DE2820196A1 - Verfahren zur herstellung einer duennen kupferfolie - Google Patents

Verfahren zur herstellung einer duennen kupferfolie

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DE2820196A1
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Irving Joseph Hutkin
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CALIFOIL Inc
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D1/00Electroforming
    • C25D1/04Wires; Strips; Foils

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft Metallfolien und ihre Herstel-
  • lung, sie betrifft insbesondere ein verbessertes Verfahren und eine verbesserte Verbundstruktur zur Herstellung einer von einem Substrat getragenen dünnen Kupferfolie.
  • Kupferfolien werden seit vielen Jahre zur Herstellung von gedruckten Schaltungen verwendet, wobei sie üblicherweise in Form eines Laminates aus Kupferfolie und eines wärmehärtbaren Plastikmateriales vorliegen, wobei letzteres zum Beispiel ein Phenolharz oder ein Eboxiharz sein kann. Dieses Plastikmaterial ist seinerseits oft durch Papier, Glas, Gewebe oder Fasern verstärkt.
  • In den letzten Jahren hat es sich herausgestellt, daß es sehr vorteilhaft ist, wenn Laminate zur Herstellung gedruckter. Schaltungen eine Kupferfolie aufweisen, die erheblich dünner ist als dies früher der Fall war. Für gewisse Anwendungsfälle ist es nämlich erforderlich, daß verschiedene Leiterlemente viel geringere Breite aufweisen müssen als bisher und viel näher beieinander angeordnet werden müssen, damit eine stärkere Miniaturisierung der gedruckten Schaltung möglich wird. Außerdem will man die Kupfermenge, die durch Ätzen entfernt werden muß, vermindern, damit sowohl die Kosten für das Ätzmittel als auch die mit der Verwendung verbrauchten Ätzmittels entstehenden Probleme vermindert werden.
  • Nach bekannten Verfahren lassen sich Kupferfolien mit einer Dicke bis herab zu einem Flächengewicht von etwa 0,015 g/cm2 (0,5 oz.per sq ft) dadurch herstellen, daß man Kupfer als Folie auf die Oberfläche einer langsam umlaufenden Stahltrommel durch Elektropladieren aufbringt. Die Oberfläche der Stahltrommel ist speziell präpariert, um ein festes Haften der Kupferschicht auf der Trommel zu verhindern. Durch entsprechende Wahl in Drehzahl der Stahltrommel und der Arbeitsbedingungen beim Elektroplatieren kann man eine Kupferfolie mit gewünschter Dicke aufplatieren.
  • Wird jedoch eine Kupferfolie mit einem Flächengewicht von 0,015 g/cm2 hergestellt, so wird diese Folie extrem schwierig handhabbar. Wird diese Folie zu bogenförmigen Abschnitten geschnitten und in der Laminierpresse angeordnet, so zerknittert und faltet sich die Folie oft und zerreißt, wenn kein Träger verwendet wird, durch welchen die Folie abgestützt wird, oder wenn nicht ganz außerordentliche Sorgfalt aufgewandt wird. Bei Foliendicken entsprechend Flächengewichten von erheblich weniger als 0,015 g/cm2 ist die Verwendung eines dünnen Trägers, z.B. eines Plastikfilmes oder einer Metallfolie in vielen Fällen unerläßlich.
  • üblicherweise wird die Kupferfolie mit der gewünschten geringen Dicke daher durch elektrolytische Abscheidung auf der Oberfläche der Folie oder des Trägers direkt hergestellt. Die Folie kann auch noch zusätzlich auf dem Träger befindlich behandelt werden, um die spätere feste Verbindung zu dem permanenten Plastiksubsrat beim Laminieren zu verbessern. Verfahren zur derartigen Herstellung von Kupferfolien sind dem Fachmann bekannt.
  • Nach Herstellung der Kupferfolie und nach einer Zusatzbehandlung der Folie auf dem für sie jeweils verwendeten Träger werden die Folie und die Träger auf die Größe geschnitten, wie sie für das fertige Laminat gewünscht wird. Der zugeschnittene Abschnitt wird mit dem noch nicht ausgehärteten, üblicherweise verstärkten Plastiksubstrat in einer Presse zusammengebracht, und dann wird die so erhaltene Einheit erwärmt und unter Druck gesetzt, wodurch die behandelte Oberfläche der dünnen Kupferfolie permanent mit dem verstärkten Plastiksubstrat verbunden wird. Da der Träger immer noch an der anderen Oberfläche der dünnen Kupferfolie befestigt ist, muß dieser dann noch entfernt werden. Dies kann entweder durch Abziehen des Trägers oder durch Auflösen des Trägers unter Verwendung von Chemikalien erfolgen.
  • Ist der Träger ein Plastikfilm, so muß er zunächst chemisch vorbehandelt werden, damit auf ihn durch elektrolytische Abschaltung oder durch Vakuumaufdampfen eine sehr dünne metallische Schicht aufgebracht werden kann. Erst dann kann die dünne Kupferfolie durch iektroplatiieren in der gewünschten Dicke auf diese dünne erste Met.allschicht aufgebracht werden. Die Vorbehandlung eines Plastikfil-.nes durch Vakuumaufdampfen von Metall ist sehr kostspielig; darüber hinaus sind Verfahren zum einwandfreien Metallisieren von Plastikmaterialien ohne Bildung kleiner Löcher unterschiedlicher Größe noch nicht bekannt.
