KR100390254B1 - 축류펌프챔버내부에서회전하는한쌍의변위로터를갖는진공펌프 - Google Patents

Abstract

진공 펌프는 축방향으로 스트림을 유동시키게 되는 팽창 챔버 내부에서 특히 나선형 방식으로 서로 맞물리는 두개의 회전 변위 로터(8)를 포함한다. 이들 로터는 이송측에서 캔틸레버식으로 장착되어 구동 모터(35, 36)에 각각 연결된다. 각각의 로터(8)는 이의 축(20)과 고정 베어링체(7) 및 상기 축(20)과 베어링체(7)에 의해 형성된 베어링(21, 22)과 함께 하우징(3)으로부터 단일 유닛으로서 제거될 수 있는 모듈을 형성한다. 구동 모터의 로터(35)는 상기 모듈의 일부분으로 될 수도 있다.

Description

축류 펌프 챔버 내부에서 회전하는 한쌍의 변위 로터를 갖는 진공 펌프 {VACUUM PUMP HAVING A PAIR OF DISPLACEMENT ROTORS ROTATING INSIDE AN AXIAL-FLOW PUMP CHAMBER}

이러한 구조의 펌프는 베어링 장치 및 로터의 구동과 관련한 모든 부재들이 가압측 상에 배열되고 상기 부재들로부터 발생하는 방출 가스가 펌프의 흡입측으로 쉽게 통과할 수 없다는 장점을 갖고 있다. 따라서, 값비싼 시일들을 필요로 하지 않는다. 그러나, 예를 들어 EP-A 472933(US-A 5,197,861 및 US-A 5,354,179), EP-A 558921(US-A 5,393,201), US-A 5,295,798, US-A 5,314,312, US-A 5,329,216 및 JP-Abstract 2283890에 공지되어 있는 상기 형태의 펌프는 회전부들에 접근하기 어렵고 이들을 조립 및 탈거를 위해서 이들 또는 베어링 장치를 수용하는 복수개의 하우징 부재들을 서로 분리해야 하므로 보수 작업이 용이하기 않다는 단점을 갖고 있다. 회전 부재들 및 이들의 배어링 장치가 조정 민감성을 갖기 때문에 이를 위해서는 펌프 제조업자로부터의 특별히 숙련된 사람이 필요하다.

본 발명은 축류 펌프 챔버 내부에서 회전하고 특히 나선형 방식으로 맞물리며 가압측 상에 각각 장착되고 펌프 챔버를 형성하는 하우징의 외부에 배열된 모터의 전기자에 각각 연결된 해당 축에 의해 내물림 방식(overhung manner)으로 지지되는 한쌍의 변위 로터를 갖는 진공 펌프에 관한 것이다.

도1은 양 로터 축의 평면에서 종방향 단면을 도시한 단면도.

도2는 도1과 유사한 단면도.

도3은 도1의 선 III-III을 따라 취한 수평 단면도.

도4는 도2의 선 IV-IV를 따라 취한 것으로 일부를 단면으로 도시한 평면도.

본 발명은 축이 합체되어 있고 하우징에 고정될 수 있고 전체 축 베어링 장치를 수용하는 고정 베어링체를 갖춘 각각의 로터가 하우징으로부터 제거될 수 있도록 된 유닛을 형성함으로써 상기 단점을 해결한다. 이러한 구조의 유닛에서는 작동성이 민감한 베어링의 기능이 요구된다. 이들은 교체를 위하여 제조업자에 의해 미리 조립되어 세트를 이루어서 균형을 이룬 상태로 운송될 수 있고 보수를 위하여 전체가 제조업자에게 보내질 수 있는 반면에, 조립 및 탈거를 포함하여 나머지 보수 작업은 숙련도를 덜 갖춘 사용자에 의해서 수행될 수 있다.

각각의 로터 구성 유닛은 다른 부재와는 별도로 미리 조립될 수 있으며, 분리식 베어링체는 각 로터에 편리하게 할당된다. 그러나, 양 로터에 공통의 베어링체가 마련될 수 있는 경우에도 적용할 수 있다.

