KR100497186B1

KR100497186B1 - 전자파 차폐용 시트 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR100497186B1
Application number: KR10-2003-0010737A
Authority: KR
Inventors: 아라카와후미히로; 이시이야스히코; 하시모토다이스케; 오이시에이지; 교덴유키히로
Original assignee: 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
Priority date: 2002-02-21
Filing date: 2003-02-20
Publication date: 2005-06-23
Also published as: CN1270592C; TW200303557A; US20030164243A1; DE10307546B4; TW583688B; KR20030069876A; CN1440234A; DE10307546A1; US6733869B2

Abstract

투명기재필름(14) 상에 접착제층(13)을 매개로 매쉬형상의 금속박(11')이 적층된다. 금속박(11') 중 접착제층(13)측의 표면에는 흑화층(12)이 형성되어도 된다. 금속박(11') 중 접착제층(13)측의 표면(하면)의 표면거칠기는 최대높이(Rmax)가 0 보다 크고 4㎛ 미만, 바람직하게는 0 보다 크고 2㎛인 것이 좋다. 이에 의해, 반사율이라는 점에서 지장이 되는 크기의 기포를 접착제층이 함유하지 않는다. 또한, 금속박(11') 중 접착제층(13)측과는 반대측의 표면(상면)의 표면거칠기는 산술평균거칠기(Ra)가 0.02㎛~1㎛의 범위이면 좋다. 이에 의해, 금속박(11')상에 감광성수지층 및 시트형상의 패턴마스크를 겹쳐서 패턴노광을 행할 때의 진공흡입의 작업효율이 향상한다.

Description

전자파 차폐용 시트 및 그 제조방법{MICROWAVE SHIELDING SHEET AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 디스플레이 등의 전자기적 장치의 관찰측에 배치해서 사용하고, 전자파를 차폐하는 것이 가능하면서 디스플레이 등의 전자기적 장치를 투시하는 것이 가능한 전자파 차폐용 시트에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 매쉬(mesh)형상의 금속박(金屬箔)을 접착제층을 매개로 투명기재필름 상에 적층한 구조를 갖는 전자파 차폐용 시트 및 그 제조방법에 관한 것이다.

전자기적 장치로부터 발생하는 전자파는 그 밖의 전자기적 장치에 영향을 주며, 또한 인체나 동물에 대해서도 영향이 있다고 말해지고 있으며, 다양한 전자파 차폐수단이 이미 이용되고 있다. 특히, 최근 사용되기 시작하고 있는 플라즈마디스플레이패널(이하, 「PDP」라 함)로부터는 주파수가 30MHz~130MHz의 전자파가 발생하기 때문에, 주위에 있는 컴퓨터 혹은 컴퓨터 이용기기에 영향을 주는 일이 있고, 발생하는 전자파를 할 수 있는 한 외부에 누설하지 않도록 하는 것이 요망되고 있다.

종래, 전자파 차폐성과 투시성이라는 양쪽의 성질을 만족하는 방책으로서는 투명기재필름 상에 투명한 산화인듐주석(ITO)막을 형성한 투명성과 도전성을 갖는 전자파 차폐용 시트가 검토되고 있다(예컨대, 특개평1-278800호 공보 및 특개평5-323101호 공보 참조). 그러나, 이와 같은 전자파 차폐용 시트에서는 도전성이 충분하게 확보되지 않는 다는 문제가 있다.

이에 따라, 최근에는 투명기재필름 상에 금속박을 에칭해서 매쉬형상으로 한 것을 적층한 전자파 차폐용 시트가 이용되도록 되고 있다(예컨대, 특개평11-119675호 공보 및 특개2001-210988호 공보 참조). 이와 같은 전자파 차폐용 시트라면, 금속박의 두께나 매쉬의 치수를 적정한 것으로 하는 것에 의해, 방출되는 전자파의 강도가 강한 PDP와 같은 전자기적 장치로부터 방출되는 강도가 강한 전자파에도 충분하게 차폐하는 것이 가능하고, 게다가 디스플레이 화면의 시인성을 손상하지 않는 투시성도 겸비할 수 있다.

그런데, 후자의 전자파 차폐용 시트는, 통상 금속박과 투명기재필름을 접착제층을 매개로 적층한 후, 포토리소그래피법에 의해 금속박을 매쉬형상으로 가공하는 것에 의해 얻어진다.

그러나, 전자파 차폐용 시트가 이와 같은 구조를 취하면, 금속박과 투명기재필름을 적층할 때에 접착제층에 미세한 기포가 혼입되기 쉽다.

이 점에 대해, 발명자들의 견지에 의하면, 이와 같은 기포의 발생은 주로 금속박의 표면(특히, 접착제층측의 표면)이 거친 것에 기인하는 것이고, 금속박의 접착제층측의 표면이 거칠수록 그 경향이 강하게 된다. 그리고, 이와 같이 해서 접착제층에 혼입된 기포는 접착제층의 접착력을 약하게 하는 이외에 광을 난반사하기 때문에, 반사율의 상승을 초래한다. 이에 따라, 이와 같은 전자파 차폐용 시트를 PDP 등의 디스플레이에 적용한 경우에는 영상의 콘트라스트를 저하시킬 우려가 있다.

