KR100219385B1 - 도전성 볼의 탑재장치 - Google Patents

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KR100219385B1
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conductive ball
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신이치 나카자토
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모리시타 요이찌
마츠시타 덴키 산교 가부시키가이샤
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Abstract

제품의 전극에 범프를 형성하기 위한 도전성 볼을 탑재흡착장치로 흡착함에 있어서, 저류부에 저류된 도전성 볼을 확실히 흡착할 수 있는 도전성 볼의 탑재 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
탑재흡착장치의 상자체(12)의 하면에 도전성 볼(6)을 진공흡착하는 흡착구멍(17)을 형성한다. 또, 이 하면의 흡착구멍(17)이 형성되어 있지 않는 부분에 오목부(18, 19)를 형성한다. 도전성 볼(6)을 흡착하기 위하여 용기(41)에 저류된 도전성 볼(6)의 층의 윗면에 상자체(12)를 착지시키나, 이때 도전성 볼(6)을 유동화시키기 위하여 용기(41)에 뿜어 넣어진 기체는 오목부(18, 19)에 뿜어 올려진다. 따라서, 도전성 볼(6)의 표층부는 그 전체가 충분히 유동화하므로, 모든 흡착구멍(17)에 도전성 볼(6)을 진공흡착할 수 있다.

Description

도전성 볼의 탑재장치.
제1도는 본 발명의 1실시형태에 의한 도전성 볼의 탑재장치의 측면도.
제2도는 본 발명의 1실시형태에 의한 도전성 볼의 탑재장치의 탑재흡착장치의 상하 반전 사시도.
제3도는 본 발명의 1실시형태에 의한 도전성 볼의 탑재장치의 도전성 볼의 저류부의 단면도.
제4도는 본 발명의 1실시형태에 의한 도전성 볼의 탑재장치의 탑재흡착장치에 의한 도전성 볼을 흡착중의 부분확대 단면도.
제5도는 종래의 도전성 볼의 탑재장치의 탑재흡착장치의 상하 반전 사시도.
제6도는 종래의 도전성 볼의 탑재장치의 탑재흡착장치에 의한 도전성 볼을 흡착중의 부분확대 단면도.
* 도면에 주요부분에 대한 부호의 설명
6 : 도전성 볼 10 : 탑재흡착장치
12 : 상자체 17 : 흡착구멍
18, 19 : 오목부 22 : 제품
23 : 위치결정부 30 : 저류부
41 : 용기 43 : 노즐
[발명의 상세한 설명]
볼 발명은 칩이나 기판 등의 제품의 전극에 범프를 형성하기 위한 도전성 볼을 탑재하는 도전성 볼의 탑재장치에 관한 것이다.
칩이나 기판 등의 제품의 전극에 범프(돌출전극)을 형성하는 방법으로서, 제품의 전극상에 탑재흡착장치에 의하여 다수개의 도전성 볼을 일괄탑재하고, 그 후에 가열로 등에서 도전성 볼을 전극상에서 가열용융 고화시키는 방법이 알려져 있다.
제5도는 종래의 도전성 볼의 탑재장치의 탑재흡착장치의 상하 반전 사시도, 제6도는 동 탑재흡착장치에 의한 도전성 볼을 흡착중의 부분확대 단면도이다.
제5도에 있어서, 탑재흡착장치(1)는 상자체(2)의 하면에 흡착구멍(3)을 형성하여 구성되어 있다. 이 예는 4개의 제품에 일괄적으로 도정성 볼을 탑재하기 위하여 흡착구멍(3)은 4각형으로 배열하여 4개소 형성되어 있다. 4는 상자체(2)의 윗가장자리부에 형성된 플랜지(flange)이다.
제6도는 용기(5)에 대량으로 저류된 도전성 볼(6)의 층위에 상자체(2)를 하강시키고, 이어서 상자체(2)를 상승시킴으로써, 흡착구멍(3)에 도전성 볼(6)을 진공흡착하는 상태를 도시하고 있다. 용기(5)의 하부에는 공기 등의 기체가 뿜어 넣어져 있고, 파선화살표로 표시한 바와 같이 이 기체가 윗쪽으로 뿜어 올려짐으로써, 도전성 볼(6)을 유동화하고 있다.
이와 같이하여 도전성 볼(6)을 유동화시킴으로써, 흡착구멍(3)에 미소한 도전성 볼(6)을 진공흡착하기 쉽게 하고 있다. 그리고, 상자체(2)는 흡인장치에 접속되어 있다.
제6도에 있어서, 가스는 용기(5)의 내부전체에 뿜어 올려진다.
그러나, 제6도에 도시한 바와 같이, 도전성 볼(6)을 흡착하기 위하여 상자체(2)의 하면이 도전성 볼(6)의 층위에 착지한 상태에서는, 기체는 파선화살표로 표시한 바와 같이, 오로지 상자체(2)의 옆쪽의 공간에 뿜어 올려지며, 상자체(2)의 중앙부근에서는 상자체(2)의 하면에 차단되어 뿜어 올려지기 어렵다.
이때문에, 측부(A)에서는 도전성 볼(6)은 충분히 유동화하여 흡착구멍(3)에 확실히 진공흡착되기 쉬우나, 중앙부(B)에서는 도전성 볼(6)은 충분히 유동화 되지 않아, 흡착구멍(3)은 흡착실패하기 쉬운 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기 종래방법의 문제점을 해소하여, 저류부에 저류된 도전성 볼을 확실히 흡착할 수 있는 도전성 볼의 탑재장치를 제공함을 목적으로 한다.
이를 위하여 본 발명은 도전성 볼의 저류부와, 이 도전성 볼을 하면의 흡착구멍에 진공흡착하여 위치결정부에 위치결정된 제품에 탑재하는 탑재흡착장치를 구비하고, 상기 저류부에 기체를 보냄으로써 도전성 볼을 유동화시키도록 한 도전성 볼의 탑재장치로서, 상기 탑재흡착장치의 하면의 상기 흡착구멍이 형성되어 있지 않은 부분에 기체 도피용의 오목부를 형성한 것이다.
본 발명에 의하면 저류부에 저류된 도전성 볼을 흡착하기 위하여 탑재흡착 장치가 하강하여 도전성 볼의 층의 윗면에 착지한 상태에서 윗쪽으로 뿜어 올려지는 기체는 탑재흡착장치의 하면에 형성된 오목부로 뿜어 올릴수 있으므로, 도전성 볼의 층은 탑재헤드의 하면전역에 있어서, 충분히 유동화하여 모든 흡착구멍에 확실히 진공흡착된다.
