JP3049793B2 - 流体回転装置 - Google Patents
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P1/00—Arrangements for starting electric motors or dynamo-electric converters
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/19—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
- G05B19/39—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using a combination of the means covered by at least two of the preceding sub-groups G05B19/21, G05B19/27, and G05B19/33
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P5/00—Arrangements specially adapted for regulating or controlling the speed or torque of two or more electric motors
- H02P5/46—Arrangements specially adapted for regulating or controlling the speed or torque of two or more electric motors for speed regulation of two or more dynamo-electric motors in relation to one another
- H02P5/52—Arrangements specially adapted for regulating or controlling the speed or torque of two or more electric motors for speed regulation of two or more dynamo-electric motors in relation to one another additionally providing control of relative angular displacement
- H02P5/56—Speed and position comparison between the motors by electrical means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2240/00—Components
- F04C2240/40—Electric motor
- F04C2240/402—Plurality of electronically synchronised motors
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は流体回転装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、同期して駆動すべき複数の駆動軸
それぞれを複数のモータで回転駆動させる多軸駆動装置
が様々な機器に用いられている。
それぞれを複数のモータで回転駆動させる多軸駆動装置
が様々な機器に用いられている。
【０００３】この多軸駆動装置において、高精度の同期
駆動を実現するために、駆動軸の回転状態を検出するエ
ンコーダと、回転駆動パルス信号を発生するパルス発生
器を備えるとともに、前記回転駆動パルス信号とフィー
ドバック信号としての前記エンコーダの検出パルス信号
を入力するとともにＰＬＬ制御部を有するモータ制御回
路を各モータ毎に備え、ＰＬＬ制御部を通るＰＬＬ制御
ループが形成されるようになっている装置がある。
駆動を実現するために、駆動軸の回転状態を検出するエ
ンコーダと、回転駆動パルス信号を発生するパルス発生
器を備えるとともに、前記回転駆動パルス信号とフィー
ドバック信号としての前記エンコーダの検出パルス信号
を入力するとともにＰＬＬ制御部を有するモータ制御回
路を各モータ毎に備え、ＰＬＬ制御部を通るＰＬＬ制御
ループが形成されるようになっている装置がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
多軸駆動装置は、定常状態の場合には高精度で同期駆動
がなされるが、回転立ち上げ時や立ち下げ時の過渡状態
（非定常状態）では同期が乱れ、過渡状態でも高精度の
同期駆動が要求されるような場合には適用が困難であっ
た。
多軸駆動装置は、定常状態の場合には高精度で同期駆動
がなされるが、回転立ち上げ時や立ち下げ時の過渡状態
（非定常状態）では同期が乱れ、過渡状態でも高精度の
同期駆動が要求されるような場合には適用が困難であっ
た。
【０００５】さて、真空技術は日常生活に密着した分野
から、最先端のハイテク分野まで極めて幅広い領域で使
われており、今日では技術革新に欠くことのできない先
端テクノロジーである。
から、最先端のハイテク分野まで極めて幅広い領域で使
われており、今日では技術革新に欠くことのできない先
端テクノロジーである。
【０００６】特に、半導体産業の発展に伴って、クリー
ンな真空を作りだすオイルフリーのドライポンプが注目
されている。
ンな真空を作りだすオイルフリーのドライポンプが注目
されている。
【０００７】このドライポンプはスクリュー式，スクロ
ール式，クロー式等各種あるが、通常、大気圧から１０
−２〜１０−３ｔｏｒｒまでの低真空領域では容積（変
化）式が用いられる。この容積式の真空ポンプは、例え
ば、ハウジング内に収納された複数のロータと、これら
のロータを同期して回転駆動する複数の駆動軸と、前記
ハウジングに形成された液体の吸入孔および吐出孔とを
備え、前記ロータ同士あるいはロータ・ハウジングで形
成される密閉空間の容積変化を利用して流体の吸入排気
を行うポンプである。
ール式，クロー式等各種あるが、通常、大気圧から１０
−２〜１０−３ｔｏｒｒまでの低真空領域では容積（変
化）式が用いられる。この容積式の真空ポンプは、例え
ば、ハウジング内に収納された複数のロータと、これら
のロータを同期して回転駆動する複数の駆動軸と、前記
ハウジングに形成された液体の吸入孔および吐出孔とを
備え、前記ロータ同士あるいはロータ・ハウジングで形
成される密閉空間の容積変化を利用して流体の吸入排気
を行うポンプである。
【０００８】このポンプをオイルフリーとするために、
従来はロータを駆動するモータの軸および複数のロータ
の同期回転を行うためのタイミングギア、軸受が収納さ
れた空間にオイル室を設け、ロータとハウジングで形成
される密閉空間（吸入室）へのオイルの進入を防止する
ため、メカニカルシールを両室の間に設けている。
従来はロータを駆動するモータの軸および複数のロータ
の同期回転を行うためのタイミングギア、軸受が収納さ
れた空間にオイル室を設け、ロータとハウジングで形成