펌프 챔버를 형성하는 하우징은 기부 판에 의해 가압측에 편리하게 형성되고, 여기에는 베어링체가 중심 설정되어 고정된다. 이 기부 판은 펌프 챔버 하우징에 일편식으로 연결될 수도 있다. 상기 기부 판은 모터 하우징의 일부로 될 수도 있으며, 일반적으로는 펌프 챔버 하우징으로부터 먼 측면 상에서 기부 판에 배열된다.

상기에 설명한 종래 기술에 공지되어 있는 것처럼, 적어도 하나의 로터 베어링이 공간 내의 로터 내부에 배열되면 로터 안으로 돌출하는 베어링체의 튜브부 상에서 가압측 쪽으로만 편리하게 개방된다. 이는 로터 축이 작은 굽힘 응력만을 받게 하여 하나의 로터에 대한 다른 하나의 로터의 간격이 변형 도입식으로 변화되게 해줄 뿐 아니라 로터들과 하우징 사이의 간격이 작게 유지될 수 있게 해준다. 또한, 로터 축의 양호한 치수 안전성을 허용하고, 그 결과로 로터 내부 베어링 장치와 관련한 반경방향 공간 요건을 부분적으로 보상해 준다.

축들의 동기화를 일으키거나 전자식 동기화에 더하여 임시 동기화를 허용하는 중간 기어 휠을 갖춘 로터 축들은 공지되어 있다. 따라서, 이들 기어 휠은 이송 매체와의 직접 접촉에 기인하여 오염되지 않게 하고 펌프 챔버로의 윤활유 통과를 필요로 하지 않으면서 윤활될 수 있도록 하기 위하여, 이들은 본 발명에 따르면 펌프 챔버로부터 밀봉된 공간을 형성하고 로터와 함께 제거가능한 구성 유닛에 포함되게 할 목적으로 플랜지 판의 모터측 상에 배열된다. 기어 휠들 대신에 동기화 수단도 펄스 발생기 디스크로 될 수 있고, 기어 휠들은 펄스 발생기 디스크로서도 작용할 수 있다.

플랜지 판은 기부 판 또는 모터 하우징으로부터 밀봉됨으로써 펌프 챔버로부터 편리하게 밀봉되고, 기부 판 또는 모터 하우징은 펌프 챔버 하우징으로부터 밀봉된다. 이는 플랜지 판이 모터 하우징 상에 장착되어 중심을 설정할 수 있게 해준다. 펌프 챔버 하우징(또는 이의 쉘 및 뚜껑)은 동기화 디스크를 수용하는 공간의 기밀식 폐쇄를 손상시키지 않으면서 펌프 챔버 및 로터 표면을 보수하기 위하여 제거될 수 있다.

모터 하우징은 대기로부터의 먼지가 도입되지 않도록 편리하게 기밀식으로 밀봉된다. 따라서, 동기화 디스크를 수용하는 공간은 구동부로부터 밀봉될 필요가없다.

또한, 모터 전기자는 하우징으로부터 전체적으로 제거될 수 있는 로터 유닛에 편리하게 일체화된다. 이는 로터 구성 유닛에 회전식으로 연결되고 회전 각을 측정하는 기구의 일부로 되는 동기화 기어 휠 또는 펄스 발생기 디스크에도 적용된다.

본 발명은 상이한 이송 데이타를 갖고 동일 계열에 속하는 펌프가 로터들 및 펌프 챔버 하우징의 길이만 다르고 필요에 따라서는 베어링체의 튜브부가 다른 것에 기인하여 비용을 현저하게 감소시킬 수 있게 해준다. 또한, 이들은 로터들의 주연에 있는 변위 돌출부의 형태가 상이할 수도 있다.

본 발명에 대하여 그 양호한 실시예를 도시한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

기저부(1) 상에는 모터 하우징(2)이 위치하여 있으며, 이 모터 하우징의 상부는 필요에 따라서는 펌프 챔버 하우징(4)이 장착되는 플랜지형 기부 판(3)에 일체로 연결된다. 펌프 챔버 하우징은 흡입 개구(6)를 포함하는 뚜껑(5)에 의해 상부에서 폐쇄된다.

