KR100225006B1 - Lcd 기판 검사 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 LCD 기판의 각 화소의 오픈 결함과 단락 결함의 검사에 있어서의 S/N 비를 종래에 비하여 10배 이상으로 향상시킨 검사 장치 및 방법을 제공한다. 이를 위해서, LCD 기판(10)의 보조 콘덴서(15ij)의 공통 접지 단자(22)는 접지하고, 비디오 단자(23)에 드라이버(40)로부터의 H전압을 인가하여 TFTij의 게이트를 개방하여 보조 콘덴서(15ij)를 최대한으로 충전한다. 다음에 게이트를 폐쇄하여 비디오 단자에 접지 전위의 L전압을 인가하여 데이타선과 비디오 라인의 부유 용량의 전하를 충분히 방전시키며, 계속해서 각 화소를 화상 표시 모드로 순차 선택적으로 구동하여 각 화소의 정보를 독출하여, IV 변환 회로(43)에 의해 전류 전압 변환하고, 샘플링 홀드 회로(34)에 의해 샘플링하고, 증폭하고, A/D변환기(36)에 의해 A/D 변환하고, 화상 처리부(37)에 의해 진폭치를 비교하여 양부판정을 행하는 구성으로 한다.

Description

LCD 기판 검사 장치 및 방법
본 발명은, 프로젝터나 리어 투과형 TV등에 이용되는 다결정형 TFT(Thin Film Transister:박막 트랜지스터)의 LCD(Liquid Crystal Display) 기판, 즉 액정 표시기에 있어서의 각 화소의 화소 결함을 검출하는 LCD 기판 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.
처음에 피측정 DUT인 LCD 기판에 관해서 설명한다. 도 3에 다결정형 TFT의 LCD 기판(10)의 구성도의 예를 나타낸다. 석영 기판상에 서로 평행한 다수의 게이트선(19j(191∼19m))이 설치되고, 이들 게이트선(19)과 직교하여 다수의 데이타선(2Oi(201∼2On))이 평행하게 설치되어 있다. 이들 게이트선(19j)과 데이타선(20i)과의 각 교차점에 TFT(14ij(1411∼14nm))이 각각 설치되고, 각각의 TFT(14ij)는, 곧 근처의 게이트선(19j)에 게이트가 접속되고, 데이타선(2Oi)에 소스가 접속되고, 드레인은 보조 콘덴서(15ij(1511∼15nm))에 접속되어 있다. 보조 콘덴서(15ij)의 타단은 각각 공통으로 접속되고, 공통 접지 단자(22)에 접속되어 있다. 즉, TFT(14ij)와 보조 콘덴서(15ij)로 이루어진 다수의 화소가 매트릭스형으로 배치되어 있다. 이 화소수는 VGA 규격에서는 640×480=307,200. 포인트, SVGA 규격에서 800×600=480,000.포인트, XGA 규격에서 1,024×768=786,432.포인트이고, EWS 규정에서는 또, 1,280×1,024=1,310,720.포인트와 매우 많은 화소가 배열되어 있다.
게이트선(191∼19m)은 행선택 시프트 레지스터(11)의 각 시프트단에 순차 접속되고, 데이타선(201∼2On)은 열선택 스위치(13i(131∼13n))를 통해 비디오 라인(21)에 순차 접속되어 있다. 박막 트랜지스터의 구성으로 이루어진 열선택 스위치(131∼13n)의 게이트는, 각각 열선택 시프트 레지스터(12)의 각각 대응하는 n개의 시프트단에 순차 접속되어 있다. 화소수가 매우 많을 때는, 고속성을 유지하기 위해서 비디오 라인(21) 및 열선택 시프트 레지스터(12)가 복수열을 갖고 있는 것도 있다. 예컨대, 비디오 라인(21)은 2∼6열, 많은 것으로서는 24형도 있으며, 열선택 시프트 레지스터(12)는 2∼4열을 가지고 교대로 동작하도록 하고 있는 것도 있다.