される密閉空間（吸入室）へのオイルの進入を防止する
ため、メカニカルシールを両室の間に設けている。
【０００９】しかし、従来のポンプの構造では、オイ
ル，メカニカルシール等の定期交換、メンテナンスはや
はり必要であり、オイルの滲み出し等の環境汚染の完全
な防止は困難であった。
ル，メカニカルシール等の定期交換、メンテナンスはや
はり必要であり、オイルの滲み出し等の環境汚染の完全
な防止は困難であった。
【００１０】そこで、発明者らは、前述した多軸同期制
御を利用して、２つのロータを非接触で同期回転させる
ことにより、完全なオイルフリーの構成が図れる流体回
転装置（真空ポンプ）を既に提案している。しかし、先
の提案は、真空ポンプの起動開始時および停止時の同期
制御の具体的方法については何ら言及されていなかっ
た。
御を利用して、２つのロータを非接触で同期回転させる
ことにより、完全なオイルフリーの構成が図れる流体回
転装置（真空ポンプ）を既に提案している。しかし、先
の提案は、真空ポンプの起動開始時および停止時の同期
制御の具体的方法については何ら言及されていなかっ
た。
【００１１】この発明は、上記事情に鑑み、非定常状態
においても高精度の同期駆動が行える多軸駆動装置およ
び回転始動時，終了時，定常運転時のいずれの状態にお
いても、複数のロータを非接触で同期回転させられる流
体回転装置を提供することを課題とする。
においても高精度の同期駆動が行える多軸駆動装置およ
び回転始動時，終了時，定常運転時のいずれの状態にお
いても、複数のロータを非接触で同期回転させられる流
体回転装置を提供することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明はハウジング内に収容された複
数個のロータと、これらのロータを同期して回転駆動す
る複数の駆動軸と、前記ハウジングに形成された流体の
吸入口および吐出口とを備え、前記ロータ同士あるいは
ロータ・ハウジングで形成される空間の容積変化を利用
して流体の吸入排気を行う流体回転装置において、前記
複数の駆動軸をそれぞれ回転駆動する複数のモータと、
前記駆動軸の回転状態を検出する検出手段と、回転駆動
信号を入力するとともに前記検出手段の検出信号をフィ
ードバック信号として入力するモータ制御回路を各モー
タ毎に備えており、各モータ制御回路は少なくとも複数
軸の角度を制御する回転角位相合せ部を有していて、モ
ータ回転の立ち上げ時あるいは立ち下げ時には前記回転
角位相合わせ部の制御ループが形成され各駆動軸間の位
置合わせが行われる流体回転装置である。
め、請求項１記載の発明はハウジング内に収容された複
数個のロータと、これらのロータを同期して回転駆動す
る複数の駆動軸と、前記ハウジングに形成された流体の
吸入口および吐出口とを備え、前記ロータ同士あるいは
ロータ・ハウジングで形成される空間の容積変化を利用
して流体の吸入排気を行う流体回転装置において、前記
複数の駆動軸をそれぞれ回転駆動する複数のモータと、
前記駆動軸の回転状態を検出する検出手段と、回転駆動
信号を入力するとともに前記検出手段の検出信号をフィ
ードバック信号として入力するモータ制御回路を各モー
タ毎に備えており、各モータ制御回路は少なくとも複数
軸の角度を制御する回転角位相合せ部を有していて、モ
ータ回転の立ち上げ時あるいは立ち下げ時には前記回転
角位相合わせ部の制御ループが形成され各駆動軸間の位
置合わせが行われる流体回転装置である。
【００１３】請求項３記載の流体回転装置は、加えて、
真空装置内の真空度を設定する真空度設定手段を備え、
この真空度になるようモ−タの回転数を変化させる構成
となっている。
真空装置内の真空度を設定する真空度設定手段を備え、
この真空度になるようモ−タの回転数を変化させる構成
となっている。
【００１４】
【作用】請求項１記載の流体回転装置は、例えば、容積
式の真空ポンプに適用することにより、立ち上げ時、立
ち下げ時の過渡状態および定常回転状態でも、ポンプ内
の各摺動部を非接触に保つことができるため、オイル潤
滑の要らないクリーンな真空ポンプを実現できる。ま
た、請求項３記載の流体回転装置は、バタフライ弁を使
わずとも、高精度の圧力コントロールが実現できる。
式の真空ポンプに適用することにより、立ち上げ時、立
ち下げ時の過渡状態および定常回転状態でも、ポンプ内
の各摺動部を非接触に保つことができるため、オイル潤
滑の要らないクリーンな真空ポンプを実現できる。ま
た、請求項３記載の流体回転装置は、バタフライ弁を使
わずとも、高精度の圧力コントロールが実現できる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を述べる。
【００１６】図１は、実施例の多軸駆動装置の構成をあ
らわすブロック図であり、まず構成を中心とする説明を
行う。
らわすブロック図であり、まず構成を中心とする説明を
行う。
【００１７】この多軸駆動装置は、同期して駆動すべき
２つの駆動軸１，２それぞれを回転駆動する２つのモー
タＭ１，Ｍ２を備えるとともに、各モータＭ１，Ｍ２毎
にモータ制御回路３，４を備えている。そして、駆動軸
１，２の回転状態（回転位置や回転速度）を検出するた
めに、各モータＭ１，Ｍ２毎にインクリメンタルエンコ
ーダ５，６およびアブソリュウトエンコーダ７，８を備
え、モータ制御回路３，４の前段に、回転駆動パルス信
号を発生するパルス発生器９を備える。また、これらの
モータ制御回路３，４およびパルス発生器９に対し必要
なコントロール信号を送るＣＰＵ制御部１０も備えてい
る。
２つの駆動軸１，２それぞれを回転駆動する２つのモー
タＭ１，Ｍ２を備えるとともに、各モータＭ１，Ｍ２毎
にモータ制御回路３，４を備えている。そして、駆動軸
１，２の回転状態（回転位置や回転速度）を検出するた
めに、各モータＭ１，Ｍ２毎にインクリメンタルエンコ
ーダ５，６およびアブソリュウトエンコーダ７，８を備
え、モータ制御回路３，４の前段に、回転駆動パルス信
号を発生するパルス発生器９を備える。また、これらの
モータ制御回路３，４およびパルス発生器９に対し必要
なコントロール信号を送るＣＰＵ制御部１０も備えてい
る。
【００１８】各モータ制御回路３（４）は、図１にみる
ように、ＰＬＬ制御回路３１（４１）、ＰＬＬ制御回路
３２（４２）、回転角位相合せ部３３（４３）、ドライ
バ部（電流増幅器）３４（４４）およびパルス抜き部３
５（４５）を有している。ＰＬＬ制御回路３１（４
１）、ＰＬＬ制御回路３２（４２）、回転角位相合せ部
３３（４３）には、パルス抜き部３５（４５）を介して
パルス発生器９の回転駆動パルス信号が入力されるとと
もにインクリメンタルエンコーダ５（６）の検出パルス
信号がフィードバック信号として入力される。そして、
ＰＬＬ制御部３１（４１）を通るＰＬＬ制御ループ、
ＰＬＬ制御部３２（４２）を通るＰＬＬ制御ループ、
回転角位相合せ部３３（４３）を通る回転角位相合せ制
御ループが形成可能になっており、ＣＰＵ制御部１０
の出力でスイッチ部３６（４６）が切り換えられ、ＰＬ
Ｌ制御ループのみが形成される状態〔接点３６ａ（４
６ａ）を選択〕、ＰＬＬ制御ループおよび回転角位相
合せ制御ループが形成される状態〔接点３６ｂ（４６
