DE10307546A1

DE10307546A1 - Elektromagnetisches Abschirmblatt und Verfahren zur Herstellung desselben

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Publication number: DE10307546A1
Application number: DE2003107546
Authority: DE
Inventors: Fumihiro Arakawa; Yasuhiko Ishii; Daisuke Hashimoto; Eiji Ohishi; Yukihiro Kyoden
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2002-02-21
Filing date: 2003-02-21
Publication date: 2003-10-09
Anticipated expiration: 2023-02-22
Also published as: CN1440234A; CN1270592C; TW200303557A; TW583688B; US20030164243A1; US6733869B2; DE10307546B4; KR100497186B1; KR20030069876A

Abstract

Eine netzartige, metallische Folie 11' und ein transparenter Substratfilm 14 werden mit einer Klebeschicht 13 laminiert. Die klebeschichtseitige Oberfläche 13 der metallischen Folie 11' kann mit einer Nachdunkelungsschicht 12 ausgebildet sein. Die Rauheit der Oberfläche an der Seite der Klebeschicht 13 (unteren Oberfläche) der metallischen Folie 11' ist vorzugsweise derart, daß die maximale Höhe Rmax größer als 0 und kleiner als 4 mum ist, noch bevorzugter größer als 0 und 2 mum oder kleiner ist. Solange die maximale Höhe Rmax dieser Oberfläche der metallischen Folie 11' in den oben beschriebenen Bereich fällt, enthält die Klebeschicht niemals Luftblasen in derartigen Größen, daß das Reflexionsvermögen nachteilig beeinflußt wird. Weiter ist die Rauheit der Oberfläche (oberen Oberfläche) der metallischen Folie 11' gegenüberliegend zu der Seitenoberfläche der Klebeschicht 13 vorzugsweise derart, daß die arithmetisch mittlere Rauheit Ra in dem Bereich zwischen 0,02 mum und 1 mum liegt. Solange die arithmetische, mittlere Rauheit Ra dieser Oberfläche der metallischen Folie 11' in dem obigen Bereich liegt, ist es möglich, effizient eine Vakuumbehandlung durchzuführen, um eine photoempfindliche Harzschicht und eine Photomaske in Blattform, die auf der photoempfindlichen Harzschicht angeordnet ist, in engen Kontakt zu bringen, bevor die musterartige Belichtung der photoempfindlichen Harzschicht durchgeführt wird.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein elektromagnetisches Abschirmblatt, welches auf der Beobachtungsseite einer elektromagnetischen Vorrichtung, wie einer Anzeige, angeordnet ist, um elektromagnetische Wellen, welche durch die elektromagnetische Vorrichtung generiert bzw. erzeugt werden, abzuschirmen, und durch welche die elektromagnetische Vorrichtung gesehen werden kann. Spezifischer bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein elektromagnetisches Abschirmblatt bestehend aus einer netzartigen, metallischen Folie und einem transparenten Substratfilm, die mit einer Klebeschicht laminiert sind, und auf ein Verfahren zur Herstellung desselben.

Beschreibung des Standes der Technik

Elektromagnetische Wellen, die durch elektromagnetische Vorrichtungen generiert werden, wechselwirken mit dem normalen Funktionieren von anderen elektromagnetischen Vorrichtung und werden auch als nachteilig den menschlichen Körper und Tiere beeinflussend angesehen. Insbesondere Plasmaanzeigeplatten bzw. -schirme (welche nachfolgend der Einfachheit halber als "PDPs" bezeichnet sind), welche kürzlich in praktische Verwendung gebracht wurden, bilden elektromagnetische Wellen mit hohen Frequenzen von 30 bis 130 MHz aus, so daß sie Computer oder computerunterstützte Vorrichtungen, die nahe den PDPs angeordnet sind, beeinflussen können. Es ist daher wünschenswert, derartige elektromagnetische Wellen so weit wie möglich abzuschirmen.

Um elektromagnetische Wellen abzuschirmen, wurde bereits eine Vielzahl von Maßnahmen ergriffen. Bisher wurden als elektromagnetische Abschirmmittel, welche zwei wesentliche Erfordernisse, elektromagnetische Abschirmfähigkeit und Sichtbarkeit erfüllen können, elektromagnetische Abschirmblätter vorgeschlagen, die sowohl eine Transparenz als auch elektrische Leitfähigkeit aufweisen, die durch ein Formen von transparenten Indiumzinnoxid-(ITO)-Filmen auf transparenten Substratfilmen erhältlich waren (siehe beispielsweise japanische, offengelegte Patentpublikationen Nr. 278800/1989 und Nr. 323101/1993). Es ist jedoch unmöglich, die elektrische Leitfähigkeit vollständig mit derartigen elektromagnetischen Abschirmblättern sicherzustellen.

In Hinblick auf den obigen Nachteil wurde in letzter Zeit begonnen, elektromagnetische Abschirmblätter, welche Laminate von transparenten Substratfilmen und netzartigen, metallischen Folien sind, die durch Ätzen erhalten wurden, zu verwenden (siehe beispielsweise japanische, offengelegte Patentpublikationen Nr. 119675/1999 und Nr. 210988/2001). Diese elektromagnetischen Abschirmblätter können zufriedenstellend auch elektromagnetische Wellen mit hohen Intensitäten, die durch derartige elektromagnetische Vorrichtungen, wie PDPs, generiert werden, abschirmen, wenn die Dicke der metallischen Folien und die Größe der Maschen der Netze geeignet gesteuert bzw. geregelt sind. Darüber hinaus haben diese elektromagnetischen Abschirmblätter eine ausreichend hohe Transparenz, so daß Bilder, die auf Anzeigen, die mit diesen überdeckt sind, klar durch diese gesehen werden können.

Überdies ist ein konventionelles Verfahren zur Herstellung eines elektromagnetischen Abschirmblatts der letzteren Art wie folgt: nach einem Laminieren einer metallischen Folie und eines transparenten Substratfilms mit einer Klebeschicht wird die metallische Folie in eine Netzform durch ein photolithographisches Verfahren ausgebildet.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

In der Herstellung eines elektromagnetischen Abschirmblatts der letzteren Art tendieren jedoch feine Blasen dazu, in die Klebeschicht inkorporiert bzw. aufgenommen zu werden, während die metallische Folie und der transparente Substratfilm laminiert werden.

Gemäß unserem Wissen ist die Ausbildung von derartigen Blasen hauptsächlich den aufgerauhten Oberflächen der metallischen bzw. Metallfolie zuzuschreiben, insbesondere derjenigen, auf welcher die Klebeschicht ausgebildet werden soll (klebeschichtseitige Oberfläche), und Luftblasen werden leichter hergestellt, wenn die Rauheit der klebeschichtseitigen Oberfläche der metallischen Folie höher ist. Die so in die Klebeschicht inkorporierten bzw. aufgenommenen Luftblasen verschlechtern nicht nur die Anhaftungseigenschaften der Klebeschicht, sondern reflektieren Licht unregelmäßig, um das Reflexionsvermögen zu erhöhen. Ein elektromagnetisches Abschirmblatt, das eine Luftblasen enthaltende Klebeschicht aufweist, kann somit den Bildkontrast absenken, wenn es auf einer Anzeige, wie einer PDP, aufgebracht wird.

Die vorliegende Erfindung wurde auch getätigt, um den obigen Nachteil in dem Stand der Technik zu beseitigen. Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein elektromagnetisches Abschirmblatt zur Verfügung zu stellen, welches erhalten werden kann, während, um einen Anstieg in dem Reflexionsvermögen zu vermeiden, eine Aufnahme von Luftblasen in die Klebeschicht während einer Laminierung einer metallischen Folie und eines transparenten Substratfilms mit der Klebeschicht vermieden wird. Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen elektromagnetischen Abschirmblatts zur Verfügung zu stellen.

Um die obigen Ziele zu erreichen, ist die klebeschichtseitige Oberfläche der metallischen Folie spezifiziert, wie dies später im Detail beschrieben wird, daß sie eine derartige Rauheit aufweist, daß sie so glatt wie eine Spiegeloberfläche oder dgl. sein kann. Im allgemeinen wurde eine metallische Folie so bearbeitet, daß ihre beiden Oberflächen im wesentlichen dieselbe Glätte aufweisen können. Dies bedeutet, daß, wenn die klebeschichtseitige Oberfläche der metallischen Folie glatt ist, die andere Oberfläche der metallischen Folie ebenfalls glatt ist. Um eine metallische Folie in eine Netzform zu formen, wird üblicherweise eine photoempfindliche Harzschicht, die für ein Ätzen verwendbar bzw. nützlich ist, auf der Oberfläche der metallischen Folie gegenüberliegend zu der klebeschichtseitigen Oberfläche ausgebildet und ein musterartiges Belichten wird durch die Verwendung einer Photomaske in Blattform durchgeführt, welche auf der Oberfläche der photoempfindlichen Harzschicht angeordnet wird. Um erfolgreich dieses musterartige Belichten durchzuführen, ist es notwendig, die photoempfindliche Harzschicht und die Photomaske in Blattform in engen Kontakt zu bringen, und für diesen Zweck wird eine Vakuumbehandlung vor einem Durchführen des musterartigen Belichtens durchgeführt. Wenn die Oberfläche der metallischen Folie gegenüberliegend zu der klebeschichtseitigen Oberfläche glatt ist, wird auch die Oberfläche der photoempfindlichen Harzschicht, die auf dieser Oberfläche ausgebildet wird, glatt werden. Es ist daher nicht einfach, durch ein Vakuumbehandeln bzw. Anlegen eines Unterdrucks die Luft, die zwischen der glatten Oberfläche der photoempfindlichen Harzschicht und der Photomaske eingeschlossen ist, zu entfernen bzw. herauszutreiben, und es wird somit eine längere Zeit für die Vakuumbehandlung erforderlich werden.

Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein elektromagnetisches Abschirmblatt zur Verfügung zu stellen, das fähig ist, das oben beschriebene Problem zu eliminieren, d. h. einen Anstieg in der Zeit, die für eine Vakuumbehandlung erforderlich ist, um eine metallische Folie in eine Netzform zu bearbeiten. Ein noch weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen elektromagnetischen Abschirmblatts zur Verfügung zu stellen.

Ein elektromagnetisches Abschirmblatt gemäß der vorliegenden Erfindung umfaßt einen transparenten Substratfilm; und eine netzartige, metallische Folie mit einem dicht bzw. eng beabstandeten Feld von Öffnungen, die auf eine Oberfläche des transparenten Substratfilms mit einer Klebeschicht laminiert ist; worin wenigstens die klebeschichtseitige Oberfläche der metallischen Folie eine derartige Oberflächenrauheit aufweist, daß die maximale Höhe Rmax, die in JIS (Japanische Industriestandards) 80601 definiert ist, größer als 0 und weniger als 4 µm ist.

Gemäß dem elektromagnetischen abschirmenden Blatt bzw. Abschirmblatt der vorliegenden Erfindung ist die klebeschichtseitige Oberfläche der metallischen Folie so spezifiziert, daß sie eine derartige Rauheit aufweist, daß der obere Grenzwert der maximalen Höhe Rmax 4 µm ist, so daß die Klebeschicht niemals Luftblasen in Größen aufweist, die aus dem Gesichtspunkt der Reflexionsfähigkeit bzw. des Reflexionsvermögens ungünstig sind. Daher wird, wenn dieses elektromagnetische Abschirmblatt auf einer Anzeige aufgebracht wird, der Bildkontrast kaum abgesenkt und die Bildsichtbarkeit wird hoch gehalten bzw. aufrecht erhalten.

In dem elektromagnetischen Abschirmblatt gemäß der vorliegenden Erfindung ist es bevorzugt, daß die maximale Höhe Rmax der klebeschichtseitigen Oberfläche der metallischen Folie größer als 0 und 2 µm oder kleiner ist. Solange die maximale bzw. Maximalhöhe Rmax in diesen Bereich fällt, selbst wenn die Klebeschicht von einer derartigen Art ist, daß Luftblasen, welche in sie inkorporiert bzw. aufgenommen sind, während einer Alterung wachsen, enthält sie auch nach einem Altern niemals Luftblasen, welche zu solchen Größen angewachsen sind, daß das Reflexionsvermögen nachteilig beeinflußt ist.

Weiters weist in dem elektromagnetischen Abschirmblatt gemäß der vorliegenden Erfindung die Oberfläche der metallischen Folie gegenüberliegend der klebeschichtseitigen Oberfläche eine derartige Oberflächerauheit auf, daß die arithmetische, mittlere Rauheit Ra, die in JIS B0601 definiert ist, in dem Bereich zwischen 0,02 µm und 1 µm liegt. Da die Oberfläche der metallischen Folie gegenüberliegend der klebeschichtseitigen Oberfläche spezifiziert ist, daß sie eine derartige Rauheit aufweist, daß der untere Grenzwert der arithmetischen, mittleren Rauheit Ra 0,02 µm ist, ist es einfach, die Luft, die zwischen einer photoempfindlichen Harzschicht, die auf dieser Oberfläche der metallischen Folie ausgebildet ist und einer Photomaske in Blattform vorhanden ist, die auf der photoempfindlichen Harzschicht angeordnet ist, durch ein Vakuumbehandeln bzw. ein Anlegen von Unterdruck, das vor einem Ausführen eines musterartigen Belichtens der photoempfindlichen Harzschicht durchgeführt wird, auszutreiben bzw. zu entfernen. Die Bearbeitungseffizienz ist somit verbessert.

Zusätzlich ist es bevorzugt, daß in dem elektromagnetischen Abschirmblatt gemäß der vorliegenden Erfindung eine Oberfläche, die einer verdunkelnden bzw. Nachdunkelungsbehandlung unterworfen ist, auf der kleberschichtseitigen Oberfläche der metallischen Folie ausgebildet wird. Es ist auch bevorzugt, daß eine einer Nachdunkelungsbehandlung unterworfene Oberfläche auf der Oberfläche der metallischen Folie gegenüberliegend der kleberschichtseitigen Oberfläche ausgebildet ist, worin die Reflexionsfähigkeit des sichtbaren Lichts an der Oberfläche, die der Nachdunkelungsbehandlung unterworfen wurde, 5% oder weniger ist. Da eine Oberfläche, die der Nachdunkelungsbehandlung unterworfen ist, d. h. eine verdunkelnde bzw. Nachdunkelungsschicht, auf der kleberschichtseitigen Oberfläche oder beiden Oberflächen der metallischen Folie ausgebildet ist, und die Oberfläche, die der Nachdunkelungsbehandlung unterworfen wurde, derart spezifiziert ist, daß die Reflexionsfähigkeit des sichtbaren Lichts an der Oberfläche, die der Nachdunkelungsbehandlung unterworfen ist, 5% oder weniger beträgt, kann die Absenkung des Bildkontrastes, welche üblicherweise verursacht wird, wenn ein elektromagnetisches Abschirmblatt auf einer Anzeige angeordnet wird, noch effizienter verhindert werden.

In dem elektromagnetischen Abschirmblatt gemäß der vorliegenden Erfindung kann die Klebeschicht Luftblasen enthalten und die Durchmesser dieser Luftblasen sind vorzugsweise kleiner als 50 µm, wenn die Reflexionsfähigkeit in Betracht gezogen wird. Weiters ist es, wenn das Anwachsen der Luftblasen während dem Altern ebenfalls in Betracht gezogen wird, noch bevorzugter, die Durchmesser von Luftblasen, die in die Klebeschicht inkorporiert sind, auf 20 µm oder weniger so zu steuern bzw. zu regeln, so daß die Luftblasen nach einem Altern niemals die Reflexionsfähigkeit nachteilig beeinflussen werden.

Ein Verfahren zur Herstellung eines elektromagnetischen Abschirmblatts gemäß der vorliegenden Erfindung beinhaltet die Schritte eines Ausbildens, als eine Basis eines elektromagnetischen Abschirmblatts, eines Laminats durch Laminieren einer metallischen Folie auf eine Oberfläche eines transparenten Substratfilms mit einer Klebeschicht; eines Laminierens einer photoempfindlichen Harzschicht auf die metallische Folie in dem Laminat; eines Durchführens einer musterartigen Belichtung durch ein Aufbringen von ionisierender Bestrahlung auf die photoempfindliche Harzschicht, die auf deines Entwickelns der belichteten, photoempfindlichen Harzschicht, so daß eine Resistschicht in dem vorbestimmten Muster verbleiben kann; und eines Ätzens der metallischen Folie in dem Laminat, indem von der Resistschicht Gebrauch gemacht wird, um die metallische Folie in eine Netzform mit einem eng beabstandeten Feld von Öffnungen auszubilden; worin wenigstens die klebeschichtseitige Oberfläche der metallische Folie eine derartige Oberflächenrauheit aufweist, daß eine maximale Höhe Rmax, die in JIS B0601 definiert ist, größer als 0 und weniger als 4 µm ist.

Gemäß dem Verfahren zum Herstellen eines elektromagnetischen Abschirmblatts der vorliegenden Erfindung ist die klebeschichtseitige Oberfläche der metallischen Folie, die auf den transparenten Substratfilm zu laminieren ist, so spezifiziert, daß sie eine derartige Rauheit aufweist, daß der obere Grenzwert seiner Oberflächenrauheit (maximale Höhe Rmax) 4 µm beträgt. Daher werden Luftblasen in Größen, die aus dem Gesichtspunkt einer Reflexionsfähigkeit ungünstig sind, nicht in die Klebeschicht inkorporiert bzw. aufgenommen, während die metallische Folie und der transparente Substratfilm mit der Klebeschicht laminiert werden. Es ist somit möglich, ein elektromagnetisches Abschirmblatt zu erhalten, das den Bildkontrast kaum absenkt und die Bildsichtbarkeit hoch halten kann, wenn es auf einer Anzeige angeordnet wird.

In dem Verfahren zum Herstellen eines elektromagnetischen Abschirmblatts gemäß der vorliegenden Erfindung ist es bevorzugt, daß die maximale Höhe Rmax der klebeschichtseitigen Oberfläche der metallischen Folie mehr als 0 und 2 µm oder weniger ist. Solange die maximale Höhe Rmax in diesen Bereich fällt, enthält, selbst wenn die Klebeschicht von einer derartigen Art ist, daß Luftblasen darin während einem Altern anwachsen, sie auch nach einem Altern niemals Luftblasen, die zu derartigen Größen angewachsen sind, daß die Reflexionsfähigkeit nachteilig beeinflußt ist.