행선택 시프트 레지스터(11)는, 수직 기동 신호가 DY단자에 부여되고, CLY단자에 수직 동작 클록이 부여되면 수평주기마다 행선택 시프트 레지스터(11)는 그 시프트단에 순차 고레벨을 출력한다. 즉, 게이트선(191∼19m)에 대하여 순차 고레벨을 출력한다. 동일하게 하여 열선택 시프트 레지스터(12)에는 수평 기동 신호가 DY단자에 부여되고, 수평 동작 클록이 CLX단자에 부여되면 화소 주기마다 열선택 시프트 레지스터(12)의 시프트단이 순차 고레벨이 되어 열선택 스위치(131∼13n)의 게이트에 순차 고레벨이 부여된다.
따라서, 예컨대, 게이트선(191)이 고레벨 동안 열선택 스위치(131)의 게이트가 고레벨이 되면 TFT(1411)이 온이 되고, 비디오 라인(21)의 영상 신호가 열선택 스위치(131)를 통하여, 또 TFT(1411)을 통하여 보조 콘덴서(1511)에 그 영상 입력의 레벨에 따른 전하가 충전된다. 이 게이트선(191)이 고레벨 동안 열선택 스위치(131∼13n)이 순차적으로 온이 되기 때문에, TFT(1411∼141n)가 순차적으로 온이 되어 각각 비디오 라인(21)에서의 그 때의 영상 신호 레벨에 따라서 대응하는 보조 콘덴서(1511∼151n)에 대한 전하의 충전이 이루어진다. 그 후 게이트선(192)이 고레벨이 되고, 그 게이트선의 화소에 대한 주사가 행해진다. 이하, 동일하게 한 전체의 TFT의 매트릭스, 즉 각 화소 전극에 대한 주사가 행해지게 된다.
이들 LCD 기판(10)의 불량에는 선결함과 화소 결함이 있다. 선결함이란 단선의 유무이기 때문에, 그 검사는 도통, 비도통의 검사이기 때문에 용이하다. 화소 결함에는 오픈 불량과 단락 불량이 있다. 이 화소 결함의 검사에 관해서, 종래부터 몇가지의 제안이 이루어지고 있다. 예컨대, 본출원인이 이전에 출원한 특허 공개 공보 제5-158056에 의하면, 각 화소의 보조 콘덴서(15ij)가 공통으로 접속되어 있는 공통 접지 단자(22)에 직사각형파 신호를 인가하고, LCD 기판(10)의 비디오 라인(21)에 출력되는 신호의 각 화소에 대응한 진폭치를 검출하며, 그 진폭치에 의해서 각 화소의 결함을 검출하여, 양부판정을 행하는 것이다.
도 5에 종래의 검사 장치의 예를 나타낸다. LCD 기판(10)은 도 3의 LCD 기판(10)이고, 이것의 화소 결함을 검사하는 장치이다. 주사 타이밍 발생부(30)로부터의 수직 기동 신호를 DY 단자에, 수직 동작 클록을 CLY 단자에, 수평 기동 신호를 DX 단자에, 수평 동작 클록을 CLX 단자에 부여하고, 소위 화상 표시 모드로 각 화소를 순차적으로 선택한다. 검사 신호 발생부(31)로부터는 각 화소의 선택 주기의 중간 부분에 있어서 직사각형파의 검사 신호를 LCD 기판(10)의 보조 콘덴서(15ij)의 공통 접지 단자(22)에 부여한다.
선택된 화소가 정상이면 이것과 대응한 출력 파형이 비디오 라인(21)에 나타나지만, 예컨대 그 선택된 화소의 보조 콘덴서(15ij)가 단락되어 있으면 현저하게 높은 레벨이 비디오 단자(23)에 나타나며, 반대로 그 화소의 TFT(14ij)가 오픈이면 비디오 단자(23)의 레벨이 낮아진다. 비디오 단자(23)와 공통 전위점과의 사이에 고속 스위치(32)가 접속되고, 각 화소 선택 기간의 처음과 끝에 고속 스위치(32)가 온으로 되어 비디오 단자(23)에 접속하는 부분의 부유 용량에 축적된 전하를 방전시킨다.
