KR100466462B1 - 본딩 장치용 워크 프레서 - Google Patents

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가와무라다카토시
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가부시키가이샤 신가와
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Abstract

워크 프레서의 워크 프레서부의 열팽창을 유효하게 흡수할 수 있고, 리드 프레임의 리드 부분이 프레서 범위 전체를 확실하게 누를 수 있다.
본딩창(11A, 11B, 11C)을 둘러싸도록 제 1 의 슬릿(20A, 20B)을 형성하고, 제 1 의 슬릿(20A, 20B)의 단부로부터 각각 외측으로 뻗어서 제 2 의 슬릿(21A, 21B, 22A, 22B)을 형성해서 제 1 의 연결부(30, 31)가 형성되고, 제 1 의 연결부(30, 31)에 직교해서 제 2 의 슬릿(21A, 21B, 22A, 22B)의 외측으로 제 3 의 슬릿(25, 26)을 형성해서 제 2 의 연결부(32, 33)가 형성되어 있다.

Description

본딩 장치용 워크 프레서{WORK PRESSER FOR BONDING APPARATUS}
본 발명은 본딩 장치용 워크 프레서에 관한다.
종래, 본딩 장치용 워크 프레서에 본딩창을 둘러싸도록 슬릿를 설치하고, 이것에 의해, 리드 프레임의 다수의 리드를 균일하게 히트 블록에 눌러 붙이는 것으로서, 예를 들면 일본국 실공평 6-212141호 공보를 들 수 있다.
상기 종래 기술은, 다수의 리드를 균일하게 히트 블록에 눌러 붙이는 효과는있다. 그러나, 단지 본딩창에 대향해서 간단히 ㄷ자형으로 형성된 슬릿의 조합으로 이루어지기 때문에, 이러한 슬릿의 형상에서는, 히트 블록의 가열에 의한 워크 프레서의 워크 프레서부의 열팽창을 흡수할 수 없어서 변형해 버리는 문제가 있었다.
본 발명의 과제는, 워크 프레서의 워크 프레서 부의 열팽창을 유효하게 흡수할 수 있고, 리드 프레임의 리드 부분이 프레서 범위 전체를 확실하게 누를 수 있는 본딩 장치용 워크 프레서를 제공하는 것에 있다.
도 1(a)은 본 발명의 본딩 장치용 워크 프레서의 일실시의 형태를 도시한 평면도,
도 1(b)은 본 발명의 본딩 장치용 워크 프레서의 일실시의 형태를 도시한 우측면도,
도 2(a)는 도 1(a)의 A-A선 단면 확대도,
도 2(b)는 도 1(a)의 B-B선 단면 확대도,
도 3은 워크와 워크 프레서와의 관계를 도시하는 주요 부분 평면 확대도,
도 4는 본 발명의 본딩 장치용 워크 프레서의 기타 실시의 형태를 도시하는 평면도.
(부호의 설명)
1 리드 프레임
2A, 2B, 2C 본딩부
3A, 3B, 3C 반도체 칩
4 패드
5 리드
6 와이어
7 히트 블록
10 워크 프레서
11A, 11B, 11C 본딩창
12A, 13A, 12B, 13B, 12C, 13C 워크 프레서부
20A, 20B 제 1 의 슬릿
21A, 22A, 21B, 22B 제 2 의 슬릿
25, 26 제 3 의 슬릿
30, 31 제 1 의 연결부
32, 33 제 2 의 연결부
40 양측 측면부
41 하면부
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 제 1 의 수단은, 본딩창을 둘러싸도록 복수개의 제 1 의 슬릿을 형성하고, 이 제 1 의 슬릿의 단부로부터 각각 외측으로 뻗은 제 2 의 슬릿을 형성해서 제 1 의 연결부가 형성되고, 이 제 1 의 연결부에 직교해서 상기 제 2 의 슬릿의 외측으로 제 3 의 슬릿을 형성해서 제 2 의 연결부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시의 형태를 도 1 내지 도 3에 의하여 설명한다. 도 1(a)는 본딩장치용 워크 프레서의 형상을 도시하는 평면도이다. 