Zusätzlich umfaßt das Verfahren zur Herstellung eines elektromagnetischen Abschirmblatts gemäß der vorliegenden Erfindung den Schritt eines Anordnens einer Photomaske in Blattform auf der photoempfindlichen Harzschicht und eines Vakuumbehandelns bzw. unter Unterdruck Setzens auf einen vorbestimmten Druck, um die photoempfindliche Harzschicht und die Photomaske in engen Kontakt zu bringen; worin in dem Schritt eines Ausführens einer musterartigen Belichtung die ionisierende Strahlung auf die photoempfindliche Harzschicht durch die Photomaske aufgebracht wird, und zumindest die Oberfläche der metallischen Folie gegenüberliegend zu der kleberschichtseitigen Oberfläche eine derartige Oberflächenrauheit aufweist, daß die arithmetische, mittlere Rauheit Ra, die in JIS B0601 definiert ist, in dem Bereich zwischen 0,02 µm und 1 µm liegt. Da die Oberfläche der metallischen Folie gegenüberliegend zu der klebeschichtseitigen Oberfläche, auf welche die photoempfindlichen Harzschicht und die Photomaske in Blattform in der erwähnten Reihenfolge laminiert werden, spezifiziert ist, daß sie eine derartige Rauheit aufweist, daß der untere Grenzwert der arithmetischen, mittleren Rauheit Ra 0,02 µm oder weniger beträgt, ist es einfach, die zwischen der photoempfindlichen Harzschicht und der darauf aufgebrachten Photomaske vorhandene Luft durch Vakuumbehandeln, das vor einem Ausführen der musterartigen Belichtung der photoempfindlichen Harzschicht durchgeführt wird, zu entfernen. Die Betätigungseffizienz wird somit verbessert.

In dem Verfahren zum Herstellen einer elektromagnetischen Abschirmschicht gemäß der vorliegenden Erfindung können die klebeschichtseitige Oberfläche oder beide Oberflächen der metallischen Folie in dem Laminat einer verdunkelnden bzw. Nachdunkelungsbehandlung unterworfen werden. Ein elektromagnetisches Abschirmblatt, enthaltend eine Metallfolie, welches einer Nachdunkelungsbehandlung unterworfen wurde, senkt den Bildkontrast, wenn es auf eine Anzeige aufgebracht wird, kaum ab.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

In den Zeichnungen
sind Fig. 1A bis 1C Ansichten, die die Ausbildung eines elektromagnetischen Abschirmblatts gemäß einer Ausbildung der Erfindung zeigen;
ist Fig. 1 D eine Ansicht, die die Ausbildung eines elektromagnellschen Abschirmblatts gemäß einer weiteren Ausbildung der vorliegenden Erfindung zeigt;
ist Fig. 2 ein Flußdiagramm, das das Verfahren zur Herstellung des elektromagnetischen Abschirmblatts zeigt, das in Fig. 1A bis 1C gezeigt ist; und
ist Fig. 3 eine Ansicht, die eine elektromagnetische Abschirmplatte zeigt, welche das in Fig. 1A bis 1C gezeigte, elektromagnetische Abschirmblatt enthält.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG VON BEVORZUGTEN AUSBILDUNGEN

Indem auf die beiliegenden Zeichnungen Bezug genommen wird, werden Ausbildungen der vorliegenden Erfindung nachfolgend beschrieben.
Fig. 1A bis 1C sind Querschnittsansichten, die die Ausbildung eines elektromagnetischen Abschirmblatts gemäß einer Ausbildung der vorliegenden Erfindung zeigen.

Gesamte Ausbildung

Wie dies in Fig. 1A gezeigt ist, ist ein elektromagnetisches Abschirmblatt 10 aus einer netzartigen, metallischen Folie 11' und einem transparenten Substratfilm 14, welche mit einer Klebeschicht 13 laminiert sind, zusammengesetzt. Die netzartige, metallische Folie 11' dient als eine elektromagnetische Abschirmschicht, die eine Transparenz besitzt, und kann entweder eine metallische Folie sein, welche vollständig in eine Netzform ausgebildet ist oder eine metallische Folie, von welcher nur ein Zentralteil in eine Netzform ausgebildet wurde. Darüber hinaus kann die netzartige, metallische Folie II' auf die gesamte Oberfläche des transparenten Substratblatts 14 oder nur auf den zentralen Teil der Oberfläche des transparenten Substratblatts 14 laminiert sein. Obwohl dies in dieser Figur nicht gezeigt ist, können Schutzfilme auf die obere und untere Oberfläche des elektromagnetischen Abschirmblatts 10 laminiert sein. In den beiliegenden Zeichnungen entspricht die obere Seite von jeder Figur der Beobachtungsseite des elektromagnetischen Abschirmblatts bei der Verwendung und die untere Seite der Rückseite.
Wie dies in Fig. 1A und 1B gezeigt ist, weist die netzartige, metallische Folie 11' ein dicht bzw. eng beabstandetes Feld von Öffnungen 11a auf. Wie dies in Fig. 1C gezeigt ist, weisen Linien, die einander in dem Netz scheiden, eine enge Breite zwischen 5 µm und 20 µm auf. Obwohl der horizontale Abstand "a" und der vertikale Abstand "b" der Öffnungen 11a gleich oder voneinander verschieden sein können, sind sie jeweils in der Größenordnung von 50 bis 500 µm. Es ist bevorzugt, daß die Anzahl bzw. Rate der Öffnungen pro Einheitsfläche etwa 90 bis 95% beträgt. Die Linien, die sich in der horizontalen Richtung erstrecken (die horizontale Richtung des elektromagnetischen Abschirmblatts bei der Verwendung) können unter einem moderaten bzw. geringen Winkel e, wie dies in Fig. 1B gezeigt ist, geneigt sein. Die "Netz"-Form ist nicht auf die Gitterform, wie dies in Fig. 1 B gezeigt ist, beschränkt.
Die Öffnung 11a kann in jeder Form anders als Quadrate vorliegen, sie kann beispielsweise hexagonal (Bienenwaben), kreisförmig oder länglich sein, und diese Formen sind hier alle als die Form der Öffnungen des Netzes akzeptabel.
In der in den Fig. 1A bis 1C gezeigten Ausbildung ist die netzartige, metallische Folie 11' direkt auf die Klebeschicht 13 laminiert. Jedoch ist es, wie dies in Fig. 1D gezeigt ist, auch möglich, eine verdunkelnde bzw. Nachdunkelungsschicht (eine Oberfläche, die einer verdunkelnden Behandlung bzw. Nachdunkelungsbehandlung unterworfen wurde) 12 auf die klebeschichtseitige Oberfläche 13 der metallischen Folie 11' aufzubringen und die metallische Folie 11' mit der Klebeschicht 13 mit der Nachdunkelungsschicht 12, die zu der Klebeschicht 13 schaut, zu laminieren. Weiters kann, obwohl dies in den Figuren nicht gezeigt ist, eine weitere Nachdunkelungsschicht auf der Oberfläche der metallischen Folie 11' gegenüberliegend zu der klebeschichtseitigen Oberfläche 13 ausgebildet sein.

Details der Ausbildung und Verfahren zur Herstellung

Als nächstes wird, indem auf Fig. 2(a) bis 2(f) Bezug genommen wird, das Verfahren zur Herstellung des elektromagnetischen Abschirmblatts, das in Fig. 1A bis 1C gezeigt ist, gemeinsam mit den Details der Ausbildung des elektromagnetischen Abschirmblatts beschrieben.
Wie dies in Fig. 2(a) gezeigt ist, wird eine metallische Folie 11 zuerst auf eine Oberfläche eines transparenten Substratfilms 14 mit einer Klebeschicht 13 laminiert, um ein Laminat als die Basis eines elektromagnetischen Abschirmblatts zu erhalten.

Transparenter Substratfilm

Beispiele von Harzen, die verwendet werden können, um den transparenten Substratfilm 14 auszubilden, umfassen acrylische, Polycarbonat-, Polypropylen-, Polyethylen-, Polystyrol-, Polyester-, Zellulose-, Polysulfon- und Polyvinylchloridharze. Im allgemeinen werden bevorzugt Filme aus Polyesterharzen, wie Polyethylen-terephthalatharz, welche sowohl in der mechanischen Festigkeit als auch der Transparenz exzellent sind, für den transparenten Substratfilm 14 bevorzugt verwendet.
Es gibt keine speziellen Beschränkungen der Dicke des transparenten Substratfilms 14. Jedoch ist es, wenn die mechanische Festigkeit und die Widerstandsfähigkeit gegenüber einem Biegen in Betracht gezogen werden, bevorzugt, daß die Dicke des transparenten Substratfilms 14 zwischen 50 µm und 200 µm liegt. Obwohl der transparente Substratfilm 14 eine Dicke von mehr als 200 µm aufweisen kann, wenn von dem elektromagnetischen Abschirmblatt 10 angenommen wird, daß es mit irgendeinem anderen transparenten Substrat bei Verwendung laminiert wird, ist die Dicke des transparenten Substratfilms 14 nicht notwendigerweise größer als 200 µm. Eine Oberfläche oder beide Oberflächen des transparenten Substratfilms 14 kann bzw. können einer Coronabehandlung unterworfen werden oder mit einer anhaftungsfördernden Schicht, sofern dies erforderlich ist, versehen sein.

Metallische Folie

Nicht-einschränkende Beispiele von Materialien für die metallische Folie 11 umfassen Metalle, wie Kupfer, Eisen, Nickel und Chrom, Legierungen aus einigen dieser Metalle, und Legierungen basierend auf einem oder mehreren dieser Materialien. Es ist bevorzugt, eine Kupferfolie als die metallische Folie 11 zu verwenden, da es exzellent in den elektromagnetischen Abschirmeigenschaften und den Handhabungseigenschaft ist und einfach geätzt werden kann. Kupferfolien werden in zwei Arten in Abhängigkeit von dem Herstellungsverfahren klassifiziert, gewalzte Kupferfolie und elektrolytische Kupferfolie. Es ist hier bevorzugt, eine elektrolytische Kupferfolie als die metallische Folie 11 zu verwenden. Der Grund dafür ist folgender: es ist einfach, eine gleichmäßig geformte, elektrolytische Kupferfolie mit einer Dicke von 10 µm oder weniger zu erhalten; und in dem Fall, wo eine verdunkelnde bzw. Nachdunkelungsschicht durch Plattieren ausgebildet wird, zeigt die elektrolytische Kupferfolie eine exzellente Anhaftung an der Nachdunkelungsschicht.
Die Dicke der metallischen Folie 11 ist vorzugsweise zwischen 1 µm und 100 µm und noch bevorzugter zwischen 5 µm und 20 µm. Wenn die metallische Folie 11 zu dünn ist, kann sie nicht vollständig elektromagnetische Abschirmeigenschaften zeigen. Und andererseits tritt, wenn die magnetische Folie zu dick ist, ein Seitenätzen auf, das nicht vernachlässigbar ist, so daß es schwierig ist, durch ein Ätzen Öffnungen in der metallischen Folie 11 mit einer vorbestimmten Präzision herzustellen.

