215) 위에 하나씩 형성되는 솔더 볼과 접속시킨다. 예를 들어, 각 패터닝된 리루팅 배선 패턴(210)은 예컨대 여러 개의 어드레스 전극, 접지 전극, 데이터 신호 전송용 데이터 전극, 여러 제어 신호 송수신용 제어 전극(구체적으로 신호 기록용, 신호 판독용, 신호 선택용, 및 신호 제어용), 및 전력 공급용 전극(Vcc)(이 모두는 칩 패드(205)로서 형성됨)으로부터 각각의 해당하는 솔더 볼까지 연장되도록 하나씩 형성된다.
다음에, 이러한 반도체 칩(200)을 도 9에 도시한 것과 같은 기판(220) 상면에 접착한다. 접착된 후의 단면 모습은 도 10과 같다. 기판(220)은 상면 에지 쪽 에 본드 핑거(225)를 가진다. 본드 핑거(225)는 구리 등을 패터닝하여 형성한 것으로, 표면에는 예컨대 은을 도금하여 차후에 도전성 와이어가 양호하게 본딩될 수 있도록 할 수 있다. 기판(220)의 하면에는 기판 랜드(230)가 형성되어 있다. 그리고, 기판(220)은 대응하는 반도체 칩(200)의 에지 바깥으로 연장된 에지를 가져서 본드 핑거(225)가 반도체 칩(200) 외측으로 나와야 한다. 반도체 칩(200)과 기판(220)은 접착제 또는 양면 접착 테이프와 같은 접착재(250)를 매개로 하여 접착한다. 예컨대, 페이스트 형태 또는 프리폼된 필름의 형태인 에폭시 또는 열가소성 물질 등과 같은 접착 재료를 사용할 수 있다.
다음에 도 11에 도시한 것과 같이, 솔더 볼 패드(215)에 솔더 볼(260)을 부착한다. 솔더 볼(260)은 솔더 볼 패드(215)에 안착시킨 후 열 융착시켜 부착한다.
다음으로, 칩 패드(205)와 본드 핑거(225)간을 도전성 와이어(270)로 연결시켜 와이어 본딩한다. 도 12는 와이어 본딩된 상태를 보여주는 상면도이고, 도 13은 도 12의 ⅩⅢ-ⅩⅢ' 단면이다. 도전성 와이어(270)는 금이나 알루미늄 등의 도전성 재질로 된 것이다.
그리고 나서, 도 14에 도시한 것과 같이, 솔더 볼(260)보다 낮게 반도체 칩(200) 상면과 측면을 보호하는 봉지재(280)를 형성하여 BGA 패키지(P3)를 제조한다. 봉지재(280)는 도전성 와이어(270)로 본딩된 부분도 감싸게 형성한다. 봉지재(280)는 반도체 칩(200)의 상면을 덮게 형성하는데, 반도체 칩(200) 상면에서의 두께가 솔더 볼(260) 높이보다 작게 형성하여 솔더 볼(260)을 노출시킨다. 봉지재(280)로는 액상 봉지재를 사용할 수 있으며, 그 종류는 다양하게 변경 가능 하다. 이것은 도전성 와이어(270)와 반도체 칩(200)의 칩 패드(205)를 외부의 먼지, 습기 및 기계적 접촉 등으로부터 보호되도록 한다. 액상 봉지재를 기판(220)의 상부에 도포하게 되면, 액상 봉지재가 도전성 와이어(270) 및 반도체 칩(200)의 칩 패드(205) 상에 뿌려져 서서히 경화된다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 BGA 패키지 제조방법의 실시예에서는 봉지재(280)를 형성하는 인캡슐레이션 공정 진행 전에 솔더 볼(260)을 부착함에 따라, 종래 인캡슐레이션 공정 진행 후 솔더 볼을 부착하는 경우에 비해서, 반도체 칩(200) 상면에 솔더 볼 부착을 위한 별도의 패터닝 공정이나 별도의 기판이 필요하지 않다. 따라서, 본 발명의 제조방법에 따르면, 패터닝 공정이나 추가 기판을 필요로 하지 않고 반도체 칩 쪽에 솔더 볼을 부착한 패키지를 제조할 수 있다.
