KR100293080B1 - 반도체장치제조방법 - Google Patents
반도체장치제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100293080B1 KR100293080B1 KR1019980018492A KR19980018492A KR100293080B1 KR 100293080 B1 KR100293080 B1 KR 100293080B1 KR 1019980018492 A KR1019980018492 A KR 1019980018492A KR 19980018492 A KR19980018492 A KR 19980018492A KR 100293080 B1 KR100293080 B1 KR 100293080B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- semiconductor device
- insulating film
- etching
- manufacturing
- interlayer insulating
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 68
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 61
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims abstract description 45
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 44
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 40
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 33
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 33
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000002407 reforming Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 13
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000005380 borophosphosilicate glass Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 90
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 8
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 6
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 5
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000013039 cover film Substances 0.000 claims description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 8
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 7
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- QLOAVXSYZAJECW-UHFFFAOYSA-N methane;molecular fluorine Chemical compound C.FF QLOAVXSYZAJECW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000005360 phosphosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02118—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer carbon based polymeric organic or inorganic material, e.g. polyimides, poly cyclobutene or PVC
- H01L21/0212—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer carbon based polymeric organic or inorganic material, e.g. polyimides, poly cyclobutene or PVC the material being fluoro carbon compounds, e.g.(CFx) n, (CHxFy) n or polytetrafluoroethylene
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02126—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC
- H01L21/02129—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC the material being boron or phosphorus doped silicon oxides, e.g. BPSG, BSG or PSG
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02203—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being porous
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
- H01L21/02274—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition in the presence of a plasma [PECVD]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76801—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76801—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing
- H01L21/76822—Modification of the material of dielectric layers, e.g. grading, after-treatment to improve the stability of the layers, to increase their density etc.
- H01L21/76825—Modification of the material of dielectric layers, e.g. grading, after-treatment to improve the stability of the layers, to increase their density etc. by exposing the layer to particle radiation, e.g. ion implantation, irradiation with UV light or electrons etc.
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76801—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing
- H01L21/76822—Modification of the material of dielectric layers, e.g. grading, after-treatment to improve the stability of the layers, to increase their density etc.
- H01L21/76826—Modification of the material of dielectric layers, e.g. grading, after-treatment to improve the stability of the layers, to increase their density etc. by contacting the layer with gases, liquids or plasmas
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76801—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing
- H01L21/76829—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing characterised by the formation of thin functional dielectric layers, e.g. dielectric etch-stop, barrier, capping or liner layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/312—Organic layers, e.g. photoresist
- H01L21/3127—Layers comprising fluoro (hydro)carbon compounds, e.g. polytetrafluoroethylene
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/3213—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer
- H01L21/32133—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only
- H01L21/32135—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only
- H01L21/32136—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only using plasmas
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
반도체 기판 상에 형성된 산화막 또는 BPSG로 만들어진 막에 대응하는 층간절연막을 포함하는 반도체 장치를 제조하는 것이 본 제조 방법이다. 여기서, 층간절연막 상에 형성되는 알루미늄 배선층에 대하여 에칭 가스를 사용하여 선택적으로 에칭이 실시된다. 이때, 선택적인 에칭에 의해서 노출된 층간절연막의 표면이 리포밍된다. 그 후, 불화 비정질 카본층이 CVD법 등에 따라서 형성된다. 리포밍하는 한가지 방법에 따르면, 알루미늄 배선층의 선택 에칭 이후, 층간절연막의 표면 상에 플라즈마 공정이 실시되도록 에칭 가스는 CF4를 포함하는 가스로 대체된다. 리포밍하는 또 다른 방법에 따르면, 불화 비정질 카본의 형성 전에 층간절연막의 표면 상에 실리콘의 이온 주입이 실시된다. 상기 리포밍에 의해서, 불화 비정질 카본과 층간절연막 사이의 밀착성을 유지하는 것이 가능하다.
Description
본 발명은 비정질 탄화 불소를 포함하는 막을 배선층간의 절연막으로 사용하는 반도체 장치를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 출원은 일본국 특허 출원 97-150408호에 기초한 것으로서, 그 내용은 본 명세서에서 참조적으로 설명된다.
최근에는 반도체 장치에 대하여 소형화 및 고속화가 요구되고 있으며, 그 집적도는 향상되었다. 그러므로, 설계 룰에 따라서 0.25㎛ 이하(이하에서는 간단히 0.25㎛ 설계 룰로 한다)로 결정된 구성 소자들이 실리콘 기판 상에 형성된다.