기부 판(3)에는 베어링체(7)의 플랜지 판(50)들이 나중에 설명하는 방식으로 체결되며, 이들 각각의 플랜지 판은 두개의 나선형으로 양호하게 배열된 변위 돌기(9)들을 갖는 주연에서 로터(8)를 지지하는 기능을 하고 인접 로터의 변위 돌기(9)들 사이에서 이송 중공 공간(10)에 톱니 결합식으로 맞물린다. 또한, 변위 돌기(9)들은 주연에서 펌프 챔버 하우징(4)의 내측 표면과 협동 작용한다. 로터(8)들은 상부에서 흡입 공간(11)에 연결되고 하부에서는 가압 공간(12)에 연결된다.

가압 공간(12)은 통로(16)에 의해 압력 출구(17)에 연결된다. 이들 부재는 수직으로 장착된 펌프 챔버 하우징의 하단부에 마련되어 있다.

각각의 로터(8)는 영구 윤활 롤링 베어링(21)에 의해 베어링체(7)의 하부에 장착되는 축(20)에 회전 로크식으로 연결되어 있다. 마찬가지 방식으로 제2 영구 윤활 롤링 베어링(22)은 베어링체(7)의 튜브부(23) 상단부에 위치하여 로터(8)의 동심 구멍(24) 안으로 돌출하며, 상기 구멍(24)은 하부 쪽으로, 즉 가압측으로 개방된다. 상기 베어링(22)은 로터(8)의 중심 위에 위치하는 것이 바람직하다. 베어링체의 튜브부(23)는 로터(8)의 길이 대부분에 걸쳐 연장되는 것이 바람직하다. 펌프의 수직 배열에서, 튜브부(23)의 단부는 압력 출구(17)보다 실질적으로 높은 위치에 놓인다. 이는 베어링 구동 구역에 펌프 챔버로부터 액체 또는 다른 무거운 불순물이 침입하는 것으로부터 보호하는 것을 도와준다.

베어링체의 튜브부(23)에는 통로(26)를 거쳐 냉각수 공급원에 연결되고 대응통로(도시 생략)를 거쳐 냉각수 배출부에 연결된 냉각 통로(25)가 마련되어 있다. 냉각 통로(25)는 슬리브에 의해 기밀식으로 덮인 나선형 회전 리세스들에 의해 형성되는 것이 바람직하다. 로터 베어링들을 냉각시킴으로써 이들 베어링의 수명 또는 보수 간격이 연장된다. 또한, 베어링체의 튜브부(23)의 주연 표면은 냉각에 의해 낮은 온도로 유지된다. 이 주연 표면은 로터의 중공 표면(24)의 내주연 표면의 반대쪽에 약간 이격된 관계로 위치한다. 이들 표면은 양호한 열교환이 가능하여 열이 로터로부터 베어링체의 튜브부(23) 및 이의 냉각 기구(25)를 거쳐 직접 분산될 수 있게 하는 방식으로 구성되어 있다. 베어링체의 튜브부(23) 및 로터 중공 공간(24)의 서로 반대쪽에 있는 상기 표면들은 이들 사이의 열교환을 개선하기 위하여 적절한 방식으로 구성되어 있다. 예를 들어, 이들은 복사 열교환이 높은 흡수 계수에 의해 촉진되는 방식으로 처리 또는 가공된다. 이들 사이의 가스 층에 의한 대류 열교환은 작은 표면 공간 및 열전달 계수를 증가시키는 적절한 표면 구조에 의해 개선된다. 이를 위하여, 하나 또는 양 표면은 거칠게 마무리되거나 열교환 리브 또는 나삿니 등을 갖춘 상태로 된다. 또한, 베어링체 또는 축(20)을 통해서 로터 중공 공간(24)에 밀봉 가스를 공급할 수도 있으며, 상기 밀봉 가스는 가압 공간(12)으로부터 이송 매체와 함께 배출된다. 상기 가스는 베어링 구역을 밀봉하는 기능 외에도 베어링과 베어링체 및 로터를 추가로 냉각하는 기능도 갖고 있으며, 이 경우에는 오염되지 않도록 배어링 또는 베어링들을 통해서 직접 안내되지 않고 바이패스를 형성하는 통로(28)를 거쳐 안내된다.