Oberflächenrauheit der metallischen Folie

Die Seite des transparenten Substratfilms 14, auf welcher die metallische Folie 11 mit der Klebeschicht 13 vorgesehen ist, entspricht der Betrachtungsseite des resultierenden, elektromagnetischen Abschirmblatts 10. Wenn Luftblasen von 50 µm oder mehr zwischen der metallischen Folie 11 und der Klebeschicht 13 oder in der Klebeschicht 13 vorliegen, tritt eine unregelmäßige Lichtreflexion auf, um die Reflexionsfähigkeit anzuheben. Ein elektromagnetisches Abschirmblatt 10, enthaltend derart große Luftblasen, senkt somit den Bildkontrast ab, wenn es auf einer Anzeige aufgebracht bzw. angeordnet wird.
Die Ausbildung von derartigen Luftblasen wird hauptsächlich auf die aufgerauhten Oberflächen der metallischen Folie 11, insbesondere die aufgerauhte Oberfläche an der Klebeschichtseite zugeführt. Es ist daher bevorzugt, eine metallische Folie 11 zu verwenden, deren Oberflächenrauheit in einem bestimmten Bereich liegt. Spezifisch ist die Rauheit wenigstens der klebeschichtseitigen Oberfläche der metallischen Folie 11 derart, daß die maximale Höhe Rmax, die in JIS B0601 definiert ist, mehr als 0 und weniger als 4 µm, vorzugsweise mehr als 0 und 3 µm oder weniger, am bevorzugtesten mehr als 0 und 2 µm oder weniger beträgt. Die Maximalhöhe Rmax bezieht sich hier auf einen Wert, der in Mikrometer (µm) ausgedrückt ist, der durch ein Abtasten bzw. Überprüfen eines Bereichs mit der Bezugslänge von der Rauheitskurve in der Richtung einer Mittellinie und Messen in der Längsvergrößerungsrichtung der Rauheitskurve des Abstands zwischen der Oberseite der Profilscheitellinie und dem Boden der Profiltallinie dieses abgetasteten Bereichs erhalten wurde.
Wenn die maximale Höhe Rmax der metallischen Folie 11, wie oben definiert, 4 µm oder mehr beträgt, werden die Luftblasen, die Durchmesser von 50 µm oder mehr aufweisen, mechanisch in die Zwischenfläche zwischen der metallischen Folie 11 und der Klebeschicht 13 inkorporiert bzw. aufgenommen, während die metallische Folie 11 und die Klebeschicht 13 laminiert werden. Diese Luftblasen kommen dann in die Klebeschicht 13, da sie nicht in die metallische Folie 11 eintreten können. Aus diesem Grund enthält die Klebeschicht 13 allgemein Luftblasen, nachdem das Laminierverfahren vervollständigt bzw. abgeschlossen wurde. Wenn der Wert der maximalen Höhe Rmax kleiner ist, können umso bessere Ergebnisse erhalten werden. Praktisch ist es jedoch unmöglich, eine metallische Folie 11 zu erhalten, deren maximale Höhe Rmax 0 ist, so daß das untere Limit der maximalen Höhe Rmax auf mehr als 0 gesetzt ist.
Es ist notwendig, den oberen Grenzwert der maximalen Höhe Rmax der metallischen Folie 11 auf einen kleineren Wert festzulegen, wenn ein Polyurethanharzklebemittel, wie jene des Zwei-Komponenten-Härtungstyps als die Klebeschicht 13 verwendet werden. Der Grund dafür ist wie folgt: in dem Fall, wo die metallische Folie 11 und die Klebeschicht 13 aus einem Polyurethanharzklebemittel, wie einem zwei Komponenten härtenden Typ gefertigt sind, laminiert werden und ein Altern dann ausgeführt wird, bildet sich Kohlendioxidgas als ein Nebenprodukt der Härtungsreaktion und fördert das Wachstum von Luftblasen, die mechanisch in die Klebeschicht 13 inkorporiert sind. Selbst wenn die Luftblasen, die in die Klebeschicht 13 inkorporiert sind, aufgrund des Kohlendioxidgases anwachsen, übersteigen die Durchmesser der Luftblasen, die angewachsen sind, niemals 50 µm, solange die Durchmesser der Luftblasen direkt nach dem Laminieren 30 µm oder weniger, noch bevorzugter 20 µm oder weniger betragen. Um die Durchmesser von Luftblasen, welche mechanisch inkorporiert werden, auf 30 µm oder weniger zu steuern bzw. regeln, während die metallische Folie 11 und die Klebeschicht 13 laminiert werden, ist es bevorzugt, daß die maximale Höhe Rmax der klebeschichtseitigen Oberfläche der metallischen Folie 11 mehr als 0 und 3 µm oder weniger ist. Um die Durchmesser dieser Luftblasen auf 20 µm oder weniger zu steuern bzw. zu regeln, ist es bevorzugt, daß die maximale Höhe Rmax der klebeschichtseitigen Oberfläche der metallischen Folie 11 mehr als 0 und 2 µm oder weniger ist.
In der obigen Beschreibung wird die Rauheit zumindest der klebeschichtseitigen Oberfläche der metallischen Folie 11 in Betracht gezogen. In praktischen Ausbildungen können jedoch beide Oberflächen der metallischen Folie 11 im wesentlichen gleich in bezug auf die Oberflächenrauheit sein.

Verdunkelnde bzw. Nachdunkelungsschicht

Fig. 2(a) bis 2(f) zeigen eine Ausbildung, in welcher eine verdunkelnde bzw. Nachdunkelungsschicht 12 nicht ausgebildet ist. Jedoch kann die klebeschichtseitige Oberfläche 13 der metallischen Folie 11 im voraus einer verdunkelnde bzw. Nachdunkelungsbehandlung unterworfen werden, um darauf eine Nachdunkelungsschicht 12, wie dies in Fig. 1D gezeigt ist, auszubilden. Zusätzlich zu dieser Nachdunkelungsschicht 12 kann eine andere Nachdunkelungsschicht zuvor auf der Oberfläche der metallischen Folie 11 gegenüberliegend zu der klebeschichtseitigen Oberfläche 13, falls erforderlich, ausgebildet werden. Diese Nachdunkelungsschichten können eine Korrosionsbeständigkeit und Antireflexionseigenschaften der metallischen Folie 11 verleihen. In dem Fall, wo eine verdunkelnde bzw. Nachdunkelungsschicht 12 auf der klebeschichtseitigen Oberfläche 13 der metallischen Folie 11 ausgebildet ist, liegt die Oberflächenrauheit der Nachdunkelungsschicht 12, die auf die Klebeschicht 13 zu laminieren ist, in dem oben beschriebenen Bereich.
Eine derartige Nachdunkelungsschicht kann beispielsweise durch ein Co-Cu-Legierungs-Plattierungsverfahren ausgebildet werden und kann Antireflexionseigenschaften der Oberfläche der metallischen Folie 11 verleihen. Zusätzlich zu der Ausbildung der Nachdunkelungsschicht kann eine Chromatbehandlung durchgeführt werden, um der metallischen Folie 11 eine Korrosionsbeständigkeit zu verleiden. Die Art, in welcher die Chromatbehandlung durchgeführt wird, ist folgende: ein zu behandelnder Gegenstand wird in eine Lösung, enthaltend als eine Hauptkomponente eine Chromsäure oder ein Bichromat, eingetaucht und wird dann getrocknet, um einen korrosionsbeständigen Film auf dem Gegenstand auszubilden. Eine Oberfläche oder beide Oberflächen der metallischen Folie 11 können dieser Chromatbehandlung, falls erforderlich, unterworfen werden.
Es ist hier geeignet, als die metallische Folie 11 eine kommerziell erhältliche Kupferfolie oder dgl., die bereits der Nachdunkelungs- und Chromatbehandlung unterworfen wurde, zu verwenden. Wenn eine metallische Folie 11, welche noch nicht der Nachdunkelungsbehandlung im voraus unterworfen wurde, verwendet wird, wird die Nachdunkelungsbehandlung zu einem gegebenen Zeitpunkt während des Herstellungsverfahrens durchgeführt. Beispielsweise wird ein Plattierverfahren, welches einen dunklen Film auf der metallischen Folie 11 zur Verfügung stellen kann, angewandt, um eine Nachdunkelungsschicht auszubilden. Um eine Nachdunkelungsschicht auf der Oberfläche der metallischen Folie 11 gegenüberliegend zu der klebeschichtseitigen Oberfläche bzw. Seitenoberfläche der Klebeschicht 13 auszubilden, wird die folgende Art angewandt: eine photoempfindliche Harzschicht 15, welche auf die metallische Folie 11 laminiert ist und als eine Resistschicht in der Stufe dienen kann, welche nachfolgend beschrieben wird, wird durch die Verwendung einer dunkel gefärbten Zusammensetzung ausgebildet, und nachdem ein Ätzen vervollständigt wurde, wird die Resistschicht nicht entfernt, so daß sie als eine verdunkelnde bzw. Nachdunkelungsschicht auf der metallischen Folie 11 verbleiben kann.
In dem Fall, wo die Beobachtungsseitenoberfläche (die Oberfläche gegenüberliegend zu der kleberschichtseitigen Oberfläche 13) der metallischen Folie 11 der Nachdunkelungsbehandlung unterworfen wurde, ist bevorzugt, daß die Reflexionsfähigkeit von sichtbarem Licht an der Nachdunkelungsschicht 5% oder weniger beträgt. Dies deshalb, da, wenn die Reflexionsfähigkeit des sichtbaren Lichts an der Nachdunkelungsschicht mehr als 5% beträgt, senkt eine elektromagnetische Abschirmfolie bzw. ein elektromagnetisches Abschirmblatt 10, enthaltend eine metallische Folie 11, die mit einer derartigen Nachdunkelungsschicht versehen ist, den Bildkontrast, wenn sie auf einer Anzeige angeordnet wird. Es ist wünschenswert, daß die Reflexionsfähigkeit von sichtbarem Licht 0 ist. Praktisch ist jedoch der untere Grenzwert der Reflexionsfähigkeit von sichtbarem Licht an einer Nachdunkelungsschicht, die auf einer Kupferfolie durch die Nachdunkelungsbehandlung ausgebildet wurde, etwa 1%.