반도체 장치의 소형화 및 고속화를 달성하기 위하여, 개별 소자들의 측정에서의 미세 구조에 더해서 소자간을 결합하는 배선을 위한 다층 구조를 사용하는 것이 중요하다. 배선을 다층 구조로하기 위하여, 배선간을 절연막을 사용하여 분리할 필요가 있다.
소자들의 측정이 미세화 됨에 따라서, 반도체 장치를 소형화하기 위하여 배선 측정 및 배선간의 간격은 미세화된다. 예를 들어, 현재 가장 미세한 구조의 제품을 제공하는 0.35㎛ 설계 룰의 경우, 배선 피치는 약 1.5㎛ 정도이다. “차세대”인 0.25㎛ 설계 룰의 경우, 배선 피치의 범위는 0.8㎛ 에서 1.0㎛ 사이이며, 0.18㎛ 설계 룰의 경우에는, 요구되는 배선 피치의 범위는 약 0.4㎛ 에서 0.6㎛ 사이이다.
배선 측정 및 배선간의 간격이 더 작아짐에 따라서, 배선 용량은 더욱 증대된다. 그러므로, 회로의 동작 속도 및 소비 전력이 더 커진다는 문제점(결점)이 있다. 이러한 문제점에 대처하기 위해, 종래의 산화막계의 재료와 비교해 유전 상수(유전율)가 낮은 재료를 배선층간의 재료로서 사용할 필요가 있다.
이러한 저 유전율막의 후보로서, 탄소와 불소(이하, 불화 비정질 카본)로 구성되는 절연막을 제공하는 것이 가능하다. 예를 들어, 약 2.5인 저 유전율을 갖는 위의 절연막을 사용하는 반도체 장치를 제조하기 위한 종래의 제조 방법의 예를 일본국 특개평 5-74960호 공보(이하 “공보 1”)에서 개시한다.
이하에서, 도 4a, 4b 및 4c를 참조하여 종래의 위의 반도체 장치의 제조 방법(이하에서는, 간단히 “제1 종래예”로한다)에 관한 설명을 한다.
도 4a, 4b 및 4c는 제1 종래예에서의 제조 공정의 순서를 도시하는 공정 단면도이다.
우선, 도 4a에 도시된 바와 같이, 1㎛의 두께를 갖고 알루미늄으로 구성된 제1 배선층(416)이 실리콘 기판(401) 상에 형성된다.
다음으로, 도 4b에 도시된 바와 같이, 재료로서 불화 비정질 카본을 피착하도록, 원료 가스로 C2F4를 사용한 플라즈마 중합체를 사용하여 약 1㎛ 두께를 갖는 층을 형성한다. 유량 250 sccm, 압력 0.1 Torr, 전력 300 W, 및 도포 시간은 10분인 조건에서 이 플라즈마 중합체가 사용된다.
다음, 도 4c에 도시된 바와 같이, 포토리소그래피법을 시행하여 불화 비정질 카본 층 내에 비아(VIA) 홀들을 형성하면서, 알루미늄을 사용하여 제2 배선층을 형성하고 패터닝한다. 상술한 조건 하에서, 불화 비정질 카본(408)은 2.4의 유전율을 갖도록 형성된다.
그러나, 상술한 종래의 반도체 장치 제조 방법에 따라서 산화막 상에 불화 비정질 카본층을 형성할 때는, 밀착성이 불량해서 층이 쉽게 박리된다는 문제점이 있다. 상술한 공보 1은 상술한 문제점에 대한 해결책을 제시하지 않는다. 이 공보 1은 불화 비정질 카본이 실리콘 기판 상에 형성된 예를 단순히 설명할 뿐이다.
본 발명은 산화막 상에 형성된 불화 비정질 카본의 밀착성을 향상시킬 수 있도록 하는데, 이하에서 설명될 것이다. 다시 말하면, 본 발명은 하층의 산화막 표면을 Al 에칭을 실시할 때, 리포밍함으로써 상술한 목적을 달성하는 반도체 장치의 새로운 제조 방법을 제안한다.
다음으로, 산화막의 표면의 리포밍할 수 있도록 설계된 종래예들에 관하여 설명할 것이다.
우선, 아래와 같은 순서의 단계들을 포함하는 방법을 제공하는 반도체 장치의 종래의 제조 방법의 일 실시예(이하 “제2 종래예”로 함)가 일본국 특개평 2-278731호의 공보(“공보 2”로 함)에서 개시된다.