  • Infolge dieser Mängel wurde bisher eine Metallfolie als Träger verwendet. Da diese schon elektrisch leitend ist, ist eine Metallisierung nicht erforderlich. Als Trägerfolien werden üblicherweise solche aus Kupfer und Aluminium verwendet. Bevor jedoch auf einen Träger aus Kupfer die dünne Kupferfolienschicht aufgebracht werden kann, muß die Oberfläche des Trägers aus Kupfer speziell präpariert werden, um ein zu starkes Haften der Kupferfolie am Kupferträger zu verhindern. Hierzu sind schon verschiedene Verfahren vorgeschlagen worden, mit denen jedoch keine zufriedenstellenden Ergebnisse erhalten werden.
  • Aus Kostengründen wären die geeignetsten Materialien für die Träger dünner Kupferfolien billige Metallfolien, zum Beispiel solche aus Aluminium, Messing, Stahl und rostfreiem Stahl, wobei deren Dicke zwischen 0,025 mm und 0,25 mm (1 mil bis zu 10 mil) beträgt, je nachdem wie groß die Härte bzw. die mechanischen Eigenschaften der Folie sind.
  • Bisher war es nicht möglich, diese metallischen Folien so zu präparieren, daß auf sie eine dünne, nicht poröse Kupferfolienschicht aufgebracht werden konnte, welche nur schwach an der Oberfläche des Trägers haftet.
  • In der Vergangenheit ist schon die Verwendung von Aluminiumfolie als Träger untersucht worden, und es sind zwei Verfahren vorgeschlagen worden, welche die Verwendung von Aluminium als Träger gestatten sollen. Bei dem ersten Verfahren erfolgt das Aufpladieren des Kupfers direkt über die sowieso auf dem nicht geschützten Aluminium stets vorhandene Oxidschicht. Dabei wird aber zunächst die Aluminiumoberfläche noch behandelt, um eine gleichförmige Oxydschicht vorgegebener Stärke zu erhalten.
  • Bei dem zweiten Verfahren, das Zinkbeschichtungsverfahren genannt wird, wird die Aluminiumoxidschicht der Aluminiumfolie entfernt und durch eine dünne Zinkschicht ersetzt. Wird jedoch die dünne Kupferfolie auf die Zinkschicht aufgebracht, so sind die Adhäsionskräfte zwischen der Kupferfolie und der Zinkschicht verhältnismäßig stark.
  • Es besteht somit nach wie vor ein Bedürfnis nach einem einfachen, wirtschaftlichen Verfahren zur Herstellung dünner, porenfreier Kupferfolien.
  • Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren erlaubt somit die Verwendung billiger Metallfolien, z.B. solcher Folien aus Messing, Aluminium, Stahl oder rostfreiem Stahl als Träger für die Kupferfolie. Hierzu wird die Oberfläche der Träger mit einem frischen plattierbaren Metall versehen, vorzugsweise Chromoxid.
  • Von Metallen getragene Oxidfilme sind elektrisch nicht leitend. Es finden sich jedoch in den meisten Oxidschichten Fehlstellen, durch welche sehr kleine Ströme fließen können. Chromoxidschichten, insbesondere frisch zubereitete Chromoxidschichten, haben jedoch durchgehend gleichförmig geringe Dicke und enthalten eine große Anzahl derartiger Fehlstellen oder Löcher, durch welche ein Strom ohne weiteres hindurchfließen kann. Bei diesen Löchern erfolgt beim Elektroplat tieren die eigentliche Keimbildung des aufgebrachten metallischen Kupfers. Die Dichte dieser Keimbildungszentren ist bei frisch präparierten Chromoxiden so groß, daß das auf die Keimbildungszentren aufplatfierte Kupfer sehr bald in seitlicher Richtung weiter wächst, wodurch die Oberfläche des Trägers vollständig überdeckt wird und eine porenfreie Kupferfolie erhalten wird.
  • Darüber hinaus erhält man nur sehr geringe Adhisionskräfte an der Trennfläche zwischen der aufplatierten metallischen Kupferfolie und dem Chromoxid, so daß die aufplaitierte metallische Kupferfolie leicht ohne Beschädigung vom Träger abgezogen werden kann. Andere Metalle, die hierzu mit ähnlich guten Ergebnissen verwendbar sind, sind Nickel und Kobalt. Die Oxide der meisten anderen Metalle, z.B.
  • Aluminiumoxid enthalten zwar ebenfalls Keimbildungszentren, die Anzahl dieser Keimbildungszentren ist aber entweder nicht groß genug oder die Keimbildungszentren sind nicht ausreichend gleichförmig verteilt.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in Unteransprüchen angegeben. Nachstehend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen: Figur 1: eine seitliche Ansicht einer metallischen Verbundfolie, die nach erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt ist; Figur 2: eine seitliche Ansicht einer metallischen Verbundfolie, die nach einem abgewandelten erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt ist.
  • Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung einer dünnen, porenfreien Kupferfolie wird eine dünne Trennschicht aus Chromoxid auf die Oberfläche eines ausgewählten dünnen metallischen Trägers aufgebracht. Die Trennschicht enthält eine Vielzahl kleiner Löcher, auf die dann später Kupfer durch Elektroplatieren aufgebracht werden kann, so daß eine porenfreie Folie erhalten wird.