ｂ）を選択〕、回転角位相合せ制御ループのみが形成
される状態〔接点３６ｃ（４６ｃ）を選択〕のいずれか
が選ばれるようになっている。
ように、ＰＬＬ制御回路３１（４１）、ＰＬＬ制御回路
３２（４２）、回転角位相合せ部３３（４３）、ドライ
バ部（電流増幅器）３４（４４）およびパルス抜き部３
５（４５）を有している。ＰＬＬ制御回路３１（４
１）、ＰＬＬ制御回路３２（４２）、回転角位相合せ部
３３（４３）には、パルス抜き部３５（４５）を介して
パルス発生器９の回転駆動パルス信号が入力されるとと
もにインクリメンタルエンコーダ５（６）の検出パルス
信号がフィードバック信号として入力される。そして、
ＰＬＬ制御部３１（４１）を通るＰＬＬ制御ループ、
ＰＬＬ制御部３２（４２）を通るＰＬＬ制御ループ、
回転角位相合せ部３３（４３）を通る回転角位相合せ制
御ループが形成可能になっており、ＣＰＵ制御部１０
の出力でスイッチ部３６（４６）が切り換えられ、ＰＬ
Ｌ制御ループのみが形成される状態〔接点３６ａ（４
６ａ）を選択〕、ＰＬＬ制御ループおよび回転角位相
合せ制御ループが形成される状態〔接点３６ｂ（４６
ｂ）を選択〕、回転角位相合せ制御ループのみが形成
される状態〔接点３６ｃ（４６ｃ）を選択〕のいずれか
が選ばれるようになっている。
【００１９】ＰＬＬ制御部は、入力する回転駆動パルス
信号とエンコーダからの検出パルス信号の周波数および
位相が常に一致するようにそれらの位相差を検出しフィ
ードバック制御するように構成されているものである。
一例として、回転駆動パルス信号と検出パルス信号を入
力し、位相比較器で位相差を検出しローパルスフィルタ
を通してから、位相補償を施すという構成が挙げられる
が、周知の手段であるから、詳細な説明は省略する。
信号とエンコーダからの検出パルス信号の周波数および
位相が常に一致するようにそれらの位相差を検出しフィ
ードバック制御するように構成されているものである。
一例として、回転駆動パルス信号と検出パルス信号を入
力し、位相比較器で位相差を検出しローパルスフィルタ
を通してから、位相補償を施すという構成が挙げられる
が、周知の手段であるから、詳細な説明は省略する。
【００２０】なお、パルス抜き部３５（４５）はＣＰＵ
制御部１０の指令に応じてパルス発生器９の回転駆動パ
ルス信号から指令数のパルスを抜く働きをする。
制御部１０の指令に応じてパルス発生器９の回転駆動パ
ルス信号から指令数のパルスを抜く働きをする。
【００２１】一方、アブソリュウトエンコーダ７（８）
の出力はカウンタ１２（１３）で回転位置信号に返換さ
れてＣＰＵ制御部１０に入力される。
の出力はカウンタ１２（１３）で回転位置信号に返換さ
れてＣＰＵ制御部１０に入力される。
【００２２】続いて、動作の説明を行う。 −立ち上がり時− （図４のの期間） まず、駆動軸１，２の回転角位相差を所定の位相差に合
わせる。
わせる。
【００２３】モータ制御回路３，４では回転角位相合せ
制御ループのみが形成される状態〔接点３６ｃ（４６
ｃ）を選択〕が選ばれる。ＣＰＵ制御部１０は、パルス
発生器９から低周波で回転駆動パルス信号を発生させる
一方、アブソリュウトエンコーダ７，８で検出された回
転位置信号に基づいて、駆動軸１，２の回転角位相差が
所定の位相差となるように、パルス抜き部３５（４５）
をコントロールしてパルス発生器９からパルスを必要数
だけモータ制御回路３，４に送り、位相差合せを行う。
制御ループのみが形成される状態〔接点３６ｃ（４６
ｃ）を選択〕が選ばれる。ＣＰＵ制御部１０は、パルス
発生器９から低周波で回転駆動パルス信号を発生させる
一方、アブソリュウトエンコーダ７，８で検出された回
転位置信号に基づいて、駆動軸１，２の回転角位相差が
所定の位相差となるように、パルス抜き部３５（４５）
をコントロールしてパルス発生器９からパルスを必要数
だけモータ制御回路３，４に送り、位相差合せを行う。
【００２４】（図４のの期間） 続いて、駆動軸１，２の回転角位相差を所定の位相差に
保った状態で回転数を定常状態まで上昇させる。
保った状態で回転数を定常状態まで上昇させる。
【００２５】モータ制御回路３，４ではＰＬＬ制御ルー
プおよび回転角位相合せ制御ループが並列形成され
る状態〔接点３６ｂ（４６ｂ）を選択〕が選ばれる。パ
ルス発生器９の回転駆動パルス信号の周波数を徐々に上
げてゆく。ＰＬＬ制御ループは応答性は余り高くな
く、ＰＬＬ制御ループだけでは両駆動軸１，２の初期
設定回転角位相差をたもてない。回転角位相合せ制御ル
ープは、回転角位相合せ部３３（４３）が、例えば、
偏差カウンタを有していてインクリメンタルエンコーダ
５（６）の出力を監視し、回転角位相差のずれを瞬時に
補正し周波数上昇に正確に追随してゆく働きをする。つ
まり、この回転角位相合せ制御ループは、いわゆるｆ／
Ｖ変換方式の速度制御を行うループである。このように
して、ＰＬＬ制御ループおよび回転角位相合せ制御ル
ープの両方で過渡状態においても高精度の同期駆動を
実現するのである。 −定常運転− （図４のの期間） 駆動軸１，２が定常回転数に達すると、モータ制御回路
３，４ではＰＬＬ制御ループのみが形成される状態
〔接点３６ｃ（４６ｃ）を選択〕が選ばれる。定常状態
では、回転駆動パルス信号の周波数は殆ど変化しないの
で回転角位相合せ制御ループを外しても、回転角位相
差は所定の位相差に保持される。また、定常運転におい
て逆に若干の位相差を強制的に修正することにより最適
制御を行う場合がある。この場合には、パルス抜き部３
５（４５）でパルス抜きを行い、両駆動軸１，２の回転
角度位相差を修正するが、回転角位相合せ制御ループ
が効いていると修正しても元の所定の位相差に戻ってし
まい、修正が出来ないことになる。
プおよび回転角位相合せ制御ループが並列形成され
る状態〔接点３６ｂ（４６ｂ）を選択〕が選ばれる。パ
ルス発生器９の回転駆動パルス信号の周波数を徐々に上
げてゆく。ＰＬＬ制御ループは応答性は余り高くな
く、ＰＬＬ制御ループだけでは両駆動軸１，２の初期
設定回転角位相差をたもてない。回転角位相合せ制御ル
ープは、回転角位相合せ部３３（４３）が、例えば、
偏差カウンタを有していてインクリメンタルエンコーダ
５（６）の出力を監視し、回転角位相差のずれを瞬時に
補正し周波数上昇に正確に追随してゆく働きをする。つ
まり、この回転角位相合せ制御ループは、いわゆるｆ／
Ｖ変換方式の速度制御を行うループである。このように
して、ＰＬＬ制御ループおよび回転角位相合せ制御ル
ープの両方で過渡状態においても高精度の同期駆動を
実現するのである。 −定常運転− （図４のの期間） 駆動軸１，２が定常回転数に達すると、モータ制御回路
３，４ではＰＬＬ制御ループのみが形成される状態
〔接点３６ｃ（４６ｃ）を選択〕が選ばれる。定常状態
では、回転駆動パルス信号の周波数は殆ど変化しないの
で回転角位相合せ制御ループを外しても、回転角位相
差は所定の位相差に保持される。また、定常運転におい
て逆に若干の位相差を強制的に修正することにより最適
制御を行う場合がある。この場合には、パルス抜き部３
５（４５）でパルス抜きを行い、両駆動軸１，２の回転
角度位相差を修正するが、回転角位相合せ制御ループ
が効いていると修正しても元の所定の位相差に戻ってし