Al 배선이 형성되도록, Al 막의 패터닝을 시행하는 건식 에칭이 실시된다. 패터닝을 한 후, 건식 에칭법 또는 습식 에칭법을 사용하여 Al 막의 표면은 클리닝된다. 이와 같이, Al 표면에 잔유 가스 이온들의 존재에 기인한 VIA 홀들에서의 접촉 저항 증가를 방지하는 것이 가능하다.
상술한 제2 종래예의 내용은 공정 단면도인 도 5a 내지 5e를 참조하여 설명될 것이다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 알루미늄(504, 제1 배선층에 대응) 및 실리콘막(511, 반사 방지용으로 제공됨)은 반도체 기판(501) 상에 순서대로 형성된다.
다음에, 도 5b에 도시된 바와 같이, 도 5a의 반도체 장치는 포토레지스트(506)로써 도포되고, 마스크를 사용하여 선택적으로 노광된다. Al에 대하여 에칭 가스를 사용하여, 실리콘막(511) 및 알루미늄부들(504)이 선택적으로 에칭된다.
이때, 도 5c에 도시된 바와 같이 포토레지스트(506)가 박리된다. 이후, 실리콘막에 에칭 가스를 사용한 에칭을 실시하여 실리콘막(511)을 제거한다.
도 5d에 도시된 바와 같이, 잔유 가스 이온들(513)은 알루미늄(504) 상에 존재한다. 그래서, Ar과 같은 불활성 가스(514)를 사용한 플라즈마 에칭법이 실시되어 잔유 가스 이온들(513)이 제거된다.
다음, 도 5e에 도시된 바와 같이, 플라즈마 CVD법이 실시되어 SiNx막(515)이 형성된다. 거기에, VIA홀들(509)이 SiNx막(515) 내에 형성된다. 그 후, VIA홀들(509)과 접촉하는 SiNx막(515) 상에 알루미늄을 사용하여 제2 배선층(516)이 형성된다.
다음으로, 반도체 장치의 종래의 제조 방법의 또 다른 실시예(이하 “제3 종래예”으로 함)가 설명되는데, 이는 일본국 특개소 63-287036호의 공보(“공보 3”으로 함)에서 개시된다. 제3 종래예의 내용은 공정 단면도인 도 6a 내지 6d를 참조하여 설명될 것이다.
도 6a에 도시된 바와 같이, 반도체 기판(601) 상에 제1 층간절연막(602), 알루미늄(604, 제1 배선층에 대응) 및 반사방지용 실리콘막(611)이 순서대로 형성된다. 포토리소그래피 공정 및 반응성 이온 에칭을 사용하여, 실리콘막(611) 및 알루미늄(604)이 선택적으로 에칭된다.
이때, 도 6b에 도시된 바와 같이, 실리콘막(611)이 에칭에 의해 제거된다. 다음으로, 도 6c에 도시된 바와 같이, 아르곤 가스를 사용한 RF 스퍼터 에칭 공정이 베드(또는 기판)인 제1 층간절연막(602)의 표면 뿐만아니라 알루미늄(604) 상에 실시된다.
그 후, 도 6d에 도시된 바와 같이, 제3 종래예는 제2 층간절연막(618)을 피착한다. VIA홀들(609)이 제2 층간절연막(618) 내에 형성된다. 이때, 선택 에칭을 사용함으로써 VIA홀들(609)과 접촉하는 제2 층간절연막(618) 상에 제2 배선층으로서 알루미늄(604A)이 형성된다. 이에 수반하여, 피착용 베드로서 사용되는 알루미늄막의 표면에 에칭 반응 생성물이 밀착된다. 그래서, 제2 층간절연막(618)의 피착 전에, 제3 종래예는 에칭에 의해서 에칭 반응 생성물을 제거한다. 이와 같이, 알루미늄막 상에 형성된 층간절연막의 밀착성을 강화하는 것이 가능하다.
종래 제조 방법들은 알루미늄 배선 상에 형성된 층간절연막의 밀착성만을 향상시키는 것을 목적으로 한다. 그러나, 이 방법들은 층간막들 사이의 밀착성은 고려되지 않는다. 게다가, 종래 제조 방법들은 산화막 상의 불화 비정질 카본의 형성에 효과적이지 않다.