본 발명은 이와 같은 점을 고려해서 이루어진 것이고, 금속박과 투명기재필름을 적층하기 위해 이용되는 접착제층에 기포가 혼입되는 것을 방지해서 반사율의 상승을 회피할 수 있는 전자파 차폐용 시트 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 이와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명에서는 후술하는 바와 같이, 금속박의 접착제층측의 표면의 표면거칠기를 규정하고, 금속박의 접착제층측의 표면이 경면 등의 평활성이 높은 면으로 되도록 한다. 그러나, 통상, 금속박의 표면 및 이면은 동일한 정도의 평활성을 갖도록 처리되므로, 접착제층측의 표면이 평활하게 되는 경우에는 이와 반대측의 표면도 평활하게 된다. 여기서, 금속박을 매쉬형상으로 가공할 때에는, 통상 금속박 중 접착제층측과 반대측의 표면에 에칭용의 감광성수지층이 형성되고, 이 감광성수지층의 표면 상에 배치된 시트형상의 패턴마스크를 매개로 패턴노광이 행해진다. 여기서, 이와 같은 패턴노광을 행할 때에는, 감광성수지층과 시트형상의 패턴마스크를 밀착시킬 필요가 있으므로, 패턴노광을 행하기에 앞서, 밀착하기 위한 진공흡입을 행한다. 그러나, 금속박 중 접착제층측과 반대측의 표면이 평활하면, 그 위에 형성되는 감광성수지층의 표면도 평활하게 되므로, 감광성수지층의 표면과 시트형상의 패턴마스크 사이에 폐쇄된 공기가 배기되기 어렵게 되고, 밀착을 위한 진공흡입의 시간이 길게된다는 문제가 있다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제, 즉 금속박을 매쉬형상으로 가공할 때에 필요로 되는 진공흡입의 시간의 장대화의 문제도 더불어 해소할 수 있는 전자파 차폐용 시트 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따른 전자파 차폐용 시트는 투명기재필름과, 상기 투명기재필름의 편면에 접착제층을 매개로 적층된 개공부가 조밀하게 배열된 매쉬형상의 금속박을 구비하고, 상기 금속박 중 적어도 상기 접착제층측의 표면은 JIS(Japanese Industrial Standards) B0601에 의해 규정되는 최대높이(Rmax)가 0 보다 크고 4㎛ 미만인 표면거칠기를 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 전자파 차폐용 시트에 의하면, 금속박의 접착제층측의 표면의 표면거칠기를 최대높이(Rmax)의 상한값이 4㎛로 되도록 규정 했으므로, 반사율이라는 점에서 지장이 되는 크기의 기포를 접착제층이 함유하는 일이 없다. 이에 따라, 디스플레이에 적용한 경우에도 콘트라스트의 저하가 작고, 영상의 시인성을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 전자파 차폐용 시트에서, 상기 최대높이(Rmax)가 0 보다 크고 2㎛ 이하인 것이 바람직하다. 이 경우에는, 접착제층이 양생 중에 기포가 성장하는 종류의 것인 경우에도 성장 후에 반사율이라는 점에서 지장이 되는 크기의 기포를 접착제층이 함유하는 일이 없다.

또한, 본 발명에 따른 전자파 차폐용 시트에서는, 상기 금속박 중 적어도 상기 접착제층측과는 반사측의 표면은 JIS B0601에 의해 규정되는 산술평균거칠기(Ra)가 0.02㎛~1㎛의 범위에 있는 표면거칠기를 갖는 것이 바람직하다. 이 경우에는 금속박의 접착제층측과는 반대측의 표면의 표면거칠기를 산술평균거칠기(Ra)의 하한값이 0.02㎛로 되도록 규정했으므로, 금속박의 접착제층측과는 반대측의 표면에 감광성수지층을 형성하는데다, 패턴노광을 행하는 것에 앞서 감광성수지층 상에 시트형상의 패턴마스크를 겹쳐서 진공흡입을 행할 때에 감광성수지층의 표면과 시트형상의 패턴마스크 사이의 공기가 배기되기 쉽게 되고, 작업효율을 향상시킬 수 있다.

더욱이, 본 발명에 따른 전자파 차폐용 시트에서는 상기 금속박 중 상기 접착제층측의 표면에 흑화처리면이 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 금속박 중 상기 접착제층측의 반대측의 표면에 흑화처리면이 형성되고, 상기 흑화처리면에서의 가시광역의 반사율이 5% 이하인 것이 바람직하다. 이 경우에는, 상기 금속박의 상기 접착제층측의 표면 또는 상기 금속박의 상기 접착제층측의 표면 및 상기 접착제층측과는 반대측의 표면의 양면에 흑화처리면(흑화층)을 형성하고, 그 흑화처리면에서의 가시광역의 반사율이 5% 이하로 되도록 규정했으므로, 디스플레이에 적용했을 때의 영상의 콘트라스트의 저하를 보다 잘 억제할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 전자파 차폐용 시트에서는 반사율이라는 점에서 지장이 되지 않는 기포의 크기라는 의미에서 상기 접착제층이 함유하는 기포의 직경이 50㎛ 미만인 것이 바람직하다. 또한, 양생 중에 기포가 성장하는 경우에도 성장 후에 반사율이라는 점에서 지장이 되지 않는 기포의 크기라는 의미에서, 상기 접착제층이 함유하는 기포의 직경이 20㎛ 이하인 것이 보다 바람직하다.

본 발명에 따른 전자파 차폐용 시트의 제조방법은, 투명기재필름의 편면에 접착제층을 매개로 금속박을 적층하는 것에 의해 전자파 차폐용 시트를 위한 적층체를 형성하는 공정과, 상기 적층체의 상기 금속박 상에 감광성수지층을 적층하는 공정과, 상기 감광성수지층 상에 적층된 상기 감광성수지층에 대해서 소정의 패턴으로 전리방사선을 조사해서 패턴노광을 행하는 공정과, 패턴노광이 행해진 상기 감광성수지층을 현상해서 소정의 패턴으로 레지스트층을 잔류시키는 공정과, 상기 레지스트층을 매개로 상기 적층체의 상기 금속박을 에칭하는 것에 의해 개공부가 조밀하게 배열된 매쉬형상의 금속박을 형성하는 공정을 포함하고, 상기 금속박 중 적어도 상기 접착제층측의 표면은 JIS B0601에 의해 규정되는 최대높이(Rmax)가 0보다 크고 4㎛ 미만인 표면거칠기를 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 전자파 차폐용 시트의 제조방법에 의하면, 투명기재필름 상에 적층되는 금속박의 접착제층측의 표면의 표면거칠기(최대높이 Rmax)의 상한값을 4㎛로 했으므로, 금속박과 투명기재필름을 접착제를 매개로 적층할 때에 접착제층에 반사율이라는 점에서 지장이 되는 크기의 기포가 혼입되는 일이 없다. 이에 따라, 디스플레이에 적용할 경우에도 콘트라스트의 저하가 작고, 영상의 시인성을 향상시킬 수 있는 전자파 차폐용 시트를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 전자파 차폐용 시트의 제조방법에서는 상기 최대높이 (Rmax)가 0 보다 크고 2㎛ 이하인 것이 바람직하다. 이 경우에는, 접착제층이 양생 중에 기포가 성장하는 종류의 것인 경우에도 성장 후에 반사율이라는 점에서 지장이 되는 크기의 기포를 접착제층이 함유하는 일이 없다.

또한, 본 발명에 따른 전자파 차폐용 시트의 제조방법에서는 상기 감광성수지층 상에 시트형상의 패턴마스크를 배치하고, 소정의 압력까지 진공흡입을 행하는 것에 의해 상기 감광성수지층과 상기 패턴마스크를 밀착시키는 공정을 더 포함하고, 상기 패턴노광을 행하는 공정에서 상기 패턴마스크를 매개로 상기 감광성수지층에 대해서 전리방사선을 조사하며, 상기 금속박 중 적어도 상기 접착제층측과는 반대측의 표면은 JIS B0601에 의해 규정되는 산술평균거칠기(Ra)가 0.02㎛~1㎛의 범위에 있는 표면거칠기를 갖는 것이 바람직하다. 이 경우에는, 감광성수지층 및 시트형상의 패턴마스크가 이 순서로 적층되는 금속박의 접착제층측과는 반대측의 표면의 표면거칠기(산술평균거칠기:Ra)의 하한값을 0.02㎛로 했으므로, 감광성수지층 상에 시트형상의 패턴마스크를 겹쳐서 진공흡입을 행할 때에 감광성수지층의 표면과 시트형상의 패턴마스크 사이의 공기가 배기되기 쉽게 되고, 작업효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 전자파 차폐용 시트의 제조방법에서 상기 적층체의 상기 금속박은 상기 접착제층측의 표면 또는 상기 접착제층측의 표면 및 상기 접착제층측과는 반대측의 표면의 양면이 흑화처리되어도 된다. 이 경우에는 디스플레이에 적용했을 때의 영상의 콘트라스트의 저하를 억제할 수 있다.