まい、修正が出来ないことになる。
【００２６】−立ち下がり時− （図４のの期間） 運転を停止する場合には、駆動軸１，２の回転角位相差
を所定の位相差に保った状態で回転停止に至らせる。
を所定の位相差に保った状態で回転停止に至らせる。
【００２７】モータ制御回路３，４ではＰＬＬ制御ルー
プおよび回転角位相合せ制御ループが並列形成され
る状態〔接点３６ｂ（４６ｂ）を選択〕が選ばれる。パ
ルス発生器９の回転駆動パルス信号の周波数を徐々に落
としてゆく。ＰＬＬ制御ループは微小変動には強いが
大きな変動には応答性が余り高くなく、ＰＬＬ制御ルー
プだけでは両駆動軸１，２の回転角位相差を所定の位
相差にたもてない。回転角位相合せ制御ループは、回転
角位相合せ部３３（４３）が、例えば、偏差カウンタを
有していてインクリメンタルエンコーダ５（６）の出力
を監視し、回転角位相差のずれを瞬時に補正し周波数下
降に正確に追随してゆく働きをするのである。このよう
にして、ＰＬＬ制御ループおよび回転角位相合せ制御
ループの両方で立ち下がり時においても高精度の同期
駆動を実現する。
プおよび回転角位相合せ制御ループが並列形成され
る状態〔接点３６ｂ（４６ｂ）を選択〕が選ばれる。パ
ルス発生器９の回転駆動パルス信号の周波数を徐々に落
としてゆく。ＰＬＬ制御ループは微小変動には強いが
大きな変動には応答性が余り高くなく、ＰＬＬ制御ルー
プだけでは両駆動軸１，２の回転角位相差を所定の位
相差にたもてない。回転角位相合せ制御ループは、回転
角位相合せ部３３（４３）が、例えば、偏差カウンタを
有していてインクリメンタルエンコーダ５（６）の出力
を監視し、回転角位相差のずれを瞬時に補正し周波数下
降に正確に追随してゆく働きをするのである。このよう
にして、ＰＬＬ制御ループおよび回転角位相合せ制御
ループの両方で立ち下がり時においても高精度の同期
駆動を実現する。
【００２８】なお、ＣＰＵ制御部１０は、いずれの状態
においても、アブソリュウトエンコーダ７，８で検出さ
れた回転角度位相信号を監視し、回転角位相差にずれが
あれば、パルス抜き部３５（４５）をコントロールする
などして回転駆動パルス信号を修正しずれを防ぐ。
においても、アブソリュウトエンコーダ７，８で検出さ
れた回転角度位相信号を監視し、回転角位相差にずれが
あれば、パルス抜き部３５（４５）をコントロールする
などして回転駆動パルス信号を修正しずれを防ぐ。
【００２９】また、上記実施例では各モータ制御回路
３，４はＰＬＬ制御部３１，３２（４１，４２）を各々
２個ずつ有していたが、各モータ制御回路３，４はＰＬ
Ｌ制御部３２（４２）が１個だけであって、ＰＬＬ制御
部４２の出力をじかに接点４６ａに接続するようにして
もよい。
３，４はＰＬＬ制御部３１，３２（４１，４２）を各々
２個ずつ有していたが、各モータ制御回路３，４はＰＬ
Ｌ制御部３２（４２）が１個だけであって、ＰＬＬ制御
部４２の出力をじかに接点４６ａに接続するようにして
もよい。
【００３０】次に、請求項３，５記載の流体回転装置の
実施例を述べる。
実施例を述べる。
【００３１】 図２，３は、この発明にかかる流体回転装
置の一実施例としての容積式真空ポンプを示す図であっ
て、図２は断面図であり、図３はハウジングのみを破断
してあらわす正面図である。
置の一実施例としての容積式真空ポンプを示す図であっ
て、図２は断面図であり、図３はハウジングのみを破断
してあらわす正面図である。
【００３２】この真空ポンプは、ハウジング１０１内
に、第１回転軸（駆動軸）１０２を鉛直方向に収納した
第１軸受室１１１と、第２回転軸（駆動軸）１０３を鉛
直方向に収納した第２軸受室１１２を備えている。両回
転軸１０２，１０３の上端部で筒形ロータ１０４，１０
５が外側から篏合されている。各ロータ１０４，１０５
の外周面には互いに噛み合うようにしてスクリュー１４
２，１５２が形成されている。これら両スクリュー１４
２，１５２の噛み合う部分は、容積式真空ポンプ構造部
分Ａとなっている。すなわち、両スクリュー１４２，１
５２の噛み合い部分の凹部（溝）と凸部およびハウジン
グの間に形成された密閉空間が、両回転軸１０２，１０
３の回転に伴い周期的に容積変化を起こし、この容積変
化により吸入・排気作用を発揮するようになっているの
である。
に、第１回転軸（駆動軸）１０２を鉛直方向に収納した
第１軸受室１１１と、第２回転軸（駆動軸）１０３を鉛
直方向に収納した第２軸受室１１２を備えている。両回
転軸１０２，１０３の上端部で筒形ロータ１０４，１０
５が外側から篏合されている。各ロータ１０４，１０５
の外周面には互いに噛み合うようにしてスクリュー１４
２，１５２が形成されている。これら両スクリュー１４
２，１５２の噛み合う部分は、容積式真空ポンプ構造部
分Ａとなっている。すなわち、両スクリュー１４２，１
５２の噛み合い部分の凹部（溝）と凸部およびハウジン
グの間に形成された密閉空間が、両回転軸１０２，１０
３の回転に伴い周期的に容積変化を起こし、この容積変
化により吸入・排気作用を発揮するようになっているの
である。
【００３３】ロータ１０４，１０５の各下端外周面に
は、図２に示すようなスクリュー同士の接触防止用ギア
１４４，１５４が設けられている。接触防止用ギア１４
４，１５４には多少の金属間接触にも耐えられるよう
に、体膜潤滑膜が形成されている。これら両接触防止用
ギア１４４，１５４の互いの噛み合い部分の隙間（バッ
クラッシュ）δ２は、両ロータ１０４，１０５の各外周
面に形成されたスクリューの互いの噛み合い部分の隙間
（バックラッシュ）δ１よりも小さくなるように設計さ
れている。そのため、両接触防止用ギア１４４，１５４
は、両回転軸１０２，１０３の同期回転が円滑に行われ
ているときは互いが接触することはないが、万一、この
同期がずれたときは、スクリュー１４２，１５２同士の
接触に先立って互いに接触することにより、両スクリュ
ー１４２，１５２の接触衝突を防止する働きをする。こ
のとき、バックラッシュδ１，δ２が微小であると、実
用的なレベルでの部材の加工制度が得られないという点
が懸念される。しかし、ポンプの一工程中の流体の漏れ
総量は、ポンプの一工程に要する時間に比例するので、
回転軸１０２，１０３が高速回転であれば、両スクリュ
ー１４２，１５２間のバックラッシュδ１を少々大きく
しても十分に真空ポンプの性能（到達真空度など）を維
持できる。そのため、回転軸を高速で回転させるように
すれば、通常の加工精度で、スクリュー１４２，１５２
間の衝突防止に必要な寸法のバックラッシュδ１，δ２
を十分に確保できる。
は、図２に示すようなスクリュー同士の接触防止用ギア
１４４，１５４が設けられている。接触防止用ギア１４
４，１５４には多少の金属間接触にも耐えられるよう
に、体膜潤滑膜が形成されている。これら両接触防止用
ギア１４４，１５４の互いの噛み合い部分の隙間（バッ
クラッシュ）δ２は、両ロータ１０４，１０５の各外周
面に形成されたスクリューの互いの噛み合い部分の隙間
（バックラッシュ）δ１よりも小さくなるように設計さ
れている。そのため、両接触防止用ギア１４４，１５４
は、両回転軸１０２，１０３の同期回転が円滑に行われ
ているときは互いが接触することはないが、万一、この