비정질 카본을 사용하는 층간 형성법에서는, 비정질 카본이 직접 산화막에 밀착하는데, 여기서 비정질 카본층은 양호한 밀착성을 갖고 형성되지 않으며, 쉽게 박리되는데, 이는 종래 방법들이 해결할 수 없는 문제점이다.
산화막 상으로 직접 밀착된 불화 비정질 카본의 밀착 불량을 개선할 수 있는 반도체 장치의 제조 방법을 제공하는 것이 본 발명의 목적이다.
배선의 단락 회로 결함 및 개방 회로 결함의 발생을 감소시킴으로써, 고수율을 갖는 반도체 장치를 제조할 수 있는 제조 방법을 제공하는 것이 본 발명의 또 다른 목적이다.
본 발명의 제조 방법은 반도체 장치를 제조하는 것을 제공하는데, 이 반도체 장치는 반도체 기판 상에 형성된 산화막 또는 BPSG로 만든 막에 대응하는 층간절연막을 포함한다.
우선, 층간절연막 상에 형성된 알루미늄 배선층에 대하여 에칭 가스를 사용하는 선택적 에칭이 실시된다. 이때, 선택적 에칭에 의해 노출되는 층간절연막의 표면이 리포밍된다. 그 후, 불화 비정질 카본층이 CVD법 등에 따라서 형성된다.
리포밍하는 한 방법에 따라서, 알루미늄 배선층의 선택적 에칭 이후, 층간절연막의 표면 상에 플라즈마 공정이 실시되도록, 에칭 가스가 CF4를 포함하는 가스로 대체된다. 리포밍하는 또 다른 방법에 따라서, 불화 비정질 카본의 형성 전에, 실리콘의 이온 주입이 층간절연막의 표면 상에 실시된다.
리포밍때문에, 불화 비정질 카본과 층간절연막간의 밀착성을 유지하는 것이 가능하다. 그래서, 배선의 단락 회로 결함 및 개방 회로 결함의 발생을 감소시키는 것이 가능하다.
도 1a, 1b, 1c, 1d, 및 1e는 본 발명의 제1 실시예에 따른 제조 방법에 따라서 제조된 반도체 장치의 단면들을 도시하는 공정단면도.
도 2는 종래 실시예들과 비교해 본 발명의 실시예들에 관하여 웨이퍼 상의 불화 비정질 카본 상의 박리 개소수를 도시하는 그래프.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 제조 방법에 따라서 제조된 반도체 장치의 단면을 도시하는 단면도.
도 4a, 4b 및 4c는 제1 종래예에 따른 제조 방법에 따라서 제조된 반도체 장치의 단면을 도시하는 공정단면도.
도 5a, 5b, 5c, 5d,5e 및 5f는 제2 종래예에 따른 제조 방법에 따라서 제조된 반도체 장치의 단면을 도시하는 공정단면도.
도 6a, 6b, 6c 및 6d는 제3 종래예에 따른 제조 방법에 따라서 제조된 반도체 장치의 단면을 도시하는 공정단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 반도체 기판
2 : 제1 층간절연막
3 : 제1 베리어 금속층
4 : 제1 알루미늄층
5 : 제1 티타늄 질화물층
6 : 포토레지스트
7 : 포러스 손상층
8 : VIA 홀
본 발명의 본 실시예에 의해 설명된 반도체 장치의 제조 방법은 다음과 같은 공정에 의해 주로 실시된다.
알루미늄 배선이 선택 에칭된다. 이때, 알루미늄 배선 아래에 형성된 산화막의 표면은 리포밍된다. 그 후, 본 실시예는 불화 비정질 카본의 형성을 시작한다.
산화막의 표면을 리포밍하는 방법으로서, 다음과 같은 두가지 방법이 있다.
첫번째 방법은 알루미늄 에칭 후에 산화막의 표면 상에 CF4를 포함하는 가스를 사용하여 플라즈마 공정을 실시하는 것이다. 두번째 방법은 불화 비정질 카본의 형성 전에 이온 주입을 실시하는 것이다.
본 발명의 본 실시예에 따라서, 알루미늄 배선의 에칭 후, 알루미늄 배선 아래에 위치된 산화막의 표면 상에 리포밍을 시행하도록, 반도체 제조 방법이 설계된다. 이와 같이, 산화막과 불화 비정질 카본 사이의 밀착성을 유지하는 것이 가능하다. 또한, 불화 비정질 카본 위에 위치된 배선 및 층간막이 박리될 때 발생할 수 있는 배선의 개방 회로 결함 및 단락 회로 결함의 발생을 방지할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 제1 실시예에 따른 반도체 장치의 제조 방법에 대하여 설명한다.
