KR0157707B1 - 기판도포장치 - Google Patents

Abstract

기판도포장치는 스테이지, 도포액 탱크 및 이동기구를 포함한다. 스테이지는 수직 또는 경사지게 되는 기판을 유지한다. 상기 탱크는 상기의 폭방향을 따라 연장되고, 양단이 폐쇄된 원주 형태를 갖는다. 상기 탱크는 도포되는 영역의 폭에 걸쳐진 개구를 가진 유출로 상기 유출구 아래의 탱크에서 개구된 유입구를 갖는다. 예를 들면, 0.1~0.3㎜인 설정된 공간으로, 전단면이 기판의 표면과 대향되도록 이동기구가 탱크를 지지한다. 이동기구는 탱크와 기판사이에서 설정된 공간을 유지하면서 기판에 상대적으로 높이방향으로 탱크를 개시위치부터 종료위치까지 직선적으로 이동시킨다. 탱크의 전단면은 도포액 배출로의 유출구와 유입구 사이에 위치된 하단을 갖는다. 상단은 도포액의 모세관 작용에 의해 갭에서 도달된 최대 높이 위치와 유출구사이, 또는 최대높이 위에 형성된다. 도포장치는 스테이지의 하단상에 배치되어, 기판의 하단과 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 포함한다.

Description

기판도포장치

제1도는 종래 미니커스 도포장치의 주요부를 나타낸 도면.

제2도는 본 발명의 제1실시예의 주요부분의 수직단면도.

제3도는 제1실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 전면도.

제4도는 제1실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 평면도.

제5도는 제1실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 확대수직단면도.

제6도는 제1실시예에 따른 도포장치의 측면도.

제7도는 제1실시예에 따른 도포장치의 정면도.

제8도는 제1실시예에 따른 도포장치의 평면도.

제9도는 제2실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 수직단면도.

제10도는 제2실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 정면도.

제11도는 제2실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 평면도.

제12도는 제3실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 수직단면도.

제13도는 제3실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 정면도.

제14도는 제3실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 평면도.

제15도는 제3실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크의 수직단면도.

제16도는 제3실시예에 따른 도포장치에 있어서의 압력조절시스템의 부분전개측면도.

제17도 내지 제19도는 제3실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크에서 일어날 수 있는 문제점을 도시한 도면.

제20도는 본 발명의 제4실시예에 따른 도포액탱크의 수직단면도.

제21도는 본 발명의 제5실시예에 따른 도포액탱크의 수직단면도.

제22도는 본 발명의 제6실시예에 따른 도포액탱크의 수직단면도.

제23도는 본 발명의 제7실시예에 따른 도포액탱크의 수직단면도.

제24도는 본 발명의 제8실시예에 따른 도포액탱크의 측면도.

제25도는 본 발명의 제9실시예에 따른 도포액탱크의 수직단면도.

제26도 내지 제30도는 제20도에 도시된 도포액탱크가 사용될 때 도포액종료시에 발생되는 문제점을 도시한 도면.

제31도는 본 발명의 제10실시예에 따른 도포액장치의 주요부분 측면도.

제31a도는 제10실시예에 따른 도포액장치의 주요부분 정면도.

제32도는 본 발명의 제11실시예에 따른 도포장치의 주요부분 수직단면도.

제33도는 제11실시예에 따른 도포장치의 주요부분 정면도.

제34도는 본 발명의 제12실시예에 따른 도포장치의 주요부 수직단면도.

제35도는 본 발명의 제12실시예에 따른 도포장치의 주요부 정면도.

제36도는 본 발명의 제12실시예에 따른 도포장치의 주요부 평면도.

제37도는 본 발명의 제12실시예에 따른 도포장치의 주요부 확대수직단면도.

제38도는 본 발명의 제12실시예에 따른 도포장치에서의 제어시스템의 블록다이어그램.

제39도는 본 발명의 제13실시예에 따른 도포장치의 주요부 확대수직단면도.

제40도는 본 발명의 제14실시예에 따른 주요부의 확대수직단면도.

제41도는 제15실시예에 따른 도포장치의 주요부의 확대수직단면도.

제42도 내지 제44도는 본 발명의 제16실시예에 따른 도포장치의 동작원리를 표시한 그라프.

제46도는 본 발명의 제17실시예에 따른 도포장치의 주요부의 수직단면도.

제47도는 본 발명의 제17실시예에 따른 도포장치의 주요부의 정면도.

제48도는 본 발명의 제17실시예에 따른 도포장치의 주요부 평면도.

제49도는 본 발명의 제17실시예에 따른 도포액탱크의 확대수직단면도.

제50도는 제18실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크의 확대수직단면도.

제51도는 본 발명의 제19실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크의 확대수직단면도.

제52도는 본 발명의 제20실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크의 확대수직단면도.

제53도는 본 발명의 제21실시예에 따른 도포장치의 주요부 확대단면도.

제54도는 본 발명의 제22실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크의 확대수직단면도.

제55도 내지 제57도는 제49도에 도시된 도포액탱크에 관련되어 발생되는 문제점을 도시한 도면.

제58도는 본 발명의 제23실시예에 따른 도포장치의 주요부의 수직단면도.

제59도는 본 발명의 제23실시예에 따른 도포장치의 주요부의 정면도.

제60도는 본 발명의 제23실시예에 따른 도포장치의 주요부의 평면도.

제61도는 제23실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크의 확대수직단면도.

제62도는 본 발명의 제24실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크의 확대수직단면도.

제63도는 제25실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크의 확대수직단면도.

제64도는 본 발명의 제26실시예에 따른 도포장치의 주요부의 수직단면도.

제65도는 본 발명의 제26실시예에 따른 도포액탱크의 주요부의 정면도.

제66도는 본 발명의 제27실시예에 따른 도포장치의 주요부의 수직단면도.

제67도는 본 발명의 제27실시예에 따른 도포장치의 주요부의 평면도.

제68도는 본 발명의 제28실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크의 확대수직단면도.

제69도는 제29실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크의 확대수직단면도.

제70도는 제20도에 도시된 도포액탱크에 관련된 문제점을 나타낸 도면.

제71도는 본 발명의 제30실시예에 따른 도포장치의 주요부의 수직단면도.

제72도는 본 발명의 제30실시예에 따른 도포장치의 주요부의 평면도.

제73도는 본 발명의 제30실시예에 따른 도포장치의 주요부의 평면도.

제74도는 본 발명의 제30실시예에 따른 도포개시위치에서의 도포액탱크의 확대수직단면도.

제75도는 본 발명의 제30실시예에 따른 도포액탱크의 도포 동안 도포액탱크의 수직확대단면도.

제76도는 본 발명의 제30실시예에 따른 도포장치의 도포종료위치에서의 도포액탱크의 확대수직단면도.

제77도는 제30실시예에 따른 도포장치의 도포종료위치에서 발생되는 도포액탱크에 관련된 문제를 나타낸 도면.

제78도는 본 발명의 제30실시예에 따른 도포장치의 도포종료위치에서 확대부재 및 도포액탱크의 확대수직단면도.

제79도는 본 발명의 제31실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크 및 도포개시위치에서의 확대수직단면도.

제80도는 본 발명의 제32실시예에 따른 도포장치의 도포액 개시위치에서의 도포액탱크의 확대수직단면도.

제81도는 본 발명의 제33실시예에 따른 도포장치의 도포액개시위치에서의 도포액탱크의 확대수직단면도.

제82도는 본 발명의 제33실시예에 따른 도포장치의 도포동작동안 도포액의 확대수직단면도.

제83도는 본 발명의 제33실시예에 따른 도포장치에 의해서 해결되는 도포액탱크에 관련된 가능한 문제점을 나타내는 도면.

제84도는 본 발명의 제34실시예에 따른 도포장치의 도포개시위치에서 도포액탱크의 확대수직단면도.

제85도는 본 발명의 제35실시예에 따른 도포장치의 도포종료위치에서 주요부의 확대수직단면도.

제86도는 본 발명의 제36실시예에 따른 도포장치의 도포종료위치에서 주요부의 확대수직단면도.

제87도 및 제88도는 가능한 도포액탱크의 다른 예의 확대수직단면도를 나타낸 것이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

236 : 도포재료(액) 231 : 용기

232,234 : 라인 233 : 솔레노이드밸브

235 : 펌프 236 : 라인

237 : 필터 240 : 아프리케이터

242 : 대상물 243,244 : 미니스커스

310 : 기판 312 : 스테이지

314 : 도포액탱크 316 : 도포액유출구

318 : 도포액유입구 320 : 공기배출구

322 : 도포액 324 : 풀(pool)

326 : 직선구동기구 330 : 메인프레임

332 : 네일부 334 : 베어링부

336 : X스테이지 338 : 너트부

340 : 구동모터 342 : 볼스크류

344,346 : 지지부재 352 : 하단부

362 : 탱크베이스 370 : 가스송풍기

372 : 노즐 382 : 전면벽부

384 : 도포액유출로 386 : 전단면

388 : 갭 400 : 압력설정시스템

[발명의 분야]

본 발명은 기판표면상에 도포막을 형성하기 위한 장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 액정표시장치(LCD), 반도체장치 및 각종 전자부품 등의 제조프로세스에 있어서, LCD용 그라스기판, 반도체기판, 프린트기판 등의 가판 표면상에 포토레지스트액이나, 또는 솔더액 등의 도포액을 도포하기 위한 도포장치에 관한 것이다.

[종래의 기술]

통상적으로 단일기판처리시스템의 기판을 도포액으로 도포할 때 회전도포방식, 브레이드 도포방식, 스프레이 도포방식, 호울코드방식 등의 장치가 사용되었다. 이들 도포장치중 회전식 도포방식의 장치가 액정표시장치 및 반도체 장치의 제조프로세스에서 가장 널리 사용되고 있다.

그러나, 회전식 도포방식의 장치는, 액정표시장치 및 반도체 장치에 대한 수요가 증가되고 또 피도포기판의 대형화 및 사각형과 같은 가변형 기판의 이용이 증가됨에 따라 다음과 같은 문제점이 인식되고 있다.

첫째, 회전식 도포방식의 장치는, 사용되는 도포액의 유효이용율이 낮다. 잘 알려진 바와 같이, 회전식 도포방식의 장치에서는, 회전하는 동안 스피너에 의하여 수평자세로 지지되고 도포액이 기판표면에 공급되며, 원심력에 의하여, 도포액의 기판의 표면상에 분산되어서 도포막을 형성하는 동안, 기판이 회전된다. 따라서, 도포액을 분산시키는 과정에서 사용되는 도포액의 대부분이 주위로 흩어져서 낭비된다. 레지스트 현상액과 같은 비교적 고가의 도포액이 자주 사용되며, 따라서 도포액을 보다 유효하게 사용하게 하여 주는 도포장치가 요구되고 있다.

상술한 바와 같이, 회전식 도포장치에서 기판은 회전 동안 스피너에 의하여 수평자세로 지지되고 있다. 따라서 기판이 점점 대형화될 때 제조장치로 점점 대형화되어야 한다. 이에 따라, 그 시설의 설치공간도 증가되어야 하므로, 반도체 기판 등의 장치의 제조비용이 상승하게 된다. 특히 피도포기판이 사변형일 때, 그 피도포기판을 회전시키는데 필요한 공간은 기판의 대각선 길이에 관련하여 증가한다. 따라서 사변형 기판이 회전식 도포장치를 사용하여 도포될 때 더욱 분리하다.

또 하나의 다른 불리한 점으로써, 원형기판을 도포하기 위해 원래 개발한 회전식 도포장치는 사변형 기판을 도포하는데는 최적일 수는 없다. 보다 구체적으로는, 원형 기판과는 다르게 사변형 기판을 코너들을 가지고 있으며, 공기흐름에 대한 교란운동이 회전동안 코너 주위에서 발생되는 결함이 있고, 이 공기흐름의 교란운동은 기판표면에 걸쳐서 확장하는 경향이 있다. 이와 같이 기판에 걸쳐 확장되는 공기흐름의 교란은, 도포막의 두께의 균일성에 있어서, 품질을 저하시키는 결과로 된다.

기판이 점점 커짐에 따라 기판 회전의 반경도 더욱 커지고, 따라서 도포액내에 포함되어 있는 용제의 증발량도 기판의 중심과 기판의 외측주면부에서 상이하게 된다. 따라서, 기판의 중심부와 기판의 외측주변부에서 도포액의 유동성의 차가 있게 되고, 그 결과 도포막의 두께가 균일하지 않게 된다.

회전식 도포장치의 전술한 문제점들은 그 동작원리 때문에 회전식 도포장치의 본래부터 가지고 있는 문제점들이어서, 립타입 기판을 도포하기 위하여는 적절한 다른 원리에 근거하는 도포장치가 요구되고 있다.

이와 같은 요구에 부응하는 하나의 제안은, 제1도에 그의 개략적인 구조가 도시되어 있는 부크(BOK)에게 특허허여된 미니스커스 도포방법이라는 제목의 미국특허 제5,270,079호에 개시되어 있는 기술이다. 제1도를 참조하면, 상기 특허의 장치는 도포재료(230)을 수용하는 용기(231)를 포함하고 있으며, 용기(231)에는 다공성의 아프리케이터(applicator)(240)가 설치되어 있고 용기(231)로부터 도포재료(230)을 회수하기 위한 라인(232,234)를 포함하고 있으며, 라인(232,234)의 연결점에 설치된 솔레노이드 밸브(233)와, 도포재료를 가압하여 라인(236)에 이것을 채우기 위한 펌프(235)와, 라인(236,238) 사이의 접속점에 설치되어 있는 약 0.1 내지 10㎛크기의 기공을 가지는 필터(237)와, 라인(238,239)사이의 접속점에 설치되는 솔레노이드 밸브(246)을 포함하고 있다. 라인(239)의 다른 단부는 다공성의 아프리케이터(240)의 내측으로 연결되어 있다.

동작을 설명하면, 도포재(230)는 라인(232)를 경유하여 용기(231)로부터 회수되며, 솔레노이트밸브(233)를 통과하고 라인(234)를 경유하여 필터의 기공크기 및 도포액의 점도에 따라 약 2 내지 15psig로 가압되는 펌프(245)로 보내진다. 가압되는 펌프(245)로 부퍼 라인(236)을 경유하여 흐르고, 필터(237)을 통과하여 필터(237)의 기공크기보다 큰 물질을 제거한다. 필터되고 가압된 도포재는 라인(238)을 경유하여 필터(237)로부터 회수되어 제2솔레노이드밸브(246)을 통과하여 라인(239)을 경유 다공성의 아프리케이터(240)의 내측으로 보내진다. 다공성의 아프리케이터(240)는 소결합금으로 구성되어 있고 환형단면을 가지며 중공이고 도포재(230)가 흐를 수 있는 다공성의 면을 가지고 있다.

펌프(235)가 작동되고, 아프리케이터(240)의 외측면이, 하향으로 얇은 층의 흐름(240)을 야기하도록, 젖을 때까지, 솔레노이드밸브(233,246)가 열려져 있다. 그리고 나서 펌프(235)가 턴오프되고 솔레노이트밸브(233,246)가 닫혀진다. 대상물(피도포물)로의 도포재의 접촉을 확실히 하기 위해, 아프리케이터(240)의 표면이 대상물(242)의 표면과 접촉되어서 선단부의 미니스커스(memiacus)(243)와 꼬리부분의 미니스커스(244)를 확보한다.

그리고 나서 아프리케이터(240)는 대상물(242)의 표면으로부터 분리된다. 바람직하기로는, 아프리케이터(240)의 외측면과 대상물(242)의 표면사이의 거리가 약 0.015 내지 0.250 인치이며, 더욱 바람직하기로는 약 0.015 내지 0.125인치, 가장 바람직하기로는 약 0.020 내지 0.040인치이다.

미니스커스(243,244)가 확보되면, 대상물(242)은 그의 표면상에 도포재(245)의 막을 형성하기 위해 화살표 방향에서 아프리케이터(240)의 표면위나 또는 가로 질러서 대략 수평방향으로 보내진다. 하향의 얇은 층의 흐름(241)이 전 도포단계를 통하여 계속된다.

상기 부크에게 허여된 특허의 장치에서, 회전식 도포장치와 비교할 때, 낭비되는 도포액의 량은 훨씬 적다. 따라서 단일기판 처리시스템에서 기판을 도포하기 위해 종래기술의 이 장치는 회전식 도포장치보다 더욱 적절한 것으로 사료된다.

그러나, 상기 부크에게 허여된 특허의 장치는 아직도 해결하여야 할 문제점을 가지고 있다.

첫째, 상기 부크의 장치에서, 도포액을 열화시킬 가능성이 있다. 제1도에서 도시된 용기(231)의 상측부는 열려져 있다. 따라서, 도포액(230)은 비교적 큰 면적으로 대기와 접하여 있다. 용제가 도포제(230)로부터 증발하기 때문에, 도포재(230)의 점도가 변경되거나 또는 도포재의 특성이 변경될 가능성이 있다.

두 번째 문제점은, 이것은 더욱 이롭지 못한 것이지만, 보다 큰 면적이 부크의 장치에 대하여서 필요하게 된다.

셋째 문제점은, 부크의 장치의 도포속도는 너무도 낮다. 이 기준에 따르면, 대상물(242) 및 아프리케이터(240)의 상대속도는 전형적으로 0.5 내지 20인치/min(0.21~8.5㎜/sec), 더욱 바람직하리로는 2 내지 15inch/min(0.85~6.35㎜/sec)이다.

이것은 너무도 느려서, 부크의 장치로는 바람직한 스루풋(throughput)이 얻어질 수 없다. 기판의 크기가 점점커지게 되는 것을 상정하면, 부크의 장치는 이롭지 못하다.

또한 이 인용의 장치는 도포의 개시시에 형성되는 도포막은 나머지 기판 동안보다도 더 두껍다는 또하나의 문제점을 가지고 있다. 이것은 꼬리부분의 미니스커스(244)가 도포개시후에 즉시 안정되지 못하고 꼬리부분의 미니스커스(244)가 상당히 긴 기간동안 도포된 후에야만 안정된다는 경우일 때이다. 두꺼운 막이 형성되어 있는 기판의 부분은 사용상 적합하지 못하며, 따라서 이 기판영역이 유효하게 사용될 수 없다.

이 문제점을 해결하기 위해, 기판의 하측표면과 같은 높이가 되도록 기판의 일단부 표면에 프레이트 등을 위치시키고, 이 프레이트 부분부터 도포막의 형성을 시작하여 꼬리부분의 미니스커스(244)가 안정된 후에 기판표면의 도포를 시작하는 것도 가능하다. 이 방법에 의해 두꺼운 막이 기판 표면상에 형성되지 아니하고 프레이트 표면상에 형성되어서 기판표면에 형성되는 도포막은 두꺼운 부위를 가지지 않게 된다.

그러나, 이 경우에 있어서도 역시, 기판이외의 다른 부분에 도포되는 도포재가 낭비되어 버리고, 게다가 도포가 기판이외의 다른 부분부터 시작되기 때문에 기판표면을 도포하기 위해 필요한 시간이 더 길어지게 된다. 특히 기판과 아프리케이터의 상대속도가 부크의 장치에 있어서와 같이 느리게 되기 때문에, 기판 이외의 부분부터 도포가 시작되는 경우 그 량만큼 증가되는 시간은 상당히 길게 될 것이다.

따라서 본 발명의 목적은 도포액을 매우 유효하게 사용할 수 있고 스루풋 높은 기판 도포장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 다른 또하나의 목적은 도포액의 사용효율이 높고, 스루풋이 높으면서도, 시설면적이 작은 기판 도포장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 다른 또하나의 목적은 도포액의 사용효율이 높고, 스루풋이 높으며, 시설면적이 작으면서도 도포막의 무효영역이 감소되게한 기판 도포장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 또다른 목적은 도포액의 사용을 매우 유효하게 하여 주고, 스루풋이 높으며, 시설에 대한 면적이 적으며, 도포개시부분에서 발생된 무효의 도포막의 면적을 감소시켜주는 기판 도포장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 또하나의 다른 목적은, 도포액을 매우 유효하게 사용할 수 있게 하여주고, 스루풋이 높으며 시설면적이 적고, 도포종료 위치에서 발생되는 도포막의 무효영역을 감소시켜주는 기판도포장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 한양태에 따르면, 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하여 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하여 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구와 유입구 사이의 어느 한 높이의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이와 상기 유출구사이에서 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액의 유출로의 유입구와 상기 도포액탱크의 전단면의 하단 사이의 어느 한 높이에 위치되도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀(pool)를 형성되도록 한 기판의 도포액 도포장치가 제공되어 있다.

본 발명의 다른 또하나의 양태에 따르면, 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하여 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통하는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출구를 통하여 도포액이 모세관현상에 의하여 적어도 유출구까지 상승하여 도달하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정 갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하고, 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작되는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구와 유입구 사이의 어느 한 높이의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이 위에 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액 유출로의 입구와 상기 도포액탱크의 전단면의 하단 사이 높이에서 위치되도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로는 통하여 상기 갭으로 주입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀을 형성하고, 상기 풀 위에는 도포액이 전혀 들어있지 않는 공간이 형성된 한 기판의 도포액 도포장치가 제공되어 있다.

반도체 기판이 투명한 경우에는, 기판지지 스테이지는 기판이면을 진공흡착으로 지지하기 위한 지지판을 포함하고 있고, 상기 지지판을 도포액탱크가 제1위치에 있을 때 투명재료로 형성되는, 도포액풀의 상단의 위치에 대응하는 적어도 하나의 부분을 가지어도 된다. 기판 지지스테이지는 기판의 피도포면의 상단부가 기판지지 스테이지의 상단으로부터 돌출하도록 기판을 지지하여도 된다. 기판이 투명하지 않는 경우, 기판 지지스테이지는 도포액이 제1위치에 있을 때 기판지지면에 대향하는 측면으로부터 기판을 관측할 수 있도록 도포액풀의 상단의 위치에 상응하는 부위에 슬로우홀(관통공)를 가지며, 흡착에 의해 기판을 지지하는 지지플레이트를 포함하여도 된다.

기판지지스테이지는 기판의 하단부가 기판지지스테이지의 하단으로부터 아래방향으로 돌출하도록 기판을 지지하여도 된다. 이것은 기판의 이면과 기판지지스테이지 사이의 공간으로 도포가 완료될 때 도포액이 들어오는 것을 방지할 수가 있다.

본 발명의 또 하나의 다른 양태에 따르면, 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하여 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하고, 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구와 유입구 사이의 어느 한 높이의 위치에 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이와 상기 유출구 사이에서 형성된 상단을 가지게 구성하고, 또한 도포액의 액면이 상기 도포액 유출로의 유출구와 상기 도포액탱크의 전단면의 하단 사이 높이에 위치되도록 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀을 형성하고, 상기 풀내의 상기 도포액의 량을 제어하기 위해 도포액탱크에 결합되는 압력조절기구를 가지도록 한 기판의 도포액도포장치가 제공되어 있다.

본 발명의 또다른 한양태에 따르면, 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액의 피도포면에 대항하여 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하고, 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구와 유입구 사이의 어느 한 높이의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하여 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이에 형성된 상단을 가지게 구성하고, 또한 도포액의 액면이 상기 도포액 유출로의 유입구와 상기 도포액탱크의 전단면의 하단 사이 높이에 위치되도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀을 형성하고, 상기 풀 위에는 도포액이 전혀 들어있지 않는 공간이 형성되며, 상기 풀내의 상기 도포액의 량을 제어하기 위해 도포액 탱크에 결합되는 압력조절기구를 가지도록 한 기판의 도포액도포장치가 제공되어 있다.

본 발명의 또 다른 하나의 양태에 따르면, 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단의 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하여 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통하는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하고, 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 유지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유입구 아래의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 출구에서 갭으로 유동하여 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이와 상기 출구사이에서 형성된 상단을 가지게 구성하고, 또한 도포액의 액면이 상기 도포액 유출로의 유입구와 유출구 사이 높이에 위치되도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀(pool)를 형성하여, 상기 풀내의 상기 도포액의 량을 제어하기 위해 도포액의 탱크에 결합되는 압력조절기구를 가지도록 한 기판의 도포액도포장치가 제공되어 있다.

본 발명의 또 다른 하나의 양태에 따르면, 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하여 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하고, 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 유지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유입구 아래의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 출구에서 갭으로 유동하여 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이 위에서 형성된 상단을 가지게 구성하고 또한 도포액의 액면이 상기 도포액 유출로의 유입구와 유출구 사이의 높이에 위치되도록 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀을 형성하고, 상기 풀위에는 도포액이 전혀 들어있지 않은 공간이 형성되며, 상기 풀내의 상기 도포액의 량을 제어하기 위해 도포액의 탱크에 결합되는 압력조절기구를 가지도록 한 기판의 도포액도포장치가 제공되어 있다.

본 발명의 또 다른 하나의 양태에 따르면, 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하여 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하고, 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 유지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유입구 아래의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 출구에서 갭으로 유동하여 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이의 유출구 사이에서 형성된 상단을 가지게 구성하고 또한 도포액의 액면이 상기 도포액 유출로의 유입구 및 유출구 양자보다 위에 위치하도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀을 형성하며, 상기 풀내의 상기 도포액의 량을 제어하기 위해 도포액의 탱크에 결합되는 압력조절기구를 가지도록 한 기판의 도포액도포장치가 제공되어 있다.

본 발명의 또 다른 하나의 양태에 따르면, 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하여 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하여 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 유지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유입구 아래의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 대, 도포액이 상기 출구에서 갭으로 유동하여 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이에서 형성된 상단을 가지게 구성하고 또한 도포액의 액면이 상기 도포액 유출로의 유입구 및 유출구 양자보다 위에 위치되도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀을 형성하고 상기 풀위에는 도포액이 전혀 들어 있지 않은 공간이 형성되며, 상기 풀내의 상기 도포액의 량을 제어하기 위해 도포액의 탱크에 결합되는 압력조절기구를 가지도록 한 기판의 도포액도포장치가 제공되어 있다.

그래서 도포액유출로의 유출구의 유입구보다 더 높게 위치될 필요는 없다. 도포액탱크의 전단면의 하단이 도포액탱크의 유입구보다도 더 낮은 위치에 위치되어도 된다. 탱크내의 도포액의 액면이 도포액유출로의 유출구와 유입구의 레벨에 따라 결정되어도 된다.

도포액탱크와 기판지지스테이지는 기판지지스테이지에 의해서 지지되는 기판의 상단이 도포액탱크의 전단면의 상당과 도포액유출로의 유출구 사이에 위치되어도 좋다.

도포장치는 또한 기판지지스테이지의 하단측면에 배열되고, 도포액탱크의 전단면과 전면 벽부사이에서, 기판지지스테이지에 의해서 지지되는 기판의 하단에 대향해서 접촉되거나 근접하는 단면을 가지는 연장부재를 포함하여도 된다. 연장부재는 전면벽부를 가진다. 연장부재는 전면벽부가 기판지지스테이지에 의해서 지지되는 기판의 피도포면과 도포액탱크의 전단면 사이에 형성된 갭에 연속하는 하나의 갭을 형성하도록 배열되어 있다. 이동기구는 기판지지스테이지에 의해서 지지되는 피도포면과 도포액탱크의 전단면 사이에 형성되는 풀의 위치가 적어도 기판의 하단면위를 통과해서 연장부재의 전면벽부에 대응하는 위치에 도달할 때까지 도포액탱크를 이동시킨다.

본 발명의 전술한 목적 및 그 외 다른 목적, 특징, 양태 및 장점은 첨부도면에 관련하여 설명되는 본 발명의 이하의 상세한 설명으로부터 더욱 명백하게 될 것이다.

바람직한 실시예의 상세한 설명

[제1실시예]

제2도 내지 제8도는 본 발명의 제1실시예의 주요부의 단면도, 정면도 및 평면도이다. 제5도는 제2도의 부분확대도이다. 제2도 내지 제4도를 참조하면 제1실시예의 도포장치는 도포액으로 도포되는 기판(310)을 진공흡착의 수단으로 수직하게 고정하여 지지하기 위한 기판스테이지(312)를 포함하고 있으며, 도포액탱크는 기판(310)의 폭방향에 연장하고, 양단에 폐쇄된 중공통체를 가지고 있다.

본 발명의 기술분야에서 잘 알려진 것이지만, 기판(310)은 스테이지(312)에 의해서 수직으로 지지될 때 기판의 크기는 여기에서 한정되지 않는다. 기판(310)은 피도면의 아래나 또는 위의 방향으로 대향하도록 적절한 각도를 경사지게 지지될 수 있다.

제5도를 참조하면, 도포액탱크(314)의 전면벽부상에 관통하는 많은 모세관이 도포액탱크(314)의 폭방향에 따라 형성되어서 도포액유출구(316)를 제공하고 있다. 도포액탱크(314)의 이면벽부의 하측부에 도포액 유입구(318)가 설치되어 있다. 도포액탱크(314)의 이면벽부의 상측부에 공기배출구(320)가 형성되어 있다. 도포액은 도포액유입구(318)를 통해서 도포액탱크(314)로 공급될 때 도포액탱크(314)내의 공기는 공기배출구(320)를 통해서 빠져나간다.

도포액탱크(314)는 기판의 폭방향에 따라 전폭이 수평으로 지지되게 설치되어서, G가 그의 전단면과 스테이지(312)에 의해서 지지되는 기판(310)의 피도포면 사이에 형성되고, 전단면은 기판(310)의 피도포면에 접촉하지는 않으나, 근접 배치되어 있다. 도포액탱크(314)는 제2도에 도시된 바와 같이, 길이방향으로 이동가능하며 한편 절술한 갭 G는 그의 전단면과 스테이지(312)에 의해서 지지되는 기판(310)의 피도포면 사이에 유지된다. 기판(310)의 폭방향에 직각방향에서 하방으로 도포액탱크(314)를 직선적으로 이동시키기 위한 직선구동기구가 설치되어 있다. 제2도 내지 제5도에는 도시되어 있지 않지만, 직선구동기구의 상세는 제6도 내지 제8도를 참조하여 후술한다.

제5도를 참조하면, 도포액(322)는 도포액탱크(314)로 도포액유입구(318)를 통해서 공급된다. 공급되는 도포액의 양은 도포액(322)의 액면이 도포액유출구(316)의 상단위치를 초과하고 공기배출구(320)의 위치보다도 더 낮도록 결정된다. 도포액(322)이 도포액탱크(314)로 유입될 때 도포액(322)는 전벽부에서 도포액유출구(316)에서의 많은 모세관을 통해서 도포액탱크로부터 흘러나온다. 결과로써 스트리프와 같은 도포액의 풀(324)가 도포액탱크(314)의 전단면과 스테이지(312)에 의해서 지지되는 지판(310)의 피도포면 사이의 갭 G에서 기판의 폭방향에 대략적으로 전체에 걸쳐 형성되어 있다. 미니스커스(Meniscus)는 각각 풀의 상단 및 하단에 형성되어 있다. 풀(324) 및 도포액탱크(314)내의 도포액(322)는 도포액유출구(316)의 많은 모세관을 통해서 서로 통해져 있다.

갭 G의 크기는 도포액탱크(314)로부터 도포액유출구(316)를 통해서 흘러나가는 도포액이 갭 G를 통해서 하향으로 흘러나가지 않도록 설정되어 있다. 구체적으로는, 갭 G의 크기는 갭 G를 통해서 외부로 나가게 되는 도포액의 압력 및 도포액의 여러 가지 재료값 및 특성이나 도포액에 대한 파라미터로서, 기판(310)의 피도포면의 습윤성과, 기판(310)의 표면의 조건, 기하학적 형상 및 거친 정도를 사용해서, 갭 G에서의 압력손실 및 흐름의 저항에 의해서 결정된다. 따라서 갭 G의 크기는 도포액의 타입과 기판(310)의 형태 및 도포액탱크(314)의 크기에 따라서 다르게 된다.

도포액탱크(314)를 직선적으로 하향이나 상향으로 이동시키기 위한 직선구동기구가 도포액탱크(314), 기판(310) 및 스테이지(312)와 같이 제6도 내지 제8도에 도시되어 있다.

제6도 내지 제8도를 참조하면, 직선구동기구(326)은 스테이지(312)가 고정되는 메인프레임(330)의 표면과 대향하고 있는 수직방향에서 고정되는 한쌍의 네일부(332)와 상향 또는 하향으로 이동가능한 한쌍의 베어링부(334)를 포함한다. 베이링부(334)는 X스테이지(336)의 직선수직 이동을 허용하도록 표시하지 않는 스크류의 수단에 의해서 X스테이지(336)상에 고정되어 있다.

제8도를 참조하면, X스테이지(336)는 메인프레임(330)에 대해서 스테이지(312)의 반대측에 배열된 몸체부와 스테이지(312)가 설치되는 메인프레임(330)의 표면위로 몸체부의 양단부로 연장하는 아암부를 포함하고 있다. 베어링부(334)는 아암부에 부착되어 있다.

스테이지가 메인프레임(330)으로 제공되는 표면과 반대표면상에 볼 스크류(342)가 그사이에 끼워지는 지지부재(344,346)로 그 축둘레로 회전가능하게 결합되어 있다. 볼 스크류(342)에 있는 메인프레임(340)의 부분에서 구동모터(340)는 사이에 끼워지는 지지부재(348)로 고정되어 있으며, 구동모터(340)의 회전축은 카프링(350)을 통해서 볼 스크류(342)에 결합되어 있다. 볼 스크류(342)를 결합하는 너트부(338)는 X스테이지(336)상에 고정되어 있고 따라서 볼 스크류(342)가 구동모터에 의해서 일정방향으로 회전될 때, X스테이지(336)을 하향으로 움직인다. 그리고 볼 스크류(342)가 반대방향으로 회전될 때, X스테이지(336)은 상방향으로 이동한다. X스테이지(336)은 제6도에서 실선에 의해서 표시된 위치와 점선에 의해서 표시된 하단부(352) 사이에서 양방향으로 이동이 가능하다.