(실시형태)

이하, 도면을 참조해서 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다.

도 1a 내지 도 1c는 본 발명에 의한 전자파 차폐용 시트의 1실시형태의 구조를 나타낸 단면도이다.

<전체구성>

도 1a에 나타낸 바와 같이, 전자파 차폐용 시트(10)는 투명기재필름(14) 상에 접착제층(13)을 매개로 매쉬형상의 금속박(11')이 적층된 적층구조를 갖는다. 여기서, 매쉬형상의 금속박(11')은 투명성을 갖는 전자파 차폐층으로서 기능하는 것이고, 전면이 매쉬형상으로 된 것이어도 되고, 주연부를 제외하고 매쉬형상으로 된 것이어도 된다. 또한, 매쉬형상의 금속박(11')은 투명기재시트(14)의 주연부에 합쳐져서 적층된 것이어도 되고, 투명기재시트(14)의 주연부에 여백을 남기고 적층한 것이어도 된다. 또한, 도시되지 않았지만, 전자파 차폐용 시트(10)의 도면 중의 상하의 면에는 보호필름이 적층되어도 된다. 또한, 이하의 도면을 포함하여, 도면 상측이 사용시의 관찰측이고, 도면 하측이 사용시의 배면측이다.

도 1a 및 도 1b에 나타낸 바와 같이, 매쉬형상의 금속박(11')은 개공부(11a)가 조밀하게 배열된 매쉬형상을 이루고 있고, 그 개공부(11a)는 도 1c에 나타낸 바와 같이 선의 폭(w)이 5㎛~20㎛로 좁은 것이며, 종횡의 각각의 피치(a,b)는 같아도 달라도 되지만, 어느 쪽도 50㎛~500㎛ 정도이다. 단, 단위면적당의 개공률은 90%~95%정도인 것이 바람직하다. 또한, 선은 수평방향(관찰시의 수평방향)에 대해서 적당한 각도(θ)의 기울기를 갖고 있어도 된다. 또한, 「매쉬형상」으로는 도 1b에 나타낸 바와 같은 격자형상의 것으로 한정하지 않고, 개공부(11a)가 사각형 이외의 형상, 예컨대 6각형(꿀벌집형상)이나 원형 혹은 타원형 등의 것이어도 되고 어느 쪽도 「매쉬형상」의 개념에 포함되는 것으로 한다.

또한, 도 1a 내지 도 1c에 나타낸 예에서는 매쉬형상의 금속박(11')이 접착제층(13) 상에 직접 적층되어 있지만, 도 1d에 나타낸 바와 같이 금속박(11') 중 접착제층(13)측의 표면에 흑화층(12:흑화처리면)이 형성되고, 이 흑화층(12)을 매개로 접착제층(13) 상에 적층되어도 된다. 또한, 도시되지 않았지만 금속박(11') 중 접착제층(13)측과는 반대측의 표면에 흑화층이 형성되어도 된다.

<상세한 구성 및 제조방법>

이하, 도 2의 (a) 내지 도 2의 (f)에 의해 도 1a 내지 도 1c에 나타낸 전자파 차폐용 시트의 제조과정을 그 상세한 구성과 함께 설명한다.

우선, 도 2의 (a)에 나타낸 바와 같이, 투명기재필름(14)의 편면에 접착제층(13)을 매개로 금속박(11)을 적층하고, 전자파 차폐용 시트를 위한 적층체를 준비한다.

(투명기재필름)

투명기재필름(14)으로서는 아크릴계수지, 폴리카보네이트수지, 폴리프로필렌수지, 폴리에틸렌수지, 폴리스틸렌수지, 폴리에스테르계수지, 셀룰로우즈계수지, 폴리셀폰수지 혹은 폴리염화비닐수지 등의 필름을 이용할 수 있다. 통상적으로는, 기계적 강도가 월등하면서 투명성이 높은 폴리에틸렌테레프탈레이트수지 등의 폴리에스테르계수지의 필름을 바람직하게 이용할 수 있다.

투명기재필름(14)의 두께는, 특별히 한정되지 않지만 기계적인 강도가 있으면서 굴곡에 대한 저항성을 크게 한다는 관점으로부터 50㎛~200㎛ 정도인 것이 바람직하다. 더욱이, 두께가 증대해도 되지만 전자파 차폐용 시트(10)를 다른 투명기판에 적층해서 사용하는 경우에는 반드시 이 범위 이상의 두께가 아니어도 된다. 필요에 따라서, 투명기재필름(14)의 편면 혹은 양면에 코로나 방사처리를 실시하거나 혹은 이접착층을 설치해도 된다.

(금속박)

금속박(11)으로서는, 동, 철, 니켈 혹은 크롬 등의 금속, 혹은 이들 금속끼리의 합금 혹은 이들 금속의 1종 이상을 주체(主體)로 하는 합금의 박을 이용할 수 있다. 또한, 금속 혹은 합금은 상기된 것에 한정되지 않는다. 금속박(11)으로서는 전자파 차폐성이 높고, 에칭이 용이하면서 취급이 쉽다는 이유로부터 동박을 이용하는 것이 바람직하다. 동박에는 제법의 차이로부터 때문에, 압연동(壓延銅) 및 전해동(電解銅)이 있지만, 두께가 10㎛ 이하의 얇은 것을 제조하는 것이 용이하고, 또한 두께의 균일성이나 흑화층을 도금처리해서 형성하는 경우에 흑화층과의 밀착성이 양호하다는 이유로부터 전해동을 이용하는 것이 바람직하다.

금속박(11)의 두께로서는 1㎛~100㎛가 바람직하고, 보다 바람직하게는 5㎛~20㎛이다. 금속박(11)의 두께가 너무 얇으면 전자파 차폐성이 충분하지 않고, 또한 너무 두꺼우면 사이드에칭의 진행을 무시할 수 없어 에칭에 의해서 소정의 정밀도로 개공부를 형성하는 것이 곤란하게 되기 때문이다.