도 1a 내지 1e는 본 발명의 제1 실시예에 따른 제조 방법의 단계들에 따른 반도체 장치의 단면들을 도시하는 공정단면도이다.
도 1a는 본 발명의 제1 실시예의 방법으로 제조되는 반도체의 단면도를 도시한다. 여기서, 제1 층간절연막(2)이 반도체 기판(1) 상에 약 800㎚ 의 두께로 형성된다. 제1 층간절연막(2)은 BPSG(“Boron phosphosilicate glass”의 약어임) 등의 재료로 만들어진다. 컨택홀들(도시 생략)의 개구의 형성 이후, 스퍼터링법 등에 의해 제1 층간절연막(2) 상에 제1 베리어 금속(3, barrier metal), 제1 알루미늄(4) 및 제1 티타늄 질화물(5, titanium nitride)의 층들이 순서대로 형성된다. 여기서, 알루미늄(4)은 제1 배선층으로 사용되고, 이후에 실시될 포토리소그래피 공정에서 제1 티타늄 질화물(5)는 반사방지용으로 사용된다. 이때, 티타늄 질화물층(5)이 포토레지스트(6)로 도포된다. 통상의 포토리소그래피 프로세스를 사용하여, 포토레지스트(6)가 패터닝된다. 그 후, Cl2와 N2의 혼합 가스(대략 4:1 내지 5:1의 혼합률)를 사용하여, 예를 들어, 약 10 mTorr의 기압 및 약 100 W의 RF 전력 조건하에서 제1 티타늄 질화물(5), 제1 알루미늄(4) 및 제1 베리어 금속(3)이 선택적으로 에칭된다.
도 1a의 반도체가 에칭되어 도 1b의 반도체를 형성하도록, 상술한 에칭 가스는 CF4로 교체된다. 제1 베리어 금속(3)의 에칭의 완결 후에는, 제1 층간절연막(2)이 노출된다. 다음으로, 도 1c에 도시된 바와 같이, 포러스 손상층(7, porous damage layer)이 제1 층간절연막(2)의 표면 상에 형성된다. 여기서, CF4의 유량은 20 sccm, RF 전력은 500 W, 및 기압은 20 mTorr 의 조건하에서, 플라즈마 공정이 CF4를 사용하여 실시된다.
이때, 도 1d에 도시된 바와 같이, O2플라즈마를 사용하여 포토레지스트(6)가 박리되고; 그 후, 플라즈마 CVD법을 사용하여 불화 비정질 카본층(8)이 형성된다.
다음으로, 도 1e의 반도체 장치는 다음 단계들에 따라서 제조된다.
VIA 홀들(9)이 선택적으로 개구된다. 이때, VIA 홀들(9)의 내벽이 제2 베리어 금속(3B)로 도포되도록, 스퍼터링법에 의해 제2 베리어 금속층(3B)이 형성된다. 텅스텐(17)이 VIA 홀들(9) 내에 장착된다. 제2 알루미늄층(4B) 및 제2 티타늄 질화물층(5B)이 형성되어, 스퍼터링법 등에 의해서 반도체의 전 표면을 도포한다.여기서, 제2 알루미늄(4B)은 제2 배선층에 대응하며, 제2 티타늄 질화물(5B)는 반사방지용으로 사용된다. 이때, 반도체 상에 순서대로 형성되는 제2 티타늄 질화물층(5B), 제2 알루미늄층(4B), 및 제2 베리어 금속층(3B)은 포토리소그래피법 및 반응성 이온 에칭을 사용하여 패터닝된다. 그 후, 실리콘 질화물막으로된 커버막(10)이 상술한 반도체 전체를 덮도록 형성된다.
다음으로, 반도체 장치의 제1 실시예의 실시를 도2를 참조하여 설명한다. 도 2는 크기가 6 인치인 한 웨이퍼에 대해 박리가 발생하는 박리 개소수를 도시하는데, 여기서 본 발명의 실시예들이 종래예들과 비교된다. 도 2는 본 발명의 제1 실시예가 종래예들에 비해 명확히 우수하다는 것을 보인다.
종래예들에서는, 웨이퍼 상의 불화 비정질 카본 상에서 박리가 발생하는 박리 개소수는 “100” 이상이다. 이와 대조적으로, 본 발명의 제1 실시예는 거의 0인 박리 개소수를 갖는다.