기판(310)의 피도포면과 동일방향으로 대향하고 있는 X스테이지(336)의 단면상에 프레이트부재(354)가 고정되어 있다. 네일부(356)은 프레이트부(354)의 상단에 부착되어서 기판(310)의 피도포면에 수직방향으로 연장되어 있다. 한쌍의 베어링부(358)은 네일부(356)과 이동가능하게 결합되어 있으며 한쌍의 베어링부(358) 모두는 공통의 도로액 탱크 베이스(362)상에 고정되어 있고, 또한 도포액탱크(314)가 도포액탱크베이스(362)상에 고정되어 있다.

프레이트부재(354)상에는 펄스모터와 같은 구동모터(364)에 결합되는 볼스크류(366)이 회전가능하게 부착되어 있다. 볼 스크류(366)으로 탱크베이스(362)상에 고정되는 도시되지 않은 너트의 결합은 탱크베이스(362) 및 도포액탱크(314) 양자를 기판(310)의 표면으로부터 근접해서 수직방향으로 분리하도록 하여 진다.

동작을 설명하면, 먼저 기판(310)은 예를 들어 진공흡착에 의해서 스테이지(312)상에 고정된다. 직선구동기구(326)를 사용함으로써 도포액탱크(314)는 갭 G가 도포액탱크(314)의 전단면과 기판(310)의 피도포면 사이에서 형성되도록 기판(310)의 상단 가까이에 위치된다. 도포액(322)의 설정된 양이 도포액유입구(318)를 통해서 도포액탱크(314)로 유입된다. 도포액(314)의 전벽부의 도포액유출구(316)는 모세관을 통해서 도포액의 유출을 저지하는데 충분이 큰 저항을 가진다면 도포액(322)은 미리 도포액탱크(314)로 도입되어도 된다.

공기배출구(320)를 통해서 도포액탱크(314)내에 압력을 감소시키기 위한 수단이 설치될 때 도포액유출구(316)에서 모세관을 통해서 도포액탱크(314)로부터 도포액의 유출을 방지하는 것이 가능하다. 역시 그와 같은 경우에 도포액(322)은 미리 도포액탱크(314)로 유입되어도 된다.

도포액은 도포액유출구(316)의 모세관을 통해서 유출하며 도포액은 기판(310)의 피도포면과 접촉하게 된다. 그 결과로써 기판(310)의 폭방향에 대략 전체에 걸쳐 연장하는 도포액의 풀(324)은 도포액탱크(314)의 전단면과 기판(310)의 피도포면 사이의 갭 G에서 형성된다. 미니스커스는 풀의 상단 및 하단에 형성된다. 따라서 도포액탱크(314)의 전단면과 기판(310)의 피도포면 사이에 갭 G를 유지하면서 도포액탱크(314)는 직선구동기구(326)를 사용해서 하방으로 이동된다. 이 방향은 제2도에서 화살표에 의해서 도시되어 있다. 도포액탱크(314)가 제2도에서의 이점쇄선에 의해서 도시된 하단에 도착할 때 도포액탱크(314)가 정지된다. 그래서 도포액탱크(314)가 기판(310)의 상단의 근방에서 하단의 근방으로 이동되어서 기판(310)의 피도포면 거의 전체가 도포액(322)와 접촉하게 된다. 그 결과로써 도포액은 기판(310)의 피도포면에 도포된다.

도포액탱크(314)가 기판(310)의 하단가까이에 중지된 후에 도포액(322)는 도포액탱크(314)로부터 제거된다. 또한 도포액탱크(314)의 내부압력은 도포액유출구(316)의 모세관을 통해서 도포액탱크(314)로부터 도포액의 유출을 방지하도록 공기배출구(320)을 통해서 감소될 수도 있다. 그 후 도포액탱크(314)가 스테이지(312)로부터 벗어나는 방향으로 수평으로 이동된다. 스테이지(312)의 중공흡착은 해지되고 기판(310)은 스테이지(312)로부터 꺼내진다. 그 후 동작은 제1스텝으로 되돌아간다.

상술한 제1실시예에 따르면, 도포액의 대부분이 유효한 도포막을 형성하기 위해서 사용되어서 낭비되는 도포액의 양은 매우 적다. 기판(310)이 수직방향에서 지지될 때 전체장치에 의해서 점유되는 면적은 종래 장치에 의해서 훨씬 적게 든다. 기판의 면적이 증가되는 때라도 장치의 크기는 기판의 폭의 증가에 따라서만 증가되며, 따라서 필요한 면적에서의 증가는 최소로 될 수 있다. 상술한 실시예에 의해서 가능한 도포의 상태는 부크 장치의 것보다도 훨씬 높고 그래서 장치의 슬로우푸트가 개선될 수 있다.

제1실시예에서 기판(310)은 수직으로 지지된다. 그러나 기판의 크기는 수직방향의 크기에 제한되지는 않으며, 기판(310)은 도포면이 하방 또는 상방으로 경사되도록 지지될 수도 있다. 각도 등의 최적 값은 사용되는 도포액의 재료의 값, 기판의 형태, 기판의 조건 등을 고려해서 결정될 수 있다. 기판의 각도는 본 실시예에서, 뿐만 아니라 다른 실시예에서도 특정한 각도가 동일한 것으로 취급되는 것을 제외하고는, 임의적으로 설정될 수 있다.

상술한 제1실시예에서, 기판은 정지되어 있고 도포액탱크(314)가 하향으로 이동한다. 그러나, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 필요하다면 상대적으로 기판의 수직방향으로 도포액탱크을 이동하여도 된다. 예를 들면, 스테이지에 지지되는 기판이 상방향으로 이동하고 도포액탱크가 정지되게 지지될 수도 있다. 또한, 도포액탱크 및 스테이지 양자가 이동되어도 된다.

또한 상술한 실시예에서 기판(310)의 표면이 도포액탱크(314)으로부터 분리될 때, 기판(310)이 고정되고 도포액탱크(314)가 수평방향으로 이동되어 있다. 그러나 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니며, 도포액탱크(314)가 고정되고 반면에 스테이지(312)가 도포액탱크(314)로부터 멀어지는 방향으로 이동되어도 된다. 제6도 내지 제8도에 도시된 직선구동기구는 제2실시예 및 그 다음의 실시예에서 특정되게 도시되지 않는다. 그러나 동일한 직선구동 기구가 이들 실시예에서도 역시 사용되는 것을 유의하여야 된다.

제9도 내지 제11도에 도시된 본 발명의 제1, 제2실시예의 도포장치는, 전술한 제1실시예의 구성에 부과해서 도포액탱크(314)의 전단면의 상측부로부터 상방으로 가스를 불어넣기 위한 도포액탱크(314)의 상측부에 설치된 가스송풍기(Blower)(370)을 포함한다. 가스송풍기(370)은 기판의 폭방향 전체에 걸쳐 연장하는 중공통체를 가지고 있다. 가스송풍기(370)의 내부공간과 연락되는 슬리트형 노즐(372)가 가스송풍기(370)의 전단부의 대략 전체폭에 걸쳐 형성되어 있다. 슬리트형 노즐(372) 팁 단부의 개구부의 형상은 전술한 바의 대각선 상방으로 가스가 불어 넣어지도록 형성되어 있다. 가스송풍기(372)의 이면벽부에 가스공급홀(374)가 가스송풍기(370)의 내부공간을 통해서 가스를 공급하기 위해 형성되어 있다.

제9도 내지 제11도에서 제1도내지 제8도에 도시된 것과 동일한 부분은 동일한 인용문자로 표시되며, 동일한 기능을 가진다. 따라서 여기에서는 상세한 설명은 되풀이하지 않는다.

제2실시예의 도포액장치에서 도포액은 제1실시예에서와 기판(310)의 피도포면 전체에 걸쳐 도포된다. 도포 과정에서 가스송풍기(370)는 슬리트형노즐(372)로부터 대각선 상방향으로 가스를 불어 넣으며, 한편 도포액탱크(314)와 일체적으로 움직인다. 가스는 불소가스를 포함하여도 된다. 따라서 가스가 기판(310)에 도포된 후에 즉시 도포막을 향해서 가스가 불어 넣어진다. 따라서 도포막으로부터 용제의 증발이 촉진되고 도포막을 형성하는 도포액의 점도가 증가된다. 따라서 도포액의 하방으로의 드로핑 및 기판의 도포막상에서의 도포액의 세이징(sagging)이 억제될 수 있다. 가스송풍기(370)에 의한 가스취입은 도포가 완료될 때까지 계속되는 것이 바람직하다. 도포액탱크(314) 및 가스송풍기(370)은 그들이 도면 제9도에서 이점쇄선에 의해서 표시된 기판(310)의 하단 가까이로 이동된 후에 중지될 때 가스송풍기(370)에 의한 가스취입이 중지된다.

또한 도포가 완료된 후에 도포액탱크(314) 및 가스송풍기(370)은 더욱더 하방으로 이동되어도 된다. 그 경우에 가스는 기판상에 도포되는 막의 가장 하측부까지 불어 넣어지고, 그 후 가스송풍기(370)에 의한 가스취입이 중지된다. 이것은 도포액의 드로핑 및 세이징을 방지한다.

제2실시예에서 도포탱크(310) 및 가스송풍기(370)은 일체적으로 설치되어 있다. 그러나 도포액탱크는 가스송풍기와 분리될 수도 있다. 그 경우에 도포액탱크 및 가스송풍기는 별개의 직선구동기구에 의해서 구동될 수 있다.

가스를 불어 넣기 위한 장치는 고정되게 설치될 수도 있다. 그 경우에 가스는 기판(310)의 상측 근방이나 또는 측면으로부터 기판(301)상에 도포되는 도포막을 행해서 가스를 불어넣기 위한 장치로부터 불어 넣어질 수 있다.

제2실시예에의 장치에서 가스송풍기(370)은 도포액탱크(314)의 상측부에 부착되어 있다. 그러나 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니며 가스송풍기는 도포액탱크(314)의 하측부에 설치되도 된다. 도포액탱크(314) 및 가스송풍기(370)이 기판(310)에 대해서 상방향으로 이동하는 동안 기판이 도포되어도 된다. 이 경우에 역시 가스는 기판(310) 상에 도포가 된 후에 바로 가스송풍기로부터 도포막으로 불어 넣어진다. 따라서 제1실시예에와 같은 동일한 효과가 얻어질 수 있다.

제2실시예에서 슬리트형노즐(372)에 가스송풍기(370) 전단부에 설치되어 있다. 그러나 노즐형상은 슬리트형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 많은 조그마한 구멍들이 가스송풍기의 전단부에 전체길이에 걸쳐 서로 나란히 형성되어도 된다. 또한 두 개 또는 그 이상의 슬리트형 노즐이 사용되어도 된다.

또한 슬리트형 노즐(372)로부터 기판(310)을 폭방향으로 행해져서 균일하게 가스를 불어넣도록 가스송풍기(370)의 내측에 차단판이 형성된다. 또한 복수개의 가스 공급 구멍이 가스송풍기(370)의 이면 벽부상에 등간격으로 배열되어도 된다.

전술한 제1 및 제2실시예에서 도포액탱크(314)내에 수용된 도포액(322)의 액면을 가압하도록 공기배출구(320)을 통해서 가스가 도포액(314)로 공급되어도 된다. 어떠한 경우에 도포액의 온도조절이 도포막의 균일한 두께와 같은 도포의 질을 안정시키기 위해서 필요로 할수도 있다. 그와 같은 경우에 냉각 또는 가열부재가 도포액탱크내에 설치될 수도 있다. 냉각 또는 가열부재로써 펠티어소자가 사용될 수도 있다. 이때 도포액의 온도를 조절하기 위해서 측정되는 온도는 도포액의 도포시에 실내온도이거나 도포되는 기판의 온도이거나 또는 기판을 지지하는 스테이지의 온도이어도 된다. 특히, 상술한 실시예가 솔더코팅장치에 적용될 때 도포액의 온도는 사용되는 솔더액의 용해점을 고려해서 설정되어야 한다.

상술한 실시예에서 도포액 유출구(316)이 도포액탱크(314)에 전단면의 복수개에 직선모세관을 설치함으로써 형성된다. 그러나 본 발명은 그와 같은 구조에 한정되는 것은 아니며, 도포액 유출구멍은 다공성 구멍(많은 작은 구멍)으로 구성되어도 된다. 또한 도포액 유출구는 하나 또는 복수개의 슬리트형 노즐에 의해서 형성되어도 된다.

[제3실시예]

제12도 내지 제16도는 본 발명의 제3실시예에 따른 도포장치를 나타내는 것이다. 제12내지 제16도를 참조하면 도포장치는 수직자세로 기판(301)을 지지하기 위한 스테이지(312)와 기판(310)의 폭방향으로 연장되고 양단의 폐쇄된 중공통체를 가지는 도포액탱크(380)을 포함한다.

주로 제5도를 참조하면, 도포액 탱크(380)은 전면벽부(382)를 가진다. 전면벽부(382)상에 도포액유출로(384)가 도포액 탱크(380)의 대략 전폭방향에 걸쳐 형성되어 있으며, 이 유출로는 벽부를 통해서 통과되게 되고 전면벽부(382)에 보다 더 가깝게 되게 경사되어 있다. 사용에 따라서 도포액 탱크(380)의 전폭에 걸쳐 도포액유출로(384)를 형성하는 것이 항상 필요한 것은 아니다.

도면에서, 도포액유출로(384)는 직선단면을 가지는 하나의 구멍이다. 그러나 여러개의 직선 모세관이나 많은 미세한 구멍이나 또는 하나이상의 스트리트형 엷은 노즐로 형성될 수도 있다. 도포액유출로(384)는 많은 미세한 구멍을 사용함으로써 형성될 때 유입구와 유출구가 서로 관통되어 있다면 유입구에서는 미세한 많은 구멍과 유출구에서의 많은 구멍이 똑같을 필요는 없다. 적절한 구멍형태가 이것으로 한정되지는 않는다.

제15도를 참조하면 도포액 탱크(380)의 전면벽부(382)의 수직방향에서의 부위가 도포액 탱크(380)의 전체폭에 걸쳐 앞으로 돌출되어 있어, 전단면(386)을 제공하여 준다. 전단면(386)과 기판(310)의 피도포면 사이에 크기 G를 가지는 갭(388)이 형성되고 전단면(386)이 기판(310)의 피도포면과 접촉되는 않으나 근접되도록 도포액탱크(382) 도시되지 않는 직선구동수단에 의해서 지지되어 있다. 제1 및 제2실시예에서와 같이 도포액 탱크(380)은 폭방향으로 수평되게 위치되어 있다. 도포액 탱크(380)은 제1실시예에서 도시된 것과 유사한 직선구동기구에 의해서 상방향 및 하방향에서 이동가능하다.

본 실시예에서 도포액 탱크(380)의 폭은 기판(310)의 폭과 대략 같다. 그러나 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니며, 도포액 탱크(380)의 폭은 사용에 따라서 기판(310)의 폭보다 작거나 또는 클수도 있다.

이미 설명한 바와 같이, 도포액 탱크(380)는 그 전단면(386)이 기판(310)의 피도포면으로부터 멀어지는 방향으로 이동되도록 움직일 수 있으며, 이와 같은 이동을 위해서 제1실시예에서 설명된 직선구동기구에 설치된 기구가 사용된다. 이 실시예에서 갭(388)의 크기 G를 측정하기 위한 검출 장치가 이동될 수 있다.

제15도를 참조하면 전단면(386)이 그 하단이 도포액유출로(384)에 전면측 유출구(420)과 도포액 탱크(380)에서 개구되는 유입구(422) 사이에 유지되도록 하는 형상을 가진다. 또한 제15도의 갭(388)이 상방향으로 연장된다고 가정하여, 전단면(386)은 그 상단이 풀(390)내의 도포액이 모세관작용에 의해서 규정된 갭 내에서 상승되는 최고의 위치와 도포액 도포액유출로(384)의 전단측 유출구(420) 사이에 위치되도록 형성된다. 도포액 탱크(380)내의 압력을 설정하기 위한 기구가 후술하는 바와 같이 설치될 때, 전단면(386)의 상단의 위치는 전술한 모세관현상에 의해서 도달되는 최고의 높이에 부가적인 압력에 의해서 야기되는 상승의 부가높이를 더하므로써 결정되어질 수 있다.

제13도를 참조하면 도포액탱크(380)의 내측의 압력을 증가시키거나 감소시키거나 또는 주위의 압력으로 고정하거나 또는 도포액탱크를 개방시키기 위한 압력 설정기구(400)과, 도포액탱크(380)으로 도포액을 공급하기 위한 도포액공급스시틈(402)와, 탱크에 유입된 도포액(322)의 액 면을 검출하기 위한 검출기(414)를 포함한다.

제13도를 참조하면, 압력설정시스템(400)은 압력설정기구(410)과, 연통하여 접속되는 라인(406)과, 라인에 설치된 스위칭밸브(404)와, 도포액탱크(380)의 내측을 스위칭밸브(404)를 통해서 외부와 연통하기 위한 라인(408)을 포함한다.

제13도에 도시된 바와 같이, 도포액 공급시스템(402)는 도포액탱크(380)으로 공급하기 위한 라인과, 그 라인에 설치된 스위칭밸브(412)를 포함한다.

도포액탱크(380)에 도포액(322)가 도포액공급시시템(402)으로부터 공급된다. 도포액(322)의 공급량은 도포액(322)의 표면이 도포액유출로(384)의 유입구(420)와 전단면(386)의 하단 즉, 제15도에 도시된 범위 D내에 위치되도록 도포액의 액면이 검출기구(414)에 의해서 검출되면서 조점된다.

도포액이 공급될 때 도포액탱크(380)내의 압력은 증가된다. 따라서 도포액탱크(380)으로 공급된 도포액은 도포액 유출로(384)를 통해서 도포액(380)의 외부로 유출될 가능성이 있다. 이와 같은 도포액(322)의 유출을 방지하기 위해서 압력시스템(400)의 스위칭밸브(404)는 도포액탱크(382)의 외부와 연통되도록 작동된다.

도포액(322)의 설정양이 도포액탱크(380)으로 유입될 때, 도포액은 모세관 현상 때문에 도포액유입로(384)의 전단측 유출구의 높이까지 상승한다. 여기에서 도포액(322)의 설정량이 도포액탱크(380)으로 될 때에도 도포액유출로(384)의 유출구로부터 도포액(322)의 강제적인 유출을 방지할 필요가 있다. 이런 목적으로 도포액탱크(380)의 압력가 외부공기와 계속해서 연통되도록 압력설정시스템(400)을 사용함으로서 설정된다.

제16도를 참조하면, 압력설정시스템(410)은 간막이막(440)을 포함하는 간막이막시스템(430)과, 제16도에 X방향으로 간막이막(440)을 이동하기 위한 직선구동기구(432)를 포함한다. 간막이시스템(430)은 압력설정부재(422)를 포함한다. 압력설정부재(442)는 단마다 다른 직경을 가지는 원주형태이다. 압력설정부재(442)는 원통형이고 그안에 구멍을 가지고 있으며, 그 구멍의 양단부는 열려져 있다. 구멍의 직경은 한단면에서 작고 다른 단면에서는 크다. 예를 들어, 고무로 형성되는 간막이막(440)은 압력설정부재(442)의 두 구멍중 큰 구멍이 형성된 단부를 폐쇄하도록 압력설정부재에 부착되어 있다. 압력설정부재(442)의 다른 단부에 개구를 덮도록 콘디트(444)가 부착되어 있다. 콘디트(444)는 제13도에 도시된 라인(406)에 연통되어 있다.

직선구동기구(432)는 프레임(464)와, 프레임상에 설치된 지지부재(540)을 포함한다. 간막이 시스템(430)은 도시되지 않지만 스크류등의 수단에 의해서 지지부재(450)상에 고정된다.

직선구동기구(432)는 프레임(464)상에 설치된 지지부재(458)과 삽입되는 베어링(460)으로 지지부재(450,458)상에서 축주위를 회전가능하게 부착되는 스크류(456)과, 스크류(456)를 회전가능하게 결합하는 너트(454)와, 너트(454)가 고정되는 X스테이지(452)와, 삽입된 카프링(466)과 스크류(456)으로서 결합되는 프레임(464)상에 고정된 펄스모터(462)를 포함하고 있다. 간막이시스템(430)의 한단부는 스크류(446)의 수단에 의해서 X스테이지(456)상에 고정되어 있다. X스테이지는 도시되지 않은 직선가이드에 의해서 지지되며 제16도에 도시된 X방향으로 너트(454)와 같이 이동가능하다. 직선구동기구(432)는, 또한 예를 들어, X스테이지(452)의 원점위치를 검출하기 위해서 도시되지 않는 검출센서를 포함한다.

제16도에 도시된 압력설정기구(410)에서, X스테이지(452)가 제16도에서 방향 X1으로 이동될 때 간막이막(440)은 변형되어 압력설정부재(442)내의 공간(468)의 크기가 줄어든다. 따라서 공간(468)과 콘디트(444)와 연통하는 도포액탱크(380)내의 압력은 증가된다. 간막이막(440)이 제16도의 방향 X2으로 이동될 때 도포액탱크(380)내의 압력을 감소될 수 있다.

전술한 압력설정기구(410)의 구조는 다만 예시적인 것이며, 압력설정기구(410)는 예를들면 금속 벨로우를 사용함으로써 형성되어도 된다. 압력의 변경을 야기시키는 압력설정기구는 간막이뿐만 아니라 다른 수단을 이용해서 사용할 수도 있다.

상술한 원위치로부터 방향 X1 및 X2에서 X스테이지의 운동량과, 간막이막(440)의 변형량과 공간(468)의 체적에 있어서의 변경량과 그것에 있어서의 압력에 있어서 변경량과의 관계와, 또 X스테이지(452)의 이동속도, 간막이막(440)의 변형속도, 공간(468)의 체적에 있어서의 변경량, 압력에 있어서의 변경량과의 관계 등은 압력설정기구(410)의 사용에 대한 종래기술에 의해서 평가된다.

제15도를 주로 참조하면, 도포액(322)가 유출구(420)에 도달되게 되도록 상승하는 것을 가정한다. 기판(310)의 피도포면과 전단면(386)사이에 형성된 크기 G를 갭(388)이 가지고 있기 때문에 도포액(322)는 갭(388)로 흐른다. 도포액(322)는 적어도 모세관 현상에 때문에 갭(388) 전체에 걸쳐 퍼지며, 동시에 도포액(322)는 도포액탱크(380)으로부터 도포액유출로(384)를 통해서 유출구(420)의 부분에 공급된다. 도포액(322)의 흐름은 전단면(386)의 상단 및 하단에서 규제되고 도포액의 스트립형의 풀(390)은 대략 기판(310)의 폭방향에의 전폭에 걸쳐서 형성된다. 풀(390)은 도포액유출로(384)를 통해서 도포액탱크(380)내의 도포액(322)와 일정하게 연통된다. 풀(390)의 상단 및 하단에 미니스커스가 형성되어 있다.

본 발명에서 도포액의 풀(390)은 전술한 바와 같이 형성된다. 그러나 풀(390)을 최초로 형성하는 방법은 상기 방법에 한정되는 것은 아니다. 다른 방법으로는 도포액탱크(380)내의 압력은 풀(390)의 일부를 형성하도록 압력설정시스템(400)을 사용함으로써 증가된다. 그후에 도포액탱크(380)내의 압력은 도포액유출로(384)를 통해서 도포액의 강제적인 유출을 방지하는데 충분한 크기, 예를들어, 대략 외부의 압력으로 유지되며, 풀(390)은 이 상태에서 형성된다. 다른 방법으로는 도포액탱크(380)의 내측은 시작때부터 풀(390)의 형성때까지 가압된다. 이것은 강제적으로 풀(390)을 형성하게 한다. 또하나의 다른 방법으로서는 도포액탱크(380)의 내측은 시작때부터 스트립형 풀(390)의 형성때까지 외부와 연통되게 유지되게 하는 것이다. 그래서 도포액의 풀(390)은 강제적으로 형성되지는 않는다. 풀(390)의 형성후에 도포액탱크(390)의 압력이 전단면(20)등의 하단으로부터의 도포액의 유출이 방지될 수 있고 도포액(322)가 도포액탱크(380)으로부터 갭(380)으로 계속적인 도포과정중에 공급되는 것이 유지되는 것을 가정하면 상술한 방법외에 다른 방법도 사용될 수 있다. 예를 들면 도포액탱크(380)의 압력은 외부의 압력으로 유지된다. 전단면(386)과 기판(301) 피도포면(380) 사이의 갭(388)의 크기 G는 도포막의 품질에 대해서 큰 영향을 준다. 갭(388)의 사이즈 G는 고품질의 영향을 주는 요인이나, 사용되는 도포액에 있어서의 효율, 및 풀(390)이 갭(388)에 의해서 안정되게 유지될 수 있느냐 하는 것 등을 고려해서 모세관 현상을 허용되는 범위내에서 선택된다. 도포의 품질에 영향을 주는 요인은, 도포액탱크(380)의 이동속도, 도포액(322)의 유동성 및 재질, 기판의 피도포면의 습윤성, 또는 전단부(386)의 습윤성을 포함한다.

도포액유출로(384)의 크기는 모세관 현상에 의해서 갭(388)내 도포액탱크(380)내의 도포액(322)의 흐름을 허용하고 모세관 현상에 의해서 갭(388)내에서 스트립형의 풀(390)의 현상이 허용하는 범위내에 있도록 설정된다. 또한 도포액유출로(384)의 크기는 시작시의 도포막의 형성을 포함해서 만족할 만한 도포막의 형성을 허용해주는 범위내에서 설정되어야 한다.

도포액탱크(380)의 전면벽부(382)의 표면 중 전단면(386)보다도 다른 전면벽부(424)는 적어도 모세관 현상 때문에 전면벽부와 기판(310)의 피도포면 사이에 형성된 갭으로 풀(390)의 도포액의 흐름을 방지하는 형상을 가지도록 형성되어야 한다. 전면벽부(424)의 형상이 그와 같이 선택된다면, 풀(390)내의 도포액은 갭(388)로부터 유출되지 않는다. 보다 더 구체적으로 말하면, 갭(388)내의 풀(390)의 하단이 전단면(386)의 하단에 의해서 규제되고, 한편 상단은 전단면(386)의 상단에 의해서 규제된다.

제3실시예의 설명에서, 기판(310)이 피도포면이 예를들면 어떤 기복없이 균일한 면이라는 것을 가정한 것이다. 또한 이 표면과 전단면(386) 사이의 갭이 전단면(386)의 상 및 하방향으로 똑같이 확장되게 상승된 것을 가정한 것이다. 그러나 본 발명의 경우는, 이와 같은 것에 한정되는 것은 아니다. 본 발명은 갭(388)의 폭이 한 부분과 서로 다른 경우에도 적용될 수 있다.

동작에 있어서, 기판(310)은 스테이지(312)상에 고정된다. 이와 같은 고정은 예를들면 진공흡착에 의해서 실험된다. 도포액(322)의 설정량이 도포액탱크(380)으로 유입된다. 도포액탱크(380)은 기판(301)으로부터 떨어진 위치에서 탱크가 기판(310)에 접근하도록 기판(301)을 행해서 이동된다. 도포액(380)은 G의 크기를 가지는 갭(388)이 도포액탱크(380)의 전단면(386)과 또 기판(310)의 피도포면 사이에서 형성되는 위치에 중지된다. 도포액탱크(380)의 높이는 기판(310) 표면이 도포를 필요로 하는 면적의 상단 가까이에 있도록 선택된다.

전술한 바와 같이, 도포액(322)의 설정량이 도포액탱크(380)으로 유입된다. 도포액(380)내의 압력은 예를 들어 공기와 접하는 압력과 같은 적절한 압력으로 압력설정시스템(400)을 사용해서 설정할 때 도포액유출로(384)를 통해서 도포액탱크(380)로부터 도포액(322)의 유출될 가능성이 전혀 없다.

크기 G의 갭(388)이 전단면(386)과 기판(310)의 피도포면 사이에서 형성되는 위치에서, 도포액탱크(380)이 정지된 후에 도포액(322)의 설정량이 도포액탱크(380)으로 유입될 수 있는 것은 말할 것도 없다.

그후 도포액탱크(380)의 압력이 압력설정시스템(400)을 사용함으로써 증가된다. 도포액은 도포액유출로(384)를 통해서 도포액탱크(380)으로부터 갭(388)로 유출된다. 그후 도포액의 강제적인 유출을 방지하기 위해서 도포액탱크(380)의 외측에 도포액탱크(380)의 압력이 외부와 통하는 상태의 압력으로 설정된다. 그래서 스트립상의 풀(390)이 갭(388)에 형성된다.

또한 도포액탱크(380)이 갭(388)의 형성을 허용하도록 위치된 후에 도포액탱크(380)내의 압력이 스트립형태의 풀(390)이 형성될 때까지 증가되어도 된다. 또한 도포액탱크(380)이 갭(388)로 형성을 허용하도록 위치된 후에 도포액탱크(380)은 스트립형상의 풀(390)이 형성되도록 외부공기와 연통되도 된다.

어느 방법에 있어서나 도포액의 스트립 형상의 풀(390)의 형성후에 풀(390)내의 도포액이 갭(388)로부터 유출하지 아니하고, 도포액(322)가 후술하는 바와 같이, 도포과정에서 도포액탱크(380)로부터 갭(388)로 충분히 공급되도록 도포액탱크(380)내에 압력을 조절하는 것이 필요하다. 예를들면 도포액탱크(380)은 외부공기와 연통되어도 된다.

스트립형상의 풀(390)이 갭(388)내에 형성된 후에 도포액탱크(380)은 제12도에 도시된 화살표 방향으로 이동된다. 이때 전단면(386)과 기판(310)의 피도포면 사이의 간격이 G로 유지된다. 이것은 제1실시예에서 이미 설명한 직선구동기구에 유사한 기구를 사용함으로써 실현된다.

전단면(386)의 상단이 도포를 필요로 하는 면적을 벗어나는 도포액탱크(380)의 위치가 제12도에 의해서 이점쇄선에 의해서 도시되어 있다. 도포액탱크(380)이 이 위치로 이동된후에 도포액탱크(380)이 정지된다. 도포액탱크(380)이 기판(310)의 상단에서 하단의 부근으로 이동될 때 도포액탱크(380)이 정지된다. 도포액탱크(380)이 기판(310)의 상단의 부근에서 하단의 부근으로 이동될 때 풀(390)내의 도포액이 기판(310)의 표면 중 도포를 요하는 면적과 접촉하게 된다. 그 결과로써 도포막(426)이 기판(310)의 피도포면상에 형성된다.

도포과정 동안 갭(388)내의 풀(390)내의 도포액이 소비된다. 그러나 소비된 양에 상응하는 양의 도포액이 도포액유출로(384)를 통해서 도포액탱크(388)로부터 적어도 모세관현상에 의해서 갭(388)로 공급된다. 따라서 갭(388)내의 풀(390)내에 포함된 도포액의 양은 일정하게 유지된다.

기판(310)의 도포가 완료될 때 기판(310)의 스테이지(312)로부터 옮겨진다. 도포액탱크(380)이 스테이지(312)으로부터 멀어지는 수평 방향에서 이동될 때, 기판(310)이 스테이지(312)로부터 용이하게 옮겨질 수 있다. 기판(310)이 옮겨질 때 그 과정은 다음 기판을 도포하기 위해서 첫단계로 되돌아간다.

도포액탱크(380)이 스테이지(312)로부터 이동될 때, 갭(388)이 확대되고 그래서 도포액의 풀(390)이 상실된다. 따라서 풀(390)내에 있게된 도포액이 피도포면이나 또는 전단면(386)에 부착되거나 또는 방울져 떨어지게 된다. 그 결과로써 도포액이 다음 기판을 도포하기 위해서 사용될 수 없다.

이와 같은 현상을 피하기 위해서 도포액탱크(380)의 압력이 스테이지(312)로부터 도포액탱크(380)을 이동시키기 전에, 압력 설정시스템(400_을 사용함으로써 감소될 수 있다. 그와 같이 함으로써 풀(390)내의 도포액이 도포액유출로(384)를 통해서 도포액탱크(380)에 회수될 수 있다. 이때 도포액의 유출로(384)의 유출구(420)으로부터 전단면(386)의 상단으로 전단면(386)의 영역이 기판(310)의 하단을 벗어나서는 안된다. 또한 갭(388)은 전단면(386)과 기판(310)이 피도포면 사이에 유지되어야 한다. 도포종료에서와 같은 처리가 후술하는 대부분의 실시예에서 사용되며 그와 같은 처리는 상술한 본 기술분야에서 용이하게 할 수 있다. 따라서 이와 같은 처리후 상세한 내용은 다음 실시예에서는 설명되지 않는다. 그러나 그것은 그와 같은 처리가 시행되는 것을 유의하여야 한다.

그리고 제3실시예의 도포장치에서 갭(380)내의 풀(390)의 상단이 전단면(386)의 상단에 의해서 규제된다. 따라서 도포액탱크(380)이 기판(310)의 표면에 도포액을 도포하기 위해서 하방향으로 이동될 때 다음과 같은 문제가 야기될 수 있다.