(금속박의 표면거칠기)

여기서, 투명기재필름(14) 중 금속박(11)이 접착제층(13)을 매개로 적층되는 측은 전자파 차폐용 시트(10)의 관찰측으로 되고, 금속박(11)과 접착제층(13)의 사이나 접착제층(13) 중에 50㎛ 이상의 기포가 존재하면 광의 난반사에 의해 반사율이 상승한다. 따라서, 이와 같은 전자파 차폐용 시트(10)를 디스플레이에 적용한 경우에는 영상의 콘트라스트가 손상된다.

이와 같은 기포의 발생은, 주로 금속박(11)의 표면(특히, 접착제층(13)측의 표면)이 거친 것에 기인하는 것이다. 이에 따라, 금속박(11)으로서는 그 표면거칠기가 소정의 범위 내의 것을 사용하는 것이 바람직하다. 구체적으로는 금속박(11) 중 적어도 접착제층(13)측의 표면의 표면거칠기는 JIS B0601에 의해 규정되는 최대높이(Rmax)가 0 보다 크고 4㎛ 미만, 더 바람직하게는 0 보다 크고 3㎛ 이하, 한층 바람직하게는 0 보다 크고 2㎛ 이하이다. 또한, 최대높이(Rmax)는 거칠기곡선으로부터 그 평균선의 방향으로 기준길이 만큼 발취하고, 그 발취부분의 산정선과 곡저선의 간격을 거칠기곡선의 종배율의 방향으로 측정한 것(단위는 ㎛)을 가리킨다.

여기서, 이와 같이 해서 정의되는 금속박(11)의 최대높이(Rmax)가 4㎛ 이상이면 금속박(11)과 접착제층(13)의 적층(라미네이트) 시에 50㎛ 이상의 직경의 기포가 기계적으로 말려들어간다. 또한, 말려들어간 기포는 금속박(11)과 접착제층(13)의 계면으로 말려들어가지만 금속박(11) 중으로는 침입할 수 없으므로, 접착제층(13) 중에 침입해간다. 이에 따라, 적층된 상태에서 기포는, 통상 접착제층(13)이 함유하는 것으로 된다. 여기서, 최대높이(Rmax)의 값은 작을수록 양호한 결과가 얻어지지만, 금속박(11)에서 최대높이(Rmax)가 0인 것은 사실상 얻어지지 않으므로, 하한은 0 보다 큰 것으로 한다.

또한, 금속박(11)의 최대높이(Rmax)의 상한값은 접착제층(13)으로서 2액경화형 등의 폴리우레탄수지계 접착제를 이용할 때에는 보다 낮게 설정할 필요가 있다. 말하자면, 2액경화형 등의 폴리우레탄수지계 접착제를 이용해서 라미네이트하고, 그 후 양생할 때에는 경화반응의 부산물인 탄산가스가 발생하는 것으로 되고, 기계적으로 말려들어간 기포가 탄산가스에 의해 성장해 버린다. 이에 따라, 탄산가스에 의해 성장해도 기포의 직경이 50㎛를 넘지 않기 위해서는 라미네이트 직후의 기포의 직경이, 바람직하게는 30㎛ 이하, 더 바람직하게는 20㎛ 이하이다. 여기서, 금속박(11)과 접착제층(13)의 적층시에 기계적으로 말려들어가는 기포의 직경이 30㎛ 이하이도록 하기 위해서는 최대높이(Rmax)는 0보다 크고 3㎛ 이하인 것이 바람직하다. 더욱이, 기포가 20㎛ 이하이도록 하기 위해서는 최대높이(Rmax)는 0보다 크고 2㎛ 이하인 것이 바람직하다.

또한, 이상의 설명에서는 금속박(11) 중 적어도 접착제층(13)측의 표면의 표면거칠기를 염두에 두고 있지만, 실제적인 형태로서는 금속박(11)의 양면이 같은 정도의 표면거칠기를 갖는 것 이어도 된다.

(흑화층)

도 2의 (a) 내지 도 2의 (f)의 각 도면의 설명에서는 흑화층(12)이 형성되어 있지 않은 경우를 예로 들었지만, 도 1d에 나타낸 바와 같이 금속박(11) 중 접착제층(13)측의 표면에 흑화처리를 실시해서 흑화층(12:도 1d 참조)을 형성해도 된다. 또한, 필요에 따라서 이와 같은 흑화층(12)에 더해서 금속박(11) 중 접착제층(13)측의 반대측의 표면에 흑화층을 형성해 두어도 된다. 이에 의해, 금속박(11)에 녹방지효과 및 반사방지성을 부여할 수 있다. 또한, 금속박(11) 중 접착제층(13)측의 표면에 흑화층(12)이 형성되는 경우에는 그 흑화층(12)의 표면거칠기가 상기된 범위 내이다.

이와 같은 흑화층은, 예컨대 Co-Cu합금 도금처리에 의해서 형성될 수 있는 것이고, 금속박(11)의 표면에서의 반사를 방지할 수 있다. 더욱이, 그 위에 녹방지처리로서 크로메이트처리를 실시해도 된다. 크로메이트처리는 크롬산 혹은 중크롬산염을 주성분으로 하는 용액 중에 처리대상물을 침지(浸漬)시키고, 건조시켜서 녹방지피막을 형성하는 것이고, 필요에 따라서 금속박(11)의 편면 혹은 양면에 행할 수 있다.

여기서, 흑화처리 및 크로메이트처리가 실시된 금속박(11)으로서는 보다 간단하게는 이들의 처리가 실시된 시판의 동박 등을 이용할 수 있다. 또한, 사전에 흑화처리가 실시되지 않은 금속박(11)을 사용할 때에는, 이후의 적당한 공정에서 흑화처리를 실시하여, 흑화층을 형성한다. 구체적으로는, 예컨대 금속박(11)에 대해서 흑색계의 피막을 부여하는 도금법 등을 이용해서 형성한다. 또한, 금속박(11) 중 접착제층(13)측의 반대측의 표면에 흑화층을 형성하는 경우라면, 후술하는 공정에서 금속박(11) 상에 적층되는 레지스트층으로 될 수 있는 감광성수지층(15)을 흑색으로 착색한 조성물을 이용해서 형성하고, 에칭이 종료한 후에, 레지스트층을 제거하지 않고 잔류시키는 것에 의해 형성할 수 있다.

또한, 금속박(11) 중 관찰측의 표면(접착제층(13)측의 반대측의 표면)에 흑화처리가 실시되는 경우에는 그 흑화층에서의 가시광역의 반사율은 5% 이하인 것이 바람직하다. 흑화층에서의 가시광역의 반사율이 5%를 넘으면, 이와 같은 흑화층 부착의 금속박(11)을 사용해서 구성한 전자파 차폐용 시트(10)를 디스플레이에 적용한 경우에, 전과 같이 영상의 콘트라스트를 손상하기 때문이다. 또한, 가시광역의 반사율은 0인 것이 바람직하지만, 실제로 흑화처리가 실시된 동박의 경우에는 1% 정도가 하한으로 된다.