펌프 챔버로부터의 배출물이 베어링 및 구동 영역에 유입되는 것을 방지하기위하여 적절한 밀봉 및/또는 차단 기구가 마련되어 있다. 특히, 베어링체(23)의 대향 표면들과 로터 중공 공간(24)의 내측 표면의 일측면 또는 양측면에 이송 나삿니(도시 생략)를 마련하는 것이 바람직하며, 이 이송 나삿니는 로터 중공 공간(24)으로부터 가압 공간(12) 쪽으로의 이송 효과를 일으킨다. 이 이송 효과는 고체 및 액체 입자들의 높은 밀도에 의해서 이들에 주로 작용하며, 이로써 이들이 베어링 및 구동 영역으로 침입하는 것을 방지한다. 이송 나삿니는 현저하게 감소된 회전 속도에서도 상기 효과를 얻을 수 있도록 구성되어 있다.

또한, 이송 효과는 로터와 가압 공간 쪽으로 원추형으로 확장되는 베어링체 사이의 갭에 의해서도 얻어진다. 여기서, (로터의 표면으로부터의 베어링체 표면의 거리)인 갭 폭은 반드시 일정한 상태로 유지된다. 또한, 서로 반대쪽에 위치하는 표면들은 일측면 또는 양측면에 이송 나삿니를 갖춘 경우에도 마련될 수 있으나 반드시 필요한 것은 아니다.

로터와 이송 나삿니를 갖춘 베어링체와의 사이에 갭을 마련하거나 이송 방식으로 원추형으로 작용시키면, 액체 또는 고체 입자의 침입에 대하여 매우 효과적인 밀봉을 제공할 수 있고 추가의 밀봉 기구를 필요로 하지 않게 되지만, 이들은 예를 들어 래비린드 시일 또는 피스톤-링형 시일 등의 비접촉식 또는 최소 접촉 구조로 될 수 있다.

이송 나삿니 또는 원추형 갭의 밀봉 작용을 고려하면, 본 발명에 따른 펌프는 로터가 회전하는 한 펌프 챔버 내의 액체의 존재에 대해서는 무관하다. 이는 펌프 챔버 내의 액체가 베어링 수위에 도달하지 않는 한 로터의 높은 베어링 장치에 기인하여 고정 상태로 작용한다. 이는 이송 매체가 액체 서어지를 반송할 때에도 중요하고 액체 주입에 의한 펌프의 세척 및/또는 냉각을 위해서도 사용될 수 있다. 예를 들어, 세척 또는 냉각 액체는 그 중 하나가 27로 도시되어 있는 노즐들을 통해서 주입될 수 있다. 동일 또는 별도의 노즐(27)이 세척 액체 및 냉각 액체를 주입하기 위해 사용될 수 있다.

매우 심한 오염이 예상되는 경우에는 작동 중에 세척 액체를 계속해서 주입할 수 있다. 진공 펌프의 작동 중에, 펌프 챔버를 통과할 수 있도록 제공된 세척 액체는 흡입 압력보다 낮은 증기압을 갖게 된다. 펌프가 다단 펌프이고 (예를 들어 압력의 함수로서의) 오염 정도가 제2 및/또는 후속 단계에서 주로 설정되면, 제2 또는 후속 단계에서 세척 액체를 주입하는 것을 제한할 수 있어서 흡입측으로부터 분리될 수 있게 해준다.

그러나, 대부분의 경우에 세척 작동은 일정하게 일어나지 않지만 (예를 들어 구동 토오크의 증가 결과로서의) 세척에 필요한 요건이 생성되는 경우에는 주기적으로 일어날 수도 있다. 액체에 대한 펌프의 무관함에 기인하여 비교적 많은 양의 액체가 사용된다. 회전 작동 속도가 사용된 세척 액체의 양 또는 형태에 따라 유지될 수 없는 경우에는 그에 따라 회전 속도가 감소될 수도 있다. 이를 위하여 적절한 제어 기구가 마련된다. 예를 들어, 회전 속도는 증가된 동력 요건에서 회전 작동 속도에 대한 회전 속도의 대응 감소를 일으키는 구동 토오크의 함수로서 제어될 수 있다. 세척 위상 중에도 일어나는 로터의 연속 회전은 로터 베어링 장치를 밀봉하는 작용을 하며 오염된 표면에 세척 액체를 이송하는 작용도 한다.

로터와 베어링체 사이의 갭에서의 이송 작용은 외부 가압 가스원과는 별개인 이송 밀봉 가스에도 사용될 수 있다. 그러나, 밀봉 가스를 이송하기 위해서는 이러한 가압 가스원의 작용이 로터 속도와는 무관하게 밀봉 가스를 공급하는 데 바람직하다.

펌프 챔버 하우징(4)은 이의 주연부 주위로 또는 대부분에 걸쳐 전체적으로 연장되고 하우징을 소정 온도로 유지하기 위하여 냉각수 순환이 일어나는 포켓(30; 도2)을 포함할 수 있다. 하우징 쉘의 냉각은 모든 경우에 반드시 필요한 것은 아니다. 그러나, 본 발명에 따르면 로터(8)들이 냉각되어 이들의 열팽창이 제한되기 때문에 장점을 갖게 된다. 하우징이 낮은 온도로 유지되는 반면에 로터들만이 팽창되기 때문에 이들이 하우징에 대하여 연장되는 것을 염려할 필요는 없다.

본 발명에 따른 펌프는 미리 도입된 상태로 제공된다. 이는 통로(31)가 높은 영역에서 또는 가능한 한 하우징의 평균 압축 영역에 제공되는 것을 의미하며, 펌프 챔버의 상기 영역에서 압축 상태에 대응하는 높은 압력의 가스가 상기 통로(31)를 통해서 펌프 챔버에 도입되어서 공지의 원리에 따라 냉각 및/또는 소음 감소시키게 된다. 본 발명의 장점에 따르면, 미리 도입된 가스는 펌프 챔버 쉘(4)의 냉각 포켓에서 냉각됨으로써 펌프의 가압측으로부터 직접 추출될 수 있다. 이를 위하여, 상기 가스는 열교환 튜브(32)를 통과한다.

도시된 실시예의 롤링 베어링(21, 22)은 스프링(29)에 의해 서로에 대하여 고정된 각 접촉 볼 베어링이다. 각각의 축(20)은 베어링 아래의 구동 모터의 전기자(35) 및 모터 하우징(2)에 배열된 구동 모터의 고정자(36)를 중간 커플링 없이직접 지지한다. 모터 하우징은 냉각 통로(38)를 구비할 수도 있다.

도시된 실시예에서는 베어링체(7)에 일편으로 되어 있는 플랜지 판(50)들은 펌프 챔버 하우징(4)의 주연을 따라 외부 여유부(51)를 갖고 기부 판(3)의 상부측에서 인접 내부 여유부(52)를 갖고 장착된다. 플랜지 판(50)은 기부 판(3)에 대하여 밀봉된다. 반경 섹션의 교차선을 따르고 플랜지 판(50)들이 서로에 대하여 지지되게 되는 단부면(53)들은 밀봉 삽입부도 갖추고 있다.

회전식 리세스는 여유부(51, 52)들 사이에서 플랜지 판(50) 아래에 마련되어 있으며, 이 리세스는 공지의 수단을 사용하여 베어링(21)들과 모터 전기자들 사이에서 축(20)들 상에 회전식으로 로킹되도록 배열된 동기화 기어 휠(40)들을 수용하는 작용을 하는 공간(39)을 기부 판(3)의 상부측과 함께 둘러싼다. 이로써, 이들은 플랜지 판(50)의 내측 여유부(52)들 영역에서 서로 맞물릴 수 있게 되고, 상기 내측 여유부는 적절한 지점에 절결부를 갖고 이 절결부를 통해서 기어 휠들이 도달하게 된다. 각 측면에서의 절결부 아래에는 웨브가 위치하여 있으며, 부호 52의 기준선은 도1에서 내측 여유부 지점들을 나타낸다. 웨브는 안정성을 제공할 뿐 아니라 한편으로는 기부 판(3)에 대한 주연 시일을 허용하고 다른 한편으로는 플랜지 판(50)의 평면 분할면들 사이에서의 주연 시일도 허용한다

플랜지 판(50)의 회전식 부분(39)은 동기화 기어 휠(40)들의 직경보다 큰 직경을 갖고 있다. 이들은 내측 여유부(52)에 대하여 약간 편심된 상태로 배열되며, 이로써 밀봉 웨브(52)의 존재에도 불구하고 동기화 기어 휠(40)이 로터 구성 유닛의 조립 시에 삽입될 수 있게 된다.

동기화 기어 휠(40)들을 내장하는 공간(39)이 펌프 챔버로부터 완전히 분리되어 있기 때문에, 동기화 기어 휠들이 오염될 위험성은 없다. 이들은 로터들의 임시 동기화에만 사용된다. 이들의 톱니는 서로 접촉하지 않게 된다. 따라서, 윤활이 불필요해지게 된다. 이를 사용할 필요가 있으면, 공간(39)과 구동 모터 사이의 밀봉이 불필요하기 때문에 동기화 기어 휠들의 건조식 주행이 그 구조를 단순하게 해준다.

동기화 기어 휠(40)들은 펄스 발생기 디스크로서 작용하거나, 그 중 하나가 도1에 도시되어 있는 센서(42)들에 의해 주사되는 추가의 펄스 발생기 디스크들에 의해 보충된다. 이들 센서(42)는 설정 지점에 대한 로터들의 각각의 회전 위치를 모니터링하고 구동부를 거쳐 이를 보정하는 제어 기구에 연결되어 있다. 이는 로터들의 전자식 동기화에 관련되는 것으로 공지되어 있으므로 이에 대한 자세한 설명을 생략한다. 동기화 기어 휠(40)들의 톱니들 사이의 여유부는 로터(8)들의 변위 돌기(9)들 사이의 여유부보다 약간 작다. 그러나, 전자식 동기화 기구의 동기화 공차보다는 크다. 따라서, 동기화 공차의 적절한 기능 수행 중에는 변위 돌기(9)의 플랭크 및 동기화 기어 휠(40)의 톱니들이 서로 접촉하지 않게 된다. 그럼에도 불구하고 기어 휠들의 톱니들이 서로 접촉하는 경우에도 활주를 촉진시킬 필요가 있으면 이들에 마모 저항을 갖는 코팅을 마련한다.

구동 출력 및 회전 속도와 무관하게 결정되는 펌프의 성능 데이타는 로터들에 형성된 변위 또는 이송 용량, 즉 로터의 길이에 의해 결정된다. 따라서, 이송 데이타는 로터들을 포함하는 펌프부의 길이를 변경시킴으로써 변경된다. 상이한성능 데이타를 갖는 일련의 펌프들은 이들 계열의 개개의 펌프가 그 길이의 증가에 의해서 상이하게 되는 것으로부터 서로 구별되며, 펌프 챔버 하우징 및 로터와 필요에 따라서는 베어링체가 수납되는 튜브부들이 로터 안으로 돌출한다.

각각의 로터는 합체된 베어링 및 구동 기구와 함께 구성 유닛을 형성하며, 이 유닛은 로터와는 별도로 장착될 수 있고, 베어링(21, 22)과 베어링체(7) 및 그 안에 마련된 냉각 기구와 축(20) 및 동기화 기어 휠(40)로 이루어져 있다. 이들 유닛은 완전히 미리 조립되는 방식으로 펌프 안에 삽입된다. 이들은 펌프 챔버 하우징의 제거 후에 기부 판(3)으로부터 용이하게 제거되거나 이에 용이하게 삽입될 수 있다. 따라서, 이들 유닛은 교환 후에 사용자에게 남겨진 상태로 되어 민감성 유닛의 보수 등을 위해 제조업자에게 넘겨질 수 있다.

