JP4782956B2 - アレイ基板の検査方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、おもにアクティブマトリクス型の液晶表示装置に用いられるアレイ基板の検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体層としてp−Si(ポリシリコン)TFTを用いたアクティブマトリクス型の液晶表示装置(以下、p−SiTFT・LCD)は、アレイ基板上に画素部のほかに駆動回路を内蔵することができるため、ノート型PCや携帯型情報端末のディスプレイとして主流になりつつある。
【0003】
p−SiTFT・LCDでは、アレイ基板上に電極や配線などが形成された段階でアレイテストと呼ばれる検査が行われている。この検査は、アレイテスタと呼ばれる検査装置を使用して、画素毎に形成された補助容量に電圧を印加して充電し、所定時間後に放電させ、この時に生じる電位を測定して、画素の電気的な不良の有無を判定するものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、アレイ基板上に内蔵される駆動回路のうち、信号線駆動回路に含まれるアナログスイッチ(以下、ASW)は、1本の信号線に極性の異なるビデオ信号を所定期間毎にサンプリングする極性反転駆動を行うために、n−chTFTとp−chTFTとを組み合わせたC−MOS回路が用いられている。しかし、このアレイテスタを使用して、信号線1本毎に正負の極性を反転させた電圧を印加する、いわゆるVライン反転駆動による電圧印加を行った場合、異常を示す測定結果が得られたとしても、それがn−chASWとp−chASWの特性差の中に埋もれてしまうことがあり、検査を精度良く行うことは困難であった。とくに、p−SiTFT・LCDのアレイ基板では、内蔵の駆動回路を介して検査を行うため、駆動回路を構成するスイッチ素子や配線の特性バラツキが測定結果に含まれ、精度良く検査を行うことは難しいという問題点があった。
【0005】
そして、上記アレイテストでは、不良アレイ基板のセル工程(次工程)への流入防止や、アレイ工程へのプロセス改善のためのフィードバックが求められているため、従来の検査方法では、アレイテストの目的を十分に達成することはできないという問題点があった。
【0006】
この発明の目的は、アレイ基板上に形成されたASWの特性差による影響を受けにくくし、画素不良を精度良く検出できるようにすることで、アレイテストの目的を十分に達成することができるようにしたアレイ基板の検査方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1の発明は、互いに交差する複数本の信号線及び複数本の走査線、これら両線の各交差部に配置された画素電極、前記画素電極と電気的に接続された補助容量、前記走査線から供給されたゲート信号により前記信号線と前記画素電極間を導通させて前記信号線に供給されたビデオ信号を前記画素電極及び補助容量に書き込む画素スイッチ素子を含み、前記画素電極を表示単位とする画素が複数形成された画素部と、隣接する一組の前記信号線の各々に所定期間毎に互いに極性の異なるビデオ信号を供給する信号線駆動回路と、前記各走査線に対し所定周期でゲート信号を供給する走査線駆動回路とを備えたアレイ基板の検査方法において、前記信号線駆動回路と走査線駆動回路を通常駆動させ、隣接する一組の前記信号線の各々に互いに極性の異なるテスト用ビデオ信号を供給して前記補助容量への書き込みを行い、所定時間後に放電させ、この時の電圧を測定する検査ステップを、前記テスト用ビデオ信号の極性を入れ替えて少なくとも2回実行し、前記少なくとも2回の検査ステップで得た各画素の電圧を極性毎に抽出し、検査対象となった全画素について同一極性の電圧が配置されるように並べ替え、この並び替えた同一極性の電圧と期待値とを比較することにより、前記検査対象となった各画素の電気的な不良の有無を判定することを特徴とする。
【0008】
請求項2の発明は、請求項1において、前記信号線駆動回路の通常駆動では、隣接する一組の前記信号線の各々に1フレーム毎に正極性又は負極性のテスト用ビデオ信号を供給するVライン反転駆動を行い、前記少なくとも2回の検査ステップで得た各画素の電圧を極性毎に抽出し、検査対象となった全画素について正極性又は負極性の電圧が一画面分配置されるように並べ替え、この並び替えた一画面分の電圧と期待値とを比較することにより、一画面を構成する全画素の電気的な不良の有無を判定することを特徴とする。