(접착제층)

접착제층(13)으로서는 금속박(11)과 수지필름인 투명기재필름(14)을 접착하는 것이 가능하다면, 어떤 접착제라도 사용하는 것이 가능하다. 단, 금속박(11)이 매쉬형상으로 가공되어 개공부(11a:도 1a 내지 도 1c 참조)가 형성된 경우에는 그 개공부(11a)를 매개로 접착제층(13)이 투시되는 것으로 되므로, 무색 혹은 무색에 매우 가까운 투명성이 높은 것이 바람직하다. 또한, 접착제층(13)은 후술하는 에칭공정을 거쳐도 변색되지 않는 것이 바람직하다.

구체적으로는, 접착제층(13)으로서는 아크릴수지, 폴리에스테르수지, 폴리우레탄수지, 폴리비닐알콜수지, 염화비닐/초산비닐공중합수지 혹은 에틸렌-초산비닐공중합수지 등의 접착제를 이용할 수 있다. 또한, 이들 이외에도 열경화성수지나 전리방사선경화성수지(자외선경화성수지나 전자선경화성수지 등)를 이용할 수 있다. 이들 중에서도 접착력이 높으면서 에칭액과의 접촉에 의한 변색이 작다는 점에서 폴리우레탄계수지의 접착제 혹은 포화폴리에스테르수지와 이소시아네이트경화제를 배합한 접착제를 이용하는 것이 바람직하다. 특히, 후자의 주제(主劑)인 포화폴리에스테르수지는 금속박 및 수지필름의 양쪽에 대해서 양호한 접착력을 갖고 있고, 온도가 상승해도 변색하는 일이 적고, 라미네이트 시의 접착제의 유동성이 충분히 얻어지며 분자량의 조정에 의해 유리 전이온도를 조정할 수 있으므로, 특히 바람직하다.

또한, 이와 같은 접착제층(13)은 상기된 바와 같이, 최종적인 제품의 상태(즉, 에칭공정에서 에칭액의 작용을 받은 후의 제품의 상태)에서, 실질적으로 무색투명인 것이 바람직하다. 구체적으로는 L^*a^*b^*표색계에서 b^*의 값이 -6.0~6.0의 범위로 취해지는 것이 바람직하다. b^*의 값은 -6.0 미만이면, 접착제층(13)의 푸른 정도가 현저하다. 한편, b^*의 값이 6.0을 넘으면, 접착제층(13)의 누른 정도가 현저하면서 PDP 등의 디스플레이의 관찰측에 배치될 때에 청색의 휘도를 저하시킨다. 일반적인 접착제에 의해 접착제층(13)을 형성할 때에는 접착제는 유기재료인 것이 보통이기 때문에 상기의 b^*의 값은 1.0 이상인 것이 많고, 이 점을 가미하면 b^*의 값은 1.0~6.0인 것이 바람직하다.

또한, 상기된 바와 같이, 금속박(11)으로서, 두께가 얇은 것을 사용하는 경우에는 전해동(전해동액에 담가 통전해서 전극드럼 상에 동을 전기적으로 부착해서 성장시킨 후에 해당 전극드럼으로부터 박리해서 제조하는 것)이 바람직하다. 그러나, 이와 같은 전해동은 표면거칠기, 특히 전극드럼면의 반대면(전극드럼에 대향하는 표면과는 반대측의 표면)의 표면거칠기(Ra)가 0.1㎛~1.0㎛ 정도이므로, 거칠기가 있어 눈에 띈다. 이에 따라, 흑화처리 등이 실시되는 관찰측의 표면으로서는 형편이 좋지만, 접착제층(13)측의 표면으로서는 금속박(11)과 접착층(13)과의 적층(라미네이트) 시에 기포가 계면에 들어가기 쉽다. 단, 이와 같은 기포에 대해서는 유리전이점이 20℃~100℃의 접착제를 이용하도록 하면, 라미네이트 시의 니프온도에 의해서 해소하는 것이 가능하다.

또한, 이와 같은 전해동의 표면의 거칠기를 매운다는 점에서는 접착제의 적용량을 건조 시를 기준으로 1g/m²~10g/m²으로 하는 것이 바람직하다. 1g/m² 미만에서는 얻어지는 접착력이 불충분하다. 한편, 10g/m²를 넘으면, 접착력이 향상되지 않고, 도포공정 시의 건조가 충분히 행해지지 않게 되며, 변색된 경우에 변색이 현저하다.

또한, 금속박(11)과 투명기재필름(14)의 적층은, 통상 접착제층(13)을 매개로 한 라미네이트법에 의해 행한다. 특히, 금속박(11) 및 투명기재필름(14) 중 어느 한쪽도 접착제가 침수하는 소재가 아니므로, 드라이라미네이트법, 즉 접착제용액을 금속박(11) 및 투명기재필름(14) 중 어느 한쪽 혹은 양쪽의 접착면에 도포해서 일단 건조시킨 후, 가열하며, 접착제를 다시 활성화시키는 방식을 이용하는 것이 바람직하다. 또한, 이 경우, 접착제의 도포는, 일반적으로는 투명기재필름(14)측에만 행해지는 것이 바람직하다. 또한, 금속박(11)과 투명기재필름(14)의 적층은 투명기재필름(14)으로서 에틸렌-초산비닐공중합수지 혹은 아이오노머수지 등의 열융착성수지의 필름을 단독으로 이용하거나, 또는 다른 수지필름과 적층해서 사용할 때에는 투명기재필름(14)의 일부가 접착제층으로서 기능하는 것으로 되어, 투명기재필름(14)과는 별도의 구성요소로서 접착제층을 새롭게 설치할 필요는 없다.

이상과 같이 해서 전자파 차폐용 시트를 위한 적층체를 준비한 후, 이 적층체의 금속박(11)상에 도 2의 (b)에 나타낸 바와 같이, 이후의 에칭공정에서 레지스트층으로 될 수 있는 감광성수지층(15)을 적층하고, 소위 포토리소그래피법에 의해 매쉬형상으로 가공한다.

구체적으로는, 도 2의 (c)에 나타낸 바와 같이, 감광성수지층(15)의 표면상에 시트형상의 패턴마스크(16)를 배치하고, 이 패턴마스크(16)를 매개로 자외선 등의 전리방사선을 조사하는 것에 의해 패턴노광을 행한다. 또한, 감광성수지층(15)은 이하의 도면도 포함해서 네가형(nega型)을 염두에 두고 도시했지만, 네가형 또는 포지형(posi型) 중 어느 쪽이어도 된다.