同期がずれたときは、スクリュー１４２，１５２同士の
接触に先立って互いに接触することにより、両スクリュ
ー１４２，１５２の接触衝突を防止する働きをする。こ
のとき、バックラッシュδ１，δ２が微小であると、実
用的なレベルでの部材の加工制度が得られないという点
が懸念される。しかし、ポンプの一工程中の流体の漏れ
総量は、ポンプの一工程に要する時間に比例するので、
回転軸１０２，１０３が高速回転であれば、両スクリュ
ー１４２，１５２間のバックラッシュδ１を少々大きく
しても十分に真空ポンプの性能（到達真空度など）を維
持できる。そのため、回転軸を高速で回転させるように
すれば、通常の加工精度で、スクリュー１４２，１５２
間の衝突防止に必要な寸法のバックラッシュδ１，δ２
を十分に確保できる。
【００３４】ハウジング１０１の容積真空ポンプ構造部
分Ａが配置されている部分の上流側には吸気口１１４が
設けられ、下流側には排気口１１５が設けられている。
分Ａが配置されている部分の上流側には吸気口１１４が
設けられ、下流側には排気口１１５が設けられている。
【００３５】第１回転軸１０２と第２回転軸１０３は、
それぞれの筒形ロータ１０４，１０５の内部空間１４
５，１５５内に設けられた非接触の下記静圧軸受で支持
されている。すなわち、オリフィス１１６から、両軸１
０２，１０３に形成されている。
それぞれの筒形ロータ１０４，１０５の内部空間１４
５，１５５内に設けられた非接触の下記静圧軸受で支持
されている。すなわち、オリフィス１１６から、両軸１
０２，１０３に形成されている。
【００３６】 円盤状部分１２１，１３１の上下面に圧搾
気体を供給することにより、スラスト軸受が構成され、
他方、オリフィス１１７から、両軸１０２，１０３の外
周面に圧搾気体を供給することにより、ラジアル軸受が
構成されている。ここで、圧搾気体として半導体工場等
で常備されているクリーンな窒素ガスを用いれば、モー
タの収納された内部空間１４５，１５５内の圧力を大気
圧よりも高くすることができる。そのため、腐食性があ
り堆積物を生じやすい反応性ガスの内部空間１４５，１
５５内への進入を防止することができる。
気体を供給することにより、スラスト軸受が構成され、
他方、オリフィス１１７から、両軸１０２，１０３の外
周面に圧搾気体を供給することにより、ラジアル軸受が
構成されている。ここで、圧搾気体として半導体工場等
で常備されているクリーンな窒素ガスを用いれば、モー
タの収納された内部空間１４５，１５５内の圧力を大気
圧よりも高くすることができる。そのため、腐食性があ
り堆積物を生じやすい反応性ガスの内部空間１４５，１
５５内への進入を防止することができる。
【００３７】軸受は、前記静圧軸受によるのみでなく、
磁気軸受によっても良く、この場合も、静圧軸受同様に
非接触であるために高速回転が容易で、完全オイルフリ
ーな構成となる。軸受部に玉軸受を用い、かつその潤滑
のために潤滑油を用いる場合には、窒素ガスを利用した
ガスバージ機構により流体作動室への潤滑油の侵入を防
ぐことができる。
磁気軸受によっても良く、この場合も、静圧軸受同様に
非接触であるために高速回転が容易で、完全オイルフリ
ーな構成となる。軸受部に玉軸受を用い、かつその潤滑
のために潤滑油を用いる場合には、窒素ガスを利用した
ガスバージ機構により流体作動室への潤滑油の侵入を防
ぐことができる。
【００３８】第１回転軸１０２も第２回転軸１０３も、
それぞれの下部に独立して設けられたＡＣサーボモータ
１０６，１０７により数万ｒｐｍの高速で回転する。
それぞれの下部に独立して設けられたＡＣサーボモータ
１０６，１０７により数万ｒｐｍの高速で回転する。
【００３９】続いて、真空ポンプとしての動作を説明す
る。
る。
【００４０】 まず、真空ポンプを駆動する場合、図５に
みるように、スクリュー１４２，１５２の凹凸の中心が
互いに一致するように、両回転軸１０１，１０２の回転
角位相差を所定の位相差に合わせる。なお、接触防止ギ
ア１４４，１５４がある場合、これを利用して、回転角
位相差を所定の位相差に合わせることもできる。
みるように、スクリュー１４２，１５２の凹凸の中心が
互いに一致するように、両回転軸１０１，１０２の回転
角位相差を所定の位相差に合わせる。なお、接触防止ギ
ア１４４，１５４がある場合、これを利用して、回転角
位相差を所定の位相差に合わせることもできる。
【００４１】続いて、回転軸１０２，１０３の回転角位
相差を所定の位相差に保った状態で回転数を定常状態ま
で上昇させる。ギア１４４，１５４同士（スクリュウ同
士も）が接触することなく、パルス発生器９の回転駆動
パルス信号で指令された回転数に正確に従い円滑に定常
状態まで上昇する。多軸駆動装置が前述の立ち上がり時
の動作をするのである。
相差を所定の位相差に保った状態で回転数を定常状態ま
で上昇させる。ギア１４４，１５４同士（スクリュウ同
士も）が接触することなく、パルス発生器９の回転駆動
パルス信号で指令された回転数に正確に従い円滑に定常
状態まで上昇する。多軸駆動装置が前述の立ち上がり時
の動作をするのである。
【００４２】定常運転では、ＰＬＬ制御ループにより
高精度で同期駆動を続ける。
高精度で同期駆動を続ける。
【００４３】 真空ポンプを停止させる場合は、回転軸１
０２，１０３の回転角位相差を所定の位相差に保った状
態で回転停止状態まで移行させる。ギア１４４，１５４
同士（スクリュウ同士も）が接触することなく、パルス
発生器９の回転駆動パルス信号で指令された回転数に正
確に従い円滑に停止状態に至る。多軸駆動装置が前述の
立ち下がり時の動作をするのである。
０２，１０３の回転角位相差を所定の位相差に保った状
態で回転停止状態まで移行させる。ギア１４４，１５４
同士（スクリュウ同士も）が接触することなく、パルス
発生器９の回転駆動パルス信号で指令された回転数に正
確に従い円滑に停止状態に至る。多軸駆動装置が前述の
立ち下がり時の動作をするのである。
【００４４】このように、この真空ポンプでは、定常状
態だけでなく過渡状態でも高精度で回転軸１０１，１０
２（実施例ではスクリュー）を同期駆動できる。
態だけでなく過渡状態でも高精度で回転軸１０１，１０
２（実施例ではスクリュー）を同期駆動できる。
【００４５】すなわち、本発明を適用したこの真空ポン
プは、タイミングギアで同期をとらないためにタイミン
グギア部へのオイル潤滑が不要であり、またオイルシー
ルも省略できる。その結果、油汚染のないクリーンな真
空を得ることができる。機械的な摺動部がないため回転
軸１０１，１０２のより高速駆動が可能でポンプ能力の
向上が図れ、しかも、低騒音でポンプの長寿命化が図れ
るという利点がある。
プは、タイミングギアで同期をとらないためにタイミン
グギア部へのオイル潤滑が不要であり、またオイルシー
ルも省略できる。その結果、油汚染のないクリーンな真
空を得ることができる。機械的な摺動部がないため回転
軸１０１，１０２のより高速駆動が可能でポンプ能力の
向上が図れ、しかも、低騒音でポンプの長寿命化が図れ
るという利点がある。
【００４６】 もし、さらに回転軸を静圧ガス・ベアリン
グで支持すれば、回転軸の一層の高速化が図れ、ポンプ
も小型化できる。
グで支持すれば、回転軸の一層の高速化が図れ、ポンプ