【0009】
請求項3の発明は、請求項2において、前記少なくとも2回の検査ステップで得た各画素の電圧を極性毎に抽出し、検査対象となった全画素について正極性の電圧が一画面分配置されるように並べ替えると共に、検査対象となった全画素について負極性の電圧が一画面分配置されるように並べ替え、各極性の一画面分の電圧と各極性毎に設定された期待値とを比較することにより、一画面を構成する全画素の電気的な不良の有無を判定することを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、この発明に係わるアレイ基板の検査方法を、p−SiTFT・LCDを構成するアレイ基板の検査に適用した場合の実施形態について説明する。
【0011】
図1は、本実施形態に係わるアレイ基板とアレイテスタの回路構成図である。
【0012】
アレイ基板10上には、画素部100、走査線駆動回路110、信号線駆動回路120、入出力端子130及び131などが形成されている。
【0013】
画素部100には、走査線G1,G2,…Gn(以下、総称G)及び信号線D1,D2,…Dm(以下、総称D)が互いに交差するように配置されており、これら両線の交差部にはp−SiTFTで構成された画素スイッチ素子11が配置されている。この画素スイッチ素子11のゲート電極は1水平ライン毎に共通に走査線G1,G2,…Gnに接続され、またソース電極は1垂直ライン毎に信号線D1,D2,…Dmに接続されている。さらにドレイン電極は画素電極12に接続されるとともに、この画素電極12と電気的に並列に配置された補助容量13に接続されている。この補助容量13は補助容量線14に接続され、図示しない外部駆動回路から補助容量電圧が供給される。後述するアレイテスタ140を使った検査では、補助容量電位として電源電圧出力部143から一定の電位が入出力端子131を通じて供給される。
【0014】
以下の説明において、画素とは、画素電極12を表示単位とする矩形領域を指すものとする。また、アレイテストによる画素の電気的な不良の有無とは、補助容量13の容量分バラツキ、画素スイッチ素子11のオフリークの有無、各電極の断線の有無などの画素全体としての不良の有無を指すものとする。
【0015】
なお、図1は、液晶パネルとして組み立てる前のアレイ基板上での構成を示したものであるため、画素電極12と対向配置される対向電極及びこれら電極間に充填される液晶層などは図示していない。
【0016】
走査線駆動回路110は、シフトレジスタ111、バッファ112から構成されている。シフトレジスタ111は、図示しない外部駆動回路から入出力端子130を通じて供給される垂直のスタート信号やクロック信号(以下、垂直/水平を含めてロジック信号という)に基づいて、走査線G1,G2,…Gnに1水平走査期間毎にゲート信号を出力する。
【0017】
後述するアレイテスタ140を使った検査では、テスト用信号発生部141からシフトレジスタ111へロジック信号が供給されるほか、電源電圧出力部143からは、走査線駆動回路110を駆動するための電源電圧が供給される。
【0018】
信号線駆動回路120は、シフトレジスタ121、極性選択回路/バッファ122、ビデオバス123及びASW1,2,…nで構成されている。シフトレジスタ121は、図示しない外部駆動回路から入出力端子130を通じて供給されるロジック信号に基づいて、極性選択回路/バッファ122の動作タイミングを制御する。極性選択回路/バッファ122は、シフトレジスタ121により制御され、各ASWに選択信号/非選択信号を出力する。そして、この選択信号/非選択信号によりASW1,2,…nがオン/オフ動作することで、ビデオバス123に供給されたビデオ信号が信号線D1,D2,…Dmにサンプリングされる。
【0019】
ここで、信号線D1,D2,…Dmにサンプリングされるビデオ信号は、1フレーム毎に隣接する一組の信号線(例えば、D1,D2)でそれぞれ極性を反転させる、いわゆるVライン反転駆動が行われている。このために、ASW1,2,…nは、それぞれp−chTFT125とn−chTFT126とを組み合わせたC−MOS回路で構成されている。また、ビデオバス123は、正極性のビデオ信号と負極性のビデオ信号が、それぞれ別々の経路で供給されるように配線されている。これにより、例えば奇数フレームでは、信号線D1に接続するp−chTFT125を介して正極性のビデオ信号が信号線D1にサンプリングされ、同時に、隣接する信号線D2に接続するn−chTFT126を介して負極性のビデオ信号が信号線D2にサンプリングされる。次に偶数フレームでは、信号線D1に接続するn−chTFT126を介して負極性のビデオ信号が信号線D1にサンプリングされ、同時に、隣接する信号線D2に接続するp−chTFT125を介して正極性のビデオ信号が信号線D2にサンプリングされる。この切り替えは極性選択回路/バッファ122からの選択信号によりASW1,2,…nを制御することで実現している。