다음으로, 도3을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 관하여 설명한다. 도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 제조 방법에 따라서 제조된 반도체 장치의 단면을 도시하는 단면도이다. 상세하게는, 본 발명의 제1 실시예에 따른 제조 방법에 따라서 제조된 반도체 장치의 공정단면도인 도 1b에 도시된 상술한 단면에 도 3에 도시된 단면이 대응한다. 포러스 손상층(porous damage layer)의 형성을 제외하고는 제2 실시예의 제조 방법은 상술한 제1 실시예의 제조 방법과 거의 동일하다. 이와 같은 이유로, 도 3에서의 제2 실시예를 설명하기 위한 도면들이 생략되었다.
제2 실시예에서는, Si 이온들(23)의 주입에 의해 제1 층간절연막(2)의 표면상에 손상층이 형성된다. 여기서, 20 keV 내지 100keV 범위의 에너지 및 1E16(1×1016) ㎝-2내지 1E17(1×1017) ㎝-2범위의 도즈량의 조건하에서, Si 이온들(23)의 주입이 실시된다.
손상층의 상술한 형성에 따라서, BPSG 등으로 만들어진 산화막계의 절연막에 대응하는 제1 층간절연막(2)의 표면 상에 손상층을 형성하는 것이 가능하다. 또한, 제1 층간절연막의 표면 상에 다량의 실리콘을 포함하는 영역을 형성하는 것도 가능하다. 이 영역은 쉽게 불화 비정질 카본(8)과 결합될 수 있다. 그래서, 반도체 장치의 막들 또는 층들 사이의 밀착성을 더욱 향상시키는 것이 가능하다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제2 실시예는 6-인치 웨이퍼 상에 거의 0인 박리 개소수를 갖는다.
간단히 말하면, 알루미늄 배선의 에칭 후에, 알루미늄 배선층 아래에 위치된 산화막의 표면이 포러스되도록 본 발명의 실시예들은 설계된다.
이와 같이, 본 발명은 아래와 같은 효과를 제공할 수 있다.
불화 비정질 카본과 하층인 산화막 사이의 밀착성을 유지할 수 있다. 또한, 불화 비정질 카본 위에 위치된 배선 및 층간막들의 박리 현상에 의해서 야기되는 개방 회로 결함 및 단락 회로 결함의 발생을 감소시킬 수 있다. 따라서, 반도체 장치의 신뢰도 및 제조 수율을 뚜렷하게 향상시킬 수 있다. 본 발명은 중요한 특성들의 사상으로부터 벗어남이 없이 다른 형태들로도 구현될 수 있으므로, 본 실시예들이 도시된 것에 제한되지 않으며, 본 발명은 상세한 설명보다는 첨부된 청구항들에 의해서 정의되기 때문에, 본 발명의 범주 내에 포함되는 모든 변경들 또는 그 범주와 등가들은 상기 청구항들에 포함되어야 한다.
Claims (15)
- 반도체 장치의 제조 방법에 있어서,알루미늄 배선들을 선택적으로 에칭하는 단계;상기 알루미늄 배선들 아래에 위치된 산화막의 표면을 리포밍(reforming)하는 단계; 및유기층간막을 형성하는 단계를 포함하는 반도체 장치의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 산화막의 표면을 리포밍할 때, 상기 알루미늄 배선의 에칭 이후에 CF4를 함유하는 가스를 사용하여 플라즈마 공정이 실시되는 반도체 장치의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 산화막의 표면을 리포밍할 때, 상기 알루미늄 배선의 에칭 이후에 실리콘에 관하여 이온 주입이 행해지는 반도체 장치의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 유기층간막은 불화 비정질 카본으로 만들어지는 반도체 장치의 제조 방법.
- 반도체 장치의 제조 방법에 있어서,반도체 기판 상의 절연막 상에 형성된 금속 배선층을 선택적으로 에칭하는 단계;상기 에칭에 의해 노출된 상기 절연막의 표면을 리포밍하는 단계; 및상기 금속 배선층 및 상기 절연막을 덮는 유기층간막을 형성하는 단계를 포함하는 반도체 장치의 제조 방법.
- 제5항에 있어서, 상기 금속 배선층은 알루미늄 배선층을 포함하며, 상기 유기층간막은 불화 비정질 카본으로 만들어지는 반도체 장치의 제조 방법.