も小型化できる。
【００４７】請求項３のように、排気空間内の真空度を
設定する真空度設定手段（図示省略）と排気空間内の真
空度を検出する真空度検出手段（図示省略）を備え、設
定真空度と検出真空度の差に応じて回転数指令パルス信
号が変化するように構成し、排気空間内の検出真空度に
応じてロータ１０４，１０５の回転数を変えるようにし
ても、正確な回転数制御がなされるため、低真空から高
真空まで広い真空度範囲にわたり正確な排気制御が行え
ることとなる。その結果、バタフライ弁を用いないで、
高精度の排気能力の制御と、例えば、真空チャンバー内
の圧力制御が容易となるのである。
設定する真空度設定手段（図示省略）と排気空間内の真
空度を検出する真空度検出手段（図示省略）を備え、設
定真空度と検出真空度の差に応じて回転数指令パルス信
号が変化するように構成し、排気空間内の検出真空度に
応じてロータ１０４，１０５の回転数を変えるようにし
ても、正確な回転数制御がなされるため、低真空から高
真空まで広い真空度範囲にわたり正確な排気制御が行え
ることとなる。その結果、バタフライ弁を用いないで、
高精度の排気能力の制御と、例えば、真空チャンバー内
の圧力制御が容易となるのである。
【００４８】通常、図５にみるように、スクリュー１４
２，１５２の凹凸の中心が互いに一致するように、両駆
動軸１，２の回転角位相差を所定の位相差に合わせる
が、定常状態等においては、排気効率の上の点で、中心
を僅かに（例えば、０．０１°程度の回転角）前後いず
れかにずらせる方がよい場合がある。この時は、パルス
抜き部３５（４５）で必要なパルス数を回転駆動パルス
信号から抜けばよい。前後どちらでもずらせられるよう
に、両モータ制御回路３，４のいずれにもパルス抜き部
を設けてある。０．０１°程度の微調整を得るには、エ
ンコーダは３６０°（１周）に光透過スリットが１万程
度あるものを使い、出力パルスの信号処理により４倍で
ある４万の分解能のパルスを得ればよい。これで、３６
０°／４０００≒０．０１°となり実現できる。
２，１５２の凹凸の中心が互いに一致するように、両駆
動軸１，２の回転角位相差を所定の位相差に合わせる
が、定常状態等においては、排気効率の上の点で、中心
を僅かに（例えば、０．０１°程度の回転角）前後いず
れかにずらせる方がよい場合がある。この時は、パルス
抜き部３５（４５）で必要なパルス数を回転駆動パルス
信号から抜けばよい。前後どちらでもずらせられるよう
に、両モータ制御回路３，４のいずれにもパルス抜き部
を設けてある。０．０１°程度の微調整を得るには、エ
ンコーダは３６０°（１周）に光透過スリットが１万程
度あるものを使い、出力パルスの信号処理により４倍で
ある４万の分解能のパルスを得ればよい。これで、３６
０°／４０００≒０．０１°となり実現できる。
【００４９】
【発明の効果】請求項１記載の流体回転装置は、立ち上
げ時、立ち下げ時の過渡状態および定常回転時の状態で
も、同期回転のための機械的摺動部がなく、そのため、
装置のクリーン化，高速化，長寿命化等の点で非常に有
利である。
げ時、立ち下げ時の過渡状態および定常回転時の状態で
も、同期回転のための機械的摺動部がなく、そのため、
装置のクリーン化，高速化，長寿命化等の点で非常に有
利である。
【００５０】請求項３記載の流体回転装置は、加えて、
バタフライ弁等の流量制御機器をポンプに設けずとも、
高精度の排気制御および圧力コントロールを実現でき
る。
バタフライ弁等の流量制御機器をポンプに設けずとも、
高精度の排気制御および圧力コントロールを実現でき
る。
【図１】多軸駆動装置の実施例をあらわすブロック図
【図２】流体回転装置の実施例である容積式真空ポンプ
をあらわす断面図
をあらわす断面図
【図３】流体回転装置の実施例である容積式真空ポンプ
をハウジングのみを破断してあらわす正面図
をハウジングのみを破断してあらわす正面図
【図４】図１の多軸駆動装置の運転時間経過と駆動軸の
回転数の関係をあらわすグラフ
回転数の関係をあらわすグラフ
【図５】図２の真空ポンプにおけるスクリューの一部を
あらわす説明図
あらわす説明図
１ 駆動軸 ２ 駆動軸 Ｍ１ モータ Ｍ２ モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02P 5/52 F04C 25/02
Claims (3)
- 【請求項１】 ハウジング内に収容された複数個のロー
タと、これらのロータを同期して回転駆動する複数の駆
動軸と、前記ハウジングに形成された流体の吸入口およ
び吐出口とを備え、前記ロータ同士あるいはロータ・ハ
ウジングで形成される空間の容積変化を利用して流体の
吸入排気を行う流体回転装置において、前記複数の駆動
軸をそれぞれ回転駆動する複数のモータと、前記駆動軸
の回転状態を検出する検出手段と、回転駆動信号を入力
するとともに前記検出手段の検出信号をフィードバック
信号として入力するモータ制御回路を各モータ毎に備え
ており、各モータ制御回路は少なくとも複数軸の角度を
制御する回転角位相合せ部を有していて、モータ回転の
立ち上げ時あるいは立ち下げ時には前記回転角位相合わ
せ部の制御ループが形成され各駆動軸間の位置合わせが
行われる流体回転装置。 - 【請求項２】 モ−タ制御回路がＰＬＬ制御部を有して
いる請求項１記載の流体回転装置。 - 【請求項３】 真空装置内の真空度を設定する真空度設
定手段と、この真空度になるようにモ−タの回転数を変
化させる請求項１記載の流体回転装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3037223A JP3049793B2 (ja) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | 流体回転装置 |
| DE69220692T DE69220692T2 (de) | 1991-03-04 | 1992-03-02 | Mehrwellenantriebsvorrichtung und Fluiddrehvorrichtung |
| EP92103558A EP0502459B1 (en) | 1991-03-04 | 1992-03-02 | Multi-shaft driving apparatus and fluid rotary apparatus |
| KR1019920003570A KR960004261B1 (ko) | 1991-03-04 | 1992-03-04 | 다축구동장치 및 유체회전장치 |
| US08/070,038 US5329216A (en) | 1991-03-04 | 1993-06-01 | Multi-shaft driving apparatus and fluid rotary apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3037223A JP3049793B2 (ja) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | 流体回転装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04275089A JPH04275089A (ja) | 1992-09-30 |