  • Wie Figur 1 zeigt, besteht der Träger aus einer verhältnismäßig billigen Metallfolie 1, deren Stärke etwa 0,025 - etwa 0,5 mm oder mehr beträgt. Derartige Metallfolien können z.B. aus Messing, rostfreiem Stahl oder niederen Kohlenstoffgehalt aufweisendem Stahl bestehen, vorzugsweise wird jedoch als Material Aluminium verwendet.
  • Besteht die Metallfolie 1 aus Aluminium, so wird das Aluminium in einer geeigneten Lösung, z.B. einer Lösung aus gebrannter Soda geätzt. Hierdurch wird das Aluminiumoxid entfernt. Darauf wird die geätzte Aluminiumoberfläche mit einer dünnen Schicht 2 aus Zinn oder Zink versehen, was durch stromloses Überziehen in einem entsprechenden Zinkbad oder Zinnbad erfolgt. Das Aufbringen einer Zinkschicht auf das Aluminium kann z.B. in einer wässrigen Lösung erfolgen, die Natriumhydroxid, Zinkoxid, Eisen(IW -Chlorid und Rochell-Salz (Kalium-Natrium-Tartrat, KNa4C4H4C6 x 4H2O) enthält.
  • Ein Stahl mit niederem Kohlenstoffgehalt und Messing können dadurch in geeigneter Weise aktiviert werden, daß man sie 5 - 16 Sekunden lang bei Raumtemperatur in ein10 %ige wässrige Salzsäurelösung eintaucht. Rostfreier Stahl kann dadurch aktiviert werden, daß man ihn 3 Minuten lang in 50 %iger wässriger Salzsäure bei Raumtemperatur mit einer Stromstärke von 0,005 A/cm2 (5 A/ sq.fb.) behandelt. Diese Präparierung des rostfreien Stahles entspricht einem kathodischen Ätzen.
  • Die aus Chromoxid bestehende Schicht 3 wird vorzugsweise iisitu auf der Oberfläche des aktivierten metallischen Trägers dadurch erzeugt, daß man eine dünne Schicht aus Chrom, mit einer Stärke von beispielsweise 0,5 - 1,25 p (20 - 500 mikroinch) durch Elektroplatieren aufbringt. Diese Schicht bedeckt die Oberfläche des metallischen Trägers im wesentlichen ganz. Das Chrom kann auch auf andere geeignete Weise aufgebracht werden. Vorzugsweise wird jedoch das Aufbringen durch Elektroplaitieren verwendet, wobei eine Stromdichte von 0,011 - 0,22 A/cm2 (10 - 200 A/sq.ft.) verwendet wird. Die Behandlungsdauer beträgt 2 - 10 Minuten, und die Badlösung ist eine wässrige Lösung aus Chromsäure und Schwefelsäure.
  • Auf diese Weise wird die Trennschicht mit der gewünschten minimalen Dicke erzeugt. Das frisch aufgebrachte Chrom bildet sofort eine Oberflächenschicht 4 aus Chromoxid, wenn die Schicht nach dem Herausnehmen aus dem Chrom-Elektroplatierbad mit Wasser gespült wird.
  • Anstelle von Chrom kann auch eine Schicht aus Nickel oder Kobalt auf die aktivierte oder mit Zink beschichtete Oberfläche des Trägers als Trennschicht aufgebracht werden. Mit Chrom werden jedoch besonders gute Ergebnisse erhalten.
  • Als nächster Schritt wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren eine Schicht 5 aus Kupfer im wesentlichen sofort auf die Trennschicht 4 aufgebracht, die aus frisch iisitu erzeugten Chromoxid besteht. Das Aufbringen des Kupfers erfolgt normalerweise durch Elektropladieren; es können jedoch auch andere Verfahren verwendet werden. Die Trennschicht wird mit Wasser gespült, um Reste der Chrom-Elektroplattier-Badlösung zu entfernen, bevor das Kupfer aufgebracht wird.
  • Das Aufbringen des Kupfers wird solange fortgeführt, bis eine gleichförmige, porenfreie dünne Kupferschicht 5 erhalten wird, deren Dicke kleiner ist, oft erheblich kleiner ist als einem Flächengewicht von 0,015 g/cm2 (0,5Oz./sq.ft.) entspricht. Diese Kupferschicht wird auf die Oberfläche des Trägers aufgebracht, welche mit der Trennschicht versehen ist.
  • Auf diese Weise kann man durch elektrolytische Abscheidung auf der Trennschicht Folien mit einer Dicke bis herab zu einem Flächengewicht von 0,003 g/cm2 herstellen, und man kann diese sehr dünnen Folien in Laminate einbauen, die dann später bei der Herstellung miniaturisierter gedruckter Schaltungen und dergl. verwendet werden.
  • Die Herstellung der Kupferfolie kann entweder unter Verwendung einer einzigen Badlösung oder unter Verwendung zweier unterschiedlicher Kupferplaitierlösungen erfolgen, also in einem ersten raschen Niederschlagen von Kupfer, auf welches das eigentliche Aufbauen der Folie folgt. Die Kupferfolie kann somit auf der Chromoxidschicht des Trägers ausgehend von einer einzigen sauren Kupferplatierlösung hergestellt werden. Die Zusammensetzungen derartiger Badlösungen sind dem Fachmanne bekannt.
  • Der sauren Kupferbadlösung können noch weitere Zusätze zugefügt werden, damit die Kupferfolie bestimmte ausgewählte Eigenschaften ihres kristallinen Gefüges aufweist. Gibt man der elektrolytischen Badlösung kleine Mengen Gelatine, Phenylsulfonsäure oder Kleister zu, so wird die Bildung stabförmiger Kupferkristalle gefördert; gibt man dagegen Thioharnstoff, Molasse oder Dextrin zu, so erhält man einen glatten Überzug aus äquiaxialen Kristallen.