【0020】
ここで、p−chTFT125はLowレベルの選択信号でオン状態となり、Highレベルの非選択信号でオフ状態となるものとし、またn−chTFT126はHighレベルの選択信号でオン状態となり、Lowレベルの非選択信号でオフ状態となるものとする。
【0021】
後述するアレイテスタ140を使った検査では、テスト用信号発生部141からシフトレジスタ111へロジック信号が供給されるほか、テスト用信号発生部141からビデオバス123にはテスト用のビデオ信号が供給される、また、電源電圧出力部143からは、信号線駆動回路120を駆動するための電源電圧が供給される。
【0022】
アレイテスタ140は、アレイ基板10の外部回路として用意される回路であり、テスト用信号発生部141、テスト用信号測定部142、測定結果判定部143、データメモリ144及び電源電圧出力部145により構成されている。このアレイテスタ140からはロジック信号や電源電圧がアレイ基板10の入出力端子130を通じて供給される。これにより、走査線駆動回路110と信号線駆動回路120が通常駆動して、後述するテスト用のビデオ信号がすべての補助容量13に書き込まれる。さらに、この状態で所定時間保持させた後、再び走査線駆動回路110と信号線駆動回路120を通常駆動させて補助容量13を放電させ、この放電により生じた電荷を電圧として測定する。以下、各部の機能について説明する。
【0023】
テスト用信号発生部141は、走査線駆動回路110と信号線駆動回路120を通常駆動させるためのロジック信号と、テスト用のビデオ信号(以下、テスト用信号という)を供給する。これらの信号は入出力端子130を通じてアレイ基板10に入力し、このうちテスト用信号はビデオバス123に供給される。本実施形態において、テスト用信号の補助容量13への書き込みは、各信号線Dに供給するテスト用信号の極性を入れ替えて2回実行される。
【0024】
テスト用信号測定部142は、画素部100の補助容量13に書き込まれ、所定時間後に放電されたテスト用信号の電圧(電圧波形)を測定し、各画素の電圧を測定結果判定部143に出力する。また、テスト用信号測定部142では、後述する測定結果判定部143での判定結果を図示しない外部回路に転送する。
【0025】
測定結果判定部143は、テスト用信号測定部142で測定された2回分の測定結果について、各画素の電圧を極性毎に抽出し、検査対象となった全画素について正極性の電圧が一画面分配置されるように並べ替えると共に、同じく検査対象となった全画素について負極性の電圧が一画面分配置されるように並べ替える。このような極性毎の電圧の並び替えはデータメモリ144を使って行う。さらに、正及び負極性の一画面分の各電圧と各極性毎に設定された期待値(しきい値)とを比較することにより、一画面を構成する全画素の電気的な不良の有無を判定する。この判定結果はテスト用信号測定部142を通じて図示しない外部回路に転送される。
【0026】
電源電圧出力部145は、走査線駆動回路110や信号線駆動回路120に対し、その駆動に必要な電源電圧を供給するほか、補助容量線14に補助容量電圧を供給する。これらの電源電圧は入出力端子130及び131を通じて供給される。また、テスト用信号発生部141、テスト用信号測定部142及び測定結果判定部143にも電源電圧を供給している。
【0027】
続いて、上記のように構成されたアレイ基板10の検査方法を図1及び図2を参照しながら説明する。なお図2(A)〜(D)は、一画面分に相当する各画素の極性を示す説明図である。
【0028】
まず、電源電圧出力部145から走査線駆動回路110や信号線駆動回路120などに必要な電源電圧を供給する。また、テスト用信号発生部141からビデオバス123にテスト用信号を供給するとともに、走査線駆動回路110や信号線駆動回路120にロジック信号を供給することにより、走査線駆動回路110と信号線駆動回路120を通常駆動する。
