JPWO2023058703A5 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPWO2023058703A5 JPWO2023058703A5 JP2023552932A JP2023552932A JPWO2023058703A5 JP WO2023058703 A5 JPWO2023058703 A5 JP WO2023058703A5 JP 2023552932 A JP2023552932 A JP 2023552932A JP 2023552932 A JP2023552932 A JP 2023552932A JP WO2023058703 A5 JPWO2023058703 A5 JP WO2023058703A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nanosheet
- group
- ion selected
- metal ion
- metal ions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021166184 | 2021-10-08 | ||
| PCT/JP2022/037372 WO2023058703A1 (ja) | 2021-10-08 | 2022-10-06 | 高誘電性原子膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2023058703A1 JPWO2023058703A1 (https=) | 2023-04-13 |
| JPWO2023058703A5 true JPWO2023058703A5 (https=) | 2025-09-19 |
Family
ID=85804338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023552932A Pending JPWO2023058703A1 (https=) | 2021-10-08 | 2022-10-06 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPWO2023058703A1 (https=) |
| WO (1) | WO2023058703A1 (https=) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4742533B2 (ja) * | 2004-08-06 | 2011-08-10 | 独立行政法人科学技術振興機構 | Bi層状化合物ナノプレート及びその配列体並びにその製造方法とそれを用いた装置 |
| JP6103524B2 (ja) * | 2013-02-06 | 2017-03-29 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | ホモロガス系列層状ペロブスカイト酸化物に基づくペロブスカイトナノシート、および、その用途 |
| KR20200099406A (ko) * | 2019-02-14 | 2020-08-24 | 삼성전자주식회사 | 단결정 재료 및 그 제조 방법, 적층체, 세라믹 전자 부품 및 장치 |
-
2022
- 2022-10-06 JP JP2023552932A patent/JPWO2023058703A1/ja active Pending
- 2022-10-06 WO PCT/JP2022/037372 patent/WO2023058703A1/ja not_active Ceased
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110828461B (zh) | 三维铁电存储器件 | |
| JP3258899B2 (ja) | 強誘電体薄膜素子、それを用いた半導体装置、及び強誘電体薄膜素子の製造方法 | |
| TW298649B (https=) | ||
| JP3103916B2 (ja) | 強誘電体キャパシタおよびその製造方法並びにそれを用いたメモリセル | |
| JP4024397B2 (ja) | 強誘電体メモリ装置及びその製造方法 | |
| JP4282245B2 (ja) | 容量素子及びその製造方法並びに半導体装置 | |
| TW200536108A (en) | Ferroelectric film laminated body, ferroelectric memory, piezoelectric element, liquid jet head, and printer | |
| JPH10242409A5 (ja) | 電子材料、その製造方法、誘電体キャパシタおよび不揮発性メモリ | |
| JPH10209392A5 (https=) | ||
| JPWO2023058703A5 (https=) | ||
| JP4164700B2 (ja) | 強誘電体メモリおよびその製造方法 | |
| JPH10242409A (ja) | 電子材料、その製造方法、誘電体キャパシタ、不揮発性メモリおよび半導体装置 | |
| TW200307364A (en) | Ferroelectric capacitor, method of manufacturing same, and semiconductor memory device | |
| JP4811551B2 (ja) | 強誘電体膜の製造方法および強誘電体キャパシタの製造方法 | |
| JPH09102587A (ja) | 強誘電体薄膜素子 | |
| US6855973B2 (en) | Semiconductor memory device including a capacitor an upper electrode of which being resistant of exfoliation | |
| KR20010051466A (ko) | 전자 박막 재료, 유전체 캐패시터, 및 비휘발성 메모리 | |
| JP3419974B2 (ja) | 強誘電体キャパシタの製造方法 | |
| JP3745950B2 (ja) | 酸化ジルコニウム膜とpzt膜との積層体及びこれを備えた半導体装置 | |
| JP4996113B2 (ja) | 強誘電体キャパシタ及び強誘電体メモリ | |
| JP3683250B2 (ja) | 強誘電体容量素子 | |
| JP4026387B2 (ja) | メモリ素子 | |
| JP7761444B2 (ja) | 圧電薄膜積層体 | |
| JP2004031553A (ja) | 半導体素子及びその製造方法 | |
| JP3606791B2 (ja) | 強誘電体薄膜の製造方法、強誘電体キャパシタ、強誘電体メモリセルおよび強誘電体メモリの製造方法 |