KR960005857A

KR960005857A - 기판도포장치

Info

Publication number: KR960005857A
Application number: KR1019950015254A
Authority: KR
Inventors: 다카유키 우마바
Original assignee: 이시다 아키라; 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
Priority date: 1994-07-15
Filing date: 1995-06-09
Publication date: 1996-02-23
Also published as: US5688324A; KR0157707B1

Abstract

기판도포장치는 스테이지, 도포액 탱크 및 이동기구를 포함한다. 스테이지는 수직 또는 경사지게 되는 기판을 유지한다. 상기 탱크는 상기의 폭방향을 따라 연장되고, 양단이 폐쇄된 원주 형태를 갖는다. 상기 탱크는 도포되는 영역의 폭에 걸쳐진 개구를 가진 유출로 상기 유출구 아래의 탱크에서 개구된 유입구를 갖는다. 예를 들면, 0.1~0.3㎜인 설정된 공간으로, 전단면이 기판의 표면과 대향되도록 이동기구가 탱크를 지지한다. 이동기구는 탱크와 기판사이에서 설정된 공간을 유지하면서 기판에 상대적으로 높이방향으로 탱크를 개시위치부터 종료위치까지 직선적으로 이동시킨다. 탱크의 전단면은 도포액 배출로의 유출구와 유입구 사이에 위치된 하단을 갖는다. 상단은 도포액의 모세관 작용에 의해 갭에서 도달된 최대 높이 위치와 유출구사이, 또는 최대높이 위에 형성된다. 도포장치는 스테이지의 하단상에 배치되어, 기판의 하단과 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 포함한다.

Description

기판도포장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 본 발명의 제1실시예의 주요부분의 수직단면도.

제3도는 제1실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 전면도.

제4도는 제1실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 평면도.

제5도는 제1실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 확대수직단면도.

제6도는 제1실시예에 따른 도포장치의 측면도.

제7도는 제1실시예에 따른 도포장치의 정면도.

제8도는 제1실시예에 따른 도포장치의 평면도.

제9도는 제2실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 수직단면도.

제10도는 제2실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 정면도.

제11도는 제2실시예에 따른 도포장치의 주요부분의 평면도.

Claims

피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 증공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하고 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면과 대항하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액탱크를 지지하고 적어도 기판지지기구와 도포액 탱크중의 하나를, 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 서로 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구와 유입구 사이의 어느 한 높이의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이와 상기 유출구사이에서 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액 유출로의 유입구와 상기 도포액 탱크의 전단면의 하단 사이의 어느 한 높이에 위치되도록, 이동기구에 의해 지지되 는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 풀(pool)를 형성하도록 한 기판의 도포액 도포장치.
제1항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 피도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제1항에 있어서, 상기 기판지지수단은, 기판의 하단 부분이 상기 기판지지수단의 하단에서 아래쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제3항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제1항에 있어서, 상기 피도포면에 도포액을 도포하기 전에 상기 갭에서 풀을 형성하기 위해, 상기 도포액 유출로를 통해 상기 갭으로 도포액이 흐르도록 상기 도포액 탱크의 내부에서 압력을 증가시키며, 상기 도포액 탱크의 내부와 연통된 가압수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제1항에 있어서, 상기 피도포면에 대한 도포가 완료될 때, 상기 폴의 도포액이 상기도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크의 내부에서 압력을 감소시키며, 상기 도포액 탱크의 내부와 연통된 감압수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제1항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 건조를 촉진하기 위해 상기 풀에서 상기 기판 피도포면으로 도포된 도포액에 소정 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제7항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판 피도포면에 도포액을 도포한 즉시 도포액에 상기 소정 가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
제1항에 있어서, 상기 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동 속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제9항에 있어서, 상기 제어수단은, 도포개시위치에 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 상기 도포액 탱크 전단면의 상단과 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 도포액탱크와 상기 기판지지수단을 위치시키는 기판의 도포액 도포장치.
제10항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 이동수단의 이동 개시시에 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서의 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대한 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대적인 속도가 소정된 범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
제1항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제12항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 도포액 탱크의 전단면과 상기 상기 지지기판에 의해 지지되는 기판의 피드포면 사이에 형성된 갭에 연속하는 갭을 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 전단면상이의 위치에서 형성하도록 배열되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액 탱크의 전단면사이에 형성된 적어도 풀의 일부분이 기판의 하단을 넘어서, 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제13항에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀이고, 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제13항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
제13항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제12항에 있어서, 상기 연장부재의 단면은, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제1항에 있어서, 상기 소정의 크기는 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치.
피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하여 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하고 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 서로 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구와 유입구 사이의 어느 한 높이의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이 위에 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액 유출로의 유입구와 상기 도포액 탱크의 전단면의 하단 사이의 어느 한 높이에 위치되도록, 이동기구에 의해 지지되 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀을 형성하고, 상기 풀 위에는 도포액이 전혀 들어 있지 않는 공간이 형성되게 한 기판의 도포액 도포장치.
제19항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 기판 도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제19항에 있어서, 상기 기판지지수단은, 기판의 하단 부분이 상기 기판지지수단의 하단에서 아래쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제21항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제19항에 있어서, 상기 도포면에 도포액을 도포하기 전에 상기 갭에서 풀을 형성하기 위해, 상기 도포액 유출로를 통해 상기 갭으로 도포액이 흐르도록 상기 도포액 탱크의 내부에서 압력을 증가시키며, 상기 도포액 탱크의 내부와 연통된 가압수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제19항에 있어서, 상기 도포면에 대한 도포가 완료될 때, 상기 풀의 도포액이 상기 도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크의 내부에서 압력을 감소시키는 상기 도포액 탱크의 내부와 연통된 감압수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제19항에 있어서, 상기 도포액탱크의 건조를 촉진하기 위해, 상기 풀에서 상기 기판의 피도포면에 도포된 도포액에 소정 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제25항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판의 피도포면에 도포액을 도포한 즉시 도포액에 상기 소정가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
제19항에 있어서, 상기 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제27항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 상기 최대높이와 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 도포개시위치에 상기 도포액탱크와 상기 기판지지수단을 지지시키는 기판의 도포액 도포하는 장치.
제28항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 이동수단의 이동 시작시, 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서의 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대해 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대속도가 소정범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
제19항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되어, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제30항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 전단면사이의 위치에서 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액 탱크의 상기 전단면사이에 형성된 갭에 대해 연속하는 갭을 형성하도록 배치되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 적어도 일부분이 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제31항에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부과 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제31항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
제31항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제30항에 있어서, 상기 연장부재의 단면은, 도포액에 대한 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제19항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면이 상기 도포액 유출로의 유출구 위쪽의 적어도 일부분에서 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판에 의한 갭이 상기 설정크기보다 넓게 되게, 형성된 기판의 도포액 도포장치.
제36항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면은, 상기 설정된 크기의 갭을 그들 사이에 가지고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 하부와, 상기 설정된 크기보다 더 넓은 갭을 그들 사이에 가지고 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 상부와 가지는 층이진 표면인 기판의 도포액 도포장치.
제37항에 있어서, 상기 도포액 유출구는 , 상기 전단면 하부와 전단면 상부 사이의 경계에 형성되는 기판의 도포액 도포장치.
제19항에 있어서, 상기 설정된 크기는 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치.
피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하여 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하고 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구와 유입구 사이의 어느한 높이의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이와 상기 유출구사이에서 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액의 유출로의 유입구와 상기 도포액 탱크의 전단면의 하단 사이의 어느 한 높이에 위치되도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀(pool)를 형성하고, 상기 풀 위에 상기 도포액의 량을 제어하기 위해 상기 도포액탱크에 결합하는 압력조절 수단을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제40항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 기판 도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제40항에 있어서, 상기 기판지지수단은, 기판의 하단 부분이 상기 기판지지수단의 하단에서 아래쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제42항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제40항에 있어서, 상기 압력조절수단은 상기 도포면에 대한 도포가 완료될 때, 상기 풀의 도포액이 상기 도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크에서 압력을 감소시키는 기판의 도포액 도포장치.
제40항에 있어서, 상기 도포액탱크의 건조를 촉진하기 위해, 상기 풀에서 상기 기판의 피도포면에 도포된 도포액에 설정된 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제45항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판의 도포면에 도포액을 도포한 후 즉시 도포액에 상기 설정된 가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
제40항에 있어서, 상기 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제47항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 상기 도포액 탱크 전단면의 상단과 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 도포개시위치에 상기 도포액 탱크와 상기 기판지지수단을 위치시키는 기판의 도포액 도포장치.
제48항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 이동수단의 이동 시작시, 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서의 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대해 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대속도가 설정된 범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
제40항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되어, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제50항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 전단면사이의 위치에서 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액 탱크의 상기 전단면사이에 형성된 갭에 대해 연속하는 갭을 형성하도록 배치되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 최소부분이 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제51항에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부과 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제51항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
제51항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제50항에 있어서, 상기 연장부재의 단면은, 도포액에 대한 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제40항에 있어서, 상기 설정된 크기는 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치.
피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하고 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하여 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 서로 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구와 유입구 사이의 어느 한 높이의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이 위에 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액의 유출로의 유입구와 상기 도포액 탱크의 전단면의 하단 사이의 어느 한 높이에 위치하도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀을 형성하고, 상기 풀 위에 도포액의 량을 제어하기 위해 상기 도포액탱크로 결합되는 압력조절수단을 가지도록 한 기판의 도포액 도포장치.
제57항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 기판 도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제57항에 있어서, 상기 기판지지수단은, 기판의 하단 부분이 상기 기판지지수단의 하단에서 아래쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제59항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제57항에 있어서, 상기 압력조절수단은 상기 도포면에 대한 도포가 완료될 때, 상기 풀의 도포액이 상기 도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크의 내부에서 압력을 감소시키는 기판의 도포액 도포장치.
제57항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 건조를 촉진하기 위해, 상기 기판 도포면으로 도포된 도포액에 설정된 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제62항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판 도포면에 도포액을 도포한 후 즉시 도포액에 상기 설정된 가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
제57항에 있어서, 상기 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 지지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제64항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 상기 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 도포 개시위치에 상기 도포액탱크와 상기 기판지지수단을 위치시키는 기판의 도포액 도포장치.
제65항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 이동수단의 이동 시작시, 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서의 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대해 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대적인 속도가 소정범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
제57항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되어, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단부표면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제67항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 전단면사이의 위치에서 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액 탱크의 상기 전단면사이에 형성된 갭에 대해 연속하는 갭을 형성하도록 배치되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 적어도 일부분이 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제68항에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부과 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제68항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
제68항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제67항에 있어서, 상기 연장부재의 단면은, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제57항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면는 상기 도포액 유출로의 유출구 위쪽의 적어도 일부분에서 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판에 의한 갭이 상기 설정된 크기보다 크게되는 기판의 도포액 도포장치.
제73항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면은, 상기 설정된 크기의 갭을 가지고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 하부와, 상기 설정된 크기보다 더 넓은 갭을 가지고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 상부와 가지는 층이진 면인 기판의 도포액 도포장치.
제74항에 있어서, 상기 도포액 유출구로의 유출는 , 상기 전단면 하부와 전단면 상부 사이의 경계에 형성되는 기판의 도포액 도포장치.
제57항에 있어서, 상기 설정된 크기는 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치.
피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하고 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하고 적어도 기판지지기구와 도포액 탱크중의 하나를, 소정갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 서로 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구와 유입구 아래의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이와 상기 유출구사이에서 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액유출로의 유입구와 상기 도포액 탱크의 전단면의 하단 사이의 어느 한 높이에 위치되도록, 이동기구에 의해지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀(pool)를 형성하고, 상기 도포액의 량을제어하기 위해 상기 도포액 탱크에 결합되는 압력조절수단을 가지도록 한 기판의 도포액 도포장치.
제77항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 기판 도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제77항에 있어서, 상기 기판지지수단은, 기판의 하단 부분이 상기 기판지지수단의 하단에서 아래쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제79항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제77항에 있어서, 상기 압력조절수단은, 상기 도포면에 대한 도포가 완료될 때, 상기 풀의 도포액이 상기 도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크에서 압력을 감소시키는 기판의 도포액 도포장치.
제77항에 있어서, 상기 도포액탱크가 상기 이동수단에 의해 이동될 때, 도포액의 건조를 촉진하기 위해 상기 풀에서 상기 기판의 도포면으로 도포된 도포액에 설정된 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제82항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판 도포면에 도포액을 도포한 즉시 도포액에 상기 설정된 가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
제77항에 있어서, 상기 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제77항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 상기 도포액 탱크 전단면의 상단과 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 도포 시작위치에 상기 도포액탱크와 상기 기판지지수단을 위치시키는 기판의 도포액 도포장치.
제85항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 이동수단의 이동 시작시, 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서의 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대해 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대적인 속도가 설정된 범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
제77항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되어, 상기 기판유지수단에 의해 유지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제87항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 전단면사이의 위치에서 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액 탱크의 상기 전단면 사이에 형성된 갭에 대해 연속하는 캡을 형성하도록 배치되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 기판의 하단을 가로지르는 상기 도포액 탱크의 전단면 사이에 형성된 풀의 적어도 일부분이 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제88항에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부과 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제88항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
제88항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제88항에 있어서, 상기 연장부재의 단면은, 도포액에 대한 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제77항에 있어서, 상기 설정된 크기는 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치.
피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하고 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하여 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액 탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유입구 아래의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이 위에 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액의 유출로의 유입구와 상기 도포액 탱크의 전단면의 하단 사이의 어느 한 높이에 위치하도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀(pool)을 형성하고, 상기 풀 위에는 도포액이 전혀 들어가 있지 않는 공간이 형성되며, 상기 폴에 상기 도포액의 량을 조절하기 위해 상기 도포액탱크로에 결합하는 압력조절 수단을 가지도록 한 기판의 도포액 도포장치.
제94항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 기판 도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제94항에 있어서, 상기 기판유지수단은, 기판의 하단 부분이 상기 기판지지수단의 하단에서 아래쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제96항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제94항에 있어서, 상기 압력조절수단은, 상기 도포면에 대한 도포가 완료될 때, 상기 풀의 도포액이 상기 도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크의 내부에서 압력을 감소시키는 기판의 도포액 도포장치.
제94항에 있어서, 상기 도포액탱크의 건조를 촉진하기 위해, 상기 풀에서 상기 기판의 피도포면으로 도포된 도포액에 설정된 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제99항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판 도포면에 도포액을 도포한 즉시 도포액에 상기 설정된 가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
제94항에 있어서, 상기 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제101항에 있어서, 상기 제어수단은, 도포개시 위치에서 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 최대높이와 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 상기 도포액탱크와 상기 기판지지수단을 위치시키는 기판의 도포액 도포장치.
제102항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 이동수단의 이동 시작시, 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대해 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대속도가 설정된 범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
제94항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되어, 상기 기판유지수단에 의해 유지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제104항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 전단면사이의 위치에서 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액 탱크의 상기 전단면사이에 형성된 갭에 대해 연속하는 갭을 형성하도록 배치되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 적어도 일부분이 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제105항에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서, 상기 연장부재의 전면벽부과 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제105항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
제105항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제104항에 있어서, 상기 연장부재의 단면은, 도포액에 대한 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제94항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면은, 상기 도포액 유출로의 유출구 위쪽의 적어도 일부분에서 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판에 의한 갭을 상기 설정된 크기보다 넓게 되는 기판의 도포액 도포장치.
제110항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면은, 상기 설정된 크기의 갭을 가지고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 하부와, 상기 설정된 크기보다 더 넓은 갭을 가지고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 상부와 가지는 층이진 표면인 기판의 도포액 도포장치.
제111항에 있어서, 상기 도포액 유출로의 유출구는 , 상기 전단면 하부와 전단면 상부 사이의 경계에 형성되는 기판의 도포액 도포장치.
제94항에 있어서, 상기 설정된 크기의 갭은 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치.
피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하고 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하여 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유입구 아래의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이와 상기 유출구사이에서 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액의 유출로의 유입구와 유출구 양자보다 높기 위치하도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀를 형성하고, 상기 풀 내에 상기 도포액의 량을 제어하기 위해 상기 도포액탱크에 결합되는 압력조절수단을 가지도록 한 기판의 도포액 도포장치.
제114항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 기판 도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제114항에 있어서, 상기 기판지지수단은, 기판의 하단 부분이 상기 기판지지수단의 하단에서 아래쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제116항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제114항에 있어서, 상기 압력조절수단은, 상기 피도포면에대한 도포가 완료될 때, 상기 풀의 도포액이 상기 도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크에서 압력을 감소시키는 기판의 도포액 도포장치.
제114항에 있어서, 상기 도포액탱크의 건조를 촉진하기 위해, 상기 풀에서 상기 기판의 피도포면으로 도포된 도포액에 설정된 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제119항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판의 피도포면에 도포액을 도포한 후 즉시 도포액에 상기 설정된 가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
제114항에 있어서, 상기 풀의 상단에서의 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제121항에 있어서, 상기 제어수단은, 도포개시위치에서 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 상기 도포액 탱크 전단면의 상단과 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 상기 도포액 탱크와 상기 기판지지수단을 위치시키는 기판의 도포액 도포장치.
제122항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 이동수단의 이동 시작시, 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대해 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대적인 속도가 설정된 범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
제114항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되어, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제124항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 앞단 표면사이의 위치에서 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액 탱크의 상기 전단면사이에 형성된 갭에 대해 연속하는 갭을 형성하도록 배치되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 상기 도포액 탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 적어도 일부분이 기판의 하단을 넘어서, 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제125항에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제125항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
제125항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대한 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제124항에 있어서, 상기 연장부재의 단면은, 도포액에 대한 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제114항에 있어서, 상기 설정된 크기는 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치. 제114 항에 있어서, 상기
피도포기판을 수직 또는 경사한 자세로 지지하는 기판지지수단과: 도포액을 저장하고, 양단이 폐쇄된 중공통체를 가지며, 상기 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도포면에 대항하고 있고, 또 기판의 피도포면의 적어도 소정폭으로 연재하는 전면벽부의 전단면을 가지며, 상기 전단면에서 관통하는 유출구와 상기 유출구의 하방에서 관통되는 유입구를 가지는 도포액 유출로가 형성되어, 상기 도포액 유출로를 통하여 도포액이 적어도 모세관현상에 의하여 유출구까지 도달하여 상승하도록한 도포액 탱크와: 기판지지기구에 의해 지지되는 기판의 피도표면과 대향하여 있는 전단면과 상기 기판의 피도포면과의 사이에서 소정갭을 가지도록 도포액 탱크를 지지하여 적어도 기판지지기구와 도포액탱크중의 하나를, 소정 갭을 지지한 체 피도포면의 도포가 시작하는 제1위치와 피도포면의 도포가 종료하는 제2위치사이에서, 상대적으로 직선적으로 이동시키기 위한 이동기구를 구비하고, 상기 도포액탱크의 전단면은 도포액 탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 유출구 아래의 높이의 위치에서 형성된 하단과, 도포액 탱크의 전단면과 피도포면의 양자가 상방향으로 무한히 연장하여 그들 사이에서 소정크기의 갭을 형성한다고 가정하여, 상기 도포액탱크가 상기 이동기구에 의해 지지될 때, 도포액이 상기 유출구에서 갭으로 유동하는 적어도 모세관현상에 의해 소정크기의 갭내에서 상승하는 도포액에 의해 도달되는 최대높이 위에 형성된 상단을 가지며, 도포액의 액면이 상기 도포액의 유출로의 유입구와 상기 도포액탱크의 전단면의 하단 사이의 어느 한 높이에 위치하도록, 이동기구에 의해 지지되는 상기 도포액 탱크에 도포액이 주입될 때, 상기 도포액 유출로를 통하여 상기 갭으로 유입되는 도포액이 상기 전단면의 상단과 하단에 의해 유동이 각각 규제되는 도포액 풀(pool)을 형성하고, 상기 풀 위에 는 도포액이 전혀 들어있지 않는 공간이 형성되고, 상기 풀 내에 도포액의 량을 제어하기 위해 도포액탱크에 결합되는 압력조절수단을 가지도록 한 기판의 도포액 도포장치.
제131항에 있어서, 상기 기판은 투명하고, 상기 기판지지수단은, 기판의 피도포면의 상단 부분이 상기 기판지지수단의 상단에서 위쪽으로 돌출하도록 상기 기판을 지지하는 기판의 도포액 도포장치.
제132항에 있어서, 상기 기판의 하단에서 아래쪽으로 흐르는 도포액을 회수하기 위해, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단 아래에서 대향하는 상기 기판지지수단의 하단부분에 설치된 회수수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제131항에 있어서, 상기 압력조절수단은, 상기 피도포면에 대한 도포가 완료될 때, 상기 풀의 도포액이 상기 도포액 유출로를 통해 상기 도포액 탱크로 역류하도록 상기 도포액 탱크의 내부에서 압력을 감소시키는 기판의 도포액 도포장치.
제131항에 있어서, 상기 도포액 탱크가 상기 이동수단에 의해 이동될 때, 도포액의 건조를 촉진하기 위해, 상기 풀에서 상기 기판의 피도포면에 도포된 도포액에 설정된 가스를 불어넣는 가스송풍수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제135항에 있어서, 상기 가스송풍수단은, 기판의 피도포면에 도포액을 도포한 후 즉시 도포액에 상기 설정된 가스를 불어넣기 위해, 상기 도포액 탱크의 상면에 설치되어 함께 이동되는 가스송풍탱크를 포함하는 기판의 도포액 도포장치.
제131항에 있어서, 상기 풀의 상단에서 미니스커스의 이동속도가 실질적으로 일정하게 유지되도록 상기 이동수단의 이동속도를 제어하는 제어수단을 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제131항에 있어서, 상기 제어수단은, 도포개시위치에서 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 상단이 상기 최대높이와 상기 도포액 유출로의 유출구사이에 위치되도록 상기 도포액 탱크와 상기 기판지지수단을 위치시키는 기판의 도포액 도포장치.
제138항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 이동수단의 이동 시작시, 상기 갭내의 상기 풀의 상단에서 미니스커스가 기판의 하단과 동일한 레벨에 도달할 때까지, 기판에 대해 상기 이동수단에 의한 상기 도포액 탱크의 상대속도가 설정된 범위내의 속도에 도달하도록 상기 이동수단을 제어하는 기판의 도포액 도포장치.
제131항에 있어서, 상기 기판지지수단의 하단측에 배치되어, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 하단에 접촉하거나 또는 접근해서 대향하는 단면을 가지는 연장부재를 더 구비하는 기판의 도포액 도포장치.
제140항에 있어서, 상기 연장부재는, 전면벽부를 가지고, 상기 전면벽부와 상기 도포액 탱크의 전단면사이의 위치에서 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액 탱크의 상기 전단면사이에 형성된 갭에 대해 연속하는 갭을 형성하도록 배치되고, 상기 이동수단은, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면사이에 형성된 풀의 적어도 일부분이 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부와 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제141항에 있어서, 상기 이동수단은 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 피도포면과 상기 도포액탱크의 전단면 사이에 형성된 풀의 상단에서의 미니스커스가 상기 기판의 하단을 넘어서 상기 연장부재의 전면벽부과 대향하는 위치에 도달할 때까지 상기 도포액 탱크를 이동시키는 기판의 도포액 도포장치.
제141항에 있어서, 상기 연장부재는, 상기 전면벽부가 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면과 평평하게 되도록 배치되는 기판의 도포액 도포장치.
제141항에 있어서, 상기 연장부재의 전면벽부는, 도포액에 대해 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판의 도포면보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제140항에 있어서, 상기 연장부재의 단부표면은, 도포액에 대한 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판보다 낮은 습윤성을 가지는 기판의 도포액 도포장치.
제131항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면은, 상기 도포액 유출로의 유출구 위쪽의 적어도 일부분에서 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판에 의한 갭이 상기 설정된 크기보다 크게되는 기판의 도포액 도포장치.
제146항에 있어서, 상기 도포액 탱크의 전단면은, 상기 설정된 크기의 갭을 가지고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 하부와, 상기 설정된 크기보다 더 넓은 갭을 가지고, 상기 기판지지수단에 의해 지지된 기판과 대향하는 전단면 상부를 가지는 층이진 표면인 기판의 도포액 도포장치.
제147항에 있어서, 상기 도포액 유출로의 유출구는 , 상기 전단면 하부와 전단면 상부 사이의 경계에 형성되는 기판의 도포액 도포장치.
제131항에 있어서, 상기 설정된 크기는 0.1~0.3㎜인 기판의 도포액 도포장치.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.