비디오 단자(23)의 출력 파형은 임피던스 변환기(33)에 의해 하이 임피던스 입력에서 로우 임피던스 출력으로 변환되어 샘플 홀드 회로(34)에 공급되고, 각 검사 신호의 끝 부근에서 샘플 유지된다. 그 출력은 증폭기(35)에 의해 증폭된 후, A/D 변환기(36)에 의해 디지탈 신호로 변환되어 화상 처리부(37)에 공급된다. 화상 처리부(37)에서는 인접 화소 사이에서의 그 입력 레벨, 즉 비디오 단자(23)로부터 출력된 신호의 레벨을 상대적으로 비교하여 이들 레벨로부터 화상 결함의 유무를 조사한다.
이들 종래의 검사 수단은, 단락 불량에 관해서는 출력하는 신호가 이상하게 커지기 때문에 용이하게 판별되었지만, 오픈 불량의 판정에 관해서는 S/N비(신호 대 잡음비)가 나쁘고, 판정 정밀도가 좋지 않았다. 그 이유는 각 화소의 보조 콘덴서(15ij)의 용량에 비하여 데이타선(2Oi) 및 비디오 라인(21)에서의 부유 용량이 크고, 부유 용량의 전하에 의한 영향이 큰 것에 기인한다.
도 3에 있어서 1화소가 온상태일 때의 등가 회로를 도 4에 나타낸다. 도 3과 대응하는 부분에는 동일 부호를 붙인다. R8은 열선택 스위치(13i)의 온저항으로, 그 값은 10KΩ정도이고, R9는 TFT(14ij)의 온 저항으로 1MΩ정도이다. 그리고 보조 콘덴서(15)의 용량치는 O.1pF정도인데 대하여, 부유 용량은 LCD기판의 크기에도 기인하지만 일반적으로 데이타선의 부유 용량(16)은 5pF 정도이며, 10pF 정도의 비디오 라인의 부유 용량(17)도 있다. 즉 보조 콘덴서(15ij)와 부유 용량과의 용량비는, 1/100이하이며, 보조 콘덴서(15ij)의 용량은 매우 작다. 따라서, 공통 접지 단자(22)로부터 직사각형파 신호를 인가하여 보조 콘덴서(15ij)의 오픈 불량을 검출하고자 하더라도, 부유 용량의 영향으로 그 정상시와 이상시의 출력 신호의 진폭치의 사이는 미소한 차밖에 생기지 않고, 양부판정을 정확하게 행하는 것이 곤란하였다.
본 발명은 LCD 기판(10)의 검사에 있어서, 각각의 보조 콘덴서(15ij)에 최대 규정치에 가까운 전압을 부여하여 최대 전하를 충전시키고, 데이타선의 부유 용량(16) 및 비디오 라인의 부유 용량(17)의 전하를 영가깝게까지 방전시키며, S/N비를 종래의 장치보다 10배 이상으로 향상시켜서 각 화소의 오픈, 단락의 검사를 행하게 하는 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예의 구성도.
도 2의 (A)∼(F)는 도 1의 실시예의 타이밍 차트.
도 3은 LCD 기판의 구성도.
도 4는 LCD 기판에서의 1화소가 온상태일 때의 등가 회로도.
도 5는 종래의 검사 장치의 구성예도.
도 6은 본 발명에 의한 LCD 기판 검사 방법을 나타내는 흐름도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : LCD 기판
23 : 비디오 단자
36 : A/D 변환 회로
37 : 화상 처리부
43 : IV 변환 회로
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 액정을 봉입하기 전의 상태에 있어서, LCD 기판(10)의 보조 콘덴서(15ij)의 공통 접지 단자(22)는 접지하고, 처음에 비디오 단자(23)에 규정치 상한에 가까운 H전압을 부여하여 TFTij의 게이트를 개방하여 보조 콘덴서(15ij)를 최대한으로 충전한다. 소위 기록을 행한다. 계속해서 TFTij의 게이트를 오프로 한 상태에서 공통 접지 전위의 L전압을 비디오 단자(23)에 부여하고, 열선택 스위치를 온으로 하여 데이타선(20i)을 온으로 하고, 데이타선(2Oi)의 부유 용량(16)과 비디오 라인(21)의 부유 용량(17)의 전하를 충분히 방전시킨다. 그 후에 다시 게이트를 온시키고, 각 화소를 순차 선택적으로 구동시키며, 보조 콘덴서(15ij)의 전하 정보를 독출하여, 종래와 같이 샘플 홀드 회로(34)등을 거쳐서 화상 처리 장치에 의해 화상 결함 유무를 조사하는 것이다.