다음에, 본 발명의 1실시형태를 도면을 참조하여 설명한다. 제1도는 본 발명의 1실시형태에 의한 도전성 볼의 탑재장치의 측면도, 제2도는 동탑재흡착장치의 상하 반전 사시도, 제3도는 동 도전성 볼의 저류부의 단면도, 제4도는 동 탑재흡착장치에 의한 도전성 볼을 흡착중의 부분확대도이다.
제1도에 있어서, 10은 탑재흡착장치이고, 본체(11)의 하부에 상자체(12)를 결합하여 구성되어 있다. 본체(11)는 배관(13)을 통하여 흡인장치에 접속되어 있다. 본체(11)의 상부에는 블록(block)(14)이 결합되어 있다. 블록(14)의 내부에는 탑재흡착장치(10)에 상하동작을 하게하는 상하동 기구가 내장되어 있다. 또, 블록(14)은 가동테이블(15)에 지지되어 있고, 가동테이블(15)을 따라 옆방향으로 수평이동한다.
제2도에 있어서, 상자체(12)의 하면에는 틀모양의 돌출부(16)가 4개 형성되어 있고, 돌출부(16)에는 흡착구멍(17)이 4각형으로 배열되어 형성되어 있다. 따라서, 이것도 종래예와 똑같이, 4개의 제품에 일괄하여 도전성 볼을 탑재한다. 돌출부(16)의 중앙부에는 기체도피용의 오목부(18)가 형성되어 있고, 또 4개의 돌출부(16)의 사이도 십자형의 기체도피용의 오목부(19)로 되어 있다. 상자체(12)의 윗가장자리부에는 본체(11)에 조립하기 위한 플랜지(20)가 돌출설치되어 있다.
제1도에 있어서, 탑재흡착장치(10)의 이동로의 아래쪽에는 도전성 볼의 저류부(30)와 용제(flux) 조(21)와 제품(22)의 재치부(載置部)(23)가 설치되어 있다. 다음에 제3도를 참조하여 도전성 볼의 저류부(30)의 구조를 설명한다. 31은 기대이고, 그 윗쪽에는 상자(box)부(32)가 설치되어 있다. 기대(31)의 윗면에는 가이드 레일(33)이 설치되어 있고, 또 상자부(32)의 하면에는 가이드 레일(guide rail)(33)에 끼워맞추어지는 미끄럼 움직임(slider)부(34)가 설치되어 있다. 기대(31)의 하부에는 캠(cam)(35)을 회전시키는 모우터(36)가 설치되어 있다. 상자부(32)의 하면에는 로드(rod)(37)가 돌출설치되어 있고, 로드(37)의 하단부에는 캠(35)에 맞닿는 로울러(roller)(38)가 축착(軸着)되어 있다. 로드(37)는 스프링(39)에 의하여 오른쪽으로 가압되어 있고, 그 스프링력에 의하여 로울러(38)는 캠(35)의 둘레면에 탄접(彈接)하고 있다. 다라서, 모우터(36)가 구동하여 캠(35)이 회전하면, 상자부(32)는 가이드 레일(33)을 따라 옆방향으로 왕복진동한다.
상자부(32)의 상부에는 용기(41)가 자유롭게 떼낼 수 있도록 장착되어 있다. 용기(41)의 바닥면은 망(mesh)등의 통기판(42)이고, 통기판(42)위에는 도전성 볼(6)이 대량으로 저류되어 있다. 용기(41)의 아래쪽에는 기체의 분출노즐(43)이 설치되어 있다. 노즐(43)은 배관(44)을 통하여 가스공급부에 접속되어 있다. 노즐(43)로부터 분출된 기체는 통기판(42)위의 도전성 볼(6)의 층을 윗쪽으로 뿜어 올려, 도전성 볼(6)을 유동화시킨다. 또, 모우터(36)가 구동하여 상자부(32)를 옆방ㅎㅇ으로 진동시킴으로써, 도전성 볼(6)을 더 한층 유동화시킨다.
이 도전성 볼의 탑재장치는 상기와 같은 구성으로 이루어지는데, 다음에는 제품(22)에 도전성 볼(6)을 탑재하는 동작을 설명한다. 제1도에 있어서, 탑재흡착장치(10)는 저류부(30)의 윗쪽에 도래하여, 거기서 하강·상승동작을 하여 용기(41)내의 도전성 볼(6)을 흡착한다. 제4도는 흡착을 위하여 탑재흡착장치(10)가 하강하여, 상자체(12)의 하면이 도전성 볼(6)의 층의 윗면에 착지한 상태를 도시하고 있다. 이때, 노즐(43)로부터 기체가 분출하며(파선화살표 참조), 또 모우터(36)가 구동하여 용기(42)는 옆방향으로 진동하며 화살표(N), 도전성 볼(6)을 유도화시키고 있다. 이와 같이, 상자체(12)가 도전성 볼(6)의 층위의 윗면에 착지한 상태에서, 기체는 상자체(12)의 옆쪽 뿐만 아니라 오목부(18, 19)에도 뿜어 올릴 수 있으므로, 도전성 볼(6)의 표층전체가 충분히 유동화한다. 따라서, 모든 흡착구멍(17)은 도전성 볼(6)을 확실히 진공흡착할 수 있다.
다음에, 제1도에 있어서 탑재흡착장치(10)는 상승하여 도전성 볼(6)을 흡착하여 용제조(21)를 향하여 이동한다. 그리고, 용제조(21)의 윗쪽에서 일단 정지하고, 거기서 하강·상승동작을 함으로써 상자체(12)의 하면에 진공흡착된 도전성 볼(6)의 하면에 용제를 부착시킨다.
다음에, 탑재흡착장치(10)는 제품(22)의 윗쪽으로 이동하여, 거기서 하강·상승 동작을 함과 동시에, 도전성 볼(6)의 진공흡착상태를 해제함으로써, 도전성 볼(6)을 제품(22)의 윗면에 전극(도시하지 않음)위에 탑재한다. 도전성 볼(6)이 탑재된 제품(22)은 가열로(도면외)로 보내져서, 가열로에서 가열됨으로써, 제품(22)의 전극상의 도전성 볼(6)은 용융고화하여 범프가 형성된다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않는 것이며, 예를 들면 탑재흡착장치에 형성되는 흡착구멍의 배열사양은 대상제품에 따라 설계되는 것이다.
본 발명에 의하면, 저류부에 저류된 도전성 볼을 흡착하기 위하여 탑재흡착장치가 하강하여 도전성 볼의 층의 윗면에 착지한 상태에서, 윗쪽으로 뿜어 올려지는 기체는 탑재흡착장치의 하면에 형성된 오목부로 뿜어 올릴 수 있으므로, 도전성 볼은 표층전체에서 충분히 유동화하여, 모든 흡착구멍에 확실히 도전성 볼을 진공흡착할 수 있다.