| JP3049793B2 true JP3049793B2 (ja) | 2000-06-05 |
Family
ID=12491597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3037223A Expired - Lifetime JP3049793B2 (ja) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | 流体回転装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5329216A (ja) |
| EP (1) | EP0502459B1 (ja) |
| JP (1) | JP3049793B2 (ja) |
| KR (1) | KR960004261B1 (ja) |
| DE (1) | DE69220692T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102884324A (zh) * | 2010-05-04 | 2013-01-16 | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 | 螺杆真空泵 |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4318707A1 (de) * | 1993-06-04 | 1994-12-08 | Sihi Gmbh & Co Kg | Verdrängermaschine mit elektronischer Motorsynchronisation |
| DE4322744C2 (de) * | 1993-07-08 | 1998-08-27 | Baumueller Nuernberg Gmbh | Elektrisches Antriebssystem und Positionierverfahren zur synchronen Verstellung mehrerer dreh- und/oder verschwenkbarer Funktionsteile in Geräten und Maschinen, Antriebsanordnung mit einem Winkellagegeber und Druckmaschine |
| ES2189716T5 (es) * | 1994-07-23 | 2009-06-01 | Baumuller Nurnberg Gmbh | Sistema electrico de accionamiento para el desplazamiento de uno o varios elementos funcionales rotatorios y/o giratorios en aparatos y maquinas, disposicion de accionamiento con un transmisor de la posicion angular y maquina de impresion. |
| US5904473A (en) * | 1995-06-21 | 1999-05-18 | Sihi Industry Consult Gmbh | Vacuum pump |
| DE19522555A1 (de) * | 1995-06-21 | 1997-01-02 | Sihi Ind Consult Gmbh | Rotationskolbenverdichter mit zwei Rotoren |
| US5625267A (en) * | 1995-12-13 | 1997-04-29 | Coburn Optical Industries, Inc. | Constant delay filtering for synchronized motion on multiple axes |
| NL1005045C2 (nl) * | 1997-01-20 | 1998-07-22 | Buhrs Zaandam Bv | Besturingsinrichting. |
| CN1188663C (zh) * | 1998-07-23 | 2005-02-09 | 株式会社安川电机 | 绝对编码器 |
| DE59809839D1 (de) * | 1998-08-25 | 2003-11-13 | Maag Pump Systems Textron Ag Z | Zahnradpumpe mit einem Mehrwellenantrieb |
| US6323614B1 (en) * | 1998-09-04 | 2001-11-27 | The Texas A&M University System | System and method for controlling suspension using a magnetic field |
| DE19955547A1 (de) * | 1999-11-18 | 2001-05-31 | Uwe Kischke | Rütteleinrichtung für Schalungskerne mit rotationssymmetischem Querschnitt |
| US7417392B2 (en) * | 2005-05-31 | 2008-08-26 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Electronic line shaft with phased lock loop filtering and predicting |
| US7428846B2 (en) * | 2006-12-21 | 2008-09-30 | Namco Machine & Gear Works Ltd. | Shaft encoder with anti-backlash gears |
| DE202009003981U1 (de) | 2009-03-24 | 2010-08-19 | Vacuubrand Gmbh + Co Kg | Antrieb für eine Vakuumpumpe |
| US20100322806A1 (en) * | 2009-06-18 | 2010-12-23 | Aregger Markus | Arrangement including a gear pump |
| CN103104493B (zh) * | 2011-11-11 | 2015-12-09 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统 |
| DE112012005873B4 (de) * | 2012-02-17 | 2016-08-25 | Mitsubishi Electric Corporation | Funkenerodiermaschine und elektrisches Funkenerodierverfahren |