이것을 실현하기 위해서, 주사 타이밍 발생부(39)로부터의 신호로 기준 전압인 H전압 또는 L전압을 출력하는 드라이버와, 이 H전압 및 L전압을 실시간에 LCD 기판(10)의 비디오 단자(23)에 공급한 후, 비디오 단자(23)로부터의 출력 신호를 독출하여 샘플 홀드 회로(34)에 출력하는 IV 변환 회로를 설치한다.
드라이버는 입력 신호를 받아서 실시간에 설정한 H전압 또는 공통 접지 전위의 L전압을 출력할 수 있는 것이면 바람직하다. 즉, H전압과 L전압을 고속으로 전환하는 것이 바람직하다.
IV 변환 회로의 초단은 연산 증폭기의 차동 증폭기의 특성을 이용하면 실현할 수 있다. 입력 임피던스는 무한대이고, 2개의 입력 단자 사이가 이매진널 쇼트(가상 단락)이기 때문이다. 따라서, 1의 입력 단자에 기준 H전압 또는 L전압을 부여하면 다른 단자 전압은 실시간에 그 전압에 추종한다. 그 추종한 전압을 비디오 단자에 공급한다. 또한, 비디오 단자로부터의 출력 신호는 그 차동 증폭기와 차단의 차동 증폭기로 전류 전압 변환시키면 좋다.
제 1 발명은 기본 발명의 구성이다. 이 구성은, 종래의 검사 장치에 덧붙여서, 주사 타이밍 발생기로부터의 신호로 H전압과 L전압을 실시간에 출력하는 드라이버와, LCD 기판의 비디오 단자에 드라이버로부터의 상기 H전압이나 L전압을 실시간에 공급하고, 또한 비디오 단자로부터의 영상 신호를 전류 전압 변환하여 샘플 홀드 회로에 출력하는 IV 변환 회로를 설치한 구성이다. 여기서, 주사 타이밍 발생기는 CPU를 구비한 제어부도 겸하여, 모든 측정 타이밍을 발생시키는 것으로 한다. 이 제어부는 별도 설치하여도 좋다.
제 2 발명은, 제 1 발명에 이용하는 드라이버의 가장 적절한 구성이다. 드라이버는 트랜지스터 스위치 회로나 쌍안정 회로등으로 구성할 수도 있지만, 가장 고속으로 실시간에 전환하기 위해서는 연산 증폭기를 이용하는 것이 가장 적절하다.
제 3 발명은, 제 1 발명에 이용하는 IV 변환 회로의 가장 적절한 구성이다. 적어도 2개의 차동 증폭기를 이용하여 그 특성을 활용한다. 각각의 차동 증폭기의 정상 입력 단자에는 드라이버로부터의 기준 전압이 입력된다. 초단의 차동 증폭기의 역상 입력 단자는 LCD 기판의 비디오 단자에 접속되고, 기준 전압인 H전압 및 L전압을 공급하여 보조 콘덴서에 전하를 충전한 후에 부유 용량의 전하를 방전시킨다. 그 후에 비디오 단자로부터의 출력 신호를 취출하고 증폭하며 전류 전압 변환하여 샘플 홀드 회로에 출력한다.
제 4 발명은, LCD 기판이 EWS 규격과 같이 화소수가 매우 많은 LCD 기판으로 비디오 단자가 복수개 있는 경우의 구성이다. 즉, 각 비디오 단자에 대응하여 각각 IV 변환 회로를 설치하고, 각 IV 변환 회로는 드라이버로부터 기준 전압을 받아서, 각각의 출력 신호를 아날로그 멀티플렉서를 통해 샘플 홀드 회로에 출력하는 구성이다. 이하 실시예에 관해서 설명한다.
도 1에 본 발명의 일실시예의 구성도를, 도 2의 (A)∼(F)에 그 타이밍 차트의 실시예를 나타낸다.