보다 더 상세하게는, 전단면(386)의 하단으로부터 상단까지의 크기와 피도포면상의 외부의 주기 사이의 관계와 폭방향에 따른 피도포면상의 외부의 손상 도포액탱크(380)의 이동에 있어서 정확성과 전단면(386) 및 사이의 갭(388)로 크기 G에 따라서 변경될 수 있다.

예를 들면, 제17도를 참조하면, 갭(388)의 크기가 크게 되는 경우 전단면(386)과 피도포면 사이에서 형성되는 공간의 크기가 증가된다. 이것은 아무런 문제를 야기시키지 않는다. 그러나, 갭(388)의 크기가 제18도에 도시된 바와 같이 작게 되는 경우에, 전단면(386)과 피도포면 사이에 형성되는 공간의 체적이 감소하게 된다. 이 경우에 도포액의 부분이 갭(388)내의 풀(390)으로부터 전단면(386)의 상단부 너머서 불필요하게 외부로 나가 버린다. 이 결과 도포의 품질, 예를들면 도포막의 두께에 있어서의 차이가 발생된다.

제19도를 참조하면 이와 같은 문제는 도포의 시작시에서 일어난다. 제19도에 도시된 바와 같이 풀(290)이 전단면(386)과 피도포면에 형성된 후에 도포액탱크(380)이 하방향으로 이동되어 도포가 시작된다. 이때에 풀(390)내의 도포액이 전단면(386)의 상단위 너머로 불필요하게 나가 버릴 수가 있다. 이 결과 도포막의 불균일한 두께와 같은 도포 품질이 떨어지게 된다.

[제4실시예]

제20도는 상술한 무제를 피할 수 있는 도포액 탱크(470)을 나타낸 것이다. 도포액탱크(470)은 제3실시예의 도포액탱크(380) 대신에 사용된다.

제20도를 참조하면 이와 같은 수정듸 도포액탱크(470)은 제3실시예에서의 도포액탱크(380)과는 전면벽부(472)에 형성된 전단면(476)의 형상에 있어서 차이가 있다. 도포액탱크(470)의 전단면(476)과 기판(310)의 피도포면 사이에서 크기 G를 가지는 갭(478)이 무한히 상방향으로 연장된다고 가정할 때, 전단면(476)의 상단위치가 적어도 모세관 현상 때문에 갭(478)내에서 상승하는 갭(478)내의 도포액(322)에 의해서 도달되는 최대높이 보다도 더 높게 위치되는 형상을 가진다. 전면벽부(472)는 전면벽부(476)의 하단이 도포액유출로(474)에 전단측유출구(480)과 도포액탱크(470)와 유입구(480) 사이의 높이에서 제3실시예에서와 같이 위치된다.

도포액(322)는 그 액면이 도포액유출로(474)의 유입구(482)와 전단면(476)의 하단보다도 더 높게 되도록 도포액탱크(470)으로 유입된다. 도포액은 도포액유출로(474)를 통해서 도포액탱크(470)으로부터 갭(478)로 흐르며 스트립형상의 풀(484)가 갭(478)내에 형성된다. 풀(484)에 하단은 전단면(476)의 하단에 의해서 규제된다. 그러나 그 상단면은 전단면(486)의 상단보다 더 낮게 위치된다. 따라서 풀(484)위에 도면 제20도에 도시된 바와 같이 갭(478)내에서는 어떠한 도포액도 들어있지 않는 공간(486)이 형성되어 있다.

제20도에 도시된 도포액탱크(470)을 사용함으로써 기판(310)의 피도포면상에 도포액을 도포하기 위한 동작은 하단부 가까이에서의 처리를 제외하고는 제3실시예의 것과 동일하다. 도포액탱크(470)이 기판(310)의 하단부 가까이에 중지되도록 될 때 갭(478)내의 풀(484)의 상단이 기판 표면이 도포를 필요로하는 영역보다도 확실이 이하이거나 또는 벗어나 있는 것이 필요하다.

제20도에 도시된 도포액탱크(470)이 사용될 때 풀(484)의 상단이 전단면(476)의 상단보다도 더 낮게 위치되어 있다. 그 결과로써 갭(478)내의 풀(484)위에는 어떠한 도포액도 들어있지 않는 공간(486)이 형성되어 있다. 따라서 제18도 및 제19도의 장치에서 야기된 문제가 이와 같은 도포장치를 사용함으로써 이롭게 회피될 수 있다.

갭(478)의 크기 G는 일정하기 않고 전단면(476)과 피도포면 사이에 끼워지는 공간의 체적이 도포액탱크(470)이 하향으로 이동될 때 변경된다는 것을 가정한다. 이와 같은 경우에 있어서도, 풀(484)에 공간(486)이 있기 때문에 일어나는 것은 갭(478)내에서 상방향 및 하방향으로 풀(484)의 상단의 위치가 변경되는 것이며, 도포액은 풀(484)로부터 전단면(476)의 상단너머로 결코 나가지 않는다. 도포액은 도포의 개시에 있어서도 갭(478)의 풀(484)로부터 밖으로 나가지 못한다.

제20도에 도시된 도포액탱크(470)의 전면벽부(472)의 형상은 그의 상단부가 앞으로 돌출되어서 전단면(476)을 형성한다. 그러나 도포액탱크(470)의 전단벽부(472)의 형상은 이것에 한정되지 않는다. 필요하는 것은 전단면의 상단이 적어도 모세관 현상 때문에 상승되는 풀내의 최대 높이보다도 더 높게 하는 것이다. 이와 같은 조건이 만족되는 한, 어떠한 도포액탱크도 사용될 수 있으며, 제15도에 도시된 바와 같은 전단에 홈진 표면을 가지는 탱크도 사용될 수 있다.

제20도에 도시된 도포액탱크에서 전단면(476)은 전단면(476)과 기판(310)의 피도포면이 사이의 갭(478)이 상방향 및 하방향에의 전체에 걸쳐서 동일하게 확장되도록 형성되어 있다. 그러나 본 발명은 이와 같은 형상에 한정되지는 않는다. 예를들면, 전단면(476)의 형상은 갭(478)의 크기가 전단면(476)의 하단으로부터 상단까지 증가되도록 선택되어도 된다. 이와같은 도포액탱크를 사용하여 도포액이 기판(310)의 피도포면상에 도포될 때 형성되는 도포막의 두께가 도포액탱크(370) 및 기판(310)의 피도포면 사이의 상대적인 이동속도, 도포액(322)의 유동성 및 재료값, 기판(310)의 도포면 및 도포액탱크(370)의 전단면(476)의 습윤성 등에 따라서 결정된다. 따라서 도포막두께의 변동을 없게 하기 위해서 도포액탱크(470)의 이동속도와 갭(480)의 사이즈가 허용범위 이내로 조정되도록 조절하는 것이 필요하다.

즉, 도포액탱크(470)의 이동속도는 도포막두께를 결정하는 가장 중요한 요인 중 하나이다. 정확히 말하면 이동속도는 제20도에 도포액탱크(470)이 사용될 때 기판의 피도포면에 대한 갭(478)내의 풀(484)의 상단의 상대이동속도이다. 갭(478)의 크기 G가 완전히 일정하다면 갭(478)내의 풀(484)에 상단에서의 미니스커스(MENISCUS)의 이동속도는 도포액 시작을 제외하고는 도포액탱크(470)의 이동속도와 똑같다. 그러나, 실제적으로, 크기 G는 변동되며 따라서, 풀(484)에 상단에서의 미니스커스도 갭(418)내에서 상방향 및 하방향으로 변경되기 때문에 풀(484)의 상단에서의 미스스커스의 이동속도는 도포액탱크(470)과는 동일하지 않는다. 따라서, 도포액탱크(470)이 일정속도로 이동된다 하더라도, 갭(478)내의 풀(484)의 상단에서 미니스커스의 이동속도는 일정하지 않는다. 그러나, 풀(484)의 상단이 도포액탱크(470)에 대해서 상대적으로 상측방향 또는 하측방향으로 변경된다 하더라도 그 변경은 갭(478)의 범위 내에 있기 때문에 도포막두께에 거의 영향을 주지 않는다. 그래서 본 발명의 4실시예에 따른 제18도 및 제19도에 도시된 바와 같이, 이것은 도포액의 두께에 나쁜 영향을 주게되는, 도포처리동안 또는 도포의 개시시에 풀(484)내의 도포액이 도포액탱크(470)의 전단면의 상단위로 넘어 외부로 나갈 수 있는 가능성이 피하여진다. 그래서, 도포막두께에 있어서의 변동폭이 제한될 수 있다.

더구나 제20도에 도시된 바와 같이 도포액탱크(470)을 이용하는 제4실시예에 따라, 갭의 크기 G가 0.1내지 0.3㎜의 범위내에 있게 될 때 형성되는 도포막의 두께가 일정한 값에서 안정된다는 것이 본 발명자에 의해서 확인되었다. 필수적인 것은 갭의 크기 뿐만 아니라 갭내의 형성되는 미니스커스의 형상이다. 이와 같은 미니스커스의 형상은 갭의 크기에 의해서 규제된다. 이것이 갭의 크기들 상술한 바와 같이 결정하는 이유이다.

제20도의 도포액탱크(470)을 사용하여 기판이 도포될 때, 기판의 하단부근을 처리하는 것을 생각해보자. 이때에 풀(484)의 상단에서의 미니스커스는 기판(310)의 피도포면의 하단을 벗어날 때까지 도포액을 도포하는 것이 필요하다. 그러나 도포액유출로(474)의 유출구(480)이 기판(310)의 피도포면의 상단의 밖에 있는 점으로부터 풀(484)의 상단의 메니커스가 기판(310)의 피도포면의 하단을 벗어나는 위치에 있는 기간에 도포액(322)는 도포액유출로(474)로부터 갭(478)로 공급되지 않는다. 따라서 풀(484)내의 도포액이 소모되고 도포액은 도포액탱크(380)으로부터 풀(484)로 공급되지 않는다.

따라서 상술한 기간동안 풀(484)의 선행 미니스커스의 이동속도는 도포액의 소비에 의해서 야기된 풀(484)의 상단을 낮추는 속도와 도포액탱크(470)의 이동속도의 합에 의해서 결정된다. 그 결과로써 바람직하지 않는 막두께의 도포막이 기판의 피도포면의 하단측에 형성된다.

제20도를 참조하면, 도포액유출로(474)의 유출구(480)으로부터 풀(484)의 상단에 까지의 거리가 L2에 의해서 표시되어 있다. 기판(310)의 피도포면의 하단으로부터 L2에 상응하는 거리에 의한 위치까지의 범위에서 도포막두께가 허용되는 설정범위을 벗어날 것이다. 즉, 무효 영역이 기판(310)의 피도포면의 하단측면에 형성되어 있다.

또한 제15도에 도포액탱크(380)에서 도포액유출로(384)의 유출구(420)와 풀(390)의 상단사이의 거리는 L1로 표시되어 있으며, 여기에서 유출구(420)으로부터 전단면(386)의 상단까지의 거리가 L1에 의해 표시되어 있다. 제15도에 도시된 갭(388)의 크기 G가 제20도에 도시된 갭(478)의 크기 G와 같다고 가정하면, L2L1, 따라서 제20도에 도시된 도포액탱크가 도시될 때 기판(310)의 피도포면의 하단측에서 발생되는 무효영역의 크기가 제15도의 도포액탱크가 사용될 때 형성된 것에 비교해서 증가된다. 결과로서 유효하게 사용되는 기판의 영역이 더욱 적게 된다.

상술한 문제를 해결할 수 있는 두가지의 실시예가 제21도 및 제22도를 참조해서 설명한다.

[제5실시예]

제21도를 참조하면, 제5실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크(490)이 단위형성된 전단면을 가지는 전면벽부(492)를 가지고 있다. 보다 더 구체적으로는 전단벽부(492)의 전단면은 전단면의 하부(496)과 이 전단면(496A)보다도 전단면 하부보다도 후방으로 깊숙한 전단면 상부(496B)로 구성되어 있다.

전단면(496A)와 스테이지(312)에 의해서 지지되는 기판(310)의 피도포면 사이에 형성된 갭(489A)의 크기 G는 제12도 내지 제16도 및 제20도에 도시된 도포액장치의 갭(388~478)의 것과 동일하다. 전단면 상부(496B) 및 피도포면 사이에 형성된 갭(498B)의 크기 G2는 크기 G보다도 더 크다.

도포액유출로(494)는 도포액탱크(490)으로 연통되는 유입구(502) 및 전단면 하부(496A) 및 전단면 상부(496B) 사이의 경계면의 위치에 형성된 유출구(500)을 가지고 있다. 도포액 탱크(490)에서, 제20도에 도시된 장치에 있어서와 같이, 전단벽무(492)는 전단면 하부(496A)의 하단이 유입구(502)와 도포액유출로(494)의 유출구(500)사이의 높이에서 위치된다.

전단면 상부(496B)의 상단의 높이는 다음과 같은 방법으로 결정된다. 전단면상부(496B) 및 기판(310)의 피도포면 사이에서 갭 G2를 유지하면서, 전단면상부(496B)가 상방으로 무한하게 연장된다고 가정한다. 이때 적어도 모세관 현상 때문에 도포액유출로(494)를 통해서 갭 G2로 유입하는 도포액은 갭 G2에서 상승하게 될 것이다. 도포액에 의해서 도달되는 최대의 높이는 알려질 수 있다. 따라서 전단벽부(492)는 전단면상부(496B)의 상단이 도포액에 의해서 도달되는 최대높이보다도 높게 위치된다.

상술한 바와 같이 구성된 전단면을 가지어서, 도포액이 도포액탱크(490)으로 유입되는 것을 가정한다. 도포액(322)는 액면이 도포액유출로(494)에 유입구(502)와 전단면 하부(496A)의 하단부 사이의 높이에 있도록 도포액탱크(490)으로 유입된다. 도포액유출로(494)를 통해서 도포액탱크(490)으로부터 갭(498A, 498B)으로 도포액이 흐른다. 도포액은 전단부 하부(496A)의 하단에 의해서 규제되고 따라서 그것은 그 아래로 흐르지 못한다. 도포액은 모세관 현상에 의해서 갭(498B) 내에서 상승하지만, 전단면상부(496B)의 상단까지 도달되지 못한다. 따라서, 하단이 전단면하부(496B)의 하단에 위치되고 상단이 전단면상부(496B)의 상단보다도 아래에 위치되는 도포액의 풀(504)이 형성된다. 상부 갭(498B)에서 풀(504) 위로 도포액을 전혀 수용하지 않는 공간(506)이 형성된다.

제5실시예의 장치에서 전단면상부(496B)와 기판(310)의 피도포면 사이의 갭(498B)의 크기 G2는 크기 G보다도 더 높게 만들어진다. 따라서 전단면과 기판(310)의 피도포면사이의 갭(478)의 크기 G가 일정하게 유지되는 제20도의 장치와 비교할 때 갭(498B)에서 상승하는 도포액의 높이는 더 낮게 된다. 보다더 구체적으로는, 제21도를 참조하면, 제5의 실시예의 장치에서 도포액유출로(494)의 유출구(500)으로부터 갭(498B)내의 풀(504)의 상단에 까지의 거리 L3가 제20도에서 도시된 거리 L2보다도 더욱 낮게 된다. 따라서 제21도에 도시된 도포액탱크(490)을 가지는 도포장치가 사용될 때 기판(310)의 피도포면의 하단측에서 형성되는 무효영역이 제20도의 도포액탱크(470)을 가지는 도포장치가 사용될 때보다도 더 작게 만들어질 수 있다. 따라서 기판의 보다더 넓은 영역이 유효하게 사용할 수 있다.

한편, 전면부 하부(496A)와 기판(310)의 피도포면 사이의 갭(498A)의 크기 G는 제20도에 도시된 도포액탱크(470)에서의 갭(478)의 크기 G와 같다. 도포액탱크(490)의 도포액유출로(494)의 유출구(500)이 기판(310)의 피도포면의 하단에 이를때까지 도포액이 기판(310)의 하단측에서 꼭 도포되는 예를 생각해 보자. 도포액유출로(494)의 유출구(500)으로부터 전단면하부(496A)의 하단까지의 범위내에서 풀(504)의 도포액이 아래로 흘러 최종 도포부분에서 소비된다. 이 예에서 제21도의 크기 G는 전술한 바에 제20도의 크기 G와 동일하기 때문에, 도포액의 소비되는 양은 제21도 및 제20도에서 모두 같다. 따라서 도포액의 유효하게 사용되는 비율에서의 감소는 최소화 될 수 있다. 갭의 크기 G는 도포액을 유지하는 안정성에 크게 관련되어 있다. 이 안정성은 제20도의 것과 같이 제21도에서도 역시 동일하다.

[제6실시예]

제22도는 제21도에 도시된 도포액탱크(490)에서와 동일 방법에서 동일한 효과를 제공하여 주는 도포액탱크의 또하나의 다른 실시예를 나타낸 것이다.

제22도를 참조하면 도포액탱크(520)의 전면벽부(522)의 전단면이 역시 계단적으로 형성되어 있어, 보다더 구체적으로 말하면 전면벽부(522)의 전단면은 하단으로부터 도포액유출로(524)에 유출구(530)보다 약간 높은 위치로 연장하는 전단면하부(526A)와 전단면하부(526A)로부터 후방으로 들어가서 전단면측의 유출구(530)보다도 약간 높은 위치로부터 전단면 표면의 상단으로 연장하는 전단면상부(526B)로 구성되어 있다. 도포액유출로(524)의 유출구(530)은 전단면 하부(526A)와 이미 설명한 바의 기판(310)의 피도포면 사이에서 형성된 갭(528A)에서 연통되어 있다.

전단면하부(526A)와 기판(310)의 피도포면의 사이의 갭의 크기 G는 제20도 및 제21도에 도시된 크기 G와 같다. 전단면 상부(526B)와 상기 기판(310)의 피도포면 사이에 형성된 갭(528B)의 크기 G3는 크기 G보다도 더 크다. 전단면상부(526B)의 상단은 제21도의 실시예에서와 같이 갭(528B)내의 도포액에 의해서 도달되는 최대 높이보다도 더 높게 위치된다. 전단벽부(522)는 전단면하부(526A)의 하단이 도포액유출로(524)에 유출구(530)과 유입구(532)사이의 높이에 위치되도록 형성된다.

도포액(322)의 소정량이 도포액탱크(520)으로 유입되는 것을 가정한다. 도포액은 도포액유출로(524)를 통해서 도포액탱크(520)로부터 갭(528A)와 갭(528B)로 흐른다. 상기 도포액은 갭(528A)와 갭(528B)에서 폴(534)을 형성한다. 그러나 그 하단은 전단면하부(526A)하단에 의해서 규제된다. 폴(534)의 상단은 전단면상부(526B)의 상단보다도 더 낮게 위치된다. 따라서 갭(528B)내의 풀(534)의 위에는 도포액을 조금도 수용하지 않는 공간(536)이 형성된다. 도포액유출로(524)에 유출구(530)으로부터 풀(534)에 상단까지의 높이는 L4에 의해서 표시되어 있다. 갭(528B)의 크기 G3는 제20도에 도시된 크기 G보다도 더 크기 때문에 거리 L4는 제20도에 도시된 거리 L2보다도 더욱 작다.

더욱 구체적으로, 상기 실시예5와 6의 도포액탱크(490,520)이 사용될 때 기판의 보다더 넓은 면적이 유효하게 사용될 수 있고, 따라서 도포액이 보다 더 유효하게 사용될 수 있다.

상술한 효과를 제공하기 위해서는 도포액탱크의 전면의 형상이 제21도 및 제22도에 도시된 것에 한정되지 않는다. 예를들어 이들 두 실시예에서 전단면은 두면으로 나뉘어져 있다. 그러나 전단벽부는 전단면이 3개 또는 그 이상의 면으로 나누어지도록 형성되도 되며, 또한 이 나누어진 면의 각각과 기판의 피도포면의 사이의 갭이 다르게 되어도 된다. 또한 전단면은 피도포면이 전단면의 상단을 향해서 점점 넓어지게 되는 폭의 부분을 가져도 된다. 어떤 경우에서나 전단면과 기판의 피도포면 사이의 넓이는 도포액을 안정하게 유지하여 주는 풀을 확보하는 범위내에서 선택되어야 한다. 그 결과로써, 도포액탱크의 전단면과 기판의 피도포면 사이의 갭이 적어도 부분적으로 도포액유출로의 유출구 아래의 갭의 넓이 보다도 도포액의 유출로의 유출구 위에서의 넓이를 더욱 넓게 만드는 한 상술한 효과가 발생할 수 있다.

[제7실시예]

도포액탱크가 기판의 피도포면에 도포액을 도포하기 위하여 하방으로 이동하기 전에 도포가 시작되는 위치에서 스트립 형상의 폴의 형성을 확인해주는 장치의 실시예가 설명된다. 그와같은 스트립형상의 풀은 도포액의 안정된 도포를 확보하도록 적어도 도포 개시위치에서 도포액탱크의 전면벽부의 전단면의 폭방향에 형성되어야 한다.

제23도를 참조하면, 제7실시예에 따른 도포장치(540)은 기판(310)을 지지하기 위한 스테이지(542)를 포함하여 도포 개시부에 상응하는 스테이지(542)의 위치에 관통공(544)가 형성되어 있다. 기판(310)은 LCD용의 그라스 기판과의 같이 투명 기판일 필요가 있다. 제15도에 도시된 도포액탱크(380)이 본 실시예의 도포액탱크로써 사용될 수 있다. 도포액탱크(380) 뿐만 아니라 제20도에 도시된 것과 같은 다른 도포액탱크도 역시 본 실시예에서 사용될 수 있다.

제23도를 참조하면, 도포장치에서 도포액탱크(380)의 전면벽부(382)의 전단면(386)은 스테이지(542)의 관통공(544)를 통해서 관측될 수 있고 스테이지(542)의 이면측으로부터 투명기판(310)을 통해서도 관측될 수 있다. 도포액탱크(380)의 전면벽부(382)의 전단면(386)과 기판(310)의 피도포면 사이의 갭(388)내에서 기판(310)의 폭방향에 가로질러 전단면에 스트립프형상의 풀이 도포의 개시시에 형성되느냐 안느냐는 확일될 수가 있다. 스트립형풀의 형성이 확인된 후에 도포액탱크(380)은 하방으로 이동되어 도포액이 확실하게 기판(310)의 표면에 도포될 수 있다.

[제8실시예]

제24도는 본 발명의 8실시예에 따른 도포장치(550)의 주요부분의 단면도이다.

제24도의 도포장치(550)에서, 스테이지(312)의 종방향의 길이는 기판의 종방향의 길이보다도 더 짧게 선택된다. 기판(310)은 기판(310)의 상단이 스테이지(312)의 상단보다도 상방으로 나오게 스테이지(312)에 의해서 지지되어 있다. 또한 장치(550)은 상술한 도포액탱크(380)을 가지고 있다. 제 8실시예에서도 역시 기판(310)은 투명한 것으로 가정한다.

이 도포장치(550)에서 스테이지(310)의 상단면보다도 상방으로 돌출하는 기판(310)의 부분의 피도포면은 반대측으로부터 관측될 수 있다. 따라서 도포개시의 위치에서 스트립형상의 풀이 도포액탱크(380)의 전단벽부(382)의 전단면(386)과 기판(310)의 피도포면 사이의 갭(388)내에 형성되어 있는가 아닌가를 확인할 수 있다. 이것이 확인된 후에 도포액탱크(380)은 하방으로 이동되어 도포액이 기판(310)의 표면에 도포된다.

이 실시예에서 스테이지(312)의 종방향길이는 기판(310)의 종방향 길이보다더 짧게 선택된다. 그러나 이들 길이는 이것에 한정되지 않는다. 예를들면, 스테이지(312)의 종방향길이가 기판(310)의 종방향길이보다더 길게 되더라도 기판(310)의 상단이 스테이지(312)의 상단면보다도 상방향으로 돌출되게 되도록 스테이지(312)에 의해서 기판(310)이 지지된다고 하면은 스트립형상의 풀이 확인될 수 있다.

기판이 투명할 경우에 도포의 개시위치에 상응하는 기판을 지지하는 스테이지부분이 투명물질에 의해서 형성될 수 있다. 투명한 그라스가 예로서 사용될 수 있다. 또한 개시위치에 상응하는 부분 뿐만 아니라 전체의 스테이지도 투명하게 될 수 있다. 개시위치에 상응하는 위치만이 투명한 경우에는 다른 부분은 투명하거나 그렇지 않을 수도 있다.

또한 복수개의 관통공이 스테이지의 적절한 위치에 형성되어도 된다. 그렇게 하므로써 도포의 개시위치 뿐만 아니라 다른 위치에서 도포액탱크의 전면벽부의 전단면과 기판(310)의 피도포면 사이의 갭에서 형성된 풀의 상태가 관측될 수 있다. 풀의 상태를 조작자에 의해서 관측하는 것은 풀의 상태를 모니타링하는 검출기로 대체될 수 있다.

[제9실시예]

제25도는 도포개시위치에서, 도포액탱크와 투명하지 않은 기판사이에서 스트립 형상의 풀의 형성을 확인하여 주는 도포장치의 한 실시예의 주요부분의 수직단면도이다. 이 장치에서 사용되는 도포액탱크(560)의 외관은 제21도의 것과 동일한다.

보다 더 구체적으로, 도포액탱크(560)의 전면벽부(562)의 전단면은 계단모양으로 형성되어 있다. 전면벽부(562)는 전면벽부(562)의 전단면이 전단면하부(566A)와 전단면상부(566B)로 나누어지도록 형성되고, 전단면 상부(566B)는 전단면하부(566A)보다 들어가 있다. 따라서 전단면상부(566B)와 기판(310)의 피도포면 사이의 갭(568B)의 크기는 전단면하부(566A)와 피도포면사이의 갭(568A)의 것보다 더 크다. 도포액유출로(564)의 유출구(570)은 전단면하부(566A)와 전단면상부(566B)사이의 경계면에 위치되게 형성된다. 전단면 하부(566A)의 하단은 도포액유출로(564)에 유출구(570) 및 유입구(572) 사이의 높이에 위치하도록 형성된다.

전단면상부(566B)의 상단은 전단면상부(566B)가 무한히 상방향으로 연장된다고 하는 것을 가정하여, 적어도 모세관 현상 때문에 갭(566B)내에서 상승하는 도포액에 의해서 도달되는 최대 높이 위에 위치되도록 형성되어 있다.

도포액(322)의 소정량이 도포액탱크(560)으로 유입되는 것을 가정한다. 도포액은 도포액유출로(564)를 통해서 도포액탱크(560)으로부터 갭(568A,568B)로 흐른다. 풀(574)가 갭(568A,568B)에 형성된다. 풀(574)의 하단은 전단면하부(566A)의 하단에 의해서 규제된다. 풀(574)의 상단은 전단면상부(566B)의 상단 아래에 위치되어 있다. 따라서 갭(568B)위에의 풀(574)위에는 도포액을 전혀 수용하하지 않는 공간(576)이 형성되어 있다.

제25도에 도시된 구조는, 다만 하나의 예에 불과하며 도포액탱크의 외관은 제21도에 도시된 것에 한정되지 않는다. 상술한 조건을 만족시키는 어떠한 도포액탱크도 사용될 수도 있다.

도포액탱크(560)은 탱크 상부에서 적어도 폭방향에 부분에서 전후방향으로 통과하게 형성된 관통공(578)을 가지고 있다. 도포액탱크(560)은 관통공(578)으로 전단면상의 개구부에 근접되도록 접합된 투명그라스판(580)을 포함한다. 투명그라스판(580)의 전면은 전단면상부(566B)를 제공하여 준다.

조작자는 관통공(578)의 이면측으로부터 투명그라스판(580)을 통해서 풀(574)의 상단부를 관측할 수가 있다. 따라서 도포개시위치에서 풀(574)의 만족할 만한 형성이 확인된 후에 도포액탱크(560)은 하방으로 이동되어서 만족할만한 도포 조작이 가능하다. 이 장치에서 특히 이로운 점은 도포개시위치 뿐만 아니라 다른 위치에서도 풀(574)의 상태를 어느 때라도 관측할 수 있다는 점이다. 도포장치는 기판(310)이 투명하냐 투명하지 않느냐에 관계없이 유효하게 사용될 수가 있다.

그러나 제20도에 도시된 바와 같은 도포액탱크를 사용하는 장치는 아직도 최종의 도포단계에서 해결되어야 할 문제점을 가지고 있다. 그와 같은 문제점은 제26도 내지 제30도를 참조해서 설명된다.

제26도는 도포의 종료시에 도포장치의 주요부의 예를 확대한 단면도이다. 제26도와 제20도에서 동일한 부분은 동일한 문자에 의해서 도시되고, 동일한 명칭으로 사용된다. 따라서 이들에 대한 상세한 설명은 반복되지 않는다. 전단면(476)과 기판(310)의 피도포면사이에 형성된 갭(478)이 크기 G를 갖는다. 풀(484)는 갭(478)내에 형성되어 있다. 풀(484)에 상단이 기판(310)의 도포의 표면을 요하는 영역 S의 하단에 도달할 때까지 도포액(470)이 하방으로 이동되어 있을 때 여러 가지 장치의 부분의 상태와 도포액의 상태가 제26도에 도시되어 있는 바와 같다.

제27도는 도포액탱크(470)의 도포액유출로(474)에 유출구(480)이 기판(310)의 피도포면의 하단에 위치될 때까지 도포액탱크(470)이 하방으로 이동될 때, 도포액탱크(470), 기판(310) 및 도포액의 상태를 나타낸 것이다.

제28도는 도포액탱크(470)의 전단면(476)과 기판(310)의 피도포면 사이에서 크기 G를 가지는 갭내에 형성된 풀이 기판의 피도포면의 하단에 위치되는 위치까지 도포액탱크(470)이 하방으로 이동될 때 도포액탱크(470), 기판(310) 및 도포액의 상태를 나타낸 것이다.

기판으로의 도포액의 도포는 제26도, 제27도 또는 제28도에 도시된 상태에서 완료될 수 있다. 이 상태의 어느 것이나 기판의 크기, 필요로하는 도포의 면적 등의 관계에 따라 도포를 완료하기 위해서 선택되어 진다.

그 후, 제26도 및 제27도에서 각각 도시된 상태로부터 도포액탱크(470)은 갭(478)의 크기를 확대하는 방향(도면에서 화살표시에 의해서 나타난 방향)으로 더욱 이동될 수 있다. 또한 도포액탱크(470)은 화살표 b의 방향으로 이동되어도 된다. 제28도에 도시된 상태로부터 도포액탱크(470)은 화살표 b와 화살표 c 또는 이들 각각의 방향으로 이동되어도 된다.

제29도는 도포액탱크(470)이 제26도에 도시된 방향으로부터 갭(478)을 증가시키는 방향(화살표시에 의해서 도시된 방향)으로 이동되는 상태를 나타낸 것이다. 제29도를 참조하면 사이즈 G를 가지는 갭(478)내에 형성되어 있는 풀(484)의 도포액(490)의 적어도 일부분이 기판(310)의 피도포면상에 남겨진다. 도포액(590)은 제30도에 그 상태를 나타낸 바와 같이 하방으로 흐르는 것이 가능하다. 도포액(590)이 제30도에 도시된 바와 같이 하방으로 흐르는 경우 도포액(590)은 기판(310)의 지지하는 스테이지(312)의 표면상에 부착된다. 도포액(590)이 스테이지(312)의 표면과 기판(310)을 이면 사이의 공간으로 모세관 현상 때문에 들어와서 도포액이 기판(310)의 이면상에 부착하는 것도 가능하다.

도포액탱크(470)이 제27도에 도시된 상태로부터 갭(478)을 증가하는 방향(화살표 c에 표시)으로 이동될 때에, 갭내의 도포액이 하방으로 흘러 스테이지(312)의 표면이나 기판(310)의 이면상에 부착하는 것도 가능하다. 도포액탱크(470)이 제26도 및 제27도에 각각 도시된 상태로부터 제28도의 상태로 화살표 b의 방향으로 이동될 때에 도포액탱크(470)의 전단면(476)은 점진적으로 기판(310)의 피도포면의 하단으로부터 떨어져 이동되고, 따라서 도포액은 크기 G를 가지는 갭을 통해서 하방 아래쪽으로 흘러 스테이지(312)의 표면이나, 기판(310)의 이면상에 부착될 수 있다.

상술한 바와 같이, 도포액이 도포의 종료시에 스테이지(312)의 표면이나 기판(312)의 이면상에 부착되는 경우 스테이지(312)로부터 기판(310)을 옮기는 것이 어렵게 된다. 도포액이 기판(310)의이면에 고착되어 남게 되는 경우, 도포의 단계 후의 제조단계 동안 약간의 문제를 야기할 수도 있다. 그와 같은 문제는 피하여져야 한다. 갭내의 존재는 풀내의 도포액은 이미 상술한 바와 같이 도포 종료시에 도포액탱크의 압력을 가소시킴으로써 도포액탱크내에서 회수될 수 있다. 그러나 도포액을 완전히 회수하는 것이 어렵기 때문에 이와 같은 문제는 완벽하게 해결할 수 없다. 그러나 이러한 문제는 해결되어야 하고 다음과 같은 실시예가 이런 목적을 위해서 만들어진다.

[제10실시예]

제31도는 본 발명의 제10실시예에 따른 도포장치(600)의 개략적인 측면도이다. 제31a도는 장치(600)의 정면도이다. 제31도 및 제31a도를 참조하면 장치(600)은 기판을 지지하기 위한 기판(310)의 종방향길이보다도 짧은 스테이지(602)와 그 도포액탱크(470)을 포함한다. 제31도 및 제31A도는 도포액탱크가 기판(310)의 표면의 도포를 필요로 하는 영역 A의 하단에 위치될 때(도포의 종료시에) 장치의 상태를 나타낸 것이다.

제31도를 참조하면, 장치(600)에서 스테이지(602)의 상단보다도 하측으로 돌출하는 하단을 가지게 기판을 지지한다. 기판(310)의 하단부는 스테이지(602)의 하단으로부터 돌출되있기 때문에 기판(310)의 표면으로부터 아래로 흐르는 도포액이 스테이지(602)에 부착되지는 않는다. 또한, 기판(310)의 표면으로부터 아래로 흐르는 도포액은 기판(310)의 이면상에 부착되지도 않는다. 따라서 전술한 문제가 해결된다.

스테이지(602)가 길이에 관한한, 기판(310)의 하단이 하방으로 돌출되게 스테이지(602)가 기판(310)을 지지할 수 있다고 하면 기판(310)의 길이보다도 스테이지의 길이가 길게 되어도 된다.

바람직하기로는, 도포장치(600)은 스테이지에 하단에 따라 배열된 분출구를 가지며 스테이지(602)의 하단으로부터 하방으로 돌출하는 기판(310)의 이면에 대향하는 세정공급노즐(604)를 더 포함한다. 세정공급노즐(604)는 기판(310)의 이면으로 세정제를 불어넣어서 도포액을 제거하기 위한 것이다.

제10실시예에서 세정공급노즐(604)는 기판(310)의 대략 전체적인 폭에 걸쳐 연장하는 분출구를 가지고 있다. 그러나 세정공급노즐(604)의 형상을 이것에 한정되지 않는다. 예로서 기판(310)의 이면으로 세정제를 불어넣기 위한 세정공급노즐을 국부적으로 설치될 수도 있으며 기판(310)의 폭방향으로 세정공급노즐을 이동시키기 위한 수단이 설치될 수도 있다.

보다더 구체적으로 도포장치(600)은 스테이지(602)에 의해서 지지되는 기판 바로 아래에 설치되고 기판으로부터 아래로 흘러나오는 도포액을 회수하기 위해서 기판의 폭방향에 따라 연장하는 수용용기(606)을 포함한다. 수용용기(606)은 어느 경우에도 기판으로부터 아래로 흘르는 도포액이 예로서 도포장치(600)의 프레임을 오염시키는 것을 방지한다.

도포액탱크를 고정하면서 기판을 상방향으로 이동하므로써 기판에 도포액을 도포하는 것도 가능하다. 그와 같은 도포장치에서 세정공급노즐과 수용용기가 기판과 같이 상방향 및 하방향으로 움직이게 하는 것이 바람직하다.

[제11실시예]

제32도 및 제33도를 참조하면, 본 발명의 제11실시예에 따른 도포장치는 기판(310)을 지지하기 위한 스테이지(312), 도포액탱크(470) 및 도포액탱크(470)의 상부에 일체적으로 부착된 가스송출탱크(610)을 포함하고 있다. 가스송출탱크(610)은 기판(310)의 전체폭방향에 걸쳐 연장하는 중공통체를 가진다. 가스송출탱크(610)은 가스송출탱크(610)의 내측과 서로 연통되고 가스송출탱크(610)의 폭방향에 따라 형성된 스트립형상 노즐(612)를 가진다. 바람직하기로는 스트립형상의 노즐(612)는 가스가 상향의 대각선방향으로 불어 넣어지도록 팁단부에서 개구부를 가지고 있다. 가스송출탱크(610)의 이면벽부상에 가스송출탱크(610)의 내측으로 가스를 공급하기 위한 가스공급구(614)가 형성되어 있다.

제32도 및 제33도에 도시된 도포장치에서 도포액은 도포액탱크(470)이 기판(310)의 상단부에서 하단부위로 이동할 때 기판(310)의 대략 전체표면에 걸쳐 도포된다. 도포과정에서 가스송출탱크(610)은 도포액탱크(470)과 일체적으로 이동하고 가스가 스트립형상의 노즐(612)로부터 상향 대각선방향으로 불어진다. 질소가스가 가스로부터 사용될 수 있다. 따라서 가스가 기판의 피도포면에 도포액을 도포한 바로 후에 도포막으로 불어진다. 기판(310)의 표면에 표면상에 도포된 바로 후에 도포액으로부터의 용제의 증발이 촉진된다. 그래서 도포액의 점도가 증가된다. 따라서 도포액의 도포동안 도포액의 피도포면상으로의 도포액의 피도포면상으로의 도포액의 드로핑 및 피도포면상에서의 도포액의 세이징이 억제될 수 있다.

가스송출탱크(610)으로부터 가스취입이 도포액의 도포종료때까지 계속된다. 도포액탱크(470)과 가스송출탱크(610)은 제32도의 이점쇄선에 의해서 도시된 기판(310)의 하단가까이로 이동되서 중지될 대 가스송출탱크(610)으로부터 가스송출이 중지된다.

도포탱크(470)의 전단면(476)과 기판(310)의 도포면 사이의 갭에서 도포액의 풀(484)에 상단은 수직방향으로 가스송출탱크(610)의 스트립형상의 노즐(612)로부터 떨어져 있다. 따라서 도포액탱크(610)의 위치가 도포의 완료시에 어떻게 선택하느냐에 따라서 가스는 기판(310)의 표면의 유효 도포영역에 걸쳐 완전히 불어 넣어지지 않아도 된다. 가스가 기판(310)의 피도포면의 유효한 영역 뿐만 아니라 다른 영역으로 불어 넣어지는 것도 가능하다. 그 경우에 도포액탱크(470)과 가스송출탱크(610)은 도포동작이 완료후에 그하방으로 이동된다. 가스가 기판(310)의 피도포면상에 도포되는 도포막의 가장 아래 쪽까지 불어 넣어진 후에 가스취입이 중지된다.

제32도 및 제33도에 도시된 제11실시예의 도포장치가 사용될 때에 도포막으로부터 도포액의 드로핑이나 도포막상의 도포막이 세이징이 효과적으로 억제될 수가 있다. 도포의 후속단계에서 예를들면 건조단계에서 기판의 온도가 도포단계후에 증가된다 할 때에도 도포액의 흐름이 어렵게 된다. 이것은 도포막두께의 변동의 가능성을 경감시켜주고 도포품질의 저하가 방지될 수 있게 하여 준다.

제11실시예의 도포장치에서 가스송출탱크(610)은 도포액탱크(470)과 일체적으로 부착되어 있다. 그러나 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 분리된 도포액탱크와 가스송출탱크가 사용될 수도 있다. 그 경우에 도포액탱크와 가스송출탱크는 별개의 직선구동기구에 의해서 구동될 수 있다.

상술한 실시예에서 가스송풍탱크는 도포액탱크(470)과 같이 하방으로 이동된다. 그러나 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니며 가스송출 수단이 기판(310)의 상측, 하측 또는 측면상에 설치될 수 있고 또는 그러한 수단이 복수위치에 설치될 수도 있다. 이와 같은 가스송출수단으로부터 기판(310)의 표면상으로 가스를 불어 넣으므로써 도포액탱크(470)과 같이 이동하는 가스송출탱크(610)에 의해서 얻어지는 경우과 같은 동일한 효과가 얻어질 수 있다.

상술한 실시예에서 가스송출탱크(610)은 팁에서 가스송출탱크(610)의 전길이에 따라 형성된 스트립형의 노즐(612)를 가진다. 그러나 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고 적은 직경을 가지는 많은 구멍이 가스송풍탱크의 전면에서의 전체 길이에 따라 서로 병렬로 형성될 수도 있다. 또한 차단판이 가스송출탱크(610)내에 형성될 수도 있고 복수 가스공급구멍이 가스송출탱크(610)의 스트립형상의 노즐(612)로부터 기판을 전체 폭방향에 따라 균일하게 불어 넣어지도록 가스송출탱크(610)의 이면벽부 상에서 등간격으로 배열될 수도 있다. 또한 그와 같은 가스송출탱크는 본 발명의 나머지 실시예의 어느 것에서 같이 결합해서 사용할 수 도 있다.

제26 내지 제28도에 도시된 바와 같이, 하나의 기판 당 사용되는 도포액의 전체 량은 도포액탱크의 전면벽부의 전단부와 기판의 피도포면 사이의 갭내에 형성된 풀내의 도포액의 량과 기판이 피도포면상에 도포되는 도포액의 량의 합과 같다. 풀내의 도포액은 도포완료의 위치에서 도포면상에 방울져 떨어지거나 또는 기판의 하단으로부터 아래로 떨어져 내릴 때 유효하게 사용되지 못한다. 도포액의 유효하게 사용되는 비율은 유효하게 사용되지 못하는 도포액의 량을 기판당 사용되는 전체의 량에서 뺀 값과 기판당 사용되는 전체의 도포액량 사이의 비율이다. 따라서 유효하게 사용되는 비율은 기판의 피도포면의 면적의 크기와 도포액 탱크에 전단면의 면적의 크기와, 갭의 크기와 갭내의 풀의 상단 및 하단사이의 크기에 따라 다르게 된다.

볼 발명에 따른 도포장치의 도포액의 유효한 사용은 다음과 같이 설명된다. 즉, 도포액의 피도포면의 크기는 500㎜×600㎜라고 가정된다. 포토레지스트가 기판의 표면상에 도포되는 것으로 한다. 사용되는 포토레지스트는 Shipley Far East Corporation에 의해서 판매되는 S1400-17이다. 건조 후에 1㎛의 두께가 필요로 한다면, 건조전의 두께는 약 8.3㎛이다. 도포탱크의 전단면과 기판의 피도포면 사이의 갭이 일정한 것을 가정되고 크기 G가 0.1㎜로 가정된다. 갭 내에 형성된 풀의 상단 및 하단사이의 거리가 15㎜로 가정되며 풀의 기판의 폭방향에 있어서의 전체길이가 500㎜로 가정된다.

그러면, 풀 내의 도포액의 량이 다음과 같은 식에 따라 산출될 수 있다.

500×15×0.1×10-3=0.75(CC)

기판이 피도포면상에 도포되는 량은 다음식에 따라 산출될 수 있다.

500×600×0.0083×10-3=2.49(CC)

따라서 도포액의 유효한 사용의 비율은 다음식으로부터 산출될 수 있는 바와 같이 약 75%이다.

(2.49÷3.24)×100=76.85(%)

종래의 회전식 도포장치에서의 유효사용 비율이 약 5%이기 때문에 본 발명의 장치에 의해서 도포액이 현저하게 유효하게 사용되어짐을 알 수 있다. 또한 그 장치가 도포완료후에 도포탱크내에 도포액을 다시 회수시키도록 채용된다면 도포액 사용에 있어서의 사용 효율은 더욱 개선될 수 있다.

[제12실시예]

제34도 내지 제38도는 본 발명의 제12실시예에 따른 도포장치를 나타낸 것이다. 도포장치(620)은 기판(310)을 수직으로 지지하기 위한 스테이지(622)와 도포액탱크(470)을 포함한다. 도포액탱크(470)은 제20도에 도시된 것과 동일하다. 따라서 그 상세한 설명은 반복되지 않는다. 도포액 탱크(470)의 전단면(476)과 스테이지(622)에 의해 지지되는 기판(310)의 피도포면 사이에서 크기 G를 가지는 갭(478)을 유지하면서 도포장치(620)은 제34도 화살표에 의해서 표시되는 방향으로 도포액탱크(470)을 이동할 수 있는 직선구동기구를 포함한다. 직선구동기는 제34도에는 도시되어 있지는 않지만 제1실시예의 것과 동일하다. 스테이지로부터 기판(310)을 용이하게 이동시키기 위해서 도포액탱크(470)과 스테이지(622)를 서로서로 떨어지거나 또한 서로서로 향하도록 이동시키기 위한 이동구동기구가 설치될 수 있다. 그 경우에 갭(478)의 크기 G를 측정하기 위한 검출기의 설치가 유리하다.

제35도에 도시된 바와 같이, 도포장치(620)은 탱크내의 압력을 증가시키거나 감소키거나 또는 탱크 내측을 외측으로 연통시켜 주위압력으로 설정하기 위한 압력설정시스템(400)을 포함하여 탱크에 도포액을 공급하기 위한 도포액공급시스템(402)도 포함한다.

압력설정시스템(400)의 구도는 제13도에 도시된 것과 동일하다. 제35도 및 제13도에서 대응되는 부분은 동일문자로서 표시되고, 동일명칭으로 이용된다. 이들 구성부품의 기능은 동일하다. 따라서 여기에서는 상세한 설명은 반복되지 않는다. 동일한 것이 도포액 공급장치(402)에 인가된다.

압력설정시스템(400)이 설치될 때, 도포액의 유출은 도포액탱크내의 압력을 조정함으로써 방지될 수 있다. 따라서 도포액탱크의 크기는 수직방향으로는 제한되지 않은, 그것은 아래방향으로 대향되게 대략 수평방향으로 설정되어도 된다. 그 경우에 기판은 수평방향에서 스테이지에 의해서 지지된다. 도포액탱크(470)에서 탱크로 유입되는 도포액(322)의 액면을 검출하기 위한 검출기(414)가 설치된다.

제34도 및 제37도를 참조하면, 스테이지(622)는 도포의 개시위치에 상응하는 위치에 형성되는 관통공(624)를 가진다. 관통공에 대해서 도포액탱크(470)에 반대되는 위치에 기판(310)의 폭방향에서 연장하는 스트립형상의 풀(484)의 상단의 이동속도를 검출하기 위한 검출기와 직선구동기구를 제어하기 위한 제어시스템(628), 풀(484)의 상단의 이동속도가 일정하게 유지되도록 검출기(626)에 의해 검출되는 풀(484)의 상단의 이동속도를 나타내는 검출신호에 근거해서, 설치되어 있다.

도포장치(620)에 있어서 도포의 개시위치에서 관통공(624)를 통해서 투명기관(310)의 이면으로부터 기판(310)의 폭방향에 걸쳐 스트립형의 풀(484)의 형성을 확인하는 것이 가능하다. 제38도를 참조하면 제어시스템(628)은 직선구동기구를 구동하기 위한 펄스모터(340)(제6도 및 제7도 참조)를 제어하기 위해서 검출기(626)으로부터의 출력을 수신하는 CPU부(630)과 펄스모터(304)를 구동하기 위해서 I/O포트(632)를 경유하여 제어신호를 수신하는 모터드라이버(634)를 포함한다. 제어시스템(628)은 특히 도포의 개시위치에서 풀의 상단에서 미니스커스를 하강시키도록 구동펄스모터(340)을 제어하기 위한 것이다.

CPU부(630)은 PID 상수결정부(640)과 펄스모터제어부(642)를 포함한다. PID상수결정부(640)은 정상적인 PID제어를 수용하기 위한 것이며, PID상수결정부(640)으로부터의 출력에 따라 펄스모터제어부(642)가 모터를 제어하기 위한 신호를 제공하여 준다.

제12실시예의 도포장치는 다음과 같이 동작한다. 첫째, 기판(310)은 예를 들어 진공흡착에 의해서 스테이지(622)상에 고정된다. 도포액(322)의 설정량이 유입되는 도포액탱크(470)은, 기판의 상단측에서, 기판(310)의 도포를 필요로 하는 영역의 개시단부에서 위치된다. 도포액탱크(470)의 전단면(476)과 기판(310)의 피도포면의 사이에서 크기 G를 가지는 갭(478)이 형성되도록 기판(310)으로부터 떨어진 위치로부터 기판(310)으로 수평이동되서 이위치에서 탱크가 정지된다. 이 경우에 도포액탱크(470)내의 압력은 압력설정시스템(400)을 사용함으로써 도포액탱크로부터 도포액(322)의 유출을 방지하도록 설정된다. 예를들면 도포액탱크(470)의 압력은 외부압력과 같도록 설정된다. 그렇게 함으로써 도포액은 도포액유출로(474)를 통해서 도포액탱크(470)으로부터 유출되지 않게 된다.

크기 G를 가지는 갭(478)이 형성된 후에 도포액(322)의 설정량이 도포액탱크(470)으로 유입되도록 장치(620)이 동작될 수 있음은 말할 것도 없다.

압력설정시스템(400)을 사용함으로써 도포액탱크(470)내의 압력이 증가되어 도포액유출로(474)를 통해서 도포액탱크(470)으로부터 갭(478)로 도포액이 흐른다. 따라서 풀(484)의 일부는 갭(478)에 형성된다. 그 후, 도포액탱크(470)으로부터 도포액의 유울을 저지하기 위해서 도포액탱크(470)이 예를 들어, 외부공기와 연통된다. 그래서 스트립형상의 풀(484)가 갭(478)내에 형성된다.

스트립형상에 풀(484)가 갭(478)내에 형성된 후에 도포액탱크(470)의 전단면(476)과 기판(310)의 피도포면 사이에서 크기 G를 가지는 갭(478)을 유지하는 동안, 도포액탱크(470)이 수평방향으로 이동된다. 더 구체적으로는, 도포액탱크(470)은 제34도에서 화살표 a로 도시된 방향으로 이동한다.

이때 도포의 개시위치에서 검출기(326)은 풀(484)의 상단부에서 미니스커스의 이동속도를 검출한다. 검출신호에 근거해서 제어시스템(628)은 도시되어 있지 않는 직선구동기구를 제어해서 도포액탱크(470)의 이동속도가 조정되어 풀(484)이 상단에서 미니스커스의 하강속도가 실질적으로 일정하도록하게 한다.

도포액탱크(470)이 하향으로 이동하기 시작하여 일정속도에 도착한 후에 도포액탱크(470)은 계속해서 일정속도를 유지하면서 하방향으로 이동된다. 도포액탱크(470)이 제37도에 도시된 이중쇄선에 의해서 표시된 위치에 도달한 후에 중지된다.

이와 같은 방법으로 도포액탱크(470)은 기판(310)의 상단부근에서 하단부근으로 움직이고 풀(484)내의 도포액이 기판(310)의 표면중 도포를 요하는 영역과 접촉하게 된다. 그래서 도포막(644)가 제37도에 도시된 바와 같이 형성된다. 도포하는 동안 갭(478)내의 풀(484)의 도포액은 소비되어서 도포막(644)를 형성한다. 소비되는 량에 상응하는 도포액의 양은 도포액 유출로 (474)를 통해서 도포액탱크(470)으로부터 적어도 모세관 현상에 의해서 갭(478)로 공급되고 갭(478)내의 풀(484)에서의 도포액의 양이 일정하게 유지된다.

도포액탱크(470)이 기판(310)의 하단가까이 위치에 도달해서 중지할 때, 기판(310)의 표면으로 도포액의 도포가 완료된다. 기판(310)이 스테이지(322)로부터 옮겨진다. 이때 도포액탱크(470)은 스테이지(622)로부터 멀어지는 수평방향으로 이동되거나 또는 스테이지(622)는 도포액탱크(470)으로부터 떨어지는 수평방향으로 이동된다. 이것은 스체이지(622)로부터 기판(310)의 옮김을 용이하게 하여준다. 도포되는 기판(310)이 스테이지(622)로부터 옮겨질 때 그 동작은 다음 기판의 도포를 위해서 대기되는 제일 스텝으로 복귀된다.

제12실시예의 도포장치에서 직선구동기구는 적어도 도포의 개시위치에서 풀(484)의 상단에서의 메니커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 되도록 제어된다. 미니스커스의 이동속도는 갭(478)의 크기 G, 도포액(322)의 특성, 기판(310)의 피도포면 및 도포액탱크(470)의 전단면(476)의 습윤성 등과 같이 형성되는 도포막의 두께를 결정하는 결정적인 요인의 하나가 된다. 피도포면에 대한 미니스커스의 이동속도가 낮아지면 낮이질수록 형성되는 도포막의 두께는 더욱 얇아 지고 이동속도가 높으면 높으질수록 그 두께는 더욱 두꺼워진다. 본 발명에서 풀(484)의 상단에서의 미니스커스의 이동속도는 실질적으로 일정하게 유지되어, 기판(310)의 표면상에 형성된 도포막의 두께가 역시 일정하게 된다. 따라서 도포액의 두께가 도포개시되는 위치의 근방에서 허용범위를 벗어나는 가능성은 없다.

상술한 것과는 다른 방법이 제12실시예에서 풀(484)를 형성하기 위해서 사용될 수도 있다. 예를들면 갭(478)이 형성된 후에 도포탱크(370)내의 압력이 스트립형의 풀(484)가 형성될 때까지 증가될 수도 있다. 갭(478)의 형성후에 도포액탱크(470)은 스트립형상의 풀(484)을 형성하도록 외부에 통하게 될 수도 있다. 또한 스트립형상의 풀(484)는 적어도 모세관현상에 의해서 도포액유출로(474)를 통해서 도포액탱크(470)으로부터 갭(478)로 도포액(322)을 공급하도록 하는 값으로 도포액탱크(470)내의 압력을 조정함으로써 형성할 수 있다. 탱크내의 압력 및 외부와의 연통 및 압력조정은 결합할 수도 있다.

어느 경우에나 스트립 형상의 풀(484)가 형성된 후에 도포과정 동안 풀(484)내의 도포액이 갭(478)을 통해서 외부로 유출되지 않고 도포액(322)가 도포액탱크(470)으로부터 갭(478)로 공급되도록 도포액탱크(470)내의 압력을 조정하는 것이 필요하다. 도포액탱크(470)이 외부공기에 서로 통해지는 것도 가능하다.

상기의 실시예에서 직선제어수단은 도포액탱크(470)의 이동속도가 일정하게 유지되거나 또는 허용범위내에 있게 되는 동안 검출기(626)으로부터의 검출신호에 근거해서 제어된다.

그러나 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어 도포액탱크(470)의 이동속도가 일정한 속도나 또는 허용범위내에 유지되는 동안 풀(484)의 상단부에서의 미니스커스로 이동속도는 실질직으로 동일하도록 압력설정시스템(400)의 압력조정부가 도포액탱크(470)내의 압력을 조정하기 위해서 검출기(626)으로부터의 검출신호에 근거해서 조정될 수 있다.

도포액탱크(470)이 스테이지(622)로부터 멀어지는 방향으로 이동될 때 도포액이 기판의 피도포면 상 및/또는 도포액탱크(470)의 전단면(476)에 고착되면서 풀(484)내의 도포액이 아래로 떨어지게 되므로 드로프액이 후속 도포단계에서 사용될 수 없다. 따라서 도포액유출로(474)를 통해서 도포액탱크(470)으로 풀(484)내의 도포액이 회수되도록 스테이지(622)로부터 도포액탱크(470)을 분리시키기 전에 도포액탱크(470)내의 압력이 압력설정시스템(400)을 사용함으로써 감소될 수 있다. 이와 같은 회수시간에 도포액유출로(474)의 유출구(480)으로부터 상단까지 도포액탱크(470)의 전단면(476)의 영역은 기판(310)의 하단측으로부터 벗어 나서는 아니되며 갭(478)은 전단면(476)과 기판(310)의 피도포면 사이에 유지되어야 한다.

[제13실시예]

제39도를 참조하면, 제13실시예의 도포장치는 제34도 내지 제38도에 도시된 제12실시예의 도포액장치의 도포액탱크(470) 대신에 제21도에 도시된 도포액탱크(490)이 사용되는 점만 이 제12실시예와 다르다. 제21도, 제34도 내지 제38도 및 제39도에서 동일한 부분은 동일한 문자로 표시되고 동일한 명칭으로 인용된다. 이들 구성부분은 동일한 기능을 가진다. 따라서 이들에 대한 상세한 설명은 반복되지 않는다.

이들 기술분야에 통상을 지식을 가진 자라면 제12실시예에서와 같은 효과가 제13실시예의 도포장치를 사용함으로써 얻어질 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

[제14실시예]

제40도는 제14실시예에 따른 도포장치에 주요부에 대한 확대수직단면도이다. 제14실시예의 도포장치는 제22도에 도시된 도포액탱크(520)이 제12실시예의 도포액탱크(470) 대신에 사용되는 점을 제외하고는 제12실시예의 도포액장치와 동일하다. 제22도, 제34도 내지 제38도 및 제40도에서 동일 구성부분은 동일 참조문자로 나타내고 동일명칭으로 사용되며, 그들은 동일기능을 가진다. 따라서, 이들에 대한 상세한 설명은 반복되지 않는다.

제12실시예 및 제13실시예에서와 같이 동일 효과가 제14실시예의 도포장치를 사용함으로써 얻어질 수 있다.

[제15실시예]

제41도는 본 발명의 제15실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 확대수직단면도이며, 이 실시예에서는 기판이 투명하지 않을 때에도 풀의 상단면의 이동속도를 검출하게 하여 준다. 이 도포장치에서 도포액탱크와 기판의 피도포면 사이에서의 스트립형상의 풀의 형성을, 도포개시위치에서, 확인하는 것이 가능하다.

제41도를 참조하면, 도포액장치(650)은 투명하지 않는 기판(652)를 지지하기 위한 스테이지(312)와 크기 G를 가지는 갭(668)이 탱크와 스테이지(312)에 의해서 지지되는 기판(652)의 피도포면 사이에 형성되도록 배치된 도포액탱크(660)이 화살표 a로 나타낸 방향으로 도포액탱크(660)을 이동할 수 있는 직선구동기구(도시않됨)를 포함한다. 장치(650)은 스테이지(312)와 도포액탱크(660)을 서로 떨어지도록 이동시키기 위한 장치를 더 포함할 수도 있다.

도포액탱크(660)의 전면벽부(662)는 그의 상단이 전단면(666)의 앞방향으로 돌출되도록 형성된다. 도포액탱크(660)은 중공통체 형태를 가지며 그안에 도포액(322)를 저장하기 위한 공간을 가진다. 그 공간은 기판(652)의 피도포면과 전단면(666)사이에 형성된 갭(668)로 도포액유출로(664)를 통해서 연통된다. 도포액유출로(664)는 전단면(666)으로 개구되는 유출구(670)과 유출구(670)보다 아래에 위치해서 도포액탱크(660)의 내부공간으로 개구되는 유입구(672)를 가진다. 전단부(666)은 그의 하단이 도포액유출로(664)의 유출구(670)과 유입구(672)사이에 위치되며 그의 상단이 도포액탱크(660)의 상부면에 연장되도록 형성된다. 전단면(666)의 상단의 높이는 전단면(666)이 무한히 상방향으로 연장되는 것을 가정하도록 선택되며 상단은 적어도 모세관 현상에 의해서 상승하는 갭(668)의 풀 내의 도포액 최대 높이보다 더욱 높게 위치된다.

도포액탱크(660)의 상부에서 관통공(678)이 폭방향으로 적어도 한부분에서 앞방향 및 뒷방향으로 관통하게 형성되어 있다. 관통공(678)의 전단면(666)의 측면상에 갭상의 개구에서 투명그라스판(680)과 같은 투명체가 부착되어 있고, 투명그라스판(680)의 전면벽부는 전단면(666)의 부분을 형성한다. 관통공(678)에는 갭(668)내의 풀(674)의 상단 이동속도를 검출하기 위한 검출기(682)가 투명그라스판(680)에 대향해서 설치되어 있다. 검출기(682)는 투명그라스판(680)을 통해서 갭(668)내의 풀(674)의 상단이동속도를 검출하여 검출신호를 제공하여 준다. 도포액탱크(660)의 속도는 이 검출신호를 사용함으로써 제어된다.

이 도포장치(650)에서 검출기(682)가 도포액탱크(660)과 일체로 하향으로 이동하는 점을 유의하여야 한다. 따라서 검출기(682)에 의해서 검출되는 것은 도포액탱크(660)에 대하여 풀(674)의 상단에서의 미니스커스의 상대이동속도이다.

상술한 바와 같은 직선구동기구의 이동속도를 제어하는 제어시스템 대신으로, 도포액탱크(660)내에서의 압력을 조정하기 위한 제어시스템이 사용될 수가 있다. 그와 같은 제어시스템을 사용함으로써 도포액탱크(660)에 대한 풀(674)의 상단에서의 미니스커스의 상대이동속도를 제로로 설정함으로써 형성되는 도포막의 두께가 도포개시위치에서도 일정하게 만들어질 수 있다.

제41도에 도시된 도포액장치(650)을 사용함으로써 기판(652)의 표면에 도포액을 도포하기 위한 동작은 제12실시예의 것과 동일하다. 도포장치(650)에서, 검출기(682)는 풀(674)의 상단과 같이 하방으로 이동한다. 따라서 도포액탱크(660)에 대한 풀(674)의 상단에서의 미니스커스의 상대이동속도는 도포액개시위치에서 뿐만 아니라 다른 위치에서도 검출기(682)에 의해서 검출될 수 있다. 또한 갭(668)내에 형성된 풀(674)의 상태가 도포중에 어느때라도 관측될 수 있다. 이 도포장치(650)은 투명기판을 도포할 때에도 유효하게 이용될수 있음을 말한 것도 없다.

제41도에 도시된 바와 같은 도포액탱크(660)내 검출기(682)를 설치하는 대신에 도포액탱크와 별도로 검출기를 설치할 수도 있다. 그 경우에 검출기는 도포액탱크의 이동속도와 똑같은 속도로 움직일 수도 있거나 또는 검출기가 고정되게 설치될 수도 있다.

기판(652)에 도포액의 도포를 확실히 하기 위해서, 기판(652)의 폭방향에 따라 갭(668)내의 스트립형상의 풀(674)의 형성을 확인한 후에 도포동작이 개시되는 것이 바람직하다. 그와 같은 확인을 위해서 검출기가 사용될 수 있다. 검출기로서는 제41도에 도시된 검출기(682)가 사용될 수 있다. 또한 풀(674)의 형성을 확인하도록 다른 검출기가 설치될 수도 있다. 제41도에 도시된 도포액탱크(660)이 사용될 때 도포개시위치에서 풀의 형성을 확인하기 위해서 스테이지(312)내에 관통공을 형성할 필요는 없다. 그러나, 도포장치는 제41도에 도시된 도포액탱크(660)과 제34도에 도시된 바와 같은 관통공을 가지는 스테이지(622)를 결합되게 설치될 수도 있다. 그 경우에 기판이 투명하다면 스테이지의 이면측에 조명을 설치함으로써, 도포액탱크(660)의 검출기(682)에 의해서 풀(674)의 상단에서의 미니스커스의 이동속도를 검출하여 풀(674)에 형성된 상태를 검출하는 것이 가능하다.

[제16실시예]

제12실시예에 도시된 도포장치와 대략 동일한 하드웨어를 사용하나, 다른 제어를 수행하는 실시예가 설명된다. 이 도포장치에서 제34도에 도시된 검출기(626)나 제어시스템(628)이 전혀 필요하지 않는다.

제34도에 도시된 도포장치와다르게, 스테이지내에 관통공을 설치하는 것이 필요하지 않다.

제12실시예에서의 제34도를 참조하면, 도포액탱크(470)은 기판(310)의 표면과 도포액탱크(470)의 전단면(476)사이의 갭(478)내에 형성된 풀(484)의 상단에서의 미니스커스 상대이동 속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 이동된다. 도포액탱크(470)의 이동속도가 소정의 속도로 일정하게 증가되고 도포액탱크(470)와 기판(310)의 피도포면이 허용되는 속도범위내에서 상대적으로 일정속도로 이동되는 것을 가정한다.

이 경우에, 상대이동개시로부터 어떤 일정시간까지, 도포액탱크(470)과 기판의 피도포면의 상대이동속도와, 도포액의 풀(484)의 상단에서의 미니스커스와 기판(310)의 피도포면 사이의 상대적인 이동속도는 서로서로 동일하지 않다. 제42도에 점선에 의해서 도시된 바와같이 , 풀(484)의 상단과 기판(310)의 표면사이의 상대이동속도는 도포액탱크(470)과 기판(310)의 표면 사이의 상대이동속도보다 더 낮은 영역이 있다(저속도 영역). 이들 상대이동속도 모두가 동일한 일정영역이 저 속도영역을 뒤따른다.

상술한 바와 같이, 도포액의 풀의 상단에서의 미니스커스와 기판의 피도포면 사이의 상대이동속도가 더 낮으면 낮을수록 기판의 표면상에 형성되는 도포막의 두께는 더 엷어지고, 상대이동속도가 높으면 높아질수록 도포막의 두께는 두꺼워진다. 제42도에 도시된 저속도 영역에서 도포액의 풀의 상단과 기판에 피도포면 사이의 상대이동속도는 일정속도보다 낮으며, 따라서 이 영역에 상응하는 도포막의 두께는 엷게 된다. 그 결과로써, 제43도에 도시된 바와 같이, 도포개시 위치로부터 제42도에 도시된 저속도영역에 까지의 부분에 상용하는 기판의 영역은 허용범위보다도 더 엷은 도포막의ㅣ 두께를 가지게 되며, 따라서 도포막의 유효한 영역이 감소된다.

상술한 제12실시예 및 제15실시예에서 도포액탱크의 이동속도는 도포액의 풀의 상단에서의 미니스커스와 기판의 피도포면 사이의 상대이동속도가 실질적으로 일정하도록 제어된다. 따라서, 기판의 표면에 도포되는 도포막의 두께는 역시 일정하게 되며, 도포개시위치 근처에서도 도포막의 두께는 허용범위를 벗어나지 않게 된다.

이 제16실시예에서 상술한 효과가 다음과 같은 방법으로 얻어질 수 있다. 첫째, 기판(310)의 표면에 도포되는 막중에서 도포액탱크(470)의 이동방향에 따른 막두께에 있어서의 변경을 나타내는 곡선은 앞의 실험을 통해서 미리 얻어진다. 곡선은 제43도에 도시된 것과 유사하다.

또한 미리 일정영역에서의 풀(484)의 상단에서의 미니스커스 이동속도와 도포막의 두께사이의 관계가 실험을 통해서 산출된다. 풀(484)의 상단에서의 미니스커스의 이동속도와 도포액탱크(470)의 이동속도는 상기 일정영역에 의해서 서로 동일하며, 필요한 것은 도포액탱크(470)의 이동속도와 도포막의 두께 사이의 관계가 실험을 통해서 얻어지는 것이다.

그 다음, 제43도에 도시된 바와 같은 도포막의 두께에 있어서의 변경을 나타내는 선이 도포액탱크(470)의 이동방향에 따른 여러 가지 위치에서 폴(484)의 상단에서의 미니스커스의 상대적인 이동속도 Va의 이동속도에서의 변경을 나타내는 제44도에 도시된 바와 같은 곡선으로 변환된다.

그때, 도포액 탱크(470)의 이동속도 Vb와 도포액 폴(484)의 상단부의 이동속도 Va 사이의 차이는 △V로 나타낸다(제44도 참조). 도포액탱크(470)의 이동속도 Vb에 △V를 합함으로써 제45도에 도시된 곡선이 얻어진다. 제45도의 곡선은 도포액탱크(470)의 이동방향에서 또는 여러 가지 위치에서 도포액탱크(470)의 상대이동속도에서의 변동을 나타낸다. 도포액탱크(470)이 제45도에 도시된 바와 같은 속도로 하방향으로 이동될 때 도포액탱크(470)의 이동속도는 도포의 개시위치 근처에서 도포액탱크(470)의 최초의 이동속도 Vb 보다 더 낮은 풀(484)의 상단 미니스커스에서의 더 낮은 이동 속도 Va에 상응하는 양(△V)만큼 증가된다. 그렇게 함으로써, 기판(310)의 피도포면에 대한 폴(484)에 상대이동속도가 실질적으로 일정하게 만들어 질 수 있다.

도포액탱크(470)을 이동시키는 직선구동기구는 구체적으로는 다음과 같이 제어된다. 제45도에 도시된 곡선에 따라 도포액탱크(470)의 이동방법에 따른 각종 위치에서 도포액탱크(470)의 이동속도의 변경을 나타내는 데이터가, 예를들면, 제어 데이터로서 메모리내에 기억된다. 그 데이터가 실험을 통해서 보정된다면, 그때 보정된 데이터가 메모리내에 제어데이터로써 기억된다. 도포액이 기판(310)의 표면에 도포될 때 직선구동기구는 도포액탱크(470)의 이동속도를 조정하도록 제어장치에 의해서 메모리내에 기억된 제어데이터에 근거하여 제어된다. 따라서 제44도에 도시된 갭(478)내의 풀(484)의 상단부에서의 미니스커스 이동속도는 도포개시위치 근처에서도 실질적으로 일정하게 된다. 도포개시위치 근처에서 보다더 엷은 도포막을 가지는 부분이 없게 된다. 따라서 도포막의 유효한 영역에 확대될 수 있다.

상술한 실시예에서 속도가 소정속도로 즉시 증가되고 도포액탱크(470)이 그 후 일정속도로 이동되는 것을, 제어 데이터 계산시에서, 가정한 것이다. 그러한 과정에 기초해서 도포액이 기판(310)의 표면에 도포될 때 도포액탱크(470)의 이동방향에 따른 도포막두께의 변동을 나타내는 제43도에 도시된 곡선이 산출되었다. 그러나 제어데이터의 산출에 있어서 도포액탱크(470)의 이동을 개시하기 위한 방법 및 조건은 상술한 방법에 한정되는 것은 아니다. 또한 산출제어데이터의 방법도 상술한 방법에 한정하는 것을 아니다.

또하나의 다른 방법은 다음과 같을 수 있다. 또 하나의 다른 도포장치를 사용함으로써 기판의 피도포면과 도포액탱크의 전단면 사이의 갭내에 형성된 풀의 상단부에서의 미니스커스의 이동속도가 검출되고 도포액이 상대이동속도가 실질적으로 유지되도록 도포액탱크의 이동을 조정하면서 기판표면에 도포된다. 그때에 도포액탱크의 이동속도는 계속해서 측정된다. 실질적으로 측정되는 값에 따라 제어데이터가 산출된다. 측정되는 값의 정정이 필요하다면 측정된 값에 따라 데이터가 산출될 수도 있다.

상기 실시예에서 도포액탱크의 이동속도가 제어된다. 그러나 제어되는 파라메터는 도포액탱크의 이동속도에 한정되는 것은 아니다. 예를들어, 도포액탱크내의 압력이 제어될 수도 있다. 그 경우에 도포액탱크의 이동방향에 따른 여러위치에서 도포액탱크 내의 압력이 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 되도록 허용하여 주는 압력으로 제어되기 위해서 기준으로 허용되는 주요데이터가 미리 산출된다. 그 경우에 제어데이터는 도포액탱크내의 압력에서의 변경을 나타내는 곡선으로써 산출 될 수 있다. 기판의 표면으로 도포액을 도포하는 것은 도포액 탱크내의 압력을 상기 방법으로 산출된 제어데이터에 근거해서 조정함으로써 수행될 수 있다.

도포완료위치 가까이에 다음과 같은 문제점이 일어날 수 있다. 도포액탱크의 전면벽부에 형성된 도포액유출로의 유출구가 기판의 하단위치 아래보다 더 벗어나게 된 후에 도포액탱크로부터 기판의 피도포면과 전단벽부의 전단면 사이에 형성된 갭으로 도포액유출로를 통해서 도포액의 공급이 중지된다. 상기 갭내의 풀의 상단면에서의 미니스커스의 이동속도는 기판표면에 도포되어 소비되는 도포액의 양에 상응하는 속도만큼 도포액탱크의 이동속도보다도 더욱 높게 된다. 따라서 도포액탱크가 일정속도로 해서 하방으로 이동될 대 도포의 완료위치 가까이에 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동속도는 도포액탱크의 이동속도보다 더 높게 된다. 따라서 도포완료 위치 근처에서 도포막의 두께가 더 두껍게 된다.

그와 같은 문제를 방지하기 위한 한 방법은, 풀의 상단에서의 미니스커스의 속도를 실질적으로 일정하게 유지하도록, 상술한 방법과 유사한 방법으로 도포액탱크의 이동속도를 조절하거나 도포액탱크의 압력을 조정하는 것이다.

[제17실시예]

제1실시예를 제외하고, 상술한 실시예들에서 도포액유출로의 유출구는 그 유입구보다 더욱 높으며 도포액탱크의 전단벽부의 형상은 도포액탱크의 전면벽부의 전단면의 하단이 도포유출로의 유입구와 유출구 사이에 위치되도록 선택되어 있다. 또한 도포액의 공급량은 도포액탱크의 도포액의 액면이 도포액유출로의 유입구와 도포액탱크의 전단면의 하단사이에 있도록 선택되어 있다.

그러나, 상술한 실시예의 일부에서와 같이, 도포액탱크 내의 압력을 조정하기 위한 압력설정시스템(400)이 설치되는 경우에, 도포장치는 도포액유출로의 형상, 도포액유출로의 유출구 및 유입구와 도포액탱크의 전단면의 단 사이의 위치관계와, 도포액탱크에 유입되는 도포액의 표면에서 상술한 제한을 하지 아니하여도 된다.

한 예가 제46도 내지 제49도에 참조해서 설명된다. 이들 도면을 참조하면, 제17실시예에 따른 도포액장치(690)은 기판(310)을 지지하는 스테이지(312), 그 자신과 기판(310)의 피도포면 사이에 설치되는 크기 G를 가지는 갭(708)로 기판(310)의 피도포면에 대향되게 위치된 도포액탱크(700)과, 도시되어 있지 않지만, 기판(310)에 대하여 도포액탱크(70)은 이동시키기 위한 직선구동기구를 포함한다. 제47도에 구체적으로 도시된 바와 같이, 도포장치(690)은 압력설정시스템(400) 및 도포액공급시스템(402)를 더 포함한다. 압력설정시스템(400) 및 도포액공급시스템(402)는, 예를 들면, 제13도에 도시된 것들과 동일하기 때문에 여기에서 상세한 설명은 반복되지 않는다.

제49도를 주로 참조하면, 도포액탱크(700)은 양단부가 폐쇄되고, 기판(310)의 폭방향에 따라 연재하여 그 안에 도포액(322)를 저장하기 위한 공간을 가지는 중공통체를 가진다. 도포액탱크(700)의 전면벽부(702)에 도포액탱크(700)으로부터 갭(708)로 도포액(322)를 공급하기 위한 공급액유출로(704)가 형성되어 있다.

전면벽부(702)의 부분은 폭방향 전체에 걸쳐 다른 부분보다도 앞으로 튀어나와서 전단면(706)을 형성한다. 크기 G를 가지는 갭(708)이 전단면(706)과 기판(310)의 피도표면사이에 이미 설명된 바와 같이 형성되어 있다.

도포액유출구(704)의 유출구(710)은 전단면(706)에서 개구되고 유입구(712)는 전단면(706)의 하단보다도 더욱 낮은 위치에서 도입액탱크(700)으로 개구되어 있다. 도입액탱크(700)을 기판(310)에 대해서 상대적으로 이동하거나, 그 탱크를 기판(312)로부터 상대적으로 분리하기 위한 기구가 상술한 실시예에서 사용된 것들 중 하나와 동일하게 될 수 있다.

도포액탱크(700)의 전단면(706)과 기판(310)의 피도포면 사이의 갭(708)의 크기 G는 도포품질에 큰 영향을 준다. 크기 G는, 예들들어, 도포액탱크(700)의 이동속도, 도포액(322)의 유동성 및 그 재료값, 기판(310)의 피도포면의 습윤성 및 전단면(706) 피도포면의 습윤성을 고려해서 모세관 현상을 이르키는 범위내에서 선택된다. 크기 G를 선택함에 있어서, 도포액의 사용효율과 갭(708)에서의 풀(714)를 유지하는데 있어서의 안정성이 역시 고려될 수 있다.

도입액유출로(704)의 크기는 적어도 모세관 현상에 의해서 도입액탱크(700)으로부터 갭(708)로의 도포액(322)의 흐름과 적어도 모세관 현상에 의해서 갭(708)내의 스트립형상의 풀(714)의 형성이 확보되도록 선택되어 진다. 또한 도포액유출로(704)의 크기는 도포의 개시에서도 만족할 만한 도포막을 형성하여 주도록 하는 범위내에서 설정되어야 한다.

도포액탱크(700)의 전면벽부(702)의 전단면(706)보다도 다른 전면벽부(716)이 적어도 모세관 현상에 의해서 전면벽부(716)과 기판(310)의 피도포면 사이에서 형성되는 갭으로 풀(714)내의 도포액이 흐르지 않도록 형성되어 있다. 따라서, 갭(708)내의 풀(714)는 전단면(706)의 하단에 의해서 규제되는 그의 하단을 가진다. 풀(714)의 상단은 전단면(706)의 상단에 의해서 규제된다. 그래서 압력설정시스템(400)에 의한 도포액탱크(700)내의 압력의 설정은 폴(714)내의 도포액이 갭(708)로부터 외부로 결코 유출하지 않도록 확보하여야 한다.

압력설정시스템(400)이 이와 같은 방법으로 설치되는 경우, 기판(310)은 도면에서 표시된 바와 같이, 항상 수직으로 유지할 필요는 없다. 예를들면, 기판(310)은 피도포면이 대향하도록 적절한 각도만큰 상방향 또는 하방향으로 경사될 수 있고 그 경사각도는 상당히 크게 설정될 수 있으며, 이것은 압력설정시스템(400)이 있기 때문이다.

상술한 구조를 가지는 도포장치(690)은 다음과 같이 작동한다. 기판(310)이 예를들어 진공흡착에 의해서 스테이지(310)내에 고정된다. 제49도에 도시된 바와 같이, 도포액(322)는 도포공급시스템(402)로부터 도포액탱크(700)으로 공급된다. 도포액(322)의 공급량은 도포액의 액면이 도포액유출구(704)에 유출구(710)과 전단면(706)의 하단사이에 위치되도록 결정된다. 보다 더 구체적으로는 제47도에 도시된 검출기(414)를 사용함으로써 도포액의 액면을 검출하면서 액면이 제49도의 범위 D1내에 있게 되도록 도포액이 도포액탱크(700)으로 유입된다.

이때에, 도포액이 공급될 때 증가된 도포액탱크(700)내의 압력 때문에, 그렇지 않을 경우, 도포액유출로(704)를 통해서 탱크밖으로 유출되어지는 도포액탱크내의 도포액을 유지하도록 압력설정시스템(400)의 스위치밸브(404)를 조정함으로써 도포액탱크(700)가 외부에 통하여 지게 되어도 된다.

도포액(322)의 설정량이 도포액탱크(700)으로 유입될 때 도포액(322)는 적어도 모세관 현상에 의해서 도포액유출로(704)를 통해서 상승해서 유입구(710)의 위치에 도달하게 된다. 도포액(322)는 기판(310) 피도포면과 도포액탱크(700)의 전단면(706) 사이에 형성된 갭(708)에 유입되어 적어도 모세관 현상 때문에 갭(708) 전체에 걸쳐 퍼진다. 압력설정시스템(400)에 의해서 도포액탱크(700)내의 압력을 적절히 조절하여 전단면(706)의 상단 및 하단에서의 도포액의 흐름을 규제함으로써 도포액의 스티립형상의 풀(714)가 기판(310)의 폭방향에 따라서 형성된다. 풀(714)는 도포액유출로(704)를 통해서 도포액탱크(700)내의 도포액(322)와 연통되어 있다.

도포개시위치에서 최초로 풀(714)를 형성하기 위한 방법은 상술한 방법에 한정되지 않는다. 하나의 가능한 방법은 압력설정시스템(400)을 사용함으로써 도포액탱크(700)의 내측을 가압하여 풀(714)에 부분을 강제적으로 형성시키는 것이다. 그 후, 도포액탱크(700)내의 압력이 도포유출로(704)을 통해서 탱크로부터 도포액의 유출을 강제적으로 방지하는 압력으로 설정된다. 이것은 스트립형상의 풀(714)를 형성하여 주게한다. 또 하나의 가능한 방법은 도포액탱크(700)내의 압력을 증가함으로써 도포액(322)을 갭(708)로 공급하여 강제적으로 풀(714)을 형성시키는 것이다. 또 하나의 다른 가능한 방법은 스트립형상의 풀(714)의 개시때부터 스트립형상의 풀(714)의 형성때까지 도포액탱크(700)을 외부와 통하게 하는 것이다.

어느 경우에서나, 스트립형상의풀(714)가 형성된 시점에서부터 최후까지, 후술한 바와 같이, 도포 과정 동안 전단면(706)의 단부로부터 도포액의 유출을 방지하고 도포액탱크(700)으로부터갭(708)내의 풀(714)로 충분한 양의 도포액(322)을 공급하여 주도록 하는 값으로 도포액탱크(700)내의 압력이 설정되어야 한다.

스트립형상의 풀(714)가 갭(708)내에서 형성될 대, 도포액탱크(700)이 전단면(706)과 기판(30)의 피도포면 사이의 크기 G를 가지는 갭(708)을 유지하면서 기판의 길이방향(제46도의 화살표 a에 의해서 표시된 방향)으로 이동된다. 도포액탱크(700)이 제46도의 이점쇄선에 의해서 표시된 위치로 이동되고 전단면(706)의 상단이 기판(310)의 도포를 요하는 영역 밖으로 벗어난 후에 도포액탱크(700)이 중지된다. 도포액탱크(700)이 기판(310)의 상당부근으로부터 하단의 부근까지 이동될 때에, 풀(714)내의 도포액이 기판(310)의 도포를 요하는 영역과 접하게 되어서, 도포막(718)이 제49도에 도시된 바와 같이 형성된다.

도포의 과정동안 갭(708)의 풀(714)내의 도포액이 기판(310)의 표면에 도포되어서 소비된다. 도포액의 소비량에 상응하는 도포액의 량이, 적어도 모세관 현상에 의해서, 도포액 유출로(704)를 통해서 도포액탱크(700)으로부터 갭(708)로 공급되어서, 갭(708)내에 풀(714)의 도포액량이 일정하게 유지된다.

도포가 완료될 때, 기판(310)이 스테이지(312)로부터 꺼내 진다. 이때에 도포액탱크(700)이 스테이지(312)로부터 멀어지는 수직방향으로 이동되거나 또는 스테이지(312)가 도포액탱크(700)으로부터 수평방향으로 멀어지는 방향으로 이동될 때 기판(310)이 용이하게 꺼내어 질 수 있다. 기판(310)이 스테이지(312)로부터 꺼내어지고 나서 동작은 다음 기판(310)의 도포를 위하여 제1단계로 복귀된다.

도포 종료에서 도포액탱크(700)이 스테이지(312)로부터 떨어져 이동될 때, 갭(708)이 넓어져서 풀(714)가 파괴되어 버린다. 풀(714)내의 도포액이 도포액탱크(700)의 전단면(706)과 기판(310)의 피도포면상에 부착되면서 아래로 떨어져서, 도포액은 그 다음의 도포에 대해서 사용될 수 없다. 도포액을 절약하기 위해서 스테이지(312)로부터 도포액탱크(700)이 떨어져 이동하기 전에, 도포액유출로(804)를 통해서 도포액탱크(700)로 갭(708)내의 풀(714)의 도포액을 회수하도록 도포액탱크(700)내의 압력이 압력설정시스템(400)을 사용함으로써 감소될 수 있다. 도포액의 회수시에 도포액유출로(704)의 유출구(710)로부터 전단면(706)의 상단까지의 전단면(706)의 범위는 기판(310)의 하단부로부터 벗어나지 아니하여야 한다. 또한 스테이지(310)과 도포액탱크(700) 사이의 위치관계는 갭(708)이 전단면(706) 및 기판(310)의 피도포면 사이에 형성되도록 유지되어야 한다.

[제18실시예]

제50도는 제18실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크(740)의 수직단면도이다. 도포액탱크(740)은 제17실시예의 도포액탱크(700) 대신에 사용될 수 있다.

제50도에 도시된 도포액탱크(740)에서 도포액유출로(744)의 유출구(750)과 유입구(752)의 사이의 위치관계는 제49도의 도포액탱크(700)의 도포액유출로(704)에 유출구(710)과 유입구(712) 사이의 위치관계와 다르다. 도포액탱크(740)에서 전면벽부(742)는 전면벽부(742)의 전단면(746)의 하단이 도포액유출로(744)의 유입구(752) 보다 더 낮게 위치되어 있다.

도포액의 액면이 도포액유출로(744)의 유입구(752)와 유출구(750)사이의 범위 D2 이내에 위치하도록 도포액(332)가 도포액탱크(740)으로 유입된다. 도포액탱크(740)으로부터 도포액유출로(744)를 통해서 갭(748)로 유입되는 도포액은 갭(748)내에 풀(754)을 형성한다. 풀(754)의 하단이 전단면(746)의 하단에 의해서 규제된다. 풀(754)의 상단은 전단면(746)의 상단에 의해서 규제된다. 갭(748)로부터 풀(754)내의 도포액의 유출을 방지하기 위해서, 도포액탱크(740)내의 압력이, 제50도에 도시되어 있지는 않는, 압력설정시스템(400)에 의해서 조정된다.

제17실시예의 도포장치에 있어서와 같은 동일한 효과가 제50도의 도포액탱크(740)이 사용될 때 얻어질 수 있다.

[제19실시예]

제51도는 본 발명의 제19실시예에 따른 도포장치에 있어서 사용되는 도포액탱크(700)의 단면도이다.

도포액탱크(700)의 구조는 제49도에 도시된 도포액 탱크(700)과 동일하다. 제51도 및 제49도에서 동일한 구성부분은 동일한 인용문자에 의해서 표시되고 동일한 명칭으로 사용되어 있다. 그들은 동일한 기능을 가진다. 따라서 이들에 대한 상세한 설명은 반복되지 않는다.

제19실시예에 따른 도포장치는 도포액(322)액면이 도포액유출로(704)의 유출구(710)보다 더 높게 위치되도록 도포액(322)가 도포액탱크(700)으로 도입되는 제17실시예의 도포장치와 다르다. 도포액탱크(700)내의 압력을 조정하기 위한 압력설정시스템(400)을 설치함으로써 도포액(322)는 도포액탱크(700)을 통해서 제49도에 도시된 바와 같은 방법으로 유입될 수 있다.

[제20실시예]

제52도는 본 발명의 제20실시예에 따른 도포장치에서 사용되는 도포액탱크(700)의 단면도이다. 도포액탱크(700)은 또한 제51도 및 제49도에서 도시된 도포액탱크(700)과 동일한다. 제20실시예에 따른 도포액장치에서 도포액(322)는 도포액의 액면이 전면벽부(707)의 전단면(706)의 상단위에 위치되도록 도포액탱크(700)으로 유입된다. 이 경우에 있어서도 역시 도포액탱크(700)내의 압력이 도시는 되어 있지 않지만 풀(714)로부터 도포액의 유출을 방지하도록 압력설정시스템(400)을 사용함으로써 조정된다.

[제21실시예]

제53도는 본 발명의 제21실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 수직단면도이다. 제21실시예에 따른 도포장치(760)은 도포액탱크(700) 대신에 도포액탱크(770)을 포함하고 있는 점에서 제17실시예 내지 제20실시예의 도포장치와 다르다. 도포액탱크(770)은 전면벽부(772)와 전면벽부(772)로부터 돌출되는 전단면을 가진다. 도포액유출로(774)가 전단면에서 개구부를 가지도록 도포액탱크(770)으로부터 수평방향으로 전면벽부(772)를 통해서 형성되어 있다. 도포액탱크(770)에서 도포액(322)가 그 액면이 도포액유출로(774)보다 더 높게 위치되도록 유입된다. 도포액탱크(770) 역시 다른 실시예에서와 같이 화살표 a의 방향으로 이동가능하며 전단면과 기판(310)의 피도포면 사이의 갭의 크기가 일정하게 유지된다. 제53도에 도시된 이 실시예의 장치의 다른 부분은 제17실시예의 상응하는 부분과 같으며 따라서 그들에 대한 상세한 설명은 반복되지 않는다.

[제22실시예]

제54도는 본 발명의 제22실시예에 따른 도포장치에서 사용되는 도포액탱크(780)의 단면도이다. 제54도에 도시된 도포액탱크(780)은 전면벽부(782)로부터 돌출되게 형성된 전단면(786)과 도포액(780)으로부터 하향으로 경사져서 전단면(786)상의 유출구(790)과 같이 개구되는 도포액유출로(784)를 가진다. 도포액유출로(784)는 도포액탱크(780)내의 유입구(792)에서 개구되어 있다. 전단면(786)의 하단은 도포액유출로(784)의 유출구(790)보다 더 낮게 위치되도록 형성되어 있다. 유입구(792)의 위치에 대해서는, 제54도의 전단면(786)의 상단과 같은 대략 위치로서 표시되어 있다. 그러나 그 위치보다 더 높거나 더 낮게 되어도 된다. 도포액 탱크(780)으로 도포액(322)가 그 액면높이가 유입구(792)보다 더 높게 위치되도록 유입된다.

이와 같은 도입액 탱크(780)에서도 역시 풀(794)가 도입액유출로(784)을 통해서 전단면(786)과 기판(310)의 피도포면 사이의 갭(788)로 흐르는 도포액에 의해서 형성된다. 풀(794)의 상단은 전단면(786)의 상단에 의해서 규제되고, 그 하단은 전단면(786)의 하단에 의해서 각각 규제된다. 도포액탱크(780)내의 압력이 갭(788)로부터 풀(794)내의 도포액의 유출을 방지하도록 도시하지 않은 압력설정시스템에 의해서 설정된다. 제22실시예에 따른 도포액장치의 다른 부분은 제17실시예의 상응하는 부분과 동일하다. 따라서 이들에 대한 상세한 설명은 반복되지 않는다.

그리고 제17실시예 내지 제22실시예에 따른 도포자치에서 갭(708,748,788)내의 풀(714,754,794)의 상단이 도포액탱크(700,740,780)의 전단면(706,746,786)의 상단에 의해서 규제된다. 따라서 예로서 제17실시예를 참조해서 설명되는 다음과 같은 문제점의 가능성이 있다.

제55도를 참조하면, 도포액탱크(700)을 하방으로 이동함으로써, 기판(310)의 표면으로 도포액을 도포하는 과정에 대해서 고려하여 본다. 그 경우에 전단면(706)과 기판(310)의 피도포면 사이의 갭(708)의 크기가 일정하지 않을 가능성이 있다.

이것은 기판(310)의 피도포면의 기복, 기판(310)의 폭방향에 따른 피도포면의 기복 또는 도포액탱크(700)이 하향으로 이동될 때 이동에 있어서의 정밀성의 기복에 의해서 야기될 수 있다.

제55도를 참조하면, 기판(310)의 피도포면과 전단면(706)사이의 갭은 보다 크게 되는 것도 가능하다. 그 경우에 전단면(706)과 피도포면사이에 끼워지는 공간의 체적이 증가된다. 그때 제56도에 도시된 바와 같이 갭(708)의 크기가 감소되고 전단면(706) 및 피도포면 사이에 끼워지는 스테이지의 체적이 감소되는 것을 가정한다. 이때에 도포액의 일부분은 갭(708)내의 풀(714)로부터 전단면(706)의 상단을 넘어서 밖으로 흐르는 것이 가능하다. 따라서 풀(714)의 상단에서의 미니스커스는 안정된 막두께를 유지하도록 협조되지 않게 될 수 있으며, 그 결과 막두께가 불균일한 것과 같은 막두께의 품질 저하가 발생한다.

제57도를 참조하면, 풀(714)가 도포액탱크(700)의 전단면(706)과 기판(310)의 피도포면사이의 갭(708)내에 형성되고, 도포액탱크(700)을 하방으로 형성함으로써 개시되는 경우에, 풀(714)내의 도포액이 전단면(706)의 상단을 넘어 외부로 흘러나가는 것이 가능하다. 이 경우에 있어서도, 역시 풀(714)의 상단에서의 미니스커스의 상태가 허용될 수 없게 되며, 이로 인하여 형성되는 도포막의 품질이 나쁘게 된다.

[제23실시예]

제58도는 상술한 문제를 해결할 수 있는 도포장치(800)의 개략적인 구성을 나타낸 것이다. 제58도 내지 제61도에서 상술한 실시예의 것과 같은 동일한 구성이 동일한 인용문자에 의해서 표시되고 동일한 명칭으로 사용된다. 그들은 동일한 기능을 가진다. 따라서 이들에 대한 상세한 설명은 반복되지 않는다.

제23실시예의 도포장치(800)은 다른 실시예에서 사용되는 도포액탱크 대신에 도포액탱크(810)이 사용되고 있는 점에서 다른 실시예와 다르다. 도포액탱크(810)은 전면벽부(812)의 전단면(816)의 상단의 위치에 있어서 다른 실시예의 도포액탱크와 다르다. 제61도를 참조하면, 전단면(816)과 기판(310)의 피도포면이 무한하게 상방향으로 연재되는 것을 가정할 때, 도포액탱크(810)에서 전단벽부(812)는 전단면(816)의 상단이 적어도 모세관 현상 때문에 갭(818)내에서 도포액이 상승할 때, 갭(818)내의 도포액에 의해서 도달되는 최대높이보다도 더 높은 높이에 위치된다. 제17실시예의 도포액탱크에 있어서와 같이, 전면벽부(812)는 전단면(816)의 하단이 도포액유출로(814)의 유입구(822)와 유출구(820)사이의 높이에서 위치되도록 형성된다.

도포액탱크(810)으로, 도포액(322)가 도포액공급시스템(402)으로부터 공급된다. 공급되는 도포액의 양은 도포액(322)의 액면이 도포액유출로(814)의 유출구(820)과 전단면(816)의 하단 사이에 위치되도록, 검출기(414)로 액면을 검출하면서 조정된다.

도포액(322)의 소정설정량이 도포액탱크(810)으로 유입될 때 도포액(322)는 도포액 유출로(814)를 통해서 적어도 모세관 현상 때문에 도포액탱크(810)으로부터 갭(818)로 흐른다. 이때에 도포액탱크(810)내의 압력이 압력설정시스템(400)에 의해서 적절하게 조정될 때 갭(818)내에 형성된 풀(824)의 하단이 전단면(816)의 하단에 의해서 규제되어, 도포액이 그것으로부터 방울져 떨어지지 않게 된다. 또한 풀(824)에 상단은 전단면(816)의 상단보다도 더 낮게 위치 되어지며, 갭(818)내의 풀(824)위에 도포액을 포함하지 않는 공간이 형성되어 있다. 이때에 풀(824)의 상단과 하단에 미니스커스가 형성된다.

제23실시예의 도포장치가 제17실시예의 도포장치와 유사한 방법으로 동작한다. 그러나 제58도를 참조하면, 도포액탱크(810)이 이점쇄선에 의해서 도시된 기판(310)의 하단 가까이에 위치에서 정치될 대, 캡(818)내의 풀(824)의 상단이 도포를 필요로 하는 기판(310)의 면의 영역보다도 더 낮게 위치되는 것이 필요하다.

이 제23실시예의 도포장치가 사용될 때, 도포액탱크(810)의 전단면(816)과 기판(310)의 피도포면 사이의 갭(818)내에 형성된 풀(824)의 상단이 전단면(816)의 상단보다더 낮게 위치된다. 풀(824)위에 도포액을 전혀 수용하지 않는 공간(826)이 형성되어 있다. 따라서 제55도 내지 제57도를 참조하여 설명된 문제가 이 도포장치에서 일어나지 않게 된다. 보다더 구체적으로 말하면, 도포액탱크(810)의 전단면(816)과 기판의 피도포면 사이에 끼워진 공간의 체적이 변경되더라도 일어나게 되는 것은 다만 전단면(816)의 상단에 대해서 풀(824)의 상단의 상방향 및 하방향으로의 상대적인 이동이다. 도포액은 전단면(816)의 상단 넘어로 결코 흘러나가지 않는다. 또한 도포개시시에서도 도포액은 갭(818)의 풀(824)으로부터 외부로 유출하지 않는다. 제23실시예의 도포액탱크(810)에서 전단면(816)은 전체가 전방으로 돌출하는 도포액탱크(810)의 전단벽부(812)의 상부에 의해서 형성되어 있다. 그러나 충분히 높게 만들어진 전단면의 높이로 제17실시예에서 도시된 도포액탱크(700)의 것과 거의 동일한 형상을 가진 전면벽부를 가지는 도포액탱크에 있어서도 동일한 효과가 얻어질 수 있다.

상술한 실시에서 기판(310)의 피도포면이 어떠한 기복없이 균일한 평면이라는 것을 가정한 것이다. 표면과 도포액탱크(810)의 사이의 갭(818)이 전단면(816)의 상방향 및 하방향의 전체에 걸쳐 동일한 크기를 가진다. 그러나 본 발명의 이들 실시예에 관해서 특별히 설명하고자 하는점은 그와 같은 상황에서만 적용될 수 있는 것은 아니다. 예를 들면, 전면벽부(812)의 형상은 갭(818)이 전단면(816)의 하단으로부터 상단까지 보다더 넓게 되도록 선택되어도 된다.

도포막이 상술한 도포장치를 사용함으로써 기판(310)의 표면상에 형성되어 질 때 도포막의 두께는 도포액탱크(810)의 이동속도 갭(818)의 크기 G, 도포액(322)의 유동성 및 제로값, 기판(310)의 피도포면의 상태 및 도포액탱크(810)의 전단면(816)의 표면상태에 따라 다르게 결정된다. 도포막의 두께의 변동을 억제하기 위해서 도포액탱크(810)의 이동속도 및 갭(818)의 크기 G가 허용범위 내에 있더록 조정하면서 도포가 수행되어야 한다.

도포막두께를 결정하는 요인중의 하나는 도포액탱크(810)의 이동속도이다. 그러나 제23실시예에 따른 도포장치에 있어서, 정확히 말하면, 도포액탱크(810)의 이동속도는 풀(824)의 상단부의 이동속도와 다르다. 이 경우에 도포막의 두께를 결정하는 요인중의 하나는 풀(824)의 상단에서의 미니스커스의 이동속도이다.

더욱 구체적으로는, 도포액탱크(810)이 갭의 크기 G를 일정하게 유지하면서 이동될 때, 이상적으로, 갭(818)내의 풀(824)의 상단의 이동속도도 도포의 개시에서를 제외하고는 도포액탱크(810)의 이동속도와 같게 된다. 그러나, 실제로는, 풀(824)의 상단에서의 미니스커스는 예를 들어, 상술한 바와 같이 기판(310)의 피도포면의 기복 대문에 갭(818)내에서 상방향 또는 하방향으로 이동한다. 따라서 도포액탱크(810)의 이동속도는 풀(824)의 상단에서의 미니스커스 이동속도와 동일하지 않다.

도포앨탱크(810)이 일정속도에서 이동된다 하더라도, 풀(820)의 상단에서의 미니스커스의 이동속도는 실질적으로 일정하지 않는다. 그러나 제23실시예에 따라, 제4실시예에서와 같이 풀(824)내의 도포액이, 이것은 도포액 두께에 나쁜 영향을 주는 것이지만, 제56도 및 제57도에 도시한 바와 같이 도포과정이나 도포의 개시시에서 도포액탱크(810)의 전단면의 상단 위로 흘러나가는 것을 피하는 것이 가능하며, 그래서 도포막두께에서 변동이 없게 될 수 있다.

또한, 제61도에 도시된 바와 같은 도포액탱크(810)을 사용하는 제23실시예에 따라 갭의 크기 G가 0.1㎜ 내지 0.3㎜의 범위에 있게 될 때 얻어지는 도포막의 두께가 일정한 값에서 안정된다는 것이 본 발명자에 의해서 확인되었다. 필수적인 것은 갭 크기 뿐만 아니라 갭에 형성된 미니스커스의 형상이다. 미니스커스의 형상은 갭의 크기에 의해서 규제된다. 그것은 갭의 크기가 상술한 바와 같이 결정되어야 한다는 이유이다.

그리고, 도포액이 기판(310)의 하단측에서 도포액탱크(810)의 전단면(816)과 피도포면 사이의 갭(818)내에 형성된 풀(824)의 상단이 기판(310)의 피도포면의 하단이하로 내려가게 될 때까지 기판(310)에 도포되는 것을 가정한다. 도포액유출로(814)의 유출구(820)이 어떠한 시점에서 기판(310)의 피도포면의 하단보다도 더 낮게 이르게 된다. 그후 도포액(322)가 도포액유출로(814)로부터 갭(818)내의 풀(824)로 적어도 모세관 현상에 의해서 공급되지 않게 된다. 따라서 도포액탱크(810)이 훨씬 아래방향으로 이동될 때, 그리고 풀(824)의 상단이 기판(310)의 피도포면 하단보다도 더 낮게 이르게 될 때, 풀(824)내의 도포액은 소비만 되지 보충되지 않는다. 따라서 이 기간에 풀(824)의 상단에서의 미니스커스의 속도는 도포액의 소비에 의해서 야기되는 풀(824)의 상단에서의 미스커스를 낮추는 속도와 도포액탱크(810)의 하방으로의 이동속도와의 합이다.

그 결과로써 무효한 영역이 후술하는 바와 같이 기판의 하단측면에서 형성된다. 제61도를 참조하면, 도포액유출로(814)의 유출로(820)으로부터 풀(824)의 상단에서 까지의 거리가 L2에 의해서 표시된다. 기판(310)의 피도포면의 하단으로부터 거리 L2에 의해 상부까지의 범위내에서는 도포막의 두께는 설정된 허용범위를 벗어난다. 따라서 전술한 무효영역이 형성된다.

제49도를 참조하면, 도포액유풀로(704)의 유출구(710)과 제17실시예의 전단면(706)의 상단부 사이의 거리 L1이 거리 L2와 비교될 대 갭으 크기 G가 동일하다고 하면 L2L1이다. 따라서, 기판은 제23실시예에 따라 도포액탱크(810)을 사용하여 도포될 때, 기판(310)의 하단측에 형성된 무효영역이 제17실시예의 도포액탱크(700)을 사용함으로써 형성되는 영역과 비교해서 더 크게된다. 따라서 일정한 두께를 갖는 두께막이 다른 부위에서 얻어질 수 있다 하더라도 유효하게 사용되는 기판의 영역은 더욱 어 좁게 된다.

[제24실시에]

제24실시예에 따른 도포장치에서 상기와 같은 문제가 해결될 수 있다. 제62도는 제24실시예에 따른 도포액탱크(830)을 나타낸 것이다. 제24실시예의 도포액장치는 제23실시예의 도포액탱크(810) 대신에 제62도에 도시된 도포액탱크(830)을 가진다. 제24실시예에 따른 도포장치의 다른 부위는 제17실시예 및 제23실시예에 따른 장치의 상응하는 부분과 동일하다. 따라서 이들에 대한 상세한 설명은 반복되지 않는다.

제62도를 참조하면, 제24실시예에 따른 장치의 도포액탱크(830)에서 전면벽부(832)의 전단면하부(836A)와 전단면하부(836A)보다 뒷쪽으로 더 들어간 전단면상부(836B)를 가지도록 단위져 있다.

전단면하부(836A)와 스테이지(312)에 의해서 지지되는 기판(310)의 피도포면사이에 형성된 하부갭(838A)의 크기 G는 상술한 제17실시예 및 제23실시예에서의 갭(708,818)의 크기 G와 동일하다. 전단면상부(836B)와 피도포면사이에 형성된 상부갭(838B)의 크기 G2는 크기 G1보다 더 크다. 도포액유출구(834)의 유출구(840)이 전단면하부(836A)와 전단면상부(836B)사이의 경계면에 위치되도록 형성되어 있다. 전면벽부(832)의 전단면하부(836A)의 하단은 도포액유출로(834)의 유출구(840)와 유입구(842)의 사이에 높이에 위치되도록 형성되어 있다.

전면벽부(832)의 전단면상부(836)의 상단이 다음과 같은 방법으로 결정된다. 전단면상부(836B)와 기판(310)의 피도포면이 무한히 상방향으로 연재된다고 가정한다. 이때에 상부갭(838B)는 무한히 상방향으로 연재된다. 도포액은 도포액유출로(834)를 통해서 상부갭(838B)로 유입된다. 도포액은 적어도 모세관 현상 때문에 상부갭(838B)에서 상승하지만 중력에 의해서 규제되어 어떠한 최대의 높이에 이르게 된다. 전단면상부(836B)의 상단이 도포액에 의해서 도달되는 최대의 높이 보다도 더 높은 위치에 형성된다.

도포액(322)가 도포액탱크(830)으로 도입되고 그의 액면이 도포액유출로(834)의 유출구(840)과 전단면하부(836A)의 하단 사이에서 위치되도록 조정된다. 도포액탱크(830)에서의 압력은 압력설정시스템(400)에 의해서 적절히 조정된다. 도포액탱크(830)으로부터 도포액 유출로(834)를 통해서 갭(838A,838B)로 유입되는 도포액은 풀(844)을 형성한다. 풀(844)의 하단이 전단면 하부(836A)의 하단에 의해서 규제된다. 풀(844)의 상단이 전단면상부(836B)의 상단보다 더 낮게 위치된다. 그 결과로써, 도포액을 전혀 수용하지 않는 공간(846)이, 상부갭(838B)내의 풀(844)의 위에, 형성된다.

제62도에 도시된 도포액탱크(830)에서 크기 G2는 크기 G보다도 더 크다. 도포액유출로(834)의 유출구(840)으로부터 상부갭(838B)내의 풀(844)의 상단가지의 거리가 L3로 표시될 때, 제61도에 도시된 바와 같은 거리는 L3L2와의 관계에 있다. 제62도에 도시된 도포액탱크(830)을 가지는 도포장치가 사용될 때 기판(310)의 피도포면의 하측단부측에 형성되는 무효영역이 제61도에 도시된 도포액탱크(810)을 가지는 도포장치가 사용될 때 보다도 더 작게 만들어질 수 있다. 따라서 유효하게 사용될 수 있는 기판의 영역이 넓게 될 수 있다.

제62도에 도시된 도포액탱크(830)에서 하부갭(838A)의 크기 G는 제17실시예의 도포액탱크(700)이나 제23실시예의 도포액탱크(810)이 사용될 때의 갭의 크기는 G와 같다. 따라서, 유출구(840)으로부터 전단면하부(836A)의 하단부까지의 범위내에서의 풀(844)내의 도포액이 아래로 내려흐른다 하더라도 도포액탱크(830)의 도포액유출로(834)의 유출구(840)이 기판(310)의 하측면상에서 기판(310)의 피도포면의 하단에 이르기까지 도포액이 도포될 때, 그 양은 한정되어 있으며, 따라서 도포액의 사용에 있어서의 효율감소가 최소화될 수 있다. 또한 갭(838A,838B)내에서의 풀(844)를 안정하게 유지하는 것이 가능하다.

[제25실시예]

제63도는 본 발명의 제25실시예에 따른 도포장치의 도포액탱크(850)을 나타낸 것이다. 도포액탱크(850)에서 전면벽부(852)는 전단면하부(856A)와 전단면상부(856B)로 나뉘어져서 층이진 면을 설치하는 전단면을 가지고 있다. 전단면의 하부(856B)는 전단면의 하단으로부터 도포액유출로(854)의 유출구(860)의 약간위의 위치까지 연장한다. 전단면상부(856B)는 유출구(860)의 약간 위로부터 전면벽부(852)의 상단에 까지 연장하며, 전단면하부(856A)보다 후방으로 들어가 있다. 이미 설명한 바와 같이, 도포액유출로(854)의 유출구(860)은 전단면하부(856A)에서 개구되어 있다.

제63도에 도시된 도포액탱크(850)의 다른 부분은 제62도에 도시된 도포액탱크(850)의 것들과 동일하다. 전단면상부(856B)의 상단의 위치는 제62도의 전단면상부(836B)와 똑같은 방법으로 결정된다. 전단면하부(856A)와 기판(310)의 피도포면사이의 하부갭(858A)의 크기 G는 제62도에 도시된 하부갭(838A)의 크기 G와 동일하다. 전단면상부(856B)와 피도포면 사이의 상부갭(858B)의 크기 G3는 하부갭(858A)의 크기 G보다도 더 크게 되게 설정된다. 전단면하부(856A)의 하단이 도포액유출로(854)의 유출구(860)과 유입구(862)사이의 높이에서 위치된다.

도포액탱크(850)으로 도포액(322)가 그 액면이 도포액유출로(854)의 유출구(860) 및 전단면하부(856A)의 하단사이의 높이에서 위치되도록 유입된다. 도포액탱크(850)내의 압력은 압력설정시스템(400)에 의해서 적절히 조절된다. 도포액은 도포액유출로(854)를 통해서 도포액탱크(850)으로부터 갭(858A,858B)로 유입된다. 도포액은 폴(864)를 형성한다. 폴(864)의 하단이 전단면하부(856A)의 하단에 위치된다. 상단은 전단면상부(856B)의 상단보다도 더 낮게 위치된다. 상부갭(858B)에서 전혀 도포액을 수용하지 않는 공간(866)이 풀(864)위에 형성된다.

제63도에 도시된 도포액탱크(850)에서 도포액유출로(854)의 유출구(860)으로부터 풀(864)의 상단까지의 거리가 L4로서 표시된다. 거리 L4 및 제61도에 도시된 L2 사이에는 L4L2가 유치된다. 제63도에 도시된 도포액탱크(850)이 사용될 때 제62도의 도포액탱크(830)에 얻어질 수 있는 동일한 효과가 얻어질 수 있다.

제62도 및 제63도에 의해서 전단면인 두 개의 면을 가진 층이진 면이다. 그러나, 본 발명의 이와 같은 양태는 제62도 또는 제63도에 도시된 바와 같은 형태를 가지는 도포액탱크에 한정되지 않는다. 예로서 전단벽부는 세개 또는 그 이상의 면으로써 층이진 전단면을 가지며, 층이진 전단면의 각각과 기판의 피도포면 사이의 갭이 서로 다른 크기를 가지도록 형성된다. 또한 피도포면과 전단면 사이의 갬이 전단면의 상단으로 갈수록 점점 넓어지게 만들어지는 구조가 사용되어도 된다.

어느 경우에 있어서나 전단면과 기판의 피도포면사이의 갭의 크기는 풀내의 도포액의 안정을 유지할 수 있도록 선택된다. 더 구체적으로는, 전단면은 적어도 부분적으로 도포액탱크의 전단면과 기판의 피도포면 사이의 갭이 도포액유출로의 유출구보다 위에서 더 넓게 만들어지도록 형성되어도 된다.

제62도 및 제63도에 도시된 도포액탱크는 다음과 같은 방법으로 수정되어도 된다.

첫째, 제50도의 도포액탱크(740)에서와 같이 도포액탱크 전단면의 하단이 도포액유출로의 유입구 아래에 형성되고 도포액이 도로액탱크로 유입되어서 그에 액면이 도포액유출로의 유입구와 유출구 사이에 높이에 위치되도록 형성된다. 또한 제51도에 도시된 바와 같이, 도포액이 그의 액면이 도포액유출로의 유출구위에 위치되도록, 유입되어도 된다. 또한 제52도에 도시된 바와 같이 도포액은 그 액면이 전단면의 상단위에 위치되도록 도입액탱크로 유입되어도 된다. 제53도를 참조하면 도포액유출로는 도입액탱크의 전면벽부에서 수평으로 형성되어도 되며, 도입액이 그의 액면이 도입액유출로위에 위치되도록 도입액탱크로 유입되어도 된다. 또한 제54도에 도시된 바와 같이, 전단측면을 행해져 도포액탱크의 측면으로부터 아래방향으로 경사지는 도포액유출로가 도포액탱크의 전면벽부내에 형성되며, 전단면의 하단부가 유출로에 유출구보다도 더 낮게 형성되어도 되며, 도입액은 그 레벨이 그 도포액유출로의 유입구보다도 더 높게 위치되도록 도포액탱크에 유입되어도 된다.

[제26실시예]

도포액을 보다더 확실히 기판의 피도포면으로 도포하기 위해서 적어도 도포개시위치에서 도입액의 스트립형상이 풀이 도입액탱크에 전단면의 폭방향에 따라 형성되는 것이 필요하다. 따라서, 도포개시위치에서 스트립형상의 풀의 형성이 도입액탱크가 하향으로 이동하기 전에 확인된다면 더욱 편리하다. 그와 같은 기능을 가지는 도포장치가 이와 같이 설명된다.

제64도는 본 발명의 제26실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 수직단면도이고, 제65도는 그의 전면도이며, 제26실시예의 장치는 기판(310)을 지지하고 도포개시위치에 상응하는 위치에 형성된 관통공(544)을 가지는 스테이지(542)를 포함한다. 기판(310)은 LCD용의 그라스기판과 같이 투명기판이다. 도포액탱크는 제49도에 도시된 도포액탱크(700)이 사용될 수가 있다. 제64도에서 제49도의 이들과 상응하는 구성은 동일한 인용문자로 표시되고 동일한 명칭으로 사용된다. 그들은 동일한 기능을 갖는다. 따라서 이들에 대한 상세한 설명은 반복되지 않는다.

도포장치(870)에서 도포액탱크(700)의 전면벽부(702)의 전단면(707)은 스테이(542)내에 관통공(544)을 통해서 관측될 수 있다. 먼저, 도포개시위치에서 도포액이 도포액장치(810)을 사용함으로써 기판(310)의 피도포면으로 도포될 때 스트립 형상의 풀이 도포액탱크(700)의 전단면(706)과 기판(310)의 피도포면 사이의 갭(708)에서 기판(310)의 폭방향에 따라 확실히 형성되어 있는가 아닌가는 확인될 수가 있다. 그후 도포액탱크(700)은 도포 동안 하향으로 이동된다. 그 결과로, 도포액은 확실히 기판에 도포될 수 있다.

[제27실시예]

제66도는 제26실시예에 따른 도포장치(880)의 주요부의 측면도를 나타내는 것이며, 제67도는 이 실시예의 전면도이다.

도포액장치(880)은 기판(310)을 지지하며, 기판(310)의 길이방향 길이보다도 더 짧은 길이를 가지는 스테이지(312)를 포함한다.

이 경우에 있어서도 역시 기판(310)은 투명기판이어야 한다. 그테이지(312)는 도포개시위치이고, 스테이지(312)의 상단으로부터 돌출된 그의 상단부로서 기판(310)을 지지할 수 있다.

이 도포장치(880)에서 스테이지(312)의 상단부로부터 돌출한 상단부에서 기판의 피도포면이 반대측으로부터 관측될 수 있다. 따라서 도포개시위치에서 스트립형상의 풀이 기판의 피도포면과 도포액탱크(700)의 전단면(706) 사이의 갭(708)내에 형성되어 있는가 아닌가가 확인될 수 있다. 그후 도포액탱크(700)을 하방향으로 이동함으로써 도포가 확실히 또는 만족스럽게 수행될 수 있다.

스테이지(312)의 길이방향 길이는 기판(310)의 길이보다도 항상 더 짧게 할 필요는 없다. 필요한 것은 스테이지(312)가 스테이지 상단으로부터 돌출되어 있는 기판의 상단부를 가진 기판을 지지할 수 있는 것이다. 도시되어 있지는 않지만, 투명기판이 도포될 때 기판을 지지하는 스테이지의 도포개시위치에 상응하는 위치가 투명한 그라스와 같은 투명재료로 형성될 수 있다. 스테이지는 전체적으로 투명한 재료로서 형성될 수도 있다. 또한, 스테이지의 복수의 적절한 부분이 투명기판으로 형성될 수도 있다. 또한 복수개의 관통공이 스테이지의 적절한 위치에 형성될 수도 있다. 이 경우에 기판(310)의 피도포면과 도포액탱크(700)의 전단면(706)사이의 갭(708)내에 형성된 풀의 상태가 도포개시위치에서 뿐만 아니라 다른위치에서도 관측될 수도 있다.

상술한 실시예에서 풀이 형성되어 있느냐 아니냐는 조작자에 의해서 관측된다. 그러나 검출기가 조작자에 의한 눈으로의 감시 대신에 풀의 상태를 검출하기 위해서 설치될 수도 있다.

[제28실시예]

제68도는 기판이 퉁명하지 않는 때에도 도포개시위치에서 스트립형상의 풀의 형성을 확인하여 주는 본 발명의 제28실시예의 도포장치에서 사용되는 도포액탱크(890)의 확대수직단면도이다.

도포액탱크(890)의 기본적인 구조는 제62도에 도시된 도포액탱크(830)과 동일하다. 보다더 구체적으로는 도포액탱크(890)의 전면벽부(892)는 전단면의 하부(896A)와 전단면의 상부(896B)를 포함하는 층이진 전단면을 가지도록 형성되어 있다. 전단면 상부(896B)와 기판(310)의 피도포면 사이의 상부 갭(898B)의 크기는 전단면하부(896A)와 기판(310)의 피도포면 사이의 하부(898A)의 크기보다도 더 크게 만들어진다. 도포액유출로(894)의 유출구(900)은 전단면하부(896A)와 전단면 상부(896B)사이의 경계면에 위치되도록 형성된다.

전단면하부(896A)의 하단이 도포액유출로(894)의 유출구(900)과 유입구(902)사이의 높이에 위치된다. 전단면상부(896B)의 상단의 높이는 제61도에 도시된 도포액탱크(810)에서 전단면(816)의 상단의 높이와 똑같은 방법으로 결정된다.

도포액탱크(890)의 상부에 전후방향으로 통과되는 관통공(908)이 적어도 폭방향 부분에 형성되어 있다. 투명그라스판(910)이 개구를 접근하도록 관통공(908)의 전단면측에 조립되어 있다. 투명그라스판(910)의 전면벽부에 의해서 전면벽부(892)의 전단면 상부(896B)가 형성된다. 도포액탱크(890)을 가지는 도포액장치를 사용함으로써 도포액이 다음과 같은 방법으로 기판(310)의 표면에 도포된다. 도포액탱크(890)으로 도포액(322)가 그 액면이 도포액유출로(894)의 유출구(900)과 전단면 하부(896A)의 하단부 사이의 높이의위치되도록 유입된다. 도포액탱크(890)에서의 압력은 압력설정시스템(400)에 의해서 적절하게 조정된다. 도포액이 도포액탱크(890)으로부터 도포액유출로(894)를 통해서 갭(898A,898B)로 유입된다. 도포액은 풀(904)를 형성한다. 풀(904)에 하단이 전단면 하부(896A)의 하단에 위치된다. 상단은 전단면상부(896B)의 상단보다도 더 낮게 위치된다. 상부갭(898B)에서 풀(904)위로 도포액을 전혀 수용하지 않는 공간(906)이 형성된다. 관통공(908)의 이면측으로부터 앞으로 보면, 풀(904)의 상단부에 투명그라스판(910)을 통해서 관측될 수 있다. 도포개시위치에서 풀(904)에 성공적인 형성이 확인된 후에 도포액탱크(890)은 하방향으로 이동된다. 따라서 도포가 확실하고 만족스럽게 수행될 수 있다.

또한 제68도에 도시된 도포액탱크(890)을 사용하는 도포액장치에 의해서, 풀(904)의 적어도 상단부의 상태가 이롭게 도포개시 위치 뿐만 아니라 다른 위치에서 어느때라도 관측될 수 있다. 이 도포장치는 기판(310)이 투명한 것이냐 아니냐에 관계없이 유효하게 사용될 수 있다.

[제29실시예]

풀의 상단면의 관측을 허용 해주는 도포액탱크의 구조는 제68도에 도시된 것에 한정되지 않는다. 제69도는 또하나의 예를 나타낸 것이다.

제69도는 본 발명의 제29실시예에 따른 도포장치의 부분수직확대단면도이며, 이 장치에서 도포책탱크(920)이 거의 전면벽부가 전단면하부(926A)와 전단면상부(926B)를 포함하는 층이진 전단면을 가지고 있도록 형성되어 있다. 전단면상부(926B)와 기판(310)의 피도포면 사이의 상부갭(928B)의 크기는 전단면하부(926A)와 피도포면 사이의 하부갭(928A)의 크기보다도 더 크게 만들어진다. 도포액유출로(924)는 수직으로 형성되어서 전면벽부(922)를 통해서 지나가며, 전단면 하부(926A)와 전단면상부(926B) 사이의 경계면에 위치되는 유출구를 가진다.

도포액탱크(920)은 전단면의 상부에 전단면으로부터 연재해서 상방향으로 구부려지고 적어도 폭방향의 일부에서 형성되는 관통공(938)을 가진다. 관통공(938)의 전단측면상에 투명한 그라스판(940)이 그 개구부가 근접되도록 맞춰져 있다. 투명그라스판(940)의전면벽부는 전단면상부(926B)를 형성한다. 반사밀러(942)가 관통공(938)의 굴곡부에 배열되어 있다. 따라서 관통공(938)의 상측으로부터 아래방향으로 보면, 갭(928B)내의 풀(934)에 상단부가 반사밀러(942)를 경유하고 투명그라스판(940)을 통해서 관측될 수 있다.

그런데, 도포액이 기판에 도포될 때 도포의 완료의 위치 가까이에서 야기되는 문제가 제27도 내지 제30도를 참조해서 이미 설명하였다. 문제는, 도포액탱크(470)이 제70도에 화살표 C로서 도시된 바와 같이, 기판(310)으로부터 떨어지는 방향으로 이동될 때, 기판(310)의 피도포면상에 남겨진 도포액이 아래로 흘러서 기판을 지지하는 스테이지의 표면상에 부착될 수도 있고, 또는 도포액이 모세관 현상 때문에 스테이지의 표면과 기판의 이면 사이의 갭으로 들어갈 수도 있으며, 도포액이 기판의 이면에 부착될 수도 있는 것이다. 이와 같은 문제를 해결하는 장치가 이하에 설명된다.

[제30실시예]

제71도 내지 제78도는 본 발명의 제30실시예에 따른 도포장치(950)을 나타낸 것이다. 주로 제71도 내지 제73도를 참조하면, 도포액장치(950)은 기판(310)을 수직으로 지지하기 위한 스테이지(312)와 양단이 폐쇄되고 기판(310)의 폭방향에서 연제하는 증공통체를 가지는 도포액탱크(470)을 포함한다. 기판(310)과 스테이지(312)는 상술한 실시예의 것들과 동일하다. 도포액탱크(470)은 예로서 제20도에 도시된 제4실시예의 도포탱크와 동일하다. 제71도 및 제20도에서 동일한 구성은 동일한 참조인용문자로 표시되고 동일한 명칭으로 사용되며, 그들은 동일한 기능을 가지고 있다. 따라서 이들에 대한 상세한 설명은 반복되지 않는다. 이 실시예의 스테이지(312)의 길이방향 길이는 기판(310)의 길이방향길이보다도 더 짧도록 선택된다. 스테이지(312)는 기판(310)의 상단부와 하단부가 각각 스테이지(312)의 상단과 하단으로부터 상방향 또는 하방향으로 돌출되도록 기판을 지지한다. 도포액탱크(470)은 전단면(476)과 스테이지(312)로 지지되는 기판(310)의 피도포면 사이으 크기 G를 가지는 갭(478)을 지지하면서도(제74도 참조) 화살표 a에 의해서 표시된 길이방향으로 직선으로 이동될 수 있다. 이 이동은 도시되지 않는 직선구동기구에 의해서 실현된다. 스테이지(312)로부터 기판(310)을 용이하게 꺼내기 위해서 스테이지(312) 및 도포액탱크(470)을 서로 떨어지는 방향으로 이동시키기 위한 구동기구가 전술한 바에 실시예에서와 같이 설치될 수 있다.

도포장치(950)은 또한 스테이지(312) 아래에 배열된 연장부재(510)을 포함한다. 연장부재(510)은 적어도 스테이지(312)에 의해서 지지되는 기판(310)의 하단에 일부분과 접촉되거나 또는 기판(310)의 하단부와 근접해서 대향되도록 형성된 한 단면(512)을 가진다. 연장부재(510)은, 도시되지 않는 스크류의 수단에 의해서 스테이지(312)상에 고정된다. 연장부재(510)은 도포액탱크(470)의 전단면에 대향되고 그 전단면(476)과 전면벽부(514) 사이에 갭을 형성해 주는 전면벽부(514)를 가진다. 전면벽부(514)는 그와 같이 형성된 갭이 도포액탱크(470)의 전단면과 스테이지(312)에 의해서 지지되는 기판(310)의 피도포면 사이에 형성된 갭(478)에, 도포가 완료되는 측상에서 연속되도록 형성되고 배열된다.

이 실시예에서 전면벽부(514)가 스테이지(312)에 의해서 지지되는 기판(310)의 피도포면과 동일 높이가 되도록 형성된다. 따라서 도포액탱크(470)의 전단면(476)과 기판(310)의 피도포면과 연장부재(510)의 전면벽부(514)사이의 갭의 크기는 설정된 G이다. 도포액탱크(470)은 도포액탱크(470)은, 화살표 a로 표시된 수직방향에서, 도시되지 않는 제어장치에 의한 직선구동기구를 제어함으로써, 도포액탱크(470)의 전단면(476)의 하단이 기판(310)의 피도포면의 종료단(하단) 위로 통과되어서 적어도 전면벽부(514)에 이를 때까지 계속해서 도포종료의 측상에서 이동될 수 있다.

연장부재(510)은 수직면(518)을 가지며, 수직면(518)은 스테이지(312)의 이면(516)과 밀접하도록 고정되어 있다. 연장부재(510)은 스테이지와 일체적으로 형성되어도 된다. 또한 스테이지(312)의 이면(516)과 연장부재(510)의 수직면(518)을 서로 미끄러지게 접촉하여서 이동시키기 위한 구동기구가 설치될 수도 있다. 이 경우에 기판(310)이 스테이지(312)에 의해서 지지된 후에 단면(512)가 기판(310)의 후단에 접촉하거나 또는 가까이에 올때까지 연장부재(510)이 이동될 수 있다.

이것은 스테이지(312) 상의 기판(310)의 장착을 편리하게 하여준다. 어떤 경우에 있어서는, 연장부재(510)은 설치아니하여도 된다. 그 경우에 기판(310)의 하단가까이에 형성된 무효영역이 기판연장부재(510)이 설치될 때보다도 더 크게 된다. 그러나, 도포액이 기판(310)의 이면 상이나 스테이지(312)에 부착되는 문제점은, 기판(310)을 지지하는 스테이지(312)가, 제31도세 도시된 바와 같이, 스테이지(312)의 하단으로부터 하향으로 기판(310)의 하단이 돌출되게 함으로써 피하여질 수 있다. 제72도를 참조하면, 도포액탱크(470)에서 탱크내의압력을 증가시키거나 감소시키거나 또는 주위와 서로 연통해서 똑같은 압력으로 설정하기 위한 압력설정시스템(400)과 탱크로 도포액을 공급하기 위한 도포액공급시스템(402)가 설치되어 있다. 예를들어 제72도 및 제13도를 참조하면, 대응되는 구성부분은 동일인용문자에 의해서 표시되고 동일명칭으로 사용되며, 동일한 기능을 가진다. 따라서, 이들에 대한 상세한 설명은 반복되지 않는다.

제74도를 주로 참조하면 도포액탱크(470)의 전면벽부(472)의 전단면(476)의 상단위치가 다음과 같은 방법으로 결정된다. 전단면(476)과 기판(310)의 피도포면이 무한히 상방향으로 연재되는 것을 가정한다. 그 경우에 크기 G를 가지는 갭(478)이 역시 무한히 연재된다. 도포액(322)가 도포액유출로(474)를 통해서 갭(478)로 유입된다. 도포액은 적어도 모세관현상에 의해서 상승한다. 그러나 중력으로 인하여 어떠한 최대 높이 A를 초과할 수 없다. 전단면(476)의 상단이 최대높이 A 위의 높이로 선택된다.

도포장치는 제74도에 도시되어 있는 위치에서 도포액탱크를 위치시킬 수 있고 중지시킬 수 있는 직선구동기구가 설치되며, 구동기구와 직선구동기구를 제어하기 위한 제어장치가 설치되어 있다.

제74도는 도포개시시에 도포액탱크(470)과 기판(310) 사이의 위치관계를 나타낸 것이다. 제74도를 참조하면 도포개시시에 도포액탱크는 기판(310)의 피도포면의 상단이 도포액유출로(474)의 유출구(480)과 전단면(476)상의 최대 높이의 위치 A사이에 위치되고, 전단면(476) 및 기판(310)의 피도포면 사이에서 크기 G를 가지는 갭(478)을 형성하도록 위치된다.

이 상태에서 도포액이 도포액 탱크(470)으로 유입되어 도포액의 액면이 도포액 유출로(474)의 유입구(482)와 전단면(476)의 하단사이에 위치된다. 도포액(322)가 도포액 유출로(474)를 통해 갭(478)로 유입되어 풀(pool)(484)를 형성한다. 풀(484)의 하단은 전단면(476)의 하단에 의해 규제된다. 풀(484)의 상단은 도포액에 의해 초과될 수 없도록 기판(310)의 상단에 의해 규제된다.

제74도를 참조하면, 기판(310)의 도포면과 도포액 탱크(470)의 전단면(476) 사이에 크기 G의 갭(478)을 지지하면서 도포액 탱크(470)이 화살표 a로 표시된 아래쪽으로 이동될 때, 기판(310) 표면에 대한 도포액의 도포를 시작한다.

제34도 내지 제38도에 나타낸 제12실시예가 다시 참조된다. 이 실시예에 대해 이미 설명된 바와 같이, 기판(310)의 피도포면의 상단이 전면벽부(472)의 전단면(476)상에서 최대높이 A(제74도에서만 도시됨)뒤에 위치하도록 도포액 탱크(470)이 정지되고, 소정의 속도로 즉시 상승되는 이동속도로 화살표 a방향으로 도포액 탱크(470)이 이동되는 예를 고려한다. 이때, 제42도를 참조하면, 도포액 탱크(470)의 이동개시로부터 소정시간의 경과시까지 도포액 탱크(470)의 이동속도는 갭(478)내에 형성된 풀(484)의 상단에서의 미니스커스의 이동속도와 같지 않다. 더욱 구체적으로는, 풀(484)의 상단에서의 미니스커스의 이동속도는 이 범위내에 있는 도포액탱크(470)의 이동속도보다 느리다. 이후, 이들 이동속도는 서로 같게 된다.

그 결과, 제43도에 이미 나타낸 바와 같이, 형성된 도포막의 두께가 이 범위내에서 더 얇아지게 된다. 제12실시예에 있어서, 풀(484)의 도포액 상단의 이동속도의 상승에 있어서의 지연이 고려되어 도포액 탱크(470)의 이동속도가 수정된다. 제30실시예에서 이문제는 도포액 탱크(470)를 제74도에 나타낸 위치에 위치시키는 것에 의해 해결된다.

제74도를 참조하면, 도포액 탱크(470)은 일정한 속도로 화살표 a방향으로 이동된다. 도포의 시작시 상방향에서 갭(478)로 유입된 도포액의 흐름은 기판(310) 피도포면의 상단에 의해 규정된다. 따라서, 갭(478)에서 풀(484)의 상단이 피도포면의 상단에 위치되고, 도포액 탱크(470)의 이동이 시작되더라도 소정시간의 경과후까지 피도포면의 상단의 이동되지 않는다.

더욱 구체적으로는, 도포액 탱크(470)의 이동이 시작된 경우, 또한 전단면(476)의 하단이 이동하기 시작한다. 전단면(476)이 기판(310)의 피도포면과 대향하는 위치에서의 갭(478)의 영역은 전단면(476)의 상단이 피도포면의 상단위치에 도달할 때까지 점차 증가한다. 적어도 모세관 현상 때문에 도포액 유출로(474)를 통해 도포액 탱크(470)에서 점차 증가하는 영역의 갭(478) 부분으로 도포액이 도입된다. 갭(478)내에 형성된 풀(848)의 체적이 점차 증가하지만, 풀(484)의 상단에서의 미니스커스의 위치는 피도포면의 상단에서 이동되지 않는다. 도포액 탱크(470)의 이동 때문에, 상기 갭(478) 부분영역에서의 증가속도가 도포액 탱크(470)에서의 도포액 공급속도를 초과한 후 또는 전단면(476)상에서 최대높이 A의 위치가 가장 늦게 피도포면의 상단위치에 도달한 후, 풀(484)의 상단에서의 미니스커스가 아래쪽으로 이동을 시작한다. 이때, 상기 풀(484) 위의 갭(478)에 도포액이 들어있지 않는(제75도에 나타냄) 공간(486)이 형성되어 있다.

이미 설명된 바와 같이, 도포액 탱크(470)의 이동시작부터 소정시간의 경과 후, 플(484)의 상단에서의 미니스커스가 이동하고, 도포액이 기판(310) 피도포면에 도포된다. 여기서, 도포시작시간을 기준으로, 제42도에 나타낸 저속도 영역에서 발생한 과도기적인 현상이 끝나는 시간이 경과될 수 있다. 도포액 탱크(470)의 이동시작부터 일정한 시간이 경과한 후 풀(484)의 상단에서의 미니스커스가 아래쪽으로 이동하여 제43도에 나타낸 도포막의 두께를 감소시키는 영역의 발생이 회피될 수 있다. 따라서, 기판의 영역이 적어도 개시측에서 보다 더 효과적으로 사용될 수 있다.

도포액 탱크(470)와 기판(310)이 제74도에 나타낸 바와 같이, 위치되는 경우, 기판(310)의 피도포면의 상단과 전단면(476)의 최대 높이 A 사이의 거리를 적절하게 설정해야 할 필요가 있다. 이 칫수는 정지된 도포액 탱크(470)이 아래쪽으로 이동하기 시작할 때, 도포액 탱크(470)의 이동속도를 허용범위내에서 상승시키는데 필요한 도포액 탱크의 이동거리를 기준으로 사용해서 설정될 수 있다. 또한, 상기 거리는 정지된 도포액 탱크가 아래쪽으로 이동하기 시작할 때 형성된 도포막의 두께가 허용범위에 도달할 때까지 도포액 탱크(470)이 이동하는데 필요한 거리를 기준으로 사용해서 설정될 수 있다.

제1도 및 제74도를 참조하면, 예를 들어, 기판(310)은 LCD용 그라스 기판과 같은 투명기판이다. 따라서, 이 도포장치(950)에 있어서, 도포의 개시위치에서, 기판(310)의 피도포면과 도포액 탱크(470)의 전단면(476) 사이의 갭(478)에서 기판(310)의 전체 폭방향으로 스트립 형상의 형태의 풀(484)이 형성되어 있는지 아닌지의 여부는 스테이지(312)의 상단을 초과해서 돌출하게되고 기판(310)의 피도포면에 대향하는 측으로부터 확인될 수 있다. 확인 후 도포액 탱크(470)이 아래쪽으로 이동될 때에, 기판(310) 표면으로의 도포액의 도포가 확보될 수 있다. 또한, 풀(484)의 형성을 확인하기 위해 검출기가 설치될 수 도 있다.

제76도를 참조하면, 연장부재(570)은 도포의 종료측상에 설치되어 있지 않은 것으로 가정한다. 제76도에 나타낸 바와 같이, 어떤 시점에, 도포액 탱크(470)의 전단면(476)의 하단이 기판(310)의 피도포면의 종단(하단)에 도달한다. 또한, 도포액 탱크(470)이 아래쪽으로 이동된 때, 풀(484)의 상단(또는 도포액 탱크(470)의 전단면(476)의 상단)이 기판(310)의 피도포면의 종단에 도달할 것이다. 이와 같은 경우, 다음의 문제가 발생된다.

제76도에를 참조하면, 도포액 탱크(470)의 전단면(476)에서 하단이 기판(310)의 피도포면의 하단에 도달할 때까지 풀(484)의 상단이 도포액 탱크(470)의 이동속도와 거의 같은 속도로 화살표 a방향으로 이동한다. 도포액 탱크(470)의 전단면(476)에서 하단이 기판(310)의 피도포면의 하단에 도달한 후, 기판(310)의 피도포면과 대향하는 도포액 탱크(470)의 전단면(476) 부분의 영역이 점차 감소된다. 따라서, 갭(478)이 파괴되고, 파괴된 갭(478)내에 있게된 풀(484)의 도포액중 일부가 기판(310)의 하단, 또는 도포액 탱크(470)의 전단면(476)의 하단으로부터 아래쪽으로 흘러서 떨어지게 된다. 그러나, 이 경우 기판(310)의 하단이 스테이지(312)의 하단보다 아래쪽으로 돌출되어 있기 때문에, 떨어진 도포액이 스테이지(312)에 부착하거나 또는 모세관작용 등에 의해 스테이지(312)와 기판(310) 이면사이의 공간으로 들어가는 것이 불가능하다.

갭(478)에서 도포액중 일부는 기판(310) 하단에 의해 이동이 억제된다. 따라서, 풀(484)의 상단에서의 미니스커스의 이동속도가 도포액 탱크(470)의 이동속도보다 작게 된다. 그 결과, 형성된 도포막(992)의 두께가 도포되는 기판(310) 피도포면의 종단 근방에서 더 얇아지는 것이 가능하다.

또, 제77도에 나타낸 바와 같이, 풀(484)내의 도포액중 일부가 도포액 탱크(470)의 전단면(476)의 하단을 넘어서 흐르는 것이 가능하다. 또한 이 경우 도포되는 기판(310)표면의 하단근방에서 형성된 도포막의 두께가 허용범위를 초과하는 무효 영역이 형성된다.

그러나, 이 문제는 제30실시예에 의한 도포장치의 연장부재(510)에 의해 해결된다. 제78도를 참조하면, 도포액 탱크(470)의 전단면(476)에서 하단이 도포장치의 종단에서 기판(310)의 피도포면의 하단을 벗어나는 것으로 가정한다. 이 경우, 크기 G를 가지는 갭이 전단면(476)과 전면벽부(516) 사이에서 지지될 수 있다. 풀(484)는 이 공간에서 지지된다. 따라서, 전단면(476)이 기판(310)의 하단을 벗어나는 경우에도, 도포액 탱크(470)의 전단면(476)과 기판(310)의 피도포면사이의 갭(478)에 형성된 풀(484)의 도포액은 이동속도에 영향를 받지 않는다. 그 결과, 제77도에 나타낸 바와 같이, 갭(478)내의 풀(484)의 도포액중 일부가 전단면(476)의 상단을 넘쳐 흐르는 문제가 회피될 수 있다. 또, 제78도에 나타낸 바와 같이, 풀(484)의 상단에서의 미니스커스가 기판(310)의 피도포면의 종단에 도달할 때까지 도포액 탱크(470)이 화살표 a방향으로 이동되면, 기판(310) 표면상에 형성된 도포막(992)의 두께는 종단까지 균일하게 될 것이다.

제78도에 나타낸 바와 같이, 연장부재(510)의 전면벽부(514)에서의 길이방향의 길이가 도포액 탱크(470)의 전단면(476)에서의 길이방향의 길이보다 길어지게 되면, 도포액탱크(470)이 정지된 그 사이에 풀(484)가 여전히 유지된다. 도포액 탱크(470)의 압력을 감소시키는 것에 의해 풀(484)의 도포액이 도포액 탱크(470)로 회수될 수 있다.

제30실시예에 의한 도포장치는 다음과 같은 방법으로 동작한다. 우선, 기판(310)이 진공흡착 등에 의해 스테이지(312)에 고정된다. 이때, 기판(310)의 상부 및 하부는 스테이지(312)의 상단 및 하단에서 위쪽 및 아래쪽으로 돌출된다.

상기한 양의 도포액(322)를 포함하는 도포액 탱크(470)은 제71도 및 제74도에 나타낸 위치에 있다. 특히, 기판(310)의 상단이 도포액 탱크(470)의 전단면(476)상에서의 위치 A와 도포액 유출로(474)의 유출구(480) 사이에 위치되도록 도포액 탱크(470)이 위치되고, 크기 G를 가지는 갭(478)이 전단면(476)과 기판(310)의 피도포면사이에 형성된다.

이 때, 도포액 탱크(470)의 압력은 압력설정 시스템(400)을 사용하는 것에 의해 증가되고, 도포액은 도포액 탱크(470)에서 도포액 유출로(474)를 통해 갭(478)로 흐른다. 따라서, 풀(484)가 갭(478)에 형성된다. 이후, 탱트 밖으로의 강제적인 도포액 유출을 방지하기 위해 도포액 탱크(470)이 대기에 연통된다. 그래서, 스트립 형상의 풀(484)가 갭(478)에 형성된다. 스트립 형상의 풀(484)를 형성하기 위한 방법은 상기한 것에 제한되지 않고, 상기한 것을 포함하는 여러방법이 사용될 수 있다.

스트립 형상의 풀(484)가 갭(478)에 형성된 후 도포액 탱크(470)이 대기에 연통되어 도포처리동안 풀(484)의 도포액이 갭(478)에서 흘러나오지 못하고 도포액(322)가 도포액 탱크(470)에서 갭(478)로 공급된다.

이때, 갭(478)에 형성된 스트립 형상의 풀(484)의 하단은 도포액 탱크(470)의 전면벽부(472)의 전단면(476)의 하단에 의해 규제된다. 풀(484)의 상당은 기판(310)의 피도포면의 상단에 의해 최적의 상대로 규제된다.

스트립 형상의 풀(484)이 갭(478)에 형성될 때, 도포액 탱크(470)의 전단면(476)과 기판(310)의 피도포면사이에 크기 G를 가지는 갭(478)을 지지하면서, 도포액 탱크(470)가 화살표 a방향으로 이동된다. 전단면(476)상의 가장 높은 위치 A가 기판(310)의 피도포면의 상단에 도달할 때까지, 기판(310)의 피도포면과 대향하는 전단면(476)의 영역이 점차증가한다. 도포액 탱크(470)에서 도포액 유출로(474)를 통해 이렇게 점차 증가하는 부분으로 적어도 모세관작용에 의해 도포액이 공급된다. 따라서, 이 기간동안 풀(484)의 상단 이동이 억제된다.

도포액 탱크(470)의 전단면(476)과 기판(310)의 피도포면사이에서의 대항영역의 증가정도가 도포액 탱크(470)으로부터 도포액의 공급속도를 초과한 후, 또는 늦어도 전단면(476)상의 높이 A가 기판(310)의 피도포면의 상단위치에 도달한 후, 갭(478)의 풀(484) 상단에서의 미니스커스가, 도포액 탱크(470)의 이동과 함께, 기판(310)의 피도포면상으로 이동하기 시작한다. 그 결과, 제75도에 나타낸 바와 같이, 도포액이 기판(310) 표면으로 도포되어 도포막(992)가 형성된다.

도포액 탱크(470)이 계속해서 아래쪽으로 이동된 경우, 풀(484)내의 도포액이 계속해서 기판(310) 표면으로 도포된다. 소비된 도포액의 양에 대응하는 도포액의 양이 도포액 탱크(470)에서 도포액 유출로(474)를 통해 적어도 모세관작용에 의해 풀(484)로 공급된다. 따라서, 갭(478)의 풀(484)내에 도포액의 양이 일정하게 유지되면서, 기판(310) 표면으로 도포된다.

이 때, 상기 갭(478)의 풀(484)은 어떠한 도포액도 포함하지 않는 공간(486)이 형성되어 있다. 예를 들면, 전단면(476)과 피도포면사이에서 끼워진 갭(478)의 체적이 기판(310) 표면상의 기복 때문에 변경되는 경우, 풀(484)의 상단이 도포액 탱크(470)에 따라 위쪽 또는 아래쪽으로 상대적으로 이동할 수 있다. 그러나, 도포액이 전혀 들어있지 않는 공간(486)이 있기 때문에, 도포액이 도포액탱크(470)이 전단면(476)의 상단을 넘어서 유출되는 것은 불가능하다. 또한, 전술한 바의 0.1㎜ 내지 0.3㎜ 범위내에서 갭의 크기를 선택하면, 갭의 크기에 의한 도포막 두께에 대한 악영향을 억제할 수 있다.

이때, 도포액 탱크(470)은 갭(478)에서 풀(484)의 상단이 도포에 필요한 영역을 벗어나는 위치, 예를 들면, 제71도에서 2점 쇄선으로 표시된 기판(310)하단 근방의 위치로, 이동되어 정지된다. 바람직하게, 제78도에 나타낸 바와 같이, 도포액 탱크(470)은 도포액 탱크(470)의 전단면(476)이 기판(310)중 도포를 필요로 하는 표면을 완전히 벗어나는 위치로 이동되어 연장부재(510)의 전면벽부(512)와 대향해서 위치되어 정지된다. 이렇게 하는 것에 의해, 기판(310)의 종료측에서 도포막의 두께가 허용범위를 벗어나는 영역이 최소화되거나 또는 제거될 수 있다.

제78도에 나타낸 위치에서, 도포액 탱크(470)의 압력이 감소되어 갭(478)의 도포액이 도포액 탱크(470)에서 회수된다. 이것이 도포액의 떨어짐을 최소화할 수 있다.

이 후, 스테이지(312)에서 기판(310)의 꺼내는 것을 용이하게 하기 위해 도포액탱크(470)이 스테이지(312)에서, 예를 들면 수평방향으로 멀어지게 된다. 도포된 기판(310)이 스테이지(312)에서 꺼내어진 후, 다음 기판(310)을 도포하기 위해 제1스텝으로 되돌아 간다.

본 실시예에 있어서, 연장부재(510)의 전면벽부가 도포의 종료측에서 기판(310)의 하단과 접촉되거나 또는 밀접하게 되고, 이 상태에서 기판(310)은 진공흡착 등에 의해 스테이지(312)에 지지된다. 따라서 손상을 유발시키는 스테이지(312)에 지지된 기판(310)의 들오핑(dropping) 또는 슬라이딩(sliding)의 가능성이 감소될 수 있다. 기판(310)의 두께가 증가된 경우도 연장부재(510)가 기판(310)의 지지를 도와줌으로, 스테이지(312)에 의한 기판(310)의 지지가 보다 안정하게 된다.

상기에서 본 발명의 제30실시예가 설명되었다. 도포액 탱크(470)의 형상은 상기한 것에 한정되지 않고, 여러 형상의 도포액 탱크가 사용될 수 있다. 따라서, 도포의 시작위치에서 기판과 도포액 탱크 사이의 위치관계는 상기한 것에 한정되지 않고, 이미 설명된 여러실시예의 위치관계가 사용될 수 있다. 또한 제30번 실시예의 종료단에서 기판(310)과 스테이지(312) 사이의 위치관계는 상기한 다른 실시예에서의 위치관계로 변경될 수 있다. 그와 같은 경우, 연장부재(510)가 설치될 수 없다.

[제31실시예]

제79도를 참조하면, 본 발명의 제31실시에에 의한 도포장치는 제30실시예의 도포액 탱크(470) 대신에 제21도에 나타낸 제5실시예의 도포액 탱크(490)를 포함한다. 제79도 및 제21도에 있어서, 대응하는 구성은 동일한 참조문자로 표시되고, 동일한 명칭으로 사용된다. 그들의 기능도 같다. 따라서, 그들의 상세한 설명은 반복되지 않는다.

제79도의 실시에와 제21도의 실시예는 기판(310)의 피도포면의 상단의 도포액 유출로(494)의 유출구(500)와 도포액 탱크(490)의 전단면 상부(496B)상에서 최대로 도달하는 위치 B 사이에, 위치되도록 도포 개시위치에 도포액 탱크(490)가 위치되어 있는 점이 다르다.

제21실시예의 도포장치는 도포개시위치에서 도포막 두께의 문제가 본 실시예에 의해 유리하게 해결될 수 있는 점을 제외하고는 제39도와 같다.

[제32실시예]

제80도는 본 발명의 제32실시예에 의한 도포장치의 주요부를 나타낸다. 제32실시예의 도포장치와 제31실시예의 도포장치는 제22도로 나타낸 제6실시예의 도포액 탱크(520)이 제30실시예의 도포액 탱크(470) 대신 사용된 점이 다르다. 도포액 탱크(520)가 사용된 경우, 기판(310)의 피도포면 상단이 도포액 유출로(524)의 유출구(530)와 전단면 상부(526B) 상에서 도달하는 최대의 위치 C사이에 위치되도록 도포액 탱크(520)가 위치되어 있다.

본 실시예에 의한 도포장치의 동작 및 효과는 상기 제30 및 제31실시예와 동일하다. 따라서, 그 상세한 설명은 반복하지 않는다.

[제33실시예]

제81도 및 제82도는 본 발명의 제33실시예에 의한 도포장치의 주요부 수직단면도이다. 본 실시예의 도포장치는 제71도 내지 제74도에 나타낸 제30실시예와 거의 같은 구조를 갖는다. 그러나, 제30실시예의 도포액 탱크(470)대신에 제15도에 나타낸 제30실시예의 도포액 탱크(380)을 포함한다. 제15도, 제81도 및 제82도에 있어서, 대응하는 대부분은 동일한 참조문자로 표시되고, 동일한 명칭 및 기능을 갖는다. 따라서, 그들의 상세한 설명은 반복되지 안흔다.

도포액 탱크(380)에서 주의해야 할 점은 탱크(380)의 전면벽부(382)에의 전단면(386)의 상단의 위치이다. 전단면(386)과 기판(310)의 피도포면이 무한히 위쪽으로 연장되는 것으로 가정한다. 또한 전단면(386)과 기판(310)의 피도포면사이의 갭(388)은 무한히 위쪽으로 연장되는 것으로 가정된다. 도포액(322)가 도포액 탱크(380)에서 도포액 유출로(384)를 통해 갭(388)로 유입되는 경우, 적어도 모세관작용에 의해 가정된 갭(388) 위쪽으로 도포액이 상승할 수 있다. 그러나, 중량 때문에 일정한 높이를 초과할 수 없다. 이때, 도포액에 의해 도달된 최대높이는 최대높이위치 C로 언급된다.

도포액 탱크(380)의 전단면(386)의 상단이 도포액 유출로(384)의 유출구(420)와 최대높이위치 C 사이에 위치하도록 전면벽부(382)가 형성된다. 전단면(386)의 하단은 도포액 유출로(384)의 유출구(420)과 유입구(422) 사이에 위치되도록 형성된다. 도포액의 액면이 도포액 유출로(384)의 부분과 전단면(386)의 하단사이에서의 범위 D 내에 위치되도록 도포액(322)이 도포액 탱크(380)으로 도입된 경우, 도포액의 도포액 탱크(380)에서 도포액 유출로(384)를 통해 갭(388)로 유입되어 풀(390)을 형성한다. 풀(390)의 하단이 전단면(386)에 의해 규제된다.

한편, 제81도에 나타낸 바와 같이, 도포개시 위치에서, 기판(310)의 상단이 도포액 유출로(384)의 유출구(420)과 전단면(386)의 상단사이의 높이에 위치되도록 도포액 탱크(380)이 위치된다. 갭(388)내에 형성된 풀(390)의 상당은 기판(310)의 상단에 의해 규제된다.

이 장치를 사용해서 도포액이 기판(310)의 표면에 도포되는 경우의 도포장치의 동작은 상기 제30, 제31 및 제32실시예의 동작과 거의 같다. 도포액 탱크(380)은 제81도에 나타낸 위치에 있고, 스트립 형상의 풀(390)이 형성되어 있다. 풀(390)을 형성한 후, 전단면(386)과 도포되는 기판(310)의 피도포면사이에서 크기 G를 가지는 갭(388)을 지지하면서, 도포액 탱크(380)이 화살표 a로 표시되는 바와 같이 아래쪽으로 이동된다.

제82도를 참조하면, 전단면(386)의 상단이 기판(310)의 상단에 도달할 때까지 풀(390)의 하단에서의 미니스커스는 전단면(386)의 하단과 함께 아래쪽으로 이동한다. 그러나, 풀(390)의 상단에서의 미니스커스는 이동하지 않는다. 이 기간동안 풀에서의 도포액의 양이 점차 증가한다. 전단면(386)의 상기 기판(310)의 상단에 도달한 경우, 풀(390)의 상단에서의 미니스커스가 전단면(386)의 상단에 의해 규제되어서 전단면(386)의 상단과 함께 아래쪽으로 이동하기 시작한다. 이 때, 풀(390)의 도포액이 기판(310)의 표면으로 도포되어 도포막(950)을 형성한다. 도포막(950)을 형성하기 위해 소비된 도포액의 양에 대응하는 도포액의 양이 도포액 탱크(380)에서 도포액 유출로(384)를 통해 풀(390)으로 공급된다. 풀(390)의 상단이 이동을 시작할 때까지는, 제42도에 나타낸 바와 같이 막의 두께가 얇아지게 되는 기간이 이미 지나버린다. 따라서, 도포 개시위치 근방이라도 도포막(950)은 일정한 소망의 막 두께를 갖는다.

제83도에 나타낸 바와 같이, 도포 개시위치에서 기판(310)의 상단이 전단면(386)의 상단위에 위치되도록 도포액 탱크(380)이 위치되고, 그리고 도포액탱크(380)이 그 위치에서 아래쪽으로 이동되는 것으로 가정한다. 이 경우, 도포액 탱크(380)의 이동개시와 함께 풀(390)이 즉시 아래쪽으로 이동하기 시작한다. 그러나, 풀(390)의 상단은 탱크(380)과 같은 속도로 즉시 이동 할 수 없다. 따라서, 풀(390)의 도포액이 제83도에 나타낸 전단면(386)의 상단으로 유출된다. 그 결과, 제83도의 예에서 불완전한 도포막이 도포개시 위치근방에 형성된다.

이와 반대로, 도포액 탱크(380)이 제81도에 나타낸 바와 같이 위치되는 경우, 상기 문제가 회피될 수 있다.

[제34실시예]

제84도는 본 발명의 제34실시예에 의한 도포장치(960)의 주요부 수직단면도이다. 도포장치(960)은 제74도에 나타낸 도포액 탱크(470) 대신에 제84도에 나타낸 도포액 탱크(970)을 가지는 것을 제외하고는 제71도 내지 제78도에 나타낸 제30실시예의 도포장치와 같은 구조를 갖는다. 기판(310)이 투명하지 않아도, 도포액 탱크(970)을 사용하는 것에 의해, 도포액 탱크(970)의 전단면(976)과 기판(310)의 피도포면면사이의 갭(980)에 형성된 풀(986)의 상단에서의 상태를 확인할 수 있다.

제84도를 참조하면, 도포액 탱크(970)의 외관은 제74도에 나타낸 제30실시예의 도포액 탱크(470)과 같다. 특히, 도포액 탱크(970)은 전면벽부(972)에서 하단이 도포액 유출로(974)의 유출구(982)와 유입구(984) 사이의 높이에 위치된 전단면(976)을 갖는다. 도포액(322)이 도포액 탱크(970)으로 도입되어 액면이 전단면(976)의 하단과 도포액 유출로(974)의 유입구(984) 사이에 위치된다. 갭이 무한히 위쪽으로 연재되는 것으로 가정된 경우, 전단면(976)의 상단이 갭(980)에서 도포액의 최대높이위치 A1보다 높게 선택된다. 따라서, 도포액 탱크(970)을 사용해서 도포액이 기판(310)의 피도포면으로 도포된 경우, 제30실시예에서와 같이 소망의 도포막 두께가 개시위치 근방에서 얻어질 수 있다.

도포액 탱크(970)의 특징은 상부부분에서 앞쪽 및 뒤쪽방향으로 통과하는 관통구멍(988)을 가지는 것이다. 투명한 글라스 플레이트(990)과 같은 투명체는 전단면(976)상의 구멍내에 끼워져 있고, 투명한 글라스 플레이트(990)의 전면벽부에 의해 전단면(976)이 설치된다. 기판(310)의 피도포면측에서 갭(980)에 형성된 풀(986)의 상단상태가 관통구멍(988)을 통해 관측될 수 있다. 따라서, 도포 개시위치에서 스트립 형상의 풀(986)의 만족스러운 형성이 확인된 후 도포액 탱크(970)의 아래쪽으로 이동될 수 있다.

[제35실시예]

제85도는 본 발명의 제35실시예에 따른 도포장치에서 연장부재의 단면도이다. 본 실시예의 도포장치는 연자부재(510) 대신에 연장부재(1010)이 사용된 점을 제외하고는 제32실시예의 도포장치와 같다.

제85도를 참조하면, 도포장치의 연장부재(1010)은 특성성질을 가지는 재료로 형성된 전면벽부(1012)에 설치된 부분(1014)를 갖는다. 이 재료는 도포액에 대해서 기판(310)의 도포면보다 낮은 습윤도를 갖는다. 예를 들면, 이 부분(1014)는 규소화물수지로 형성된다. 선택적으로, 상기한 성질을 가지는 막이 표면처리에 의해 이 부분(1014)에 설치된다.

제85도의 연장부재(1010)이 사용된 경우, 도포액이 연장부재(1010)의 전면벽부(1012)상에 부착하지 않는 경향이 있다. 도포액이 전면벽부(1012)상에 부착하여도 도포액은 막을 형성하지 않고 떨어진다. 따라서 부착된 도포액이 연장부재(1010)의 전면벽부(1012)에서 용이하게 제거될 수 있어 연장부재(1010)이 용이하게 세척될 수 있다.

그러나, 이 연장부재(1010)이 사용되면, 전면벽부(1012)이 도포액에 대해서 기판(310)의 피표면과 같거나 또는 높은 습윤도를 가지는 재료를 사용해서 형성되는 경우와 비교해서 기판(310)의 피도포면의 종료단 근방에서 도포막 두께의 무제가 보다 더 심각해지는 것에 주의해야 한다. 그러나, 이 경우에도 상기 연장부재가 전혀 설치되지 않는 경우보다 상기 문제가 해결될 수 있다.

[제36실시예]

제86도는 본 발명의 제36실시예에 따른 도포장치의 주요부 단면도이다. 본실시예의 도포장치는 연장부재(510) 대신에 연장부재(1020)이 사용되는 점을 제외하고는 제30실시예와 같다.

제86도를 참조하면, 이 도포장치의 연장부재(1020)에서, 기판(310)의 하단과 접촉하거나 또는 근접한 단면(1022)에 설치된 부분(1024)가 특정한 성질을 가지는 재료로 형성된다. 제35실시예에서 부분(1014)의 재료와 마찬가지로, 이 재료는 도포액에 대해 기판(310)의 피도포면보다 낮은 습윤도를 갖는다. 예를 들면, 이 부분(1024)은 규화화물수지로 형성된다. 또한, 상기한 성질을 가지는 막이 표면처리에 의해 이 부분(1024)에 형성된다.

제86도에 나타낸 연장부재(1020)이 사용된 경우, 도포액 탱크의 전단면과 기판(310)의 피도포면사이의 갭에 형성된 도포액의 풀이 기판(310)의 하단과 연장부분(1020)의 단면(1022)가 서로 접촉되거나 또는 서로 근접하게 되는 부분을 통과할 때, 단면(1022)와 기판(310) 하부 사이의 공간으로 도포액이 들어갈 가능성이 최소화 되거나 또는 제거될 수 있다. 도포가 종료한 후, 예를 들면 스테이지(312)에서 기판(310)을 꺼내기 위해 도포액 탱크가 스테이지(312)에서 수평방향으로 멀어지게 되고, 기판(310)의 하단부와 단면(1022)사이의 공간으로 도포액이 들어갈 가능성이 제거되거나 또는 최소와 될 수 있다. 따라서, 도포액에 의한 기판(310) 하단의 오염 가능성이 최소화되거나 또는 제거될 수 있다.

연장부재(1020)의 단면(1022)에 설치된 부분(1024)가 규화화물수지 등에 의해 형성된 경우, 예를 들면 기판(310)이 LCD용 글라스 기판이라면 단면(1022)의 접촉에 의해 발생된 기판(310)의 손상 가능성이 또한 감소될 수 있다.

상기 설명된 몇가지 실시예에서, 전면벽부가 기판(310)의 피도포면과 편평하게 되도록 연장부재가 배열되어 있다. 상기 방법에 최선이다. 그러나, 연장부재의 배열은 이것에 한정되지 않고, 연장부재의 전면벽부가 기판의 피도포면과 편평하게 되지 않을 수 있다.

상기 제30실시예에서 풀(484) 하단의 미니스커스가 기판(310)의 하단 아래에 위치된 위치로 도포액 탱크(470)이 이동된 후 정지된다. 그러나, 본 발명은 상기 실시예에 환정되지 않는다. 도포액 탱크(470)의 전단면(476)이 하단이 기판(310)의 피도포면 하단위치를 통과할 때까지 도포액의 도포이 계속되면 상기 연장부재를 포함하지 않는 예와 비교해서 기판의 하단에서 풀(484)의 이동억제에 의해 발생된 도포막에 대한 영향이 해결될 수 있다.

제87를 참조하면, 도포액탱크(1100)은 상기한 도포장치에 사용될 수 있고, 하단에서 크기가 G이고, 상단에서 크기가 G1)(B1G)인 갭(1114)를 가지는 기판(310)의 피도포면과 대향하는 전면벽부(1104)의 전단면(1106)을 갖는다. 이 경우, 도포액 탱크(1100)에서 도포액 유출로(1110)을 통해 갭(1104)로 유출되는 도포액(1102)가 갭(1114)에서 도포액 풀(1112)를 형성한다. 풀(1112)의 하단은 전단면(1106)의 하단에 의해 규제된다. 풀(1112)의 상단이 전단면(1106)의 하단에 의해서 규제된다. 풀(1112)의 상단이 전단면(1106)의 하단에 의해 규제되거나, 또는 전단면(1106)의 상단이 풀(1112)의 도포액에 의해 도달한 최대위치보다 높게 위치되도록 전면벽부(1104)의 형상이 선택될 수 있다. 제87도에 나타낸 예에 있어서, 전단면(1106)의 상단이 풀(1112)의 도포액에 의해 도달한 최대위치보다 높게 되도록 전면벽부(1104)의 형상이 선택된다.

제87도에 나타낸 예에 있어서, 갭(1114)의 크기는 하단에서 G이고, 상단에서 G1이다. 그러나, 풀(1112)의 상단크기는 G2로서 도포막의 두께를 결정하는 중요한 요소이다(GG2G1). 이 갭은 본 출원명세서에서 실제의 갭으로 언급되었다. 이미 언급된 바와 같이, 실제 갭의 크기 G2가 0.1~1.3㎜가 되도록 전면측부(1104)의 전단면(1106)의 형상이 선택된다면, 균일한 두께의 안정한 도포막이 형성될 수 있다.

제87도에 나타낸 예에서, 도포액 유출로(1110)가 수평이지만, 이 경우 도포액 탱크(1100)의 압력을 조정할 수 있는 압력조정시스템의 설치가 필요하다. 이러한 압력조정시스템이 설치된 경우, 기판(310)의 자세는 수직에 한정되지 않고 경사지게 될 수 있다. 그러나, 제87도에 나타낸 경사진 전단면을 가지는 도포액 탱크(1100)가 사용된 경우, 윗쪽으로 향해서 피도포면을 가지는 기판(310)이 수평으로 지지될 때 도포막의 두께가 균일하지 않게 되는 것이 발견되었다. 따라서, 이러한 단점을 회피하기 위해 기판 및 도포액탱크의 자세가 적절히 선택된다. 허용범위는 기판의 피도표면의 상태, 전단면(1106)에 걸쳐 도포액(1102)의 유동성등을 포함하는 많은 요인에 근거하여 결정된다.

마찬가지로, 제88도에 나타낸 바와 같이, 도포되는 기판(310)의 피도포면과 갭 G로 떨어 평행한 하부 전단면(1206)과 경사진 상부전단변(1208)로 구성되어 상기 전단면과 기판(310)의 피도포면사이의 갭이 윗쪽으로 넓게 된 전면벽부(1204)의 전단면을 가지는 도포액 탱크(1200)이 사용될 수 있다. 도포액 탱크(1200)에서 도포액 유출로(1210)을 통해 갭(1214)로 흐르는 도포액이 풀(1212)를 형성한다. 풀(1212)의 하단은 하부전단면(1206)의 하부단에 의해 규제된다. 전면벽부(1204)가 형성되어 풀(1212)의 상단이 전단면의 상부부분(1208)의 상단에 도달하지 못하게 된다.

또한, 이 경우 도포막의 두께를 결정하는 것은 전단면의 상부부분(1208)의 최상위 부분과 도포되는 기판(310) 표면 사이의 갭 G3(G3G)이 아니라 풀(1212)상단에서 실제 갭의 크기 G4(GG4G3)이다. 형성된 도포막의 두께는 갭 G4가 0.1~0.3㎜ 범위내에 있는한 균일하다.

또, 제88도의 도포액 탱크(1200)에서 제87도의 도포액 탱크(1100)과 같이 수평자세로 지지된 기판에 도포가 실시되는 경우 균일한 도포막이 형성될 수 없다는 것이 발전되었다. 따라서, 이 경우에도 기판 및 도포액 탱크의 자세는 이러한 단점을 방지하기 위한 범위내에서 선택되어야 한다.

상술한 전 실시예에서 피도포기판이 기판스테이지상에 고정되거나 기판스테이지로부터 이동될 때 도포액 탱크가 피도포기판으로부터 떨어지는 위치로 이동되거나, 그로부터 행하는 방향(기판의 피도포면과 도포액탱크의 전단면 사이에 정의된 갭을 증가시키는 방향으로)으로 이동되어 도포로 행하는데 있어서 도포장치의 동작을 편리하게 하여 주었다.

그러나 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 예로서, 하나의 대안으로서, 피도포기판의 기판스테이지상에 고정될 때, 탱크가 도포를 개시하는 정상적인 위치위로 도포액을 위치시켜서 도포액탱크가 피도포기판이 스테이지상에 고정된 후에 도포를 개시하는 위치로 (기판의 피도포면과 평행한 방향에서) 하향 이동시키는 것도 가능하다.

또하나의 다른 대안으로써는, 피도포면상에 형성된 도포막을 가지는 기판이 스테이지로부터 꺼내어질 때, 탱크가 도포를 종료하기 위하여 정상적으로 위치되는 위치아래로(기판의 피도포면과 평행한 방향에서)도포액탱크를 이동시키는 것도 가능하다.

피도포기판을 기판스테이지상에 고정하기 위한 동작이나 피도포기판을 기판스테이지로부터 꺼내기 위한 동작은 도포를 시행함에 있어서 편리하게 되는 한, 상술한 실시예 및 두가지 대안중에서의 하나의 방법이나 또는 이들을 조합한 것이 도포액탱크를 이동시키는데 채용될 수 있다.

또한 그 목적으로 탱크만을 이동시키는 것에 한정된 것은 아니다. 스테이지와 탱크중의 적어도 하나를 서로 상대적으로 이동시키는 것도 가능하다.

상술한 전 실시예에 있어서, 기판의 피도포기판상에서의 도포액의 도포에 있어서, 기판의 피도포면과 탱크의 전단면 사이의 소정의 갭이 일정하게 유지되는 동안, 도포액탱크는 제6도 내지 제8도에 도시된 직선구동기구에 의해서 정지 기판스테이지 상에서 고정된 피도기판으로 상대적으로 이동된다.

그러나 본 발명은 이것에 한정하는 것은 아니다. 피도포기판을 고정하는 스테이지나 도포액탱크중의 적어도 하나를 다른 이동기구에 의해서 서로 상대적으로 이동시키는 것도 가능하다. 즉, 피도포기판을 고정하는 스테이지를, 도포액탱크가 고정되어 있는 동안, 이동시키거나, 또는 다른 어떤 한 이동기구로 기판 및 탱크 양자를 이동시키는 것도 가능하다.

상술한 전 실시예에 있어서, 도포액탱크는 탱크의 폭방향에 걸쳐 앞으로 돌출한 전면벽부의 수직방향에서 내측 또는 상부에 전단면을 가지게 형성되어 있다. 도포액유출로는 전면벽부의 폭방향에 형성되어 있다. 도포액탱크는 피도포기판에 폭보다 작거나 같다. 그러나 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

상기의 실시예에서 설명된 바와 같이 도포액은 갭내의 형성되는 도포액이 기판의 피도포면상으로 이동하는 동안 기판의 피도포면상에 도포된다.

따라서 그 폭방향(예를 들어, 직선구동기구가 도포를 시행하기 위해서 이동되는 방향과 직교방향)에서 기판의 피도포면상에 형성된 도포막의 범위는 도포액의 풀이 형성된 갭의 폭방향에서의 크기에 의해서 결정된다.

즉, 그 범위는 갭을 정의하는 기판의 피도포면의 부분과 전단면의 부분에 의해서 결정된다. 도포액이 정의된 갭내로 공급되는 것이 필수적이다. 상기 관점에서, 또는 탱크의 구조 관점에서, 피도포기판의 폭보다도 더 크며, 탱크의 전면벽부의 전체 폭에 걸쳐 앞으로 돌출한 전단면을 가지게 형성된 도포액탱크를 사용하는 것이 가능하다.

또한 기판의 피도포면의 전체가 아니라 필요로 하는 부분에 상용하는 전면벽부의 폭에 걸쳐 앞으로 돌출한 전단면을 가지도록 형성된 도포액탱크를 사용하는 것도 가능하다. 또한 전면벽부의 폭을 도포액탱크의 것보다 더 크게 배열시키는 것도 가능하다. 또한 이들 전단면 전면벽부 및 도포액탱크의 폭들을 조합해서 채용하는 것도 가능하다.

그 외에 전면벽부의 폭방향에 형성된 도포유출로는 전단면의 폭방향에서 전체나 또는 부분적으로 개구되어도 된다.

그래서, 여러 가지 이들에 대한 수정된 것들을 채용함으로써 도포액탱크의 형상이나 구조를 변경하는 것도 가능하다. 도포액탱크 형식에서(예를들면, 제3실시예에 따른 것) 도포액 탱크의 전면벽부를 통해서 지나가는 도포액유출로의 유출구가 그의 유입구 위에 위치되며, 전단면은 유입구 및 유출구 사이의 어느 한 높이의 위치에 형성되는 하단을 가지며, 도포액은 도포를 실시함에 있어서, 도포액의 액면이 상기 유입구와 하단 사이의 어느 한 높이에 위치되도록 탱크로 유입된다. 그와 같은 형식의 장치에 있어서, 도포액의 풀이 도포의 개시시에 갭내에 형성되는 때를 제외하고는, 압력설정시스템에 협조하지 않고, 단순히 모세관 현상에 의해서, 도포처리동안 기판의 피도포면과 전단면 사이의 갭내의 도포액의 공급을 하게 하여준다. 물론 압력설정시스템을 사용하는 탱크내에 압력을 인가함으로써 갭으로 탱크내에 도포액을 강제적으로 외부에 내보는 것이 가능하다. 반면에, 상기한 형식과 다른 형식의 장치에서, 예를들면 제17,20의 실시예에 따른 장치에서, 갭으로부터 외부로 유출하는 도포액의 가능성이 있기 때문에, 압력설정시스템을 사용하여 갭으로 도포액의 공급량을 조절하는 것이 필요하다. 그것은 특히 제21실시예에 따른 장치에서 사실이다. 어느 형식에서나, 도포액유출로를 통해서 갭으로 공급되는 도포액의 양은, 압력설정시스템이 사용되지 않을 때, 갭내에서 소모되는 도포액의 양과 같다. 대조적으로 전자는 그 시스템이 이용될 때에 그 도포하는 동안 소비된다고 예상되는 도포액의 양이 미리 설정되고 도포액의 양이 갭으로 공급되기 때문에 후자와 정밀히 동일하지 않다.

그러나, 압력설정시스템이 그 장치에서, 예를 들어 제21실시예의 장치에서 사용될 때, 기판의 피도포면은 그 도포액유출로를 통해서 갭으로 공급되는 도포액의 양이 규제되기 때문에 크게 경사될 수도 있다.

그 밖에, 압력설정시스템이, 예를들어 제3실시예에서 설명된 압력설정시스템(400)이, 도포액탱크내의 압력을 설정하기 위해서 사용되며 다음과 같은 두가지 기능이 궁극적으로 시행된다.

압력설정시스템은 도포액탱크내의 압력을 일정하기 유지하는 첫째기능을 수행하며, 도표의 과정동안 이와 같은 기능을 수행하기 위해서, 기판상의 도포를 하는 동안 소비에 의해서 야기되는 탱크내의 도포액의 체적에 있어서의 변동이 이와 같은 처리동안 정확히 간막이막(440)을 계속적으로 변형시킴으로써 교정된다.

압력설정시스템은 탱크내의 압력을 인가시키거나 또는 감소시키는 동안, 시스템이 탱크내의 압력을 설정할 수 있도록, 간막이막(440)을 소정의 위치로 편위시키거나, 간막이막(400)을 그 위치에 유지하도록 하는 제2의 기능을 수행한다.

압력설정시스템의 이와 같은 두가지 기능은 도포액탱크가 외부로 개통될 때 수행되지 않음을 말할 것도 없다.

상술한 실시예들에 따른 도포장치에 있어서 압력설정시스템은 필요에 따라서 제1기능 및 제2기능을 각각이나 또는 결합해서 수행될 수도 있다.

제34도에 도시된 제12실시예에서 제어시스템은 직선구동기구를 제어하여 풀의 상단을 일정한 속도록 이동하도록 한다.

그러나 제어시스템은 역시 제74도에 도시된 바와 같은 도포의 개시시에 도포액탱크 및 기판스테이지의 상대적인 위치를 설정하기 위한 제어기능을 수행하며, 제71도 내지 제74도의 참조하여 제30실시예에서 설명된 바와 같은 소정의 칫수내의 허용범위로 기판스테이지에 상대적으로 도포액탱크의 속도를 상승시키는 기능을 수행한다.

상술한 전 실시예에 있어서, 기판스테이지는 피도포기판의 폭보다도 더 넓은 폭을 가진다. 그러나 본 발명은 여기에 한정되는 것은 아니다. 스테이지는 기판의 폭과 같은 폭을 가지거나 더 작을 수도 있다.

상기한 실시예에서 설명된 도포장치 중에서 도포장치의 가장 바람직한 구조는 그 단순성, 도포막두께와 같은 얻어지는 도포 품질, 도포 품질의 안정성등의 견지에서 채택되어야 한다.

이와같은 의미에서, 제71도 내지 제74도에 도시된 제30실시예에서 설명된 도포장치(950)이 채용되는 것이 바람직하다.

또한 그와 같은 도포장치는 역시 제71도 내지 제74도에 도시된 탱크보다도 오히려 제79도에 도시된 도포액탱크(490)이, 제80도에서의 탱크(520), 제81도에 탱크(380) 중의 하나로 설치되게 채택되는 것이 바람직하며, 이와 같은 장치에서는 도표가 이들 도면의 하나에서 도시한 도포개시위치에서 개시된다. 필요에 따라 이들 도포탱크는 제9도 내지 제11도에 도시된 제2실시예의 가스송풍부(370)이나 제32도 및 33도에 도시된 제11실시예에 있어서의 가스송풍탱크(610)을 각각 설치될 수도 있다. 가스송출부(370)이나 탱크(610)은 제2또는 제11실시예에서 상세하게 설명된 바와 같이 도포액탱크와 일체적으로 움직일 필요는 없다.

바람직하기로는 기판스테이지는 피도포기판의 양단의 기판스테이지의 것으로부터 폭방향으로 돌출되게 피도포기판의 폭보다도 더 작은 폭을 가지는 것이다.

그 외에 기판스테이지는 상방향으로 경사진 기판의 피도포면을 가진 피도포기판을 지지한다.

제71도 내지 제74도에 도시된 연장부재(510)은 바람직하기로는 기판의 하단이 파괴되는 것으로부터 만족스럽게 방지될 수 있도록, 불소수지와 같은 제25 및 제26실시예에서 설명한 수지물질로 만들어지는 것이 바람직하다.

상술한 실시예에 다른 도포장치는 크게 다음과 같은 두 그룹으로 나뉘어 진다.

하나의 그룹의 장치(여기서 일시적으로 K그룹이라 호칭된다)는 도포액탱크의 전면벽부를 통해서 지나가는 도포액유출로의 유입구가 탱크내에 저장되는 도포액의 액면위의 높이에 위치되도록 구성되어 있다. 다른 한편으로, 다른 그룹의 장치(L그룹으로 호칭된다)는 도포액유출로의 유출구와 유입구가 액면 아래에 위치되도록 구성되어 있다.

또한 K그룹의 도포장치는 서브그룹으로 나뉘어 진다. 한 서브그룸의 장치(K1서브그룹으로 호칭된다)는 전단명의 하단이 도포액유출로의 유출구 및 유출구 사이의 높이에 위치되고, 도포액탱크내에 저장되는 도포액의 액면이, 도포액이 탱크내에 공급될 때, 도포액유출로 유입구와 전단면의 하단사이에 위치되도록 구성된다.

다른 한편 서브그룹의 장치(K2서브그룹의 호칭된다)는 상기 서브그룹 K중의 상기 구조에 대한 요구에 부흥하도록 다르게 구성되어 있다.

K1서브그룹의 전형적인 예는 제3 및 제4실시예에 따른 도포장치이다. 마찬가지로, K2 서브그룹의 전형적이 예는 제17 및 제18실시예에 따른 도포장치이며, 그를 L의 전형적인 예는 제19 및 제22실시예에 따른 도포장치이다.

상기한 전제에 근거해서, 다음 것이 기판의 피도포면과 도포액탱크의 전단면 사이의 갭내에 도포액의 풀이 형성되는 방법에 관해서 상술한 실시예에 대한 상세한 설명에 보충된다.

상기한 풀을 형성하기 위해서 그룹 K의 장치에서 갭은 소정량의 도포액이 탱크로 공급되게 되는 전후에 마련되며, 그때 탱크내측이 외부와 통하게 될 때 도포액은 유출구로부터 갭으로 흘러서, 예를들면 도로액의 풀이 형성한다.

상술한 실시예의 설명에서 그들에 대한 언급은 없다 하더라도 도포액이 유출구와 그 근방을 포함하는 전단면의 적어도 한 부분에 미리 부착하는 상기 방법을 달성하는 것이 필수적이다. 예로서 전단면이 단일기판에 대한 도포처리가 종료될 때마다 전단면이 세척된다 하더라도 소위 단일기판처리로 본 발명의 장치를 적용함에 있어서, 첫 번째 기판에 뒤따르는 기판에 대한 도포의 처리가 연속적으로 수행되는 경우에 있어서 그와 같은 필수조건에 부흥할 수가 있다.

상기한 이유에 대해서는, 서브그룹 K1 및 K2의 장치에서 갭내의 풀을 형성하기 위하여 압력설정시스템을 사용하는 것이 필요하지 않는 것으로 설명되었다.

그러나 그와 같은 목적을 달성하기 위해서 도포액이 전혀 부착되지 않는다 하더라도 역시 갭내의 도포액의 풀의 일부분이 도포액탱크내의 압력을 설정하기 위한 압력설정시스템에 의해서 도포액탱크 내측으로 압력을 인가함으로써 형성되고 그후 소정의 밸트형상의 풀이 상기 시스템을 이용하여 탱크내의 압력을 인가하는 단계와 또는 외부로 탱크를 연통시키는 단계를 각각 연속적으로 수행함으로써 형성되는 것이 역시 설명되어 있다.

갭내의 도포액의 풀을 형성하는 방법은 상술한 것에만 제한되지 않는다. 예를 들면 도포액장치는 서로서로 떨어지거나 또는 서로 행하는 방향으로 도포액탱크와 기판스테이지 중의 적어도 하나를 상대적으로 이동시키기 위한 이동기구가 설치될 수도 있다. 그 장치에서 이동기구는 스테이지 및 탱크중의 적어도 하나는 탱크의 전단면이 기판의 피도포면과 접촉을 야기하도록 서로 행하는 방향으로 상대적으로 이동한다. 이어서, 이동기구는 풀내의 소정크기의 벨트형상의 갭을 형성하는데 필요한 거리만큼 서로서로 떨어지는 방향으로 그들중 적어도 하나를 이동한다.

미리 도포액이 유출구와 그 근방을 포함하는 전단면의 적어도 한 부분에 부착할 대 이동기구는 갭내에 도포액의 풀의 적어도 일부분을 형성하는 거리만큼 서로를 향하는 방향으로 상대적으로 그들 중 적어도 나를 이동시킨다. 이어, 마찬가지로, 상기 거리만큼 서로서로 상대적으로 떨어지는 방향으로 스테이지와 탱크중 적어도 하나를 이동시킨다.

압력설정시스템은 역시 이 장치에서 상기의 방법과 결합하여 풀을 형성하기 위하여 사용할 수도 있다.

그룹 L의 장치에 있어서, 도포액유출로의 유출구와 유입구는 상술한 바와 같이 도포액이 탱크로 공급될 대 액면 이하로 위치된다. 따라서 압력설정시스템은 도포액이 도포액내의 풀을 형성하기 위해서 갭내로 흘러 나가도록 탱크내에 압력을 설정하는 것이 바람직하다.

본 발명이 상세하게 설명되고 예시되었지만, 예시와 예일 뿐이지 그것으로 한정하고자 한 것은 아니며, 본 발명의 기술사상과 범위는 첨부된 청구항에 의해서만 한정되는 점을 이해해야 된다.

Claims (149)

1. 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 증동통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하고 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면과 대항하여 있는 전단면과 상기 기판의 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하고 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 서로 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구와 유입구 사이의 어느 한 높이의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이와 상기 유출구사이에서 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액 유출로의 유입구와 상기 도포액 탱크의 하단사이의 어느 한 높이에 위치되도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀(pool)를 형성하도록 한 기판의 도포액 도포장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 피도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 기판지지수단은, 기판의 하단 부분이 상기 기판지지수단의 하단에서 아래쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 피도포면에 도포액을 도포하기 전에 상기 갭에서 풀을 형성하기 위해, 상기 도포액 유출로를 통해 상기 갭으로 도포액이 흐르도록 상기 도포액 탱크의 내부에서 압력을 증가시키며, 상기 도포액 탱크의 내부와 연통된 가압수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 피도포면에 대한 도포가 완료될 때, 상기 폴의 도포액이 상기도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크의 내부에서 압력을 감소시키며, 상기 도포액 탱크의 내부와 연통된 감압수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 건조를 촉진하기 위해 상기 풀에서 상기 기판 피도포면으로 도포된 도포액에 소정 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판 피도포면에 도포액을 도포한 즉시 도포액에 상기 소정 가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
9. 제1항에 있어서, 상기 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동 속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 제어수단은, 도포개시위치에 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 상기 도포액 탱크 전단면의 상단과 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 도포액탱크와 상기 기판지지수단을 위치시키는 기판의 도포액 도포장치.
11. 제10항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 이동수단의 이동 개시시에 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서의 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대한 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대적인 속도가 소정된 범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
12. 제1항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면 벽부를 가지고, 상기 도포액탱크의 전단면과 상기 지지기판에 의해 지지되는 기판의 피드포면사이에 형성된 갭에 연속하는 갭을 상기 전면벽부와 상기 도포액탱크의 전단면상이의 위치에서 형성하도록 배열되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 적어도 풀의 일부분이 기판의 하단을 넘어서, 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
14. 제13항에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀이고, 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
15. 제13항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
16. 제13항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
17. 제12항에 있어서, 상기 연장부재의 단면은, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
18. 제1항에 있어서, 상기 소정의 크기는 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치.
19. 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하여 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하고 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 서로 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구와 유입구 사이의 어느 한 높이의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이에 의해 도달되는 최대높이 위에 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액 유출로의 유입구와 상기 도포액탱크의 전단면의 하단사이의 어느 한 높이에 위치되도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀을 형성하고, 상기 풀 위에는 도포액이 전혀 들어있지 않는 공간이 형성되게 한 기판의 도포액 도포장치.
20. 제19항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 기판 도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
21. 제19항에 있어서, 상기 기판지지수단은, 기판의 하단 부분이 상기 기판지지수단의 하단에서 아래쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
22. 제21항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
23. 제19항에 있어서, 상기 도포면에 도포액을 도포하기 전에 상기 갭에서 풀을 형성하기 위해, 상기 도포액 유출로를 통해 상기 갭으로 도포액이 흐르도록 상기 도포액 탱크의 내부에서 압력을 증가시키며, 상기 도포액 탱크의 내부와 연통된 가압수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
24. 제19항에 있어서, 상기 도포면에 대한 도포가 완료될 때, 상기 풀의 도포액이 상기 도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크의 내부에서 압력을 감소시키는 상기 도포액 탱크의 내부와 연통된 감압수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
25. 제19항에 있어서, 상기 도포액탱크의 건조를 촉진하기 위해, 상기 풀에서 상기 기판의 피도포면에 도포된 도포액에 소정 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
26. 제25항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판의 피도포면에 도포액을 도포한 즉시 도포액에 상기 소정가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
27. 제19항에 있어서, 상기 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
28. 제27항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 상기 최대높이와 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 도포개시위치에 상기 도포액탱크와 상기 기판지지수단을 지지시키는 기판의 도포액 도포하는 장치.
29. 제28항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 이동수단의 이동 시작시, 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서의 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대해 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대속도가 소정범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
30. 제19항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되어, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
31. 제30항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 전단면사이의 위치에서 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액 탱크의 상기 전단면사이에 형성된 갭에 대해 연속하는 갭을 형성하도록 배치되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 적어도 일부분이 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
32. 제31항에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부과 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
33. 제31항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
34. 제31항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
35. 제30항에 있어서, 상기 연장부재의 단면은, 도포액에 대한 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
36. 제19항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면이 상기 도포액 유출로의 유출구 위쪽의 적어도 일부분에서 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판에 의한 갭이 상기 설정크기보다 넓게 되게, 형성된 기판의 도포액 도포장치.
37. 제36항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면은, 상기 설정된 크기의 갭을 그들 사이에 가지고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 하부와, 상기 설정된 크기보다 더 넓은 갭을 그들 사이에 가지고 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 상부와 가지는 층이진 표면인 기판의 도포액 도포장치.
38. 제37항에 있어서, 상기 도포액 유출구는 , 상기 전단면 하부와 전단면 상부 사이의 경계에 형성되는 기판의 도포액 도포장치.
39. 제19항에 있어서, 상기 설정된 크기는 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치.
40. 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하여 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하고 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구와 유입구 사이의 어느한 높이의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이와 상기 유출구사이에서 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액의 유출로의 유입구와 상기 도포액 탱크의 전단면의 하단 사이의 어느 한 높이에 위치되도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀(pool)를 형성하고, 상기 풀 위에 상기 도포액의 량을 제어하기 위해 상기 도포액탱크에 결합하는 압력조절 수단을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
41. 제40항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 기판 도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
42. 제40항에 있어서, 상기 기판지지수단은, 기판의 하단 부분이 상기 기판지지수단의 하단에서 아래쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
43. 제42항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
44. 제40항에 있어서, 상기 압력조절수단은 상기 도포면에 대한 도포가 완료될 때, 상기 풀의 도포액이 상기 도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크에서 압력을 감소시키는 기판의 도포액 도포장치.
45. 제40항에 있어서, 상기 도포액탱크의 건조를 촉진하기 위해, 상기 풀에서 상기 기판의 피도포면에 도포된 도포액에 설정된 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
46. 제45항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판의 도포면에 도포액을 도포한 후 즉시 도포액에 상기 설정된 가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
47. 제40항에 있어서, 상기 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
48. 제47항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 상기 도포액 탱크 전단면의 상단과 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 도포개시위치에 상기 도포액 탱크와 상기 기판지지수단을 위치시키는 기판의 도포액 도포장치.
49. 제48항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 이동수단의 이동 시작시, 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서의 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대해 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대속도가 설정된 범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
50. 제40항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되어, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
51. 제50항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 전단면사이의 위치에서 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액 탱크의 상기 전단면사이에 형성된 갭에 대해 연속하는 갭을 형성하도록 배치되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 최소부분이 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
52. 제51항에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부과 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
53. 제51항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
54. 제51항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
55. 제50항에 있어서, 상기 연장부재의 단면은, 도포액에 대한 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
56. 제40항에 있어서, 상기 설정된 크기는 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치.
57. 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하고 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하여 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 서로 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구와 유입구 사이의 어느 한 높이의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이 위에 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액의 유출로의 유입구와 상기 도포액 탱크의 전단면의 하단 사이의 어느 한 높이에 위치하도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀을 형성하고, 상기 풀 위에 도포액의 량을 제어하기 위해 상기 도포액탱크로 결합되는 압력조절수단을 가지도록 한 기판의 도포액 도포장치.
58. 제57항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 기판 도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
59. 제57항에 있어서, 상기 기판지지수단은, 기판의 하단 부분이 상기 기판지지수단의 하단에서 아래쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
60. 제59항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
61. 제57항에 있어서, 상기 압력조절수단은 상기 도포면에 대한 도포가 완료될 때, 상기 풀의 도포액이 상기 도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크의 내부에서 압력을 감소시키는 기판의 도포액 도포장치.
62. 제57항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 건조를 촉진하기 위해, 상기 기판 도포면으로 도포된 도포액에 설정된 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
63. 제62항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판 도포면에 도포액을 도포한 후 즉시 도포액에 상기 설정된 가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
64. 제57항에 있어서, 상기 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 지지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
65. 제64항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 상기 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 도포 개시위치에 상기 도포액탱크와 상기 기판지지수단을 위치시키는 기판의 도포액 도포장치.
66. 제65항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 이동수단의 이동 시작시, 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서의 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대해 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대적인 속도가 소정범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
67. 제57항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되어, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단부표면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
68. 제67항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 전단면사이의 위치에서 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액 탱크의 상기 전단면사이에 형성된 갭에 대해 연속하는 갭을 형성하도록 배치되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 적어도 일부분이 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
69. 제68항에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부과 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
70. 제68항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
71. 제68항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
72. 제67항에 있어서, 상기 연장부재의 단면은, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
73. 제57항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면는 상기 도포액 유출로의 유출구 위쪽의 적어도 일부분에서 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판에 의한 갭이 상기 설정된 크기보다 크게되는 기판의 도포액 도포장치.
74. 제73항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면은, 상기 설정된 크기의 갭을 가지고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 하부와, 상기 설정된 크기보다 더 넓은 갭을 가지고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 상부와 가지는 층이진 면인 기판의 도포액 도포장치.
75. 제74항에 있어서, 상기 도포액 유출구로의 유출는 , 상기 전단면 하부와 전단면 상부 사이의 경계에 형성되는 기판의 도포액 도포장치.
76. 제57항에 있어서, 상기 설정된 크기는 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치.
77. 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하고 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하여 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 서로 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구와 유입구 아래의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이와 상기 유출구사이에서 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액의 유출로의 유입구와 상기 도포액 탱크의 전단면의 하단 사이의 어느 한 높이에 위치되도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀(pool)를 형성하고, 상기 도포액의 량을 제어하기 위해 상기 도포액탱크로 결합되는 압력조절수단을 가지도록 한 기판의 도포액 도포장치.
78. 제77항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 기판 도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
79. 제77항에 있어서, 상기 기판지지수단은, 기판의 하단 부분이 상기 기판지지수단의 하단에서 아래쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
80. 제79항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
81. 제77항에 있어서, 상기 압력조절수단은, 상기 도포면에 대한 도포가 완료될 때, 상기 풀의 도포액이 상기 도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크에서 압력을 감소시키는 기판의 도포액 도포장치.
82. 제77항에 있어서, 상기 도포액탱크가 상기 이동수단에 의해 이동될 때, 도포액의 건조를 촉진하기 위해 상기 풀에서 상기 기판의 도포면으로 도포된 도포액에 설정된 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
83. 제82항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판 도포면에 도포액을 도포한 즉시 도포액에 상기 설정된 가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
84. 제77항에 있어서, 상기 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
85. 제77항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 상기 도포액 탱크 전단면의 상단과 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 도포 시작위치에 상기 도포액탱크와 상기 기판지지수단을 위치시키는 기판의 도포액 도포장치.
86. 제85항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 이동수단의 이동 시작시, 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서의 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대해 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대적인 속도가 설정된 범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
87. 제77항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되어, 상기 기판유지수단에 의해 유지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
88. 제87항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 전단면사이의 위치에서 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액 탱크의 상기 전단면사이에 형성된 갭에 대해 연속하는 캡을 형성하도록 배치되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 기판의 하단을 가로지르는 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 적어도 일부분이 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
89. 제88항에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부과 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
90. 제88항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
91. 제88항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
92. 제88항에 있어서, 상기 연장부재의 단면은, 도포액에 대한 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
93. 제77항에 있어서, 상기 설정된 크기는 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치.
94. 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하고 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하여 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 서로 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유입구 아래의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이 위에 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액의 유출로의 유입구와 상기 도포액 탱크의 전단면의 하단 사이의 어느 한 높이에 위치하도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀(pool)을 형성하고, 상기 도포액이 전혀 들어가 있지 않는 공간이 형성되며, 상기 폴에 상기 도포액의 량을 조절하기 위해 상기 도포액탱크로 결합되는 압력조절수단을 가지도록 한 기판의 도포액 도포장치.
95. 제94항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 기판 도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
96. 제94항에 있어서, 상기 기판유지수단은, 기판의 하단 부분이 상기 기판지지수단의 하단에서 아래쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
97. 제96항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
98. 제94항에 있어서, 상기 압력조절수단은, 상기 도포면에 대한 도포가 완료될 때, 상기 풀의 도포액이 상기 도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크의 내부에서 압력을 감소시키는 기판의 도포액 도포장치.
99. 제94항에 있어서, 상기 도포액탱크의 건조를 촉진하기 위해, 상기 풀에서 상기 기판의 피도포면으로 도포된 도포액에 설정된 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
100. 제99항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판 도포면에 도포액을 도포한 즉시 도포액에 상기 설정된 가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
101. 제94항에 있어서, 상기 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
102. 제101항에 있어서, 상기 제어수단은, 도포개시 위치에서 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 최대높이와 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 상기 도포액탱크와 상기 기판지지수단을 위치시키는 기판의 도포액 도포장치.
103. 제102항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 이동수단의 이동 시작시, 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대해 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대속도가 설정된 범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
104. 제94항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되어, 상기 기판유지수단에 의해 유지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
105. 제104항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 전단면사이의 위치에서 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액 탱크의 상기 전단면사이에 형성된 갭에 대해 연속하는 갭을 형성하도록 배치되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 적어도 일부분이 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
106. 제105항에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서, 상기 연장부재의 전면벽부과 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
107. 제105항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
108. 제105항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
109. 제104항에 있어서, 상기 연장부재의 단면은, 도포액에 대한 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
110. 제94항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면은, 상기 도포액 유출로의 유출구 위쪽의 적어도 일부분에서 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판에 의한 갭을 상기 설정된 크기보다 넓게 되는 기판의 도포액 도포장치.
111. 제110항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면은, 상기 설정된 크기의 갭을 가지고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 하부와, 상기 설정된 크기보다 더 넓은 갭을 가지고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 상부와 가지는 층이진 표면인 기판의 도포액 도포장치.
112. 제111항에 있어서, 상기 도포액 유출로의 유출구는 , 상기 전단면 하부와 전단면 상부 사이의 경계에 형성되는 기판의 도포액 도포장치.
113. 제94항에 있어서, 상기 설정된 크기의 갭은 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치.
114. 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하고 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하여 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유입구 아래의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이와 상기 유출구사이에서 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액의 유출로의 유입구와 유출구 양자보다 높기 위치하도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀를 형성하고, 상기 풀 내에 상기 도포액의 량을 제어하기 위해 상기 도포액탱크에 결합되는 압력조절수단을 가지도록 한 기판의 도포액 도포장치.
115. 제114항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 기판 도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
116. 제114항에 있어서, 상기 기판지지수단은, 기판의 하단 부분이 상기 기판지지수단의 하단에서 아래쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
117. 제116항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
118. 제114항에 있어서, 상기 압력조절수단은, 상기 피도포면에대한 도포가 완료될 때, 상기 풀의 도포액이 상기 도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크에서 압력을 감소시키는 기판의 도포액 도포장치.
119. 제114항에 있어서, 상기 도포액탱크의 건조를 촉진하기 위해, 상기 풀에서 상기 기판의 피도포면으로 도포된 도포액에 설정된 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
120. 제119항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판의 피도포면에 도포액을 도포한 후 즉시 도포액에 상기 설정된 가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
121. 제114항에 있어서, 상기 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
122. 제121항에 있어서, 상기 제어수단은, 도포개시위치에서 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 상기 도포액 탱크 전단면의 상단과 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 상기 도포액 탱크와 상기 기판지지수단을 위치시키는 기판의 도포액 도포장치.
123. 제122항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 이동수단의 이동 시작시, 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대해 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대적인 속도가 설정된 범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
124. 제114항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되어, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
125. 제124항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 앞단 표면사이의 위치에서 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액 탱크의 상기 전단면사이에 형성된 갭에 대해 연속하는 갭을 형성하도록 배치되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액 탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 적어도 일부분이 기판의 하단을 넘어서, 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
126. 제125항에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
127. 제125항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
128. 제125항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대한 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
129. 제124항에 있어서, 상기 연장부재의 단면은, 도포액에 대한 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
130. 제40항에 있어서, 상기 설정된 크기는 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치. 제114 항에 있어서, 상기
131. 피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하고 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하여 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구 아래의 높이의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이 위에 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액의 유출로의 유입구와 상기 도포액탱크의 전단면의 하단 사이의 어느 한 높이에 위치하도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀(pool)을 형성하고, 상기 풀 위에 는 도포액이 전혀 들어있지 않는 공간이 형성되고, 상기 풀 내에 도포액의 량을 제어하기 위해 도포액탱크에 결합되는 압력조절수단을 가지도록 한 기판의 도포액 도포장치.
132. 제131항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 기판의 피도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
133. 제131항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
134. 제131항에 있어서, 상기 압력조절수단은, 상기 피도포면에 대한 도포가 완료될 때, 상기 풀의 도포액이 상기 도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크의 내부에서 압력을 감소시키는 기판의 도포액 도포장치.
135. 제131항에 있어서, 상기 도포액 탱크가 상기 이동수단에 의해 이동될 때, 도포액의 건조를 촉진하기 위해, 상기 풀에서 상기 기판의 피도포면에 도포된 도포액에 설정된 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
136. 제136항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판의 피도포면에 도포액을 도포한 후 즉시 도포액에 상기 설정된 가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
137. 제131항에 있어서, 상기 풀의 상단에서 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
138. 제131항에 있어서, 상기 제어수단은, 도포개시위치에서 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 상기 최대높이와 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 상기 도포액 탱크와 상기 기판지지수단을 위치시키는 기판의 도포액 도포장치.
139. 제139항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 이동수단의 이동 시작시, 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대해 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대속도가 설정된 범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
140. 제131항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되어, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
141. 제141항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 전단면사이의 위치에서 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액 탱크의 상기 전단면사이에 형성된 갭에 대해 연속하는 갭을 형성하도록 배치되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 적어도 일부분이 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
142. 제142항에 있어서, 상기 이동수단은 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부과 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
143. 제142항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
144. 제142항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
145. 제141항에 있어서, 상기 연장부재의 단부표면은, 도포액에 대한 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
146. 제131항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면은, 상기 도포액 유출로의 유출구 위쪽의 적어도 일부분에서 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판에 의한 갭이 상기 설정된 크기보다 크게되는 기판의 도포액 도포장치.
147. 제147항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면은, 상기 설정된 크기의 갭을 가지고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 하부와, 상기 설정된 크기보다 더 넓은 갭을 가지고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 상부를 가지는 층이진 표면인 기판의 도포액 도포장치.
148. 제148항에 있어서, 상기 도포액 유출로의 유출구는 , 상기 전단면 하부와 전단면 상부 사이의 경계에 형성되는 기판의 도포액 도포장치.
149. 제131항에 있어서, 상기 설정된 크기는 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치.