도 14는 이렇게 제조한 BGA 패키지(P3) 구조이다. 도시된 바와 같이, BGA 패키지는, 활성면의 에지에 복수개의 칩 패드(205)가 형성되고 활성면의 중앙부에 복수개의 솔더 볼 패드(215)가 형성된 반도체 칩(200)을 포함한다. 반도체 칩(200)은 그 비활성면에 도포된 접착재(250)를 통해 기판(220)의 상면에 접착되어 있는데, 기판(220)은 상면에 본드 핑거(225)와 하면에 기판 랜드(230)가 형성되어 있고, 대응하는 반도체 칩(200)의 에지 바깥으로 연장된 에지를 가지는 것이다. 칩 패드(205)와 본드 핑거(225)간은 도전성 와이어(270)로 전기적으로 연결되어 있다. 솔더 볼 패드(215)에는 복수개의 솔더 볼(260)이 부착되어 있다. 봉지재(280)는 기판(220) 위의 반도체 칩(200)과 도전성 와이어(270)를 감싸도록 형성되어 있다. 특히, 솔더 볼(260)은 덮지 않고 솔더 볼(260)보다 낮게 봉지재(280)가 형성되어 있다.
이러한 BGA 패키지(P3)는 인캡슐레이션시 필요한 수직적 공간을 최소화하여 패키지 두께가 작을 뿐만 아니라, 기판(220) 일면(구체적으로 기판 랜드(230)가 형성된 쪽)이 별도의 공정 진행 없이 베어(bare) 상태로 남게 되어 패키지 적층이 가능해진다.
(제3 실시예)
도 15 내지 도 17은 본 발명의 실시예들에 따른 패키지를 적층한 구조의 예를 나타낸 단면도들이다. 특히, 앞의 제2 실시예에서 설명한 것과 같은 BGA 패키지(P3)의 기판 랜드(230)를 이용하여 패키지들을 적층한 구조이다.
먼저, 도 15는 두 개 이상, 예컨대 네 개의 BGA 패키지(P3)가 적층된 구조를 도시한 것이다. 도시한 바와 같이, 상부 패키지의 솔더 볼(260)과 하부 패키지의 기판 랜드(230)가 곧바로 접속된 구조이다.
BGA 패키지(P3)에서 기판 랜드(230)가 형성된 쪽이 별도의 공정 진행 없이 베어 상태로 남게 되므로, BGA 패키지(P3)를 차례차례 쌓기만 하면, 상부 패키지의 솔더 볼(260)과 하부 패키지의 기판 랜드(230)가 접속되어 패키지 적층이 매우 용이하다. 또한, BGA 패키지(P3)는 CSP이면서 패키지 두께가 작다. 따라서, 적층 구조의 패키지는 좁은 면적을 차지할 뿐만 아니라, 수직적 공간도 적게 차지한다.
도 16은 두 개 이상, 예컨대 세 개의 BGA 패키지(P3)가 적층된 위에 제1 실시예의 변형예로서 설명한 BGA 패키지(P2)를 더 적층한 구조를 도시한 것이다. 여 기서도 BGA 패키지(P3)끼리는 상부 패키지의 솔더 볼(260)과 하부 패키지의 기판 랜드(230)가 접속된다. 특히, 기판 랜드가 없는 BGA 패키지(P2)는 최상부에 위치하며, BGA 패키지(P2)의 솔더 볼(160)이 그 아래 BGA 패키지(P3)의 기판 랜드(230)에 접속되어 적층된다.
도 17은 한 개씩의 BGA 패키지(P3)와 BGA 패키지(P2)가 적층된 구조를 도시한 것이다. 기판 랜드가 없는 BGA 패키지(P2)가 최상부에 위치하며, BGA 패키지(P2)의 솔더 볼(160)이 그 아래 BGA 패키지(P3)의 기판 랜드(230)에 접속되어 적층된다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예들을 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 많은 변형이 가능함은 명백하다.
본 발명에 따른 BGA 패키지 제조방법에서는 인캡슐레이션 공정 진행 전에 솔더 볼을 부착함에 따라 인캡슐레이션 후 솔더 볼을 부착하는 종래의 제조방법과 공정 순서를 달리한다. 이러한 순서 변경을 통해, 반도체 칩 상면 쪽에 솔더 볼을 부착하기 위한 별도의 패터닝 공정이나 별도의 기판이 필요 없이 패키지를 제조할 수 있다. 따라서, 조립 절차를 상당히 간소화하여 제조 비용과 처리 비용을 절감할 수 있다. 뿐만 아니라, 패키지의 두께가 얇아 유리하다.
본 발명에 따른 제조방법으로 제조하는 BGA 패키지는, 기판 랜드가 형성된 기판 일면이 별도의 공정 진행 없이 베어 상태로 남게 되어 패키지 적층이 매우 용 이해진다. 이를 이용한 패키지 적층 구조는 NAND 플래시나 디램에 적용시 별도의 공간 크기 증가 없이 메모리를 증가시킬 수 있어서 유용하다.

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  7. 활성면의 에지에 복수개의 칩 패드가 형성되고 상기 칩 패드에 연결된 리루팅(rerouting) 배선 패턴에 의해 활성면의 중앙부에 복수개의 솔더 볼 패드가 형성된 반도체 칩;
    상기 반도체 칩의 비활성면에 도포된 접착재를 통해 상기 반도체 칩이 접착되며 상면에 본드 핑거와 하면에 기판 랜드가 형성되고 대응하는 상기 반도체 칩의 에지 바깥으로 연장된 에지를 가지는 기판;
    상기 칩 패드와 상기 본드 핑거간을 전기적으로 연결하는 도전성 와이어;
    상기 솔더 볼 패드를 통해 상기 반도체 칩에 부착되는 복수개의 솔더 볼; 및
    상기 기판 위의 상기 반도체 칩과 상기 도전성 와이어를 감싸도록 형성되되 상기 솔더 볼은 노출시키게 형성된 봉지재를 포함하는 BGA 패키지가 두 개 이상 적층되되, 상부 패키지의 솔더 볼과 하부 패키지의 기판 랜드가 접속된 패키지 적층 구조.
  8. 제7항에 있어서, 최상부에 적층되는 다른 BGA 패키지를 더 포함하고, 상기 다른 BGA 패키지의 솔더 볼과 그 하부 패키지의 기판 랜드가 접속되며,
    상기 다른 BGA 패키지는,
    기판;
    상기 기판 상면에 접착된 반도체 칩;
    상기 반도체 칩 상면에 구비된 복수개의 솔더 볼; 및
    상기 기판 위의 상기 반도체 칩을 감싸도록 형성되되 상기 솔더 볼은 노출시키게 형성된 봉지재를 포함하는 패키지인 패키지 적층 구조.
  9. 활성면의 에지에 복수개의 칩 패드가 형성되고 상기 칩 패드에 연결된 리루팅(rerouting) 배선 패턴에 의해 활성면의 중앙부에 복수개의 솔더 볼 패드가 형성된 반도체 칩;
    상기 반도체 칩의 비활성면에 도포된 접착재를 통해 상기 반도체 칩이 접착되며 상면에 본드 핑거와 하면에 기판 랜드가 형성되고 대응하는 상기 반도체 칩의 에지 바깥으로 연장된 에지를 가지는 기판;
    상기 칩 패드와 상기 본드 핑거간을 전기적으로 연결하는 도전성 와이어;
    상기 솔더 볼 패드를 통해 상기 반도체 칩에 부착되는 복수개의 솔더 볼; 및
    상기 기판 위의 상기 반도체 칩과 상기 도전성 와이어를 감싸도록 형성되되 상기 솔더 볼은 노출시키게 형성된 봉지재를 포함하는 BGA 패키지와 다른 BGA 패키지가 적층되되, 상기 패키지의 기판 랜드와 상기 다른 BGA 패키지의 솔더 볼이 접속되며,
    상기 다른 BGA 패키지는,
    기판;
    상기 기판 상면에 접착된 반도체 칩;
    상기 반도체 칩 상면에 구비된 복수개의 솔더 볼; 및
    상기 기판 위의 상기 반도체 칩을 감싸도록 형성되되 상기 솔더 볼은 노출시키게 형성된 봉지재를 포함하는 패키지인 패키지 적층 구조.
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