도 1은, 비디오 단자(23)가 1개인 경우와 복수인 경우를 겸하여 나타내고 있다. 즉, 1개인 경우에는 IV 변환 회로(43)가 1개로 좋고, 아날로그 멀티플렉서(47)가 불필요하지만, 복수인 경우에는 각각의 비디오 단자(23i(i=1∼p))에 대응하여 IV 변환 회로(43)가 설치되고, 아날로그 멀티플렉서(47)를 통해 샘플 홀드 회로(34)에 출력하고 있다.
LCD 기판(10)의 공통 접지 단자(22)는 접지되어 있다. 드라이버(40)는 주사 타이밍 발생부(39)로부터의 신호로, 기준 전압인 H전압과 L전압을 전환하고 있다. H전압은 예컨대 12V로 하고, L전압은 공통 접지 전위로 한다. 실시간으로 전환하기 위해서 연산 증폭기(41)를 이용한다. 이 출력 전압을 각각의 IV 변환 회로(43)에 공급하고 있다.
IV 변환 회로(43)는 2개의 차동 증폭기(44 및 45)로 구성되고, 각각의 정상 입력 단자에는 저항 R1 또는 R5를 통해 H전압 또는 L전압이 공급되어 있다.
초단의 차동 증폭기의 역상 입력 단자 a는 비디오 단자(23)에 접속되고, 저항 R2를 통해 그 출력 단자 b에 접속되어 있다. 도 1에 나타낸 바와 같이, a점과 b점 사이의 귀환 저항은 R3에 평행하게 R2를 스위치 SW를 통해 병렬 접속하고 있다. 이것은 필요에 따라서 귀환 저항치를 변경시키고, 차동 증폭기(44) 계통의 안정화의 고속성과 고증폭도로 전환하기 위해서이다. 즉, 귀환 저항치가 작을수록 안정화는 빨라지고, 귀환 저항치가 클수록 증폭도는 높아진다.
그래서 저항 R2를 1KΩ정도로, R3을 40KΩ정도로 하고, H전압 및 L전압을 LCD 기판(10)에 공급할 때에는 스위치 SW를 온으로 하여 귀환 저항을 1KΩ으로 작게 하여 기록 클록 속도를 빠르게 한다. 신호를 독출할 때는 스위치 SW를 오프로 하여 귀환 저항을 4OKΩ으로 크게 하여, 판독 클록 속도를 느리게 하고, 고증폭도를 수득하는 동시에 후단의 신호 처리계의 스피드, 특히 A/D 변환 속도와 매칭을 취한다. 2단째의 차동 증폭기(45)는 초단으로부터의 신호를 차동 증폭하는 것이고, 그 출력 신호를 샘플링 홀드 회로(34)에 공급한다.
이 실시예에서는 최적의 구성예로서 차동 증폭기의 입력 특성을 이용하여 실현하였지만, 이것 이외에도 전환 스위치를 이용한 구성법도 있다. 즉, H전압 또는 L전압을 LCD 기판(10)의 비디오 단자(23)에 공급할 때에는 드라이버(40)에 직접 접속하며, 비디오 단자(23)로부터의 전하 정보를 독출할 때에는 스위치로 전환하여 IV 변환 회로에 출력하는 구성이다.
도 2의 (A)∼(F)는 도 1의 실시예의 동작의 타이밍 차트의 실시예이다. 도 2의 (A)는 1행 선택하고 있는 기간의 열선택의 기간을 나타낸다. 즉, 기록 기간과 비디오 라인(21) 및 데이타선(2Oi)의 부유 용량의 전하 소각 기간과 독출 기간이다. 도 2의 (B)는 비디오 단자(23)에 인가하는 H전압 및 L전압이고, 기록 기간에 예컨대 12V를, 다른 기간에는 공통 접지 전위의 OV를 부여하고 있다. 도 2의 (C)는 게이트선(19j)를 오프로 하는 게이트 제어이고, 전하 소각 기간, 소위 클리어 기간만 오프로 한다. 도 3의 회로도에서는 게이트 제어 단자로부터 게이트(18j)를 폐쇄하는 신호를 부여하면 좋다. 게이트(18j)가 없는 경우에는 모든 게이트선(19j)을 오프로 하면 좋다.