- 제5항에 있어서, 상기 금속 배선층의 에칭 이후에 CF4를 함유하는 가스를 사용하여 상기 절연막의 표면 상에 플라즈마 공정을 실시하거나 불화 비정질 카본으로 만들어지는 상기 유기층간막의 형성 전에 실리콘의 이온 주입을 행함으로써 상기 절연막의 표면 상에 리포밍이 실시되는 반도체 장치의 제조 방법.
- 반도체 장치의 제조 방법에 있어서,반도체 기판 상의 절연막 상에 알루미늄 배선층을 형성하는 단계;상기 알루미늄 배선층 상에 도포되어 소정의 패턴을 갖고 있는 레지스트를 마스크로 사용하여 상기 알루미늄 배선층의 건식 에칭을 실시하는 단계;CF4가스를 사용하여 건식 에칭에 의해 노출된 절연막의 표면 상에 손상층(damage layer)을 형성하는 단계;상기 레지스트를 박리(peeling off)하는 단계; 및상기 반도체 장치의 전체 표면 상에 불화 비정질 카본막을 형성하는 단계를 포함하는 반도체 장치의 제조 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 알루미늄 배선층의 건식 에칭 이후에 실리콘에 관하여 이온 주입이 행해지는 반도체 장치의 제조 방법.
- 반도체 장치의 제조 방법에 있어서,포토리소그래피 공정을 사용하여 반도체 기판상의 층간절연막 상에 형성되는 알루미늄으로 만들어진 제1 배선층 상에 도포된 포토레지스트의 패터닝을 실시하는 단계;에칭 가스를 사용하여 상기 제1 배선층에 대하여 선택적으로 에칭을 실시하는 단계;상기 선택적인 에칭에 의해 노출된 상기 층간절연막의 표면을 리포밍하는 단계;O2플라즈마를 사용하여 상기 포토레지스트를 박리하는 단계;CVD법에 따라서 불화 비정질 카본층을 형성하는 단계;상기 불화 비정질 카본층을 관통하는 비아 홀을 형성하는 단계; 및상기 비아 홀을 경유하여 상기 제1 배선층과 접촉하는 알루미늄으로 만들어진 제2 배선층을 형성하는 단계를 포함하는 반도체 장치의 제조 방법.
- 제10항에 있어서, 상기 층간절연막의 표면의 리포밍은 상기 선택적인 에칭에 의해 노출된 상기 층간절연막의 표면 상에 포러스 손상층(porous damage layer)이 형성되도록 CF4가스를 사용하여 실시되는 플라즈마 공정에 의해서 달성되는 반도체 장치의 제조 방법.
- 제10항에 있어서, 상기 층간절연막의 표면의 리포밍은 상기 선택적인 에칭에 의해 노출된 층간절연막의 표면 상에 손상층이 형성되도록 실리콘의 이온 주입을 실시함으로써 달성되는 반도체 장치의 제조 방법.
- 제10항에 있어서, 상기 층간절연막은 BPSG로 만들어지는 반도체 장치의 제조 방법.
- 제10항에 있어서, 상기 에칭 가스는 Cl2와 N2를 함유하는 혼합 가스인 반도체 장치의 제조 방법.