도 1(b)에 2점쇄선으로 나타낸 리드 프레임(1)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 리드 프레임(1)의 반송 방향(이하, X축 방향이라고 한다)으로 3열의 본딩부(2A, 2B, 2C)를 가지고, 본딩부(2A, 2B, 2C)에는, 복수개의 반도체 칩(3A, 3B, 3C)이 탑재되어 있다. 리드 프레임(1)은, 도 1(b)에 2점쇄선으로 나타낸 히트 블록(7)위에 재치되고, 워크 프레서(10)에 의하여 히트 블록(7)에 눌러 붙여진 상태에서, 도시하지 않는 와이어 본딩장치에의하여 도3에 도시된 바와 같이, 반도체 칩(3A, 3B, 3C)의 패드(4)와 리드 프레임(1)의 리드(5)가 와이어(6)에 의해 접속되어 있다.
도 1 내지 도3에 도시된 바와 같이, 워크 프레서(10)에는, 리드 프레임(1)에 탑재한 3열의 반도체 칩(3A, 3B, 3C)에 대응해서, X축 방향으로 뻗은 가로로 긴 3개의 본딩창(11A, 11B, 11C)이 2개의 제 1 의 슬릿(20A, 20B)의 내측에 형성되어 있다. 본딩창(11A, 11B, 11C)의 양측 하면부에는, 해당 본딩창(11A, 11B, 11C)을 따라서 워크 프레서부(12A, 13A, 12B, 13B, 12C, 13C)가 형성되어 있다.
워크 프레서(10)에는, 본딩창(11A, 11B, 11C)을 둘러싸도록 2개의 제 1 의 슬릿(20A, 20B)이 본딩창(11A, 11B, 11C)에 대향하여 거의 ㄷ자형으로 형성되고, 제 1 의 슬릿(20A, 20B)의 단부로 부터 각각 제 2 의 슬릿(21A, 22A, 및 21B, 22B)이 열쇠형(Ｌ형)으로 형성되어 있다. 제 2 의 슬릿(21A, 22A, 및 21B, 22B)의 외측부분에는 X축 방향으로 뻗은 제 3 의 슬릿(25, 26)이 형성되어 있다.
이로써, 제 1 의 슬릿(20A, 20B)의 내측부분과 외측부분과는, 제 2 의 슬릿(21A, 21B 및 22A, 22B) 사이의 제 1 의 연결부(30, 31)와, 제 2 의 슬릿(21A, 21B)과 제 3 의 슬릿(25)사이 및 제 2 의 슬릿(22A, 22B)과 제 3 의 슬릿(26)사이의 제 2 의 연결부(32, 33)를 통하여 연결된 구조로 되어 있다. 또한, 도 2에 있어서, 40은 양측측면부, 41은 하면부를 나타낸다.
이처럼, 본딩창(11A, 11C)을 둘러싸는 2개의 제 1 슬릿(20A, 20B)의 내측과 외측은, 제 2 의 슬릿(21A, 21B 및 22A, 22B)에 형성되는 제 1 의 연결부(30, 31)와, 이 제 1 의 연결부(30, 31)의 연결 방향(Y축 방향)과 직교하는 X축 방향으로설치한 제 3 의 슬릿(25, 26)에 형성되는 제 2 의 연결부(32, 33)로 연결되어 있다. 따라서, 제 1 의 연결부(30, 31)의 Y축 방향으로 직교하는 X축 방향의 제 2 의 슬릿(21A, 21B 및 22A, 22B)과 제 3 의 슬릿(25, 26)에 의하고, 제 1 의 슬릿(20A, 20B)의 내측의 Y축 방향의 열팽창을 흡수한 것이 가능한다. 또한 X축 방향은, 제 1 의 슬릿(20A, 20B)를 형성함으로써, 열팽창에 대해 프리(자유)상태로 된다.
제 1 의 슬릿(20A, 20B)의 내측의 Y축 방향의 열팽창을 흡수함으로써, 워크 프레서부(12A, 13A, 12B, 13B, 12C, 13C)는 본딩부(2A, 2B, 2C)의 리드(5)부분이 프레서 범위 전체를 확실하게 누를 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시의 형태를 나타낸다. 본 실시의 형태는, 도 1에 도시되는 실시의 형태에 있어서의 제 1 의 슬릿(20A, 20B), 제 2 의 슬릿(21A, 21B 및 22A, 22B), 제 3 의 슬릿(25, 26)을 90도 회전시킨 형상으로 되어 있다. 따라서, 본 실시의 형태에 있어서는, 본딩창(11A, 11B, 11C)을 둘러싸는 2개의 제 1 의 슬릿(20A, 20B)의 내측과 외측은, 제 2 의 슬릿(21A, 21B 및 22A, 22B)으로 형성된 제 1 의 연결부(30, 31)와, 이 제 1 의 연결부(30, 31)의 연결 방향(X축 방향)과 직교하는 Y축 방향으로 설치한 제 3 의 슬릿(25, 26)으로 형성된 제 2 의 연결부(32, 33)로 연결되어 있다.