도 2의 (D)는 열선택 시프트 레지스터(12)로의 시프트 개시 신호 DX이고, 각 기간의 당초에 DX단자에 부여한다. 도 2의 (E)는 열선택 시프트 레지스터(12)로의 시프트 클록 신호 CLX이다. 기록 기간이나 클리어 기간은 신호 처리에서의 A/D변환은 행하지 않기 때문에 규정 동작 주파수로 구동한다. 독출 기간에서는 A/D변환을 행하여 신호 처리 속도가 늦어지기 때문에 클록 신호는 규정 동작 주파수의 1/N로 지연한다. 즉 주기를 N배로 한다. 도 2의 (F)는 초단 차동 증폭기(44)의 귀환 저항의 스위치 SW의 전환 신호이다. 기록 기간과 전하 소각 기간은 온으로 하여 귀환 저항을 1KΩ으로 하고, 시스템의 안정화 시간을 빨리한다. 독출 기간은 오프로 하여 4OKΩ로 하여 고증폭도를 수득한다.
독출 기간을 1/N정도로 하는 이유는 화소의 방전을 충분히 세트링시키기 위해서이다.
이 타이밍 차트의 예에서는, 1행 선택 기간에 3회 열선택 동작을 시키도록 하였지만, 이것에 한하는 것은 아니다. 수행 단위로 전하의 기록, 부유용량의 클리어, 전하 정보의 독출을 행하여도 좋다.
도 6은 본 발명에 의한 LCD 기판 검사 방법을 나타내는 흐름도이다.
우선, LCD 기판의 보조 콘덴서(15ij)의 공통 접지 단자를 접지한다(단계 100). 다음에, 비디오 단자(23)에 드라이버로부터 H전압을 인가한다(단계 110). 다음에, TFTij의 게이트를 개방하여 보조 콘덴서(15ij)를 충전한다(단계 120). 다음에, TFTij의 게이트를 폐쇄한다(단계 130). 다음에, 비디오 단자(23)에 접지 전위의 L전압을 인가하여 데이타선과 비디오 라인의 부유 용량의 전하를 충분히 방전시킨다(단계 140). 다음에, 각 화소를 화상 표시 모드로 순차 선택적으로 구동하여 각 화소에 대응한 보조 콘덴서(15ij)의 정보를 독출하고, IV 변환 회로에 의해 전류 전압 변환하고 독출한다(단계 150). 다음에, 이 IV 변환 회로의 출력 전압을 샘플링 홀드 회로에 의해 샘플링한다(단계 160). 다음에, 이 샘플링 홀드 회로에 의한 전압을 A/D 변환기에 의해 A/D 변환한다(단계 170). 다음에, 화상 처리부에서 진폭치를 비교하여 양부판정을 실행한다(단계 180). 이와 같이 LCD 기판 검사 방법을 구성한다.
이상 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명은, LCD 기판(10)의 각 화소의 보조 콘덴서(15ij)에 충분한 전하를 충전하여, 데이타선(20i)의 부유 용량(16) 및 비디오 라인(21)의 부유 용량(17)을 거의 완전히 방전한 후에 각 화소의 전하 정보를 순차적으로 독출 화상 처리를 할 수 있게 되었다. 따라서, ①각 화소의 단락 결함은 물론, 오픈 결함도 정확하게 판정할 수 있게 되었다. 즉, S/N비가 종래보다 15배나 좋아져서 오판정이 없어졌다.
②타이밍을 맞추는 방법이 용이하게 되었다. 종래의 공통 접지 단자(22)로부터 직사각형파 신호를 부여하여 비디오 단자(23)로부터 그 신호를 취출하는 장치에서는, 비디오 라인(21)의 부유 용량의 전하를 방출시키는데 미묘한 타이밍 조정이 필요하지만, 본 발명에서는 각 기간의 시간을 정하는 것만으로 좋다. ③조작이 용이하게 되었다. LCD 기판(10)의 통상의 사용 방법으로 각 화소에 충분한 전하를 충전시키는 검사 방식이기 때문에 이해도 용이하다.