  • Stattdessen kann es zuweilen auch vorteilhaft sein, zunächst eine erste, dünne Schicht aus Kupfer rasch auf der Chromoxidschicht der Oberfläche des Trägers unter Verwendung eines Keimbildungsbades (strikebath) rasch niederzuschlagen, bevor man die eigentliche Kupferfolie aufbaut. Hierzu kann eine Kupferzyanid-Keimbildungslösung vom Rochell-Salztyp verwendet werden, die eine Temperatur von 4CC hat.
  • In diesem Keimbildungsbad wird üblicherweise mit einer Stromdichte von 0,026 A/qm2 (25A/sq.ft.) gearbeitet, um zunächst eine dichte, nichtporöse Kupferunterschicht auf der Chromoxidoberfläche des Trägers zu erzeugen. Nach dem Abspülen der zum Erzeugen der Unterschicht verwendeten Badlösung wird dann das Elektropladieren fortgesetzt, um die Kupferfolie in der gewünschten Dicke zu erzeugen.
  • Hierzu wird die schon oben angeführte saure Kupferplattierbadlösung oder eine äquivalente Lösung verwendet. Falls gewünscht, kann der Träger nach dem Aufbringen der ersten Unterschicht aus Kupfer auf die frisch bereitete Chromoxidoberfläche zusammen mit der auf ihm befindlichen dünnen Kupfer-Unterschicht beliebig lange gelagert werden, da durch die dünne erste Kupferschicht die Trenneigenschaften der Chromoxidschicht konserviert werden. Soll später der Aufbau der Kupfer schicht zu Ende geführt werden bis zur gewünschten Endstärke der Folie, so kann die dünne Kupfer-Unterschicht leicht durch dem Fachmanne bekannte Verfahren wieder aktiviert werden, und das erforderliche Kupfer kann durch Elektroplatieren zusätzlich auf die Kupfer-Unterschicht aufgebracht werden.
  • Um das Haftvermögen der Kupferfolie auf einem Plastiksubstrat zu verbessern, auf welches die Kupferfolie laminiert wird, bevor sie in die gewünschten Leiterbahnen geätzt wird, können auf die freiliegende Oberfläche der Kupfer schicht mikroskopisch kleine Erhebungen aus Kupfer und Kupferoxid aufgebracht werden. Eine entsprechende Schicht ist in der Zeichnung mit 6 bezeichnet. Hierzu kann ein Verfahren verwendet werden, das dem Fachmann als "Oxidbehandlung" bekannt ist und bei dem eine Stromstärke verwendet wird, die an für sich für die jeweilige Zusammensetzung des Kupferbades, die jeweilige Temperatur und das jeweilige Rühren zu groß ist. Die so niedergeschlagene Schicht 6 besteht aus mikroskopisch kleinen Partikeln aus miteinander vermischtem metallischen Kupfer und Kupferoxid. Diese Partikel stehen von der freiligenden Oberfläche der Kupferfolie über.
  • In jüngster Zeit wurde herausgefunden, daß man noch bessere Resultate dann erhalten kann, wenn auf die "Oxidbehandlung" ein weiteres Elektroplattieren folgt, bei dem eine geringe Menge reinen Kupfers über dem Oxid abgeschieden wird, so daß letzteres eingekapselt wird.
  • Zur Durchführung der "Oxidbehandlung" kann man z.B. eine wässrige Badlösung verwenden, die pro Liter 45 g Kupfersulfat und 98 g Schwefelsäure enthält (entsprechend 6 oz/gal bzw. 13 oz/gal). Mit dieser Lösung wird bei Zimmertemperatur bei einer Stromdichte von 0,12 A/qm2 (110 A/sq.ft.) gearbeitet; die Behandlungszeit beträgt etwa 30 Sekunden. Nach dem Abspülen der Badlösung kann das oben beschriebene Einkapseln des Oxids dadurch durchgeführt werden, daß man eine Badlösung verwendet, die dieselbe Zusammensetzung aufweist, wie das zum Herstellen der Folie verwendete saure Kupferbad. Arbeitet man 2 Minuten lang mit einer Stromdichte von 0,026 A/qm2 (25 A/ sq.ft.), so erhält man die gewünschte Einkapselung.
  • Wünscht man noch höhere Adhäsionekr<Efte zwischen Kupferfolie und Laminat, wie sie durch die oben beschriebene Behandlung allein nicht erhalten werden können, so ist es vorteilhaft, die Oberfläche 1a (vergl. Figur 2) des metallischen Trägers aufzurauhen, d.h.
  • mit einer Textur zu versehen, bevor die oben beschriebene "Oxidbehandlung" durchgeführt wird. Auf diese aufgerauhte Oberfläche 1a wird dann eine Schicht 3a aus Chrom mit minimaler Dicke (0,05 - 5 A) aufgebracht, so daß die durch die Aufrauhung erhaltene Textur des Trägers erhalten bleibt und auch in der dünnen folienähnlichen Kupferschicht 5a erhalten bleibt, die elektrolytisch über der Chrom-Trennschicht niedergeschlagen wird.