도2 및 도4는 흡입 개구(6)로부터 펌프 챔버 안으로 매체의 직접 도입을 방지하는 커버 판(14)에 의해 흡입 공간(11)이 펌프 챔버로부터 분리되는 것을 도시한다. 그 대신에, 상기 매체는 펌프 챔버 하우징(4)의 넓은 측에 대하여 특정 용기(68)로서 위치하는 두개의 고정 공간(63) 중 하나에서의 헤드 공간(62)에 있는 두개의 개구(61) 중 하나를 통해서 먼저 통과한다. 헤드 공간(62)은 고정 공간(63) 쪽으로 하향 개방되고 두개의 측면 공간(65)들의 격벽(64)에 의해 측방향으로 형성되며, 이들은 고정 공간(63) 쪽으로 개방되고 하나의 개구(66)에 의해 펌프의 펌프 챔버에 연결되고 개구(61)의 일측면에 배열된다. 도입된 매체는 흡입 개구(6)로부터 흡입 공간(11)을 통해서 중심 헤드 공간(62)으로 통과하고, 고정 공간(63) 안으로 하향 편향되고, 측면 헤드 공간(65) 중 하나에 대하여 상방으로 편향되어 여기서 개구(66)를 통해서 펌프 챔버 안으로 통과한다. 따라서, 매체가 고정 공간(63)으로 유동하게 되는 개구(61, 62)는 펌프 챔버 안으로 재차 유동이 일어나게 되는 개구(65, 66)로부터 공간적으로 오프셋 된다. 이로써, 가스류에 부과된 편향으로 인해서 이때에 연행된 액체 또는 고체 입자들이 불활성 작용을 고려하여 고정 공간(63) 안으로 하향 배출된다. 이는 특히 어떠한 액체 서어지에도 적용된다. 액체 서어지가 자주 예상되는 경우에는 고정 공간에 수용된 액체를 위한 배출 기구를 마련할 수도 있다. 이와는 별개로 또는 필요에 따라서는 이에 연결된 상태로 레벨 게이지(67)를 마련할 수도 있다. 펌프는 많은 양의 액체가 안전하게 이송될 수 있도록 동체적형으로 구성된 것이 바람직하다.

Claims (9)

1. 축류 펌프 챔버 내부에서 회전하고 특히 나선형 방식으로 맞물리며 가압측 상에 각각 장착되고 펌프 챔버를 형성하는 하우징(4) 외부에 배열된 모터의 전기자(35)에 각각 연결된 해당 축(20)에 의해 내물림 방식으로 지지되는 한쌍의 변위 로터(8)를 갖는 진공 펌프에 있어서,

   각각의 로터(8)가 이에 합체된 축(20) 및 하우징에 고정될 수 있고 전체 축 베어링 장치를 수용하는 특정 고정 베어링체(7)와 함께 하우징으로부터 제거될 수 있는 유닛을 형성한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
2. 제1항에 있어서, 분리식 베어링체(7)가 각각의 로터(8)에 배치된 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 펌프 챔버를 형성하는 하우징(4)이 가압측 상의 기부 판(3)에 인접하고, 상기 기부 판(3)에 베어링체(7)가 고정될 수 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 로터 구성 유닛과 함께 제거될 수 있는 플랜지 판(50)이 펌프 챔버로부터 밀봉되는 공간을 형성하고, 상기 공간 안에 동기화 기어 휠(40) 및/또는 펄스 발생기 디스크가 마련된 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 모터를 수용하는 모터 하우징(37)이 펌프 챔버 하우징(4)으로부터 먼 측면에서 기부 판(3) 상에 배열된 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 적어도 하나의 로터 베어링(22)이 공간(24) 내의 로터(8) 내부에 배열되고, 튜브부(23) 상의 로터의 가압측으로만 개방되고 베어링체(7)의 로터(8) 안으로 돌출하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 모터 전기자(5)가 전체적으로 제거가능한 로터 구성 유닛에 포함되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 동기화 기어 휠 또는 펄스 발생기 디스크가 전체적으로 제거가능한 로터 구성 유닛에 포함되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 구동부와는 상이한 이송 데이타를 갖는 펌프들이 로터 및 펌프 하우징의 길이만 반드시 다르고, 필요에 따라서는 베어링체의 튜브부 및 로터(8)의 주연에 있는 변위 돌기의 형태가 다른 것을 특징으로 하는 진공 펌프.