여기서, 이와 같은 패턴노광을 행할 때에는 감광성수지층(15)과 시트형상의 패턴마스크(16)를 밀착시킬 필요가 있고, 패턴노광을 행하기에 앞서서, 진공소진박스를 이용해서 밀착하기 위해서 소정의 압력까지 진공흡입을 행한다.

이때, 금속박(11) 중 감광성수지층(15)이 적층되는 측의 표면(접착제층(13)측과 반대측의 표면)이 평활(경면)이면, 그 위에 형성되는 감광성수지층(15)의 표면도 평활(경면)로 되므로, 감광성수지층(15)의 표면과 시트형상의 패턴마스크(16)의 사이에 같혀 있는 공기가 배기되기 어렵게 되어, 예컨대 1Pa까지 진공흡입을 행하는데 장시간을 요하게 된다.

그러나, 금속박(11) 중 감광성수지층(15)이 적층되는 측의 표면이 소정 정도 거친 조면(粗面)이면, 그 위에 형성되는 감광성수지층(15)의 표면도 조면으로 되므로, 감광성수지층(15)의 표면과 시트형상의 패턴마스크(16) 사이의 공기가 용이하게 배기되어, 작업효율이 개선된다.

이와 같은 관점으로부터, 금속박(11) 중 감광성수지층(15)이 적층되는 측의 표면은 JIS B0601에 의해 규정되는 산술평균거칠기(Ra)가 0.02㎛~1㎛의 범위인 표면거칠기를 갖는 것이 바람직하다. 산술평균거칠기(Ra)의 하한값이 이 정도이면, 일반적인 진공소진박스를 이용한 경우, 1분 정도로 소망하는 진공흡입을 행할 수 있다. 또한, 금속박(11)이 전해동인 경우를 고려하면, 금속박(11) 중 감광성수지층(15)이 적층되는 측의 표면의 표면거칠기의 제어는 전해동이 성막되는 전극드럼의 표면거칠기에 의해서 결정되기 때문에, 전극드럼의 표면을 연마법 등에 의해 소망의 표면거칠기로 제어하는 것에 의해 행할 수 있다.

여기서, 산술평균거칠기(Ra)가 클수록 진공흡입의 시간에 관해서 양호한 결과가 얻어지지만, 금속박(11)에서 산술평균거칠기(Ra)가 1㎛ 보다 큰 것에서는 금속박(11) 금체(金體)에 왜곡이 생기기 쉽고, 더욱이 매쉬형상으로 가공할 때에도, 매쉬형상의 선의 에지(직선)가 외관상 바람직하지 않은 요철형상으로 되므로, 상한값은 1㎛ 정도이다.

또한, 상기된 바와 같은 산술평균거칠기(Ra)의 하한값은 금속박(11) 중 관찰측의 표면(흑화층이 형성어 있는 경우에는 그 표면)에서의 가시광역의 반사율이 5% 이하인 것을 실현하는데도 효과적이다. 이는 반사율을 억제하는데에 있어서는 금속박(11) 중 관찰측의 표면의 경면성이 낮은 쪽이 바람직하기 때문이다.

(포토리소그래피법)

도 2의 (a)에 나타낸 바와 같은 적층체의 금속박(11)을 매쉬형상으로 가공하기 위해서, 상기된 바와 같이, 우선 도 2의 (b)에 나타낸 바와 같이 적층체의 금속박(11) 상에 감광성수지층(15)을 적층한다. 그 후, 도 2의 (c)에 나타낸 바와 같이, 이 감광성수지층(15)의 표면상에 시트형상의 패턴마스크(16)를 밀착상태로 배치하고, 패턴마스크(16)를 매개로 자외선 등의 전리방사선(17)을 조사하는 것에 의해 감광성수지층(15)의 패턴노광을 행한다. 더욱이, 이때 반드시 패턴마스크(16)를 이용할 필요는 없고, 결과로서 패턴노광을 행하는 것이 가능하면 전자빔을 주사하는 방법 등의 임의의 방법을 이용할 수 있다.

여기서, 감광성수지층(15)이 네가형이면 노광부분이 경화하고, 현상액에 대해서 불용화하지만, 미노광부분은 용해성을 갖는다. 한편, 감광성수지층(15)이 포지형이라면, 노광부분이 분해하고, 현상액에 대해서 가용화한다.

그 후, 이와 같이 해서 노광된 감광성수지층(15)을 현상액을 이용해서 현상한다. 상기된 패턴노광에 의해서 용해할 수 있는 부분과 용해할 수 없는 부분이 구분되므로, 감광성수지층(15)을 형성하는 감광성수지의 종류에 의해서 사전에 정해져 있는 현상액을 작용시키는 것에 의해, 용해할 수 있는 부분을 용해해서 제거한다. 더욱이, 감광성수지층(15)이 네가형의 경우에는 도 2의 (d)에 나타낸 바와 같이, 경화한 소정 패턴의 감광성수지층(15')이 금속박(11) 상에 잔류한다.

그리고, 이와 같이 해서 금속박(11) 상에 잔류한 소정 패턴의 감광성수지층(15')을 레지스트층으로서 이용하고, 금속박(11)의 에칭을 행한다. 여기서, 이와 같은 에칭은 소정의 에칭액을 이용해서 금속박(11) 중 레지스트층으로 피복되지 않은 부분이 개공해서 관통할 때까지 행하고, 소정의 형상이 얻어진 시점에서 종료시킨다.

이에 의해, 도 2의 (e)에 나타낸 바와 같이, 개공부(11a)가 조밀하게 배열된 매쉬형상의 금속박(11')이 얻어진다. 또한, 에칭이 종료한 시점에서는 이상과 같이 해서 얻어진 매쉬형상의 금속박(11') 상에 경화한 레지스트층(15':감광성수지층)이 여전히 잔류하므로, 통상 이를 레지스트제거액으로 제거한다. 그리고, 도 2의 (f)에 나타낸 바와 같이, 개공부(11a)가 조밀하게 배열한 매쉬형상의 금속박(11')을 노출시키고, 매쉬형상의 금속박(11')을 접착제층(13)을 매개로 투명기재필름(14) 상에 적층한 구조를 갖는 전자파 차폐용 시트(10)를 얻었다.

더욱이, 상기한 구조를 갖는 전자파 차폐용 시트(10)는 본질적으로는 이상과 같이 해서 제조하지만, 필요에 따라서 가공대상으로 되는 금속박(11)의 표면을 탈지 혹은 세정하는 공정, 또는 잔류한 레지스트층(15':감광성수지층)을 제거한 후에 레지스트제거액을 닦아 흘려버리는 공정 등을 상기한 제조공정의 전후 또는 도중에 부가해도 된다.