  • Die Rauhigkeit der Oberfläche der metallischen Trägerfolie wird so gewählt, daß beim Abtrennen der Kupferschicht von der Trägerfolie keine kleinen Oberflächenbereiche der Kupfer schicht abgerissen werden. Unter idealen Bedingungen sollte die mikroskopische Oberflächengeometrie der Trägeroberfläche durch pyramidenförmige Vorsprünge vorgegeben sein, deren Höhe 0,0025 - 0,0125 mm (0,1 - 0,5 mil) beträgt. Auch aufgerauhte Oberflächen mit anderer Mikrogeometrie sind gut verwendbar, wenn sie offene Ausnehmungen aufweisen.
  • Vor dem Aufbringen der Chromschicht kann man der Oberfläche der Trägerfolie die gewünschte Oberflächenrauhigkeit durch ein beliebiges verschiedener bekannter Verfahren verleihen, z.B. durch mechanisches Aufrauhen, durch chemisches Ätzen und/oder durch anodisches Ätzen. Auch ein makroskopisches Ätzen, wie es dem Fachmanne bekannt ist, kann verwendet werden.
  • Die Rauhigkeiten aufweisende, texturierte Kupferfolie kann ebenfalls einer "Oxidbehandlung" unterworfen werden, wodurch eine Schicht 6a erhalten wird, die aus Kupfer- und Kupferoxidpartikeln besteht, wie oben schon beschrieben worden ist. Durch eine derartige Schicht 6a wird das Haftvermögen der Kupferfolie weiter verbessert, bei manchen Anwendungsfällen kann die Kupferfolie auch ohne weitere Behandlung zu einem Laminat verarbeitet werden.
  • Die dünne Kupferfolie ist nun völlig fertiggestellt und läßt sich auf ein Plastiksubstrat laminieren, wodurch man ein Laminat zur Herstellung gedruckter Schaltungen erhält. Bei einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist ein Verbundmaterial die über die Chromoxidschicht auf der Trägerfolie liegende Kupferfolie auf.
  • Dieses Verbundmaterial läßt sich somit durch die ersten beiden Schritte des erfindungsgemäßen Verfahrens herstellen.
  • Bei dem dritten Schritt des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die über die Chromoxidschicht auf der dünnen metallischen Trägerfolie angeordnete dünne Kupferfolie leicht von der Trägerfolie abgezogen.
  • Dies erfolgt üblicherweise nach dem Auflaminieren eines Plastiksubstrates auf die freiligende Oberfläche der Kupferfolie. Hierzu kennen herkömmliche Laminier-Verfahrensparamter verwendet werden.
  • Das Abziehen der dünnen metallischen Trägerfolie erfolgt nach dem ii Größe Schneiden. des Laminates, jedoch vor dem Herausätzen der endgültigen Leitermuster im Laminat. Das Abziehen der Trägerfolie läßt sich ohne jegliche Schwierigkeiten ausführen. Ein leichter Fingerdruck reicht dazu aus, die Trägerfolie zusammen mit der auf ihr befindlichen Trennschicht von der Kupferfolie zu trennen.
  • Nachstehend werden noch zwei Beispiele für die Herstellung einer sehr dünnen Kupferfolie in Einzelheiten angegeben.
  • Beispiel I: Bei Proben A wird als Trägerfolie eine Folie aus reinem Aluminium verwendet, deren Stärke etwa 0,075 mm (3 mil) beträgt und die halbhart ist. Für Proben B wird als Trägerfolie eine Aluminiumfolie verwendet, deren Dicke 0,175 mm (7 mil) beträgt und die viertelhart ist. Für Proben C wird eine Aluminiumfolie verwendet, deren Dicke 0,05 mm (2 mil) beträgt und die dreiviertelhart ist.
  • Bei den Proben A wird die Aluminiumfolie vor dem Aufbringen der Chromoxidtrennschicht zunächst dadurch präpariert, daB sie geätzt wird und dann mit einer Zinkschicht versehen wird. Letzteres erfolgt durch Aufbringen einer sehr dünnen Schicht leicht plattierbaren Zinkes über die gesamte Oberfläche des Aluminiums. Das Ätzen des Aluminiums erfolgt durch Eintauchen der Aluminiumfolie in eine wässrige Badlösung aus gebrannter Soda (Konzentration 60 - 75 g/l entsprechend 8 - 10 oz./gal). Die Arbeitstemperatur beim Ätzen beträgt 82 - 940 C (180 - 2000 F), die Behandlungszeit 5 - 10 Sekunden. Nach dem Abspülen mit Wasser wird das geätzte Aluminium in eine 50 %ige wässrige Salpetersäurelösung eingetaucht, und nach nochmaligem Abspülen mit Wasser wird die Folie dadurch mit Zink beschichtet, daß sie in der nachstehend angegebenen wässrigen Lösung 30 Sekunden lang bei Raumtemperatur behandelt wird: Natriumhydroxid 525 g/l (70 oz/gal) Zinkoxid 98 g/l (13 oz/gal) Eisen (III)-Chlorid 0,98g/l(0,13 oz/gal) Rocheli-Salz 9,8 g/l (1,3 oz/gal) Bei der Herstellung der Proben B erfolgt ein doppeltes Aufbringen einer Zinkschicht, d.h. man ersetzt das Ätzbad durch eine getrennte wässrige Lösung zum Verzinken mit der nachstehenden Zusammensetzung: Natriumhydroxid 525 g/l (70 oz/gal) Zinkoxid 98 g/l (13 oz/gal) Bei diesen Verfahren führt die Behandlung mit Salpetersäure zur Entfernung der beim ersten elektrolytischen Aufbringen von Zink abgeschiedenen Zinkschicht, und diese Zinkschicht wird beim zweiten Verzinken durch eine gleichförmigere Zinkschicht ersetzt.