| CA2940679C (en) | 2014-02-28 | 2022-07-19 | Project Phoenix, LLC | Pump integrated with two independently driven prime movers |
| US10465721B2 (en) | 2014-03-25 | 2019-11-05 | Project Phoenix, LLC | System to pump fluid and control thereof |
| WO2015164453A2 (en) | 2014-04-22 | 2015-10-29 | Afshari Thomas | Fluid delivery system with a shaft having a through-passage |
| EP3149343B1 (en) * | 2014-06-02 | 2020-06-17 | Project Phoenix LLC | Linear actuator assembly and system |
| US10544861B2 (en) | 2014-06-02 | 2020-01-28 | Project Phoenix, LLC | Hydrostatic transmission assembly and system |
| BR112017001234B1 (pt) | 2014-07-22 | 2022-09-06 | Project Phoenix, LLC | Bomba com invólucro de autoalinhamento e método de transferir fluido de uma porta de entrada para uma porta de saída de uma bomba incluindo um invólucro de bomba |
| US10072676B2 (en) | 2014-09-23 | 2018-09-11 | Project Phoenix, LLC | System to pump fluid and control thereof |
| WO2016057321A1 (en) * | 2014-10-06 | 2016-04-14 | Afshari Thomas | Linear actuator assembly and system |
| US10677352B2 (en) | 2014-10-20 | 2020-06-09 | Project Phoenix, LLC | Hydrostatic transmission assembly and system |
| EP3828416A1 (en) | 2015-09-02 | 2021-06-02 | Project Phoenix LLC | System to pump fluid and control thereof |
| TWI768455B (zh) | 2015-09-02 | 2022-06-21 | 美商鳳凰計劃股份有限公司 | 泵送流體之系統及其控制 |
| WO2018093440A1 (en) * | 2016-11-16 | 2018-05-24 | Carrier Corporation | Screw compressor with rotor synchronization |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2163474A1 (de) * | 1971-12-21 | 1973-06-28 | Philips Patentverwaltung | Schaltungsanordnung zur synchronisation elektrischer antriebe |
| US4048657A (en) * | 1975-12-22 | 1977-09-13 | Teletype Corporation | Method and apparatus for synchronizing a facsimile transmission |
| CH659290A5 (de) * | 1982-07-08 | 1987-01-15 | Maag Zahnraeder & Maschinen Ag | Zahnradpumpe. |
| JPS5969765A (ja) * | 1982-10-15 | 1984-04-20 | Canon Inc | 回転体駆動装置 |
| JPS5981712A (ja) * | 1982-11-02 | 1984-05-11 | Canon Inc | 制御方式 |
| US4659283A (en) * | 1985-09-30 | 1987-04-21 | United Technologies Corporation | Propeller Synchrophaser® device and mode logic |
| JP2858319B2 (ja) * | 1989-01-30 | 1999-02-17 | 松下電器産業株式会社 | 多軸同期駆動装置及び歯車加工装置 |
| JPH0744864B2 (ja) * | 1989-05-22 | 1995-05-15 | シャープ株式会社 | Ｐｌｌ速度制御回路 |
-
1991
- 1991-03-04 JP JP3037223A patent/JP3049793B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-03-02 EP EP92103558A patent/EP0502459B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-03-02 DE DE69220692T patent/DE69220692T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-03-04 KR KR1019920003570A patent/KR960004261B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1993
- 1993-06-01 US US08/070,038 patent/US5329216A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102884324A (zh) * | 2010-05-04 | 2013-01-16 | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 | 螺杆真空泵 |
| JP2013525690A (ja) * | 2010-05-04 | 2013-06-20 | オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー | スクリュー式真空ポンプ |
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| Publication number | Publication date |
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