【0029】
走査線駆動回路110から走査線G1,G2,…Gnの順にゲート信号が出力されると、各1水平ライン上の画素スイッチ素子11が1水平走査期間だけオン状態となる。この間に極性選択回路/バッファ122からは選択信号が出力され、ASW1,2,…nは順にオン状態となる。この結果、ビデオバス123に供給されたテスト用信号は、ASW1,2,…nを通じて信号線D1,D2,…Dmに順にサンプリングされる。そして、信号線D1,D2,…Dmにサンプリングされたテスト用信号は、オン状態となった画素スイッチ素子11を介して補助容量13に書き込まれる。極性選択回路/バッファ122から出力された選択信号が所定時間後に非選択信号にシフトし、ASW1,2,…nがオフ状態になると、信号線D1,D2,…Dmとビデオバス123の間は非導通状態となる。
【0030】
次に、1フレーム期間が経過した時点で、走査線駆動回路110から走査線G1,G2,…Gnの順にゲート信号が出力されると、各1水平ライン上の画素スイッチ素子11が再びオン状態となる。この間に極性選択回路/バッファ122からは選択信号が出力され、ASW1,2,…nは順にオン状態となる。この結果、各1水平ライン上の補助容量13に充電されていたテスト用信号が放電され、この放電により生じた電荷が信号線D1,D2,…Dm、ASW1,2,…n及びビデオバス123を通じて読み出され、テスト用信号測定部142に入力される。テスト用信号測定部142では、読み出された電荷を電圧(値)として測定し、これを測定結果判定部143に受け渡す。測定結果判定部143では、第1回目の書き込みによる一画面分の測定結果をデータメモリ144の所定エリアに保持する。
【0031】
第1回目の書き込みでは、図2(A)に示すように、奇数番目の列にある画素には正極性のテスト用信号が書き込まれ、偶数番目の列にある画素には負極性のテスト用信号が書き込まれる。
【0032】
続いて、上記第1回目と同様の手順で第2回目の書き込みおよび読み出しを行う。この第2回目の書き込みでは、図2(B)に示すように、奇数番目の列にある画素には負極性のテスト用信号が書き込まれ、偶数番目の列にある画素には正極性のテスト用信号が書き込まれる。テスト用信号測定部142では、読み出された電荷を電圧(値)として測定し、これを測定結果判定部143に受け渡す。測定結果判定部143では、第2回目の書き込みによる一画面分の測定結果をデータメモリ144の所定エリアに保持する。
【0033】
次に、測定結果判定部143では、データメモリ144の所定エリアにそれぞれ保持されている2回分の測定結果について、各画素の電圧を極性毎に抽出し、図2(C)に示す用に、検査対象となった全画素について正極性の電圧が一画面分配置されるように並べ替えると共に、図2(D)に示すように、検査対象となった全画素について負極性の電圧が一画面分配置されるように並べ替えを行う。そして、正及び負極性の一画面分の各電圧と期待値とをそれぞれ比較して、2つの値の差が許容範囲内に収まっているときはその画素の電気的な不良は無し(正常)と判定し、そうでないときは不良(異常)と判定する。なお、この判定に際しては、期待値だけではなく、他の画素との相対的な評価を加えるようにしても良い。
【0034】
上記実施形態の検査方法によれば、画素の電気的な不良の有無を判定する電圧を一画面の全画素で同一極性としたので、測定結果がn−chASWとp−chASWの特性差に影響されることがなくなり、検査を精度良く行うことができる。例えば、走査線の途中から断線が生じる、いわゆる横オープンと呼ばれる欠陥では、図2(A)や図2(B)のように一画面で正極性と負極性の電圧が混在している場合には、測定結果がASWの特性差に埋もれてしまうために、欠陥が見つけにくいが、本実施形態の図2(C)や図2(D)ように一画面の全画素で同一極性とした場合は、測定結果がASWの特性差に影響されることがなく、画素相互の比較が容易なものとなるため、欠陥の有無を精度良く見つけだすことができる。
【0035】
本実施形態に係わる検査方法によれば、不良アレイ基板のセル工程(次工程)への流入を防止し、またアレイ工程へのプロセス改善のためのフィードバックを行うことができるため、歩留まりを大幅に向上させることができる。さらに液晶パネルとして完成させるための工程や部品の無駄を避け、製造コストを抑えることができる。したがって、アレイテストの目的を十分に達成することができる。
【0036】