Klebeschicht

Jedes Klebeschichtagens kann für ein Ausbilden der Klebeschicht 13 verwendet werden, solange es ermöglichen kann, daß die metallische Folie 11 und der transparente Substratfilm 14, ein Harzfilm, aneinander anhaften. Jedoch muß, nachdem die metallische Folie 11 in Netzform ausgebildet ist und die Öffnungen 11a ausgebildet sind (siehe Fig. 1A bis 1C), die Klebeschicht 13 durch die Öffnungen 11a gesehen werden, so daß die Klebeschicht 13 vorzugsweise farblos oder nahezu farblos und hoch transparent ist. Es ist auch bevorzugt, daß die Klebeschicht 13 keiner Farbänderung während dem Ätzschritt unterliegt, welcher nachfolgend beschrieben werden wird.
Spezifische Beispiele von Klebemitteln, die zum Ausbilden der Klebeschicht 13 verwendbar sind, umfassen acrylische, Polyester-, Polyurethan-, Polyvinylalkohol-, Vinylchlorid/Vinylacetat-Copolymer- und Ethylen/Vinylacetat-Copolymerharze.
Zusätzlich zu diesen Harzen können auch thermohärtende Harze und durch ionisierende Strahlung härtende Harze, wie Ultraviolett härtende Harze und durch Elektronenstrahl härtende Harze als Klebemittel verwendet werden. Von diesen Klebemitteln sind Polyurethanharzklebemittel und Klebemittel, welche Mischungen von gesättigten Polyesterharzen und Isocyanat härtenden Harzen sind, bevorzugt, da sie eine große Anhaftungsfestigkeit verleihen können und kaum einer Farbänderung unterliegen, selbst wenn sie in Kontakt mit Ätzlösungen gebracht sind. Gesättigte Polyesterharze, Hauptagentien bzw. -bestandteile der letzteren Klebemittel sind insbesondere bevorzugt, da sie eine exzellente Adhäsion bzw. Anhaftung sowohl an metallischen Folien als auch Harzfilmen zeigen, kaum einer Farbänderung selbst bei erhöhten Temperaturen unterliegen und vollständig eine Fließfähigkeit während des Laminierens zeigen und ihre Glasübergangstemperaturen durch ein Einstellen ihrer Molekulargewichte gesteuert bzw. geregelt werden können.
Es ist bevorzugt, wie dies oben erwähnt ist, daß die Klebeschicht 13 im wesentlichen farblos und transparent in dem Endprodukt ist (d. h. dem Endprodlukt in einem derartigen Zustand, daß die Ätzlösung auf der Klebeschicht in dem Ätzschicht gewirkt hat) sind. Spezifisch ist der b*-Wert in dem L*a*b*-Farbsystem der Klebeschicht 13 vorzugsweise in dem Bereich zwischen -6,0 und 6,0. Wenn der b*-Wert kleiner als -6,0 ist, erscheint die Klebeschicht 13 bläulich. Andererseits erscheint, wenn der b*-Wert mehr als 6,0 beträgt, die Klebeschicht 13 gelblich, und wenn das elektromagnetische Abschirmblatt, das eine derartige Klebeschicht enthält, auf der Beobachtungsseite einer Anzeige, wie einer PDP, angeordnet wird, wird die Helligkeit von blauer Farbe abgesenkt. Wenn ein übliches Klebemittel, welches üblicherweise ein organisches Material ist, zum Ausbilden der Klebeschicht 13verwendet wird, weist die resultierende Klebeschicht 13 in den meisten Fällen einen b*-Wert von 1,0 oder mehr auf. Wenn dieser auch Punkt in Betracht gezogen wird, ist es bevorzugt, daß der b*-Wert der Klebeschicht 13 von 1,0 bis 6,0 ist.
Wie dies zuvor erwähnt wurde, ist eine dünne, metallische Folie, die für die metallische Folie 11 geeignet ist, eine elektrolytische Kupferfolie, welche durch ein Eintauchen einer Elektrodentrommel in Kupferelektrolyt, ein Erlauben, daß Strom durch die Elektrodentrommel fließt, um darauf die Kupferfolie abzuscheiden, und ein Abschälen der Kupferfolie von der Elektrodentrommel erhalten werden kann. Jedoch weist die elektrolytische Kupferfolie, die in der oben beschriebenen Weise erhalten wird, aufgerauhte Oberflächen auf; insbesondere die Oberfläche der elektrolytischen Kupferfolie, welche auf der gegenüberliegenden Seite der Elektrodentrommel in dem Elektroabscheideverfahren aufgebracht wurde, hat eine derartige Oberflächerauheit, daß die arithmetische, mittlere Rauheit Ra in der Größenordnung von 0,1 bis 1,0 µm ist. Obwohl eine derartig aufgerauhte Oberfläche als eine Oberfläche auf der Beobachtungsseite geeignet ist, welche einer verdunkelnden bzw. Nachdunkelungsbehandlung unterworfen wird, ist sie ungünstig als eine Oberfläche auf der klebeschichtseitigen Oberfläche 13, da Luftblasen leicht in die Grenzfläche zwischen der metallischen Folie 11 und der Klebeschicht 13 während des Laminierens dieser zwei Bestandteile eintreten können. Es ist jedoch möglich, die Aufnahme von Luftblasen zu vermeiden, indem die Quetschtemperatur in dem Laminierschritt gesteuert bzw. geregelt wird, wenn ein Klebemittel, das eine Glasübergangstemperatur von 20 bis 100°C aufweist, verwendet wird.
In Hinblick auf ein Glätten der aufgerauhten Oberfläche der elektrolytischen Kupferfolie ist es bevorzugt, das Klebemittel in einer Menge von 1-10 g/m² auf Trockenbasis aufzubringen. Wenn das Klebemittel in einer Menge von weniger als 1 g/m² aufgebracht wird, kann die ausgebildete Klebeschicht nicht eine zufriedenstellend hohe Adhäsionskraft zur Verfügung stellen. Andererseits kann, selbst wenn das Klebemittel in einer Menge von mehr als 10 g/m² aufgebracht wird, eine Verbesserung in der Adhäsionsfestigkeit nicht erreicht werden. Darüber hinaus trocknet das aufgebrachte Klebemittel nicht vollständig am Ende des Aufbringschritts aus, und wenn das Klebemittel einer Farbänderung unterliegt, ist diese Änderung merkbar.
Im allgemeinen wird ein Laminierverfahren unter Verwendung der Klebeschicht 13 angewandt, um die metallische Folie 11 und den transparenten Substratfilm 14 zu laminieren. Da sowohl die metallische Folie 11 als auch der transparente Substratfilm 14 für den Kleber undurchlässige Materialien sind, ist es bevorzugt, ein Trockenlaminierverfahren anzuwenden, in welchem eine Klebemittellösung auf eine Oberfläche entweder von einer oder beiden der metallischen Folie 11 und dem transparenten Substratfilm 14 aufgebracht wird und dann getrocknet wird und das getrocknete Klebemittel durch Erhitzen reaktiviert wird. In einem derartigen Trockenlaminierverfahren ist es allgemein bevorzugt, daß das Klebemittel nur auf die Oberfläche des transparenten Substratfilms 14 aufgebracht wird. In dem Fall, wo ein Film eines Heißschmelzharzes, wie eines Ethylen/Vinylacetat-Copolymerharzes, oder ein Ionomer als der transparente Substratfilm 14 entweder alleine oder als Laminat mit einem anderen Harzfilm verwendet wird, kann ein Teil des transparenten Substratfilms 14 als eine Klebeschicht dienen. In diesem Fall ist es daher nicht notwendig, gesondert eine Klebeschicht zur Verfügung zu stellen, wenn das Laminieren der metallischen Folie 11 und des transparenten Substratfilms 14 ausgeführt wird.
Nach einem Vorbereiten des Laminats als die Basis eines elektromagnetischen Abschirmblatts in der oben beschriebenen Weise wird eine photoempfindliche Harzschicht 15, welche als eine Resistschicht in dem nachfolgenden Ätzschritt dienen kann, auf die metallische Folie 11 in dem Laminat, wie dies in Fig. 2(b) gezeigt ist, aufgebracht bzw. laminiert und wird dann in eine Netzform durch ein sogenanntes photolithographisches Verfahren gebracht.
Spezifisch wird, wie dies in Fig. 2(c) gezeigt ist, eine Photomaske 16 in Blattform auf die Oberfläche der photoempfindlichen Harzschicht 15 aufgebracht und ionisierende Strahlung, wie Ultraviolettlicht, wird auf die photoempfindliche Harzschicht 15 durch die Photomaske 16 aufgebracht, um eine musterartige Belichtung zu bewirken. Obwohl die photoempfindliche Harzschicht 15 als von einer negativen Art in dieser Beschreibung, umfassend dis Zeichnungen, beschrieben ist, kann eine photoempfindliche Harzschicht des positiven Typs bzw. der positiven Art ebenfalls verwendet werden.
Wenn das musterartige Belichten bewirkt wird, ist es notwendig, daß die photoempfindliche Harzschicht 15 und die Photomaske 16 in Blattform in engem Kontakt vorliegen. Daher wird, bevor das musterartige Belichten ausführt wird, eine Vakuumbehandlung auf einen vorbestimmten Druck unter der Verwendung eines Vakuumbackrahmens verwendet.
Wenn die Oberfläche der metallischen Folie 11, auf welche die photoempfindliche Harzschicht 15 laminiert wird (die Oberfläche gegenüberliegend zu der klebeschichtseitigen Oberfläche 13), glatt (Spiegeloberfläche) ist, hat die photoempfindliche Harzschicht 15, die auf diese Oberfläche laminiert ist, auch eine glatte Oberfläche (Spiegeloberfläche). Es ist daher nicht einfach, durch Vakuumbehandeln bzw. Anlegen eines Unterdrucks, die Luft, die zwischen der glatten Oberfläche der photoempfindlichen Harzschicht 15 und der Photomaske 16 in Blattform eingeschlossen ist, zu entfernen, und eine Vakuumbehandlung bis zu einem Druck von beispielsweise 1 Pa braucht lange Zeit.
Im Gegensatz dazu weist, wenn die Oberfläche der metallischen Folie 11, auf welche die photoempfindliche Harzschicht 15 laminiert wird, einen gewissen Grad an Rauheit aufweist, auch die photoempfindliche Harzschicht 15, die auf diese Oberfläche laminiert wird, ebenso eine aufgerauhte Oberfläche auf. Die zwischen der aufgerauhten Oberfläche der photoempfindlichen Harzschicht 15 und der Photomaske 16 in Blattform eingeschlossene Luft kann somit leicht durch ein Anlegen eines Vakuums ausgetrieben bzw. entfernt werden, um die Bearbeitungseffizienz zu verbessern.
Aus dem oben beschriebenen Gesichtspunkt ist es bevorzugt, daß die Oberfläche der metallischen Folie 11, auf welche die photoempfindliche Harzschicht 15 laminiert wird, eine derartige Oberflächenrauheit aufweist, daß die arithmetische, mittlere Rauheit Ra, die in JIS B0601 definiert ist, in dem Bereich zwischen 0,02 µm und 1 µm liegt. Solange die arithmetische, mittlere Rauheit Ra dieser Oberfläche der metallischen Folie 11 wenigstens etwa 0,02 µm beträgt, kann eine Vakuumbehandlung auf einen bestimmten Druck unter der Verwendung eines konventionellen Vakuumbackrahmens innerhalb etwa 1 Minute vervollständigt sein. In dem Fall, wo eine elektrolytische Kupferfolie als die metallische Folie 11 verwendet wird, wird die Rauheit der Oberfläche der metallischen Folie 11, auf welche die photoempfindliche Harzschicht 15 laminiert werden wird, durch die Oberflächenrauheit einer Elektrodentrommel definiert, auf welche die elektrolytische Kupferfolie abgeschieden werden wird. Es ist daher möglich, die Oberflächenrauheit der metallischen Folie 11 durch ein Behandeln der Oberfläche der Elektrodentrommel durch Polieren oder dgl. zu steuern bzw. zu regeln, um ihre Oberflächenrauheit auf einen bestimmten Grad zu regeln.
Wenn die arithmetische, mittlere Rauheit Ra größer ist, können bessere Ergebnisse in bezug auf die Vakuumbehandlungszeit erhalten werden. Jedoch ist eine metallische Folie 11, die eine Oberfläche aufweist, deren arithmetische, mittlere Rauheit Ra größer als 1 µm ist, anfällig, vollständig verzerrt zu werden, und nachdem sie in eine Netzform gebracht wurde, weisen die linearen Kanten von Linien, die einander schneiden, in dem Netz ein ungünstig, unregelmäßiges Aussehen auf. Aus diesem Grund ist der obere Grenzwert der arithmetischen mittleren Rauheit Ra der Seitenoberfläche der photoempfindlichen Harzschicht 15 der metallischen Folie 11 auf etwa 1 µm festgelegt.
Daß die arithmetische mittlere Rauheit Ra der Seitenoberfläche der photoempfindlichen Harzschicht 15 der metallischen Folie 11 auf wenigstens 0,02 µm festgelegt ist, ist auch effizient beim Steuern bzw. Regeln der Reflexionsfähigkeit von sichtbarem Licht an der beobachtungsseitigen Oberfläche der metallischen Folie 11 (oder an der Oberfläche der Nachdunkelungsschicht, sofern diese ausgebildet ist) auf 5% oder weniger. Dies deshalb, da, daß die beobachtungsseitige Oberfläche der metallischen Folie 11 einen niedrigeren Grad einer Spiegelglätte aufweist, günstig aus dem Gesichtspunkt des Steuerns bzw. Regelns der Reflexionsfähigkeit ist.