Claims (4)

  1. 도전성 볼의 저류부와, 이 도전성 볼을 하면의 흡착구멍에 부압에 의하여 흡착하여, 위치결정부에서 위치결정된 제품에 그 도전성 볼을 탑재하는 탑재흡착장치를 구비하고, 상기 저류부에 기체를 보냄으로써, 그 도전성 볼을 유동화 시키도록 한 도전성 볼의 탑재장치로서, 상기 탑재흡착장치의 하면의 상기 흡착구멍이 형성되어 있지 않은 부분에 기체도피용의 오목부를 형성한 것을 특징으로 하는 도전성 볼의 탑재장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 저류부가 수평으로 왕복운동을 하는 것을 특징으로 하는 도전성 볼의 탑재장치.
  3. 도전성 볼의 저류부와, 이 도전성 볼을 하면의 흡착구멍에 부압에 의하여 흡착하여, 위치결정부에서 위치결정된 제품에 그 도전성 볼을 탑재하는 탑재흡착장치를 구비하고, 상기 저류부에 기체를 보냄으로써 그 도전성 볼을 유동화 시키도록 한 도전성 볼의 탑재장치로서, 상기 흡착구멍부를 돌출시켜 상기 하면으로부터 돌출하지 않고 또한 흡착구멍이 형성되어 있지 않는 부분으로 부터 기체를 도피시키는 것을 특징으로 하는 도전성 볼의 탑재장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 저류부가 수평으로 왕복운동을 하는 것을 특징으로 하는 도전성 볼의 탑재장치.
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