上記実施形態では、検査対象となった全画素について同一極性の電圧が一画面分配置されるように並べ替えた例について示したが、検査対象は1水平ライン上の画素でもよいし、特定領域内(例えば上下又は左右に分割した一方の領域)の画素であってもよい。
【0037】
また、上記実施形態では、正極性及び負極性の一画面分の各電圧と期待値とをそれぞれ比較するようにしているが、正極性又は負極性のいずれか一方の一画面分の各電圧と期待値とを比較することにより、画素の電気的な不良の有無を判定するようにしてもよい。
【0038】
なお、図1に示した信号線駆動回路120におけるビデオバス123やASW124の配線構造、回路構成も、その駆動方法により種々に異なる。本発明は、ASWを有する信号線駆動回路一般に適用可能であり、本実施形態の構成は、その一例を示したものにすぎない。例えば、信号線駆動回路120(及び走査線駆動回路110)は図示しない外部駆動回路側に配置されていてもよい。
【0039】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明に係わるアレイ基板の検査方法によれば、アレイ基板上に形成されたASWの特性差による影響を減らして、画素不良を精度良く検出することができるため、アレイテストの目的を十分に達成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態に係わるアレイ基板とアレイテスタの回路構成図。
【図2】(A)〜(D)は一画面分に相当する各画素の極性を示す説明図。
【符号の説明】
10…アレイ基板、11…画素スイッチ素子、12…画素電極、13…補助容量、14…補助容量線、100…画素部、110…走査線駆動回路、120…信号線駆動回路、123…ビデオバス、125…n−chTFT、126…p−chTFT、130(131)…入出力端子、140…アレイテスタ、141…テスト用信号発生部、142…テスト用信号測定部、143…測定結果判定部、144…データメモリ、145…電源電圧出力部
Claims (3)
- 互いに交差する複数本の信号線及び複数本の走査線、これら両線の各交差部に配置された画素電極、前記画素電極と電気的に接続された補助容量、前記走査線から供給されたゲート信号により前記信号線と前記画素電極間を導通させて前記信号線に供給されたビデオ信号を前記画素電極及び補助容量に書き込む画素スイッチ素子を含み、前記画素電極を表示単位とする画素が複数形成された画素部と、隣接する一組の前記信号線の各々に所定期間毎に互いに極性の異なるビデオ信号を供給する信号線駆動回路と、前記各走査線に対し所定周期でゲート信号を供給する走査線駆動回路とを備えたアレイ基板の検査方法において、
前記信号線駆動回路と走査線駆動回路を通常駆動させ、隣接する一組の前記信号線の各々に互いに極性の異なるテスト用ビデオ信号を供給して前記補助容量への書き込みを行い、所定時間後に放電させ、この時の電圧を測定する検査ステップを、前記テスト用ビデオ信号の極性を入れ替えて少なくとも2回実行し、
前記少なくとも2回の検査ステップで得た各画素の電圧を極性毎に抽出し、検査対象となった全画素について同一極性の電圧が配置されるように並べ替え、この並び替えた同一極性の電圧と期待値とを比較することにより、前記検査対象となった各画素の電気的な不良の有無を判定することを特徴とするアレイ基板の検査方法。 - 前記信号線駆動回路の通常駆動では、隣接する一組の前記信号線の各々に1フレーム毎に正極性又は負極性のテスト用ビデオ信号を供給するVライン反転駆動を行い、
前記少なくとも2回の検査ステップで得た各画素の電圧を極性毎に抽出し、検査対象となった全画素について正極性又は負極性の電圧が一画面分配置されるように並べ替え、この並び替えた一画面分の電圧と期待値とを比較することにより、一画面を構成する全画素の電気的な不良の有無を判定することを特徴とする請求項1に記載のアレイ基板の検査方法。 - 前記少なくとも2回の検査ステップで得た各画素の電圧を極性毎に抽出し、検査対象となった全画素について正極性の電圧が一画面分配置されるように並べ替えると共に、検査対象となった全画素について負極性の電圧が一画面分配置されるように並べ替え、各極性の一画面分の電圧と各極性毎に設定された期待値とを比較することにより、一画面を構成する全画素の電気的な不良の有無を判定することを特徴とする請求項2に記載のアレイ基板の検査方法。
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