Photolithographisches Verfahren

Um die metallische Folie 11, einen Bestandteil des in Fig. 2(a) gezeigten Laminats, in Netzform zu bringen, wird die photoempfindliche Harzschicht 15 zuerst auf die metallische Folie 11, wie dies in Fig. 2(b) gezeigt ist, laminiert. Danach wird, wie dies in Fig. 2(c) gezeigt ist, eine Photomaske 16 in Blattform in engen Kontakt mit der Oberfläche dieser photoempfindlichen Harzschicht 15 gebracht und ionisierende Strahlung 17, wie ultraviolettes Licht, wird auf die photoempfindliche Harzschicht 15 durch die Photomaske 16 aufgebracht, um eine musterartige Belichtung der photoempfindlichen Harzschicht 15 durchzuführen. In diesem Schritt ist jedoch die Verwendung der Photomaske 16 nicht wesentlich und jede andere Technik, wie ein Scannen eines Elektronenstrahls kann angewandt bzw. verwendet werden, solange es schließlich die musterartige Belichtung der photoempfindlichen Harzschicht 15 erreichen kann.
Wenn die photoempfindliche Harzschicht 15 von der negativen Art ist, werden die belichteten Bereiche der photoempfindlichen Harzschicht 15 gehärtet und werden in einem Entwickler unlöslich, während die nicht belichteten Bereiche eine Entwicklerlöslichkeit aufweisen. Andererseits sind, wenn die photoempfindliche Harzschicht 15 von der positiven Art ist, die belichteten Teile zersetzbar und in einem Entwickler löslich.
Danach wird die belichtete, photoempfindliche Harzschicht 15 durch die Verwendung eines Entwicklers entwickelt. Spezifisch werden die löslichen Bereiche der photoempfindlichen Harzschicht 15, welche von den unlöslichen Bereichen durch die oben beschriebene musterartige Belichtung unterschieden wurden, durch ein Auflösen derselben in einem Entwickler entfernt, welcher im voraus in Abhängigkeit von der Art des photoempfindlichen Harzes ausgewählt wurde, das für die Ausbildung der photoempfindlichen Harzschicht 15 verwendet wurde. Wenn die photoempfindliche Harzschicht 15 von der negativen Art ist, verbleibt die gehärtete, photoempfindliche Harzschicht 15' in einem vorbestimmten Muster auf der metallischen Folie 11, wie dies in Fig. 2(d) gezeigt ist.
Durch Verwenden dieser photoempfindlichen Harzschicht 15' als eine Resistschicht, die in einem vorbestimmten Muster auf der metallischen Falle 11 verbleibt, wird die metallische Folie 11 geätzt. Das Ätzen der metallischen Folie 11 wird durch Verwenden einer geeigneten Ätzlösung durchgeführt, bis jene Teile der metallischen Folie 11, welche nicht mit der Resistschicht überdeckt sind, aufgelöst sind, um Öffnungen in der gewünschten Form zu werden.
Aus dem oben beschriebenen Ätzschritt ist eine netzartige, metallische Folie 11' mit einem dicht bzw. eng beabstandeten Feld von Öffnungen 11a, wie dies in Fig. 2(e) gezeigt ist, erhältlich. An dem Ende des Ätzschritts ist die gehärtete Resistschicht (photoempfindliche Harzschicht 15') immer noch auf der netzartigen, metallischen Folie 11' verblieben, so daß die verbleibende Resistschicht üblicherweise durch ein Resistentfernungsmittel entfernt wird. So wird die netzartige, metallische Folie 11' mit einem eng beabstandeten Feld von Öffnungen 11a freigelegt, wie dies in Fig. 2(f) gezeigt ist, und ein elektromagnetisches Abschirmblatt 10 einer derartigen Konstitution, in welcher die netzartige, metallische Folie 11' und der transparente Substratfilm 14 mit der Klebeschicht 13 laminiert sind, wird am Ende erreicht.
Obwohl das elektromagnetische Abschirmblatt 10 der oben beschriebenen Ausbildung im wesentlichen in der zuvor erwähnten Art hergestellt wird, können der Schritt eines Entfettens oder Reinigens der Oberfläche der metallischen Folie 11, um sie in Netzform zu bringen, der Schritt eines Wegwaschens des Resists, der nach dem Entfernen der verbleibenden Resistschicht verblieben ist (photoempfindliche Harzschicht 15') und dgl. vorher oder nachher in dem oben beschriebenen Herstellungsverfahren, sofern dies erforderlich ist, hinzugefügt werden.