이상과 같이, LCD 기판(10)의 검사가 용이하게, 정확하게, 고속으로 행할 수 있게 되었기 때문에, 실용에 대하여 그 기술적 효과는 크다.

Claims (5)

  1. 피측정 LCD 기판(10)의 각 화소의 TFT(14ij)를 주사 타이밍 발생부(39)로부터의 화상 표시 모드로 선택적으로 구동시키고, 상기 LCD 기판(1O)의 비디오 단자(23)로부터의 출력 신호를 샘플 홀드 회로(34)에 의해 샘플링하며, 상기 샘플 홀드 회로(34)의 출력 신호를 증폭기(35)에 의해 증폭하고, A/D 변환기(36)에 의해 A/D 변환하며, 화상 처리부(37)에 의해 화소 결함을 검출하는 검사 장치에 있어서,
    상기 주사 타이밍 발생기(39)로부터의 신호로 H전압 또는 L전압을 IV 변환 회로(43)에 출력하는 드라이버(40)와,
    상기 드라이버(40)로부터의 H전압 또는 L전압을 LCD 기판(10)의 비디오 단자(23)에 공급하고, 비디오 단자(23)로부터의 영상 신호를 전류 전압 변환하여 그 출력 신호를 샘플 홀드 회로(34)에 출력하는 IV 변환 회로(43)를 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 기판 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 드라이버(40)는 H전압 또는 L전압을 전환하여 출력하는 연산 증폭기(41)로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 LCD 기판 검사 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 IV 변환 회로(43)는, 적어도 2개의 차동 증폭기가 이용되고, 드라이버(40)로부터 H전압 또는 L전압이 기준 전압으로서 저항을 통해 정상 입력 단자에 동시에 입력되고, 초단의 작동 증폭기(44)의 역상 입력 단자는 LCD 기판(10)의 비디오 단자(23) 및 저항을 통해 출력 단자에 접속된 역상 증폭기이고, 제 2 단의 작동 증폭기(45)의 역상 입력 단자는 초단의 작동 증폭기(44)의 출력 단자와 자기의 출력 단자에 각각 저항을 통해 접속된 차동 증폭기로 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 기판 검사 장치.
  4. 제 1 항, 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 LCD 기판(10)의 비디오 단자(23)가 복수일 때는, 각각의 비디오 단자(23)에 개개의 IV 변환 회로(43)가 설치되고, 개개의 IV 변환 회로(43)의 출력 신호를 아날로그 멀티플렉서(47)에 의해 선택하여 샘플 홀드 회로(34)에 출력하는 구성인 것을 특징으로 하는 LCD 기판 검사 장치.
  5. 피측정 LCD 기판(10)의 각 화소의 TFT(14ij)를 주사 타이밍 발생부로부터의 화상 표시 모드로 선택적으로 구동시키고, 상기 LCD 기판(10)의 비디오 단자(23)로부터의 출력 신호로 화소 결함을 검출하는 검사 방법에 있어서,
    상기 LCD 기판의 보조 콘덴서(15ij)의 공통 접지 단자를 접지하는 단계(단계 100)와, 상기 비디오 단자(23)에 드라이버로부터 고전압의 H전압을 인가하는 단계(단계 110)와, TFT(14ij)의 게이트를 개방하여 상기 보조 콘덴서(15ij)를 충전하는 단계(단계 120)와, 상기 TFT(14ij)의 게이트를 폐쇄하는 단계(단계 130)와, 상기 비디오 단자(23)에 접지 전위의 L전압을 인가하여 부유 용량의 전하를 방전시키는 단계(단계 140)와, 화상 표시 모드로 하여 상기 보조 콘덴서(15ij)의 정보를 IV 변환 회로에 의해 전류 전압 변환하고 독출하는 단계(단계 150)와, 상기 IV 변환 회로의 출력 전압을 샘플링 홀드 회로에 의해 샘플링하는 단계(단계 160)와, 상기 샘플링 홀드한 전압을 A/D 변환기에 의해 A/D 변환하는 단계(단계 170)와, 화상 처리부에서 진폭치를 비교하여 양부판정을 행하는 단계(단계 180)를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 기판 검사 방법.
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