따라서, 제 1 의 연결부(30, 31)의 X축 방향으로 직교하는 Y축 방향의 제 2 의 슬릿(21A, 21B 및 22A, 22B)과 제 3 의 슬릿(25, 26)에 의해, 제 1 의 슬릿(20A, 20B)의 내측의 X축 방향의 열팽창을 흡수할 수 있다. 또한 Y축 방향은, 제 1 의 슬릿(20A, 20B)을 형성함으로써, 열팽창에 대하고 프리(자유)한 상태로 된다. 또한 제 1 의 슬릿(20A, 20B)의 내측의 X축 방향의 열팽창을 흡수함으로써, 워크 프레서부(12A, 13A, 12B, 13B, 12C, 13C)는 본딩부(2A, 2B, 2C)의 리드(5)부분이 프레서 범위 전체를 확실하게 누를 수 있다.
또한, 도 1의 실시의 형태에 있어서는, 연결부(30 내지 33)를 워크 프레서(10)의 Y축 방향측에 설치하고, 도 4의 실시의 형태에 있어서는, 연결부(30 내지 33)를 워크 프레서(10)의 X축 방향측에 설치했지만, 도 1 및 도 4를 조합시켜서, 연결부(30 내지 33)를 워크 프레서(10)의 Y축 방향측 및 X축 방향측의 양쪽에 설치해도 된다.
또한 리드 프레임(1)의 반송 방향에 설치된 3열의 본딩부(2A, 2B, 2C)에 대응해서 각각 본딩창(11A, 11B, 11C)을 설치했지만, 3개의 본딩창(11A, 11B, 11C)에 한정하지 않고, 예를 들면 1개의 본딩창이여도 된다. 그러나, 본 실시의 형태와 같이, 각 본딩부(2A, 2B, 2C)에 대응해 각각 본딩창(11A, 11B, 11C)을 설치하면, 각 워크 프레서부(12A, 13A, 12B, 13B, 12C, 13C)의 열팽창이 흡수되어서, 본딩부(2A, 2B, 2C)의 양측을 확실하게 누를 수 있다.
본 발명은 본딩창을 둘러싸도록 복수개의 제 1 의 슬릿을 형성하고, 이 제 1 의 슬릿의 단부로 부터 각각 외측으로 뻗어서 제 2 의 슬릿을 형성해서 제 1 의 연결부가 형성되고, 이 제 1 의 연결부에 직교해서 상기 제 2 의 슬릿의 외측으로 제 3 의 슬릿을 형성해서 제 2 의 연결부가 형성되어 있기 때문에, 워크 프레서의 워크 프레서부의 열팽창을 유효하게 흡수할 수 있어서, 리드 프레임의 리드 부분이프레서 범위 전체를 확실하게 누를 수 있다.

Claims (2)

  1. 본딩창을 둘러싸도록 상기 본딩창에 대하여 거의 ㄷ자 형으로 형성된 복수개의 제 1의 슬릿을 형성하고, 이 제 1의 슬릿의 단부로부터 각각 외측으로 열쇠형(L자형)으로 뻗어서 제 2의 슬릿을 형성해서 제 1의 연결부가 형성되고, 이 제 1의 연결부에 직교해서 상기 제 2의 슬릿의 외측으로 제 3의 슬릿을 형성해서 제 2의 연결부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 본딩 장치용 워크 프레서.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 본딩창은, 복수열의 본딩부를 가진 리드 프레임의 상기 본딩부에 대응하여 복수개 설치되고, 각 본딩창의 양측 하면부에는, 이 본딩창을 따라서 워크 프레서부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 본딩 장치용 워크 프레서.
KR10-2001-0085784A 2001-01-19 2001-12-27 본딩 장치용 워크 프레서 KR100466462B1 (ko)

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