Schutzfilm

Ein Schutzfilm kann auf die vordere und/oder rückwärtige Oberfläche (d. h. die Seite der netzartigen, metallischen Folie 11' oder die Seite des transparenten Substratfilms 14) des elektromagnetischen Abschirmblatts 10, das in der oben beschriebenen Weise erhalten wurde, laminiert werden. Wenn ein Schutzfilm auf der Seite der netzartigen, metallischen Folie 11' des elektromagnetischen Abschirmblatts 10 vorgesehen ist, werden die schmalen Linien in der netzartigen, metallischen Folie 11' vor einem Schneiden, welches durch Kontakt oder dgl. verursacht wird, geschützt. Wenn ein Schutzfilm auf der Seite des transparenten Substratfilms 114 des elektromagnetischen Abschirmblatts 10 vorgesehen ist, wird die freigelegte Oberfläche des transparenten Substratfilms 14 vor Beschädigungen, welche während der Handhabung oder durch zufälligen Kontakt oder dgl. bewirkt werden, geschützt. Weiters ist es durch ein Laminieren eines Schutzfilms auf den transparenten Substratfilm 14 vor einem Starten des zuvor erwähnten Herstellungsverfahrens möglich, die freigelegte Oberfläche des transparenten Substratfilms 14 vor einem Verfärben oder einer Erosion in dem Ätzschritt zu schützen.
Auf die vordere und rückwärtige Oberfläche des elektromagnetischen Abschirmblatts 10 werden eine Vielzahl von Schichten laminiert, um endgültig eine elektromagnetische Abschirmplatte, wie sie in Fig. 3 gezeigt ist, zu erhalten. Bevor diese Schichten auf das elektromagnetische Abschirmblatt 10 laminiert werden, ist es notwendig, die Schutzfilme von der vorderen und rückwärtigen Oberfläche des elektromagnetischen Abschirmblatts 10 abzuziehen. Die Schutzfilme, die auf das elektromagnetische Abschirmblatt 10 laminiert sind, sollten daher abziehbar sein. Spezifisch ist die Abschälkraft, die für ein Abschälen bzw. Abziehen des Schutzfilms von dem elektromagnetischen Abschirmblatt 10 erforderlich ist, vorzugsweise von 5 mN/25 mm Breite bis 5 N/25 mm Breite, noch bevorzugter von 10 mN/25 mm Breite bis 100 mN/25 mm Breite. Wenn diese Abschälkraft kleiner als der oben beschriebene, untere Grenzwert ist, schält der Schutzfilm sehr leicht ab; er kann während der Handhabung oder durch unachtsamen Kontakt abgezogen werden.
Andererseits ist, wenn die Abschälkraft mehr als der oben beschriebene Grenzwert beträgt, eine große Kraft erforderlich, um den Schutzfilm von dem elektromagnetischen Abschirmblatt 10 abzuziehen. Darüber hinaus kann in denn Fall, - wo der Schutzfilm auf die netzartige, metallische Folie 11' laminiert wurde, die netzartige, metallische Folie 11' gemeinsam mit dem Schutzfilm abgezogen werden, wenn der Schutzfilm von dem elektromagnetischen Abschirmblatt 10 abgezogen wird.

Elektromagnetische Abschirmplatte

Wie oben erwähnt, ist das elektromagnetische Abschirmblatt 10 in eine elektromagnetische Abschirmplatte 20, wie dies in Fig. 3 gezeigt ist, aufgenommen.
Fig. 3 ist eine diagrammartige Ansicht, die eine elektromagnetische Abschirmplatte 20 zeigt, die das elektromagnetische Abschirmblatt 10, wie es in Fig. 1A bis 1C gezeigt ist, enthält. Die obere Seite von Fig. 3 entspricht der Beobachtungsseite der elektromagnetischen Abschirmplatte 20, während die untere Seite der Rückseite entspricht. Eine derartige elektromagnetische Abschirmplatte 20 wird als Gesamtes auf der Beobachtungsseite einer Anzeige, wie einer PDP (nicht in der Figur gezeigt) angeordnet.
In der elektromagnetischen Abschirmplatte 20 ist eine beobachtungsseitiger Film (vorderer Oberflächenfilm) 30 auf der Seite der metallischen Folie 11' des elektromagnetischen Abschirmblatts 10 vorgesehen, und ein nahes Infrarot absorbierender Film 40, ein Glassubstrat 50 und ein Rückseitenoberflächenfilm (rückwärtiger Oberflächenfilm) 30' werden sukzessive auf den transparenten Substratfilm 14 in dem elektromagnetischen Abschirmblatt 10 laminiert, wie dies in Fig. 3 gezeigt ist. In dieser Figur sind der beobachtungsseitige Film 30, das elektromagnetische Abschirmblatt 10, der nahes Infrarot absorbierende Film 40, das Glassubstrat 50 und der Rückseitenoberflächenfilm 30' gesondert voneinander dargestellt. Dies ist nur zur Klarheit des Verständnisses und tatsächlich sind diese fünf Bestandteile in engem Kontakt laminiert.
Der beobachtungsseitige Film 30 ist ein Laminat aus einer druckempfindlichen Klebeschicht 33, einem Basisfilm 32 und einem Mehrschichtfilm 31, welche sukzessive in dieser Reihenfolge laminiert werden, und wird auf das elektromagnetische Abschirmblatt 10 mit der druckempfindlichen Klebeschicht 33, die zu der metallischen Folie 11' in dem elektromagnetischen Abschirmblatt 10 schaut, laminiert. Der Mehrschichtfilm 31 ist ein Laminat aus einer Hartbeschichtungsschicht, einer Antireflexionsschicht, einer Antifärbeschicht usw., welche sukzessive laminiert werden.
Der nahes Infrarot absorbierende Film 40 ist ein Laminat aus einer druckempfindlichen Klebeschicht 41, einer nahes Infrarot absorbierenden Schicht 42, einem Basisfilm 43 und einer druckempfindlichen Klebeschicht 44, welche sukzessive bzw. aufeinanderfolgend in der ausgeführten Reihenfolge laminiert werden, und wird mit dem elektromagnetischen Abschirmblatt 10, mit der druckempfindlichen Klebeschicht 41 zu dem transparenten Substratfilm 14 in dem elektromagnetischen Abschirmblatt 10 schauend, laminiert.
Das Glassubstrat 50 hat die Funktion eines Aufrechterhaltens der mechanischen Festigkeit, der Selbsttragefähigkeit und der Flachheit der gesamten elektromagnetischen Abschirmplatte 20.
Der Rückseitenoberflächenfilm 30' ist derselbe wie der beobachtungsseitige Film 30. Dieser Film ist ein Laminat aus einer druckempfindlichen Klebeschicht 33', einem Basisfilm 32' und einem Mehrschichtfilm 31, welche sukzessive in dieser Reihenfolge laminiert sind, und wird auf das Glassubstrat 50, wobei die druckempfindlichen Klebeschicht 33 zu dem Glassubstrat 50 schaut, laminiert.
Die elektromagnetische Abschirmplatte 20, die in Fig. 3 gezeigt ist, ist nur ein Beispiel. Obwohl es bevorzugt ist, daß alle der oben beschriebenen fünf Laminate laminiert werden, ist es möglich, geeignet diese Konstitution bzw. diesen Aufbau zu verändern, indem einige dieser ausbildenden Laminate, sofern erforderlich, weggelassen werden, oder indem ein alternatives oder anderes Laminat, das die Funktionen von einigen der ausbildenden Laminate besitzt, verwendet wird.

BEISPIELE

Beispiel 1

Ein transparenter Polyethylenterephtalat-Harz (PET) Film, der eine Breite von 700 mm und eine Dicke von 100 µm aufweist (Gegenstandsnummer A4300, hergestellt von Toyobo Co., Ltd., Japan), und eine Kupferfolie, die eine Breite von 700 mm und eine Dicke von 10 µm aufweist, deren eine Oberfläche einer verdunkelnden bzw. Nachdunkelungsbehandlung unterworfen wurde, wurden hergestellt. Die Oberflächen der Kupferfolie hatten die folgende Oberflächenrauheit: Rmax und Ra der Oberfläche, auf welche die Klebeschicht laminiert würde (die klebeschichtseitige Oberfläche) waren 0,6 µm bzw. 0,21 µm, und Ra der Oberfläche, auf welche die Resistschicht laminiert würde (die Oberfläche gegenüberliegend zu der klebeschichtseitigen Oberfläche) betrug 0,2 µm. Durch ein Trockenlaminierverfahren wurden diese zwei Materialien kontinuierlich mit der Nachdunkelungsoberfläche der Kupferfolie nach innen schauend laminiert, um ein laminiertes Blatt mit einer Gesamtdicke von 115 µm zu erhalten. Ein Klebemittel, das in diesem Laminierverfahren verwendet wurde, ist ein zwei Komponenten härtendes Polyurethanharzklebemittel, hergestellt von Takeda Chemical Industries, Ltd., Japan, welches eine 12 : 1 : 21 (Gewichtsbasis) Mischung von Takelac A310 (Hauptagens): Takenate A10 (Härtemittel): Ethylacetat war.
Unter Verwendung einer Laminierwalze wurde ein Schutzfilm (Gegenstandsnummer HT-25, hergestellt von Panac Co., Ltd., Japan), der eine Gesamtdicke von 28 µm aufweist, auf den PET-Film in dem oben erhaltenen, laminierten Blatt auf der Seite laminiert, wo die Kupferfolie nicht vorhanden war.
Dieser Schutzfilm enthielt eine PET-Filmbasis. Eine druckempfindliche Klebeschicht wurde auf die Oberfläche dieser PET-Filmbasis laminiert, welche zu dem laminierten Blatt schauen würde, wenn der Schutzfilm auf das laminierte Blatt laminiert würde, und die andere Oberfläche der PET-Filmbasis würde einer Corona- Entladungsbehandlung unterworfen werden.
So wurde ein Laminat aus dem Schutzfilm/PET- Film/Klebeschicht/Kupferfolie abschließend erhalten. In dieser Beschreibung bedeutet das Symbol "/ ", das in der Beschreibung eines Laminats verwendet wird, daß die zwei Materialien, die vor und nach dem Symbol "/ " angeführt wurden, miteinander integral laminiert wurden.
Kasein wurde auf die Kupferfolie in dem oben erhaltenen, geschützten Laminat aufgebracht und wurde dann getrocknet, um eine photoempfindliche Harzschicht auszubilden. Danach wurde eine Photomaske in Blattform auf dieser photoempfindlichen Harzschicht angeordnet und diese zwei wurden in engen bzw. unmittelbaren Kontakt durch Ausführen einer Vakuumbehandlung unter Verwendung eines Vakuumbackrahmens gebracht. Ultraviolettes Licht wurde dann aufgebracht, um eine Kontaktbelichtung durchzuführen. Die verwendete Photomaske hatte ein netzartiges Muster mit einem Abstand von 300 µm, einer Linienbreite von 10 µm und einer Gesamtgröße von 600 mm × 800 mm.
Nach Ausführen bzw. Bewirken einer Kontaktbelichtung in der oben beschriebenen Weise wurde die photoempfindliche Harzschicht entwickelt, indem Wasser als Entwickler verwendet wurde. Die entwickelte, photoempfindliche Harzschicht wurde gehärtet und wurde dann bei einer Temperatur von 100°C gehärtet bzw. gebacken, um eine gemusterte Resistschicht zu erhalten. Eine Eisenchloridlösung (Baumé Grad: 42, Temperatur 60°C) wurde über die gemusterte Resistschicht auf dem Laminat aufgesprüht, um ein Ätzen durchzuführen. Nach einem Waschen mit Wasser wurde die gemusterte Resistschicht durch die Verwendung einer alkalischen Lösung entfernt. Danach wurden ein Waschen und Trocknen ausgeführt, um ein geschütztes, elektromagnetisches Abschirmblatt, bestehend aus dem Schutzfilm/PET- Film/Klebeschicht/netzartige Kupferfolie, zu erhalten.

Beispiele 2 bis 5 und Vergleichsbeispiele 1 bis 3

Das Verfahren von Beispiel 1 wurde wiederholt mit der Voraussetzung, daß Kupferfolien, die Rmax- und Ra-Werte, wie sie in Tabelle 1 gezeigt sind, anstelle der Kupferfolie angewandt wurden, die in Beispiel 1 verwendet wurde, wodurch geschützte, elektromagnetische . Abschirmblätter von Beispielen 2 bis 5 und Vergleichsbeispielen 1 bis 3 erhalten wurden, die jeweils aus dem Schutzfilm/PET- Film/Klebeschicht/netzartige Kupferfolie bestehen.

Ergebnisse der Auswertung

Die geschützten, elektromagnetischen Abschirmblätter von Beispielen 1 bis 5 und Vergleichsbeispielen 1 bis 3 wurden in bezug auf Rmax, Ra Luftblasen (Vorhandensein von Luftblasen und ihre Größe (Durchmesser in µm)), Zeit (Sekunden), die für eine Vakuumbehandlung erforderlich ist, und Aussehen überprüft. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt. Die "Vakuumbehandlungszeit" in der Tabelle bezieht sich auf die Zeit, die vergangen ist, bevor der Vakuumgrad 1 Pa erreichte, gemessen von dem Beginn der Vakuumbehandlung, welche mit der Verwendung eines Vakuumbackrahmens durchgeführt wurde, um die photoempfindliche Harzschicht und die Photomaske in Blattform, die auf der photoempfindlichen Harzschicht angeordnet ist, in engen Kontakt zu bringen. Es ist bevorzugt, daß die Vakuumbehandlungszeit kleiner als 100 Sekunden ist. Das "Aussehen" wurde durch visuelles Beobachten bzw. Überprüfen der elektromagnetischen Abschirmblätter ausgewertet, ob sie opak oder trüb aufgrund des Vorhandenseins von Luftblasen waren und ob sie einer Farbveränderung unterworfen wurden. In der Tabelle wurden jene elektromagnetischen Abschirmblätter, die als beträchtlich schlecht in bezug auf das Aussehen gefunden wurden, mit "NG" markiert, während jene, welche als exzellent im Aussehen gefunden wurden, mit "OK" markiert wurden. Die elektromagnetischen Abschirmblätter von Beispielen 1 bis 5 waren in allen ausgewerteten Merkmalen gut; während jene der Vergleichsbeispiele 1 und 2 im "Aussehen" schlecht waren und jenes von Vergleichsbeispiel 3 in der "Vakuumbehandlungszeit" schlecht war (übermäßig lange Zeit war für die Vakuumbehandlung notwendig). Tabelle 1

Claims

1. Elektromagnetisches Abschirmblatt, umfassend:
einen transparenten Substratfilm; und
eine netzartige, metallische Folie mit einem dicht bzw. eng beabstandeten Feld von Öffnungen, die auf eine Oberfläche des transparenten Substratfilms mit einer Klebeschicht laminiert ist;
worin wenigstens eine Oberfläche an der Seite der Klebeschicht der metallischen Folie eine derartige Oberflächenrauheit aufweist, daß eine maximale Höhe Rmax, die in JIS B0601 definiert ist, größer als 0 und kleiner als 4 µm ist.

2. Elektromagnetisches Abschirmblatt nach Anspruch 1, worin die maximale Höhe Rmax größer als 0 und 2 µm oder kleiner ist.

3. Elektromagnetisches Abschirmblatt nach Anspruch 1, worin wenigstens eine Oberfläche der metallischen Folie gegenüberliegend der Oberfläche an der Seite der Klebeschicht eine derartige Oberflächenrauheit aufweist, daß eine arithmetische, mittlere Rauheit Ra, die in JIS B0601 definiert ist, in einem Bereich zwischen 0,02 µm und 1 µm liegt.

4. Elektromagnetisches Abschirmblatt nach Anspruch 1, worin eine Oberfläche, die einer verdunkelnden bzw. Nachdunkelungsbehandlung unterworfen ist, auf der Oberfläche an der Seite der Klebeschicht der metallischen Folie ausgebildet ist.

5. Elektromagnetisches Abschirmblatt nach Anspruch 1, worin eine Oberfläche, die einer Nachdunkelungsbehandlung unterworfen ist, auf der Oberfläche der metallischen Folie gegenüberliegend der Oberfläche an der Seite der Klebeschicht ausgebildet ist, worin ein Reflexionsvermögen des sichtbaren Lichts an der der Nachdunkelungsbehandlung unterworfenen Oberfläche 5% oder weniger beträgt.

6. Elektromagnetisches Abschirmblatt nach Anspruch 1, worin die Klebeschicht Luftblasen enthält, die Durchmesser von weniger als 50 µm aufweisen.

7. Elektromagnetisches Abschirmblatt nach Anspruch 1, worin die Klebeschicht Luftblasen enthält, die Durchmesser von 20 µm oder weniger aufweisen.

8. Verfahren zur Herstellung eines elektromagnetischen Abschirmblatts, umfassend die Schritte:
Ausbilden, als eine Basis eines elektromagnetischen Abschirmblatts, eines Laminats durch Laminieren einer metallischen Folie auf eine Oberfläche eines transparenten Substratfilms mit einer Klebeschicht;
Laminieren einer photoempfindlichen Harzschicht auf die metallische Folie in dem Laminat;
Durchführen einer musterartigen Belichtung durch ein Anwenden von ionisierender Strahlung auf die photoempfindliche Harzschicht, die auf der metallischen Folie in dem Laminat ausgebildet ist;
Entwickeln der belichteten, photoempfindlichen Harzschicht, so daß eine Resistschicht in dem vorbestimmten Muster verbleiben kann; und
Ätzen der metallischen Folie in dem Laminat, indem von der Resistschicht Gebrauch gemacht wird, um die metallische Folie in eine Netzform mit einem eng beabstandeten Feld von Öffnungen auszubilden;
worin wenigstens eine Oberfläche an der Seite der Klebeschicht der metallischen Folie eine derartige Oberflächenrauheit aufweist, daß eine maximale Höhe Rmax, die in JIS B0601 definiert ist, größer als 0 und kleiner als 4 µm ist.

9. Verfahren nach Anspruch 8, worin die maximale Höhe Rmax größer als 0 µm und 2 µm oder kleiner ist.

10. Verfahren nach Anspruch 8, weiters umfassend den Schritt eines Aufbringens einer Photomaske in Blattform auf die photoempfindliche Harzschicht und eines unter Unterdruck Setzens bzw. Vakuumbehandelns auf einen vorbestimmten Druck, um die photoempfindliche Harzschicht und die Photomaske in engen Kontakt zu bringen;
worin in dem Schritt eines Ausführens einer musterartigen Belichtung die ionisierende Strahlung auf die photoempfindliche Harzschicht durch die Photomaske aufgebracht wird, und
wenigstens eine Oberfläche der metallischen Folie gegenüberliegend zu der Oberfläche an der Seite der Klebeschicht eine derartige Oberflächenrauheit aufweist, daß eine arithmetisch mittlere Rauheit Ra, die in JIS B0601 definiert ist in einem Bereich zwischen 0,02 µm und 1 µm liegt.

11. Verfahren nach Anspruch 8, worin die Oberfläche an der Seite der Klebeschicht oder beide Oberflächen der metallischen Folie einer verdunkelnden bzw. Nachdunkelungsbehandlung unterworfen wurden.