  • Bei der Herstellung von Proben C wird das Ätzen und das Behandeln mit Salpetersäure genauso ausgeführt wie bei der Herstellung der Proben A. Anstelle des Aufbringens einer Zinkschicht bei den Proben A erfolgt jedoch hier das Aufbringen einer Zinnschicht. Dieses Aufbringen erfolgt derart, daß man wiederum eine dünne Schicht erhält, die diesmal aus Zinn anstatt aus Zink besteht. Die hierzu verwendete Badlösung hat die nachstehende Zusammensetzung: Kaliumzinnat 60 g/l (8 oz/gal) Kaliumzyanid 56,3 g/l (7,5 oz/gal) Kaliumhydroxid 94 g/l (12,5 oz/gal) Die Alumiumfolie wird bei Raumtemperatur etwa 45 Sekunden lang in die Zinnatlösung eingetaucht. Stattdessen kann auch eine Speziallösung verwendet werden, die leichter einstellbar ist und von der M & T Chemical Company unter dem Handelsnamen "Alstan Process" vertrieben wird.
  • Die mit Zink oder Zinn beschichtete Aluminiumfolie wird sowohl bei der Herstellung von Proben A als auch bei der Herstellung von Proben B und C jeweils nach Abspülen mit Wasser in eine wässrige Lösung eingebracht, die nachstehende Zusammensetzung hat: Chromsäure 340 g/l (45 oz/gal) Schwefelsäure 3,4 g/l (0,45 oz/gal) In dieser Lösung wird bei einer Stromdichte von 0,01 bis 0,2 A/cm2 (10 - 200 A/sq.ft.) innerhalb einer Zeitspanne von etwa 2 - 10 Minuten eine Schicht im wesentlichen rißfreien Chroms aufplatiert.
  • Genauer gesagt wird bei der Herstellung von Proben A 2 Minuten lang bei einer Stromdichte von 0,016 A/cm2 gearbeitet, bei der Herstellung von Proben B 6 Minuten lang bei einer Stromstärke von 0,009 A/cm2 aufplatiert und bei der Herstellung von Proben C 10 Minuten lang mit einer Stromstärke von 0,004 A/cm2 aufplattiert. In jedem Fall ist die Plaitierzeit und die Stromdichte so eingestellt, daß man eine Chromschicht minimaler Dicke abscheidet, welche gerade noch eine die mit Zink oder Zinn beschichtete Oberfläche vollständig überdeckende Chromoxidschicht ergibt. Je nach der Rauhigkeit dieser Oberfläche erhält man dies nach Aufbringen einer Chromschicht von 0,05 - 1,25 PL . Bei diesem Aufbringen von Chrom durch Elektroplatieren werden gegenüber der zu plattierenden Oberfläche der Folie sich nicht verbrauchende Bleianoden aufgestellt. Stattdessen können auch Anoden aus Bleilegierungen oder andere Anoden verwendet werden.
  • Sowohl bei der Herstellung von Proben A als auch bei der Herstellung von Proben B und C wird der durch die Aluminiumfolie gebildete Träger unmittelbar nach dem Aufbringen von Chrom durch ElektroplaS tieren mit Wasser gespült, und unmittelbar hiernach wird die Aluminiumfolie durch Elektroplatieren mit Kupfer beschichtet. Auf diese Weise erhält man die gewünschte dünne Kupferfolie auf der durch Chromoxid gebildeten Trennschicht, die ihrerseits itsitu auf dem Aluminiumträger erzeugt worden ist. Das Aufbringen des Kupfers durch Elektroplatieren erfolgt bei einer Stromstärke von 0,05 A/cm2 (45 A/sq.ft.) innerhalb von 9 Minuten bei einer Badtemperatur von etwa 240C (800 F). Die Chromoxidschicht steht dabei in Berührung mit einem wässrigen Bad, das 200 g Kupfersulfat pro Liter (27 oz/ gal) und 75 g Schwefelsäure pro Liter (10 oz/gal) enthält. Man erhält dabei auf der aus Chromoxid bestehenden Trennschicht eine reine, porenfreie, dünne Kupferfolie mit einer Dicke, wie sie sich für ein Flächengewicht von 0,01 g/qm2 (0,3 oz/sq.ft.) berechnet.
  • Es wurden ferner Proben D, E, F parallel zu den Proben A, B, C hergestellt, bei denen die Bedingungen beim Aufbringen des Chroms den gleichen Veränderungen unterlagen; nur wurde bei einer jeden der Proben D, E und F die frisch hergestellte Chromoxidschicht sofort mit einer Kupfer-Unterschicht versehen, wobei mit einer Stromdichte von 0,027 A/cm2 (25 A/sq.ft.) bei 400 C gearbeitet wurde. Das wässrige Bad hat die nachstehende Zusammensetzung: Kupferzyanid 41 g/l (5,5 oz/gal) Natriumzyanid 50 g/l (6,6 oz/gal) Natriuinkarbonat 30 g/l (4,0 oz/gal) Rochellt-Salz 60 g/l (8,0 oz/gal) Nach dem Spülen mit Wasser wird die mit einer Kupferschutzschicht versehene Chromoxidschicht dann durch Elektroplatieren mit Kupfer versehen, genauso wie dies oben unter Bezugnahme auf die Proben A, B und C beschrieben worden ist. Es wird jedoch eine Dicke der Kupferschicht hergestellt, wie sie einem Flächengewicht von 0,007 g/cm2 (0,25 oz/sq.ft.) entspricht, wozu mit einer Stromdichte von 0,054 A/cm2 (50 A/sq.ft.) gearbeitet wird. Die Plaitierzeit beträgt 6 Minuten, die Badtemperatur 240 C (800 F). Das Aufbringen der volle Stärke aufweisenden Kupferschicht durch Elektroplatieren erfolgte bei den Proben D, E, F eine Woche nach dem Aufbringen der Kupferschutzschicht. Unmittelbar vor dem Aufbringen der Kupferhauptschicht durch Elektroplatieren wurde die Kupferschutzschicht in der nachstehend beschriebenen Art und Weise aktiviert: Die Schicht wurde 10 Sekunden lang bei Raumtemperatur in eine 10 %ige Schwefelsäurelösung eingetaucht.
  • Die beiden Proben D, E und F erhaltenen Ergebnisse stimmen im wesentlichen überein mit denen für die Proben A, B und C.
  • Beispiel II: Bei der Herstellung von Proben G wurde eine Folie aus niederen Kohlenstoffgehalt aufweisendem Stahl mit einer Dicke von etwa 0,15 nm (5 mil) dadurch aktiviert, daß sie bei Raumtemperatur (700 F) 5 - 15 Minuten lang in 10 %ige wässrige Salzsäure eingetaucht wurde. Dieselbe Aktivierung erfolgt bei der Herstellung von Proben H, wobei jedoch anstelle der Stahlfolie mit niederem Kohlenstoffgehalt eine Messingfolie verwendet wird, die ebenfalls eine Dicke von 0,15 mm aufweist. Bei der Herstellung von Proben I wird eine Folie aus rostfreiem Stahl mit einer Dicke von 0,15 mm durch kathodisches Ätzen aktiviert. Dies erfolgt bei Raumtemperatur (760 F) unter Verwendung einer 50 %igen wässrigen Salzsäurelösung. Die Behandlungsdauer beträgt 3 Minuten bei Verwendung einer Stromdichte von 0,005 A/cm2 (5 A/sq.ft.). Dies ist ein übliches Aktivierungsverfahren.
  • Die Folien der Proben G, H und I werden dann mit Chrom elektroplitiert, wobei die obenstehend schon beim Beispiel I beschriebenen Verfahren zur Herstellung der Folien für die Proben A, B bzw. C verwendet werden. Unmittelbar danach werden die Proben mit Wasser gespült, und es wird Kupfer durch Elektroplatieren aufgebracht, wobei wiederum dieselben Verfahren Verwendung finden wie bei der Herstellung der Folien der Proben A, B bzw. C.
  • Bei der Herstellung von Proben J, K, L und M werden Folien präpariert, die den Folien der Proben G, H und I entsprechen und auf gleiche Weise hergestellt werden; nur werden die Folien J, K, L und M während ihrer Aktivierung aufgerauht, so daß sie eine rauhe Oberfläche erhalten, die dann auch an die darüber geschichtete Kupferfolie weitergegeben wird. Derartige Oberflächen verbessern die Verbindbarkeit der dünnen Kupferfolie mit einem Plastiksubstrat bei der Herstellung eines Laminates aus diesen beiden Bestandteilen. Darüber hinaus kann eine "Oxidierungsbehandlung" entweder ganz entfallen oder braucht nur in vermindertem Ausmaße durchgeführt zu werden.
  • Bei der Herstellung der Proben J, die eine Stahlfolie mit niederem Kohlenstoffgehalt aufweisen, erfolgt das Aufrauhen durch Ätzen während des Aktivierens in der nachstehend beschriebenen Weise: Die Folie wird bei Raumtemperatur etwa 15 Sekunden lang in eine 10 %ige Salzsäurelösung eingetaucht. Dann wird gespült und bei 240 C (800F) in 35 %iger Schwefelsäure anodisch geätzt. Dabei beträgt die Bearbeitungsdauer 1 Minute, die Stromdichte 0,11 A/cm2 (100 A/sq.ft.).
  • Bei der Herstellung von Proben K, welche eine Messingfolie aufweisen, erfolgt das Aufrauhen durch Ätzen während der Aktivierung der Folie in der nachstehend beschriebenen Weise: Die Folie wird 2 Minuten lang in eine Lösung eingetaucht, die 10 % Fluoroborsäure und pro Liter 48,6 g 30 %iger Wasserstoffsuperoxidlösung enthält.
  • Bei der Herstellung von Proben L, welche eine Folie aus rostfreiem Stahl aufweisen, erfolgt das Aufrauhen ebenfalls durch Ätzen durch Verlängerung des schon oben beschriebenen Aktivierens durch kathodisches Ätzen. Man verlängert also die Zeit, während der kathodisch geätzt wird auf etwa 5 Minuten, wobei im übrigen die gleichen Arbeitsparameter eingehalten werden wie bei der Herstellung der Proben I.
  • Bei der Herstellung von Proben M, welche eine Aluminiumfolie aufweisen, erfolgt das Aufrauhen durch Ätzen dadurch, daß man die Aktivierung 3 - 5 Minuten lang in einer Lösung durchführt, die sich auf einer Temperatur von 660 C (1500 F) befindet und pro Liter 37,5 g NaOH sowie pro Liter 10,2 g NaF enthält (entsprechend 5 oz/ gal NaOH bzw. 1,5 oz/gal NaF). Danach wird die Probe abgespült und in 30 %ige Salpetersäure eingetaucht. Dann wird die Probe in dem Zinkbad behandelt, wie dies obenstehend unter Bezugnahme auf die Probe A beschrieben ist.
  • Die Folien der Proben J, K, L und B werden dann jeweils mit einer Chromschicht versehen, und auf diese wird eine dünne Kupferschicht aufgebracht, wie dies weiter oben unter Bezugnahme auf die Proben B beschrieben worden ist.
  • Die nach den oben beschriebenen Verfahren hergestellten Kupferfolien stellen alle in jeglicher Hinsicht zufrieden. Die Kupferfolien sind vom Träger einwandfrei getragen und durch letzteren auch gegen Beschädigung geschützt. Die Kupferfolien lassen sich gut laminieren, schneiden und formen und lassen sich auch sonst einfacher verarbeiten. Bei den Proben J, K, L und B zeigen die Kupferfolien ein verbessertes Haftvermögen auf Plastiksubstraten. Derartige Folien eignen sich in idealer Weise zur Herstellung von gedruckten Schaltunten und dergl.

Claims (11)

  1. Verfahren zur Herstellung einer dünnen Kupferfolie Patentansprüche rx Verfahren zur Herstellung einer dünnen, im wesentlichen porenfreien Kupferfolie, gekennzeichnet durch nachstehende Verfahrensschritte: a) Aufbringen einer dünnen Schicht aus Zink oder Zinn auf die Oberfläche eines dünnen metallischen Trägers aus Aluminium, wenig Kohlenstoff aufweisendem Stahl, Messing oder rostfreiem Stahl; b) Aufbringen einer dünnen Trennschicht aus Metall auf die nach a) erzeugte Schicht aus Zink oder Zinn, welche Trennschicht eine Vielzahl von Plattierzentren aufweist; c) Aufbringen einer Kupferschicht auf die Trennschicht, derart, daß- eine dünne, im wesentlichen porenfreie Kupferfolie erhalten wird; dj Verbinden der freiliegenden Oberfläche der Kupferfolie mit einem Substrat, wodurch ein Laminat erhalten wird; und e) Abheben der Trennschicht von der Folie.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Trennschicht aus einem Material besteht, das aus der nachstehenden Gruppe ausgewählt ist: Chrom, Kobalt und Nickel.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Trennschicht auf die Oberfläche des metallischen Trägers durch Elektroplatieren aufgebracht wird und daß der Träger in Form einer Folie verwendet wird.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat ein Plastiklaminat ist.
  5. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des metallischen Trägers spürbar aufgerauht ist, um ein festes Verbinden von Kupferfolie und Substrat zu fördern.
  6. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des metallischen Trägers geätzt wird und mit Zink beschichtet wird, bevor die Trennschicht durch Elektroplatieren aufgebracht wird, und daß das Kupfer auf die Trennschicht in einer Dicke entsprechend weniger als 0,015 g/cm2 auf die Trennschicht durch Elektroplatieren aufgebracht wird, wodurch eine entsprechende Kupferfolie erhalten wird.
  7. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Kupferschicht eine zusätzliche dünne Schicht aus Kupfer- und Kupferoxidknötchen aufgebracht wird, um die Verbindung zwischen der Kupfer schicht und dem aus Plastik bestehenden Substrat zu verbessern.
  8. 8. Verbundmaterial, gekennzeichnet durch die nachstehenden Bestandteile: Einen dünnen metallischen Träger, der aus der durch die nachstehenden Materialien gebildeten Gruppe ausgewählt ist: Aluminium, niederen Kohlenstoffgehalt aufweisender Stahl, Messing und rostfreier Stahl, wobei die Oberfläche des metallischen Trägers aufgerauht ist; eine dünne metallische Schicht, die auf den metallischen Träger angeordnet ist und aus Zinn oder Zink besteht; eine Trennschicht aus einem Metall, das aus der aus Chrom,Nickel und Kobalt bestehenden Gruppe ausgewählt ist; eine dünne, im wesentlichen porenfreie Kupferfolie, die auf der Trennschicht angeordnet ist; und ein Plastiksubstrat, welches fest mit der freiliegenden Oberfläche der Kupferschicht verbunden ist.
  9. 9. Verbundmaterial nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Kupferschicht eine Schicht aus Kupferknötchen und Kupferoxidknötchen angeordnet ist.
  10. 10. Verbundmaterial nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Trennschicht eine Dicke von etwa 2 - 12,5cm aufweist.
  11. 11. Verbundmaterial nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der metallische Träger eine Dicke von 0,025 - 0,5 mm aufweist.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3515629A1 (de) * 1985-05-02 1986-11-06 Held, Kurt, 7218 Trossingen Verfahren und vorrichtung zur herstellung kupferkaschierter laminate
SG100612A1 (en) * 1998-10-21 2003-12-26 Mitsui Mining & Smelting Co Novel composite foil, process for producing the same and copper-clad laminate

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3515629A1 (de) * 1985-05-02 1986-11-06 Held, Kurt, 7218 Trossingen Verfahren und vorrichtung zur herstellung kupferkaschierter laminate
US4687528A (en) * 1985-05-02 1987-08-18 Kurt Held Process and device for fabrication of copper-lined laminates
SG100612A1 (en) * 1998-10-21 2003-12-26 Mitsui Mining & Smelting Co Novel composite foil, process for producing the same and copper-clad laminate

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