- 제10항에 있어서,상기 제2 배선층을 패터닝하는 단계; 및실리콘 질화물로 만들어진 커버막을 형성하는 단계를 더 포함하는 반도체 장치의 제조 방법.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15040897A JP3202657B2 (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 半導体装置の製造方法 |
JP97-150408 | 1997-05-23 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR19980087292A KR19980087292A (ko) | 1998-12-05 |
KR100293080B1 true KR100293080B1 (ko) | 2001-08-07 |
Family
ID=15496312
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019980018492A KR100293080B1 (ko) | 1997-05-23 | 1998-05-22 | 반도체장치제조방법 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5985750A (ko) |
JP (1) | JP3202657B2 (ko) |
KR (1) | KR100293080B1 (ko) |
CN (1) | CN1200564A (ko) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5989998A (en) | 1996-08-29 | 1999-11-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of forming interlayer insulating film |
JP3228183B2 (ja) * | 1996-12-02 | 2001-11-12 | 日本電気株式会社 | 絶縁膜ならびにその絶縁膜を有する半導体装置とその製造方法 |
KR100295380B1 (ko) * | 1997-04-02 | 2001-08-07 | 가네꼬 히사시 | 층간절연물질로서저유전율의비정질탄소불화물막을가질수있는반도체장치및그제조방법 |
US6797605B2 (en) | 2001-07-26 | 2004-09-28 | Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. | Method to improve adhesion of dielectric films in damascene interconnects |
US20040229470A1 (en) * | 2003-05-14 | 2004-11-18 | Applied Materials, Inc. | Method for etching an aluminum layer using an amorphous carbon mask |
JP4919871B2 (ja) * | 2007-02-09 | 2012-04-18 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法、半導体装置の製造方法および記憶媒体 |
US8278139B2 (en) * | 2009-09-25 | 2012-10-02 | Applied Materials, Inc. | Passivating glue layer to improve amorphous carbon to metal adhesion |
CN104779137B (zh) * | 2014-01-10 | 2018-03-27 | 北大方正集团有限公司 | 一种阵列基板及其制备方法 |
US10504741B2 (en) * | 2017-02-28 | 2019-12-10 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor manufacturing method and plasma processing apparatus |
US11009162B1 (en) | 2019-12-27 | 2021-05-18 | U.S. Well Services, LLC | System and method for integrated flow supply line |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6046036A (ja) * | 1983-08-23 | 1985-03-12 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH0680739B2 (ja) * | 1987-05-19 | 1994-10-12 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US4843034A (en) * | 1987-06-12 | 1989-06-27 | Massachusetts Institute Of Technology | Fabrication of interlayer conductive paths in integrated circuits |
JPH01235254A (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-20 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH02278731A (ja) * | 1989-04-19 | 1990-11-15 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
US5282922A (en) * | 1989-11-16 | 1994-02-01 | Polycon Corporation | Hybrid circuit structures and methods of fabrication |
JPH0574960A (ja) * | 1991-03-25 | 1993-03-26 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2748864B2 (ja) * | 1994-09-12 | 1998-05-13 | 日本電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法及び非晶質炭素膜の製造方法及びプラズマcvd装置 |
US5804259A (en) * | 1996-11-07 | 1998-09-08 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for depositing a multilayered low dielectric constant film |
-
1997
- 1997-05-23 JP JP15040897A patent/JP3202657B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-05-15 US US09/080,049 patent/US5985750A/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-05-22 KR KR1019980018492A patent/KR100293080B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-05-22 CN CN98108918A patent/CN1200564A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR19980087292A (ko) | 1998-12-05 |
CN1200564A (zh) | 1998-12-02 |
JP3202657B2 (ja) | 2001-08-27 |
JPH10326830A (ja) | 1998-12-08 |
US5985750A (en) | 1999-11-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7534721B2 (en) | Semiconductor device manufacturing device | |
KR100358545B1 (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 공정 | |
US6841844B2 (en) | Air gaps copper interconnect structure | |
US7304386B2 (en) | Semiconductor device having a multilayer wiring structure | |
KR100414506B1 (ko) | 드라이 에칭 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
US20010036737A1 (en) | Semiconductor device formed with metal wiring on a wafer by chemical mechanical polishing, and method of manufacturing the same | |
KR100293080B1 (ko) | 반도체장치제조방법 | |
US7163887B2 (en) | Method for fabricating a semiconductor device | |
EP0355339A2 (en) | Process for making self-aligned contacts | |
JP4108228B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR20010030170A (ko) | 이중 물결무늬 구조를 포함하는 집적회로 제조방법 | |
KR100219562B1 (ko) | 반도체장치의 다층 배선 형성방법 | |
US6057230A (en) | Dry etching procedure and recipe for patterning of thin film copper layers | |
US6423650B2 (en) | Ultra-thin resist coating quality by increasing surface roughness of the substrate | |
JPH04290249A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US6410417B1 (en) | Method of forming tungsten interconnect and vias without tungsten loss during wet stripping of photoresist polymer | |
KR100320883B1 (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
JPH1167909A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR100380150B1 (ko) | 반도체 소자의 금속 배선 형성 방법 | |
KR100278995B1 (ko) | 반도체장치의 비어홀 형성방법 | |
KR100395775B1 (ko) | 반도체 소자의 금속 배선 형성 방법 | |
KR100458589B1 (ko) | 반도체 소자 제조 방법 | |
CN117976614A (zh) | 半导体器件的形成方法 | |
US20040124528A1 (en) | Metal line structures in semiconductor devices and methods of forming the same | |
KR100291189B1 (ko) | 반도체 장치 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |