KR100363039B1 - 일정한 연마압력을 갖는 연마 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (30)
- 기판이 탑재되는 연마 플래튼 (11);연마 헤드 (13);상기 연마 헤드의 저면에 부착된 연마 패드 (14);상기 연마 헤드에 접속되고, 상기 연마 플래튼에 대하여 상기 연마 헤드를 요동시키는 요동부 (17 및 18); 및상기 연마 헤드 및 상기 요동부에 접속되는 제어회로 (21) 를 구비하며,상기 제어회로는 상기 기판에 대한 상기 연마 패드의 접촉면적 S(t) 를 계산하고, 상기 접촉면적에 따라서 연마압력(P)을 일정하게 유지하기 위해서, 상기 기판에 가해지는 상기 연마 패드의 부하 L(t)를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 (W) 연마장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제어회로는 상기 기판에 대한 상기 연마 패드의 접촉면적 (S(t)) 을 계산하고, 상기 기판에 대한 상기 연마 패드의 접촉면적을 일정 연마압력값 (P) 으로 곱하여 상기 연마 패드의 부하를 계산하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 연마 패드의 직경은 상기 기판 직경의 약 1/2 인 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 연마 패드는 원형인 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 연마 패드는 타원형이고, 상기 접촉면적은,에 의해 계산하며,"a" 는 상기 연마 패드의 장축 길이이고, "b" 는 상기 연마 패드의 단축 길이인 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 연마 패드의 단축 길이는 상기 기판의 반경보다 더 짧은 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 연마 패드는 비원형이고, 상기 접촉면적은,에 의해 계산하며,r 은 상기 연마 패드와 동일한 면적을 가진 원형 연마 패드의 등가 반경인 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 연마 패드는 원형 연마 패드의 주변부 중의 한 부분 이상을 부분절단하여 얻어진 연마 패드인 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제어회로는 상기 연마 플래튼과 상기 연마 헤드가 서로 반대방향으로 회전하도록 구동하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 연마 헤드는 연마액을 상기 기판에 공급하기 위한 파이프 (19) 를 구비하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 기판이 탑재되는 연마 플래튼 (11);연마 헤드 (13);상기 연마 헤드의 저면에 부착된 연마 패드 (14) ;상기 연마 헤드에 접속되고, 상기 플래튼에 대하여 상기 연마 헤드를 요동시키는 요동부 (14 및 15); 및상기 연마 플래튼과 상기 연마 헤드에 접속되고, 상기 연마 플래튼과 상기 연마 헤드가 서로 반대방향으로 회전하도록 구동하는 제어회로를 구비하며,상기 연마 패드의 기판 직경이 상기 기판 직경의 약 1/2 인 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 연마 패드는 원형인 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 연마 패드는 타원형이고, 상기 접촉면적은,에 의해 계산하며,"a" 는 상기 연마 패드의 장축 길이이고, "b" 는 상기 연마 패드의 단축 길이인 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 연마 패드의 단축 길이는 상기 기판의 반경보다 더 짧은 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 연마 패드는 비원형이고, 상기 접촉면적은,에 의해 계산하며,r 은 상기 연마 패드와 동일한 면적을 가진 원형 연마 패드의 등가 반경인 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 15 항에 있어서,상기 연마 패드는 원형 연마 패드의 주변부 중의 한 부분 이상을 부분절단하여 얻어진 연마 패드인 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 삭제
- 제 11 항에 있어서,상기 연마 헤드는 연마액을 상기 기판에 공급하기 위한 파이프 (19) 를 구비하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 기판이 탑재되는 연마 플래튼 (11);연마 헤드 (13);상기 연마 헤드의 저면에 부착된 연마 패드 (14) ;상기 연마 헤드에 접속되고, 상기 플래튼에 대하여 상기 연마 헤드를 요동시키는 요동부 (14 및 15); 및상기 연마 헤드와 상기 요동부에 접속되어 접촉면적 S(t)를 계산하는 제어회로 (21) 를 구비하는 연마 장치내에서 기판을 연마하는 방법에 있어서,상기 기판에 대한 상기 연마 패드의 접촉면적 (S(t)) 을 계산하는 단계;상기 기판에 대한 상기 연마 패드의 접촉면적을 일정한 연마압력값 (P) 으로 곱하여 상기 연마 패드의 부하를 계산하는 단계; 및상기 연마 패드의 계산된 부하에 따라서 상기 연마 패드의 부하를 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 (W) 연마방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 연마 패드의 직경은 상기 기판 직경의 약 1/2 인 것을 특징으로 하는 연마방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 연마 패드는 원형인 것을 특징으로 하는 연마방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 연마 패드는 타원형이고, 상기 접촉면적은,에 의해 계산하며,"a" 는 상기 연마 패드의 장축 길이이고, "b" 는 상기 연마 패드의 단축 길이인 것을 특징으로 하는 연마방법.
- 삭제
- 제 22 항에 있어서,상기 연마 패드의 단축 길이는 상기 기판의 반경보다 더 짧은 것을 특징으로 하는 연마방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 연마 패드는 비원형이고, 상기 접촉면적은,에 의해 계산하며,r 은 상기 연마 패드와 동일한 면적을 가진 원형 연마 패드의 등가 반경인 것을 특징으로 하는 연마방법.
- 제 25 항에 있어서,상기 연마 패드는 원형 연마 패드의 주변부 중의 한 부분 이상을 부분절단하여 얻어진 연마 패드인 것을 특징으로 하는 연마방법.
- 삭제
- 제 19 항에 있어서,상기 연마 플래튼과 상기 연마 헤드가 서로 반대방향으로 회전하도록 구동하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연마방법.
- 제 28 항에 있어서,상기 연마 헤드의 회전속도는 상기 기판 회전속도의 2 배인 것을 특징으로 하는 연마방법.
- 기판이 탑재되는 연마 플래튼 (11);연마 헤드 (13);상기 연마 헤드의 저면에 부착된 연마 패드 (14); 및상기 연마 헤드에 접속되고, 상기 연마 플래튼에 대하여 상기 연마 헤드를 요동시키는 요동부 (17 및 18) 를 구비하는 연마 장치내에서 기판 (W) 을 연마하는 방법에 있어서,상기 연마 패드의 중심위치와 상기 연마 패드의 부하간의 관계를 계산하는 단계;상기 관계를 테이블에 저장하는 단계; 및상기 테이블을 기준으로, 상기 연마 패드의 현재 중심위치에 따라서 상기 기판에 가해지는 상기 연마 패드의 부하 (L(t)) 를 제어하여, 상기 기판에 접촉되는 상기 연마 패드의 접촉 연마압력이 일정하게 유지되도록 하는 것을 특징으로 하는 기판 (W) 연마방법.
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