<보호필름>

또한, 이상과 같이 해서 얻어진 전자파 차폐용 시트(10)에는 그 표리(즉, 매쉬형상의 금속박(11')측 및/또는 투명기재필름(14)측)에 보유필름을 적층해도 된다. 매쉬형상의 금속박(11')측에 보호필름을 적층하는 것에 의해 매쉬형상의 금속박(11')의 좁은 폭의 선이 접속 등에 의해 절단하지 않도록 보호할 수 있다. 한편, 투명기재필름(14)측에 보호필름을 적층하는 것에 의해 투명기재필름(14)의 노출면이 취급 중이나 준비되지 않은 접촉 등에 의해 손상되지 않도록 보호할 수 있다. 또한, 투명기재필름(14)측의 보호필름을 상기한 제조과정에 앞서서 적층하도록 하면, 에칭공정에서 투명기재필름(14)의 노출면이 오염 혹은 침식을 받지 않도록 보호할 수 있다.

여기서, 전자파 차폐용 시트(10)는 최종적으로는 도 3에 나타낸 바와 같은 전자파 차폐용 패널로 조립되어 그 표리에 다양한 층이 적층된다. 이에 따라, 전자파 차폐용 시트(10)의 표리에 적층하는 보호필름은 그 시점에서 박리할 필요가 있다. 이에 따라, 보호필름은 박리 가능하게 적층하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 박리강도는 5mN/25mm폭~5N/25mm폭인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10mN/25mm폭~100mN/25mm폭이다. 하한 미만에서는 박리가 용이하게 되므로, 취급 중이나 준비되지 않은 접촉에 의해 보호필름이 박리할 우려가 있고, 상한을 넘으면 박리를 위해 큰 힘을 필요로 하는데다, 매쉬형상의 금속박(11')측에 적층하는 경우에는, 박리할 때에 매쉬형상의 금속박(11') 마다 박리할 우려가 있다.

<전자파 차폐용 패널>

상기된 바와 같이, 이상과 같이 해서 얻어진 전자파 차폐용 시트(10)는 도 3에 나타낸 바와 같은 전자파 차폐용 패널(20)로 조립되어 이용된다. 도 3은 도 1a 내지 도 1c에 나타낸 전자파 차폐용 시트(10)를 구비한 전자파 차폐용 패널(20)을 나타내는 개략도이다. 도 3의 상측이 관찰측이고, 하측이 배면측이어서, 이와 같은 전자파 차폐용 패널(20)이 전체로서 도시되지 않은 PDP 등의 디스플레이의 관찰측에 배치한다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 전자파 차폐용 패널(20)에서, 전자파 차폐용 시트(10)의 금속박(11')측의 상면에는, 관찰측용필름(30:전면용필름)이 적층되고, 전자파 차폐용 시트(10)의 투명기재필름(14)측의 하면에는 근적외흡수필름(40), 유리기판(50) 및 배면용필름(30:이면용필름)이 순차 적층된다. 또한, 도 3에서 알기 쉽게 할 목적으로 관찰측용필름(30), 전자파 차폐용 시트(10), 근적외흡수필름(40), 유리기판(50) 및 배면용필름(30')을 서로 떨어뜨려 나타내지만 실제에는 이들 5개의 적층체는 서로 조밀하게 적층된다.

이 중, 관찰측용필름(30)은 접착제층(33), 기재필름(32) 및, 다중층(31)을 갖고, 이들 각 층이 전자파 차폐용 시트(10)의 금속박(11')측으로부터 차례로 적층된다. 또한, 다중층(31)은 하드코트층, 반사방지층 및, 오염방지층 등이 차례로 적층된 층이다.

근적외흡수필름(40)은 접착제층(41), 근적외선흡수층(42), 기재필름(43) 및, 접착제층(44)을 갖고, 이들 각 층이 전자파 차폐용 시트(10)의 투명기재필름(14)측으로부터 차례로 적층된다.

유리기판(50)은 전자파 차폐용 패널(20) 전체의 기계적인 강도, 자립성 혹은 평면성을 보호하기 위한 것이다.

이면용필름(30')은 관찰측용필름(30)과 동일한 것이고, 접착제층(33'), 기재필름(32') 및, 다중층(31')이 유리기판(50)측으로부터 차례로 적층된다.

또한, 도 3에 나타내는 전자파차폐용 패널(20)은 어디까지나 일례이고, 상기된 바와 같은 5개의 적층체가 적층되어 있는 것이 바람직하지만, 필요에 따라서 어느 한쪽의 적층체를 생략하거나, 각 적층체의 기능을 합쳐서 갖는 적층체를 준비해서 사용하거나 하도록 적절히 변경하는 것이 가능하다.

실시예

(실시예1)

폭이 700mm, 두께가 100㎛인 투명한 폴리에틸렌테라프탈레이트수지(=PET)필름(도요보(주) 제조, 품번:A4300)과 편면에 흑화처리가 실시된 폭이 700mm, 두께가 10㎛인 동박(접착제면(접착제층측의 표면)의 표면거칠기가 Rmax=0.6㎛, Ra=0.21㎛이고, 레지스트면(접착제층측과는 반대측의 표면)의 표면거칠기가 Ra=0.2㎛)을 준비하고, 2액경화형의 폴리우레탄수지계접착제(다케타야쿠힝고교(주) 제조, 타케락쿠A310(주제)/다케네이트A10(경화제)/염산에틸=12/1/21의 질량비로 혼합한 것(배합비는 질량기준))을 이용하고, 드라이라미네이트법에 의해 흑화처리가 실시된 면이 내측이 되도록 연속적으로 접합을 행하여, 총 두께가 115㎛인 적층시트를 얻었다.

얻어진 적층시트의 PET필름 중 동박이 접합되지 않은 측에 총 두께가 28㎛인 보호필름(파낙쿠고교(주) 제조, 품번:HT-25)을 라미네이터롤러를 이용해서 접합시켰다. 또한, 이 보호필름은 PET필름기재를 포함하고, 이 PET필름기재 중 적층시트에 적층되는 측에 접착제층이 적층되며, 접착제층이 적층되지 않은 측에 코로나 방전처리가 실시된다.

이에 의해, 전체로서, 보호필름/PET필름/접착제층/동박으로 이루어지는 구성의 적층체가 얻어졌다. 또한, 적층체를 설명할 때의 기호인 「/」는 그 기호의 전후의 것이 일체적으로 적층되어 있는 상태를 나타낸다.

이와 같은 보호필름부착의 적층체의 동박측에, 카세인을 도포하고, 건조시켜서 감광성수지층으로 했다. 그 후, 이 감광성수지층 상에 시트형상의 패턴마스크를 진공소진박스를 이용해서 밀착시킨 후, 자외선에 의한 밀착노광을 행했다. 마스크의 패턴은 피치가 300㎛, 선 폭이 10㎛의 매쉬패턴이 600mm×800mm의 범위로 형성된 것을 사용했다.

그리고, 이와 같이 해서 밀착노광을 행한 후, 물을 이용해서 현상하고, 경화처리를 실시하고 나서, 100℃의 온도에서 베이킹(baking)을 행하여, 레지스트패턴으로 했다.

레지스트패턴이 형성된 상기 적층체에 레지스트패턴측으로부터 염화제2철용액(보메도(Baume度):42, 온도:60℃)을 분무해서 에칭을 행한 후, 물로 세정을 행하고 나서, 알카리용액을 이용해서 레지스트패턴의 박리를 행하고, 박리 후, 세정 및 건조를 행해서 보호필름/PET필름/접착제층/매쉬형상의 동박으로 이루어지는 구성의 보호필름부착 전자파 차폐용 시트를 얻었다.

(실시예2~5 및 비교예1~3)

동박으로서, 하기의 표1에 나타내는 Rmax 및 Ra의 값인 것을 사용한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 해서 행하고, 보호필름/PET필름/접착제층/매쉬형상의 동박으로 이루어지는 구성의 실시예2~5 및 비교예1~3의 보호필름부착 전자파 차폐용 시트를 얻었다.

(평가결과)

실시예1~5 및 비교예1~3에서 얻은 보호필름부착 전자파 차폐용 시트를 시료로 하고, Rmax, Ra, 기포(기포의 유무, 기포의 크기(직경, 단위:㎛)), 진공흡입시간(단위:초) 및, 외관을 평가했다. 그 결과를 하기의 표1에 나타낸다. 또한, 「진공흡입시간」은 감광성수지층 상에 시트형상의 패턴마스크를 진공소진박스를 이용해서 밀착시킬 때에 진공흡입을 개시하고 나서, 진공도가 1Pa로 될 때까지 요하는 시간을 가리킨다. 이는 100초 미만인 것이 바람직하다. 「외관」에 대해서는 기포나 변색에 의해서 생기는 불투명화, 탁함 및 변색 등의 광학특성을 눈으로 관찰해서 현저하게 열화된 것을 불합격(NG)으로 했다. 실시예1~5는 전부가 합격이었다. 비교예1~2는 외관이 불합격이고, 비교예3은 진공흡입시간이 오래 걸렸다.

[표 1]

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 금속박과 투명기재필름을 적층하기 위해 이용되는 접착제층에 기포가 혼입되는 것을 방지해서 반사율의 상승을 회피할 수 있는 전자파 차폐용 시트 및 그 제조방법을 제공하는 효과가 있다.

도 1a 내지 도 1c는 본 발명에 의한 전자파 차폐용 시트의 1실시형태의 구조를 나타낸 도면,

도 1d는 본 발명에 의한 전자파 차폐용 시트의 다른 실시형태의 구조를 나타낸 도면,

도 2는 도 1a 내지 도 1c에 나타낸 전자파 차폐용 시트의 제조과정을 나타낸 공정도,

도 3은 도 1a 내지 도 1c에 나타낸 전자파 차폐용 시트를 구비한 전자파 차폐용 패널의 일례를 나타낸 도면이다.

Claims

투명기재필름과,

이 투명기재필름의 편면에 접착제층을 매개로 적층된 개공부가 조밀하게 배열된 매쉬형상의 금속박을 구비하고,

상기 금속박 중 적어도 상기 접착제층측의 표면은 JIS B0601에 의해 규정되는 최대높이(Rmax)가 0 보다 크고 4㎛ 미만인 표면거칠기를 갖는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
제1항에 있어서, 상기 최대높이(Rmax)가 0 보다 크고 2㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
제1항에 있어서, 상기 금속박 중 적어도 상기 접착제층측과는 반대측의 표면은 JIS B0601에 의해 규정되는 산술평균거칠기(Ra)가 0.02㎛~1㎛의 범위인 표면거칠기를 갖는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
제1항에 있어서, 상기 금속박 중 상기 접착제층측의 표면에 흑화처리면이 형성되는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
제1항에 있어서, 상기 금속박 중 상기 접착제층측의 반대측의 표면에 흑화처리면이 형성되고,

상기 흑화처리면에서의 가시광역의 반사율이 5% 이하인 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
제1항에 있어서, 상기 접착제층이 함유하는 기포의 직경이 50㎛ 미만인 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
제1항에 있어서, 상기 접착제층이 함유하는 기포의 직경이 20㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트.
투명기재필름의 편면에 접착제층을 매개로 금속박을 적층하는 것에 의해 전자파 차폐용 시트를 위한 적층체를 형성하는 공정과,

이 적층체의 상기 금속박 상에 감광성수지층을 적층하는 공정,

상기 적층체의 상기 금속박 상에 적층된 상기 감광성수지층에 대해서 소정의 패턴으로 전리방사선을 조사해서 패턴노광을 행하는 공정,

패턴노광이 행해진 상기 감광성수지층을 현상해서 소정 패턴의 레지스트층을 잔류시키는 공정,

상기 레지스트층을 매개로 상기 적층체의 상기 금속박을 에칭하는 것에 의해 개공부가 조밀하게 배열된 매쉬형상의 금속박을 형성하는 공정을 포함하고,

상기 금속박 중 적어도 상기 접착제층측의 표면은 JIS B0601에 의해 규정되는 최대높이(Rmax)가 0보다 크고 4㎛ 미만인 표면거칠기를 갖는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐용 시트의 제조방법.
제8항에 있어서, 상기 최대높이(Rmax)가 0 보다 크고 2㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 방법.
제8항에 있어서, 상기 감광성수지층 상에 시트형상의 패턴마스크를 배치하고, 소정의 압력까지 진공흡입을 행하는 것에 의해 상기 감광성수지층과 상기 패턴마스크를 밀착시키는 공정을 더 포함하고,

상기 패턴노광을 행하는 공정에서 상기 패턴마스크를 매개로 상기 감광성수지층에 대해서 전리방사선을 조사하며,

상기 금속박 중 적어도 상기 접착제층측과는 반대측의 표면은 JIS B0601에 의해 규정되는 산술평균거칠기(Ra)가 0.02㎛~1㎛의 범위에 있는 표면거칠기를 갖는 것을 특징으로 하는 방법.
제8항에 있어서, 상기 적층체의 상기 금속박은 상기 접착제층측의 표면 또는 상기 접착제층측의 표면 및 상기 접착제층측과는 반대측의 표면의 양면이 흑화처리되는 것을 특징으로 하는 방법.